JP2019107631A - 紫外線酸化処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
電気比抵抗;18MΩ・cm以上
金属イオン濃度:5ng/L以下
残留イオン濃度:10ng/L以下
微粒子数:1mL中に0.1μm以上の微粒子5個以下
である。
2H2O(UV照射)→H2O2+H2 …(1)
O2+2H2O(UV照射)→2H2O2 …(2)
図1に示すように、超純水(DO(溶存酸素):12〜13ppb、H2O2<1ppb、DH(溶存水素)<0.5ppb)にイソプロピルアルコール(IPA)をTOCが1〜2ppb(平均1.5ppb)となるように添加した後、脱気膜装置で脱気し、DO<1ppb、DH<0.2ppb、H2O2<1ppbの脱気水とした。この脱気水に対し、超純水にH2ガスを気体溶解モジュールで溶解させたH2濃度約1ppmの水素溶解水を添加し、紫外線酸化装置給水中のH2濃度を1〜10ppbとした(比較例では水素溶解水を添加しなかった。)。
図3の通り、図1の試験装置において、気体溶解モジュールに空気を供給し、空気溶解超純水を脱炭酸塔で脱炭酸処理することにより、O2濃度が約8ppbの酸素溶解水を調製し、この酸素溶解水をUV給水に添加するようにした。
17 低圧UV酸化装置
Claims (3)
- 超純水製造用サブシステムに設置された紫外線酸化装置に被処理水を通水し、TOCを分解する紫外線酸化処理方法において、
該紫外線酸化装置への給水中のH2濃度を0.5ppb以上とすることを特徴とする紫外線酸化処理方法。 - 前記紫外線酸化装置への給水中のH2濃度を0.5〜4ppbとすることを特徴とする紫外線酸化処理方法。
- 前記紫外線酸化装置に供給される被処理水中のO2濃度が30ppb以下であることを特徴とする紫外線酸化処理方法。
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JP2000167593A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-20 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置の運転方法及び超純水製造装置 |
JP2007125519A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造方法および装置 |
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