JP6451824B2 - 過酸化水素除去方法及び装置 - Google Patents
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Description
(1) カラム21内の水を超純水に置換し、カラム21内の白金系触媒を、カラム21内にて超純水中に所定期間浸漬保管する。
(2) カラム21内の白金系触媒を一旦抜き出し、別の容器内で超純水中に浸漬して所定期間保管した後、カラム21に再充填する。
(3) 上記(1)又は(2)の操作において、白金系触媒の浸漬処理に用いる超純水にN2ガス等の非酸化性ガスを供給する。
(4) 上記(1)又は(2)の操作において、白金系触媒の浸漬処理に用いる超純水として、水素を溶解させた超純水を用いる。
上記(1)〜(4)の操作は、2以上を組み合わせて行ってもよい。
(1) 白金系触媒充填容器への被処理水の通水を所定時間停止させた後に通水を再開させたところ、過酸化水素分解性能の回復が認められた。停止時間を長くするほど、その回復度合いは高くなった。
(2) 白金系触媒充填容器への被処理水の通水停止中にN2ガス通気により該容器内からO2を排除する操作を加えたところ、(1)よりさらに短時間で過酸化水素分解性能が回復することが認められた。
(3) 白金系触媒充填容器への被処理水の通水停止中に該容器内の水を超純水に置換し、容器内の白金系触媒を超純水中に浸漬保管する操作を行ったところ、(1),(2)よりさらに短時間で過酸化水素分解性能が回復することが認められた。
(4) 白金系触媒充填容器への被処理水の通水停止中に一旦白金系触媒を容器から抜出し、所定時間別の容器内で超純水中に浸漬保管した後に再充填して通水再開したところ、上記(1)〜(3)よりさらに短時間で過酸化水素分解性能が回復することが認められた。
(5) 白金系触媒充填容器への被処理水の通水を停止した後、水素溶解超純水を通水したところ、上記(1)〜(4)よりさらに短時間で過酸化水素分解性能が回復することが認められた。
超純水製造装置として、図3に示すものを用意した。この超純水製造装置81は、前処理装置82、一次純水製造装置83、及び二次純水製造装置(サブシステム)84の3段の装置で構成されている。この超純水製造装置81の前処理装置82では、原水Wの濾過、凝集沈殿、精密濾過膜による前処理が施される。
参考例1において、長期間運転後の白金族金属触媒樹脂塔93の使用済樹脂を取り出し、試験用のカラムに充填し、試験用の白金族金属触媒樹脂塔とした。また、比較のために新品の樹脂を同様に試験用のカラムに充填し、白金族金属触媒樹脂塔とした。
参考例1において、長期間運転後の白金族金属触媒樹脂塔93の使用済樹脂を試験用のカラムに充填し、試験用の白金族金属触媒樹脂塔とした。また、比較のために新品の樹脂を同様に試験用のカラムに充填し、白金族金属触媒樹脂塔とした。
参考例3における試験後、各試験用カラムの樹脂を取り出し、超純水(過酸化水素1μg/L未満)に2週間保管した後、再度充填して、超純水(過酸化水素1μg/L未満)に過酸化水素を30μg/L添加した入口水を通水した際の出口水の過酸化水素濃度を測定した。結果を表4に示した。
21〜25 カラム
41〜45、51〜55 三方弁
Claims (8)
- 並列設置された白金系触媒充填容器を有する過酸化水素除去装置に過酸化水素含有水を通水して過酸化水素を除去する過酸化水素除去方法において、
一部の該白金系触媒充填容器への過酸化水素含有水の通水を停止して、該容器に充填された白金系触媒を超純水中で所定期間保管する過酸化水素除去性能回復操作を行うことを特徴とする過酸化水素除去方法。 - 請求項1において、前記過酸化水素除去性能回復操作は、前記通水を停止した容器内の水を超純水に置換し、該容器内の超純水中で前記白金系触媒を所定期間保管する操作であることを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 請求項1において、前記過酸化水素除去性能回復操作は、前記通水を停止した容器から該容器内の白金系触媒を取り出し、取り出した白金系触媒を超純水中で所定期間保管した後、該容器に再充填する操作であることを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記超純水に非酸化性ガスを供給することを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 請求項4において、前記非酸化性ガスは窒素ガスであることを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項において、前記超純水は水素を溶解させた超純水であることを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項において、前記過酸化水素除去装置は超純水製造装置に設置されており、前記所定時間に、前記一部以外の白金系触媒充填容器への通水量を増加させることを特徴とする過酸化水素除去方法。
- 並列設置された白金系触媒充填容器と、
各容器に過酸化水素含有水を通水する過酸化水素含有水通水手段と、
各容器に、非酸化性ガス又は水素溶解水を供給する供給手段と、
各容器への過酸化水素含有水通水と非酸化性ガス又は水素溶解水供給とを切り替える切替手段と
を備えたことを特徴とする過酸化水素除去装置。
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