JP5854163B2 - 超純水の製造方法及び超純水製造設備 - Google Patents
超純水の製造方法及び超純水製造設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5854163B2 JP5854163B2 JP2015115518A JP2015115518A JP5854163B2 JP 5854163 B2 JP5854163 B2 JP 5854163B2 JP 2015115518 A JP2015115518 A JP 2015115518A JP 2015115518 A JP2015115518 A JP 2015115518A JP 5854163 B2 JP5854163 B2 JP 5854163B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- pure water
- hydrogen peroxide
- ultraviolet oxidation
- water production
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 58
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims description 44
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims description 44
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 144
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 129
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 91
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 53
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 53
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 48
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 25
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 17
- 229910052806 inorganic carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 claims description 11
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 31
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 23
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 9
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 7
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 7
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000006114 decarboxylation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 platinum group metals Chemical class 0.000 description 2
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 2
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005909 Kieselgur Substances 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 1
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 1
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004968 peroxymonosulfuric acids Chemical class 0.000 description 1
- FSDZFKWCTBMYDV-UHFFFAOYSA-N platinum;propan-2-one Chemical compound [Pt].CC(C)=O FSDZFKWCTBMYDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Description
電気比抵抗;18MΩ・cm以上
(金属イオン濃度:5ng/L以下、残留イオン濃度:10ng/L以下)
微粒子数;1mL中に0.1μm以上の微粒子5個以下
である。
2H2O+O2の反応により分解される。過酸化水素含有水を過酸化水素分解触媒との接触方法に特に制限はないが、過酸化水素分解触媒を充填した過酸化水素分解装置へ通水することが好ましい。通水方向は、上向流、下向流のいずれともすることができるが、触媒が流動しない下向流であることが好ましい。
超純水にIPA(イソプロピルアルコール)を添加した合成一次純水を図2のフローに従って処理した。
図3の通り、アニオン交換樹脂塔8を省略し、紫外線酸化装置7からの流出水をそのままPt触媒塔9に通水するようにしたこと以外は実験例1〜3と全く同様にして処理を行った。Pt触媒塔9からの処理水中の過酸化水素濃度の経時変化を表3に示す。
実験例5及び6において、紫外線酸化装置7の流出水(UV処理水)の無機炭酸イオン濃度が表4のようになるよう、紫外線酸化装置7の紫外線照射量を変化させて処理した場合の結果を、実験例5及び6の結果とともにあわせて示す。
2 紫外線酸化装置
3 アニオン交換手段
4 過酸化水素除去手段
7 低圧紫外線酸化装置
Claims (4)
- 一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備え、該二次純水製造装置で得られた超純水がユースポイントに送給され、該ユースポイントから戻された余剰の超純水と該一次純水製造装置からの一次純水との混合水が被処理水として、該二次純水製造装置で処理される超純水製造設備における超純水製造方法であって、
該二次純水製造装置において、該被処理水を紫外線酸化装置で紫外線酸化処理した後、白金系触媒を用いた過酸化水素除去装置により過酸化水素除去処理する超純水の製造方法において、
該白金系触媒は、白金系金属のコロイド粒子をアニオン交換樹脂に担持させたものであり、
該紫外線酸化装置への給水のTOCを5ppb以下とし、
該紫外線酸化装置への給水の無機炭酸イオン濃度が1ppb未満であり、該紫外線酸化装置で処理された紫外線酸化処理水の無機炭酸イオン濃度が1ppb以上であることを特徴とする超純水の製造方法。 - 請求項1に記載の超純水の製造方法において、前記紫外線酸化装置からの紫外線酸化処理水をアニオン交換処理した後、前記過酸化水素除去装置により過酸化水素除去処理することを特徴とする超純水の製造方法。
- 一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備え、該二次純水製造装置で得られた超純水がユースポイントに送給され、該ユースポイントから戻された余剰の超純水と該一次純水製造装置からの一次純水との混合水が被処理水として、該二次純水製造装置で処理される超純水製造設備であって、
該二次純水製造装置は、紫外線酸化装置と、その後段に設けられた、白金系触媒を有する過酸化水素除去装置と、該紫外線酸化装置の給水のTOCを5ppb以下とする手段とを備え、
該白金系触媒は、白金系金属のコロイド粒子をアニオン交換樹脂に担持させたものであり、
該紫外線酸化装置への給水の無機炭酸イオン濃度が1ppb未満であり、該紫外線酸化装置は、該紫外線酸化装置の流出水中の無機炭酸イオン濃度が1ppb以上となるように、紫外線酸化処理条件が設定されることを特徴とする超純水製造設備。 - 請求項3に記載の超純水製造設備であって、前記紫外線酸化装置と過酸化水素除去装置との間にアニオン交換手段を設けたことを特徴とする超純水製造設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015115518A JP5854163B2 (ja) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 超純水の製造方法及び超純水製造設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015115518A JP5854163B2 (ja) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 超純水の製造方法及び超純水製造設備 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013233125A Division JP2015093226A (ja) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 純水製造方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015178107A JP2015178107A (ja) | 2015-10-08 |
JP5854163B2 true JP5854163B2 (ja) | 2016-02-09 |
Family
ID=54262554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015115518A Active JP5854163B2 (ja) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 超純水の製造方法及び超純水製造設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5854163B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6439777B2 (ja) * | 2016-12-05 | 2018-12-19 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造装置の運転方法 |
JP2023039238A (ja) * | 2021-09-08 | 2023-03-20 | オルガノ株式会社 | 樹脂の製造方法、超純水製造方法及び超純水製造装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2606910B2 (ja) * | 1988-11-21 | 1997-05-07 | 神鋼パンテツク株式会社 | 超純水製造供給装置 |
JPH0647105B2 (ja) * | 1989-12-19 | 1994-06-22 | 株式会社荏原総合研究所 | 純水又は超純水の精製方法及び装置 |
JPH04293553A (ja) * | 1991-03-25 | 1992-10-19 | Kurita Water Ind Ltd | 復水処理用混床式イオン交換装置の再生方法 |
JP3189329B2 (ja) * | 1991-11-18 | 2001-07-16 | 日本錬水株式会社 | 超純水の製造法 |
JPH05293494A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置 |
JP2002345400A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-03 | Daikin Ind Ltd | 鮮度保持雰囲気供給装置 |
JP2003117391A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-04-22 | Katayama Chem Works Co Ltd | オゾン分解用固体触媒およびそれを用いたオゾンの分解方法 |
JP2003145177A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-20 | Kurita Water Ind Ltd | 脱酸素処理方法及び脱酸素処理装置 |
JP4635827B2 (ja) * | 2005-11-07 | 2011-02-23 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法および装置 |
JP5124946B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2013-01-23 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去方法 |
-
2015
- 2015-06-08 JP JP2015115518A patent/JP5854163B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015178107A (ja) | 2015-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2015068635A1 (ja) | 純水の製造方法及び装置 | |
JP5454468B2 (ja) | 純水製造方法及び純水製造装置 | |
JP5124946B2 (ja) | 超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去方法 | |
JP5499753B2 (ja) | 水処理方法及び装置 | |
JP6439777B2 (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造装置の運転方法 | |
JP6451824B2 (ja) | 過酸化水素除去方法及び装置 | |
JP5854163B2 (ja) | 超純水の製造方法及び超純水製造設備 | |
JP5499433B2 (ja) | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 | |
JP2009112945A (ja) | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 | |
JP7368310B2 (ja) | ホウ素除去装置及びホウ素除去方法、並びに、純水製造装置及び純水の製造方法 | |
JP6848415B2 (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造装置の運転方法 | |
JP2013208557A (ja) | 有機物含有水の処理方法 | |
JP6627321B2 (ja) | 白金族金属担持体の前処理方法および前処理装置 | |
JP2019107631A (ja) | 紫外線酸化処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150608 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150608 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20150608 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20150729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151123 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5854163 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |