JP4129484B2 - 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4129484B2 JP4129484B2 JP2002293252A JP2002293252A JP4129484B2 JP 4129484 B2 JP4129484 B2 JP 4129484B2 JP 2002293252 A JP2002293252 A JP 2002293252A JP 2002293252 A JP2002293252 A JP 2002293252A JP 4129484 B2 JP4129484 B2 JP 4129484B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- tank
- cleaning tank
- transfer body
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
- B08B3/123—Cleaning travelling work, e.g. webs, articles on a conveyor
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば車両用部品等を加工した後バリ取り洗浄する際、迅速に効率良く行うことのできる超音波洗浄技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば自動車のバルブボディ等の複雑形状の部品を加工した後、超音波洗浄による強力なキャビテーションの衝撃力によってバリ取り処理すれば、極めて効率良くしかも微小なバリでも除去できることが知られており、このような超音波洗浄装置としては、洗浄液を貯留する洗浄槽の上部から洗浄槽内に洗浄物を投入し、液中に超音波を放射して超音波バリ取り洗浄を行った後、洗浄物を洗浄槽から引上げて取出すような方法が一般的である。(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭64−34647号公報(図1〜図3)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、洗浄物を洗浄槽の上方から投入したり、上方に引上げて取出したりする方法は、例えば車両用部品のように、加工ラインから搬送路等を通して順次送り出されるワークを効率良く洗浄槽内に送り込んだり、取出したりして洗浄処理することが出来ず、効率が悪いという問題があった。
また、洗浄物を上下に移動させようとすると、装置が上下方向に大型化し、また、ワークの昇降機構等も必要になって設備費用がかかるという問題もあった。
【0005】
そこで本発明は、洗浄物を超音波洗浄する際、洗浄槽内への洗浄物の出し入れの効率化を図ると同時に、装置が上下方向に大型化するのを防止することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、脱気した洗浄液が収容される洗浄槽内に洗浄物を投入して超音波洗浄するようにした超音波洗浄装置において、前記洗浄物をカゴ等の移送体に複数纏めて収容し、洗浄槽の側壁に、前記移送体を洗浄槽内に出し入れするための投入口と払出し口を設け、この投入口と払出し口には、開閉自在な扉を設けるとともに投入口と払出し口との間には、移送路と上下方向略同じ高さの搬路を形成し、この投入口と払出し口の近傍には、前記移送体を洗浄槽の側方から洗浄槽内に投入し、また洗浄槽内の移送体を洗浄槽の側方に向けて払出すことの出来る洗浄物移送機構を設け、また、洗浄槽には、前記移送体を投入口から洗浄槽内に投入する際と、洗浄槽内の移送体を払出し口から払出す際には、洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに移送して、液面が投入口や払出し口の開口下端部より低位になるようにし、洗浄物を洗浄する際は、貯留タンク内の洗浄液を洗浄槽内に移送して、投入口や払出し口を超え、洗浄物が浸漬する程度の液位にするための洗浄液出し入れ回路を接続するようにした。
【0007】
そして請求項3のように、請求項1記載の超音波洗浄装置を使用して行う超音波洗浄方法において、複数の洗浄物をカゴ等の移送体内に収容し、洗浄槽内の洗浄液を、洗浄槽の側壁の投入口の開口下端部より低位にして、洗浄槽の側壁の投入口を通して前記移送体を洗浄槽の側方から投入し、投入口を扉で塞いだ後、洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入して洗浄物を超音波洗浄し、洗浄後、洗浄槽内から洗浄液を抜いて洗浄槽の側壁の払出し口の開口下端部より低位にして払出し口の扉を開き、払出し口を通して前記移送体を洗浄槽の側方に向けて払出す。
そして、このような操作を繰り返すようにすれば、加工ラインから順次送り出されるワークを効率的に洗浄処理することが出来、しかも、装置が上下方向に大型化しない。
【0008】
ここで、投入口と払出し口の扉の開閉方式等は任意であり、開いた状態で洗浄物を通過させることができ、閉じた状態で洗浄槽内が密封されるようにする。
また、洗浄物移送機構の移送方式等も任意であり、例えばピニオンラック機構や、シリンダ押圧機構や、その他の方式が採用可能である。
また、洗浄液出し入れ機構の具体的構成等も任意であり、例えば真空吸引方式や、ポンプ吸引方式や、その他の方式が採用できるが、短時間で洗浄液を出し入れ出来るようにすることがサイクルタイム短縮の面で好ましい。
【0009】
また本発明では、前記洗浄槽の投入口と払出し口の側方に、洗浄槽とほぼ同一形態の複数の槽を一列上に並設し、隣接する洗浄槽や槽は、お互いの払出し口と投入口とを向き合った姿勢にするとともに、これら払出し口と投入口との間には、共通の扉を設け、この共通の扉を開閉することにより払出し口と投入口とが連通・遮断自在になるようにした。
【0010】
このように、洗浄槽と複数の槽を一列上に並設し、上流側から下流側の槽に向けて洗浄物を順次移送しながら洗浄するようにすれば、例えば洗浄効果を高めたり、またはすすぎ洗いの効果を高めたりする等のことが可能となるが、この際、隣接する洗浄槽や槽の払出し口と投入口を向い合せて共通の扉を設け、この共通の扉の開閉により払出し口と投入口を連通または遮断せしめるようにすれば、洗浄物を他の槽に円滑に移送することが出来、搬送路等を通して順次送り込まれるワークを円滑に洗浄処理することが出来る。また、共通の扉とすることにより、設備の小型化も可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
ここで図1は本発明に係る超音波洗浄装置の基本形態を示す正面図、図2は同平面図、図3は洗浄物移送機構の一例を示す説明図、図4は洗浄装置の洗浄液回路の一例を示す回路図、図5乃至図10は多槽式の洗浄装置の説明図である。
【0012】
本発明に係る超音波洗浄装置は、例えば加工ライン等から順次送り出されるワークを超音波洗浄する際、洗浄槽内へのワークの出し入れの効率化を図ると同時に、装置が上下方向に大型化するのを防止できるようにされ、例えば自動車部品であるバルブボディのバリ取り洗浄装置として構成されている。
【0013】
すなわち、本超音波洗浄装置1は、図1及び図2に示すように、不図示の加工ライン等から送り出されるワークを洗浄槽2内に投入するための移送路3と、ワークをバリ取り洗浄するための洗浄槽2と、洗浄が終えたワークを洗浄槽2から払い出すための移送路4を備えており、洗浄槽2内にも搬路5が設けられるとともに、洗浄槽2の上流側(投入移送路3側)の側壁には、扉6hによって開閉自在な投入口6が設けられ、また、洗浄槽2の下流側(払出し側移送路4)の側壁には、扉7hによって開閉自在な払出し口7が設けられている。
【0014】
そして、前記移送路3、4や搬路5にあっては、カゴ等の移送体8を搬送し得るようにされ、移送体8の内部に複数のワークを纏めて収容し、移送体8ごと移動させるようにされている。そして、本実施例では、図3にも示すように、移送体8の下面にラック部材10を取り付け、このラック部材10を、移送路3、4側または搬路5側に設けた複数のピニオンギヤ11に噛合させ、このピニオンギヤ11を回転駆動することにより、移送体8を移動させるようにしている。
また、洗浄槽2の内部には、洗浄液に向けて超音波を発振する超音波発振器を設けており、また、後述するように、洗浄槽2内の洗浄液は出し入れ可能にしている。
【0015】
そして、洗浄槽2内の洗浄液を抜いて投入口6の扉6hを開き、上流側の移送路3のピニオンギヤ11と搬路5のピニオンギヤ11とを回転駆動して移送体8を洗浄槽2内に送り込み、送り込みが完了すると、投入口6の扉6hを閉じて閉鎖し、洗浄槽2内に洗浄液を導入する。そして超音波を放射してバリ取り洗浄を行う。
洗浄が終えると、洗浄液を抜いて払出し口7の扉7hを開き、搬路5のピニオンギヤ11と下流側の移送路4のピニオンギヤ11とを回転駆動して移送体8を洗浄槽2から払出すようにしている。
【0016】
前記洗浄槽2の洗浄液回路の一例について図4に基づき説明する。
洗浄槽2には、洗浄槽2内の洗浄液を出し入れするための洗浄液出し入れ回路15や、洗浄槽2内を真空引きするための真空引き回路16や、洗浄液から脱気するための脱気回路17や、洗浄槽2内の洗浄液を循環させる循環回路18が設けられており、前記洗浄液出し入れ回路15は、洗浄液を授受することの出来る貯留タンク12や、洗浄槽2と貯留タンク12を結ぶ給・排水ラインを備えている。
【0017】
そして洗浄槽2内の洗浄液は、洗浄液出し入れ回路15の給・排水ラインの排水側のバルブを開くことにより、自重で貯留タンク12内に排出されるようになり、また、貯留タンク12内の洗浄液を洗浄槽2内に戻す際は、前記真空引き回路16の真空ポンプ20を作動させることにより洗浄槽2内を減圧した後、給・排水ラインの給水側バルブを開いて洗浄槽2内に洗浄液を吸引するようにされている。
また、洗浄槽2内を大気圧に戻すには、大気開放ライン26のバルブを開くようにしている。
【0018】
前記循環回路18は、循環ポンプ21により洗浄槽2内の洗浄液の一部を循環させて、フィルタ22により汚れを除去するとともに、この回路の途中に接続される脱気回路17によって洗浄液の一部を脱気し、洗浄液中に含まれる気体成分を除去して洗浄槽2に戻すようにされている。
【0019】
前記脱気回路17は、洗浄液が洗浄槽2側にあって循環回路18を循環している時は、循環中の洗浄液の一部を受けとって脱気した後、洗浄槽2に戻すとともに、洗浄液が貯留タンク12側にある時は、貯留タンク12内の洗浄液の一部を受けとって脱気した後、貯留タンク12に戻すような回路にされている。そして洗浄液中に溶解する気体を除去することにより、超音波発振時におけるキャビティの衝撃力を高めるようにしている。
このため、この脱気回路17には、脱気モジュール23や、真空ポンプ24や、循環ポンプ25等が設けられており、真空ポンプ24で減圧した脱気モジュール23内に洗浄液を吸引して脱気し、脱気した気体は真空ポンプ24側に吸引して排気するとともに、脱気後の洗浄液は循環ポンプ25で貯留タンク12または洗浄槽2に戻すようにしている。
【0020】
前記投入口6や払出し口7は、移送体8の通過を許容し得るような形状、サイズにされ、また、投入口6の扉6hと、払出し口7の扉7hは、図2に示すように、シリンダユニット27の作動によって進退動自在にされている。そして、扉6h、7hが、投入口6や払出し口7の位置まで前進すると、投入口6や払出し口7を封鎖して内部を密封できるようにされ、後退すると、投入口6や払出し口7を開放するようにされている。
【0021】
以上のような超音波洗浄装置1の作用等について説明する。
移送体8を洗浄槽2に投入するときは、洗浄槽2内の洗浄液を洗浄液出し入れ回路15の給・排水ラインを通して貯留タンク12に移し替え、投入口6を開放しても洗浄液がこぼれ出ないようにした後、扉6hを開放し、移送路3と搬路5のピニオンギヤ11を回転駆動する。すると、移送体8は、投入口6を通して洗浄槽2内に移送される。
【0022】
次いで、扉6hを閉めて投入口6を閉鎖し、真空引き回路16により洗浄槽2内を真空引きした後、洗浄液出し入れ回路15の給・排水ラインの給水側バルブを開いて、貯留タンク12内の洗浄液を洗浄槽2内に戻す。
ここで、洗浄液は、貯留タンク12中において脱気回路17により脱気されており、洗浄槽2内に脱気された洗浄液が充填される。
そして、大気開放ライン26のバルブを開いて洗浄槽2内を大気圧に戻した後、必要に応じて液面センサ等により液面レベルを適切に調整し、超音波発振器により洗浄液中に超音波を放射すると、洗浄液中に強力なキャビティが発生し、このキャビティの強力な衝撃力によりバリが除去される。
【0023】
この間、洗浄槽2内の洗浄液は、循環回路18により循環し、フィルタ22で汚れが除去されるとともに、脱気回路17により溶存気体等が除去され、キャビティの強力な衝撃力が維持される。
【0024】
超音波バリ取り洗浄が終えると、洗浄液出し入れ回路15の給・排水ラインの排水側バルブが開かれて、洗浄槽2中の洗浄液は、貯留タンク12に送られ、液面が払出し口7の開口下端部より低位にされる。そして、払出し口7の扉7hが開かれた後、搬路5のピニオンギヤ11と下流側移送路4のピニオンギヤ11とが駆動され、移送体8は洗浄槽2の外部に払出される。そして払出しが終えると、扉7hが閉じられて、最初のサイクルに戻り、同様の操作が繰り返される。
【0025】
以上のような要領により、上流から順次送られるワークを効率良く洗浄することができ、洗浄槽2への投入、払出しに手間取ることがない。
【0026】
次に、多槽式の超音波洗浄装置の構成例について、図5乃至図9に基づき説明する。
ここで、図5は多槽式の超音波洗浄装置の正面図、図6は同平面図、図7は隣接する槽の共通の扉の説明図、図8は同扉の開閉の説明図、図9は第1、第2準備槽の洗浄液回路の一例図、図10は洗浄槽の洗浄液回路の一例図である。
【0027】
この構成例では、洗浄槽33を挟んで搬路の上流側と下流側に、第1準備槽31と第2準備槽32を設け、第1準備槽31の上流側に、前記移送路3を配設するとともに、第2準備槽32の下流側に前記移送路4を配設するようにしている。
そして、上流側の移送路3から搬送した移送体8を第1準備槽31を介して洗浄槽33に送り込み、洗浄槽2で超音波バリ取り洗浄が終えると、第2準備槽32を介して外部に払出すようにしている。
このため、第1準備槽31、洗浄槽33、第2準備槽32の各側壁には、それぞれ投入口42と払出し口43が設けられるとともに、各槽31、32、33内部には、搬路34が設けられている。また、超音波発振器は洗浄槽33だけに配設されて、第1準備槽31と第2準備槽32には設けられず、また、槽からの洗浄液の出し入れは、第1準備槽31と第2準備槽32で行うだけで、洗浄槽33には、常時洗浄液が入った状態にしている。
【0028】
前記第1準備槽31と第2準備槽32の洗浄液回路はほぼ同形態にされ、図9に示すように、各槽31、32から洗浄液を出し入れするための洗浄液出し入れ回路35や、各槽31、32内を真空引きするための真空引き回路36や、洗浄液から脱気するための脱気回路37や、各槽31、32内の洗浄液を循環させる循環回路38が設けられており、これらの各回路の構成は、一部を除いて前記例とほぼ同一である。
例えば、洗浄液出し入れ回路35には、貯留タンク48等を設けており、真空引き回路36には真空ポンプ50等を設けている。また、脱気回路37には、脱気モジュール51や真空ポンプ52や循環ポンプ53等を設けており、循環回路38には、循環ポンプ54やフィルタ55等を設けている。
【0029】
また、前記洗浄槽33の洗浄液回路は、図10に示すように、洗浄液を循環させる循環回路39と、洗浄液から脱気する脱気回路40を備えており、洗浄槽33内の洗浄液を循環回路39で循環させることにより、フィルタ57で異物等を取り除きながら脱気回路40により脱気し、キャビティの衝撃力を強めるようにしている。
このため、循環回路39には、循環ポンプ56やフィルタ57等を設けており、また脱気回路40には、脱気モジュール58や、真空ポンプ59や、循環ポンプ60等を設けている。
【0030】
ところで、前記第1準備槽31の払出し口43と洗浄槽33の投入口42、及び、洗浄槽33の払出し口43と第2準備槽32の投入口42は、対向する位置に近接して設けられ、また、これらの間には、図6に示すように、共通の扉44が設けられている。そしてこの扉44を開閉することにより、それぞれの払出し口43と投入口42が連通、或いは遮断されるようにされている。
【0031】
すなわち、図6、図7からも明らかなように、共通の扉44は、クサビ状の形態にされるとともに、シリンダユニット45の作動によって進退動自在にされ、また、投入口42や払出し口43の周囲には、弾性力により膨出または没入可能なパッキン材46が設けられている。
そして、図8(a)に示すように、共通の扉44が投入口42や払出し口43の前面に前進すると、連通が遮断されて内部が密閉され、図8(b)に示すように、扉44が投入口42や払出し口43の前面から後退すると、両方のパッキン材46が膨出して投入口42と払出し口43が連通するとともに、液体が外部に漏れ出さないようにされている。
【0032】
以上のような超音波洗浄装置における洗浄方法について説明する。
第1準備槽31の洗浄液を貯留タンク48に移し替えて内部を空の状態にしておき、脱気回路37により洗浄液に含まれる気体を脱気する。そして、上流側の移送路3から移送体8が搬送されてくると、第1準備槽31の投入口42の扉42hを開いて移送体8を投入する。
【0033】
第1準備槽31に移送体8が投入されると、扉42hを閉じて内部を密閉し、真空引き回路36によって槽31内を減圧した後、洗浄液出し入れ回路35の給・排水ラインの給水側バルブを開いて槽31内に洗浄液を導入する。そして、必要に応じて液面レベルを隣の洗浄槽33の液面レベルに一致させるよう調整した後、循環回路38を作動させて洗浄液を循環させ、フィルタによって異物を取り除くと同時に、洗浄液から脱気する。
【0034】
ワークに付着する異物を取り除き、洗浄液が所望のレベルまで脱気されると、循環回路38の作動を停止させ、ワークを洗浄槽33に移送する。この際、第1準備槽31と洗浄槽33間の共通の扉44を開くと、各槽31、33間が連通し、各槽31、33の搬路34を通して、移送体8は洗浄槽33内に送り込まれる。
そして移送体33が洗浄槽33内に送り込まれると、共通の扉44が閉じられて内部が閉鎖され、超音波洗浄が開始される。
【0035】
洗浄槽33における超音波洗浄が終えると、同様の要領で移送体8は第2準備槽32に移送される。この際、洗浄槽33と第2準備槽32間の共通の扉44を開く際は、予め、第2準備槽32内には洗浄液が所定液面レベまで満たされており、第2準備槽槽32に送り込まれると、第2準備槽32の循環回路38が作動して洗浄液の異物を取り除きつつ、洗浄液からの脱気が行われる。そして、すすぎ洗いの効果を得た後、洗浄液出し入れ回路35により洗浄液を貯留タンク48に移し替え、槽32内の洗浄液を空にした後、払出し口43の扉43hを開いて移送体8を払出す。
【0036】
そして、このような操作を各槽31、33、32において繰り返すことにより、順次送られてくるワークをサイクル的に効率良く洗浄することが出来る。
【0037】
尚、本発明は以上のような実施形態に限定されるものではない。本発明の特許請求の範囲に記載した事項と実質的に同一の構成を有し、同一の作用効果を奏するものは本発明の技術的範囲に属する。
例えば槽の数等は任意であり、また、各槽における洗浄液回路の構成等は例示である。また、移送体8の移送機構はシリンダ等でも良い。更に、ワークの種類や洗浄方法等も任意である。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明に係る超音波洗浄装置は、超音波洗浄装置の洗浄槽の側壁に、複数の洗浄物が纏めて収容される移送体を洗浄槽内に出し入れするための投入口と払出し口を設け、この投入口と払出し口を通して移送体を側方から投入、払出しするようにしたため、洗浄物を上下動させる必要が無くなるとともに、加工ラインから順次送り出されるワークを効率良く洗浄することが出来るようになり、しかも、装置が上下方向に大型化しない。
また、洗浄槽の投入口と払出し口の側方に、洗浄槽とほぼ同一形態の複数の槽を一列上に並設し、お互いの払出し口と投入口とを向き合わせるとともに、これら払出し口と投入口との間に共通の扉を設けるようにすれば、複数の槽を用いて洗浄効果を高めたり、すすぎ洗いの効果を得たりすることが可能となり、しかも設備の小型化も図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波洗浄装置の基本形態を示す正面図
【図2】同平面図
【図3】洗浄物移送機構の一例を示す説明図
【図4】洗浄装置の洗浄液回路の一例図
【図5】多槽式の超音波洗浄装置の正面図
【図6】同平面図
【図7】隣接する槽の共通の扉の説明図
【図8】同扉の開閉の説明図
【図9】第1、第2準備槽の洗浄液回路の一例図
【図10】洗浄槽の洗浄液回路の一例図
【符号の説明】
1…超音波洗浄装置、2…洗浄槽、3…移送路、4…移送路、5…搬路、6…投入口、6h…扉、7…払出し口、7h…扉、15…洗浄液出し入れ回路、16…真空引き回路、17…脱気回路、18…循環回路、31…第1準備槽、32…第2準備槽、33…洗浄槽、42…投入口、43…払出し口、44…共通の扉。
Claims (3)
- 脱気した洗浄液が収容される洗浄槽内に洗浄物を投入して超音波洗浄するようにした超音波洗浄装置であって、前記洗浄物はカゴ等の移送体内に複数纏めて収容され、前記洗浄槽の側壁には、前記移送体を洗浄槽内に出し入れするための投入口と払出し口が設けられ、この投入口と払出し口には、開閉自在な扉が設けられるとともに投入口と払出し口との間には、移送路と上下方向略同じ高さの搬路が形成され、この投入口と払出し口の近傍には、前記移送体を洗浄槽の側方から洗浄槽内に投入し、また洗浄槽内の移送体を洗浄槽の側方に向けて払出すことの出来る洗浄物移送機構が設けられ、また、前記洗浄槽には、前記移送体を投入口から洗浄槽内に投入する際と、洗浄槽内の移送体を払出し口から払出す際には、洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに移送して、液面が投入口や払出し口の開口下端部より低位になるようにし、洗浄物を洗浄する際は、貯留タンク内の洗浄液を洗浄槽内に移送して、投入口や払出し口を超え、洗浄物が浸漬する程度の液位にするための洗浄液出し入れ回路が接続されることを特徴とする超音波洗浄装置。
- 前記洗浄槽の投入口と払出し口の側方には、洗浄槽とほぼ同一形態の複数の槽が一列上に並設され、隣接する洗浄槽や槽は、お互いの払出し口と投入口とが向き合った姿勢で配設されるとともに、これら払出し口と投入口との間には、共通の扉が設けられ、この共通の扉を開閉することにより前記払出し口と投入口とが連通・遮断自在にされることを特徴とする請求項1に記載の超音波洗浄装置。
- 請求項1記載の超音波洗浄装置を使用して行う超音波洗浄方法であって、複数の洗浄物をカゴ等の移送体内に収容する工程と、洗浄槽内の洗浄液を、洗浄槽の側壁の投入口の開口下端部より低位にして、該洗浄槽の側壁の投入口を通して前記移送体を洗浄槽の側方から投入し、投入口を扉で塞いだ後、洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入する工程と、洗浄槽内で洗浄物を超音波洗浄する工程と、洗浄後、洗浄槽内から洗浄液を抜いて洗浄槽の側壁の払出し口の開口下端部より低位にして払出し口の扉を開いた後、払出し口を通して前記移送体を洗浄槽の側方に向けて払出す工程とを備えたことを特徴とする超音波洗浄方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002293252A JP4129484B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
EP03751361A EP1557224A4 (en) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | ULTRASONIC WASHING EQUIPMENT AND ULTRASONIC WASHING METHOD |
US10/530,623 US20060137727A1 (en) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | Ultrasonic washing apparatus and ultrasonic washing method |
CA002501592A CA2501592A1 (en) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | Ultrasonic washing equipment and ultrasonic washing method |
AU2003271113A AU2003271113A1 (en) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | Ultrsonic washing equipment and ultrasonic washing method |
CNA2003801053241A CN1723091A (zh) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | 超声波清洗装置及超声波清洗方法 |
PCT/JP2003/012833 WO2004030838A1 (ja) | 2002-10-07 | 2003-10-07 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002293252A JP4129484B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004122064A JP2004122064A (ja) | 2004-04-22 |
JP4129484B2 true JP4129484B2 (ja) | 2008-08-06 |
Family
ID=32064002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002293252A Expired - Fee Related JP4129484B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060137727A1 (ja) |
EP (1) | EP1557224A4 (ja) |
JP (1) | JP4129484B2 (ja) |
CN (1) | CN1723091A (ja) |
AU (1) | AU2003271113A1 (ja) |
CA (1) | CA2501592A1 (ja) |
WO (1) | WO2004030838A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006022831A1 (de) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Siemens Ag | Verfahren zum Steuern einer Schleifmaschine und numerisch gesteuerte Schleifmaschine |
JP5086123B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2012-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP5149035B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-02-20 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
CN102671883A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-19 | 上海思恩电子技术(东台)有限公司 | 具有托升推移机构的清洗机 |
CN105983553A (zh) * | 2015-05-18 | 2016-10-05 | 张家港市超声电气有限公司 | 超声波清洗装置以及清洗方法 |
CN108014647A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-11 | 苏州市华测检测技术有限公司 | 二噁英采样滤膜的超声波清洗设备 |
CN108325932B (zh) * | 2018-02-01 | 2024-04-02 | 长安大学 | 一种全自动旋转薄膜烘箱盛样瓶清洗仪 |
JP2019181355A (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-24 | 株式会社ブルー・スターR&D | 被洗浄物の超音波洗浄方法及び超音波洗浄装置 |
CN108246709B (zh) * | 2018-04-16 | 2023-07-14 | 绵阳市朝育机械有限公司 | 一种除油清洗系统 |
CN109201596B (zh) * | 2018-09-03 | 2021-01-15 | 贵州华旭光电技术有限公司 | 液晶屏清洗装置 |
CN109868482A (zh) * | 2019-03-11 | 2019-06-11 | 常德力元新材料有限责任公司 | 一种冲孔钢带的制备系统和方法 |
CN112642795B (zh) * | 2020-12-01 | 2022-05-10 | 哈尔滨岛田大鹏工业股份有限公司 | 一种节能型超声波清洗机 |
CN112775099A (zh) * | 2021-01-27 | 2021-05-11 | 南京工业职业技术大学 | 一种新能源汽车生产用零部件清洗装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH355336A (de) * | 1957-12-11 | 1961-06-30 | Technochemie Ag | Verfahren zum Reinigen von Metallteilen |
DE2013939A1 (en) * | 1970-03-24 | 1971-10-07 | Eser U | Machine part washing device |
DE3002472C2 (de) * | 1980-01-24 | 1982-03-04 | Interatom Internationale Atomreaktorbau Gmbh, 5060 Bergisch Gladbach | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von alkalimetall-benetzten Werkstücken |
JP3030313B2 (ja) * | 1992-02-12 | 2000-04-10 | 住特フェライト株式会社 | 連続超音波洗浄装置 |
JPH05315313A (ja) * | 1992-05-07 | 1993-11-26 | Fujitsu Ltd | 枚葉式超音波処理装置 |
JP2897537B2 (ja) * | 1992-06-16 | 1999-05-31 | 日本電気株式会社 | 基板洗浄装置 |
DE4220927C2 (de) * | 1992-06-25 | 1994-08-18 | Werner Meisner | Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Reinigungsbehältern für verschmutzte Gegenstände in einer Waschanlage |
DE4317862A1 (de) * | 1993-05-28 | 1994-12-01 | Aichelin Ind Ofen | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von metallischen Werkstücken |
TW318190B (ja) * | 1993-10-06 | 1997-10-21 | Hitachi Shipbuilding Eng Co | |
JPH09253592A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-09-30 | Ii M Ii:Kk | 完全密閉式洗浄装置 |
JPH10335294A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-18 | Toshiba Corp | 基板洗浄装置、洗浄方法およびその方法を用いて製造した半導体装置 |
US6307184B1 (en) * | 1999-07-12 | 2001-10-23 | Fsi International, Inc. | Thermal processing chamber for heating and cooling wafer-like objects |
JP2001170583A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-26 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
JP2001332523A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2001340820A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-11 | Shibaura Mechatronics Corp | 超音波洗浄装置 |
US6659116B1 (en) * | 2000-06-26 | 2003-12-09 | Lam Research Corporation | System for wafer carrier in-process clean and rinse |
-
2002
- 2002-10-07 JP JP2002293252A patent/JP4129484B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-10-07 US US10/530,623 patent/US20060137727A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-07 EP EP03751361A patent/EP1557224A4/en not_active Withdrawn
- 2003-10-07 CN CNA2003801053241A patent/CN1723091A/zh active Pending
- 2003-10-07 CA CA002501592A patent/CA2501592A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-07 WO PCT/JP2003/012833 patent/WO2004030838A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2003-10-07 AU AU2003271113A patent/AU2003271113A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2003271113A1 (en) | 2004-04-23 |
AU2003271113A8 (en) | 2004-04-23 |
CA2501592A1 (en) | 2004-04-15 |
CN1723091A (zh) | 2006-01-18 |
US20060137727A1 (en) | 2006-06-29 |
WO2004030838A1 (ja) | 2004-04-15 |
EP1557224A1 (en) | 2005-07-27 |
JP2004122064A (ja) | 2004-04-22 |
EP1557224A4 (en) | 2007-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4129484B2 (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 | |
JP3749095B2 (ja) | チップ型電子部品分離洗浄乾燥装置 | |
TWI463040B (zh) | 表面處理裝置 | |
KR101397408B1 (ko) | 매거진과 pcb 세정장치 | |
JP6437949B2 (ja) | エマルジョン洗浄装置 | |
JP2008142637A (ja) | 洗浄乾燥装置 | |
MX2009002001A (es) | Dispositivo de limpieza que tiene una camara de inundacion. | |
JP2002520132A (ja) | 基板をクリーニングする方法及び装置 | |
KR101311323B1 (ko) | 트레이와 다이 세정장치 | |
JP4255800B2 (ja) | 汚水貯留部を備えたコンテナ | |
JP2012030203A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JP2002263592A (ja) | ゴム栓洗浄装置及びゴム栓搬送方法 | |
KR100594345B1 (ko) | 세정장치 | |
CN116261611A (zh) | 洗衣机 | |
JP2921781B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP4328436B2 (ja) | 脱脂洗浄方法及び洗浄装置 | |
KR102374872B1 (ko) | 개선된 기판 구획부 세정 | |
US20070136957A1 (en) | Ultrasonic washing method for clothes | |
JPH10242104A (ja) | 被洗浄物の洗浄乾燥方法および洗浄乾燥装置 | |
JPH08257518A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
CN219648252U (zh) | 一种样瓶自动清洗烘干系统 | |
JP3573450B2 (ja) | 薄板状ワークの洗浄装置及び洗浄方法 | |
JPH0731942A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
JPH11297605A (ja) | 剥離方法および同装置 | |
JP4547248B2 (ja) | 成形ゴムホースの洗浄方法及び洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061027 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071213 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4129484 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130530 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140530 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |