JP2018038943A - 非再生型イオン交換樹脂の洗浄装置及び超純水製造システム - Google Patents
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Description
<超純水製造システム>
本発明の一実施形態である超純水製造システムは、図1に示したように、前処理手段11と、一次処理手段12と、純水タンク13と、熱交換器14と、紫外線照射手段15と、非再生型イオン交換樹脂16A〜16Cと、限外ろ過膜(UF)17と、ユースポイント18と、洗浄装置19と、を有してなる超純水製造システム10である。以下、超純水製造システム10の各構成要素についてそれぞれ説明する。
本発明の洗浄装置においては、洗浄対象となる非再生型イオン交換樹脂の洗浄で主に溶出するTOCの分解に限定して、この分解のための洗浄紫外線照射手段19Bと、分解物除去手段19Cと、いう最低限の構成にすることで、装置の簡素化を図りつつ、十分な洗浄を行えるものとした。
本発明の超純水製造方法は、原水から前処理手段11、一次純水手段12、純水タンク13、熱交換器14、紫外線照射手段15、非再生型イオン交換樹脂16A〜16C、限外ろ過膜(UF)17、と処理して超純水を製造し、使用場所(ユースポイント)18へ供給する。この処理は、従来公知の超純水の製造方法と同様であるので詳細な説明は省略する。
Claims (6)
- 非再生型イオン交換樹脂を有する超純水製造システムの前記非再生型イオン交換樹脂を洗浄するための洗浄装置であって、
前記非再生型イオン交換樹脂を洗浄するための洗浄用純水が貯留される洗浄用純水タンクと、
前記非再生型イオン交換樹脂を前記洗浄用純水で洗浄した後の洗浄後純水に対して紫外線を照射できる洗浄用紫外線照射手段と、
紫外線を照射された前記洗浄後純水を通液したとき、前記洗浄用紫外線照射手段により生じた分解物を除去できる分解物除去手段と、
を有することを特徴とする非再生型イオン交換樹脂の洗浄装置。 - 前記分解物除去手段が、過酸化物分解樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記分解物除去手段が、パラジウム触媒とイオン交換樹脂とを組合わせてなることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記分解物除去手段に通液された前記洗浄後純水を前記洗浄用純水タンクに循環させる循環経路を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 前処理手段と、一次純水手段と、非再生型イオン交換樹脂を有する二次純水手段と、を含む超純水製造システムであって、
請求項1〜4のいずれか1項記載の洗浄装置と、
前記非再生型イオン交換樹脂と前記洗浄装置とを接続する循環流路と、
を有することを特徴とする超純水製造システム。 - 前記非再生型イオン交換樹脂は、その複数個が並列に配設されており、
並列に配設された前記非再生型イオン交換樹脂のそれぞれが、前記洗浄装置と接続する循環流路を有する請求項5に記載の超純水製造システム。
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