JP5499433B2 - 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 - Google Patents
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Description
ただし、アニオン交換樹脂のナトリウム溶出量の測定方法は、次の通りである。
アニオン交換樹脂を超純水で洗浄した後、その100mLをポリプロピレン製容器に採取し、高純度塩酸(4%)500mLを添加して振とう(5ストローク/秒)で1時間振とうさせた後、塩酸中の金属濃度を誘導結合プラズマ質量分析法(ICPMS)により測定する。
本発明では、上記の通り超純水製造装置の最後段の混床式脱イオン装置のアニオン交換樹脂として、カチオン溶出量が規定値以下、好ましくは100μg/L−アニオン交換樹脂(湿潤状態)以下、特に好ましくは50μg/L−アニオン交換樹脂(湿潤状態)以下のものを用いる。このカチオン溶出量の測定及び評価の方法は次の通りである。
市販のアニオン交換樹脂A〜Fについて超純水で洗浄した後、それぞれ100mLを清浄なポリプロピレン製容器に採取した。これに、高純度塩酸(4%)500mLを添加して振とう(5ストローク/秒)で1時間振とうさせた後、塩酸中の金属濃度を誘導結合プラズマ質量分析法(ICPMS)により測定した。
各アニオン交換樹脂について超純水で洗浄した後、500mLを量り取り、H形転換率が99.95%以上のカチオン交換樹脂500mLと混合して、アクリル製カラム(直径40mm、高さ800mm)に充填して混床式脱イオン装置を作製した。
2 一次純水システム
3 サブシステム
16 混床式脱イオン装置
Claims (4)
- カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを備えた混床式脱イオン装置を最後段の脱イオン装置として設置した超純水製造装置において、該アニオン交換樹脂として、ナトリウム溶出量が40μg/L−アニオン交換樹脂(湿潤状態)以下であるアニオン交換樹脂を用い、該カチオン交換樹脂としてH型転換率が99.95%以上のものを用いたことを特徴とする超純水製造装置。
ただし、アニオン交換樹脂のナトリウム溶出量の測定方法は、次の通りである。
アニオン交換樹脂を超純水で洗浄した後、その100mLをポリプロピレン製容器に採取し、高純度塩酸(4%)500mLを添加して振とう(5ストローク/秒)で1時間振とうさせた後、塩酸中の金属濃度を誘導結合プラズマ質量分析法(ICPMS)により測定する。 - 請求項1に記載の超純水製造装置を用いた超純水製造方法。
- 請求項1に記載の超純水製造装置により製造された超純水を用いて電子部品部材類を洗浄することを特徴とする電子部品部材類の洗浄方法。
- 請求項1に記載の超純水製造装置を洗浄用水製造装置として備えたことを特徴とする電子部品部材類の洗浄装置。
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