JP2005246126A - 純水又は超純水の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原水から懸濁物質を除去する前処理手段と、この前処理手段により得られた処理水からイオン又は非イオン性物質を除去する純水処理手段とを有する純水又は超純水の製造する装置において、前処理手段1の後段に、ホウ素除去のためのホウ素選択除去性イオン交換繊維2を有し、さらにその後段に、逆浸透膜装置5等の膜装置を有することを特徴とする純水又は超純水の製造装置。
【選択図】図2
Description
図2は本発明の第1の実施形態である超純水製造装置の構成を示したブロック図である。この超純水製造装置は、原水の前処理装置1、ホウ素選択除去性イオン交換繊維装置2(ホウ素選択除去性イオン交換繊維(キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバー(登録商標)GRY) 500リットルとカチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 1000リットルを積層して充填したもの)、脱気装置3、アニオン交換樹脂装置4(アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライト A113plus) 1500リットルを充填したもの)、逆浸透膜装置5(株式会社東レ製、商品名:SUL−G20 12本使用)、真空脱気装置6、再生式混床式イオン交換装置7、紫外線照射装置8、ポリッシャー(非再生式混床式イオン交換樹脂装置)9、限外ろ過膜装置(UF)10から構成されており、原水はこの順番に処理されることとなる。
図3に示したように、実施例1のホウ素選択除去性イオン交換繊維装置2をカチオン交換樹脂装置11(カチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 1000リットルを充填したもの)に交換した以外は、実施例1と同様の構成をとる超純水の製造装置を製造した。実施例1と同様に測定点Aにおけるホウ素濃度を測定し、その結果を図6に示した。実施例1と同様に、逆浸透膜装置5の入口における、圧力並びに鉄イオン濃度及び微粒子数についても測定し、それぞれ図5、表3に示した。
図4に示したように、実施例1のホウ素選択除去性イオン交換繊維装置2をホウ素選択除去性イオン交換樹脂装置12(カチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 1000リットルとホウ素選択除去性イオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース社製、商品名:アンバーライトIRA743) 1500リットルとを積層して充填したもの)とした以外は、実施例1と同様の構成をとる超純水の製造装置を製造した。実施例1と同様に測定点Aにおけるホウ素濃度を測定し、その結果を図6に示した。また、逆浸透膜装置5の入口における、鉄イオン濃度及び微粒子数についても測定し、その結果を表3に示した。
図7に示したように、実施例1のホウ素選択除去性イオン交換繊維2の代わりに比較例2で使用したカチオン交換樹脂装置11を設置し、アニオン交換樹脂装置4の代わりにホウ素選択除去性イオン交換繊維装置13(ホウ素選択除去性イオン交換繊維(キレスト株式会社社製、商品名:キレストファイバーGRY) 500リットルとアニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライト A113plus) 1500リットルを充填したもの)を設置した。この実施例の測定点Aにおける水質は、実施例1と同様であった。
図8に示したように、比較例1の純水製造装置におけるアニオン交換樹脂装置4の直後に、ホウ素選択除去性イオン交換繊維装置14(ホウ素選択除去性イオン交換繊維(キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバーGRY) 500リットルを充填したもの)を加えて設置した場合も、測定点Aにおける水質は、実施例1と同様であった。
図9に示したように、図3に示した従来の超純水処理装置における再生式混床式イオン交換樹脂装置7の代わりに、再生式混床式イオン交換樹脂装置15(アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライト A113plus) 250リットルとカチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 130リットルに、さらにホウ素選択除去性イオン交換繊維(キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバーGRY) 400リットルを混合して充填したもの)を用いて超純水製造装置を製造した。実施例1と同条件で超純水製造装置に通水を行ったときの測定点Bにおけるホウ素濃度を測定し、その結果を図11に示した。
図3に示した従来の超純水処理装置における再生式混床式イオン交換装置7(アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライト A113plus) 250リットルとカチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 130リットルを充填したもの)の出口水のホウ素濃度(測定点B)を測定し、その結果を図11に示した。
図10に示したように、実施例4の再生式混床式イオン交換繊維装置15を、再生式混床式ホウ素選択除去性イオン交換樹脂装置16(再生式混床式イオン交換樹脂装置7のアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂に、さらにイオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:アンバーライトIRA743) 1200リットルを混合して充填したもの)とした以外は同様の構成をした純水製造装置を製造した。この装置の、測定点Bにおけるホウ素濃度を測定し、その結果を図11に示した。
また、図3の再生式混床式イオン交換樹脂装置7は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂のみを充填したものであるが、この再生式混床式イオン交換樹脂装置7の直後に、ホウ素選択除去性イオン交換繊維装置14を設置した場合も、測定点Bにおける水質は、実施例4と同様であった。
図12に示したように、従来の超純水処理装置のポリッシャー9(非再生式混床式イオン交換樹脂装置:アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製 デュオライト A113plus) 140リットルとカチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:デュオライトC−20) 70リットルを充填したもの)の直後に、非再生式ホウ素選択除去性イオン交換繊維装置17(ホウ素選択除去性イオン交換繊維(キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバーGRY) 100リットルを充填したもの)を設置した例を示すものである。測定点Cにおけるホウ素濃度を測定した結果を図15に示した。
図13に示したように、図3に示した従来の超純水処理装置におけるポリッシャー9(非再生式混床式イオン交換樹脂装置)の直後に、ホウ素選択除去性イオン交換繊維フィルター装置18(ホウ素選択除去性イオン交換繊維フィルター(キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバーGRY−C20)50本を使用したもの)を設置した例を示すものである。この場合の測定点Cにおける水質は、実施例6と同じであった。
図3に示した従来の超純水処理装置において、測定点Cにおけるホウ素濃度を測定した結果を図15に示した。
図14に示したように、ポリッシャー9(非再生式混床式イオン交換樹脂装置)の直後に、非再生式ホウ素選択除去性イオン交換樹脂装置19(ローム・アンド・ハース株式会社製、商品名:アンバーライトIRA743) 300リットルを設けた場合の、測定点Cのホウ素濃度を測定した結果を図15に示した。
図16は、実施例8の純水製造装置のブロックフローを示したものである。ここで用いた純水製造装置は、ホウ素選択除去性イオン交換繊維フィルター装置18(ホウ素選択除去性イオン交換繊維フィルター、キレスト株式会社製、商品名:キレストファイバーGRY−C20)2本を使用したもの)と、限外ろ過膜装置10(旭化成株式会社製、商品名:microza OLT−3026H、1本)とからなるものである。この装置に3m3/h流量で市水(厚木市)を通水したところ、限外ろ過膜の入口圧力は安定して運転可能であった。これは、ホウ素選択性イオン交換繊維フィルター装置で、ホウ素を除去するとともに、原水由来のコロイド状物質、金属等を取り除くことが可能なためである。
Claims (4)
- 原水から懸濁物質を除去する前処理手段と、この前処理手段により得られた処理水からイオン又は非イオン性物質を除去する純水処理手段とを有する純水又は超純水を製造する装置において、
ホウ素除去のためのホウ素選択除去性イオン交換繊維を有するイオン交換手段と、さらにその後段に逆浸透膜、限外ろ過膜又は精密ろ過膜を備えた膜装置とを設けたことを特徴とする純水又は超純水の製造装置。 - 前記イオン交換手段がホウ素選択除去性イオン交換繊維単独又はホウ素選択除去性イオン交換繊維と他のイオン交換樹脂若しくはイオン交換繊維との複床式若しくは混床式であることを特徴とする請求項1記載の純水又は超純水の製造装置。
- 前記ホウ素選択除去性イオン交換繊維が、ホウ素選択除去性イオン交換繊維フィルターであることを特徴とする請求項1又は2項記載の超純水の製造装置。
- 原水から懸濁物質を除去する前処理工程と、この前処理工程で得られた処理水からイオン又は非イオン性物質を除去する純水処理工程とを有する純水又は超純水を製造する方法において、
前記前処理工程又は前記純水処理工において、前記原水又は前記処理水を、ホウ素を除去するためにホウ素選択除去性イオン交換繊維に接触させ、その後さらに、逆浸透膜、限外ろ過膜又は精密ろ過膜を備えた膜装置に接触させることを特徴とする純水又は超純水の製造方法。
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