JP2003305465A

JP2003305465A - 純水製造システムおよび水質モニタリング方法

Info

Publication number: JP2003305465A
Application number: JP2002112466A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Omori; 寿朗大森
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2002-04-15
Filing date: 2002-04-15
Publication date: 2003-10-28

Abstract

(57)【要約】【課題】メンテナンスによるシステムの停止を回避
し、またイオン交換樹脂あるいはフィルタ等の交換を行
なうことによる水質の初期劣化を防止して、連続的にか
つ安定した品質の超純水が供給可能な純水製造システム
を得る。【解決手段】並列接続された複数のイオン交換樹脂
２，３からなり、純水中に含まれるイオン不純物を除去
するイオン不純物除去手段と、このイオン不純物除去手
段に接続され、並列接続された複数のウルトラフィルタ
１１，１２からなり、純水中に含まれる微粒子を除去す
る微粒子除去手段と、イオン不純物除去手段および微粒
子除去手段の出力側にそれぞれ接続されたパージライン
８，１７と、複数のイオン交換樹脂または複数のフィル
タで一方から他方への部品交換時、複数のイオン交換樹
脂相互間または複数のフィルタ相互間を切り換える切換
バルブ４〜７，９，１０，１３〜１６，１８，１９とを
備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、純水製造システ
ムおよび水質モニタリング方法に関し、特に、半導体等
の電子部品の製造工程で使用される超純水の純水製造シ
ステムおよび水質モニタリング方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体等の電子部品の製造工程
では、部品の洗浄を行なうために多量の純水が使用され
る。また電子部品の微細化が進むにつれて、純水水質も
より高純度化が要求されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】そのためには、連続的
かつ安定した品質の超純水が供給可能である純水製造シ
ステムが必要である一方、純水製造システムでは、純水の品質を確保するた
めに、純水中の不純物イオンを除去するためのイオン交
換樹脂あるいは微粒子除去を目的とした各種のフィルタ
が使用されており、品質を維持するためには、ある頻度
でのメンテナンス（交換）が必要となる。但し、純水製
造システムを一度停止することは、水質の劣化を誘発す
る。また交換部品からの初期溶出による水質劣化が発生
し、安定した水質に回復するまでに場合によっては、数
日から数ヶ月を要することもある。

【０００４】この発明は、メンテナンスによる純水製造
システムの停止を回避し、またイオン交換樹脂あるいは
フィルタ等の交換を行なうことによる水質の初期劣化を
防止することにより、連続的にかつ安定した品質の超純
水が供給可能な純水製造システムを提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係る純水製造
システムは、並列接続された複数のイオン交換樹脂から
なるイオン不純物除去手段と、並列接続された複数のフ
ィルタからなり、上記イオン不純物除去手段に直列接続
された微粒子除去手段と、上記イオン不純物除去手段お
よび上記微粒子除去手段の出力側ににそれぞれ接続され
たパージラインと、上記複数のイオン交換樹脂または上
記複数のフィルタで一方から他方への部品交換時、上記
複数のイオン交換樹脂相互間または上記複数のフィルタ
相互間を切り換える切換手段とを備えたものである。

【０００６】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記切換手段が、上記複数のイオン交換樹脂の入力
側にそれぞれ設けられた第１の切り換えバルブと、上記
複数のイオン交換樹脂の給水出力側にそれぞれ設けられ
た第２の切り換えバルブと、上記複数のイオン交換樹脂
のパージ出力側にそれぞれ設けられた第３の切り換えバ
ルブと、上記複数のフィルタの入力側にそれぞれ設けら
れた第４の切り換えバルブと、上記フィルタの給水出力
側にそれぞれ設けられた第５の切り換えバルブと、上記
フィルタのパージ出力側にそれぞれ設けられた第６の切
り換えバルブとを備えたものである。

【０００７】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記切換手段が、上記複数のイオン交換樹脂または
上記複数のフィルタの一方から他方への部品交換時、該
一方のイオン交換樹脂またはフィルタの使用されている
状態で、他方のイオン交換樹脂またはフィルタを取り付
け、上記一方のイオン交換樹脂またはフィルタに対する
パージを行うように上記各切り換えバルブを切り換える
ものである。

【０００８】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記イオン不純物除去手段および上記微粒子除去手
段の少なくとも一方の入力側および出力側で純水水質を
同時にモニタリングするモニタ手段を設けたものであ
る。

【０００９】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記モニタ手段が、上記イオン交換樹脂または上記
フィルタの入力側と上記パージラインの間に設けられた
サンプリングポートと、該サンプリングポートに接続さ
れたサンプリング機器とを有するものである。

【００１０】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記サンプリング機器が、溶存酸素計である。

【００１１】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記溶存酸素計が、上記イオン交換樹脂および上記
フィルタの入力側および出力側で、純水中の溶存酸素濃
度を同時に測定し、その変化量からパーツの清浄度およ
び純水水質を判定するものである。

【００１２】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記モニタリング機器が、過酸化水素濃度計であ
る。

【００１３】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記過酸化水素濃度計が、上記イオン交換樹脂およ
び上記フィルタの入力側および出力側で、純水中の過酸
化水素濃度を同時に測定し、その変化量からパーツの清
浄度および純水水質を判定するものである。

【００１４】また、この発明に係る純水製造システム
は、上記サンプリングポートが、上記イオン交換樹脂ま
たは上記フィルタの入力側と上記パージラインの間に設
けられたサンプリングラインと、上記イオン交換樹脂ま
たは上記フィルタの入力側と上記サンプリング機器との
間で上記サンプリングラインにそれぞれ挿入された第１
１および第２のサンプリングバルブとからなるものであ
る。

【００１５】また、この発明に係る水質モニタリング方
法は、並列接続された複数のイオン交換樹脂からなるイ
オン不純物除去手段と、並列接続された複数のフィルタ
からなり、上記イオン不純物除去手段に直列接続された
微粒子除去手段と、上記イオン不純物除去手段および上
記微粒子除去手段にそれぞれ接続されたパージライン
と、上記複数のイオン交換樹脂または上記複数のフィル
タで一方から他方への交換時、上記複数のイオン交換樹
脂相互間または上記複数のフィルタ相互間を切り換える
切換手段とを備えた純水製造システムにおける水質モニ
タリング方法であって、上記イオン不純物除去手段およ
び上記微粒子除去手段の少なくとも一方の入力側および
出力側で純水水質を同時にモニタリングするものであ
る。

【００１６】また、この発明に係る水質モニタリング方
法は、上記モニタリングが、上記イオン不純物除去手段
または上記微粒子除去手段の入力側と上記イオン不純物
除去手段または上記微粒子除去手段のパージ出力側に接
続されたパージラインとの間に設けられたサンプリング
ポートを介して行われるものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を、
図に基づいて説明する。実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１を示す
構成図である。図１において、１はＴＯＣ−ＵＶ槽、
２，３はＴＯＣ−ＵＶ槽１に対して並列設けられたイオ
ン交換樹脂、４，５はＴＯＣ−ＵＶ槽１とイオン交換樹
脂２，３の入力側の間にそれぞれ設けられた第１の切り
換えバルブとしての切り換えバルブ、６，７はイオン交
換樹脂２，３の一方の出力側、即ち給水出力側にそれぞ
れ設けられた第２の切り換えバルブとしての切り換えバ
ルブ、８はイオン交換樹脂２，３の他方の出力側、即ち
パージ出力側に設けられたパージライン、９，１０はイ
オン交換樹脂２，３の他方の出力側とパージライン８の
間にそれぞれ設けられた第３の切り換えバルブとしての
切り換えバルブである。

【００１８】また、１１，１２はイオン交換樹脂２，３
側に対して並列に設けられたウルトラフィルタ、１３，
１４はウルトラフィルタ１１，１２の入力側に設けられ
た第４の切り換えバルブとしての切り換えバルブであっ
て、この切り換えバルブ１３，１４の入力端は連結され
て切り換えバルブ６，７の出力端の連結点に接続され
る。１５，１６はウルトラフィルタ１１，１２の一方の
出力側、即ち給水出力側にそれぞれ設けられた第５の切
り換えバルブとしての切り換えバルブであって、この切
り換えバルブ１５，１６の出力端が外部の製造ラインに
接続される。

【００１９】また、１７はウルトラフィルタ１１，１２
の他方の出力側、即ちパージ出力側に設けられたパージ
ライン、１８，１９はウルトラフィルタ１１，１２の他
方の出力側とパージライン１７の間にそれぞれ設けられ
た第６の切り換えバルブとしての切り換えバルブであ
る。なお、イオン交換樹脂２，３は純水中に含まれるイ
オン不純物を除去するイオン不純物除去手段を構成し、
ウルトラフィルタ１１，１２は純水中に含まれる微粒子
を除去する微粒子除去手段を構成し、切り換えバルブ４
〜７，９，１０，１３〜１６，１８，１９は切換手段を
構成する。

【００２０】ここでは、一般的な純水製造システムの最
終段階で実施されている全有機成分（ＴＯＣ）、イオン
不純物、微粒子を除去するためのシステム構成である。
まず、ＴＯＣ−ＵＶ槽１で純水中に含まれる有機汚染物
を酸化分解し、次に、イオン交換樹脂２，３で純水中に
含まれるイオン性不純物をイオン交換基により吸着除去
する。更に、最後にウルトラフィルタ１１，１２で純水
中に含まれる微粒子を除去する。以上のような純水製造
システムにおいて、ある頻度でイオン交換樹脂あるいは
ウルトラフィルタの交換が必要となる。

【００２１】次に、動作について説明する。まず、イオ
ン交換樹脂２とウルトラフィルタ１１が使用されている
状態（切り換えバルブ４と６が開、９が閉）で、交換用
の新しいイオン交換樹脂３とウルトラフィルタ１２を取
り付ける。その後、パージを実施するために切り換えバ
ルブ５と１０を開く（切り換えバルブ７は閉）。また、
同様に切り換えバルブ１４と１９を開く（切り換えバル
ブ１６は閉）。パージが完了した後、切り換えバルブ７
と１６を開くとともに、切り換えバルブ１０と１９を閉
じることにより、実際に純水供給を開始する。また、イ
オン交換樹脂２、ウルトラフィルタ１１については、切
り換えバルブ４、６、１３、１５を閉じ、取り外しを行
なう。また、当然上記動作は、各パーツ単独で実施する
ことも可能である。

【００２２】このようにして、本実施の形態では、イオ
ン交換樹脂とウルトラフィルタを並列に複数設置し、ま
た、各パーツ単位にパージ用のラインを設置したので、
定期交換時に純水製造システムを停止することなく、か
つ交換部品の取り付けおよび初期パージを可能となり、
連続的にかつ安定した品質の超純水が供給できる。

【００２３】実施の形態２．図２は、この発明の実施の
形態２を示す構成図である。なお、図２において、図１
と対応する部分には同一符号を付し、その詳細説明を省
略する。図２において、２０はモニタリング機器であっ
て、イオン交換樹脂２，３の前後、つまりその入力側お
よび出力側で、純水中の溶存酸素濃度を同時に測定し、
その変化量からパーツの清浄度および純水水質を判定す
る溶存酸素計（図示せず）として機能し、およびまたは
イオン交換樹脂の前後、つまりその入力側および出力側
で、純水中の過酸化水素濃度を同時に測定し、その変化
量からパーツの清浄度および純水水質を判定する過酸化
水素濃度計（図示せず）として機能する。

【００２４】また、２１はイオン交換樹脂２，３の前
後、つまりＴＯＣ−ＵＶ槽１とパージライン８の間に設
けられた純水水質測定用のサンプリングラインであっ
て、その中央部がモニタリング機器２１に接続されてい
る。また、２２はＴＯＣ−ＵＶ槽１とモニタリング機器
２１の間でサンプリングライン２１に挿入された第１の
サンプリングバルブ、２３はパージライン８とモニタリ
ング機器２１の間でサンプリングライン２１に挿入され
た第２のサンプリングバルブである。なお、サンプリン
グライン２１とサンプリングバルブ２２，２３はサンプ
リングポートを構成し、このサンプリングポートとモニ
タリング機器２０はモニタ手段を構成する。その他の構
成は、図１と同様である。

【００２５】本実施の形態では、図１に交換パーツの品
質およびパーツ交換による水質変動を確認するために、
純水水質測定用のサンプリングライン２１、サンプリン
グバルブ２２，２３、モニタリング機器２０を実質的に
付加している。交換用パーツの取り付けおよびパージ方
法については、上記実施の形態１と同様である。なお、
図２では、実質的にイオン交換樹脂２，３の前後にサン
プリングバルブ２２および２３を介してサンプリングラ
イン２１とサンプリング機器２０を設置した場合につい
て記載しているが、ウルトラフィルタ１１，１２につい
ても同様に適用可能である。

【００２６】新しい交換用パーツを、取り付けパージを
開始した後、交換パーツ前後の水質測定を行なう。具体
的な測定項目としては、上述したように例えば純水中の
溶存酸素濃度と過酸化水素水濃度である。

【００２７】図３、図４に新しいイオン交換樹脂を取り
付けた時のイオン交換樹脂後における純水中の溶存酸素
濃度変動および過酸化水素水濃度変動の一例について示
す。一般的に脱気処理を行なっている超純水中の溶存酸
素濃度は、数ｐｐｂレベルである。また、ＴＯＣ−ＵＶ
処理を行なった場合、純水がＵＶ光により励起されＯＨ
ラジカルおよびＨ_２Ｏ_２が発生するイオン交換樹脂を新
品に交換した直後は、純水中に含まれるＨ_２Ｏ_２および
ＯＨラジカルがイオン交換樹脂材と反応することによ
り、図３、図４に示すように、溶存酸素濃度が増加し、
Ｈ_２Ｏ_２濃度が減少する現象が確認されている。また、
このような変動時においてイオン交換樹脂からイオン性
不純物の初期溶出が発生すること、またデバイス特性へ
の悪影響が生じることが判明している。

【００２８】そこで、本実施の形態では、イオン交換樹
脂前後の純水をサンプリングし、溶存酸素濃度および過
酸化水素水濃度変化を調べることにより、純水水質の回
復を判定するものであり、変動量がある一定値以下に回
復したことを確認し、バルブ切り換えを行なうことによ
り実際に使用することとなる。

【００２９】このようにして、本実施の形態では、イオ
ン交換樹脂およびウルトラフィルタの前後、つまり、そ
の入力側および出力側で純水水質を同時にモニタリング
するようにしたので、純水水質の回復を判定し、変動量
がある一定値以下に回復したことを確認してバルブ切り
換えを行なうことができ、連続的にかつ安定した品質の
超純水が供給可能となる。

【００３０】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、並列
接続された複数のイオン交換樹脂からなり、純水中に含
まれるイオン不純物を除去するイオン不純物除去手段
と、該イオン不純物除去手段に接続され、並列接続され
た複数のフィルタからなり、純水中に含まれる微粒子を
除去する微粒子除去手段と、上記イオン不純物除去手段
および上記微粒子除去手段の出力側ににそれぞれ接続さ
れたパージラインと、上記複数のイオン交換樹脂または
上記複数のフィルタで一方から他方への部品交換時、上
記複数のイオン交換樹脂相互間または上記複数のフィル
タ相互間を切り換える切換手段とを備えたので、メンテ
ナンスによる純水製造システムの停止を回避し、またイ
オン交換樹脂あるいはフィルタ等の交換を行なうことに
よる水質の初期劣化を防止して、連続的にかつ安定した
品質の超純水が供給可能な純水製造システムが得られる
という効果がある。

【００３１】また、この発明によれば、上記切換手段
が、上記複数のイオン交換樹脂の入力側にそれぞれ設け
られた第１の切り換えバルブと、上記複数のイオン交換
樹脂の給水出力側にそれぞれ設けられた第２の切り換え
バルブと、上記複数のイオン交換樹脂のパージ出力側に
それぞれ設けられた第３の切り換えバルブと、上記複数
のフィルタの入力側にそれぞれ設けられた第４の切り換
えバルブと、上記フィルタの給水出力側にそれぞれ設け
られた第５の切り換えバルブと、上記フィルタのパージ
出力側にそれぞれ設けられた第６の切り換えバルブとを
備えたので、連続的にかつ安定した品質の超純水の供給
に寄与できるという効果がある。

【００３２】また、この発明によれば、上記切換手段
が、上記複数のイオン交換樹脂または上記複数のフィル
タの一方から他方への部品交換時、該一方のイオン交換
樹脂またはフィルタの使用されている状態で、他方のイ
オン交換樹脂またはフィルタを取り付け、上記一方のイ
オン交換樹脂またはフィルタに対するパージを行うよう
に上記各切り換えバルブを切り換えるので、純水製造シ
ステムを停止することなく、交換用パーツの事前パージ
が可能になるという効果がある。

【００３３】また、この発明によれば、上記イオン不純
物除去手段および上記微粒子除去手段の少なくとも一方
の入力側および出力側で純水水質を同時にモニタリング
するモニタ手段を設けたので、純水水質の回復を判定
し、変動量がある一定値以下に回復したことを確認して
バルブ切り換えを行なうことができ、交換後の水質回復
を簡便にモニタリングできるという効果がある。

【００３４】また、この発明によれば、上記モニタ手段
が、上記イオン交換樹脂または上記フィルタの入力側と
上記パージラインの間に設けられたサンプリングポート
と、該サンプリングポートに接続されたサンプリング機
器とを有するので、交換後の水質回復の簡便なモニタリ
ングに寄与できるという効果がある。

【００３５】また、この発明によれば、上記サンプリン
グ機器が、溶存酸素計であるので、純水中の溶存酸素濃
度から交換パーツ前後の水質測定を容易に行なうことが
できるという効果がある。

【００３６】また、この発明によれば、上記溶存酸素計
が、上記イオン交換樹脂および上記フィルタの入力側お
よび出力側で、純水中の溶存酸素濃度を同時に測定し、
その変化量からパーツの清浄度および純水水質を判定す
るので、純水水質の回復を判定し、変動量がある一定値
以下に回復したことを確認してバルブ切り換えを行なう
のに寄与できるという効果がある。

【００３７】また、この発明によれば、上記モニタリン
グ機器が、過酸化水素濃度計であるので、純水中の過酸
化水素濃度から交換パーツ前後の水質測定を容易に行な
うことができるという効果がある。

【００３８】また、この発明によれば、上記過酸化水素
濃度計が、上記イオン交換樹脂および上記フィルタの入
力側および出力側で、純水中の過酸化水素濃度を同時に
測定し、その変化量からパーツの清浄度および純水水質
を判定するので、純水水質の回復を判定し、変動量があ
る一定値以下に回復したことを確認してバルブ切り換え
を行なうのに寄与できるという効果がある。

【００３９】また、この発明によれば、上記サンプリン
グポートが、上記イオン交換樹脂または上記フィルタの
入力側と上記パージラインの間に設けられたサンプリン
グラインと、上記イオン交換樹脂または上記フィルタの
入力側と上記サンプリング機器との間で上記サンプリン
グラインにそれぞれ挿入された第１および第２のサンプ
リングバルブとからなるので、交換後の水質回復の簡便
なモニタリングに寄与できるという効果がある。

【００４０】さらに、この発明によれば、並列接続され
た複数のイオン交換樹脂からなり、純水中に含まれるイ
オン不純物を除去するイオン不純物除去手段と、該イオ
ン不純物除去手段に接続され、並列接続された複数のフ
ィルタからなり、純水中に含まれる微粒子を除去する微
粒子除去手段と、上記イオン不純物除去手段および上記
微粒子除去手段にそれぞれ接続されたパージラインと、
上記複数のイオン交換樹脂または上記複数のフィルタで
一方から他方への交換時、上記複数のイオン交換樹脂相
互間または上記複数のフィルタ相互間を切り換える切換
手段とを備えた純水製造システムにおける水質モニタリ
ング方法であって、上記イオン不純物除去手段および上
記微粒子除去手段の少なくとも一方の入力側および出力
側で純水水質を同時にモニタリングするので、交換後の
水質回復を簡便にモニタリングできると共に、連続的に
かつ安定した品質の超純水が供給可能な水質モニタリン
グ方法が得られるという効果がある。

【００４１】また、この発明によれば、上記モニタリン
グが、上記イオン不純物除去手段または上記微粒子除去
手段の入力側と上記イオン不純物除去手段または上記微
粒子除去手段のパージ出力側に接続されたパージライン
との間に設けられたサンプリングポートを介して行われ
るので、交換後の水質回復の簡便なモニタリングに寄与
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１による純水製造シス
テムを示す構成図である。

【図２】この発明の実施の形態２による純水製造シス
テムを示す構成図である。

【図３】新しいイオン交換樹脂を取り付けた時のイオ
ン交換樹脂後における純水中の溶存酸素濃度変動の一例
を示す図である。

【図４】新しいイオン交換樹脂を取り付けた時のイオ
ン交換樹脂後における純水中の過酸化水素水濃度変動の
一例を示す図である。

【符号の説明】

１ＴＯＣ−ＵＶ槽、２，３イオン交換樹脂、４
〜７，９，１０，１３〜１６，１８，１９切り換えバ
ルブ、８，１７パージライン、１１，１２ウル
トラフィルタ、２０モニタリング機器、２１サ
ンプリングライン、２２，２３サンプリングバルブ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】並列接続された複数のイオン交換樹脂か
らなり、純水中に含まれるイオン不純物を除去するイオ
ン不純物除去手段と、該イオン不純物除去手段に接続され、並列接続された複
数のフィルタからなり、純水中に含まれる微粒子を除去
する微粒子除去手段と、上記イオン不純物除去手段および上記微粒子除去手段の
出力側にそれぞれ接続されたパージラインと、上記複数のイオン交換樹脂または上記複数のフィルタで
一方から他方への部品交換時、上記複数のイオン交換樹
脂相互間または上記複数のフィルタ相互間を切り換える
切換手段とを備えたことを特徴とする純水製造システ
ム。
【請求項２】上記切換手段は、上記複数のイオン交換
樹脂の入力側にそれぞれ設けられた第１の切り換えバル
ブと、上記複数のイオン交換樹脂の給水出力側にそれぞ
れ設けられた第２の切り換えバルブと、上記複数のイオ
ン交換樹脂のパージ出力側にそれぞれ設けられた第３の
切り換えバルブと、上記複数のフィルタの入力側にそれ
ぞれ設けられた第４の切り換えバルブと、上記フィルタ
の給水出力側にそれぞれ設けられた第５の切り換えバル
ブと、上記フィルタのパージ出力側にそれぞれ設けられ
た第６の切り換えバルブとを備えたことを特徴とする請
求項１記載の純水製造システム。
【請求項３】上記切換手段は、上記複数のイオン交換
樹脂または上記複数のフィルタの一方から他方への部品
交換時、該一方のイオン交換樹脂またはフィルタの使用
されている状態で、他方のイオン交換樹脂またはフィル
タを取り付け、上記一方のイオン交換樹脂またはフィル
タに対するパージを行うように上記各切り換えバルブを
切り換えることを特徴とする請求項２記載の純水製造シ
ステム。
【請求項４】上記イオン不純物除去手段および上記微
粒子除去手段の少なくとも一方の入力側および出力側で
純水水質を同時にモニタリングするモニタ手段を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の純水製造システム。
【請求項５】上記モニタ手段は、上記イオン交換樹脂
または上記フィルタの入力側と上記パージラインの間に
設けられたサンプリングポートと、該サンプリングポー
トに接続されたサンプリング機器とを有することを特徴
とする請求項４記載の純水製造システム。
【請求項６】上記サンプリング機器は、溶存酸素計で
あることを特徴とする請求項５記載の純水製造システ
ム。
【請求項７】上記溶存酸素計は、上記イオン交換樹脂
および上記フィルタの入力側および出力側で、純水中の
溶存酸素濃度を同時に測定し、その変化量からパーツの
清浄度および純水水質を判定することを特徴とする請求
項６記載の純水製造システム。
【請求項８】上記モニタリング機器は、過酸化水素濃
度計であることを特徴とする請求項５記載の純水製造シ
ステム。
【請求項９】上記過酸化水素濃度計は、上記イオン交
換樹脂および上記フィルタの入力側および出力側で、純
水中の過酸化水素濃度を同時に測定し、その変化量から
パーツの清浄度および純水水質を判定することを特徴と
する請求項８記載の純水製造システム。
【請求項１０】上記サンプリングポートは、上記イオ
ン交換樹脂または上記フィルタの入力側と上記パージラ
インの間に設けられたサンプリングラインと、上記イオ
ン交換樹脂または上記フィルタの入力側と上記サンプリ
ング機器との間で上記サンプリングラインにそれぞれ挿
入された第１および第２のサンプリングバルブとからな
ることを特徴とする請求項５〜９のいずれかに記載の純
水製造システム。
【請求項１１】並列接続された複数のイオン交換樹脂
からなり、純水中に含まれるイオン不純物を除去するイ
オン不純物除去手段と、該イオン不純物除去手段に接続
され、並列接続された複数のフィルタからなり、純水中
に含まれる微粒子を除去する微粒子除去手段と、上記イ
オン不純物除去手段および上記微粒子除去手段にそれぞ
れ接続されたパージラインと、上記複数のイオン交換樹
脂または上記複数のフィルタで一方から他方への交換
時、上記複数のイオン交換樹脂相互間または上記複数の
フィルタ相互間を切り換える切換手段とを備えた純水製
造システムにおける水質モニタリング方法であって、上記イオン不純物除去手段および上記微粒子除去手段の
少なくとも一方の入力側および出力側で純水水質を同時
にモニタリングするようにしたことを特徴とする水質モ
ニタリング方法。
【請求項１２】上記モニタリングは、上記イオン不純
物除去手段または上記微粒子除去手段の入力側と上記イ
オン不純物除去手段または上記微粒子除去手段のパージ
出力側に接続されたパージラインとの間に設けられたサ
ンプリングポートを介して行われることを特徴とする請
求項１１記載の水質モニタリング方法。