JPS58163406A - 液体の「ろ」過方法 - Google Patents
液体の「ろ」過方法Info
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- JPS58163406A JPS58163406A JP4686882A JP4686882A JPS58163406A JP S58163406 A JPS58163406 A JP S58163406A JP 4686882 A JP4686882 A JP 4686882A JP 4686882 A JP4686882 A JP 4686882A JP S58163406 A JPS58163406 A JP S58163406A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体のｆ過方法に関する。
限外ｒ過膜や逆浸透膜のような半透膜を用いて液体をｒ
過処理することが、近年、工業的にも実施されるに至っ
ている。これら半透膜による液体の１通は、一般的には
液体を膜面に対して一定の流速を有するように接触させ
ることにより行なわれている。この方法は所謂クロスフ
ａ−と称されており、処理液体中に含まれる溶質や懸濁
物が膜面に濃度分極層やゲル層を形成して透液速度を低
下させるのを妨げる利点を有する。しかし、クロスフロ
ーにおいては、通常、回収率が数％乃至数十％の範囲で
液体を処理するためΦ、液体の損失が大きい。
過処理することが、近年、工業的にも実施されるに至っ
ている。これら半透膜による液体の１通は、一般的には
液体を膜面に対して一定の流速を有するように接触させ
ることにより行なわれている。この方法は所謂クロスフ
ａ−と称されており、処理液体中に含まれる溶質や懸濁
物が膜面に濃度分極層やゲル層を形成して透液速度を低
下させるのを妨げる利点を有する。しかし、クロスフロ
ーにおいては、通常、回収率が数％乃至数十％の範囲で
液体を処理するためΦ、液体の損失が大きい。
しかしながら、本発明者らは、例えば半導体工業や医療
分野で用いられる超純水の製造工種において、微粒子を
僅かに含む水を限外ｒ過膜にて最終的に処理するような
場合、分画分子量が適切な半透膜を用いれば、処理すべ
き水を全量透過法でｆ遇することにより、高い回収率で
超純水を得ることができることを電比して、本発明に至
ったものである。
分野で用いられる超純水の製造工種において、微粒子を
僅かに含む水を限外ｒ過膜にて最終的に処理するような
場合、分画分子量が適切な半透膜を用いれば、処理すべ
き水を全量透過法でｆ遇することにより、高い回収率で
超純水を得ることができることを電比して、本発明に至
ったものである。
本発明による液体のｒ過方法は、分画分子量５００００
０以下の半透膜を用いて液体を処理する方法において、
上記半透膜を透過しない粒径の微粒子を１００００個／
ｍｌ 以下の割合で含有する液体を上記半透膜に加圧
下に接触させ、全量透過法にてｆ遇すると共に、間断的
に膜面を７ラツシユ洗滌することを特徴とする特 ζζに全量透過法とは、処理すべき液体を膜面に対して
線速をもたせることなく、加圧下に膜面に接触させてＰ
遇する方法を意味し、いわば膜で−じられた空間に処理
すべき液体を加圧供給してｒ遇する方法である。
０以下の半透膜を用いて液体を処理する方法において、
上記半透膜を透過しない粒径の微粒子を１００００個／
ｍｌ 以下の割合で含有する液体を上記半透膜に加圧
下に接触させ、全量透過法にてｆ遇すると共に、間断的
に膜面を７ラツシユ洗滌することを特徴とする特 ζζに全量透過法とは、処理すべき液体を膜面に対して
線速をもたせることなく、加圧下に膜面に接触させてＰ
遇する方法を意味し、いわば膜で−じられた空間に処理
すべき液体を加圧供給してｒ遇する方法である。
本発明において用いる半透膜の素材及び形態は側ら制限
されていないが、その分−分子量は５ｏｏｏｏ。
されていないが、その分−分子量は５ｏｏｏｏ。
以下である。分画分子量が５ｏｏｏｏｏより犬会い場合
には、超純杢の製造のような場合、粒ＳＯ，Ｓμ以下の
微粒子を濾過し−くなり、高品質の超純水が得られない
おそれがある。好ましくは、半透膜の分画分子量は２０
００００以下、特に好ましくは１０００００以下である
。
には、超純杢の製造のような場合、粒ＳＯ，Ｓμ以下の
微粒子を濾過し−くなり、高品質の超純水が得られない
おそれがある。好ましくは、半透膜の分画分子量は２０
００００以下、特に好ましくは１０００００以下である
。
本発明において処理する液体は、上記￥透膜を透過しな
い粒径の微粒子を１００００個／ｍｌ より多量に含
有していてはならない。処理液中の微粒子数は、処理液
を微粒子捕捉用フィルターで捕捉し、直接顕鏡法１こて
測定することができる。処理液中の微粒子数が１０００
０個／ｍｌ を越えると、処理液を全量透過法でｒ遇
する場合に膜面の目詰まり゛が著しく、後述するフラッ
シュ洗滌によっても透液速度が充分に回復しないか、又
は頻繁な洗滌を要するので、ｆ液の回収率が低下する。
い粒径の微粒子を１００００個／ｍｌ より多量に含
有していてはならない。処理液中の微粒子数は、処理液
を微粒子捕捉用フィルターで捕捉し、直接顕鏡法１こて
測定することができる。処理液中の微粒子数が１０００
０個／ｍｌ を越えると、処理液を全量透過法でｒ遇
する場合に膜面の目詰まり゛が著しく、後述するフラッ
シュ洗滌によっても透液速度が充分に回復しないか、又
は頻繁な洗滌を要するので、ｆ液の回収率が低下する。
好ましくは、処理液中の微粒子数は１０００個／ｍ１
以下である。
以下である。
図面は本発明の濾過方法の一例を示し、例えば超純水の
製造における最終工程としての限外濾過に好適である。
製造における最終工程としての限外濾過に好適である。
即ち、上水を適宜に前処理した後、逆浸透濾過、イオン
交換樹脂による処理を経て一次純水を得、これを更にイ
オン交換樹脂処理し、紫外線殺菌した水を原水とし、ポ
ンプ２により限外濾過膜モジュール３に全量透過法にて
加圧供給する。以下、超純水の製造を例として本発明を
説明するが、本発明の方法の利用はこの例に限定されな
い。本発明の方法においては、パルプ４及び５を開け、
バルブ６を閉じて、原水を膜モジュールに供給し、クロ
スフローすることなく、全量透過法にて半透膜７を透過
させて超純水を得る。−ｂ１膜性能、特に透液速度を高
く保つために断続的に或いは定期的に膜面をフラッシュ
洗滌する。
交換樹脂による処理を経て一次純水を得、これを更にイ
オン交換樹脂処理し、紫外線殺菌した水を原水とし、ポ
ンプ２により限外濾過膜モジュール３に全量透過法にて
加圧供給する。以下、超純水の製造を例として本発明を
説明するが、本発明の方法の利用はこの例に限定されな
い。本発明の方法においては、パルプ４及び５を開け、
バルブ６を閉じて、原水を膜モジュールに供給し、クロ
スフローすることなく、全量透過法にて半透膜７を透過
させて超純水を得る。−ｂ１膜性能、特に透液速度を高
く保つために断続的に或いは定期的に膜面をフラッシュ
洗滌する。
即ち、パルプ６を開け、バルブ５を閉じて原水を膜面に
対して線速を有するように通過させて膜面を洗滌する。
対して線速を有するように通過させて膜面を洗滌する。
この場合、透過液量が当初のレベルから１０％程度低下
したときに原水で７ラツシユ洗滌するのが好ましく、ま
た、洗滌に使用する液量はその時点までのｆ液量０３％
程度以下が好ましい。余りに多量に使用すれば、原水か
らの超純水の回収率が小さくなるからである。勿論、原
水の例えば２％程度を洗滌液として別に確保しておき、
これをフラッシングに繰返し使用することもでき、この
方法によれば極めて高い回収率で超純水を得ることがで
きる。淘、フラッシュ洗滌時の洗滌液の膜面に対する流
速は特に制限されないが、０．７ｍ／秒以上が好適であ
る。
したときに原水で７ラツシユ洗滌するのが好ましく、ま
た、洗滌に使用する液量はその時点までのｆ液量０３％
程度以下が好ましい。余りに多量に使用すれば、原水か
らの超純水の回収率が小さくなるからである。勿論、原
水の例えば２％程度を洗滌液として別に確保しておき、
これをフラッシングに繰返し使用することもでき、この
方法によれば極めて高い回収率で超純水を得ることがで
きる。淘、フラッシュ洗滌時の洗滌液の膜面に対する流
速は特に制限されないが、０．７ｍ／秒以上が好適であ
る。
向、微粒子には種々おるが、例えば超純水の製造の場合
には、生菌、死菌微生物、シリカ、ごみ等が挙げられる
。生菌の場合、処理中に増殖するおそれもあるので、膜
面の洗滌に際して殺菌処理を行なうことが望ましい。
には、生菌、死菌微生物、シリカ、ごみ等が挙げられる
。生菌の場合、処理中に増殖するおそれもあるので、膜
面の洗滌に際して殺菌処理を行なうことが望ましい。
本発明によれば、微粒子含量の小さい処理液を全１−透
過法にて膜処理しつつ、間断的に膜面をフラッシュ洗滌
して透液速度を高く維持するので、ｆ液の回収率を高め
ることができ、例えば前記したように超純水の製造ξζ
好遍である。
過法にて膜処理しつつ、間断的に膜面をフラッシュ洗滌
して透液速度を高く維持するので、ｆ液の回収率を高め
ることができ、例えば前記したように超純水の製造ξζ
好遍である。
実施例
１１１記したように上水から一連の処理を経て紫外いて
、１ｋｆ／−の圧力下に原水を全量透過法により処理し
た。当初の原水から０．２０μ径微粒子捕捉用フィルタ
ーにて微粒子を捕捉し、１５００倍直接顕鏡法にて原水
中の微粒子数を測定したところ、２６３個／ｍｌ で
あり、当初の透水速度−８０ｔ／♂・ｈｒ％ｆ液中の微
粒子数は１２個／ｍｌ であった。３か月の連続運転後
、膜モジュールの透水速度は５１２１／ ａｌ−ｈｒに
低下し、また、原水中における微粒子数は１０８０個／
ｍｌ まで増加したが、ｒ液中の微粒子数は１３個／
ｍｌ であって、当初と実質的に同じであった。ここ
で前記したように、原水を膜面に対して１．５ｍ／秒の
線速で供給して膜面を１５分間フラツシエ洗滌したとζ
ろ、透水速度は当初と実質的に変らない５７８ Ｌ／ｄ
・ｈｒまで回復すると共に、モジュールの微粒子ｒ過能
力も変化なく、安定した水質の超純水を得ることができ
た。
、１ｋｆ／−の圧力下に原水を全量透過法により処理し
た。当初の原水から０．２０μ径微粒子捕捉用フィルタ
ーにて微粒子を捕捉し、１５００倍直接顕鏡法にて原水
中の微粒子数を測定したところ、２６３個／ｍｌ で
あり、当初の透水速度−８０ｔ／♂・ｈｒ％ｆ液中の微
粒子数は１２個／ｍｌ であった。３か月の連続運転後
、膜モジュールの透水速度は５１２１／ ａｌ−ｈｒに
低下し、また、原水中における微粒子数は１０８０個／
ｍｌ まで増加したが、ｒ液中の微粒子数は１３個／
ｍｌ であって、当初と実質的に同じであった。ここ
で前記したように、原水を膜面に対して１．５ｍ／秒の
線速で供給して膜面を１５分間フラツシエ洗滌したとζ
ろ、透水速度は当初と実質的に変らない５７８ Ｌ／ｄ
・ｈｒまで回復すると共に、モジュールの微粒子ｒ過能
力も変化なく、安定した水質の超純水を得ることができ
た。
このようにして間断的にフラッシュ洗滌を行ないつつ、
原水処理を１年間続けたが、モジューＪし性能は変化せ
ず、安定した品質Ｏ超純水を製造することができた。
原水処理を１年間続けたが、モジューＪし性能は変化せ
ず、安定した品質Ｏ超純水を製造することができた。
実施例２
井水を前記した一連の処理後、紫外線殺菌して原水とし
、分画分子量２０００Ｇの中空糸鳳ポリスルホン限外ｒ
過モジュールを用い、１］＃／−の圧力下に全量透過法
により処理した。当初、原水中の微粒子数は２８２０個
／ｍｌ、ｆ液中のそれは１０個／ｍｌ であり、透水速
度は２６８ Ｌ／ｄ・ｈｒであった。１週間の連続運転
後、透水速度が２３２ ｔ／♂・ｈｒに低下したが、膜
の微粒子ｒ過能には変化がなかった。この時点でフラッ
シュ洗滌を１５分間行なったところ、膜モジュールの透
水速度は２６６ ｔ／♂・ｈｒに回復し、微粒子ｒ過能
にも変化はなかった。
、分画分子量２０００Ｇの中空糸鳳ポリスルホン限外ｒ
過モジュールを用い、１］＃／−の圧力下に全量透過法
により処理した。当初、原水中の微粒子数は２８２０個
／ｍｌ、ｆ液中のそれは１０個／ｍｌ であり、透水速
度は２６８ Ｌ／ｄ・ｈｒであった。１週間の連続運転
後、透水速度が２３２ ｔ／♂・ｈｒに低下したが、膜
の微粒子ｒ過能には変化がなかった。この時点でフラッ
シュ洗滌を１５分間行なったところ、膜モジュールの透
水速度は２６６ ｔ／♂・ｈｒに回復し、微粒子ｒ過能
にも変化はなかった。
このような運転を３か月にわたって行なったが、モジュ
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
実施例３
実施例２において、膜モジュールとして分画分子ｉｉ５
００００のスパイラル型ポリスルホン限外濾過モジュー
ルを用い、２ｋｅ／ｃＪの圧力下で原水を処理した。当
初、原水中の微粒子数は２１４０個／ ”’ ｓ ｉＰ
液液中それは１１個／ ｍｌ であり、透水速度は２
５３ ｔ／ｒｌ ｅｈｒであった。１週間の連続運転鏝
、透水速度が２２４ ｔ／♂・ｈｒに低下したが、膜の
微粒子ｆ過能には変化がなく、Ｐ液中の微粒子数は１０
個／ ｍｌ であった。この時点でフラッシュ洗滌を
１５分間行なったところ、膜モジュールの透水速度は２
４８ ｔ／♂・ｈｒに回復し、微粒子ｆ過能にも変化は
なかった。
００００のスパイラル型ポリスルホン限外濾過モジュー
ルを用い、２ｋｅ／ｃＪの圧力下で原水を処理した。当
初、原水中の微粒子数は２１４０個／ ”’ ｓ ｉＰ
液液中それは１１個／ ｍｌ であり、透水速度は２
５３ ｔ／ｒｌ ｅｈｒであった。１週間の連続運転鏝
、透水速度が２２４ ｔ／♂・ｈｒに低下したが、膜の
微粒子ｆ過能には変化がなく、Ｐ液中の微粒子数は１０
個／ ｍｌ であった。この時点でフラッシュ洗滌を
１５分間行なったところ、膜モジュールの透水速度は２
４８ ｔ／♂・ｈｒに回復し、微粒子ｆ過能にも変化は
なかった。
このような運転を３か月にわたって行なったが、モジュ
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
図面は本発明の方法を実施するための装置構成の一例を
示す。 １・・・原水、３・・・膜モジュール、７・・・半透膜
。
示す。 １・・・原水、３・・・膜モジュール、７・・・半透膜
。
Claims (1)
- １１）分画分子量５ｏｏｏｏｏ以下の半透膜を用いて液
体を処理する方法において、上記半透膜を透過しな°い
粒径の微粒そを１００００個／ ｍｌ 以下の割合で含
有する液体を上記半透膜に加圧下に接触させ、全量透過
法にてｒ遇すると共に、間断的に膜面をフラッシュ洗滌
することを特徴とする液体のｆ過方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4686882A JPS58163406A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 液体の「ろ」過方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4686882A JPS58163406A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 液体の「ろ」過方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58163406A true JPS58163406A (ja) | 1983-09-28 |
Family
ID=12759315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4686882A Pending JPS58163406A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 液体の「ろ」過方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58163406A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213490A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-12-03 | Daicel Chem Ind Ltd | 無菌水供給装置 |
| JPS62272957A (ja) * | 1986-05-21 | 1987-11-27 | Daicel Chem Ind Ltd | 果汁を清澄化する方法 |
| JPH028507U (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-19 | ||
| FR2665086A1 (fr) * | 1990-07-30 | 1992-01-31 | Lorraine Carbone | Procede et dispositif de decolmatage en microfiltration tangentielle. |
| FR2666245A1 (fr) * | 1990-08-31 | 1992-03-06 | Lyonnaise Eaux | Procede de commande des modes de fonctionnement d'un appareil automatique de filtration d'eau sur membranes tubulaires. |
| FR2668078A1 (fr) * | 1990-10-17 | 1992-04-24 | Dumez Lyonnaise Eaux | Procede pour le retrolavage de membrane tubulaires de filtration, et dispositif de mise en óoeuvre. |
| JP2010234238A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Daicen Membrane Systems Ltd | 魚介類の養殖用水の製造方法 |
| JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5190984A (en) * | 1975-02-04 | 1976-08-10 | Gyakushintokinoyona makubunrikyojidofuratsushingushisutemu | |
| JPS5364948A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-09 | Kurita Water Ind Ltd | Method of producing refined water not containing heat generating substance |
| JPS57147488A (en) * | 1981-03-04 | 1982-09-11 | Kuraray Co Ltd | Preparation of purified water |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4686882A patent/JPS58163406A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5190984A (en) * | 1975-02-04 | 1976-08-10 | Gyakushintokinoyona makubunrikyojidofuratsushingushisutemu | |
| JPS5364948A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-09 | Kurita Water Ind Ltd | Method of producing refined water not containing heat generating substance |
| JPS57147488A (en) * | 1981-03-04 | 1982-09-11 | Kuraray Co Ltd | Preparation of purified water |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213490A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-12-03 | Daicel Chem Ind Ltd | 無菌水供給装置 |
| JPS62272957A (ja) * | 1986-05-21 | 1987-11-27 | Daicel Chem Ind Ltd | 果汁を清澄化する方法 |
| JPH0413990B2 (ja) * | 1986-05-21 | 1992-03-11 | Daicel Chem | |
| JPH028507U (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-19 | ||
| JPH059044Y2 (ja) * | 1988-06-25 | 1993-03-05 | ||
| FR2665086A1 (fr) * | 1990-07-30 | 1992-01-31 | Lorraine Carbone | Procede et dispositif de decolmatage en microfiltration tangentielle. |
| US5147552A (en) * | 1990-07-30 | 1992-09-15 | Le Carbone Lorraine | Method of and apparatus for cleaning filters in tangential microfiltration |
| FR2666245A1 (fr) * | 1990-08-31 | 1992-03-06 | Lyonnaise Eaux | Procede de commande des modes de fonctionnement d'un appareil automatique de filtration d'eau sur membranes tubulaires. |
| FR2668078A1 (fr) * | 1990-10-17 | 1992-04-24 | Dumez Lyonnaise Eaux | Procede pour le retrolavage de membrane tubulaires de filtration, et dispositif de mise en óoeuvre. |
| JP2010234238A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Daicen Membrane Systems Ltd | 魚介類の養殖用水の製造方法 |
| JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
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