JPH0686976A - 超純水の製造法 - Google Patents
超純水の製造法Info
- Publication number
- JPH0686976A JPH0686976A JP23928792A JP23928792A JPH0686976A JP H0686976 A JPH0686976 A JP H0686976A JP 23928792 A JP23928792 A JP 23928792A JP 23928792 A JP23928792 A JP 23928792A JP H0686976 A JPH0686976 A JP H0686976A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exchange resin
- ion exchange
- mixed bed
- pure water
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 二次純水製造工程における非再生混床式イオ
ン交換装置からリークするＮａ+ イオンを低減し、高純
度の超純水を安定かつ効率的に製造する。 【構成】 一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基
性アニオン交換樹脂の混床２３に通した後、強酸性カチ
オン交換樹脂の単床２２に通す。 【効果】 前段の混床のイオン交換樹脂の再生不良によ
るＲ−Ｎａの加水分解でリークするＮａ+ イオンや混床
のイオン交換樹脂の再生後の洗浄不足によりリークする
ＮａＯＨが、混床の後段に設けられた強酸性カチオン交
換樹脂の単床におけるイオン交換で除去される。このた
め、Ｎａ濃度１０ｐｐｔ以下といった高水質の純水を安
定に製造することができる。
ン交換装置からリークするＮａ+ イオンを低減し、高純
度の超純水を安定かつ効率的に製造する。 【構成】 一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基
性アニオン交換樹脂の混床２３に通した後、強酸性カチ
オン交換樹脂の単床２２に通す。 【効果】 前段の混床のイオン交換樹脂の再生不良によ
るＲ−Ｎａの加水分解でリークするＮａ+ イオンや混床
のイオン交換樹脂の再生後の洗浄不足によりリークする
ＮａＯＨが、混床の後段に設けられた強酸性カチオン交
換樹脂の単床におけるイオン交換で除去される。このた
め、Ｎａ濃度１０ｐｐｔ以下といった高水質の純水を安
定に製造することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超純水の製造法に係り、
特に、一次純水を混床式イオン交換樹脂によりイオン交
換処理して超純水を製造するに当り、処理水中へのＮａ
+ イオンのリークの問題を解決して高純度の超純水を得
る方法に関する。
特に、一次純水を混床式イオン交換樹脂によりイオン交
換処理して超純水を製造するに当り、処理水中へのＮａ
+ イオンのリークの問題を解決して高純度の超純水を得
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、市水、地下水、工水等の原水から
超純水を製造する超純水製造装置は、基本的に、前処理
装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置から構成
される。このうち、前処理装置は、凝集、浮上、濾過装
置で構成される。一次純水製造装置は、２基の逆浸透膜
分離装置及び混床式イオン交換装置、或いは、イオン交
換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成され、また、二
次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、混床式イオン
交換装置及び限外濾過（ＵＦ）膜分離装置で構成され
る。
超純水を製造する超純水製造装置は、基本的に、前処理
装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置から構成
される。このうち、前処理装置は、凝集、浮上、濾過装
置で構成される。一次純水製造装置は、２基の逆浸透膜
分離装置及び混床式イオン交換装置、或いは、イオン交
換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成され、また、二
次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、混床式イオン
交換装置及び限外濾過（ＵＦ）膜分離装置で構成され
る。
【０００３】このうち、一次純水を処理する二次純水製
造装置における混床式イオン交換装置としては、非再生
混床式のものが使用されている。この装置は、ボンベ型
容器に、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混合
されて充填されたものであり、一定期間使用され、その
後、容器ごと交換して別途再生されて再使用される。
造装置における混床式イオン交換装置としては、非再生
混床式のものが使用されている。この装置は、ボンベ型
容器に、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混合
されて充填されたものであり、一定期間使用され、その
後、容器ごと交換して別途再生されて再使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の非再生混床
式イオン交換装置では、充填されているイオン交換樹脂
のロットの違いによる特性の差により、得られる処理水
中へのＮａ+ イオンのリークの問題があった。
式イオン交換装置では、充填されているイオン交換樹脂
のロットの違いによる特性の差により、得られる処理水
中へのＮａ+ イオンのリークの問題があった。
【０００５】即ち、容器内のカチオン交換樹脂及びアニ
オン交換樹脂の再生不良によりＲ（樹脂）−Ｎａの加水
分解が起こり、Ｎａ+ イオンが処理水中にリークするこ
とがある。また、再生後の洗浄不足により、ＮａＯＨの
リークの問題もある。
オン交換樹脂の再生不良によりＲ（樹脂）−Ｎａの加水
分解が起こり、Ｎａ+ イオンが処理水中にリークするこ
とがある。また、再生後の洗浄不足により、ＮａＯＨの
リークの問題もある。
【０００６】因みに、現在の非再生混床式イオン交換装
置では、交換したイオン交換装置によってはＮａ+ イオ
ンのリークが大きくなり、Ｎａ+ イオンリーク量はイオ
ン交換装置の交換の都度変動し、安定した水質の純水を
得ることが難しい。
置では、交換したイオン交換装置によってはＮａ+ イオ
ンのリークが大きくなり、Ｎａ+ イオンリーク量はイオ
ン交換装置の交換の都度変動し、安定した水質の純水を
得ることが難しい。
【０００７】しかして、Ｎａ+ イオンがリークした純水
では、半導体製造工程での使用において、ウェハのＮａ
汚染による問題が生起する。
では、半導体製造工程での使用において、ウェハのＮａ
汚染による問題が生起する。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決し、二次
純水製造工程における非再生混床式イオン交換装置から
リークするＮａ+ イオンを低減し、高純度の超純水を安
定かつ効率的に製造する方法を提供することを目的とす
る。
純水製造工程における非再生混床式イオン交換装置から
リークするＮａ+ イオンを低減し、高純度の超純水を安
定かつ効率的に製造する方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の超純水の製造
法は、一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性ア
ニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カチオン交
換樹脂の単床に通すことを特徴とする。
法は、一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性ア
ニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カチオン交
換樹脂の単床に通すことを特徴とする。
【００１０】請求項２の超純水の製造法は、請求項１の
方法において、前記混床と単床とが同一イオン交換塔内
に複層化されて形成されていることを特徴とする。
方法において、前記混床と単床とが同一イオン交換塔内
に複層化されて形成されていることを特徴とする。
【００１１】
【作用】一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性
アニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カチオン
交換樹脂の単床に通すことにより、前段の混床のイオン
交換樹脂の再生不良によるＲ−Ｎａの加水分解でリーク
するＮａ+ イオンや混床のイオン交換樹脂の再生後の洗
浄不足によりリークするＮａＯＨが、混床の後段に設け
られた強酸性カチオン交換樹脂の単床におけるイオン交
換で除去される。このため、Ｎａ濃度１０ｐｐｔ以下と
いった高水質の純水を安定に製造することができる。
アニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カチオン
交換樹脂の単床に通すことにより、前段の混床のイオン
交換樹脂の再生不良によるＲ−Ｎａの加水分解でリーク
するＮａ+ イオンや混床のイオン交換樹脂の再生後の洗
浄不足によりリークするＮａＯＨが、混床の後段に設け
られた強酸性カチオン交換樹脂の単床におけるイオン交
換で除去される。このため、Ｎａ濃度１０ｐｐｔ以下と
いった高水質の純水を安定に製造することができる。
【００１２】なお、Ｎａ+ イオン１０ｐｐｔ以下では、
ウェハのＮａ汚染は生じることはないが、２０ｐｐｔ以
上ではＮａ汚染が生じる。従って、本発明によれば、従
来のウェハのＮａ汚染の問題を確実に解消することがで
きる。
ウェハのＮａ汚染は生じることはないが、２０ｐｐｔ以
上ではＮａ汚染が生じる。従って、本発明によれば、従
来のウェハのＮａ汚染の問題を確実に解消することがで
きる。
【００１３】請求項２に従って、前記混床と単床とを同
一イオン交換塔内に複層化して形成することにより、装
置のコンパクト化、設備の簡易化が図れ、イオン交換樹
脂の交換作業等、メンテナンスが軽減される。
一イオン交換塔内に複層化して形成することにより、装
置のコンパクト化、設備の簡易化が図れ、イオン交換樹
脂の交換作業等、メンテナンスが軽減される。
【００１４】
【実施例】以下図面を参照して本発明の超純水の製造法
を詳細に説明する。
を詳細に説明する。
【００１５】図１は本発明の超純水の製造法の一実施方
法を示す系統図、図２は本発明で使用される非再生混床
式イオン交換装置の一実施例を示す断面図である。
法を示す系統図、図２は本発明で使用される非再生混床
式イオン交換装置の一実施例を示す断面図である。
【００１６】図１中、１は貯槽、Ｐはポンプ、２は低圧
紫外線酸化装置、３は非再生混床式イオン交換装置、４
はＵＦ膜分離装置である。
紫外線酸化装置、３は非再生混床式イオン交換装置、４
はＵＦ膜分離装置である。
【００１７】一次純水製造装置の処理水、即ち、一次純
水は、配管１１、貯槽１、ポンプＰを備える配管１２を
経て、まず、低圧紫外線酸化装置２に送給される。低圧
紫外線酸化装置２では、低圧紫外線ランプより出される
１８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ
2 まで分解する。低圧紫外線酸化装置２の流出水は、配
管１３より非再生混床式イオン交換装置３に送給され、
有機酸等がイオン交換により除去される。非再生混床式
イオン交換装置３の流出水は配管１４よりＵＦ膜分離装
置４に送給され、膜分離処理の濃縮水は配管１５より排
出される一方、透過水（超純水）は、配管１６よりユー
スポイントに供給され、残部は貯槽１に返送される。
水は、配管１１、貯槽１、ポンプＰを備える配管１２を
経て、まず、低圧紫外線酸化装置２に送給される。低圧
紫外線酸化装置２では、低圧紫外線ランプより出される
１８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ
2 まで分解する。低圧紫外線酸化装置２の流出水は、配
管１３より非再生混床式イオン交換装置３に送給され、
有機酸等がイオン交換により除去される。非再生混床式
イオン交換装置３の流出水は配管１４よりＵＦ膜分離装
置４に送給され、膜分離処理の濃縮水は配管１５より排
出される一方、透過水（超純水）は、配管１６よりユー
スポイントに供給され、残部は貯槽１に返送される。
【００１８】本実施例において、非再生混床式イオン交
換装置３は、図２に示す如く、ボンベ型イオン交換容器
２１内の下部に強酸性カチオン交換樹脂が充填され、強
酸性カチオン交換樹脂の単床２２が形成され、この強酸
性カチオン交換樹脂２２の上部に強酸性カチオン交換樹
脂と強塩基性アニオン交換樹脂の混床２３が形成されて
いる。イオン交換容器２１の上部には被処理水（低圧紫
外線酸化装置の流出水）の導入管２４及び処理水の排出
管２５が設けられている。この処理水の排出管２５の基
端側は混床２３の上部に設けられた分散板２６の中央の
開口から、イオン交換容器２１の底部近傍にまで延設さ
れており、その基端には集水ストレーナー２７が設けら
れている。２８はイオン交換容器２１の支持台である。
換装置３は、図２に示す如く、ボンベ型イオン交換容器
２１内の下部に強酸性カチオン交換樹脂が充填され、強
酸性カチオン交換樹脂の単床２２が形成され、この強酸
性カチオン交換樹脂２２の上部に強酸性カチオン交換樹
脂と強塩基性アニオン交換樹脂の混床２３が形成されて
いる。イオン交換容器２１の上部には被処理水（低圧紫
外線酸化装置の流出水）の導入管２４及び処理水の排出
管２５が設けられている。この処理水の排出管２５の基
端側は混床２３の上部に設けられた分散板２６の中央の
開口から、イオン交換容器２１の底部近傍にまで延設さ
れており、その基端には集水ストレーナー２７が設けら
れている。２８はイオン交換容器２１の支持台である。
【００１９】このような非再生混床式イオン交換装置３
によれば、配管１３、導入管２４を経て導入された低圧
紫外線酸化装置２の流出水は、まず、分散板２６で分散
されて強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換
樹脂の混床２３内を通過する際にイオン交換されて、含
有される有機物等が除去される。その後、強酸性カチオ
ン交換樹脂の単床２２を通過して再びイオン交換処理さ
れる。即ち、前段の混床２３においては、イオン交換の
再生不良や再生後の洗浄不足により、Ｎａ+ イオンやＮ
ａＯＨが処理水側にリークする場合があるが、リークし
たＮａ+ イオンやＮａＯＨは、この強酸性カチオン交換
樹脂の単床２２におけるイオン交換で効率的に除去され
る。強酸性カチオン交換樹脂の単床２２を通過した処理
水は、集水ストレーナー２７で集水され、排出管２５よ
り排出され、配管１４を経てＵＦ膜分離装置４に送給さ
れる。
によれば、配管１３、導入管２４を経て導入された低圧
紫外線酸化装置２の流出水は、まず、分散板２６で分散
されて強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換
樹脂の混床２３内を通過する際にイオン交換されて、含
有される有機物等が除去される。その後、強酸性カチオ
ン交換樹脂の単床２２を通過して再びイオン交換処理さ
れる。即ち、前段の混床２３においては、イオン交換の
再生不良や再生後の洗浄不足により、Ｎａ+ イオンやＮ
ａＯＨが処理水側にリークする場合があるが、リークし
たＮａ+ イオンやＮａＯＨは、この強酸性カチオン交換
樹脂の単床２２におけるイオン交換で効率的に除去され
る。強酸性カチオン交換樹脂の単床２２を通過した処理
水は、集水ストレーナー２７で集水され、排出管２５よ
り排出され、配管１４を経てＵＦ膜分離装置４に送給さ
れる。
【００２０】本発明において、強酸性カチオン交換樹脂
と強塩基性アニオン交換樹脂の混床及び強酸性カチオン
交換樹脂の単床のイオン交換樹脂充填割合等については
特に制限はないが、例えば、図２に示すボンベ型イオン
交換容器２１にイオン交換樹脂を充填する場合、次のよ
うな割合とするのが好ましい。
と強塩基性アニオン交換樹脂の混床及び強酸性カチオン
交換樹脂の単床のイオン交換樹脂充填割合等については
特に制限はないが、例えば、図２に示すボンベ型イオン
交換容器２１にイオン交換樹脂を充填する場合、次のよ
うな割合とするのが好ましい。
【００２１】ボンベ型イオン交換容器２１の下部には強
酸性カチオン交換樹脂を１５０〜４００ｍｍ高さに充填
する。更に、その上に、強酸性カチオン交換樹脂と強塩
基性アニオン交換樹脂とをイオン交換容量で等量となる
ように均一に混合した状態で容器２１の分散板２６近傍
まで２５０〜８００ｍｍの高さに充填し、混床２３及び
単床２２とで構成されるイオン交換樹脂の全充填高さを
４００〜１２００ｍｍとする。
酸性カチオン交換樹脂を１５０〜４００ｍｍ高さに充填
する。更に、その上に、強酸性カチオン交換樹脂と強塩
基性アニオン交換樹脂とをイオン交換容量で等量となる
ように均一に混合した状態で容器２１の分散板２６近傍
まで２５０〜８００ｍｍの高さに充填し、混床２３及び
単床２２とで構成されるイオン交換樹脂の全充填高さを
４００〜１２００ｍｍとする。
【００２２】単床２２に用いる強酸性カチオン交換樹脂
は、Ｒ−Ｈ形９９％以上の転換率を有し、溶出ＴＯＣ
（全有機炭素）２ｐｐｂ以下、好ましくは１ｐｐｂ以下
の高品質強酸性カチオン交換樹脂とする。高品質強酸性
カチオン交換樹脂であれば、樹脂自体からのＴＯＣ溶出
量が２ｐｐｂ以下、或いは１ｐｐｂ以下であり、また、
Ｒ−Ｈ形９９％以上のものであれば、樹脂自体からのＮ
ａ+ イオンの溶出は１０ｐｐｔ以下であり、より一層高
純度な処理水が得られる。
は、Ｒ−Ｈ形９９％以上の転換率を有し、溶出ＴＯＣ
（全有機炭素）２ｐｐｂ以下、好ましくは１ｐｐｂ以下
の高品質強酸性カチオン交換樹脂とする。高品質強酸性
カチオン交換樹脂であれば、樹脂自体からのＴＯＣ溶出
量が２ｐｐｂ以下、或いは１ｐｐｂ以下であり、また、
Ｒ−Ｈ形９９％以上のものであれば、樹脂自体からのＮ
ａ+ イオンの溶出は１０ｐｐｔ以下であり、より一層高
純度な処理水が得られる。
【００２３】また、混床２３を構成する強酸性カチオン
交換樹脂及び強塩基性アニオン交換樹脂はいずれも再生
形であり、Ｒ−Ｈ形９５％以上、好ましくは９９％以
上、或いは、Ｒ−ＯＨ形８５％以上、好ましくは９０％
以上のゲル型のものを用いる。
交換樹脂及び強塩基性アニオン交換樹脂はいずれも再生
形であり、Ｒ−Ｈ形９５％以上、好ましくは９９％以
上、或いは、Ｒ−ＯＨ形８５％以上、好ましくは９０％
以上のゲル型のものを用いる。
【００２４】なお、ボンベ型イオン交換容器２１の材質
は、接液部がポリエチレンやポリプロピレン或いはＳＵ
Ｓステンレス鋼であり、接液部が高分子材質の場合、外
部がＦＲＰで補強されたものとする。接液部を上記材質
で構成することにより、イオン交換容器からの溶出ＴＯ
Ｃも著しく低減することができる。
は、接液部がポリエチレンやポリプロピレン或いはＳＵ
Ｓステンレス鋼であり、接液部が高分子材質の場合、外
部がＦＲＰで補強されたものとする。接液部を上記材質
で構成することにより、イオン交換容器からの溶出ＴＯ
Ｃも著しく低減することができる。
【００２５】このような非再生混床式イオン交換装置は
通水速度ＳＶ＝３０ｈｒ-1以上、好ましくは５０〜１０
０ｈｒ-1で用いる。
通水速度ＳＶ＝３０ｈｒ-1以上、好ましくは５０〜１０
０ｈｒ-1で用いる。
【００２６】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げ
て、本発明をより詳細に説明する。
て、本発明をより詳細に説明する。
【００２７】実施例１ 図１，２に示す方法で一次純水の処理を行なった。な
お、ボンベ型イオン交換容器には、下部にＲ−Ｈ転換率
９９％以上、溶出ＴＯＣ ２ｐｐｂ以下の高品質強酸性
カチオン交換樹脂を１５０ｍｍ高さに充填し、その上
に、三菱化成（株）製「ダイヤイオンＳＭＮ−ＵＰ」
（強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂
を交換容量が等量となるように均一に混合したもの）を
６５０ｍｍ高さに充填し、全樹脂量を１リットルとし
た。
お、ボンベ型イオン交換容器には、下部にＲ−Ｈ転換率
９９％以上、溶出ＴＯＣ ２ｐｐｂ以下の高品質強酸性
カチオン交換樹脂を１５０ｍｍ高さに充填し、その上
に、三菱化成（株）製「ダイヤイオンＳＭＮ−ＵＰ」
（強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂
を交換容量が等量となるように均一に混合したもの）を
６５０ｍｍ高さに充填し、全樹脂量を１リットルとし
た。
【００２８】通水速度ＳＶ＝６０ｈｒ-1として、流出水
（イオン交換処理水）のＮａ+ イオンリーク量の経時変
化を調べ、結果を表１に示した。
（イオン交換処理水）のＮａ+ イオンリーク量の経時変
化を調べ、結果を表１に示した。
【００２９】比較例１ イオン交換容器に「ダイヤイオンＳＭＮ−ＵＰ」のみを
８００ｍｍ高さに１リットル充填したものを用いたこと
以外は実施例１と同様に行なって、流出水（イオン交換
処理水）のＮａ+ イオンリーク量の経時変化を調べ、結
果を表１に示した。
８００ｍｍ高さに１リットル充填したものを用いたこと
以外は実施例１と同様に行なって、流出水（イオン交換
処理水）のＮａ+ イオンリーク量の経時変化を調べ、結
果を表１に示した。
【００３０】
【表１】
【００３１】表１より、本発明の超純水の製造法によれ
ば、Ｎａ+ イオンリーク量の少ない、従って、ウェハの
Ｎａ汚染を確実に防止し得る超純水が得られることが明
らかである。
ば、Ｎａ+ イオンリーク量の少ない、従って、ウェハの
Ｎａ汚染を確実に防止し得る超純水が得られることが明
らかである。
【００３２】なお、比較例１において、用いた「ダイヤ
イオンＳＭＮ−ＵＰ」のロットによっては、Ｎａ+ イオ
ンリーク量１０ｐｐｔ以下となる場合もあるが、逆に、
３０ｐｐｔとなる場合もあり、安定した処理を行なうこ
とはできなかった。
イオンＳＭＮ−ＵＰ」のロットによっては、Ｎａ+ イオ
ンリーク量１０ｐｐｔ以下となる場合もあるが、逆に、
３０ｐｐｔとなる場合もあり、安定した処理を行なうこ
とはできなかった。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水の製
造法によれば、Ｎａ+ イオン量が例えば１０ｐｐｔ以下
と著しく低減された、極めて高純度の超純水を安定かつ
効率的に得ることが可能とされる。
造法によれば、Ｎａ+ イオン量が例えば１０ｐｐｔ以下
と著しく低減された、極めて高純度の超純水を安定かつ
効率的に得ることが可能とされる。
【００３４】従って、本発明の方法により得られる超純
水であれば、ウェハのＮａ汚染は確実に防止され、ウェ
ハの品質は著しく高められる。
水であれば、ウェハのＮａ汚染は確実に防止され、ウェ
ハの品質は著しく高められる。
【００３５】特に、請求項２の方法によれば、装置のコ
ンパクト化、設備の簡易化が図れ、また、イオン交換樹
脂の交換作業等、メンテナンスが軽減され、工業的に極
めて有利である。
ンパクト化、設備の簡易化が図れ、また、イオン交換樹
脂の交換作業等、メンテナンスが軽減され、工業的に極
めて有利である。
【図１】本発明の超純水の製造法の一実施方法を示す系
統図である。
統図である。
【図２】本発明で使用される非再生混床式イオン交換装
置の一実施例を示す断面図である。
置の一実施例を示す断面図である。
１ 貯槽 ２ 低圧紫外線酸化装置 ３ 非再生混床式イオン交換装置 ４ ＵＦ膜分離装置
Claims (2)
- 【請求項１】 一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強
塩基性アニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カ
チオン交換樹脂の単床に通すことを特徴とする超純水の
製造法。 - 【請求項２】 前記混床と単床とが同一イオン交換塔内
に複層化されて形成されている請求項１に記載の超純水
の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23928792A JPH0686976A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23928792A JPH0686976A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0686976A true JPH0686976A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=17042499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23928792A Pending JPH0686976A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0686976A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009112944A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
| JP2009112945A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
| JP2010005585A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Eastern Giken Kk | 清水液防錆処理装置 |
| JP2010099648A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-05-06 | Ryoden Koki Engineering Kk | 純水器 |
| JP2010115598A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂装置 |
| JP2011041878A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工廃液処理装置 |
| JP2011067793A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換装置 |
| CN114249468A (zh) * | 2020-09-25 | 2022-03-29 | 奥加诺株式会社 | 纯水制造装置和纯水制造方法 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP23928792A patent/JPH0686976A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009112944A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
| JP2009112945A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
| JP2010005585A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Eastern Giken Kk | 清水液防錆処理装置 |
| JP2010099648A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-05-06 | Ryoden Koki Engineering Kk | 純水器 |
| JP2010115598A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂装置 |
| JP2011041878A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工廃液処理装置 |
| JP2011067793A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換装置 |
| CN114249468A (zh) * | 2020-09-25 | 2022-03-29 | 奥加诺株式会社 | 纯水制造装置和纯水制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW387863B (en) | Water treating method and apparatus treating waste water by using ion exchange resin | |
| WO2022143014A1 (zh) | 一种硝酸钠废水资源化处理系统及方法 | |
| CN206266392U (zh) | 一种造纸污水零排放处理系统 | |
| CN110183018A (zh) | 一种分流式电镀污水零排放处理方法 | |
| JPH0686976A (ja) | 超純水の製造法 | |
| CN214571340U (zh) | 一种去离子水处理系统 | |
| JP3200314B2 (ja) | 有機物含有酸性排水処理装置 | |
| CN210825779U (zh) | 一种超纯水系统的节水系统 | |
| CN104609596B (zh) | 一种光伏酸性清洗废水回用工艺 | |
| CN207404983U (zh) | 一种涉及中水回用的锅炉补给水处理设备 | |
| JPH0899097A (ja) | 水浄化方法および装置 | |
| JPH09253638A (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPS58163406A (ja) | 液体の「ろ」過方法 | |
| JP2950621B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JP2005246126A (ja) | 純水又は超純水の製造装置及び製造方法 | |
| JP3928484B2 (ja) | 機能水の回収方法 | |
| JPS60257840A (ja) | イオン交換装置 | |
| KR101063926B1 (ko) | 복수탈염시스템 및 복수탈염방법 | |
| JPH04100589A (ja) | 水処理システムおよび水処理装置 | |
| CN206359357U (zh) | 一种催化剂污水零排放处理系统 | |
| JP3837762B2 (ja) | イオン交換樹脂の分離、再生方法 | |
| KR20200009285A (ko) | 역삼투를 이용한 폐수 재이용 방법 및 장치 | |
| CN205347002U (zh) | 一种废水回收循环装置 | |
| JPH0739870A (ja) | 純水製造方法および装置 | |
| JP2742975B2 (ja) | イオン交換装置の再生方法 |