JP3030313B2 - 連続超音波洗浄装置 - Google Patents
連続超音波洗浄装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
- B08B3/123—Cleaning travelling work, e.g. webs, articles on a conveyor
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S134/902—Semiconductor wafer
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、研削加工後のフェラ
イト磁石等、種々の被洗浄物を連続的に洗浄する超音波
洗浄装置に係り、超音波振動子を配置する洗浄槽の下方
に洗浄液受蓄槽を設けて被洗浄物の固定用押さえネット
を用いたネットコンベア、あるいは電気的に同調駆動す
る上下一対のネットコンベアを直線的に対向移動させ、
被洗浄物の移動及び飛散を防止すると共に、洗浄槽の小
型化並びに洗浄ラインの短縮化を達成し、設置が容易で
工業的な汎用性が向上した連続超音波洗浄装置に関す
る。
イト磁石等、種々の被洗浄物を連続的に洗浄する超音波
洗浄装置に係り、超音波振動子を配置する洗浄槽の下方
に洗浄液受蓄槽を設けて被洗浄物の固定用押さえネット
を用いたネットコンベア、あるいは電気的に同調駆動す
る上下一対のネットコンベアを直線的に対向移動させ、
被洗浄物の移動及び飛散を防止すると共に、洗浄槽の小
型化並びに洗浄ラインの短縮化を達成し、設置が容易で
工業的な汎用性が向上した連続超音波洗浄装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】工業的規模において、研削加工後のフェ
ライト磁石等を連続的に洗浄するには通常、図２に示す
如き超音波洗浄装置が採用されてきた。すなわち、エン
ドレスネットコンベア１上に載置された被洗浄物２を、
水等からなる洗浄液５を溜めた洗浄槽３内に配設された
一対の超音波振動子４，４間を通過させ、その際被洗浄
物２に作用する超音波によってヨゴレ等を除去する構成
からなっている。
ライト磁石等を連続的に洗浄するには通常、図２に示す
如き超音波洗浄装置が採用されてきた。すなわち、エン
ドレスネットコンベア１上に載置された被洗浄物２を、
水等からなる洗浄液５を溜めた洗浄槽３内に配設された
一対の超音波振動子４，４間を通過させ、その際被洗浄
物２に作用する超音波によってヨゴレ等を除去する構成
からなっている。
【０００３】しかし、従来の構成は、エンドレスネット
コンベア（以下ネットコンベアという）１上に載置され
た被洗浄物２の転動等による破損を考慮すると、洗浄槽
３への搬入角度及び洗浄後の搬出角度はゆるやかにな
り、必然的にネットコンベア１の傾斜部１ｃ，１ｄが長
くなっている。このため洗浄槽３の長さも長くなり装置
全体の小型化が不可能であった。また、ネットコンベア
１に傾斜部１ｃ，１ｄが存在する以上、被洗浄物２の形
状によってはその転動を完全に防止することもできず、
さらに被洗浄物２がネット部に食い込みやすく、欠け、
割れ等を発生する問題があった。
コンベア（以下ネットコンベアという）１上に載置され
た被洗浄物２の転動等による破損を考慮すると、洗浄槽
３への搬入角度及び洗浄後の搬出角度はゆるやかにな
り、必然的にネットコンベア１の傾斜部１ｃ，１ｄが長
くなっている。このため洗浄槽３の長さも長くなり装置
全体の小型化が不可能であった。また、ネットコンベア
１に傾斜部１ｃ，１ｄが存在する以上、被洗浄物２の形
状によってはその転動を完全に防止することもできず、
さらに被洗浄物２がネット部に食い込みやすく、欠け、
割れ等を発生する問題があった。
【０００４】そこで先に出願人は、超音波振動子を配置
する洗浄槽の下方に洗浄槽への洗浄液補給機能を有する
洗浄液受蓄槽を設けてネットコンベアを直線的に通過さ
せ、洗浄槽の小型化並びに洗浄ラインの短縮化を達成し
た連続超音波洗浄装置を提案（特願平２−３０４７２２
号）した。
する洗浄槽の下方に洗浄槽への洗浄液補給機能を有する
洗浄液受蓄槽を設けてネットコンベアを直線的に通過さ
せ、洗浄槽の小型化並びに洗浄ラインの短縮化を達成し
た連続超音波洗浄装置を提案（特願平２−３０４７２２
号）した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】工業的規模において
は、かかる超音波洗浄も洗浄能力を低下させることなく
効率よく速く完了することが要求されるが、能率を上げ
るためのコンベア速度の上昇や強制乾燥により、コンベ
ア上での被洗浄物の移動あるいは傷やカケの発生などの
問題があった。被洗浄物が電子部品等の小物や軽重量で
ある場合には、さらに、超音波洗浄時の振動により移動
して順序が代わるなどの問題があった。
は、かかる超音波洗浄も洗浄能力を低下させることなく
効率よく速く完了することが要求されるが、能率を上げ
るためのコンベア速度の上昇や強制乾燥により、コンベ
ア上での被洗浄物の移動あるいは傷やカケの発生などの
問題があった。被洗浄物が電子部品等の小物や軽重量で
ある場合には、さらに、超音波洗浄時の振動により移動
して順序が代わるなどの問題があった。
【０００６】また、被洗浄物を洗浄する際の洗浄液とし
ては、被洗浄物の材質等を考慮して、水や純水、フロ
ン、メタノール等の溶剤を選択使用していた。特に、セ
ラミックス等の精密電子部品等を洗浄する際には、洗浄
後の品質、信頼性等を考慮して、洗浄後のシミやウォー
ターマークと呼ばれる水滴痕を発生させないために、メ
タノールやフロン等の溶剤を用いることが多かった。
ては、被洗浄物の材質等を考慮して、水や純水、フロ
ン、メタノール等の溶剤を選択使用していた。特に、セ
ラミックス等の精密電子部品等を洗浄する際には、洗浄
後の品質、信頼性等を考慮して、洗浄後のシミやウォー
ターマークと呼ばれる水滴痕を発生させないために、メ
タノールやフロン等の溶剤を用いることが多かった。
【０００７】しかし近年、地球環境汚染等の問題からフ
ロンの使用が暫時規制され、これに伴い所謂代替フロン
が開発されつつあるが、気化速度が速く表面張力が小さ
なフロンに匹敵するものが少なく、また大量にかつ安価
には提供されていない。従って、上記の電子部品等の洗
浄に水や純水を使用できれば、極めて至便である。
ロンの使用が暫時規制され、これに伴い所謂代替フロン
が開発されつつあるが、気化速度が速く表面張力が小さ
なフロンに匹敵するものが少なく、また大量にかつ安価
には提供されていない。従って、上記の電子部品等の洗
浄に水や純水を使用できれば、極めて至便である。
【０００８】この発明は、先に提案した洗浄ラインの短
縮化を達成した連続超音波洗浄装置において、被洗浄物
の洗浄性並びに保持搬送性にすぐれ、コンベア速度の上
昇や強制乾燥を可能にした構成の提供を目的とし、さら
に洗浄液として水や純水を使用した場合でも洗浄後の水
滴痕等を発生させない構成からなる連続超音波洗浄装置
の提供を目的としている。
縮化を達成した連続超音波洗浄装置において、被洗浄物
の洗浄性並びに保持搬送性にすぐれ、コンベア速度の上
昇や強制乾燥を可能にした構成の提供を目的とし、さら
に洗浄液として水や純水を使用した場合でも洗浄後の水
滴痕等を発生させない構成からなる連続超音波洗浄装置
の提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
を解決するため、先に提案した直接被洗浄物の超音波洗
浄機能を有する洗浄槽と、洗浄槽の水位を適正維持する
ために、槽腹部にネットコンベアの入出口孔を設けた洗
浄槽と、これから流出する洗浄液を受ける洗浄液受蓄槽
と、洗浄槽に洗浄液補給樋を配設して洗浄液受蓄槽の洗
浄液を循環補給する構成からなる連続超音波洗浄装置に
ついて種々検討した結果、被洗浄物を搬送するネットコ
ンベアに個別に押さえネットを載せるか、あるいはこれ
に同期させた押さえネットコンベアを用いることによ
り、小物の被洗浄物でも搬送時、洗浄前の予備洗浄シャ
ワー、超音波洗浄時などのいずれの場合にも被洗浄物の
移動がなく安定した保持が可能で、特に流速の速いブロ
アーを用いた強制乾燥が可能になり、洗浄水を用いた洗
浄後にも水滴痕を発生させないことを知見し、この発明
を完成した。
を解決するため、先に提案した直接被洗浄物の超音波洗
浄機能を有する洗浄槽と、洗浄槽の水位を適正維持する
ために、槽腹部にネットコンベアの入出口孔を設けた洗
浄槽と、これから流出する洗浄液を受ける洗浄液受蓄槽
と、洗浄槽に洗浄液補給樋を配設して洗浄液受蓄槽の洗
浄液を循環補給する構成からなる連続超音波洗浄装置に
ついて種々検討した結果、被洗浄物を搬送するネットコ
ンベアに個別に押さえネットを載せるか、あるいはこれ
に同期させた押さえネットコンベアを用いることによ
り、小物の被洗浄物でも搬送時、洗浄前の予備洗浄シャ
ワー、超音波洗浄時などのいずれの場合にも被洗浄物の
移動がなく安定した保持が可能で、特に流速の速いブロ
アーを用いた強制乾燥が可能になり、洗浄水を用いた洗
浄後にも水滴痕を発生させないことを知見し、この発明
を完成した。
【００１０】すなわち、この発明は、槽腹部に入出口孔
を設けて被洗浄物を固定用の押さえネットとともに搬送
するネットコンベア、あるいは被洗浄物を搬送する下ネ
ットコンベア及び該下ネットコンベアと対向しかつ同調
駆動する上ネットコンベアをその槽腹部を貫通移動可能
にし、かつ槽内を対向移動する一対の上下ネットコンベ
アの上下面に対向配置した一対の超音波振動子と、槽腹
部の入出口孔近傍で下向きに洗浄液を噴出する噴出口を
槽内の洗浄液中に有する閉塞型の洗浄液補給樋を槽上部
に配置した洗浄槽と、洗浄槽の下方に位置して洗浄槽の
上下ネットコンベア入出口孔からの流出洗浄液を受蓄す
る洗浄液受蓄槽と、洗浄液受蓄槽内の洗浄液を洗浄槽の
洗浄液補給樋に補給する洗浄液循環手段とから構成され
たことを特徴とする連続超音波洗浄装置である。
を設けて被洗浄物を固定用の押さえネットとともに搬送
するネットコンベア、あるいは被洗浄物を搬送する下ネ
ットコンベア及び該下ネットコンベアと対向しかつ同調
駆動する上ネットコンベアをその槽腹部を貫通移動可能
にし、かつ槽内を対向移動する一対の上下ネットコンベ
アの上下面に対向配置した一対の超音波振動子と、槽腹
部の入出口孔近傍で下向きに洗浄液を噴出する噴出口を
槽内の洗浄液中に有する閉塞型の洗浄液補給樋を槽上部
に配置した洗浄槽と、洗浄槽の下方に位置して洗浄槽の
上下ネットコンベア入出口孔からの流出洗浄液を受蓄す
る洗浄液受蓄槽と、洗浄液受蓄槽内の洗浄液を洗浄槽の
洗浄液補給樋に補給する洗浄液循環手段とから構成され
たことを特徴とする連続超音波洗浄装置である。
【００１１】また、この発明は、上記の各構成におい
て、洗浄槽内の上下ネットコンベアの入出口孔近傍に洗
浄液の噴出口を配置したことを特徴とする連続超音波洗
浄装置である。
て、洗浄槽内の上下ネットコンベアの入出口孔近傍に洗
浄液の噴出口を配置したことを特徴とする連続超音波洗
浄装置である。
【００１２】さらに、この発明は、上記の各構成におい
て、洗浄槽後にエアーブロワー装置を配置したことを特
徴とする連続超音波洗浄装置である。
て、洗浄槽後にエアーブロワー装置を配置したことを特
徴とする連続超音波洗浄装置である。
【００１３】この発明において、対象とする被洗浄物
は、後述する一実施例にて示す研削加工後のフェライト
磁石の他、各種磁石、各種セラミックス、石材、ガラ
ス、精密電子部品等、あらゆる個片を対象とする。ま
た、洗浄液には被洗浄物の材質等を考慮して、水、溶剤
等を適宜選定して採用することできるが、水、純水や代
替フロン等、フロンなどの有機溶剤以外の洗浄液が望ま
しく、後述する如くこの発明の連続超音波洗浄装置は水
を使用してもウォーターマーク等を発生させることがな
い。
は、後述する一実施例にて示す研削加工後のフェライト
磁石の他、各種磁石、各種セラミックス、石材、ガラ
ス、精密電子部品等、あらゆる個片を対象とする。ま
た、洗浄液には被洗浄物の材質等を考慮して、水、溶剤
等を適宜選定して採用することできるが、水、純水や代
替フロン等、フロンなどの有機溶剤以外の洗浄液が望ま
しく、後述する如くこの発明の連続超音波洗浄装置は水
を使用してもウォーターマーク等を発生させることがな
い。
【００１４】この発明において、固定用の押さえネット
は、その自重にて被洗浄物を下ネットコンベアに保持さ
せることができれば、いずれの構成でもよく、また押さ
えネットをネットコンベアに掛け止めしたり、開閉式に
装着することもできる。押さえ並びにコンベア用の各ネ
ットの材質としては特に限定しないが、被洗浄物の材
質、形状寸法、重量など、さらに超音波洗浄条件、エア
ーブロワー装置の作動条件等に応じて、ネットの構成や
開口形状寸法の選定が必要であり、特に洗浄液切れのよ
い構成が望ましい。
は、その自重にて被洗浄物を下ネットコンベアに保持さ
せることができれば、いずれの構成でもよく、また押さ
えネットをネットコンベアに掛け止めしたり、開閉式に
装着することもできる。押さえ並びにコンベア用の各ネ
ットの材質としては特に限定しないが、被洗浄物の材
質、形状寸法、重量など、さらに超音波洗浄条件、エア
ーブロワー装置の作動条件等に応じて、ネットの構成や
開口形状寸法の選定が必要であり、特に洗浄液切れのよ
い構成が望ましい。
【００１５】また、この発明において、対向させる上ネ
ットコンベアと下ネットコンベアは同速度で連続進行す
ることが不可欠であり、そのために上下ネットコンベア
の近接区間で両コンベアが同速度となるように双方のモ
ーターを電気的に制御したり、あるいはギヤ等で機械的
に同調させる手段が採用できる。また、前記上下ネット
コンベア間は、洗浄する被洗浄物が挟持される間隔があ
ればよく、被洗浄物の寸法により適宜設定変更すればよ
い。例えば、上ネットコンベアをその自重により被洗浄
物を押さえることができるように、上下のネットコンベ
アの近接距離を設定すればよい。ネットの材質は押さえ
ネットと同様条件で適宜選定される。
ットコンベアと下ネットコンベアは同速度で連続進行す
ることが不可欠であり、そのために上下ネットコンベア
の近接区間で両コンベアが同速度となるように双方のモ
ーターを電気的に制御したり、あるいはギヤ等で機械的
に同調させる手段が採用できる。また、前記上下ネット
コンベア間は、洗浄する被洗浄物が挟持される間隔があ
ればよく、被洗浄物の寸法により適宜設定変更すればよ
い。例えば、上ネットコンベアをその自重により被洗浄
物を押さえることができるように、上下のネットコンベ
アの近接距離を設定すればよい。ネットの材質は押さえ
ネットと同様条件で適宜選定される。
【００１６】この発明において、短時間での乾燥やシミ
やウォーターマークの発生を防止するためには、洗浄槽
の下流側にエアーブロワー装置を配置することが望まし
い。また、ブロワーに代えてエアーコンプレッサーによ
る圧空でもよい。エアーブロワー装置の流速は、シミや
ウォーターマークの発生防止には高速であることが望ま
しく、特に１００〜２００ｍ／秒程度が好ましい。すな
わち、圧空流速が遅すぎると洗浄液に水を用いた場合に
シミやウォーターマークが発生し易く、また流速が速す
ぎると被洗浄物が移動する可能性がある。エアーブロワ
ー装置の吹き出しノズルの形状や構成やその配置や数等
は、流速や被洗浄物の形状寸法などに応じて適宜選定さ
れるが、被洗浄物に付着する洗浄液を瞬時に乾燥させ、
シミやウォーターマークの発生を防止するために、例え
ば、線状に吹き出すノズルをコンベアを横断して対向配
置し、上下ネットコンベアの上下からエアーを吹きつけ
たり、噴射角度を種々代えてエアーを吹きつける構成と
したり、対向させた上下一対のエアーブロワー装置を、
ネットコンベアの進行方向に複数個を等間隔配置する構
成等を採用することができる。
やウォーターマークの発生を防止するためには、洗浄槽
の下流側にエアーブロワー装置を配置することが望まし
い。また、ブロワーに代えてエアーコンプレッサーによ
る圧空でもよい。エアーブロワー装置の流速は、シミや
ウォーターマークの発生防止には高速であることが望ま
しく、特に１００〜２００ｍ／秒程度が好ましい。すな
わち、圧空流速が遅すぎると洗浄液に水を用いた場合に
シミやウォーターマークが発生し易く、また流速が速す
ぎると被洗浄物が移動する可能性がある。エアーブロワ
ー装置の吹き出しノズルの形状や構成やその配置や数等
は、流速や被洗浄物の形状寸法などに応じて適宜選定さ
れるが、被洗浄物に付着する洗浄液を瞬時に乾燥させ、
シミやウォーターマークの発生を防止するために、例え
ば、線状に吹き出すノズルをコンベアを横断して対向配
置し、上下ネットコンベアの上下からエアーを吹きつけ
たり、噴射角度を種々代えてエアーを吹きつける構成と
したり、対向させた上下一対のエアーブロワー装置を、
ネットコンベアの進行方向に複数個を等間隔配置する構
成等を採用することができる。
【００１７】エアーブロワー装置で特に重要になるのは
エアー自体の清浄度であり、ウォーターマークの発生に
大きく影響するため、公知の各種フィルターや空気清浄
装置などを要求される清浄度に応じて適宜選定配置する
とよい。また、エアーブロワー装置は密閉あるいは洗浄
槽側の一部を開放したチャンバー等を使用するが、チャ
ンバー内を飛散する洗浄液を少なくするために、積極的
に排気することもできる。
エアー自体の清浄度であり、ウォーターマークの発生に
大きく影響するため、公知の各種フィルターや空気清浄
装置などを要求される清浄度に応じて適宜選定配置する
とよい。また、エアーブロワー装置は密閉あるいは洗浄
槽側の一部を開放したチャンバー等を使用するが、チャ
ンバー内を飛散する洗浄液を少なくするために、積極的
に排気することもできる。
【００１８】この発明の洗浄装置において、洗浄槽と洗
浄液受蓄槽からなる二槽式の洗浄槽の他、後述する一実
施例に示す如き、洗浄槽の前にシャワー等の予備洗浄装
置や、洗浄槽から流出する洗浄液を洗浄装置外部へ漏れ
るのを防ぐ回転ブラシ、フラップ、また洗浄槽の後にシ
ャワー等の洗浄装置、ヒーター等の乾燥装置、洗浄水や
エアーの温度制御装置を配置して、洗浄効果の促進や短
時間での乾燥を実現することが可能となる。
浄液受蓄槽からなる二槽式の洗浄槽の他、後述する一実
施例に示す如き、洗浄槽の前にシャワー等の予備洗浄装
置や、洗浄槽から流出する洗浄液を洗浄装置外部へ漏れ
るのを防ぐ回転ブラシ、フラップ、また洗浄槽の後にシ
ャワー等の洗浄装置、ヒーター等の乾燥装置、洗浄水や
エアーの温度制御装置を配置して、洗浄効果の促進や短
時間での乾燥を実現することが可能となる。
【００１９】この発明において洗浄液受蓄槽を用いた洗
浄液循環手段は、後述する実施例の循環ポンプで受蓄槽
内の洗浄液を洗浄槽の洗浄液補給樋に循環補給する構成
であり、用途や装置の設置箇所等に応じて、揚水方法、
すなわち循環ポンプの種類や設置位置、さらに洗浄槽で
の洗浄液の噴出口位置を適宜選定するとよいが、少なく
とも実施例に示すごとく、槽腹部の入出口孔近傍で下向
きに槽内の洗浄液中に洗浄液を噴出させることにより、
洗浄液の流出量を減少させて洗浄液面レベルを安定化す
ることができる。さらに、蓋を用いてネットコンベアの
入出口孔のみを開口部とした洗浄槽内を僅かに減圧しな
がら洗浄槽の入出口孔部の内外に洗浄液噴出部を設け
て、洗浄液の流出量を減少させて洗浄液面レベルを安定
化する、あるいは逆に洗浄槽の底部等にも開口部を設
け、流出量並びに循環補給量を増やして洗浄槽内の洗浄
液を積極的に清浄化するなどの構成を併用することがで
きる。
浄液循環手段は、後述する実施例の循環ポンプで受蓄槽
内の洗浄液を洗浄槽の洗浄液補給樋に循環補給する構成
であり、用途や装置の設置箇所等に応じて、揚水方法、
すなわち循環ポンプの種類や設置位置、さらに洗浄槽で
の洗浄液の噴出口位置を適宜選定するとよいが、少なく
とも実施例に示すごとく、槽腹部の入出口孔近傍で下向
きに槽内の洗浄液中に洗浄液を噴出させることにより、
洗浄液の流出量を減少させて洗浄液面レベルを安定化す
ることができる。さらに、蓋を用いてネットコンベアの
入出口孔のみを開口部とした洗浄槽内を僅かに減圧しな
がら洗浄槽の入出口孔部の内外に洗浄液噴出部を設け
て、洗浄液の流出量を減少させて洗浄液面レベルを安定
化する、あるいは逆に洗浄槽の底部等にも開口部を設
け、流出量並びに循環補給量を増やして洗浄槽内の洗浄
液を積極的に清浄化するなどの構成を併用することがで
きる。
【００２０】図面による開示 第１図はこの発明の一実施例を示す洗浄装置の概要説明
図である。洗浄槽３は、被洗浄物２を下ネットコンベア
１ｂに載置して上ネットコンベア１ａにて押さえて搬送
できるように、上下重ねになったネットコンベア１ａ，
１ｂが該槽腹部の図で左右方向に貫通移動可能にするた
め、槽腹部中央に入口孔６ａと出口孔６ｂを設けてあ
り、入口孔６ａから洗浄槽３内に進入してきた上ネット
コンベア１ａと下ネットコンベア１ｂ間の被洗浄物２
は、ネットコンベア１ａ１ｂの上下面に対向させて配設
した一対の超音波振動子４，４間を通過し、さらに出口
孔６ｂから搬出される構成からなっている。
図である。洗浄槽３は、被洗浄物２を下ネットコンベア
１ｂに載置して上ネットコンベア１ａにて押さえて搬送
できるように、上下重ねになったネットコンベア１ａ，
１ｂが該槽腹部の図で左右方向に貫通移動可能にするた
め、槽腹部中央に入口孔６ａと出口孔６ｂを設けてあ
り、入口孔６ａから洗浄槽３内に進入してきた上ネット
コンベア１ａと下ネットコンベア１ｂ間の被洗浄物２
は、ネットコンベア１ａ１ｂの上下面に対向させて配設
した一対の超音波振動子４，４間を通過し、さらに出口
孔６ｂから搬出される構成からなっている。
【００２１】上ネットコンベア１ａは洗浄槽３の上方
で、下ネットコンベア１ｂは洗浄槽３のの周囲でループ
を形成し、図示はしないが、前記上ネットコンベア１ａ
と下ネットコンベア１ｂは個別のモーターにて駆動さ
れ、各モーターは電気的に同調駆動するように制御して
ある。なお、ここでは上下のネットコンベアにステンレ
ス鋼線からなるネットを使用している。
で、下ネットコンベア１ｂは洗浄槽３のの周囲でループ
を形成し、図示はしないが、前記上ネットコンベア１ａ
と下ネットコンベア１ｂは個別のモーターにて駆動さ
れ、各モーターは電気的に同調駆動するように制御して
ある。なお、ここでは上下のネットコンベアにステンレ
ス鋼線からなるネットを使用している。
【００２２】洗浄槽３内には洗浄液５ａが満たされてい
るが、前記洗浄槽３の入出口孔６ａ，６ｂから必然的に
洗浄液５ａが流出して、そのままの状態では洗浄液５ａ
の適正量、適正水位を維持することができない。そこ
で、洗浄槽３の洗浄液５ａを適正量に維持するために、
該洗浄槽３の下方に洗浄液受蓄槽（以下受蓄槽という）
９を配置し、受蓄槽９内に洗浄液５ｂを洗浄液循環ポン
プ（以下循環ポンプという）１０を用いて洗浄槽３に循
環補給する洗浄液循環手段を採用する。
るが、前記洗浄槽３の入出口孔６ａ，６ｂから必然的に
洗浄液５ａが流出して、そのままの状態では洗浄液５ａ
の適正量、適正水位を維持することができない。そこ
で、洗浄槽３の洗浄液５ａを適正量に維持するために、
該洗浄槽３の下方に洗浄液受蓄槽（以下受蓄槽という）
９を配置し、受蓄槽９内に洗浄液５ｂを洗浄液循環ポン
プ（以下循環ポンプという）１０を用いて洗浄槽３に循
環補給する洗浄液循環手段を採用する。
【００２３】さらに詳述すると、受蓄槽９内の洗浄液５
ｂは循環ポンプ１０にて洗浄槽３の上部に位置する洗浄
液補給樋（以下補給樋という）７に運ばれ、上下ネット
コンベア１ａ，１ｂの入出口孔６ａ，６ｂ近傍の噴出口
８ａ，８ｂから上下ネットコンベア１ａ，１ｂに向けて
洗浄槽３内に噴出される。
ｂは循環ポンプ１０にて洗浄槽３の上部に位置する洗浄
液補給樋（以下補給樋という）７に運ばれ、上下ネット
コンベア１ａ，１ｂの入出口孔６ａ，６ｂ近傍の噴出口
８ａ，８ｂから上下ネットコンベア１ａ，１ｂに向けて
洗浄槽３内に噴出される。
【００２４】この噴出口８ａ，８ｂ位置は洗浄槽３内で
あればいずれの位置でもよいが、実施例の如く、入出口
孔６ａ，６ｂ近傍に配置した下向きの噴出口が望まし
い。この際、下向きの噴出口８ａ，８ｂからの洗浄液５
ｂはいわゆるカーテン状に噴出されるため、上記入出口
孔６ａ，６ｂから流出する洗浄液５ｃの量を少なくさ
せ、洗浄槽３内の洗浄液５ａ適正量を維持することが可
能となる。特に上下ネットコンベア１ａ，１ｂの入出口
孔６ａ，６ｂの大きさ、すなわち洗浄液５ａの流出量に
応じて、循環ポンプ１０による洗浄液５ｂ補給量、補給
圧力等を選定することが望ましい。
あればいずれの位置でもよいが、実施例の如く、入出口
孔６ａ，６ｂ近傍に配置した下向きの噴出口が望まし
い。この際、下向きの噴出口８ａ，８ｂからの洗浄液５
ｂはいわゆるカーテン状に噴出されるため、上記入出口
孔６ａ，６ｂから流出する洗浄液５ｃの量を少なくさ
せ、洗浄槽３内の洗浄液５ａ適正量を維持することが可
能となる。特に上下ネットコンベア１ａ，１ｂの入出口
孔６ａ，６ｂの大きさ、すなわち洗浄液５ａの流出量に
応じて、循環ポンプ１０による洗浄液５ｂ補給量、補給
圧力等を選定することが望ましい。
【００２５】第１図では循環ポンプ１０本体が受蓄槽９
内、すなわち洗浄液５ｂ内に配置されるいわゆる水中ポ
ンプ型を用いた実施例について図示したが、この発明に
おいては必ずしも循環ポンプ１０本体が受蓄槽９内に配
置される構成だけでなく、受蓄槽９外に配置される構成
でも良く、周辺スペース、受蓄槽９の形状寸法、循環ポ
ンプ１０の形状寸法等により選定することが望ましい。
内、すなわち洗浄液５ｂ内に配置されるいわゆる水中ポ
ンプ型を用いた実施例について図示したが、この発明に
おいては必ずしも循環ポンプ１０本体が受蓄槽９内に配
置される構成だけでなく、受蓄槽９外に配置される構成
でも良く、周辺スペース、受蓄槽９の形状寸法、循環ポ
ンプ１０の形状寸法等により選定することが望ましい。
【００２６】また、洗浄槽３及び受蓄槽９の洗浄液は、
循環させる際に図示しない濾過装置やポンプのフィルタ
ーなどで濾過されるが、さらに新鮮洗浄液の補給を適宜
行うとよく、例えば図示の如く、受蓄槽９底部のドレイ
ンから所要量を排水し、後述の新鮮な洗浄液シャワー１
２ｂから一部バイパス補給するとよい。
循環させる際に図示しない濾過装置やポンプのフィルタ
ーなどで濾過されるが、さらに新鮮洗浄液の補給を適宜
行うとよく、例えば図示の如く、受蓄槽９底部のドレイ
ンから所要量を排水し、後述の新鮮な洗浄液シャワー１
２ｂから一部バイパス補給するとよい。
【００２７】上述のこの発明の洗浄槽３と受蓄槽９の二
槽構成のほか、洗浄槽３搬入側（図中右側）に洗浄液の
飛散を防止するフラップ１１、予備洗浄液シャワー１２
ａを配置したり、同搬出側図中左側に追加洗浄あるいは
リンスのための洗浄シャワー１２ｂ、乾燥を行うための
エアーブロワー１３、ブロワー（図示せず）と併設する
遠赤外線ヒーター１４等を設けることによって、洗浄効
果の促進や効果的な乾燥を実現できる。
槽構成のほか、洗浄槽３搬入側（図中右側）に洗浄液の
飛散を防止するフラップ１１、予備洗浄液シャワー１２
ａを配置したり、同搬出側図中左側に追加洗浄あるいは
リンスのための洗浄シャワー１２ｂ、乾燥を行うための
エアーブロワー１３、ブロワー（図示せず）と併設する
遠赤外線ヒーター１４等を設けることによって、洗浄効
果の促進や効果的な乾燥を実現できる。
【００２８】エアーブロワー１３は、ここではネットコ
ンベアの幅方向に線状にエアーを吹き出すノズルを、等
間隔に３連配置した例を示しており、大量かつ高速噴射
を実現している。また、チャンバーの底部を開放して、
洗浄液が受蓄槽９に落下するよう構成している。
ンベアの幅方向に線状にエアーを吹き出すノズルを、等
間隔に３連配置した例を示しており、大量かつ高速噴射
を実現している。また、チャンバーの底部を開放して、
洗浄液が受蓄槽９に落下するよう構成している。
【００２９】さらに、ネットコンベア１ａ，１ｂの速度
を洗浄対象物の寸法、形状、量等に応じて制御するた
め、例えば遠赤外線ヒーター１４に配置した温度計にて
センシングするなどの制御手段を上述した同調駆動の制
御と合わせて用いるのもよい。
を洗浄対象物の寸法、形状、量等に応じて制御するた
め、例えば遠赤外線ヒーター１４に配置した温度計にて
センシングするなどの制御手段を上述した同調駆動の制
御と合わせて用いるのもよい。
【００３０】また、洗浄槽３内に位置するネットコンベ
ア１ａ，１ｂを必要以上にたるみなく直線的に配置する
ため、ネットコンベア１ａ，１ｂの回転用駆動系内にト
ルクリミッター等を設けることが望ましい。
ア１ａ，１ｂを必要以上にたるみなく直線的に配置する
ため、ネットコンベア１ａ，１ｂの回転用駆動系内にト
ルクリミッター等を設けることが望ましい。
【００３１】
【作用】以上に示すこの発明の洗浄装置において、下ネ
ットコンベア１ａに載置されて上ネットコンベア１ａの
自重にて押さえられて固定され搬送され、先に仮洗浄が
行われた被洗浄物２は、洗浄槽３の入口孔６ａから槽内
に搬入され、一対の超音波振動子４，４間を通過する際
に超音波の作用、さらに下向きの噴出口８ａ，８ｂから
の洗浄液５ｂの撹拌による相乗効果によって洗浄され、
さらに出口孔６ｂから搬出された後、追加洗浄あるいは
リンス、乾燥工程を経て、所望される洗浄効果を得るこ
とができる。
ットコンベア１ａに載置されて上ネットコンベア１ａの
自重にて押さえられて固定され搬送され、先に仮洗浄が
行われた被洗浄物２は、洗浄槽３の入口孔６ａから槽内
に搬入され、一対の超音波振動子４，４間を通過する際
に超音波の作用、さらに下向きの噴出口８ａ，８ｂから
の洗浄液５ｂの撹拌による相乗効果によって洗浄され、
さらに出口孔６ｂから搬出された後、追加洗浄あるいは
リンス、乾燥工程を経て、所望される洗浄効果を得るこ
とができる。
【００３２】特に、被洗浄物２は上下ネットコンベア１
ａ，１ｂにより保持されているため、洗浄槽３内に搬入
された際の超音波の振動によっても移動することがな
く、また、後工程の乾燥工程において、高速ブロアーに
より洗浄液を瞬時に飛散、乾燥させる際にも、移動する
ことがない。従って、洗浄液５ｂに水や純水を用いて
も、超音波洗浄効果が高く、かつ清浄空気を高流速で吹
きつけるエアーブロワー１３を使用することにより、洗
浄液を瞬時に飛散させ、シミや水滴痕を全く発生させる
ことがない。
ａ，１ｂにより保持されているため、洗浄槽３内に搬入
された際の超音波の振動によっても移動することがな
く、また、後工程の乾燥工程において、高速ブロアーに
より洗浄液を瞬時に飛散、乾燥させる際にも、移動する
ことがない。従って、洗浄液５ｂに水や純水を用いて
も、超音波洗浄効果が高く、かつ清浄空気を高流速で吹
きつけるエアーブロワー１３を使用することにより、洗
浄液を瞬時に飛散させ、シミや水滴痕を全く発生させる
ことがない。
【００３３】また、洗浄槽３内の洗浄液５ａは、ネット
コンベアの入出口孔６ａ，６ｂから流出するが、この流
出洗浄液５ｃの量に応じて受蓄槽９から洗浄槽３の上部
に配置された補給樋７へ洗浄液５ｂが循環補給されるた
め、下向きの噴出口８ａ，８ｂからの洗浄液５ｂはいわ
ゆるカーテン状に噴出されるため、上記入出口孔６ａ，
６ｂから流出する洗浄液５ｃの量を少なくさせ、洗浄槽
３内の洗浄液５ａを常に適正量に維持することが可能と
なる。
コンベアの入出口孔６ａ，６ｂから流出するが、この流
出洗浄液５ｃの量に応じて受蓄槽９から洗浄槽３の上部
に配置された補給樋７へ洗浄液５ｂが循環補給されるた
め、下向きの噴出口８ａ，８ｂからの洗浄液５ｂはいわ
ゆるカーテン状に噴出されるため、上記入出口孔６ａ，
６ｂから流出する洗浄液５ｃの量を少なくさせ、洗浄槽
３内の洗浄液５ａを常に適正量に維持することが可能と
なる。
【００３４】
【実施例】上述した第１図に示すこの発明の洗浄装置
を、研摩加工を施した後のフェライト磁石の洗浄に用い
たところ、第２図に示す従来の洗浄装置では洗浄槽の長
さが３ｍ以上必要であったが、本発明装置では従来装置
と同等の洗浄効果を得るのに、洗浄槽の長さが０．７
ｍ、受蓄槽の長さが１．５ｍであり、従来装置の１／２
以下の長さであった。さらに、洗浄槽の前に回転ブラ
シ、シャワー等の予備洗浄装置、また洗浄槽の後にシャ
ワー等の洗浄装置、エアーブロワー装置、ヒーター等の
乾燥装置を配置した本発明装置では、上記の付帯設備を
ほぼ受蓄槽長さ内に立体的に収めることができ、その全
長が従来洗浄装置に比較して１／４以下と著しく小型化
できた。
を、研摩加工を施した後のフェライト磁石の洗浄に用い
たところ、第２図に示す従来の洗浄装置では洗浄槽の長
さが３ｍ以上必要であったが、本発明装置では従来装置
と同等の洗浄効果を得るのに、洗浄槽の長さが０．７
ｍ、受蓄槽の長さが１．５ｍであり、従来装置の１／２
以下の長さであった。さらに、洗浄槽の前に回転ブラ
シ、シャワー等の予備洗浄装置、また洗浄槽の後にシャ
ワー等の洗浄装置、エアーブロワー装置、ヒーター等の
乾燥装置を配置した本発明装置では、上記の付帯設備を
ほぼ受蓄槽長さ内に立体的に収めることができ、その全
長が従来洗浄装置に比較して１／４以下と著しく小型化
できた。
【００３５】なお、従来装置、本発明装置とも洗浄液と
して水を用い、またネットコンベアの搬送速度は２．０
ｍ／ｍｉｎ、超音波振動子の寸法はＷ１６０ｍｍ×Ｌ４
６０ｍｍ×Ｈ９５ｍｍであった。特に本発明装置に用い
た循環ポンプは４００ ｌ ／ｍｉｎの循環補給量の能
力を有していた。
して水を用い、またネットコンベアの搬送速度は２．０
ｍ／ｍｉｎ、超音波振動子の寸法はＷ１６０ｍｍ×Ｌ４
６０ｍｍ×Ｈ９５ｍｍであった。特に本発明装置に用い
た循環ポンプは４００ ｌ ／ｍｉｎの循環補給量の能
力を有していた。
【００３６】また、第１図に示すこの発明の洗浄装置を
用いて、被洗浄物に電子部品を、洗浄液に水をそれぞれ
用いて、洗浄後エアー流量２００ｍ／秒のエアーブロワ
ー装置にて乾燥させたところ、上下ネットコンベアに挟
持固定された被洗浄物は、洗浄前との配置と同様の配
置、すなわち洗浄、乾燥工程においても全く移動せず、
また、従来洗浄液としてフロン用いた洗浄、乾燥に比べ
ても、従来以上にシミやウォーターマークのない良好な
製品が得られた。
用いて、被洗浄物に電子部品を、洗浄液に水をそれぞれ
用いて、洗浄後エアー流量２００ｍ／秒のエアーブロワ
ー装置にて乾燥させたところ、上下ネットコンベアに挟
持固定された被洗浄物は、洗浄前との配置と同様の配
置、すなわち洗浄、乾燥工程においても全く移動せず、
また、従来洗浄液としてフロン用いた洗浄、乾燥に比べ
ても、従来以上にシミやウォーターマークのない良好な
製品が得られた。
【００３７】
【発明の効果】この発明による連続超音波洗浄装置は、
実施例に明らかな如く、被洗浄物を上下ネットコンベア
によって保持搬送することにより、洗浄、乾燥工程にお
いても被洗浄物が移動や飛散することがなく、また、エ
アーブロアーによる乾燥を行っても移動や飛散すること
がなく、特に高速ブロアーによりシミやウォーターマー
クの発生を洗浄液種を問わずに皆無にすることができ
る。
実施例に明らかな如く、被洗浄物を上下ネットコンベア
によって保持搬送することにより、洗浄、乾燥工程にお
いても被洗浄物が移動や飛散することがなく、また、エ
アーブロアーによる乾燥を行っても移動や飛散すること
がなく、特に高速ブロアーによりシミやウォーターマー
クの発生を洗浄液種を問わずに皆無にすることができ
る。
【００３８】また、この発明の連続超音波洗浄装置は、
従来の洗浄槽に比べてその全長を１／２以下とすること
ができ、著しい小型化の達成とともに被洗浄物を搬送す
るネットコンベアが直線的に配置でき、被洗浄物の転動
による破損を発生することがなく、小型で設置が容易で
汎用性が高く工業的に優れた効果を有するものである。
従来の洗浄槽に比べてその全長を１／２以下とすること
ができ、著しい小型化の達成とともに被洗浄物を搬送す
るネットコンベアが直線的に配置でき、被洗浄物の転動
による破損を発生することがなく、小型で設置が容易で
汎用性が高く工業的に優れた効果を有するものである。
【００３９】さらに、この発明による連続超音波洗浄装
置は、閉塞型の洗浄液補給樋を槽上部に配置した洗浄槽
を有し、洗浄液循環手段を有するため相対的な補給水量
が増大し、洗浄液補給樋はネットコンベアの入出口孔近
傍に設けた噴出口からネットコンベアに向けて洗浄液を
噴出させることができ、下向きの噴出口からの洗浄液が
層状に噴出されるため、上記入出口孔から流出する洗浄
液の量を少なくし、洗浄液循環手段を有するため相対的
な補給水量が増大し、かつ洗浄液の撹拌効果を有するた
め洗浄効率が高く、洗浄時間の短縮を図ることができ
る。
置は、閉塞型の洗浄液補給樋を槽上部に配置した洗浄槽
を有し、洗浄液循環手段を有するため相対的な補給水量
が増大し、洗浄液補給樋はネットコンベアの入出口孔近
傍に設けた噴出口からネットコンベアに向けて洗浄液を
噴出させることができ、下向きの噴出口からの洗浄液が
層状に噴出されるため、上記入出口孔から流出する洗浄
液の量を少なくし、洗浄液循環手段を有するため相対的
な補給水量が増大し、かつ洗浄液の撹拌効果を有するた
め洗浄効率が高く、洗浄時間の短縮を図ることができ
る。
【図１】この発明の洗浄装置の一実施例の構成を示す概
略説明図である。
略説明図である。
【図２】従来の洗浄装置の構成を示す概略説明図であ
る。
る。
１ａ 上ネットコンベア １ｂ 上ネットコンベア １ｃ，１ｄ ネットコンベア ２ 被洗浄物 ３ 洗浄槽 ４ 超音波振動子 ５，５ａ，５ｂ 洗浄液 ５ｃ 流出洗浄液 ６ａ 入口孔 ６ｂ 出口孔 ７ 補給樋 ８ａ，８ｂ 噴出口 ９ 受蓄槽 １０ 循環ポンプ １１ フラップ １２ａ 予備洗浄シャワー １２ｂ 洗浄シャワー １３ エアーブロアー １４ 遠赤外線ヒーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 緒方 昭浩 佐賀県杵島郡大町町大字福母282番地 九州住特電子株式会社内 (72)発明者 平川 善博 佐賀県西松浦郡有田町中部丙1054番地 株式会社今泉鐡工所内 (72)発明者 祖一 正勝 佐賀県杵島郡大町町大字福母282番地 九州住特電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−180785（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−48897（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−69697（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−28786（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−7661（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭56−21504（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭49−45436（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (3)
- 【請求項１】槽腹部に入出口孔を設けて被洗浄物を固定
用の押さえネットとともに搬送するネットコンベアをそ
の槽腹部を貫通移動可能にし、かつ槽内を対向移動する
一対の上下ネットコンベアの上下面に対向配置した一対
の超音波振動子と、槽腹部の入出口孔近傍で下向きに洗
浄液を噴出する噴出口を槽内の洗浄液中に有する閉塞型
の洗浄液補給樋を槽上部に配置した洗浄槽と、洗浄槽の
下方に位置して洗浄槽の上下ネットコンベア入出口孔か
らの流出洗浄液を受蓄する洗浄液受蓄槽と、洗浄液受蓄
槽内の洗浄液を洗浄槽の洗浄液補給樋に補給する洗浄液
循環手段とから構成されたことを特徴とする連続超音波
洗浄装置。 - 【請求項２】 槽腹部に入出口孔を設けて被洗浄物を搬
送する下ネットコンベア及び該下ネットコンベアと対向
しかつ同調駆動する上ネットコンベアをその槽腹部を貫
通移動可能にし、かつ槽内を対向移動する一対の上下ネ
ットコンベアの上下面に対向配置した一対の超音波振動
子と、槽腹部の入出口孔近傍で下向きに洗浄液を噴出す
る噴出口を槽内の洗浄液中に有する閉塞型の洗浄液補給
樋を槽上部に配置した洗浄槽と、洗浄槽の下方に位置し
て洗浄槽の上下ネットコンベア入出口孔からの流出洗浄
液を受蓄する洗浄液受蓄槽と、洗浄液受蓄槽内の洗浄液
を洗浄槽の洗浄液補給樋に補給する洗浄液循環手段とか
ら構成されたことを特徴とする連続超音波洗浄装置。 - 【請求項３】 洗浄槽後にエアーブロワー装置を配置し
たことを特徴とする請求項1または請求項2記載の連続超
音波洗浄装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04059407A JP3030313B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 連続超音波洗浄装置 |
| PCT/JP1992/000515 WO1993015853A1 (en) | 1992-02-12 | 1992-04-21 | Continuous ultrasonic cleaning apparatus |
| EP92908245A EP0578824B1 (en) | 1992-02-12 | 1992-04-21 | Continuous ultrasonic cleaning apparatus |
| DE69212146T DE69212146T2 (de) | 1992-02-12 | 1992-04-21 | Kontinuierliches ultraschallreinigungsgerät |
| AT92908245T ATE140165T1 (de) | 1992-02-12 | 1992-04-21 | Kontinuierliches ultraschallreinigungsgerät |
| KR1019930703095A KR970007622B1 (ko) | 1992-02-12 | 1992-04-21 | 연속 초음파 세척 장치 |
| US07/849,391 US5333628A (en) | 1992-02-12 | 1992-04-28 | Continuous ultrasonic cleaning apparatus |
| CN93101373.9A CN1030043C (zh) | 1992-02-12 | 1993-02-10 | 超声波连续清洗装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04059407A JP3030313B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 連続超音波洗浄装置 |
| US07/849,391 US5333628A (en) | 1992-02-12 | 1992-04-28 | Continuous ultrasonic cleaning apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05220459A JPH05220459A (ja) | 1993-08-31 |
| JP3030313B2 true JP3030313B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=26400454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04059407A Expired - Lifetime JP3030313B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 連続超音波洗浄装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5333628A (ja) |
| EP (1) | EP0578824B1 (ja) |
| JP (1) | JP3030313B2 (ja) |
| WO (1) | WO1993015853A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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