JP7258440B2 - 加工廃液処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、加工装置から排出された加工廃液を処理する加工廃液処理装置に関する。

デバイスチップの製造工程では、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域の表面側にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたウェーハが用いられる。このウェーハを分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。ウェーハの分割には、環状の切削ブレードでウェーハを切削する切削装置等が用いられる。

また、近年では、電子機器の小型化、薄型化に伴い、デバイスチップにも薄型化が求められている。そこで、ウェーハの分割前にウェーハの裏面側を研削することによって、ウェーハを薄化する工程が実施される。ウェーハの研削加工には、複数の研削砥石が固定された研削ホイールでウェーハを研削する研削装置等が用いられる。

上記の切削装置、研削装置等の加工装置によってウェーハを加工する際には、ウェーハに加工液が供給される。この加工液によって、ウェーハと加工工具（切削ブレード、研削ホイール等）とが冷却されるとともに、加工によって発生した屑（加工屑）が洗い流される。加工液としては、主に純水が用いられる。そして、加工装置で使用された純水は、加工廃液として加工装置の外部に排出され、処分される。

加工装置でウェーハを加工する際には、多量の純水が使用される。そのため、加工装置で使用された純水を全て加工廃液として処分してしまうと、コストが増大する。そこで、加工装置から排出された加工廃液を再利用する方法が提案されている。例えば特許文献１には、加工装置から排出された加工廃液をイオン交換樹脂によって精製することにより、純水を生成する加工廃液処理装置が開示されている。

特開２００９－１９０１２８号公報

イオン交換によって純水を生成する方式としては、混床塔方式と多床塔方式とが知られている。混床塔方式では、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混合された状態で充填されたイオン交換塔（ボンベ）を備える加工廃液処理装置が用いられる。一方、多床塔方式では、カチオン交換樹脂が充填されたイオン交換塔と、アニオン交換樹脂が充填されたイオン交換塔とが直列に接続された加工廃液処理装置が用いられる。

加工廃液処理装置の使用を継続すると、イオン交換樹脂のイオン交換能力が徐々に低下し、生成される純水の純度が低下する。そのため、加工廃液処理装置を一定期間使用した後には、イオン交換樹脂を再生し、イオン交換樹脂のイオン交換能力を回復させる処理が行われる。イオン交換樹脂の再生処理は、使用済みのイオン交換塔を加工廃液処理装置から取り外し、このイオン交換塔に薬液を供給することによって行われる。

イオン交換樹脂の再生処理を行っている間は、予備のイオン交換塔が純水の生成に用いられる。よって、加工廃液処理装置から使用済みのイオン交換塔が取り外された後、加工廃液処理装置に予備のイオン交換塔が装着される。しかしながら、イオン交換塔の交換作業中は、加工廃液処理装置によって純水が生成されず、加工装置への純水の供給も停止される。そのため、イオン交換樹脂の再生処理を行う際には、加工装置の稼働を一時的に停止して加工を中断する必要があり、これによって加工効率が低下する。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、加工装置の稼働を停止することなくイオン交換樹脂の再生を行うことが可能な加工廃液処理装置の提供を目的とする。

本発明の一態様によれば、加工装置に接続され、該加工装置から排出された加工廃液を処理する加工廃液処理装置であって、該加工廃液を貯留する廃液貯留タンクと、該廃液貯留タンクから供給された該加工廃液を濾過する廃液濾過手段と、該廃液濾過手段によって濾過された該加工廃液からイオンをイオン交換樹脂によって除去して純水を生成するとともに、該イオン交換樹脂を電気透析によって再生する電気再生式イオン交換手段と、該電気再生式イオン交換手段によって該加工廃液から除去されたイオンが濃縮され該電気再生式イオン交換手段から排出された濃縮水から、イオンを除去するイオン交換手段と、該イオン交換手段によってイオンが除去された該濃縮水を該廃液貯留タンクに供給するための第１流路と、該電気再生式イオン交換手段から排出された電解水を該廃液貯留タンクに供給するための第２流路と、を備える加工廃液処理装置が提供される。

なお、好ましくは、該加工廃液処理装置は、該電気再生式イオン交換手段と該イオン交換手段との間、及び、該第１流路に設けられたバルブを更に備える。

本発明の一態様に係る加工廃液処理装置は、電気再生式イオン交換手段を備えており、電気再生式イオン交換手段を加工廃液処理装置から取り外すことなく、イオン交換樹脂の再生処理を実施できる。そのため、イオン交換樹脂の再生処理時、電気再生式イオン交換手段の交換作業によって純水の生成が中断されることがなく、加工装置への純水の供給を継続できる。これにより、イオン交換樹脂の再生処理のために加工装置の稼働が停止されることを回避でき、加工効率の低下が抑制される。

また、上記の加工廃液処理装置は、電気再生式イオン交換手段から排出された濃縮水からイオンを除去するイオン交換手段を備える。そして、イオン交換手段によってイオンが除去された濃縮水が廃液貯留タンクに供給されるとともに、電気再生式イオン交換手段から排出された電解水が廃液貯留タンクに供給される。これにより、電気再生式イオン交換手段から排出された濃縮水及び電解水を、純水の生成及びイオン交換樹脂の再生に再利用することが可能となる。

加工廃液処理装置を示す模式図である。 電気再生式イオン交換手段を示す断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る加工廃液処理装置の構成例について説明する。図１は、加工廃液処理装置２を示す模式図である。加工廃液処理装置２は、純水を用いて被加工物を加工する加工装置（不図示）に接続されている。そして、加工廃液処理装置２は、加工装置から排出された廃液を精製して純水を生成し、その純水を加工装置に供給する。

加工廃液処理装置２が接続される加工装置の種類に制限はない。加工装置の例としては、環状の切削ブレードで被加工物を切削する加工ユニット（切削ユニット）を備える切削装置、複数の研削砥石が固定された研削ホイールで被加工物を研削する加工ユニット（研削ユニット）を備える研削装置、研磨パッドで被加工物を研磨する加工ユニット（研磨ユニット）を備える研磨装置等が挙げられる。

例えば、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域の表面側にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたシリコンウェーハが、加工装置によって加工される。シリコンウェーハを研削装置及び研磨装置によって薄化した後、切削装置によって分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。

なお、被加工物の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハであってもよい。また、被加工物に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物にはデバイスが形成されていなくてもよい。また、被加工物は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。

加工装置では、被加工物の加工時に加工ユニット及び被加工物に供給される加工液や、加工後の被加工物を洗浄するための洗浄液が用いられる。この加工液や洗浄液としては、純水等が用いられる。そして、使用済みの加工液や洗浄液は、加工廃液として加工装置から排出される。

加工廃液処理装置２は、加工装置から排出された加工廃液を貯留する廃液貯留タンク４を備える。廃液貯留タンク４は、配管、チューブ等の流路を介して加工装置に接続されており、加工装置から排出された加工廃液はこの流路を伝って廃液貯留タンク４に供給され、貯留される。なお、加工装置から廃液貯留タンク４に供給される加工廃液には、加工装置によって被加工物を加工した際に生じた屑（加工屑）等の異物や、不純物イオンが含まれている。

廃液貯留タンク４は、廃液供給ポンプ６を介して廃液濾過手段（廃液濾過ユニット）８に接続されている。廃液供給ポンプ６は、廃液貯留タンク４に貯留された加工廃液を廃液濾過手段８に供給するポンプである。この廃液供給ポンプ６によって、廃液貯留タンク４から廃液濾過手段８に供給される加工廃液の量が制御される。

廃液濾過手段８は、廃液貯留タンク４から供給された加工廃液を濾過して精製する。具体的には、廃液濾過手段８は加工廃液を濾過するためのフィルターを備える濾過器によって構成される。廃液濾過手段８のフィルターとしては、例えば逆浸透膜（ＲＯ膜）が用いられる。このフィルターを加工廃液が通過すると、加工廃液に含まれる異物がフィルターによって捕獲され、加工廃液が精製される。

廃液濾過手段８は、廃液濾過手段８によって濾過された加工廃液を精製して純水を生成する電気再生式イオン交換手段（電気再生式イオン交換ユニット）１０に接続されている。電気再生式イオン交換手段１０は、廃液濾過手段８から供給された加工廃液からイオンをイオン交換樹脂によって除去して、純水を生成する。また、電気再生式イオン交換手段１０は、電気的な作用、具体的には電気透析によって、イオン交換樹脂からイオンを除去し、イオン交換樹脂を再生する。

図２は、電気再生式イオン交換手段１０を示す断面図である。電気再生式イオン交換手段１０は、所定の電圧が印加される板状の陽極３０及び陰極３２を備える。陽極３０と陰極３２との間には、イオン交換樹脂３６が収容される複数の脱塩室（精製室）３４が設けられている。この脱塩室３４は、陰極３２側に設けられたカチオン膜３８と、陽極３０側に設けられたアニオン膜４０とによって画定されている。すなわち、脱塩室３４はカチオン膜３８とアニオン膜４０とによって挟まれた領域に相当する。なお、カチオン膜３８は、カチオンを通過させアニオンの通過を阻止するイオン交換膜であり、アニオン膜４０は、アニオンを通過させカチオンの通過を阻止するイオン交換膜である。

脱塩室３４には、カチオンを交換するイオン交換樹脂３６（カチオン交換樹脂）と、アニオンを交換するイオン交換樹脂３６（アニオン交換樹脂）とが混合された状態で充填されている。イオン交換樹脂３６が充填された脱塩室３４、カチオン膜３８、アニオン膜４０によって、セル４２が構成される。なお、図２には２組のセル４２が設けられた構成例を示しているが、セル４２の数に制限はない。

陽極３０と陽極３０に最も近いセル４２との間には、カチオン膜４４が設けられている。また、陰極３２と陰極３２に最も近いセル４２との間には、アニオン膜４６が設けられている。カチオン膜４４は、カチオンを通過させアニオンの通過を阻止するイオン交換膜であり、アニオン膜４６は、アニオンを通過させカチオンの通過を阻止するイオン交換膜である。

互いに隣接するカチオン膜３８，４４とアニオン膜４０，４６との間にはそれぞれ、濃縮室４８が形成されている。この濃縮室４８は、カチオン膜３８，４４とアニオン膜４０，４６とによって挟まれた領域に相当する。また、陽極３０とカチオン膜４４との間、及び、陰極３２とアニオン膜４６との間にはそれぞれ、電極室５０が形成されている。

脱塩室３４の一端側（図２では上側）には、廃液濾過手段８によって濾過された加工廃液６０が供給される。そして、加工廃液６０は、イオン交換樹脂３６の隙間を通過しながら、脱塩室３４の一端側から他端側（図２では下側）に向かって流れる。このとき、加工廃液６０に含まれるイオンがイオン交換樹脂３６によって除去される。

具体的には、加工廃液６０に含まれるカチオン５２がカチオン交換樹脂によって捕獲されるとともに、加工廃液６０に含まれるアニオン５４がアニオン交換樹脂によって捕獲される。これにより、加工廃液６０が精製され、純水６２が生成される。生成された純水６２は、脱塩室３４の他端側から流出する。

図１に示すように、電気再生式イオン交換手段１０によって生成された純水６２は、温度調節手段（温度調節ユニット）１２に供給される。温度調節手段１２は、温度調節器等によって構成され、加工廃液を排出した加工装置（不図示）に接続されている。温度調節手段１２は、電気再生式イオン交換手段１０から供給された純水６２の温度を調整し、その純水６２を加工装置に供給する。

温度調節手段１２から加工装置に供給された純水６２は、加工装置内で加工液や洗浄液として利用される。すなわち、加工装置から排出された使用済みの加工液や洗浄液は、加工廃液処理装置２によって精製された後、加工装置で再利用される。

なお、加工廃液処理装置２の使用を継続すると、イオン交換樹脂３６のイオン交換能力が徐々に低下し、電気再生式イオン交換手段１０によって生成される純水６２の純度が低下する。そのため、イオン交換樹脂３６を再生させる処理を行うことによって、イオン交換樹脂３６のイオン交換能力を維持することが好ましい。加工廃液処理装置２では、電気的な作用、具体的には電気透析によって、イオン交換樹脂３６が再生される。

イオン交換樹脂３６の再生を行う際は、図２に示すように、廃液濾過手段８によって濾過された加工廃液６０の一部が濃縮室４８の一端側（図２では上側）に供給される。そして、加工廃液６０は濃縮室４８の一端側から他端側（図２では下側）に向かって流れる。また、廃液濾過手段８によって濾過された加工廃液６０の一部が、電極室５０の一端側（図２では上側）に供給される。そして、加工廃液６０は電極室５０の一端側から他端側（図２では下側）に向かって流れる。

この状態で、陽極３０及び陰極３２にそれぞれ所定の電圧を印加し、陽極３０と陰極３２との間に電位差を生じさせる。その結果、イオン交換樹脂３６に捕獲されたカチオン５２が、カチオン膜３８を通過して陰極３２側に移動する。そして、このカチオン５２はアニオン膜４０，４６を通過せず、濃縮室４８に蓄積される。同様に、イオン交換樹脂３６に捕獲されたアニオン５４が、アニオン膜４０を通過して陽極３０側に移動し、濃縮室４８に蓄積される。これにより、イオン交換樹脂３６に捕獲されたイオンが離脱し、イオン交換樹脂３６が再生される。

上記のように、加工廃液処理装置２では、陽極３０及び陰極３２に電圧を印加することにより、電気再生式イオン交換手段１０を加工廃液処理装置２から取り外すことなくイオン交換樹脂３６の再生を実施できる。そのため、イオン交換樹脂３６の再生処理時、電気再生式イオン交換手段１０の交換作業によって純水６２の生成が中断されることがなく、加工装置への純水６２の供給を継続できる。

また、電気再生式イオン交換手段１０は、加工廃液６０の精製中にもイオン交換樹脂３６を再生できる。すなわち、電気再生式イオン交換手段１０を用いると、純水６２の生成とイオン交換樹脂３６の再生とを同時進行で実施できる。なお、イオン交換樹脂３６の再生期間は自由に設定できる。例えば、イオン交換樹脂３６の再生は、純水６２が生成されている間、常時実施されてもよいし、所定の間隔で断続的に実施されてもよい。

イオン交換樹脂３６の再生を実施すると、脱塩室３４を流れる加工廃液６０から除去されたイオン（イオン交換樹脂３６に捕獲されたイオン）が濃縮室４８に放出され、濃縮室４８内でイオンが濃縮された濃縮水６４が生成される。また、電極室５０内では、電極室５０を流れる加工廃液６０が電気分解され、電解水６６が生成される。そして、電気再生式イオン交換手段１０から濃縮水６４及び電解水６６が排出される。

ここで、加工廃液処理装置２には、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４を精製するイオン交換手段が設けられる。そして、このイオン交換手段によって精製された濃縮水６４が廃液貯留タンク４に供給されるとともに、電気再生式イオン交換手段１０から排出された電解水６６が廃液貯留タンク４に供給される。

廃液貯留タンク４に貯留された濃縮水６４及び電解水６６は、廃液濾過手段８によって濾過された後、加工廃液６０の一部として、純水６２の生成又はイオン交換樹脂３６の再生に使用される。これにより、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４及び電解水６６を、純水６２の生成及びイオン交換樹脂３６の再生に再利用できる。

図１に示すように、加工廃液処理装置２は、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４からイオンを除去し、濃縮水６４を精製するイオン交換手段（イオン交換ユニット）１４を備える。また、加工廃液処理装置２には、一端側が電気再生式イオン交換手段１０に接続され他端側がイオン交換手段１４に接続された流路（流水路）１６と、一端側がイオン交換手段１４に接続され他端側が廃液貯留タンク４に接続された流路（流水路）１８とが設けられている。すなわち、電気再生式イオン交換手段１０は、イオン交換手段１４及び流路１６，１８を介して、廃液貯留タンク４に接続されている。

イオン交換手段１４は、電気再生式イオン交換手段１０から流路１６を伝って供給された濃縮水６４を、イオン交換樹脂によって精製する。ただし、イオン交換手段１４では、電気的な作用（電気透析）によるイオン交換樹脂の再生が行われない。すなわち、イオン交換手段１４は、電気再生式イオン交換手段とは異なる種類のイオン交換手段である。そのため、イオン交換手段１４からは濃縮水及び電解水が排出されない。

イオン交換手段１４は、イオン交換樹脂が収容されたイオン交換塔（ボンベ）によって構成できる。例えば、イオン交換手段１４として、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混合された状態で充填されたイオン交換塔によって構成される、混床式イオン交換手段（混床式イオン交換ユニット）を用いることができる。また、イオン交換手段１４として、カチオン交換樹脂が充填されたイオン交換塔と、アニオン交換樹脂が充填されたイオン交換塔とが直列に接続された、多床式イオン交換手段（多床式イオン交換ユニット）を用いることもできる。

流路１６（電気再生式イオン交換手段１０とイオン交換手段１４との間）にはバルブ２０が設けられており、流路１８（イオン交換手段１４と廃液貯留タンク４との間）にはバルブ２２が設けられている。バルブ２０は、電気再生式イオン交換手段１０からイオン交換手段１４への濃縮水６４の供給の有無、及び供給量を制御する。また、バルブ２２は、イオン交換手段１４から廃液貯留タンク４への濃縮水６４の供給の有無、及び供給量を制御する。

また、加工廃液処理装置２には、一端側が流路１６に接続され、他端側が流路１８に接続された流路（流水路）２４が設けられている。この流路２４は、イオン交換手段１４をバイパスして流路１６と流路１８とを接続するバイパス流路である。また、流路２４には、流路１６から流路１８への濃縮水６４の供給の有無、及び供給量を制御するバルブ２６が設けられている。ただし、流路２４及びバルブ２６は省略することもできる。

さらに、加工廃液処理装置２には、一端側が電気再生式イオン交換手段１０に接続され、他端側が廃液貯留タンク４に接続された流路（流水路）２８が設けられている。すなわち、電気再生式イオン交換手段１０は流路２８を介して廃液貯留タンク４に接続されている。電気再生式イオン交換手段１０から排出された電解水６６は、流路２８を介して廃液貯留タンク４に供給され、貯留される。

流路１６，１８，２４，２８はそれぞれ、例えば金属製の配管や樹脂製のチューブによって構成される。ただし、流路１６，１８，２４，２８の構造や材質に制限はなく、濃縮水６４及び電解水６６の性質や、加工廃液処理装置２の構造、仕様等に応じて適宜選択される。

純水６２の生成及びイオン交換樹脂３６の再生が行われる際には、バルブ２０，２２が開状態、バルブ２６が閉状態となる。そして、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４が、バルブ２０を介してイオン交換手段１４に供給される。

イオン交換手段１４に供給された濃縮水６４は、イオン交換手段１４の内部に充填されたイオン交換樹脂の隙間を通過する。このとき、濃縮水６４に含まれるイオンが、イオン交換樹脂によって除去され、濃縮水６４が精製される。そして、精製された濃縮水６４は、イオン交換手段１４からバルブ２２及び流路１８を介して廃液貯留タンク４に供給される。

また、電気再生式イオン交換手段１０から排出された電解水６６は、流路２８を介して廃液貯留タンク４に供給される。そして、濃縮水６４及び電解水６６は、加工廃液の一部として廃液貯留タンク４に貯留される。これにより、濃縮水６４及び電解水６６を純水６２に生成及びイオン交換樹脂３６の再生に再利用することが可能になる。

なお、イオン交換手段１４による濃縮水６４の精製を継続すると、イオン交換手段１４が備えるイオン交換樹脂のイオン交換能力が徐々に低下し、濃縮水６４からのイオンの除去が不十分になる。そのため、イオン交換手段１４は、一定期間使用された後に交換される。

イオン交換手段１４の交換を行う際は、バルブ２０，２２を閉じた状態で、使用済みのイオン交換手段１４を取り外し、予備のイオン交換手段１４を装着する。その後、バルブ２０，２２を開くことにより、濃縮水６４の精製が再開される。このように、イオン交換手段１４の交換時にバルブ２０，２２を閉じることにより、濃縮水６４の漏出が防止される。

なお、イオン交換手段１４の交換は比較的短時間で完了するため、イオン交換手段１４の交換時には、電気再生式イオン交換手段１０から廃液貯留タンク４への濃縮水６４の供給が継続されてもよい。この場合には、バルブ２０、２２を閉じ、バルブ２６を開いた状態で、イオン交換手段１４の交換が行われる。

イオン交換手段１４の交換作業中は、濃縮水６４が流路２４を介して廃液貯留タンク４に供給される。この場合、一時的に不純物イオンの濃度が高い濃縮水６４が廃液貯留タンク４に供給されることになるが、イオン交換手段１４の交換作業に要する時間は短いため、純水６２の生成やイオン交換樹脂３６の再生に支障が出るほど廃液貯留タンク４に不純物イオンが混入することはない。

さらに、流路２４には、予備のイオン交換手段が接続されていてもよい。例えば、図１に示す流路２４には、予備のイオン交換手段と、一対のバルブとが設けられていてもよい。なお、一対のバルブは、予備のイオン交換手段を挟むように設けられる（イオン交換手段１４、バルブ２０，２２と同様）。

流路２４に予備のイオン交換手段が接続されている場合は、イオン交換手段１４を取り外す際に、バルブ２０，２２を閉状態とするとともに、予備のイオン交換手段を挟む一対のバルブを開く。これにより、イオン交換手段１４からイオン交換塔が取り外されている間、予備のイオン交換手段によって濃縮水６４が精製される。

加工廃液処理装置２から取り外されたイオン交換手段１４が備える使用済みイオン交換樹脂には、再生処理が施される。具体的には、イオン交換樹脂を収容するイオン交換塔に薬液が注入され、イオン交換樹脂が再生される。例えば、カチオン交換樹脂を再生する際は薬液として塩酸等が用いられ、アニオン交換樹脂を再生する際は薬液として水酸化ナトリウム水溶液等が用いられる。

以上の通り、本実施形態に係る加工廃液処理装置２では、電気再生式イオン交換手段１０を加工廃液処理装置２から取り外すことなく、イオン交換樹脂３６の再生処理を実施できる。そのため、イオン交換樹脂３６の再生処理時、電気再生式イオン交換手段１０の交換作業によって純水６２の生成が中断されることがなく、加工装置への純水６２の供給を継続できる。これにより、イオン交換樹脂３６の再生処理のために加工装置の稼働が停止されることを回避でき、加工効率の低下が抑制される。

また、加工廃液処理装置２は、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４からイオンを除去するイオン交換手段１４を備える。そして、イオン交換手段１４によってイオンが除去された濃縮水６４が廃液貯留タンク４に供給されるとともに、電気再生式イオン交換手段１０から排出された電解水６６が廃液貯留タンク４に供給される。これにより、電気再生式イオン交換手段１０から排出された濃縮水６４及び電解水６６を、純水６２の生成及びイオン交換樹脂３６の再生に再利用することが可能となる。

なお、本実施形態に係る加工廃液処理装置２は、加工廃液処理装置２が接続される加工装置の近傍に設置されることが好ましい。加工廃液処理装置２と加工装置とが離れて設置されると、電気再生式イオン交換手段１０によって生成され温度調節手段１２によって温度が調整された純水６２が、長い流路を介して加工装置に供給されることになる。その結果、純水が加工廃液処理装置２から加工装置に供給される間に、純水６２の純度の低下や純水６２の温度の変動が生じる恐れがある。そのため、加工廃液処理装置２は、例えば加工装置に隣接して設けられる。

ただし、加工廃液処理装置２に含まれるイオン交換手段１４は、濃縮水６４の再利用に用いられるものであり、純水６２の生成に直接的に用いられる構成要素ではない。そのため、イオン交換手段１４は必ずしも加工装置の近傍に設置する必要はない。

例えば、加工装置がクリーンルーム内に設置される場合には、イオン交換手段１４をクレーンルームの外に配置しつつ、加工廃液処理装置２の他の構成要素をクリーンルーム内に配置してもよい。この場合、イオン交換手段１４に接続された流路１６，１８は、クリーンルームの内部と外部とを接続するように配置される。

イオン交換手段１４がクリーンルームの外に設置されていると、イオン交換樹脂の再生のためにイオン交換手段１４を交換する際、イオン交換手段１４をクリーンルーム内に持ち込む必要がない。これにより、イオン交換手段１４の念入りな洗浄が不要になり、イオン交換手段１４の交換に要する手間と時間を削減できる。

また、加工廃液処理装置２では、電気再生式イオン交換手段１０から排出される廃液（濃縮水６４、電解水６６）が全て純水６２の生成に再利用されるため、加工廃液処理装置２の外部に排出されて処分される廃液が生じない（フルクローズシステム）。そのため、加工廃液処理装置２には、廃液を加工廃液処理装置２の外部に排出するための流路（排出路）を設ける必要がない。ただし、加工廃液処理装置２のメンテナンス等など、加工廃液処理装置２内の水を全て排出する場合に備えて、例えば廃液貯留タンク４に接続された排出路が設けられていてもよい。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 加工廃液処理装置
４ 廃液貯留タンク
６ 廃液供給ポンプ
８ 廃液濾過手段（廃液濾過ユニット）
１０ 電気再生式イオン交換手段（電気再生式イオン交換ユニット）
１２ 温度調節手段（温度調節ユニット）
１４ イオン交換手段（イオン交換ユニット）
１６，１８ 流路（流水路）
２０，２２ バルブ
２４ 流路（流水路）
２６ バルブ
２８ 流路（流水路）
３０ 陽極
３２ 陰極
３４ 脱塩室（精製室）
３６ イオン交換樹脂
３８ カチオン膜
４０ アニオン膜
４２ セル
４４ カチオン膜
４６ アニオン膜
４８ 濃縮室
５０ 電極室
５２ カチオン
５４ アニオン
６０ 加工廃液
６２ 純水
６４ 濃縮水
６６ 電解水

Claims (2)

1. 加工装置に接続され、該加工装置から排出された加工廃液を処理する加工廃液処理装置であって、
   該加工廃液を貯留する廃液貯留タンクと、
   該廃液貯留タンクから供給された該加工廃液を濾過する廃液濾過手段と、
   該廃液濾過手段によって濾過された該加工廃液からイオンをイオン交換樹脂によって除去して純水を生成するとともに、該イオン交換樹脂を電気透析によって再生する電気再生式イオン交換手段と、
   該電気再生式イオン交換手段によって該加工廃液から除去されたイオンが濃縮され該電気再生式イオン交換手段から排出された濃縮水から、イオンを除去するイオン交換手段と、
   該イオン交換手段によってイオンが除去された該濃縮水を該廃液貯留タンクに供給するための第１流路と、
   該電気再生式イオン交換手段から排出された電解水を該廃液貯留タンクに供給するための第２流路と、を備えることを特徴とする加工廃液処理装置。
2. 該電気再生式イオン交換手段と該イオン交換手段との間、及び、該第１流路に設けられたバルブを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の加工廃液処理装置。

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