JP2002355683A - 超純水製造方法及び超純水製造装置 - Google Patents

超純水製造方法及び超純水製造装置

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JP2002355683A
JP2002355683A JP2001160893A JP2001160893A JP2002355683A JP 2002355683 A JP2002355683 A JP 2002355683A JP 2001160893 A JP2001160893 A JP 2001160893A JP 2001160893 A JP2001160893 A JP 2001160893A JP 2002355683 A JP2002355683 A JP 2002355683A
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Motomu Koizumi
求 小泉
Satoshi Yamada
聡 山田
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Kurita Water Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超純水の製造システムにおいて、安価にかつ
効率的なTOC除去を行う。 【解決手段】 原水を除濁装置1で除濁し、酸を添加し
てpH調整した後、膜脱気装置2の水室に導入すると共
に、気室に酸素含有ガスを供給して膜脱気する。CO
が除去され、DOを飽和状態で含有する膜脱気水をUV
酸化装置又は生物活性炭塔のTOC分解装置3でTOC
を分解除去し、更にRO膜分離装置4等で脱塩処理す
る。TOC分解装置3において、十分量のDOの存在下
効率的なTOC分解を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は超純水製造方法及び
超純水製造装置に係り、特に、水中の溶存酸素(DO)
を利用して効率的な有機物(TOC)除去を行うことが
でき、超純水の製造におけるTOC除去のためのエネル
ギーコストを大幅に低減することができる超純水製造方
法及び超純水製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体洗浄用水等として用いられ
ている超純水の製造システムとしては、工業用水、市
水、井水等の原水を、前処理システムにおいて、凝集、
加圧浮上(沈殿)、濾過(膜濾過)装置などにより処理
することにより、原水中の懸濁物質やコロイド物質、高
分子系有機物、疎水性有機物などを除去した後、膜脱気
装置、逆浸透(RO)膜分離装置及びイオン交換装置、
或いは膜脱気装置及び2段RO膜分離装置等よりなる一
次純水系システムで処理するものがある。
【0003】ここで、RO膜分離装置では、塩類を除去
すると共に、イオン性、コロイド性のTOCを除去す
る。イオン交換装置では、塩類を除去すると共にイオン
交換樹脂によって吸着又はイオン交換されるTOC成分
の除去を行う。
【0004】膜脱気装置は、疎水性の高分子気体透過膜
(脱気膜)で内部を水室と気室とに仕切り、気室を真空
ポンプ等で減圧することにより、水室に流入させた被処
理水中のガスを膜透過させて除去するものである。超純
水製造システムにおける膜脱気装置では、水中の炭酸ガ
ス(CO)及びDOを除去することにより、水質の向
上を図ると共に、後段のRO膜分離装置のスライムの発
生を抑制する。
【0005】一次純水システムの処理水は、更に低圧紫
外線(UV)酸化装置、イオン交換純水装置及び限外濾
過(UF)膜分離装置を備えるサブシステムで処理され
て超純水が製造される。
【0006】このような超純水製造システムにおいて
は、TOCをより高度に除去するために、RO膜分離装
置やイオン交換樹脂などでは除去し難い低分子量のTO
Cを分解するための、波長170μm以上の紫外線UV
を照射するUV酸化装置が、一次純水系システムに設け
られることがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、UV酸
化装置は、TOCの分解効率が低く、また、TOC分解
のための電力費が高くつくという欠点がある。
【0008】本発明は、上記従来の問題点を解決し、安
価にかつ効率的なTOC除去を行うことができる超純水
製造方法及び超純水製造装置を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の超純水製造方法
は、被処理水を除濁処理する除濁工程と、除濁処理され
た水をpH調整して水中の炭酸イオンを炭酸ガスに変換
するpH調整工程と、脱気膜により隔てられた水室及び
気室を有する膜脱気装置の該水室に、pH調整後の水を
供給すると共に、酸素含有ガスを該膜脱気装置の気室に
供給して脱炭酸を行う膜脱気工程と、膜脱気後の水の溶
存酸素を利用して該水中のTOCを分解するTOC分解
工程と、TOC分解処理水を脱塩する脱塩工程とを有す
ることを特徴とする。
【0010】本発明の超純水製造装置は、被処理水を除
濁処理する除濁手段と、除濁処理された水をpH調整し
て水中の炭酸イオンを炭酸ガスに変換するpH調整手段
と、脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱
気装置であって、水室にpH調整後の水を導入すると共
に、気室に酸素含有ガスを導入して該水の脱炭酸を行う
膜脱気装置と、膜脱気後の水の溶存酸素を利用して該水
中のTOCを分解するTOC分解手段と、TOC分解処
理水を脱塩する脱塩手段とを有することを特徴とする。
【0011】膜脱気装置において、気室に酸素含有ガス
を供給して膜脱気を行うことにより、水室に導入された
水中のDO以外のCO等のガスを膜透過させて除去
し、DOをほぼ飽和ないし過飽和状態で含有する膜脱気
水を得ることができる。
【0012】一方、例えばTOC分解装置としてのUV
酸化装置は、RO膜分離装置やイオン交換樹脂では除去
し難い低分子量のTOCを、低CO濃度でかつDOの
多い条件で効率的に分解することができる。このため、
COが除去されDOが多量に存在する膜脱気水をUV
酸化装置で処理することにより、TOCを効率的に分解
除去することが可能となる。また、波長の長いUVでも
TOCを分解することが可能となり、UV酸化装置にお
ける消費電力を大幅に低減した上で、TOCが著しく低
減された処理水を得ることができる。
【0013】また、RO膜分離装置やイオン交換樹脂で
は除去し難い低分子量のTOCは、生物活性炭により効
率的に分解除去することができるが、この生物活性炭に
よる処理においても活性炭に付着している微生物の維持
のために、DOが多い条件が好ましい。DOを多量に含
有する膜脱気水であれば、微生物に必要な酸素が十分に
供給されるため、生物活性炭による優れた分解ないし吸
着作用で、TOCを効率的に分解除去することができ
る。
【0014】このため、このようなTOC分解装置の後
段に設けられるRO膜分離装置やイオン交換樹脂塔等の
脱塩設備では、前段のTOC分解装置において高度にT
OCが除去されており、その負荷が軽減されているた
め、残留TOCを安定かつ効率的に除去することができ
る。
【0015】なお、水中の脱炭酸装置として、膜脱気装
置の他に脱炭酸塔も一般的に用いられているが、大量の
空気を必要とするという欠点がある。これに対して、膜
脱気装置は、装置の小型化が可能で、脱炭酸効率にも優
れる反面、気室を減圧するために真空ポンプ等の真空設
備を必要とし、この真空設備に要する設備コスト、稼動
コストが高い;脱気膜が汚れ易く、膜汚染により脱気効
率が低下する;汚染した脱気膜の交換のためのコストも
高い;といった問題があった。
【0016】しかしながら、本発明では、被処理水を除
濁して清浄度を高めた後膜脱気装置に通水するため、脱
気膜の汚染を抑制することができ、膜汚染による膜脱気
装置の性能低下も防止してCO除去効率を高く維持す
ることができる。
【0017】また、このように膜脱気装置のCO除去
効率を高く維持することができるため、従来の脱炭酸塔
に比べて脱炭酸に必要な酸素含有ガス量を低減した上で
効率的な脱炭酸を行うことができ、しかも、従来の膜脱
気装置のように気室の真空度を高める必要がないことか
ら、真空ポンプを省略することができ、安価に膜脱気を
行える。
【0018】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の超
純水製造方法及び超純水製造装置の実施の形態を詳細に
説明する。
【0019】図1は本発明の超純水製造装置の実施の形
態を示す系統図であり、図2は本発明に係るTOC分解
装置を示す系統図である。
【0020】本発明において、被処理水(原水)として
は、市水、工水、井水、プロセス排水の回収水或いはこ
れらの混合水が用いられる。本発明においては、このよ
うな原水を除濁装置1で除濁処理して好ましくはFI値
4以下に浄化する(図1(a)〜(c))。
【0021】なお、原水は、凝集、加圧浮上(沈殿)、
濾過(膜濾過)装置などよりなる前処理システムで処理
されたものであっても良く、原水のうち、プロセス排水
の回収水は、イオン交換装置やRO膜分離装置、TOC
除去装置で処理させた後流入させても良く、また、清浄
度の高い回収水であれば除濁装置1の後段に流入させて
も良い。
【0022】除濁装置1としては、各種の装置を採用す
ることができ、例えば、精密濾過(MF)膜分離装置や
限外濾過(UF)膜分離装置を用いることができる。特
に、孔径0.45μm以下のMF膜を用いる処理方法、
分画分子量20万以下のUF膜を用いる処理方法、原水
に有機又は無機凝集剤を添加して孔径3μm以下のMF
膜で処理する方法が好ましく、とりわけ、凝集剤を添加
してMF膜処理する方法が好適である。
【0023】除濁装置1によって、FI値を4以下とす
ることにより、膜脱気装置2の膜汚染を防止することが
できる。FI値は低い程膜汚染の防止効果が高いが、F
I値を低くするほど、除濁装置1による処理のためのコ
ストがかかる。従って、一般的には、除濁装置1によ
り、原水をFI値2〜4程度に処理するのが好ましい。
【0024】なお、FI(fouling inde
x)値は、孔径0.45μmのフィルターを用いて0.
21MPaの圧力下で濾過したときの、初期500mL
の濾過時間Tと15分後の500mL濾過時間T
ら次式により求められる値であり、水の清浄度を表す指
標である。
【0025】
【数1】
【0026】除濁装置1で処理された水は、次いで酸、
好ましくは塩酸(HCl)や硫酸(HSO)等の鉱
酸を添加して、好ましくはpH3.5〜6に調整するこ
とにより、水中の炭酸イオンをCOに変換する。この
調整後のpHが6よりも高いと、水中の炭酸成分が十分
にCOの形態とならず、後段の膜脱気装置2におい
て、良好なCO除去効率を得ることができない。な
お、pHを過度に低くすることは、後段の装置にイオン
負荷がかかり好ましくないことから、pHが3.5〜
6、好ましくは4〜5.5、特に好ましくは4.5〜
5.0となるように酸を添加する。このpH調整手段
は、酸の添加による調整手段に限定されず、カチオン交
換樹脂による調整手段であっても良い。
【0027】pH調整された水は、次いで膜脱気装置2
の水室に導入される。この膜脱気装置2の気室には酸素
含有ガス好ましくは空気を導入する。膜脱気装置2の気
室に導入する酸素含有ガスは、空気に限らず、酸素富化
空気等の空気よりも酸素含有量の多いガスでも良いが、
コストや安全性の点からは空気を用いるのが好ましい。
【0028】膜脱気装置2では、脱気膜を介して水と空
気とが接触することにより、濃度分圧の差により水中の
COが気室の気体へ移行して脱炭酸が行われ、これに
よりCO濃度の低い脱炭酸処理水を得ることができ
る。この膜脱気装置2では、気室に酸素を含有する空気
が導入されていることから、水中のDOは除去されず、
DOをほぼ飽和ないし過飽和状態で含む膜脱気水が得ら
れる。
【0029】膜脱気装置2では、気室への酸素含有ガス
供給量G(Nm/hr)と水室への水の供給流量L
(m/hr)との比G(Nm/hr)/L(m
hr)が、好ましくは2〜20となるように被処理水と
酸素含有ガス(空気)の供給量を設定する。このG/L
比が2未満では、酸素含有ガス(空気)量が少なく、脱
炭酸を十分に行うことができない。G/L比が20を超
えるような酸素含有ガス(空気)量では、脱気効果が損
なわれる。G/L比は特に3〜5の範囲とするのが好ま
しい。
【0030】膜脱気装置2の気室を減圧状態とすること
により、水中からのCO除去効果を高めることができ
るが、気室は必ずしも減圧する必要はなく、水室側の圧
力以下であれば気室は大気圧であってもよく、酸素含有
ガスの供給によって多少加圧された状態であってもよ
い。気室の空気と水室の水の流入方向は向流であっても
並流であっても良い。
【0031】なお、膜脱気装置2の脱気膜としては、通
常の膜脱気装置に用いられるポリプロピレン系、ポリウ
レタン系のものであって、中空糸型、スパイラル型、好
ましくは中空糸型の脱気膜を用いることができ、具体的
には、MJ−510(大日本インキ社製)、MHF17
04(三菱レイヨン社製)、Liqui−Cel(登録
商標)(セルガード社製)等を用いることができる。
【0032】本発明においては、このような膜脱気装置
2による膜脱気で、DOが5.0ppm以上、特に7〜
8ppmで、CO(IC)が7ppm−CO以下、
特に3〜4ppm−COの膜脱気水を得ることが好ま
しい。
【0033】膜脱気水は、次いで、TOC分解装置3で
TOCの分解除去を行う。
【0034】このTOC分解装置3としては、UV酸化
装置3A(図2(a))や、生物活性炭塔3B(図2
(c))等を用いることができる。
【0035】UV酸化装置3Aとしては、主波長170
nm以上、好ましくは180〜360nmのUVを発生
するものであれば良く、市販のものを用いることができ
る。このUV酸化装置3Aによる処理は、UVの波長や
原水の水質によっても異なるが、一般的には照射時間又
は滞留時間5〜30秒で行うのが好ましい。
【0036】COが除去され、かつDOを飽和ないし
過飽和濃度で含有する膜脱気水にUVを照射することに
より、RO膜分離装置やイオン交換樹脂では除去し難い
低分子量のTOCを効率的に分解除去することができ
る。
【0037】一方、生物活性炭塔3Bに充填する活性炭
種としては石炭系、椰子殻系等のいずれでも良く、破砕
炭、造粒炭、成形炭、クロス状、繊維状等、その形状、
種類等に特に制限はない。
【0038】生物活性炭塔3Bの活性炭充填方式は、流
動床、膨張層、固定床などのいずれでもよいが、菌体の
リークが少ないところから固定床が好ましい。生物活性
炭塔の通水方式は上向流通水であっても下向流通水であ
っても良い。活性炭当りの通水SVは特に制限はないが
10〜30hr−1程度が好ましい。
【0039】この生物活性炭塔3Bの給水の水温は15
〜35℃、pHは4〜8であることが好ましく、従っ
て、必要に応じて、生物活性炭塔の前段に熱交換器やp
H調整剤添加手段を設ける。
【0040】この生物活性炭塔3Bは予め生物が担持さ
れたものであっても良く、活性炭を充填し、膜脱気水の
通水により微生物を増殖させるものであっても良い。
【0041】生物活性炭塔3Bでは、十分量のDOの存
在下に、RO膜分離装置やイオン交換樹脂では除去し難
い低分子量のTOCを、 活性炭によるTOC吸着効果 生物膜によるTOC分解効果 活性炭内の微生物が活性炭に吸着したTOCを分解
して細孔容積を回復させる生物再生効果 の3つの機構により、効率的に分解除去することができ
る。
【0042】なお、TOC分解装置3としては、UV酸
化装置と生物活性炭塔とを併用しても良く、この場合、
図2(c)に示す如く、生物活性炭塔3B、UV酸化装
置3Aの順に直列に設置するのが好ましい。即ち、生物
活性炭塔3Bの後段のUV酸化装置3Aは、残留TOC
の除去と共に、生物活性炭塔3Bからリークした生菌を
殺菌する効果があり、後続の脱塩設備のバイオファウリ
ングを防止することができ好ましい。
【0043】このようなUV酸化装置3Aや生物活性炭
塔3Bは、RO膜分離装置やイオン交換樹脂では除去し
難い低分子量のTOCを分解除去するものであり、この
ような低分子量のTOCの膜脱気水中の含有量は、通
常、数百ppb程度であるから、膜脱気水中のDOであ
れば、UV分解や生物活性炭処理に必要な酸素を十分に
供給することができる。従って、UV酸化装置や生物活
性炭塔を2段階で設ける場合であっても、膜脱気水中に
十分量のDOが存在するため、各々の装置において、D
OがTOCの分解効率の向上に有効に作用する。
【0044】本発明においては、TOC分解装置3にお
ける十分量のDOの存在下でのTOC分解でTOC50
0ppb以下、特に300〜400ppb程度のTOC
分解処理水を得ることが好ましい。
【0045】TOC分解装置3の処理水は、次いで脱塩
設備で処理して水中の塩類や残留するTOCを除去す
る。
【0046】この脱塩設備としては特に制限はなく、R
O膜分離装置、イオン交換樹脂塔(再生型又は非再生
型)、連続再生式電気脱塩装置等を用いることができ、
これらは通常多段に設置される。例えば、第1のRO膜
分離装置4Aと第2のRO膜分離装置4Bとの組み合せ
(図1(a))、RO膜分離装置4と混床式イオン交換
樹脂塔5との組み合せ(図1(b))、或いはRO膜分
離装置4と連続再生式電気脱塩装置6との組み合せ(図
1(c))などを採用することができる。
【0047】脱塩設備として、図1(a)に示す如く、
RO膜分離装置を2段に設置する場合、TOC分解装置
3、第1のRO膜分離装置4A、及び第2のRO膜分離
装置4Bのうちの1又は2以上の給水にアルカリを添加
してpH6以上とすることで、残留COをイオン化
し、RO膜分離装置4Aにおいて、効率的に除去するこ
とができる。特に、RO膜分離装置を2段に設置する場
合、前段の第1のRO膜分離装置4Aの給水にアルカリ
を添加してpHを6以上好ましくは6.5〜7.5とし
た後、後段の第2のRO膜分離装置4Bの給水(第1の
RO膜分離装置4Aの透過水)に酸を添加してpHを
4.5〜5.5としてRO膜分離処理を行うことによ
り、第1のRO膜分離装置4Aで炭酸イオンを高度に除
去すると共に、第2のRO膜分離装置4BでNaを高度
に除去することができ、好ましい。
【0048】脱塩設備としては、図1(a)〜(c)に
示す組み合せの他、RO膜分離装置→RO膜分離装置→
イオン交換樹脂塔、RO膜分離装置→イオン交換樹脂塔
→RO膜分離装置等の組み合せを採用することも可能で
ある。
【0049】脱塩設備としてRO膜分離装置を多段に設
置したり、RO膜分離装置の後段に連続再生式電気脱塩
装置を設ける場合、後段のRO膜分離装置又は連続再生
式電気脱塩装置の濃縮水を膜脱気装置の入口側に返送し
て循環処理しても良い。
【0050】本発明においては、前段のTOC分解装置
3において、十分量のDOの存在下、低分子量のTOC
が極低濃度にまで除去されているため、後段の脱塩設備
のRO膜分離装置や連続再生式電気脱塩装置等における
TOC負荷が軽減され、残留TOCはこれらの装置で安
定かつ効率的に除去することができる。
【0051】図示は省略したが、本発明においては、真
空脱気、窒素脱気又は膜脱気等のDO等の溶存ガスを除
去する装置をこのような脱塩設備の前段又は後段に設け
るのが好ましい。
【0052】また、このようにしてTOCが除去された
水は、更に残留TOCや、RO膜やイオン交換樹脂から
流出したTOCを除去するために、通常、超純水製造シ
ステムのサブシステムに導入され、サブシステムに設け
られたUV酸化装置で残留TOCが高度に除去される。
このUV酸化装置においては、前段のTOC分解装置に
おいて、TOCが十分に除去されているため、UV照射
量は従来のサブシステムのUV酸化装置に比べて少なく
て足り、一般的には従来のサブシステムのUV酸化装置
のUV照射量に対して20〜30%の削減が可能とな
り、3〜5%の省電力化を図ることができる。
【0053】なお、この残留TOCの高度除去のための
UV酸化装置は、前述のDO除去のための装置の後段で
あれば良く、一次純水システムに設けてもサブシステム
に設けても良い。
【0054】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
【0055】実施例1 下記水質の野木町水を原水として図1に示す処理装置で
処理を行った。 [原水水質] 導伝率:16mS/m pH:7.1 TOC:950ppb(SILVERS社製TOC計に
よる測定) DO:8.7mg/L 無機炭素(IC):11mg/L
【0056】原水はUF膜分離装置(分画20,000
のポリスルフォン膜 日東電工(株)製「NTU330
6−4K」)で処理してFI値1.5〜2.0とした後
SOを添加してpH5.0に調整し、1m/h
rで膜脱気装置の水室に通水した。この膜脱気装置に
は、脱気膜としてセルガード社製4インチ脱気膜「Li
qui−Cel」1本が装填されており、気室には空気
が5Nm/hrで供給されている。
【0057】この膜脱気前段の水のガス濃度は表1に示
す通りであった。
【0058】膜脱気水は次いでUV酸化装置(日本フォ
トサイエンス社製「AZ−30」UVランプ1本型,波
長180〜270nm)で滞留時間30秒で処理した。
このUV処理前後の水のTOC濃度は表1に示す通りで
あった。
【0059】UV酸化装置の処理水は次いでRO膜分離
装置(日東電工(株)社製「ES−20」4インチ,1
本)に通水速度700L/hr,運転圧0.5MPaで
供給して処理し、透過水200L/hrと濃縮水500
L/hrを得た。RO膜分離装置の透過水は連続再生式
電気脱塩装置(栗田工業(株)製「KCDI:M−1
0」)で処理して処理水150L/hrと濃縮水50L
/hrを得た。
【0060】得られた処理水の水質を調べ、結果を表1
に示した。
【0061】比較例1 実施例1において、図2に示す如く、膜脱気装置の気室
に空気の代りにNガスを0.1Nm/hrで供給す
ると共に、気室を真空ポンプで50Torrに吸引した
こと以外は同様にして処理を行い、膜脱気前後のガス濃
度と得られた処理水の水質を調べ結果を表1に示した。
【0062】実施例2 実施例1において、UV酸化装置の代りに固定床式活性
炭塔(栗田工業(株)製粒状活性炭「WG160」を充
填)を設け、膜脱気水をSV=20hr−1で2ヶ月間
下向流通水したこと以外は同様にして処理を行い、2ヵ
月後の処理水の水質等を調べ、結果を表1に示した。な
お、2ヶ月間の通水で活性炭塔には微生物が付着し、生
物活性炭処理が行われた。
【0063】比較例2 実施例2において、比較例1と同様に膜脱気装置の気室
に空気の代りにNガスを0.1Nm/hrで供給す
ると共に、気室を真空ポンプで50Torrに吸引した
こと以外は同様にして処理を行い、処理水の水質等を調
べ、結果を表1に示した。
【0064】比較例3 比較例1において、UV酸化装置を設けず、膜脱気水を
直接RO膜分離装置に導入したこと以外は同様にして処
理を行い、処理水の水質等を調べ、結果を表1に示し
た。
【0065】
【表1】
【0066】表1より次のことが明らかである。
【0067】実施例1,2では、膜脱気水中にDOが残
留するため、DO存在下によるUV酸化又は生物活性炭
処理で、TOCが低濃度にまで除去された。
【0068】これに対して、膜脱気装置でDOも除去さ
れた比較例1,2では実施例1,2と同様のUV酸化又
は活性炭処理を行っても、TOCを十分に除去すること
はできなかった。UV酸化装置を設けなかった比較例3
と比較例1の結果を比較すると、UV酸化装置によるT
OCの低減効果は非常に小さいことから、DOが十分に
存在しない条件ではUVによるTOC分解効率が低いこ
とが分かる。また、DO不足のため、比較例2では、活
性炭塔に微生物が増殖せず、生物活性炭処理が行われな
かった。
【0069】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水製造
方法及び超純水製造装置によれば、水中のDOを利用し
てTOCを安価にかつ効率的に除去することができる。
従って、更なるTOCの低減のための後段のUV酸化装
置が不要とされるか、或いはUV酸化装置を設ける場合
であってもその運転に要する電力量を大幅に削減するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超純水製造装置の実施の形態を示す系
統図である。
【図2】本発明に係るTOC分解手段を示す系統図であ
る。
【図3】実施例1で用いた処理装置の系統図である。
【図4】比較例1で用いた処理装置の系統図である。
【符号の説明】
1 除濁装置 2 膜脱気装置 3 TOC分解装置 3A UV酸化装置 3B 生物活性炭塔 4 RO膜分離装置 4A 第1のRO膜分離装置 4B 第2のRO膜分離装置 5 混床式イオン交換樹脂塔 6 連続再生式電気脱塩装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 1/58 C02F 1/58 H 4D050 9/00 501 9/00 501G 502 502G 502J 502N 502R 502Z 503 503B 504 504A 504B 504E // C02F 1/42 1/42 B Fターム(参考) 4D006 GA03 GA06 GA07 GA32 KA12 KB01 KB04 KB11 KB13 KB17 KB22 KB25 KD08 MA01 MA04 MC23 MC53 MC62 PA01 PB04 PB05 PB64 PC02 4D011 AA16 AA17 AD03 4D025 AA04 AA09 AB16 BA08 BB02 BB04 BB07 CA03 DA01 DA03 DA04 DA05 4D037 AA03 AA11 AB11 BA18 BA23 BB05 BB07 CA03 CA04 CA07 CA08 CA12 CA14 CA15 4D038 AA01 AB24 BA04 BB03 BB07 BB08 BB13 BB16 BB17 BB18 BB19 4D050 AA05 AA13 AB07 BB01 BC09 BD06 CA03 CA06 CA07 CA08 CA09 CA10 CA13 CA16 CA17

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被処理水を除濁処理する除濁工程と、 除濁処理された水をpH調整して水中の炭酸イオンを炭
    酸ガスに変換するpH調整工程と、 脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装
    置の該水室に、pH調整後の水を供給すると共に、酸素
    含有ガスを該膜脱気装置の気室に供給して脱炭酸を行う
    膜脱気工程と、 膜脱気後の水の溶存酸素を利用して該水中のTOCを分
    解するTOC分解工程と、 TOC分解処理水を脱塩する脱塩工程とを有することを
    特徴とする超純水製造方法。
  2. 【請求項2】 被処理水を除濁処理する除濁手段と、 除濁処理された水をpH調整して水中の炭酸イオンを炭
    酸ガスに変換するpH調整手段と、 脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装
    置であって、水室にpH調整後の水を導入すると共に、
    気室に酸素含有ガスを導入して該水の脱炭酸を行う膜脱
    気装置と、 膜脱気後の水の溶存酸素を利用して該水中のTOCを分
    解するTOC分解手段と、 TOC分解処理水を脱塩する脱塩手段とを有することを
    特徴とする超純水製造装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006212484A (ja) * 2005-02-01 2006-08-17 Kurita Water Ind Ltd 純水製造方法及び装置
JP2008135769A (ja) * 2003-08-29 2008-06-12 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
JP4850703B2 (ja) * 2004-04-21 2012-01-11 パナソニック株式会社 共焦点光学系開口位置制御装置、光ヘッド装置および光情報処理装置
JP2014512951A (ja) * 2011-04-25 2014-05-29 トレヴィ システムズ インコーポレイテッド 正浸透水処理のための逆行溶解度溶質の回収
CN105565560A (zh) * 2016-03-02 2016-05-11 重庆交通大学 一种新型微污染水净化设备与工艺
CN108409058A (zh) * 2018-05-02 2018-08-17 上海城投水务(集团)有限公司制水分公司 节地型生物炭超滤膜组合水处理装置及工艺
CN109395589A (zh) * 2018-12-14 2019-03-01 江阴江化微电子材料股份有限公司 一种硫酸滤芯润湿工艺

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9025127B2 (en) 2003-08-29 2015-05-05 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP2008135769A (ja) * 2003-08-29 2008-06-12 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
US8629971B2 (en) 2003-08-29 2014-01-14 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US9581914B2 (en) 2003-08-29 2017-02-28 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US8953144B2 (en) 2003-08-29 2015-02-10 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP4850703B2 (ja) * 2004-04-21 2012-01-11 パナソニック株式会社 共焦点光学系開口位置制御装置、光ヘッド装置および光情報処理装置
JP2006212484A (ja) * 2005-02-01 2006-08-17 Kurita Water Ind Ltd 純水製造方法及び装置
US9216917B2 (en) 2011-04-25 2015-12-22 Trevi Systems Inc. Recovery of retrograde soluble solute for forward osmosis water treatment
US9676639B2 (en) 2011-04-25 2017-06-13 Trevi Systems Inc. Recovery of retrograde soluble solute for forward osmosis water treatment
JP2014512951A (ja) * 2011-04-25 2014-05-29 トレヴィ システムズ インコーポレイテッド 正浸透水処理のための逆行溶解度溶質の回収
CN105565560A (zh) * 2016-03-02 2016-05-11 重庆交通大学 一种新型微污染水净化设备与工艺
CN108409058A (zh) * 2018-05-02 2018-08-17 上海城投水务(集团)有限公司制水分公司 节地型生物炭超滤膜组合水处理装置及工艺
CN109395589A (zh) * 2018-12-14 2019-03-01 江阴江化微电子材料股份有限公司 一种硫酸滤芯润湿工艺
CN109395589B (zh) * 2018-12-14 2021-03-02 江阴江化微电子材料股份有限公司 一种硫酸滤芯润湿工艺

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