JP2019030839A - 再生式イオン交換装置及びその運転方法 - Google Patents
再生式イオン交換装置及びその運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019030839A JP2019030839A JP2017152781A JP2017152781A JP2019030839A JP 2019030839 A JP2019030839 A JP 2019030839A JP 2017152781 A JP2017152781 A JP 2017152781A JP 2017152781 A JP2017152781 A JP 2017152781A JP 2019030839 A JP2019030839 A JP 2019030839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion exchange
- regenerative ion
- water
- regenerative
- treated water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
【課題】 再生式イオン交換装置の後段の二次純水システム(サブシステム)の処理水中の不純物の濃度の短期変動を抑制することの可能な再生式イオン交換装置およびその運転方法を提供する。
【解決手段】 再生式イオン交換塔1の上部にはイオン交換処理を行う前処理水Wの供給管3が接続されている一方、下部にはイオン交換処理水W1の排出管4が接続されている。そして、これら供給管3及び排出管4にはそれぞれ再生薬液であるNaOH溶液供給管5と、塩酸(HCl)供給管6とがそれぞれ接続している。さらに塔本体1Aの側部には、再生廃水の排出管7が接続されている。また、排出管4には、抵抗率計8及び不揮発性の不純物の濃度を測定する蒸発残渣計9が設けられている。
【選択図】 図1
【解決手段】 再生式イオン交換塔1の上部にはイオン交換処理を行う前処理水Wの供給管3が接続されている一方、下部にはイオン交換処理水W1の排出管4が接続されている。そして、これら供給管3及び排出管4にはそれぞれ再生薬液であるNaOH溶液供給管5と、塩酸(HCl)供給管6とがそれぞれ接続している。さらに塔本体1Aの側部には、再生廃水の排出管7が接続されている。また、排出管4には、抵抗率計8及び不揮発性の不純物の濃度を測定する蒸発残渣計9が設けられている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、電子製品等を製造する過程で使用する超純水製造設備における一次純水システムに用いる再生式イオン交換装置及びその運転方法に関し、特に一次純水システムの後段のサブシステムなどに用いる非再生式イオン交換装置の処理水中の不純物濃度の短期変動を抑制可能な再生式イオン交換装置およびその運転方法に関する。
超純水製造装置は、一般的に、前処理システム、一次純水システム及び二次純水システム(サブシステム)により構成される。前処理システムは、凝集、加圧浮上(沈殿)、濾過(膜濾過)装置などにより構成され、原水中の懸濁物質やコロイド物質の除去を行う。この過程では高分子系有機物、疎水性有機物などを除去することもできる。また、一次純水システムは、基本的に逆浸透(RO)膜分離装置及び再生型イオン交換装置(混床式又は4床5塔式など)を備え、RO膜分離装置では、塩類を除去すると共に、イオン性、コロイド性のTOCを除去する。再生型イオン交換装置では、塩類を除去すると共にイオン交換樹脂によって吸着又はイオン交換されるTOC成分の除去を行う。
さらに、サブシステムは、基本的に低圧紫外線(UV)酸化装置、非再生型混床式イオン交換装置及び限外濾過(UF)膜分離装置を備え、一次純水の純度をより一層高め超純水にする。低圧UV酸化装置では、低圧紫外線ランプより出される185nmの紫外線によりTOCを有機酸、さらにはCO2にまで分解する。そして、分解により生成した有機物及びCO2は後段の非再生型混床式イオン交換装置で除去される。UF膜分離装置では、微粒子が除去され、イオン交換樹脂の流出粒子も除去される。
上述したような超純水製造装置において、一次純水システムの再生式イオン交換装置は、1塔もしくは脱気装置を含む複数の塔で構成することにより、要求される処理水の水質に応じた水処理装置とすることができ、さらに逆浸透(RO)膜装置を前段に有するのが一般的である。そして、この再生式イオン交換装置の後段には、非再生式イオン交換装置を備えた二次純水システム(サブシステム)を配することで超純水を製造することができる。
水中のイオン類を主に除去するイオン交換装置における処理水のイオン濃度は、給水のイオン濃度と処理水量(空間速度と線速度)とにより決まる。従来再生式イオン交換装置は処理水の抵抗率(もしくは電気伝導度)に閾値を設定し、再生と採水を繰り返しながら水中のイオンを除去している。このようなイオン交換装置に充填されているイオン交換樹脂は電気化学的に水中のイオン類を除去するが、その能力を発揮可能な容量が決まっているため、再生式イオン交換装置では、定期的に薬品で再生して、その能力を回生している。
再生式イオン交換装置に充填しているイオン交換樹脂を再生するには、アニオン交換樹脂の場合には水酸化ナトリウム(NaOH)などの薬品を使用するが、これらの再生薬品が再生後のイオン交換樹脂中に残り、水中のイオンを除去した後の処理水にナトリウムイオン(Na+)が検出される。
最近、このような再生式イオン交換装置の後段のサブシステム(二次純水装置)の非再生式イオン交換装置の処理水中のナトリウムイオン(Na+)などの各種イオンの濃度が変動し、その水を使って洗浄して製造した半導体製品の歩留まりに影響する、という問題があることがわかった。
そこで、このサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水中の各種イオンの濃度の変動の原因について本発明者が検討した結果、一次純水システムを構成する再生式イオン交換装置の処理水に残存するナトリウムイオン(Na+)濃度のみならず、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)、さらにはシリカ(SiO2)などの不揮発性の不純物の濃度の変動が後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の水質に影響し、その水を使って洗浄することにより製造した半導体製品の歩留まりに影響することがわかった。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、再生式イオン交換装置の後段の二次純水システム(サブシステム)の処理水中の不純物の濃度の短期変動を抑制することの可能な再生式イオン交換装置およびその運転方法を提供することを目的とする。
上記目的に鑑み、本発明は第一に再生式イオン交換塔を単独で有する再生式イオン交換装置において、該再生式イオン交換塔単独の処理水の不純物濃度を測定する蒸発残渣計を備える、再生式イオン交換装置を提供する(発明1)。
かかる発明(発明1)によれば、一次純水システムを構成する再生式イオン交換装置が再生式イオン交換塔単独の場合において、再生式イオン交換塔単独の処理水の再生時の処理水の抵抗率だけでなく、不純物濃度を測定(蒸発残渣計による測定値)し、これに基づき再生の適否を管理することにより、後段のサブシステムに流入する不純物濃度を制御することができるので、後段のサブシステムを構成する非再生式イオン交換装置の処理水の不純物濃度の短期変動を抑制することができ、かつ不純物濃度自体も低く抑えることができる。
また、本発明は第二に複数の再生式イオン交換塔と脱気装置とを含む複数の塔からなる再生式イオン交換装置において、前記複数の再生式イオン交換塔の最後段の塔の処理水の不純物濃度を測定する蒸発残渣計を備える、再生式イオン交換装置を提供する(発明2)。
かかる発明(発明2)によれば、一次純水システムを構成する再生式イオン交換装置が再生式イオン交換塔と脱気装置とを含む複数の塔からなる場合において、最後段の再生式イオン交換塔の再生時の処理水の抵抗率だけでなく、不純物濃度を測定(蒸発残渣計による測定値)し、これに基づき再生の適否を管理することにより、後段のサブシステムに流入する不純物濃度を制御することができるので、サブシステムを構成する非再生式イオン交換装置の処理水の不純物濃度の短期変動を抑制することができ、かつ不純物濃度自体も低く抑えることができる。
上記発明(発明1,2)においては、処理水の不純物濃度を測定する再生式イオン交換塔が、少なくともアニオン交換樹脂を充填したものであることが好ましい(発明3)。
かかる発明(発明3)によれば、アニオン交換樹脂を充填した再生式イオン交換塔の再生時の処理水の抵抗率だけでなく、ナトリウムイオン(Na+)、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)、さらにはシリカ(SiO2)などの不揮発性の不純物の濃度を測定し、この測定値に基づいて再生の適否を管理することで、後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の不純物濃度の短期変動を制御することができ、かつ不純物濃度自体も低く抑えることができる。特に、ナトリウム(Na)だけでなく、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、シリカ(SiO2)などのイオン交換塔からリークし易い成分について同時に検出して管理することができるので、超純水の水質を高精度で管理することが可能となる。
本発明は第三に再生式イオン交換塔を単独で有する再生式イオン交換装置の再生後の処理水の不純物濃度を蒸発残渣計により測定し、該蒸発残渣計により測定された不純物濃度に基づいて再生式イオン交換塔の再生を管理する、再生式イオン交換装置の運転方法を提供する(発明4)。
さらに、本発明は第四に複数の再生式イオン交換塔と脱気装置とを含む複数の塔からなる再生式イオン交換装置の最後段の塔の再生後の処理水の不純物濃度を蒸発残渣計により測定し、該蒸発残渣計により測定された不純物濃度に基づいて再生式イオン交換塔の再生を管理する、再生式イオン交換装置の運転方法を提供する(発明5)。
かかる発明(発明4,5)によれば、再生式イオン交換塔の再生と採水の切り替えを行いながら、再生時の処理水の抵抗率だけでなく、不純物濃度(蒸発残渣計による測定値)を測定し、これに基づき再生の適否を管理することにより後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水中にある不純物濃度の短期変動を抑制し、かつこれを低く抑えることができる。
上記発明(発明4,5)においては、処理水の不純物濃度を測定する再生式イオン交換塔が、少なくともアニオン交換樹脂を充填したものであることが好ましい(発明6)。
かかる発明(発明6)によれば、アニオン交換樹脂を充填した再生式イオン交換塔の再生時の処理水の抵抗率だけでなく、ナトリウムイオン(Na+)、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)、さらにはシリカ(SiO2)などのイオン交換塔からリークし易い不揮発性の不純物の濃度を同時に検出し、この測定値に基づいて再生の適否を管理することで、後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の不純物濃度の短期変動を制御することができ、かつ不純物濃度自体も低く抑えることができる。特に、ナトリウム(Na)だけでなく、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、シリカ(SiO2)などのイオン交換塔からリークし易い成分について同時に検出して管理することができるので、超純水の水質を高精度で管理することが可能となる。
本発明によれば、再生式イオン交換塔の採水時の処理水の適否をその抵抗率だけでなく、不純物濃度(蒸発残渣計による測定値)で管理するので、再生式イオン交換装置の後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水中にある不純物濃度の短期的変動を抑制し、かつ不純物濃度を低く抑えることができる。これにより、超純水を使って洗浄することにより製造した半導体製品の歩留まりを高く維持することができる。特に、ナトリウム(Na)だけでなく、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、シリカ(SiO2)などのイオン交換塔からリークし易い成分について同時に検出することができるので、超純水の水質を高精度で管理することが可能となる。
以下、本発明の再生式イオン交換装置の第一の実施形態について図1を参照にして詳細に説明する。
図1に示す再生式イオン交換装置は、該再生式イオン交換装置が再生式イオン交換塔単独で構成される態様である。本実施形態において、再生式イオン交換塔1は、円筒状の塔本体1A内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との混合樹脂によるイオン交換樹脂層2が配置されている。塔本体1Aの上部にはイオン交換処理を行う前処理水Wの供給管3が接続されている一方、下部にはイオン交換処理水W1の排出管4が接続されている。そして、これら供給管3及び排出管4にはそれぞれ再生薬液であるアルカリとしてのNaOH溶液供給管5と、酸としての塩酸(HCl)供給管6とがそれぞれ接続している。さらに塔本体1Aの側部には、再生廃水の排出管7が接続されている。これら供給管3、排出管4、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び再生廃水の排出管7にはそれぞれ図示しない開閉バルブが設けられている。また、排出管4には、イオン交換処理水W1の抵抗率計8及び不揮発性の不純物の濃度を測定する蒸発残渣計9が設けられている。なお、10はNaOH溶液供給管5に設けられた加熱器(プレート式熱交換器)である。
上述したような再生式イオン交換装置において、イオン交換樹脂層2を構成するカチオン交換樹脂としては、陽イオン交換基としてスルホン基を付けた強酸性カチオン交換樹脂、カルボン酸基を付けた弱酸性カチオン交換樹脂いずれも使用可能であり、PSAの溶出が少ない点でゲル型樹脂を用いるのが一般的である。また、上記のカチオン交換樹脂はジビニルベンゼンが架橋剤となって、鎖状構造が架橋されて網目構造の樹脂が形成されている。ジビニルベンゼンが多いほど鎖の分岐が多く密な構造になり、ジビニルベンゼンが少ないと分枝の少ない網目の大きい樹脂が得られる。通常の水処理に使用する樹脂は架橋度が8%程度で標準架橋樹脂と呼ばれている。これに対して、架橋度9%以上のものは高架橋度樹脂と呼ばれている。本実施形態においては、いずれも用いることができるが、標準架橋樹脂が好適である。
また、アニオン交換樹脂としては、PSAの溶出が少ない点でゲル型樹脂を用いる。スチレン−ジビニルベンゼン共重合体などを母体としたスチレン骨格にトリメチルアンモニウム基やジメチルエタノールアンモニウム基などの四級アンモニウム基を持つ強塩基性アニオン交換樹脂、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体などを母体としたスチレン骨格にまたはポリアクリル酸エステル骨格に一〜三級アミノ基を官能基として持つ弱塩基性アニオン交換樹脂のいずれも用いることができるが、強塩基性アニオン交換樹脂を好適に用いることができる。アニオン交換樹脂の交換基は、OH形であるのが好ましい。
イオン交換樹脂層2を構成する混合樹脂におけるカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との混合割合は、カチオン交換樹脂:アニオン交換樹脂が30:70〜70:30、特に30:70〜50:50とアニオン交換樹脂を多く混合するのが好ましい。
上述したような再生式イオン交換装置の運転方法について説明する。まず、採水モードでは、供給管3及び排出管4を開成し、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び排出管7を閉鎖した状態で、前処理水Wを供給管3から下向流で通水すると、前処理水Wは混合樹脂によるイオン交換樹脂層2でカチオン性成分及びアニオン性成分を除去された後、イオン交換処理水W1として排出管4より排出し、図示しないサブシステムに供給する。このときの通水条件は、通常のイオン交換による処理と同様とすることができ、イオン交換樹脂層2のイオン交換樹脂の容積に対して空間速度5〜100h−1、特に5〜50h−1とすればよい。
そして、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率が所定の値を超えたら、イオン交換樹脂層2のイオン交換能が低下してきたとみなして再生モードに切り替え、再生式イオン交換塔1内の混合樹脂の再生を行う。この再生モードでは、まず排出管4からイオン交換処理水W1を供給して供給管3から排出することで、イオン交換樹脂層2を構成する混合樹脂を逆洗する。この逆洗ではアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂のわずかな比重差によりアニオン交換樹脂が上側にカチオン交換樹脂が下側に分離する。
そうしたらNaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び再生廃水の排出管7を開成した状態で、NaOH溶液供給管5から水酸化ナトリウム水溶液を供給して上側に偏在したアニオン交換樹脂を再生し、塩酸供給管6から塩酸を供給して下側に偏在したカチオン交換樹脂を再生する。このときアニオン交換樹脂を効率よく再生するために、水酸化ナトリウム水溶液は加熱器10により30〜50℃程度に加熱することが好ましい。これらの水酸化ナトリウム水溶液及び塩酸の再生後の廃水は、再生廃水の排出管7から排出する。
続いて、供給管3及び排出管4を開成し、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び再生廃水の排出管7を閉鎖した状態で、供給管3からイオン交換処理水W1を供給して排出管4から排出することで、再生に使用した薬液(水酸化ナトリウム水溶液及び塩酸)を一過式で押し出す。ここまでの再生操作はイオン交換処理水W1の抵抗率の低下やナトリウム濃度の上昇が大きい場合には2回以上連続して行うのが好ましい。
次にイオン交換樹脂層2を構成する分離したイオン交換樹脂を混合したら、供給管3から前処理水Wを供給して排出管4から排出してイオン交換処理水W1を製造することでイオン交換樹脂の循環洗浄を行う。ここで製造されるイオン交換処理水W1はサブシステムには供給せず、該イオン交換処理水W1の蒸発残渣を蒸発残渣計9で測定する。循環洗浄が不十分であると再生に用いたNaOH溶液に起因してナトリウムイオンがイオン交換処理水W1に多く含まれるので、ナトリウムが対イオンとともに蒸発残渣となる。その他、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)なども対イオンとともに蒸発残渣となり、さらにはシリカ(SiO2)なども不揮発性の不純物として蒸発残渣となる。これらが所定の値よりも大きいと、後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の水質が低下するため、これらの蒸発残渣の濃度が所定の値以下となるまで循環洗浄を継続し、蒸発残渣の濃度が所定の値以下となった時点で再生を好適と判断し、再生作業を終了し、採水モードに戻る。このとき、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率との両方で再生の適否を判断してもよい。なお、蒸発残渣の濃度が所定の値を超える場合には循環洗浄を継続すればよい。この採水モードと再生モードを交互に繰り返すことで再生式イオン交換装置を運転することができる。
このように蒸発残渣の濃度に基づいて、アニオン交換樹脂の再生の適否を判断して、再生が好適であると判断された後イオン交換処理水W1をサブシステムに供給することにより、超純水(サブシステム処理水)の不純物濃度を所望の値にまで低く維持して安定化させることができる。
次に本発明の再生式イオン交換装置の第二の実施形態について図2を参照にして説明する。本実施形態においては、上述した第一の実施形態と同一の構成には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
図2に示す再生式イオン交換装置は、該再生式イオン交換装置が再生式イオン交換塔単独で構成される態様である。本実施形態において、再生式イオン交換塔1は、上向流で通水する方式であり、円筒状の塔本体1A内に上側からアニオン交換樹脂層2Aとカチオン交換樹脂層2Bとがそれぞれ離間して形成された2層式のイオン交換塔であり、塔本体1Aの下部にはイオン交換処理を行う前処理水Wの供給管3が接続されている一方、上部にはイオン交換処理水W1の排出管4が接続されている。そして、排出管4には再生薬液であるアルカリとしてのNaOH溶液供給管5が接続しており、塔本体1Aの側部にはNaOH再生廃水の排出管7Aが接続している。一方、塔本体1Aの側部には酸としての塩酸(HCl)供給管6が連通しており、供給管3には塩酸廃水の排出管7Bが接続している。これら供給管3、排出管4、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6、NaOH再生廃水の排出管7A及び塩酸廃水の排出管7Bには、それぞれ図示しない開閉バルブが設けられている。また、排出管4には、イオン交換処理水W1の抵抗率計8及び不揮発性の不純物の濃度を測定する蒸発残渣計9が設けられている。なお、10はNaOH溶液供給管5に設けられた加熱器(プレート式熱交換器)であり、1Bはアニオン交換樹脂層2Aを構成するアニオン交換樹脂よりも小さい孔を多数有する遮蔽板である。
上述したような再生式イオン交換装置の運転方法について説明する。まず、採水モードでは、供給管3及び排出管4を開成し、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6、NaOH再生廃水の排出管7A及び塩酸廃水の排出管7Bを閉鎖した状態で、前処理水Wを塔本体1Aの下部の供給管3から供給して上向流で通水すると、前処理水Wはカチオン交換樹脂層2Bでカチオン性成分が除去され、続いてアニオン交換樹脂層2Aでアニオン性成分を除去された後イオン交換処理水W1として排出管3より図示しないサブシステムに供給される。このときの通水条件は、通常のイオン交換による処理と同様とすることができ、イオン交換樹脂に対して空間速度5〜100h−1、特に5〜50h−1とすればよい。
そして、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率が所定の値を超えたら、再生モードに切り替え、再生式塔本体1A内のアニオン交換樹脂層2A及びカチオン交換樹脂層2Bの再生を行う。この再生はNaOH溶液供給管5、塩酸供給管6、NaOH再生廃水の排出管7A及び塩酸廃水の排出管7Bを開成した状態で、NaOH溶液供給管5から水酸化ナトリウム水溶液を供給してアニオン交換樹脂層2Aを再生し、その再生薬液をNaOH再生廃水の排出管7Aから排出する。このときアニオン交換樹脂を効率よく再生するために、水酸化ナトリウム水溶液は加熱器10により30〜50℃程度に加熱することが好ましい。一方、塔本体1Aの側部に接続した塩酸供給管6から塩酸を供給してカチオン交換樹脂層2Bを再生し、その再生薬液を塩酸廃水の排出管7Bから排出する。
続いて、NaOH溶液供給管5からイオン交換処理水W1を供給してNaOH再生廃水の排出管7Aから排出することで再生に使用したNaOH溶液を一過式で押し出す一方、塩酸供給管6からイオン交換処理水W1を供給して塩酸廃水の排出管7Bから排出することで再生に使用した塩酸を一過式で押し出す。ここまでの再生操作はイオン交換処理水W1の抵抗率の低下やナトリウム濃度の上昇が大きい場合には2回以上連続して行うのが好ましい。続いて供給管3及び排出管4を開成し、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6、NaOH再生廃水の排出管7A及び塩酸廃水の排出管7Bを閉鎖した状態で、供給管3から前処理水Wを供給して排出管4から排出してイオン交換処理水W1を製造することでイオン交換樹脂の循環洗浄を行う。
ここで製造されるイオン交換処理水W1はサブシステムには供給せず、該イオン交換処理水W1の蒸発残渣を蒸発残渣計9で測定する。循環洗浄が不十分であると再生に用いたNaOH溶液に起因してナトリウムイオンがイオン交換処理水W1に多く含まれるので、ナトリウムが対イオンとともに蒸発残渣となる。その他、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)なども対イオンとともに蒸発残渣となり、さらにはシリカ(SiO2)なども不揮発性の不純物として蒸発残渣となる。これらが所定の値よりも大きいと、後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の水質が低下するため、これらの蒸発残渣の濃度が所定の値以下となるまで循環洗浄を継続し、蒸発残渣の濃度が所定の値以下となった時点で再生を好適と判断し、再生作業を終了し、採水モードに戻る。このとき、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率との両方で再生の適否を判断してもよい。なお、蒸発残渣の濃度が所定の値を超える場合には循環洗浄を継続すればよい。この採水モードと再生モードを交互に繰り返すことで再生式イオン交換装置を運転することができる。
このように蒸発残渣の濃度に基づいて、アニオン交換樹脂の再生の適否を判断して、再生が好適であると判断された後イオン交換処理水W1をサブシステムに供給することにより、超純水(サブシステム処理水)の不純物濃度を所望の値にまで低く維持して安定化させることができる。
さらに本発明の再生式イオン交換装置の第三の実施形態について図3を参照にして詳細に説明する。
図3に示す再生式イオン交換装置は、いわゆる2床3塔式のイオン交換装置であり、該再生式イオン交換装置1は、2層型の再生式カチオン交換樹脂塔(H塔)11と、脱気装置12と、2層型の再生式アニオン交換樹脂塔(OH塔)13とを備える。H塔11の下側にはイオン交換処理を行う前処理水Wの供給管14が接続されている一方、OH塔13の上側にはイオン交換処理水W1の排出管15が接続されていて、この排出管15にはイオン交換処理水W1の抵抗率計16及び不揮発性の不純物の濃度を測定する蒸発残渣計17が設けられている。そして、H塔11の上側には酸としての塩酸(HCl)供給管18が接続しているとともにH塔11の下側の前処理水Wの供給管14に塩酸(HCl)廃水の排出管19が接続している。さらに、OH塔13の上側(排出側)には、アルカリとしてのNaOH溶液供給管20が接続しており、OH塔13の下側(供給側)にはNaOH溶液の排出管21が接続している。なお、22はNaOH溶液供給管20に設けられた加熱器(プレート式熱交換器)であり、23は脱気装置12で処理した処理水をOH塔13に供給するためのポンプである。
この2床3塔式のイオン交換装置において、H塔11は弱カチオン交換樹脂層11Aと強カチオン交換樹脂層11Bとの2層構造であり、OH塔13は弱カチオン交換樹脂層13Aと強カチオン交換樹脂層13Bとの2層構造となっている。なお、弱カチオン交換樹脂層11A及び強カチオン交換樹脂層11B、弱カチオン交換樹脂層13A及び強カチオン交換樹脂層13Bの間には、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂よりも小さい孔を多数有する遮蔽板(図示せず)が設けられている。
次に上述したような再生式イオン交換装置の運転方法について説明する。まず、採水モードでは、供給管14から前処理水Wを通水して、H塔11では弱カチオン交換樹脂層11Aで弱酸性のカチオン成分を、強カチオン交換樹脂層11Bで中性塩のカチオン成分をそれぞれ除去し、続いて脱気装置12で前処理水Wに溶存している二酸化炭素などの気体を除去し、さらにOH塔13では弱アニオン交換樹脂層13Aで弱酸性のアニオン成分を、強アニオン交換樹脂層13Bで中性塩のアニオン成分をそれぞれ除去してイオン交換処理水W1を製造することができる。このイオン交換処理水W1を必要に応じ、さらに種々の処理や微粒子を除去した後サブシステムに供給する。
そして、抵抗率計16によるイオン交換処理水W1の抵抗率が所定の値を超えたら再生モードに切り替えて、H塔11の流路を適宜開閉してH塔11に塩酸供給管18から塩酸を供給することでカチオン交換樹脂11A,11Bを再生しながら塩酸廃水の排出管19から排出する。一方、OH塔13の流路を適宜開閉してNaOH溶液供給管20からNaOH溶液を供給することでアニオン交換樹脂13A,13Bを再生しながらNaOH溶液の排出管21から排出する。このときアニオン交換樹脂13A,13Bを効率よく再生するために、水酸化ナトリウム水溶液は加熱器22により30〜50℃程度に加熱することが好ましい。
続いて塩酸供給管18からH塔11にイオン交換処理水W1を供給して塩酸廃水の排出管19から再生に使用した塩酸を一過式で押し出す一方、OH塔13の上側からイオン交換処理水W1を供給してNaOH溶液の排出管21から再生に使用したNaOH溶液を一過式で押し出す。続いて、塩酸供給管18及びNaOH溶液供給管20を閉鎖して、前処理水Wを供給管14から通水し、H塔11、脱気装置12及びOH塔13の循環洗浄を行う。ここで製造されるイオン交換処理水W1はサブシステムには供給せず、該イオン交換処理水W1の蒸発残渣を蒸発残渣計17で測定する。循環洗浄が不十分であると再生に用いたNaOH溶液に起因してナトリウムイオンがイオン交換処理水W1に多く含まれるので、ナトリウムが対イオンとともに蒸発残渣となる。その他、カリウムイオン(K+)、カルシウムイオン(Ca2+)なども対イオンとともに蒸発残渣となり、さらにはシリカ(SiO2)なども不揮発性の不純物として蒸発残渣となる。これらが所定の値よりも大きいと、後段のサブシステムの非再生式イオン交換装置の処理水の水質が低下するため、これらの蒸発残渣の濃度が所定の値以下となるまで循環洗浄を継続し、蒸発残渣の濃度が所定の値以下となった時点で再生を好適と判断し、再生作業を終了し、採水モードに戻る。このとき、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率との両方で再生の適否を判断してもよい。なお、蒸発残渣の濃度が所定の値を超える場合には循環洗浄を継続すればよい。この採水モードと再生モードを交互に繰り返すことで再生式イオン交換装置を運転することができる。
このように再生式イオン交換塔単独で構成した場合に限らず、2以上の再生式イオン交換塔の最後段の塔である再生式アニオン交換樹脂塔(OH塔)13のイオン交換処理水W1のナトリウム不純物濃度を測定する蒸発残渣計17を設けることによっても同様に蒸発残渣の濃度に基づいて、アニオン交換樹脂の再生の適否を判断して、再生が好適であると判断された後イオン交換処理水W1をサブシステムに供給することにより、超純水(サブシステム処理水)の不純物濃度を所望の値にまで低く維持して安定化させることができる。
以上、本発明について添付図面を参照して説明してきたが、本発明は上記実施形態に限らず種々の変更実施が可能である。例えば、再生式イオン交換装置の構成は上述した各実施例に限らず、種々変更可能であり、3床4塔式、4床5塔式の再生式イオン交換装置にも同様に適用可能である。また、再生式イオン交換装置の前段には逆浸透膜分離装置など汎用の水処理用のエレメントを設けることができる。また、抵抗率計によるイオン交換処理水W1の抵抗率が所定の値を超えたら再生モードに切り替えているが、所定の体積のイオン交換処理水W1を製造したら再生するように運転してもよい。さらに、抵抗率計以外で再生のタイミングを測ってもよい。さらにまた、蒸発残渣計は、再生後に限らず、採水モードにおける水質の監視にも用いることができる。
以下の具体的実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
[実施例1]
図1において、カチオン交換樹脂として三菱化学(株)製「PK228L」(ポーラス型)と、アニオン交換樹脂として三菱化学(株)製「PA312L」(ポーラス型)とをカチオン交換樹脂:アニオン交換樹脂=1:2(容積比)で混合した樹脂を充填してイオン交換樹脂層2を形成し、1塔型の再生式イオン交換装置を構成した。なお、抵抗率計8としては栗田工業(株)製「MX−3」を、蒸発残渣計9としてはFluid Measurement Technologies社製「LiquidTrack Nonvolatile Residue Monitor(Model 8000)」をそれぞれ用いた。
図1において、カチオン交換樹脂として三菱化学(株)製「PK228L」(ポーラス型)と、アニオン交換樹脂として三菱化学(株)製「PA312L」(ポーラス型)とをカチオン交換樹脂:アニオン交換樹脂=1:2(容積比)で混合した樹脂を充填してイオン交換樹脂層2を形成し、1塔型の再生式イオン交換装置を構成した。なお、抵抗率計8としては栗田工業(株)製「MX−3」を、蒸発残渣計9としてはFluid Measurement Technologies社製「LiquidTrack Nonvolatile Residue Monitor(Model 8000)」をそれぞれ用いた。
この1塔型の再生式イオン交換装置に抵抗率が18.0MΩ・cm未満の超純水を供給し、この超純水を空間速度(Space Velocity;SV)40h−1で通水して、試験用のイオン交換処理水W1とした。この試験用のイオン交換処理水W1にそれぞれ既知の濃度のNaOH(Na)、KOH(K)、Na2SiO3を単独で添加し、このイオン交換処理水W1の不揮発性不純物を蒸発残渣計9で測定した結果を図4に示す。
図4より明らかなとおり、蒸発残渣計9による蒸発残渣の検出濃度と超純水に添加したNa、K、Na2SiO3の濃度とはほぼ一致しており、Na、K、Na2SiO3について数十ng/L領域まで良好に検出でき、蒸発残渣計を管理計器として用いることにより精度の良い水質管理が可能であることがわかる。
[実施例2]
実施例1の1塔型の再生式イオン交換装置において、まず採水モードで前処理水Wをイオン交換樹脂層2の体積に対して空間速度(Space Velocity;SV)40h−1で通水してイオン交換処理水W1の抵抗率と蒸発残渣の濃度を測定した。また、このイオン交換処理水W1を後段に設けた非再生式イオン交換装置を備えたサブシステムに供給した。なお、非再生式イオン交換装置としては、カチオン交換樹脂:アニオン交換樹脂=1:1.6(容積比)で充填したものを用い、SV=80h−1で通水した。
実施例1の1塔型の再生式イオン交換装置において、まず採水モードで前処理水Wをイオン交換樹脂層2の体積に対して空間速度(Space Velocity;SV)40h−1で通水してイオン交換処理水W1の抵抗率と蒸発残渣の濃度を測定した。また、このイオン交換処理水W1を後段に設けた非再生式イオン交換装置を備えたサブシステムに供給した。なお、非再生式イオン交換装置としては、カチオン交換樹脂:アニオン交換樹脂=1:1.6(容積比)で充填したものを用い、SV=80h−1で通水した。
そして、抵抗率計8によるイオン交換処理水W1の抵抗率が18.0MΩ・cm未満となったら採水を停止し、次に再生モードに切り替えて、排出管4からイオン交換処理水W1を供給して供給管3から排出することで、イオン交換樹脂層2を構成する混合樹脂を逆洗し、アニオン交換樹脂を上側にカチオン交換樹脂を下側に分離した。
次に、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び再生廃水の排出管7を開成した状態で、NaOH溶液供給管5から4%に調製した水酸化ナトリウム水溶液を供給して上側に偏在したアニオン交換樹脂を再生し、塩酸(HCl)供給管6から5%に調製した工業用塩酸(HCl)を供給して下側に偏在したカチオン交換樹脂を再生し、これらの水酸化ナトリウム水溶液及び塩酸の再生廃水は排出管7から排出した。このときアニオン交換樹脂を効率よく再生するために、水酸化ナトリウム水溶液は加熱器10により40℃に加熱した。
続いて、供給管3及び排出管4を開成し、NaOH溶液供給管5、塩酸供給管6及び再生廃水の排出管7を閉鎖した状態で、排出管4からイオン交換処理水W1を供給して供給管3から排出することで、再生に使用した薬液(水酸化ナトリウム水溶液及び塩酸)を一過式で押し出し、続けて前処理水Wを流通してイオン交換樹脂の循環洗浄を行った。このとき処理水W1の抵抗率を抵抗率計8で計測するとともに不揮発性不純物を蒸発残渣計9で測定し、抵抗率が18.0MΩ・cm以上、かつ蒸発残渣計検出濃度が400ng/L以下になった時点で再生が完了したとして再生作業を終了した。
そして、再生式イオン交換装置を再度採水モードに切り替えて、再生式イオン交換装置に前処理水Wを流通させて採水を再開し、イオン交換処理水W1を後段に設けた非再生式イオン交換装置を備えたサブシステムに供給した。そして、イオン交換処理水W1の処理水の抵抗率計8による抵抗率が18.0MΩ・cm未満となったら採水を停止し、再度の再生・採水する操作を同様に8回繰り返し、この間、再生時のイオン交換処理水W1の水質を蒸発残渣計9により継続して計測したところ、イオン交換処理水W1の不揮発性不純物濃度(蒸発残渣計9による蒸発残渣の検出濃度)を500ng/L以下でかつその変動幅を小さく制御することができた。
1 再生式イオン交換塔
2 イオン交換樹脂層
2A アニオン交換樹脂層
2B カチオン交換樹脂層
8,16 抵抗率計
9,17 蒸発残渣計
W 前処理水
W1 イオン交換処理水
2 イオン交換樹脂層
2A アニオン交換樹脂層
2B カチオン交換樹脂層
8,16 抵抗率計
9,17 蒸発残渣計
W 前処理水
W1 イオン交換処理水
Claims (6)
- 再生式イオン交換塔を単独で有する再生式イオン交換装置において、該再生式イオン交換塔単独の処理水の不純物濃度を測定する蒸発残渣計を備える、再生式イオン交換装置。
- 複数の再生式イオン交換塔と脱気装置とを含む複数の塔からなる再生式イオン交換装置において、前記複数の再生式イオン交換塔の最後段の塔の処理水の不純物濃度を測定する蒸発残渣計を備える、再生式イオン交換装置。
- 処理水の不純物濃度を測定する再生式イオン交換塔が、少なくともアニオン交換樹脂を充填したものである、請求項1又は2に記載の再生式イオン交換装置。
- 再生式イオン交換塔を単独で有する再生式イオン交換装置の再生後の処理水の不純物濃度を蒸発残渣計により測定し、該蒸発残渣計により測定された不純物濃度に基づいて再生式イオン交換塔の再生を管理する、再生式イオン交換装置の運転方法。
- 複数の再生式イオン交換塔と脱気装置とを含む複数の塔からなる再生式イオン交換装置の最後段の塔の再生後の処理水の不純物濃度を蒸発残渣計により測定し、該蒸発残渣計により測定された不純物濃度に基づいて再生式イオン交換塔の再生を管理する、再生式イオン交換装置の運転方法。
- 処理水の不純物濃度を測定する再生式イオン交換塔が、少なくともアニオン交換樹脂を充填したものである、請求項4又は5に記載の再生式イオン交換装置の運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017152781A JP2019030839A (ja) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | 再生式イオン交換装置及びその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017152781A JP2019030839A (ja) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | 再生式イオン交換装置及びその運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019030839A true JP2019030839A (ja) | 2019-02-28 |
Family
ID=65522777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017152781A Pending JP2019030839A (ja) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | 再生式イオン交換装置及びその運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019030839A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110790343A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-02-14 | 师宗煤焦化工有限公司 | 一种节水减排的混床再生方法 |
-
2017
- 2017-08-07 JP JP2017152781A patent/JP2019030839A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110790343A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-02-14 | 师宗煤焦化工有限公司 | 一种节水减排的混床再生方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9044747B2 (en) | Method of regenerating ion exchange resins | |
JP3200301B2 (ja) | 純水又は超純水の製造方法及び製造装置 | |
JP5081690B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
WO2019244443A1 (ja) | 被処理水中のホウ素除去方法、ホウ素除去システム、超純水製造システム及びホウ素濃度の測定方法 | |
WO2018037870A1 (ja) | 再生式イオン交換装置及びその運転方法 | |
TWI391331B (zh) | 純水製造裝置 | |
JP6907514B2 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
JP5441714B2 (ja) | 純水の製造方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 | |
JP5499433B2 (ja) | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 | |
JP6722552B2 (ja) | 非再生型イオン交換樹脂の洗浄装置及び超純水製造システム | |
JP2019030839A (ja) | 再生式イオン交換装置及びその運転方法 | |
JP5320723B2 (ja) | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 | |
JP2013193004A (ja) | 純水製造方法 | |
JP2009240943A (ja) | イオン交換樹脂のコンディショニング方法 | |
JP2009281874A (ja) | 復水脱塩方法及び復水脱塩装置 | |
JP6337933B2 (ja) | 水質管理システム及び水質管理システムの運転方法 | |
JP5413587B2 (ja) | イオン交換樹脂精製装置用の超純水製造方法及び製造装置 | |
CN112759031A (zh) | 一种超纯水的处理工艺及系统 | |
JPH1157420A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法 | |
JPH08238478A (ja) | ほう素を除去した純水又は超純水の製造方法及び装置 | |
US20070144974A1 (en) | Method of reducing trace organic matter in ultrapure water and system therefor | |
JP7305960B2 (ja) | 超純水製造装置の運転方法 | |
JP2005296748A (ja) | 復水脱塩装置とその再生方法 | |
JP2005296749A (ja) | 復水脱塩処理方法と装置及びその充填層の形成方法 | |
JP2017189723A (ja) | 超純水製造装置 |