JPS6224121B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6224121B2 JPS6224121B2 JP14775779A JP14775779A JPS6224121B2 JP S6224121 B2 JPS6224121 B2 JP S6224121B2 JP 14775779 A JP14775779 A JP 14775779A JP 14775779 A JP14775779 A JP 14775779A JP S6224121 B2 JPS6224121 B2 JP S6224121B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- pressure
- tubes
- membrane
- resistant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 76
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 38
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 13
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000645 desinfectant Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000000855 fungicidal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000417 fungicide Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000007539 photo-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002062 proliferating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000009287 sand filtration Methods 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、膜分離用モジユール耐圧管の洗浄方
法に関する。
法に関する。
膜分離法は、薄い膜を介して液体を加圧透過す
ることにより、溶質の分離、精製、濃縮を行なう
ものである。膜分離を行なう装置としては、例え
ばパイプ状の膜の内側に被処理水を通し、パイプ
外壁に透過液を浸透させる、いわゆる内圧管型の
モジユールを構成単位とするもの、管の外側に高
圧の被処理水を流し、管の内側に透過させて集水
する外圧管型のモジユールを構成単位とするもの
などが知られている。このような膜分離モジユー
ルでは、膜を支持するために多孔質の耐圧管が設
けられている。逆浸透装置の場合、透過液は半透
膜を透過した後、耐圧管の透過孔を通過して流出
する。
ることにより、溶質の分離、精製、濃縮を行なう
ものである。膜分離を行なう装置としては、例え
ばパイプ状の膜の内側に被処理水を通し、パイプ
外壁に透過液を浸透させる、いわゆる内圧管型の
モジユールを構成単位とするもの、管の外側に高
圧の被処理水を流し、管の内側に透過させて集水
する外圧管型のモジユールを構成単位とするもの
などが知られている。このような膜分離モジユー
ルでは、膜を支持するために多孔質の耐圧管が設
けられている。逆浸透装置の場合、透過液は半透
膜を透過した後、耐圧管の透過孔を通過して流出
する。
ところで膜分離操作においては、被処理液中の
無機物および有機物は100％除去されるものでは
なく、溶液および膜の種類、ならびに圧力等によ
り異なるが、例えば除去率が100％の場合、溶質
の90％は濃縮液側に、および10％は透過液側に分
離される。この透過液は耐圧管の透過孔付近に付
着し、徐々に滴下するが、透過液は前述のように
有機物を少量含有するため、膜分離装置を長時間
運転した場合、耐圧管の透過孔付近にバクテリア
が増殖し、透過孔、すなわち透過液の流路を閉塞
させる。この透過孔の閉塞は、上述のごとく増殖
バクテリアによるものに限らず、高濃度の無機ま
たは有機溶液を膜モジユールに流通した場合には
透過液中の無機塩類または有機物自身の濃縮によ
つても誘起され、透過液量の低下を生ずる。これ
らを防止するため、膜分離用モジユール（以下、
膜モジユールと称する）耐圧管を洗浄する必要が
あるが、膜モジユールが多数本になると多量の洗
浄液が必要となる。このため、洗浄液槽、洗浄ポ
ンプ等の洗浄装置の規膜が大きくなり、設備費お
よびランニングコストの上昇をもたらすという問
題がある。
無機物および有機物は100％除去されるものでは
なく、溶液および膜の種類、ならびに圧力等によ
り異なるが、例えば除去率が100％の場合、溶質
の90％は濃縮液側に、および10％は透過液側に分
離される。この透過液は耐圧管の透過孔付近に付
着し、徐々に滴下するが、透過液は前述のように
有機物を少量含有するため、膜分離装置を長時間
運転した場合、耐圧管の透過孔付近にバクテリア
が増殖し、透過孔、すなわち透過液の流路を閉塞
させる。この透過孔の閉塞は、上述のごとく増殖
バクテリアによるものに限らず、高濃度の無機ま
たは有機溶液を膜モジユールに流通した場合には
透過液中の無機塩類または有機物自身の濃縮によ
つても誘起され、透過液量の低下を生ずる。これ
らを防止するため、膜分離用モジユール（以下、
膜モジユールと称する）耐圧管を洗浄する必要が
あるが、膜モジユールが多数本になると多量の洗
浄液が必要となる。このため、洗浄液槽、洗浄ポ
ンプ等の洗浄装置の規膜が大きくなり、設備費お
よびランニングコストの上昇をもたらすという問
題がある。
本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消
し、多数の膜モジユール耐圧管の洗浄を、少量の
洗浄液で効率よく行なうことができる膜モジユー
ル耐圧管の洗浄方法を提供することにある。
し、多数の膜モジユール耐圧管の洗浄を、少量の
洗浄液で効率よく行なうことができる膜モジユー
ル耐圧管の洗浄方法を提供することにある。
本発明は、多数の膜モジユール耐圧管の洗浄設
備および洗浄液を最少限に止めるため、多数の膜
モジユール群をブロツクに分割し、これらのブロ
ツクに所定の洗浄時間、順次洗浄液を送液し、さ
らに洗浄液を循環使用するように構成したもので
ある。
備および洗浄液を最少限に止めるため、多数の膜
モジユール群をブロツクに分割し、これらのブロ
ツクに所定の洗浄時間、順次洗浄液を送液し、さ
らに洗浄液を循環使用するように構成したもので
ある。
すなわち、多数の膜分離用モジユール耐圧管の
外側に洗浄液を流動させ、前記管の外面に付着し
た汚染物を除去する洗浄方法において、前記モジ
ユール耐圧管を複数個のブロツクに分割し、薬剤
含有洗浄液を用いる液体洗浄及び圧縮空気を用い
る気泡洗浄によつて前記管の外面を洗浄すること
によつて各ブロツク毎に順次、前記管を洗浄し、
洗浄後の洗浄液を有機物処理に付した後、前記の
耐圧管の洗浄に再循環するようにしたことを特徴
とする。
外側に洗浄液を流動させ、前記管の外面に付着し
た汚染物を除去する洗浄方法において、前記モジ
ユール耐圧管を複数個のブロツクに分割し、薬剤
含有洗浄液を用いる液体洗浄及び圧縮空気を用い
る気泡洗浄によつて前記管の外面を洗浄すること
によつて各ブロツク毎に順次、前記管を洗浄し、
洗浄後の洗浄液を有機物処理に付した後、前記の
耐圧管の洗浄に再循環するようにしたことを特徴
とする。
本発明における膜モジユールブロツク群の分割
の仕方は、膜モジユールの本数によるが、余り多
くのブロツクに分割すると、弁の切換が煩雑にな
るので好ましくなく、通常は２〜数ブロツクに分
割される。なお、本発明は内圧管型の膜モジユー
ルについて適用可能である。
の仕方は、膜モジユールの本数によるが、余り多
くのブロツクに分割すると、弁の切換が煩雑にな
るので好ましくなく、通常は２〜数ブロツクに分
割される。なお、本発明は内圧管型の膜モジユー
ルについて適用可能である。
以下、本発明を図面によりさらに詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の膜モジユール耐圧管の洗浄
方法を実活する装置の一部分を示す装置系統図で
ある。
方法を実活する装置の一部分を示す装置系統図で
ある。
図において、この装置は、それぞれ原液流入口
２、および濃縮液排出口３を有する膜モジユール
１が多数並列された膜モジユールブロツク群４，
５および６と、該膜モジユール群４，５および６
にそれぞれ洗浄液を供給するための洗浄液槽８、
ポンプ７、および弁９，１０，１１からなる洗浄
液供給系統と、各モジユール群から排出された洗
浄液をそれぞれ弁１２，１３および１４を介して
洗浄液槽８に再循環させる洗浄液循環系統と、膜
モジユール群４，５および６をそれぞれ空気洗浄
するための圧縮空気を送入するコンプレツサー１
５、送入弁１６，１７，１８および開放弁２３，
２４，２５からなる空気洗浄系統と、前記洗浄液
供給系統、循環系統および空気洗浄系統のバルブ
開閉を制御する制御盤１９から主に構成される。
２、および濃縮液排出口３を有する膜モジユール
１が多数並列された膜モジユールブロツク群４，
５および６と、該膜モジユール群４，５および６
にそれぞれ洗浄液を供給するための洗浄液槽８、
ポンプ７、および弁９，１０，１１からなる洗浄
液供給系統と、各モジユール群から排出された洗
浄液をそれぞれ弁１２，１３および１４を介して
洗浄液槽８に再循環させる洗浄液循環系統と、膜
モジユール群４，５および６をそれぞれ空気洗浄
するための圧縮空気を送入するコンプレツサー１
５、送入弁１６，１７，１８および開放弁２３，
２４，２５からなる空気洗浄系統と、前記洗浄液
供給系統、循環系統および空気洗浄系統のバルブ
開閉を制御する制御盤１９から主に構成される。
上記構成において、膜モジユール耐圧管の洗浄
時には、膜モジユールブロツク群４〜６のうち、
先ず膜モジユールブロツク群４の洗浄を行なう。
すなわち、透過液排出弁２０を閉じ、同時に洗浄
液注入切換弁９および洗浄液排出弁１２を開き、
洗浄ポンプ７を作動させて洗浄液の送液が行なわ
れる。さらにコンプレツサー１５を始動させ、一
定圧になつた時点で空気注入弁１６を経て耐圧管
に圧縮空気を注入し、気泡洗浄を行なう。気泡は
空気開放弁２３から排気される。洗浄液は、膜モ
ジユール耐圧管を洗浄した後、洗浄液槽８に戻り
循環使用される。この膜モジユールブロツク群４
の洗浄時間はモジユールの本数によつても異なる
が、10分位が適当である。膜モジユールブロツク
群４の洗浄が終つたら弁を切換え、引続き膜モジ
ユールブロツク群５，６の洗浄を同様の操作で行
なう。
時には、膜モジユールブロツク群４〜６のうち、
先ず膜モジユールブロツク群４の洗浄を行なう。
すなわち、透過液排出弁２０を閉じ、同時に洗浄
液注入切換弁９および洗浄液排出弁１２を開き、
洗浄ポンプ７を作動させて洗浄液の送液が行なわ
れる。さらにコンプレツサー１５を始動させ、一
定圧になつた時点で空気注入弁１６を経て耐圧管
に圧縮空気を注入し、気泡洗浄を行なう。気泡は
空気開放弁２３から排気される。洗浄液は、膜モ
ジユール耐圧管を洗浄した後、洗浄液槽８に戻り
循環使用される。この膜モジユールブロツク群４
の洗浄時間はモジユールの本数によつても異なる
が、10分位が適当である。膜モジユールブロツク
群４の洗浄が終つたら弁を切換え、引続き膜モジ
ユールブロツク群５，６の洗浄を同様の操作で行
なう。
上記弁９〜１１および弁１２〜１４の開閉、お
よびポンプ７、コンプレツサー１５の起動または
停止は、上記操作順序に従つてプログラムされた
制御盤１９により自動制御される。制御盤はタイ
マーとリレーの組合せ機構を備えたものが好適で
ある。
よびポンプ７、コンプレツサー１５の起動または
停止は、上記操作順序に従つてプログラムされた
制御盤１９により自動制御される。制御盤はタイ
マーとリレーの組合せ機構を備えたものが好適で
ある。
600本の膜モジユールを用いた分離装置の洗浄
について、上記実施例と従来の洗浄方法を比較す
ると、従来の洗浄方法では洗浄時間10分で約20m3
の洗浄液を要し、ポンプ容量は２m3／min.であ
つたのに対し、上記実施例では、膜モジユールを
200本ずつの３つのブロツク群に分割することに
より、ポンプ容量は0.7m3／min.と1/3になり、ま
た洗浄液量は、通過液量0.4m3／m2・ｄ、透過液
質COD200ppm（洗浄液の水質をCOD60ppm以下
に設定）とすると約９m3となり、従来の約1/2以
下とすることができる。またこのように膜モジユ
ールの耐圧管を洗浄することにより、長時間運転
時の耐圧管の透過孔の閉塞を防ぎ、また透過孔の
閉塞による透過液量の低下を防止することができ
る。
について、上記実施例と従来の洗浄方法を比較す
ると、従来の洗浄方法では洗浄時間10分で約20m3
の洗浄液を要し、ポンプ容量は２m3／min.であ
つたのに対し、上記実施例では、膜モジユールを
200本ずつの３つのブロツク群に分割することに
より、ポンプ容量は0.7m3／min.と1/3になり、ま
た洗浄液量は、通過液量0.4m3／m2・ｄ、透過液
質COD200ppm（洗浄液の水質をCOD60ppm以下
に設定）とすると約９m3となり、従来の約1/2以
下とすることができる。またこのように膜モジユ
ールの耐圧管を洗浄することにより、長時間運転
時の耐圧管の透過孔の閉塞を防ぎ、また透過孔の
閉塞による透過液量の低下を防止することができ
る。
次に第２図は、本発明の他の実施例を示すもの
で、前記の第１図に示した装置において、洗浄液
循環系路中に有機物処理装置２６を設け、さらに
洗浄液槽中にライン２７から殺菌剤を添加するよ
うにしたことである。有機物処理装置２６は、有
機物が低濃度のときは光酸化が有効であり、それ
以上の濃度では活性炭塔、さらに固型物が混入す
る場合は砂過、精密過装置等が用いられる。
また殺菌剤としては、塩素、次亜塩素酸ソーダ、
オゾン等が用いられるが、殺菌効果を示す紫外線
照射も有効である。
で、前記の第１図に示した装置において、洗浄液
循環系路中に有機物処理装置２６を設け、さらに
洗浄液槽中にライン２７から殺菌剤を添加するよ
うにしたことである。有機物処理装置２６は、有
機物が低濃度のときは光酸化が有効であり、それ
以上の濃度では活性炭塔、さらに固型物が混入す
る場合は砂過、精密過装置等が用いられる。
また殺菌剤としては、塩素、次亜塩素酸ソーダ、
オゾン等が用いられるが、殺菌効果を示す紫外線
照射も有効である。
上記実施例によれば、循環洗浄液中の有機物を
除去することにより、洗浄液量は前述の実施例の
さらに1/6とすることができる。また洗浄液を殺
菌することにより、膜モジユール耐圧管の透過孔
付近のバクテリアの増殖による透過孔の閉塞、お
よびそれに伴う透過液量の低下をさらに防止し、
また洗浄系内の殺菌を行なうことができる。
除去することにより、洗浄液量は前述の実施例の
さらに1/6とすることができる。また洗浄液を殺
菌することにより、膜モジユール耐圧管の透過孔
付近のバクテリアの増殖による透過孔の閉塞、お
よびそれに伴う透過液量の低下をさらに防止し、
また洗浄系内の殺菌を行なうことができる。
以上、本発明によれば、多数の膜モジユールを
膜モジユールブロツク群に分割し、これらのブロ
ツクに順次、一定の洗浄液を送液するように制御
し、さらに洗浄液を循環使用することにより、洗
浄液量を著しく減少させ、洗浄タンクその他の付
帯設備を小型化することができる。
膜モジユールブロツク群に分割し、これらのブロ
ツクに順次、一定の洗浄液を送液するように制御
し、さらに洗浄液を循環使用することにより、洗
浄液量を著しく減少させ、洗浄タンクその他の付
帯設備を小型化することができる。
第１図は、膜モジユール耐圧管の洗浄方法を実
施する装置の一部分を示す装置系統図、第２図
は、本発明の実施例を示す装置系統図である。 １……膜モジユール、２……原液注入口、３…
…濃縮液排出口、４〜６……膜モジユールブロツ
ク群、７……洗浄ポンプ、８……洗浄液槽、９〜
１１……洗浄液注入切換弁、１２〜１４……洗浄
液排出切換弁、１５……コンプレツサー、１６〜
１８……空気注入弁、１９……制御盤、２０〜２
２……透過液排出弁、２３〜２５……空気開放
弁、２６……有機物処理装置、２７……薬剤注入
ライン。
施する装置の一部分を示す装置系統図、第２図
は、本発明の実施例を示す装置系統図である。 １……膜モジユール、２……原液注入口、３…
…濃縮液排出口、４〜６……膜モジユールブロツ
ク群、７……洗浄ポンプ、８……洗浄液槽、９〜
１１……洗浄液注入切換弁、１２〜１４……洗浄
液排出切換弁、１５……コンプレツサー、１６〜
１８……空気注入弁、１９……制御盤、２０〜２
２……透過液排出弁、２３〜２５……空気開放
弁、２６……有機物処理装置、２７……薬剤注入
ライン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 多数の膜分離用モジユール耐圧管の外側に洗
浄液を流動させ、前記管の外面に付着した汚染物
を除去する洗浄方法において、前記モジユール耐
圧管を複数個のブロツクに分割し、薬剤含有洗浄
液を用いる液体洗浄及び圧縮空気を用いる気泡洗
浄によつて前記管の外面を洗浄することによつて
各ブロツク毎に順次、前記管を洗浄し、洗浄後の
洗浄液を有機物処理に付した後、前記の耐圧管の
洗浄に再循環することを特徴とする膜分離用モジ
ユール耐圧管の洗浄方法。 ２ 各ブロツクにおける洗浄液および圧縮空気の
送入および排出ならびに切換を自動制御により行
うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
膜分離用モジユール耐圧管の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14775779A JPS5673506A (en) | 1979-11-16 | 1979-11-16 | Washing method for module pressure-tight pipe for membrane separation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14775779A JPS5673506A (en) | 1979-11-16 | 1979-11-16 | Washing method for module pressure-tight pipe for membrane separation |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5673506A JPS5673506A (en) | 1981-06-18 |
| JPS6224121B2 true JPS6224121B2 (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=15437461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14775779A Granted JPS5673506A (en) | 1979-11-16 | 1979-11-16 | Washing method for module pressure-tight pipe for membrane separation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5673506A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6019004A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-01-31 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 液体分離装置の連続運転方法 |
| JPH0698275B2 (ja) * | 1986-05-28 | 1994-12-07 | 日立プラント建設株式会社 | 液体の濃縮装置 |
| JPH0463118A (ja) * | 1990-07-03 | 1992-02-28 | Kurita Water Ind Ltd | 膜分離装置 |
| KR100472278B1 (ko) * | 2002-11-11 | 2005-03-11 | 주식회사 휠테크 | 복수의 침지식 막분리 팩키지를 이용한 고액분리 장치 및그 방법 |
| WO2006061583A1 (en) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Axsia Serck Baker Limited | Improvements in and relating to biocide treatment of seawater treatment membranes |
| CN114906902A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-16 | 中联环股份有限公司 | 一种集散式cmf膜系统工艺 |
-
1979
- 1979-11-16 JP JP14775779A patent/JPS5673506A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5673506A (en) | 1981-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6878282B2 (en) | System and method for withdrawing permeate through a filter and for cleaning the filter in situ | |
| JP4472050B2 (ja) | 造水装置および造水方法 | |
| US5632890A (en) | Ceramic filter filtration apparatus for purifying swimming pool water | |
| US6303035B1 (en) | Immersed membrane filtration process | |
| US20040168978A1 (en) | Method and apparatus for recirculating tangential separation system | |
| JP5599189B2 (ja) | バイオリアクタと膜濾過モジュールとを有する進入流体の処理のための装置 | |
| JP2000500392A (ja) | 浸漬膜型濾過装置の洗浄方法 | |
| RU2614287C2 (ru) | Система очистки жидкости | |
| US6432312B1 (en) | Closed system for rearing aquatic life | |
| JP2000189965A (ja) | 造水装置および造水方法 | |
| JPS6224121B2 (ja) | ||
| JP2005193091A (ja) | 浄水装置及びその制御方法 | |
| WO2019183221A1 (en) | Chemical cleaning for membrane filters | |
| JPH10296060A (ja) | 分離膜の汚染防止方法 | |
| JPH0716567A (ja) | 限外濾過式飲水装置 | |
| WO2012157668A1 (ja) | 濾過処理装置及び濾過処理装置の洗浄方法 | |
| JPH08155273A (ja) | 膜分離方法 | |
| JPH11277062A (ja) | 精製水の製造装置および製造方法 | |
| JPH04104748A (ja) | 養魚水浄化装置 | |
| JP2795490B2 (ja) | 半透膜の浸透式逆洗装置 | |
| JPH0580585U (ja) | 造水装置 | |
| JPH1119488A (ja) | 膜分離装置の洗浄方法 | |
| JP2822297B2 (ja) | 液中の被吸着物質の除去装置および除去方法 | |
| JPH1157415A (ja) | 膜脱気装置の運転方法及び膜脱気装置 | |
| JPH02157086A (ja) | 超純水製造方法 |