JP6728913B2 - 超純水製造方法 - Google Patents
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Description
図3に示す装置の容器21内に触媒樹脂(ランクセス社製 K3433)を充填した。この容器21に水素濃度0.67mg/Lの水素溶解水を170L/hの流量及び40h−1の通水速度で通水し、水素積算接触量が150mg−H2/5L−resinとなるように水素溶解水洗浄を行った。
触媒樹脂に対し、水素濃度0.67mg/Lの水素溶解水を170L/hの流量及び40h−1の通水速度で通水し、水素積算接触量が60mg−H2/5L−resinとなるように水素溶解水洗浄を行った以外は実施例1と同様にして超純水製造装置1を構成し、48時間運転した後の揮発性有機物濃度及びDO濃度をそれぞれ測定したところ、揮発性有機物濃度は0.5ppbでDO濃度は0.5ppbであり、実施例1と比較して揮発性有機物濃度が高かった。
触媒樹脂に対して、水素溶解水洗浄による洗浄を行なわずにそのまま用いた以外は実施例1と同様にして超純水製造装置を構成し、48時間運転した後の揮発性有機物濃度及びDO濃度をそれぞれ測定したところ、揮発性有機物濃度は0.7ppbでDO濃度は3ppbであり、実施例1と比較していずれも高かった。
2…前処理装置
3…一次純水装置
4…二次純水装置(サブシステム)
11…サブタンク
12…ポンプ
13…熱交換器
14…低圧UV照射酸化装置
15…非再生型混床式イオン交換装置
16…UF膜分離装置
W2…一次純水
W3…超純水
UP…ユースポイント
Claims (3)
- 一次純水装置と白金族金属担持樹脂を用いた混床式イオン交換装置を備えた二次純水装置とを有する超純水製造装置を用いた超純水製造方法であって、
被処理水中の揮発性有機物を分解除去するために、前記超純水製造装置の運転開始前に予め水素を溶解させた超純水を前記白金族金属担持樹脂に対して100mg−H2/L−resin以上となるように通水して前記白金族金属担持樹脂の洗浄を行うことを特徴とする超純水製造方法。 - 前記混床式イオン交換装置が、白金族金属担持樹脂とアニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の混合樹脂とを1:20〜1:5(体積比)で有する請求項1に記載の超純水製造方法。
- 前記混床式イオン交換装置が、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の混合樹脂層間に白金族金属担持樹脂層を積層したものである請求項1又は2に記載の超純水製造方法。
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JP2016078853A JP6728913B2 (ja) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | 超純水製造方法 |
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JP2017189723A JP2017189723A (ja) | 2017-10-19 |
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