JP2019176070A - ガス溶解水供給システム - Google Patents
ガス溶解水供給システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019176070A JP2019176070A JP2018064682A JP2018064682A JP2019176070A JP 2019176070 A JP2019176070 A JP 2019176070A JP 2018064682 A JP2018064682 A JP 2018064682A JP 2018064682 A JP2018064682 A JP 2018064682A JP 2019176070 A JP2019176070 A JP 2019176070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- water
- dissolved
- treated
- dissolving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 185
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 80
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 claims abstract description 62
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 117
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 27
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical group C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims description 21
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 claims description 13
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 12
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical compound OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 claims description 8
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 4
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 36
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 25
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 15
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 12
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002101 nanobubble Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 3
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 description 3
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 2
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 229940023913 cation exchange resins Drugs 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- -1 is used Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態のガス溶解水供給システムの構成について説明する。図1は、本実施形態のガス溶解水供給システムを模式的に示すブロック図である。本実施形態のガス溶解水供給システム1は、被処理水(純水または超純水)にガスを溶解させたガス溶解水(機能水)を、例えば半導体ウエハの洗浄を行うために供給するシステムである。このガス溶解水供給システム1は、原料水である一次純水を貯留する貯槽2と、熱交換器6と、脱気装置7と、紫外線(UV)照射装置8と、イオン交換装置3と、ガス溶解装置4と、混合装置13と、限外ろ過膜装置5が、この順番に配置されて直列に接続されている。熱交換器6は、主に、ガス溶解水が所望の処理(例えば半導体ウエハの洗浄)に用いられる際に適した温度になるように、原料水の温度を予め調節する装置である。脱気装置7は、例えば酸化防止のために原料水中の気体(特に酸素)を除去する装置である。脱気装置7としては真空脱気装置や膜脱気装置などが採用されており、溶存酸素(DO)を例えば50ppb未満まで減少させる。紫外線照射装置8は、紫外線によって殺菌を行う装置である。
図2には、ガスが溶解されていない被処理水(純水または超純水)を用いる処理と、ガス溶解水を用いる処理とを並行して行うことができる、本発明の第2の実施形態のガス溶解水供給システム14が示されている。第1の実施形態の溶解水供給システム1と同様な部分については、同一の符号を付与する。本実施形態のガス溶解水供給システム14では、原料水である一次純水を貯留する貯槽2から、熱交換器6、脱気装置7、紫外線照射装置8、イオン交換装置3、限外ろ過膜装置5が、この順番に配置されて直列に接続されている。この経路には、ガス溶解装置および混合装置は含まれていない。すなわち、ガスが溶解されていない被処理水を供給する供給経路17が、第1の限外ろ過膜装置5に接続されており、第1の限外ろ過膜装置5は、供給経路17から供給されたガスが溶解されていない被処理水中の微粒子を除去する。そして、第1の限外ろ過膜装置5で処理された被処理水(純水または超純水)の一部は、供給部10からユースポイント15(ガスを含まない純水または超純水を用いる処理を行う部位)に供給される。第1の限外ろ過膜装置5で処理された被処理水(純水または超純水)の残りの部分は、圧力調整弁11を介して貯層2に戻される。
図1に示したシステムで、容器内にイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製EG−4A−HG:商品名)が充填された構成の混合装置13がガス溶解装置4と限外ろ過膜装置5の間に配置されている構成(実施例)と、混合装置が設けられていない構成(図示しない比較例)とにおける限外ろ過膜装置5の入口圧、透過圧、濃縮圧、透過流量を測定し、差圧および透過流束(フラックス)の経時的な変化を求めた。混合装置13の樹脂量は70Lであり、混合装置を通過する流量は4.9m3/h、空間速度SVは70/hである。差圧とは、限外ろ過膜装置の一次側と二次側における液体の圧力の差であり、差圧=(入口圧+濃縮圧)/2−透過圧である。図3では初期差圧を100%として、経時的な差圧の変動を百分率で表している(初期差圧維持率)。透過流束(フラックス)とは、限外ろ過膜装置を透過する透過水量(ガス溶解水供給システムを1日(24時間)稼働した時の総透過水量)を限外ろ過膜装置の膜面積および差圧で割った値であり、フラックス=1日あたりの透過水量/(膜面積×差圧)である。図4では初期状態のフラックスを100%として、経時的なフラックスの変動を百分率で表している(初期フラックス維持率)。
2 貯槽
3 イオン交換装置
4 ガス溶解装置
5 限外ろ過膜装置(第1および第2の限外ろ過膜装置)
6 熱交換器
7 脱気装置
8 紫外線照射装置
9 循環経路
10 供給部
11 圧力調整弁
12 ユースポイント
13 混合装置
14 ガス溶解水供給システム
15 ユースポイント
16 補給量調節弁
17 供給経路
18 分岐経路
Claims (7)
- 被処理水にガスを溶解させたガス溶解水を供給するガス溶解水供給システムであって、
前記被処理水にガスを溶解させるガス溶解装置と、前記ガス溶解装置によりガスを溶解させた前記被処理水中の微粒子を除去する限外ろ過膜装置と、前記ガス溶解装置と前記限外ろ過膜装置との間に位置して前記ガス溶解装置によりガスを溶解させた前記被処理水中にバブルとして存在するガスを前記被処理水に溶け込ませる混合装置と、を有することを特徴とする、ガス溶解水供給システム。 - 前記混合装置は、容器内に充填された充填材を含むことを特徴とする、請求項1に記載のガス溶解水供給システム。
- 前記充填材はイオン交換樹脂であることを特徴とする、請求項2に記載のガス溶解水供給システム。
- 前記イオン交換樹脂は、H形陽イオン交換樹脂とOH形陰イオン樹脂の混床樹脂、非再生型のH形陽イオン交換樹脂と炭酸又は炭酸水素形(HCO3/CO3形)陰イオン樹脂の混床樹脂、H形陽イオン交換樹脂の単床樹脂、あるいは、炭酸又は炭酸水素形陰イオン交換樹脂の単床樹脂であることを特徴とする、請求項3に記載のガス溶解水供給システム。
- 前記ガス溶解装置の上流側にイオン交換装置をさらに有することを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載のガス溶解水供給システム。
- 前記ガスは炭酸ガス、窒素ガス、水素ガス及びオゾンガスの少なくともいずれかである、請求項1から5のいずれかに記載のガス溶解水供給システム。
- 被処理水にガスを溶解させたガス溶解水を供給するガス溶解水供給方法であって、
前記被処理水にガスを溶解させる工程と、前記ガスを溶解させる工程においてガスを溶解させた前記被処理水中にバブルとして存在するガスを前記被処理水に溶け込ませる工程と、ガスを溶解させ、バブルとして存在するガスを溶け込ませた前記被処理水中の微粒子を除去する工程とを含むことを特徴とする、ガス溶解水供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018064682A JP7079130B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | ガス溶解水供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018064682A JP7079130B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | ガス溶解水供給システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019176070A true JP2019176070A (ja) | 2019-10-10 |
JP7079130B2 JP7079130B2 (ja) | 2022-06-01 |
Family
ID=68167548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018064682A Active JP7079130B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | ガス溶解水供給システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7079130B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022175837A (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-25 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法及び装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000271549A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Kurita Water Ind Ltd | ガス溶解水供給装置 |
JP2003205299A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Japan Organo Co Ltd | 水素溶解水製造装置 |
JP2008086879A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置および方法 |
JP2015150529A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | オルガノ株式会社 | 水素溶解水製造装置及び純水製造システム |
-
2018
- 2018-03-29 JP JP2018064682A patent/JP7079130B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000271549A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Kurita Water Ind Ltd | ガス溶解水供給装置 |
JP2003205299A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Japan Organo Co Ltd | 水素溶解水製造装置 |
JP2008086879A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置および方法 |
JP2015150529A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | オルガノ株式会社 | 水素溶解水製造装置及び純水製造システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022175837A (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-25 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7079130B2 (ja) | 2022-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI421132B (zh) | 溶解氣體洗淨水之製法、製造裝置及洗淨裝置 | |
JPH0647105B2 (ja) | 純水又は超純水の精製方法及び装置 | |
JP2013215679A (ja) | 超純水製造装置 | |
US20110070811A1 (en) | Point of use recycling system for cmp slurry | |
CN109562964B (zh) | 超纯水生产设备 | |
WO2000064568A1 (fr) | Appareil de production d'eau contenant de l'ozone dissous | |
KR20110132458A (ko) | 화학기계적 폴리싱 슬러리의 소요지 재생 시스템 | |
JP5441714B2 (ja) | 純水の製造方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 | |
JP5320665B2 (ja) | 超純水製造装置および方法 | |
JP2014168743A (ja) | 純水製造方法 | |
JP7079130B2 (ja) | ガス溶解水供給システム | |
JP7125850B2 (ja) | ガス溶解水供給システムおよびガス溶解水供給方法 | |
JP3734207B2 (ja) | オゾン水製造方法 | |
JP6722552B2 (ja) | 非再生型イオン交換樹脂の洗浄装置及び超純水製造システム | |
JP4119040B2 (ja) | 機能水製造方法及び装置 | |
JP6924300B1 (ja) | 排水処理方法、超純水製造方法及び排水処理装置 | |
JP7368310B2 (ja) | ホウ素除去装置及びホウ素除去方法、並びに、純水製造装置及び純水の製造方法 | |
JP2003145148A (ja) | 超純水供給装置及び超純水供給方法 | |
JP3928484B2 (ja) | 機能水の回収方法 | |
JP2009274021A (ja) | 中空糸膜モジュールの洗浄方法および中空糸膜ろ過装置 | |
JP2002001069A (ja) | 純水製造方法 | |
JP7109505B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP7236313B2 (ja) | 膜脱気装置の洗浄方法及び超純水製造システム | |
JP2003010849A (ja) | 二次純水製造装置 | |
JP7205576B1 (ja) | 純水製造システムの運転方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7079130 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |