JP2022175837A - 超純水製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、純水をUV酸化装置に通した後、イオン交換装置に通水し、その後サブシステムに通水して超純水を製造する方法及び装置において、このUV酸化装置における有機物の分解効率を高くすることができる超純水製造方法及び装置を提供することを課題とする。
(a) 多床型イオン交換装置+RO装置
(b) RO装置+高純度型イオン交換装置
(c) RO装置+脱炭酸装置+電気脱イオン装置
などを用いることができるが、これに限定されない。なお、(b),(c)におけるRO装置は、2段式RO装置であってもよい。
図1a及び1bの構成の超純水製造装置において、原水としてTOC1mg/Lの工業用水を100m3/hで供給し、超純水を製造した。
ユースポイント32の超純水使用量が設計値100%の時:バルブ開度0.55%
同 設計値50%の時:バルブ開度1.1%
同 設計値5%の時:バルブ開度11%
実施例1において、UV酸化器11の消費電力は同じとし、DO計9の検出DOが80ppb(実施例2)、20ppb(実施例3)、10ppb(比較例1)、又は100ppb(比較例2)となるようにバルブ14を制御した結果、配管16からサブタンク17に送水される純水のTOCは、平均して次の通りとなった。
実施例3:4.1μg/L
比較例1:5.3μg/L
比較例2:6.8μg/L
図5のように、脱気膜装置7及びそのバイパスラインを省略したフローとしたこと以外は実施例1と同様にして超純水製造運転を行った。その結果、配管16からサブタンク17に送水される純水のTOCは、平均して11.1μg/Lであった。
2 前処理装置
4,4A 一次純水装置
5 純水槽
7 脱気膜
10 TOC分解ユニット
17 サブタンク
20 サブシステム
Claims (5)
- 前処理装置、一次純水装置及びサブシステムを有する超純水製造装置を用いて超純水を製造する超純水製造方法において、
一次純水装置からの一次純水の少なくとも一部を、脱気後のDO濃度が20~80ppbとなるように脱気処理した後、UV酸化器とイオン交換装置又は電気脱イオン装置とに通水し、前記サブシステムに供給することを特徴とする超純水製造方法。 - 前処理装置、一次純水装置及びサブシステムを有する超純水製造装置を用いて超純水を製造する超純水製造方法において、
前記一次純水装置では、前記前処理装置からの処理水をRO処理し、このRO処理水を、脱気後のDO濃度が20~80ppbとなるように脱気処理した後、UV酸化器とイオン交換装置又は電気脱イオン装置とに通水するように処理し、
該一次純水装置からの処理水をイオン交換装置に通水した後、前記サブシステムに供給することを特徴とする超純水製造方法。 - 前処理装置、一次純水装置及びサブシステムを有する超純水製造装置において、
一次純水装置からの一次純水の少なくとも一部を、脱気後のDO濃度が20~80ppbとなるように脱気処理する脱気手段と、
該脱気手段からの脱気処理水が通水されるUV酸化器とイオン交換装置又は電気脱イオン装置と
を備え、
該イオン交換装置又は電気脱イオン装置からの処理水が前記サブシステムに供給されることを特徴とする超純水製造装置。 - 前処理装置、一次純水装置及びサブシステムを有する超純水製造装置において、
前記一次純水装置は、
前記前処理装置からの処理水をRO処理するRO装置と、該RO装置のRO処理水を、脱気後のDO濃度が20~80ppbとなるように脱気処理する脱気手段と、
該脱気手段からの脱気処理水が通水されるUV酸化器とイオン交換装置又は電気脱イオン装置と
を備えており、
該超純水製造装置は、該一次純水装置からの処理水が通水されるイオン交換器を備えており、
該イオン交換器の処理水が前記サブシステムに供給されることを特徴とする超純水製造装置。 - 前記脱気手段は、脱気膜装置と、該脱気膜装置を迂回するバイパスラインと、該バイパスラインに設けられた流量調節用バルブと、脱気処理水のDOが20~80ppbとなるように該バルブを制御する手段とを有する請求項3又は4の超純水製造装置。
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Patent Citations (4)
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JPH10174804A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水製造装置 |
WO2018092831A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | オルガノ株式会社 | 水処理方法および装置 |
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