CN102671883A - 具有托升推移机构的清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有托升推移机构的清洗机，包括机架以及若干清洗槽，在每一所述的清洗槽中均设置有一用于托持物料篮的升降托架；各升降托架至少有一侧边通过托架连杆与升降横梁相连接，安装于机架上的升降驱动机构可通过升降横梁驱动所述升降托架沿竖直方向往复升降；在所述清洗槽的上方还设有用于水平推动物料篮移动的物料篮水平推杆，该物料篮水平推杆由水平驱动机构驱动；在相邻的清洗槽之间固定设置有固定托架，该固定托架的上支承面与升至高位的升降托架的托承面处于同一支承平面内，该支承平面高于清洗槽的槽口。该清洗机具有结构稳定合理，承载能力强的优点，尤其是该清洗机清洗输送路径合理，有效清洗时间长、工作效率高。

Description

具有托升推移机构的清洗机

技术领域

本发明涉及一种半导体及太阳能行业的制造设备，尤其涉及硅料、硅片等物料的槽式清洗机。

背景技术

硅料、硅片等清洗是太阳能行业与半导体行业硅材料制造过程的重要环节，其目的是清除硅料或硅片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染,从而保证其纯净度,保证产品质量。

硅料、硅片清洗机主要由设置于机架上的清洗槽、清洗液管路系统、超声波系统、加热系统、清洗抛动装置，以及物料篮输送系统和电控部分构成。物料篮用以承载需要清洗的硅片与硅料，由物料篮输送机构将物料篮逐个搬移至下一清洗槽位的清洗槽中，通过各清洗槽中的化学清洗液或纯水、超声波对物料篮所承载的硅片或硅料进行清洗，以清除硅片或硅料表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染。为了增强清洗效果，在清洗机中还需要增加相应的抛动机构，以使硅片硅料等物料在清洗槽中进行小幅度的上下抖运。

现有的物料篮输送机构主要有两种结构形式：一种结构形式是以移载机械手来进行物料篮的逐槽输送转移，移载机械手从物料篮上部空间降至一定位置以抓取一只物料篮，再将其从一个清洗槽提升输送到另一个清洗槽，每组机械手能负责数个清洗槽间物料篮的输送转移工作，如果清洗槽数量较多的话，则需要配备数组机械手。这种物料篮搬移方式工艺灵活，物料篮在各清洗槽中的清洗时间可以分别设定，但其制造精度要求较高，控制系统复杂；尤其是机械手臂大都为悬臂结构，承载能力弱，实际上限制了每只物料篮的承载量，加之机械手臂动作路径迂回曲折，总体输送过程耗时长，每一次物料篮的输送过程需要完成物料篮抓取、提升、水平移送、下降、放篮数个动作，对生产节拍的提高不利，使用成本高，运行效率较低。另一种物料篮输送机构是对清洗机内各槽中的物料篮同时被抓取，同时提升后将所有的物料篮及其抓取机构整体移动一个工位，然后同时下降并放下物料篮，抓取机构向上复位并向后回移一个工位准备下一次的物料篮输送。这一结构形式所有的物料篮的输送传动装置都位于清洗槽的上方，仍存在重心较高、结构不稳定、承载能力弱的缺点，在该结构中所有物料的重量与输送装置的重量需要一个坚固的支架来支承；且位于各清洗槽上方的输送传动装置由于负荷大，必须采用钢结构。并且该结构形式同样存在每一次物料篮的输送过程需要完成物料篮抓取、提升、水平移送、下降、放篮数个动作，生产节拍中的有效清洗时间所占的比例不高，工作效率不高的问题。同时在运动过程中不可避免地会产生运动磨擦副造成的细微的颗粒与润滑剂造成的挥发性物质，正好会下落至其下方的清洗槽中，很难采取保护性的措施进行防护，从而对需要清洗的物料造成新的污染，这在本行业中是绝对不允许的。

因此在现有的结构中，清洗机的输送机构总是从物料篮的上方实现对物料篮的钩吊抓取、提升和移动等一系列动作，输送转移重心高，承载能力不足，制约着清洗机清洗量的增加；更由于这种上方抓取形式，输送路径长，输送机构不可避免地存在空回行程和空回时间，占用了较多的有效输送和实际清洗时间，严重限制了清洗机工作效率的提高，业界一直在寻求一种清洗量大、运行效率高的硅料、硅片清洗设备。  

发明内容

针对现有技术所存在的上述不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有托升推移结构的清洗机，它不仅结构稳定，承载能力强，而且输送路径合理、有效清洗时间长、工作效率高。

为了解决上述技术问题，本发明的一种具有托升推移机构的清洁机，包括机架，以及安装于机架上的若干清洗槽，在每一所述的清洗槽中均设置有一用于托持物料篮的升降托架；各升降托架至少有一侧边通过托架连杆与升降横梁相连接，安装于机架上的升降驱动机构可通过升降横梁驱动所述升降托架沿竖直方向往复升降；在所述清洗槽的上方还设有用于水平推动物料篮移动的物料篮水平推杆，该物料篮水平推杆由水平驱动机构驱动；在相邻的清洗槽之间固定设置有固定托架，该固定托架的上支承面与升至高位的升降托架的托承面处于同一支承平面内，该支承平面高于清洗槽的槽口。

在上述结构中，由于采用升降托架和物料篮水平推杆结构，清洗物料时升降托架托持着物料篮在清洗槽中通过下降浸没清洗和提升滤液完成物料在清洗槽中的清洗，在物料篮上升至比清洗槽槽口稍高的高位时，物料篮水平推杆又立即将物料篮推至下一清洗槽，整个移动路径均为有效工作行程，物料篮的输送转移路径得到充分的优化，清洗节拍加快，省去了现有结构的抓取、提升、放下等移动路径中的非工作行程，避免了空回时间对有效清洗时间的占用，从而大大提高了清洗工作效率。又由于物料篮的升降清洗是由升降托架从其底部托持完成的，其重心明显下移，清洗机整体刚性增强，承载能力提高，为提高清洗机单位时间内的清洗量和清洗效率创造了良好条件，也使得清洗机在保证足够稳定性条件下节约更多的钢材等结构性用料；输送机构的位置下移又避免了运动摩擦副造成的细微颗粒及润滑剂挥发物质对清洗物料的再次污染。还由于在本发明结构中，可以很方便地通过增加升降托架的宽度尺寸，来增加清洗机同时清洗的列数，这样就可以在不增加输送机构的条件下使清洗机的清洗量成倍增加，容易地实现大容量、高效率的使用要求。在本发明的技术方案中，物料的竖直提升下降与水平推动是由各自独立动力源来驱动实现的，这不仅简化了输送系统的传动结构，而且大大降低了使用故障率，增强了清洗机的使用可靠性。本发明还可以通过升降驱动机构对升降托架的小幅度往复驱动，实现对物料篮中硅料、硅片的抛动功能，既增加了清洗效果，又省去了现有技术中专设的清洗抛动系统，进一步简化了结构，节约了制造和使用成本。

本发明的一种优选实施方式，所述升降托架的两侧边分别通过托架连杆与对应的升降横梁相固定连接，升降横梁通过横梁升降导轨滑动支承于机架上。在该结构中一侧所述的托架连杆可为“7”形折杆，另一侧所述托架连杆则可为“n”形曲杆，该结构不仅使清洗机具有常见清洗机数倍的清洗量、而且两侧采用不同结构的托架连杆，具有方便操作人员在设备主立面的使用操作。

本发明进一步的实施方式，所述升降驱动机构包括驱动电机及传动轴，传动轴固定连接于驱动电机的输出轴上；该传动轴的一端装有一升降主动链轮，升降主动链轮与同侧的升降从动链轮及升降链条组成链轮链条副；该传动轴的另一端安装有升降传动副的主动链轮，升降传动副的从动链轮与同侧的升降主动链轮构成双排链轮，该侧的升降主动链轮与该侧的升降从动链轮及升降链条也组成一链轮链条副；两侧的升降链条上均固定连接有升降牵吊杆，升降牵吊杆通过升降牵吊带与升降横梁相连接；该升降牵吊杆上还扣系有升降配重块。该实施结构传动可靠，受力合理，确保了升降托架两侧的同步升降。

本发明又一种优选实施方式 ，所述水平驱动机构采用气缸或液压缸结构，该气缸或液压缸的一端与物料篮水平主推杆相连接，该物料篮水平主推杆滑动支承于机架上；物料篮水平主推杆上还固定设置有物料篮水平推杆。所述物料篮水平推杆固定设置于物料篮水平主推杆的两侧，并垂直地向物料篮水平主推杆的两侧延伸。该结构运行可靠，驱动灵活。

本发明的优选实施方式，所述升降托架由若干固定连接于托架体上的托杆组成，在该托杆上套接有可转动的滑套；所述固定托架为一固定支承于机架上的固定托杆，该固定托杆上也套有可转动的滑套。该结构简单合理，更使得物料篮的水平推动灵活、运动阻力小。

本发明的另一优选实施方式，所述机架上至少安装有一独立升降驱动机构，该独立升降驱动机构驱动独立升降托架沿竖直方向往复升降。该结构使清洗机各清洗槽，可以采用不同的清洗时间等清洗工艺参数，从而满足不同的清洗技术要求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明具有托升推移结构的清洗机作进一步详细说明。

图1是本发明一种具体实施方式的总体结构示意图；

图2是图1的所示结构的局部放大示意图；

图3是图1所示结构（图中拆除机架）的俯视方向结构示意图；

图4是图1的所示结构横向断面结构示意图；

图5是图1所示结构中的升降驱动机构传动示意图；

图6是图1所示结构中的包括升降驱动机构及升降托架的升降系统的局部结构放大示意图；

图7是图1所示结构的水平推送机构的结构放大示意图；

图8是本发明的另一种具体实施方式的总体结构示意图；

图9是图8所示结构的局部放大结构示意图；

图10是本发明的又一种具体实施方式的结构示意图。

图中，1—清洗槽、2—物料篮、3—机架、4—升降托架、5—上料台、6—物料篮水平推杆、7—升降驱动机构、71—驱动电机、72—升降主动链轮、73—升降链条、74—升降从动链轮、75—传动轴、76—升降传动副、8—物料篮水平主推杆、9—升降牵吊杆、10—升降横梁、11—固定托架、12—托架连杆、13—主推杆滑动支承、14—升降配重块、15—升降牵吊轮、16—出料台、17—升降牵吊带、18—横梁升降导轨、19—水平驱动机构、20—独立升降驱动机构、201—独立驱动电机、202—独立牵吊轮、203—独立牵吊带、204—独立驱动轴、21—短升降横梁、22—独立托架连杆、23—短横梁升降导轨、24—独立升降托架。

具体实施方式

在图1、图2所示具有托升推移机构的清洗机中，机架3的主体为六面体矩形框架式结构件，在机架3的外部覆有面板或门窗组件，内部清洗槽区域与其它部件之间也设有隔板, 使得清洗机清洗槽区域构成一相对封闭的工作空间。在框架式机架3 内沿长度方向依序设置有十个清洗槽1，相邻清洗槽1相互间间隔相等的距离，清洗槽 1采用清洗机的通用结构，它固定地安装于机架3下部分的架体上。用于提供清洗液的管路系统通向清洗槽1内，在清洗槽1内中还可以根据工艺要求设置有超声波系统，根据硅料硅片清洗要求的不同各清洗槽1中盛装不同的清洗液，如硝酸、氢氧化钠、双氧水及纯水等。在框式机架3的两端还固定设置有上料台5和出料台16，上料台5和出料台16均由三根平行设置的托杆组成，在每一托杆上均套有可以转动的滑套，以减轻物料篮2在其上的移动阻力。

在每一清洗槽1中均可容纳两只用于盛放硅料硅片的清洗篮2，在各清洗槽1中均设置有用于托持物料篮2的升降托架4，升降托架4的两侧边分别通过对应的托架连杆12固定连接于升降横梁10上，每侧升降横梁10通过四个横梁升降导轨18滑动地支承于支架3的两侧面架体上。在机架3上还安装有升降驱动机构7，该升降驱动机构7由驱动电机71、链条传动副及牵吊机构组成，用于驱动机架3两侧的升降横梁10，从而带动升降托架4及托持于升降架4上的物料篮2在清洗槽1中作升降运动。在机架3上还通过主推杆滑动支承13滑动地支承有物料篮水平主推杆8，主推杆滑动支承13及横梁升降导轨18均为通用的滑轨结构，当然也可以是其它常用的直线滑动导向结构。在物料篮水平主推杆8上等距地固定安装有物料篮水平推杆6，每一清洗槽1均对应有一物料篮水平推杆6，该物料篮水平推杆6用于在水平面上向前水平推移物料篮2，物料篮水平推杆6由水平驱动机构9驱动，本实施例中水平驱动机构9采用气缸或液压缸作为推动件，该气缸或液压缸的一端支承于机架3的架体上，另一端与物料篮水平主推杆8相铰链，该水平驱动机构9还可以是齿轮条副等其它驱动件。

如图3、图4所示，每一清洗工位的升降托架4对应一清洗槽1，同一升降托架4的宽度可容纳托持两个标准的物料篮2。升降托架4的两侧均通过对应侧的托架连杆12固定连接于同侧的升降横梁10上，升降驱动机构7驱动两侧的升降横梁10同步升降。这种采用两端同步受力的升降托架4和升降横梁10结构受力合理，能承载更多的清洗硅料硅片重量，且整体刚性更好。在升降托架4上方的中间位置沿整机长度方向设置有物料篮水平主推杆8，该物料篮水平主推杆8通过两个推杆滑动支承13滑动支承于机架3的架体上。物料篮水平主推杆8上等距地固定设置有物料篮水平推杆6，物料篮水平推杆6垂直于物料篮水平主推杆8上且向其两侧延伸，该结构能对称地推移两列物料篮2向前移动，其清洗量为现有设备的两倍。

在相邻的清洗槽1之间以及最外端的两清洗槽1的外侧固定设置有固定托架11，该固定托架11是一固定支承于机架3架体上的固定托杆，该固定托杆上也滑动套有可转动的滑套。如图4所示升降托架4已降至清洗槽中的清洗位置。出于操作人员操作需要，本实施例中一侧的升降横梁10位于清洗槽1的下方位置，因而该侧的托架连杆12为“n”形曲杆，显然该侧为操作人员工作的一侧面，另一侧的升降横梁10则位于清洗槽1的上方位置，故而该侧的托架连杆12为“7”形折杆，这种结构有利避让清洗机中的各种清洗管路及电气元器件等设备机件。

当硅料硅片在本工位的清洗槽中清洗完毕后，升降托架4升至高位，物料篮2脱离清洗槽1中的清洗液面。升降托架4的托承面，即升降托架4托杆上滑套的上切面，该切面用于托持支承物料篮底面；固定托架11的上支承面同样为固定托架11中托杆上滑套的上切面。上述的升降托架4的托承面在其升至高位时与固定托架11的上支承面处于同一支承平面内，该支承平面高于清洗槽1的槽口位置一定距离，以便物料篮2在物料篮水平推杆6的推动下沿该支承平面移到下一工位的清洗槽1的槽口位置。当升降托架4处于清洗槽内的低位,物料进行清洗时,上料台5与出料台16的上支承面与设置在最外端两清洗槽外侧的升降托架4处于同一支承平面内,以便于以相对较低的操作高度进行上下料操作.

图5示出了本实施例的升降驱动机构的传动结构示意图。该实施例的升降驱动机构7包括驱动电机71及传动轴75，驱动电机71固定安装于机架3的架体上，传动轴75通过联轴器与驱动电机71的输出轴相连接。在传动轴75上的驱动电机近端装有一升降主动链轮72，该升降主动链轮72与升降从动链轮74及升降链条73组成一链轮链条传动副，其中的升降链条73上固定连接有同侧的升降牵吊杆9，该升降牵吊杆9滑动地搁承于升降牵吊轮15上，在升降牵吊杆9上等距地扣系有若干升降牵吊带17，该升降牵吊带17的另一端绕过升降牵吊轮15扣系连接于同侧的升降横梁10上，在升降牵吊杆9上还扣系有配重牵吊带，配重牵吊带另一端绕过另一牵吊轮扣系连接于升降配重块14上，用于平衡清洗物料、托升系统结构件的重量，使得清洗机的整个升降运动更加轻便、灵活，减少驱动动力。上述的配重结构除采用配重块外，还可以是弹簧件。

在传动轴75的驱动电机远端装有升降传动副76的主动链轮，该升降传动副76也为链轮链条传动副，升降传动副76的主动链轮装于传动轴75上，升降传动副76的从动链轮与同侧的升降主动链轮72构成一双排链轮，该侧的升降主动链轮72与升降从动链轮74及升降链条73构成该侧的升降链轮链条副，它同样通过升降牵吊杆9及升降牵吊带17驱动同侧的升降横梁10，其传动结构与相对一侧的结构相同。

图6示出了升降驱动机构与升降托架的传动连接关系。当升降驱动机构7中的驱动电机71顺时针方向转动时，位于电机近侧的链轮链条传动副中的升降链条73拖动同侧的升降牵吊杆9沿清洗机长度方向向一端拖动升降牵吊带17，升降牵吊带17则向上提升同侧的升降横梁10；与此同时驱动电机71经过传动轴75、升降传动副76驱动电机远端的链轮链条传动副，该链轮链条传动副再经该侧的升降牵吊杆9、升降牵吊带17拖动同侧的升降横梁10。两侧的升降横梁10分别经过对应的托架连杆12带动升降托架4，使升降托架4的两端同步均衡地向上提升，该结构不仅受力合理、而且运动平稳。而当升降驱动机构7中的驱动电机71逆时针方向转动时，升降托架4又同步均衡地向下降落，使托持于升降托架4上的物料篮2及其中的硅料硅片浸沉进入清洗槽1的清洗液中进行清洗。清洗完毕后升降托架4又升至清洗槽1的槽口位置，由物料篮水平推杆6推至下一清洗槽1的槽口。而当驱动电机71作小幅往复转动时，升降托架4可在清洗槽清洗液中进行上下抖动，实现对硅料硅片的清洗抛动，以增强清洗效果。该实施例中两侧的升降横梁10采用了一低一高的结构；当然该结构也可以是两侧对称的结构形式，即两侧的升降横梁10均处于高出清洗槽1槽口的相同高度位置，此时托架连杆12可采用相同的结构形式；该结构还可以是两侧的升降横梁10均处于清洗槽1的下方位置。

图7示出了水平推送机构的传动示意图。在物料篮水平主推杆8的两侧固定安装有物料篮水平推杆6，并垂直地向物料篮水平主推杆8的两侧延伸。这种物料篮水平推杆6对称地设置于物料篮水平主推杆8两侧，使得该水平推送机构能够同时推移主推杆两侧的两个物料篮2。物料篮水平主推杆8通过主推杆滑动支承13滑动地支承于机架3上，在机架3架体与物料水平主推杆8之间装有水平驱动机构19，该水平驱动机构19为气缸或液压缸。当气缸或液压缸的活塞杆伸出时，气缸或液压缸推动物料篮水平主推动杆8，并通过物料篮水平推杆6将物料篮2推至下一工位的清洗槽1槽口位置。反之当气缸或液压缸活塞杆缩回时，物料篮水平推杆6复位，以准备进行下一个推送动作。由于水平推送与竖直升降采用了各自独立的动力源，因此水平推杆的复位是在升降托架4下降至清洗槽内后对物料进行清洗的同时进行的，不占用清洗机工作时间。

图8、图9示出了本发明另一种具体实施方式，本实施方式中除在最右端的清洗槽1中的升降托架为独立升降托架24外，其余结构与上述实施例相同。本实施例中，在机架3上固定设置有一独立升降驱动机构20，该独立升降驱动机构20包括独立电机201及独立传动轴204，独立传动轴204以联轴器与独立驱动电201的输出相连接。在独立传动轴204的两端分别装有独立牵吊轮202，各独立牵吊轮202上的独立牵吊带203的一端扣系于独立牵吊轮202上，另一端则扣系于与之对应的同侧的短升降横梁21上。独立升降托架24的两侧同样分别通过各自对应的独立托架连杆22与同侧的短升降横梁21固定连接，短升降横梁21通过短横梁升降导轨23滑动支承在机架3的架体上，短横梁导轨23采用与横梁升降导轨18相同的结构形式。当独立升降驱动机构20的独立驱动电机201，经过独立牵吊轮202、独立牵吊带203拖动短升降横梁21时，独立升降托架24作独立上下升降运动，与其它清洗槽中的升降托架4作错步升降运动。

在本实施例中，清洗机整机中仅设置了一个独立升降单元，实际上可根据清洗机的清洗工艺设置两组或更多的独立升降单元。由于清洗工艺的不同，各物料篮及其中的硅料硅片并不能同步地在清洗槽进行浸泡清洗。例如：当清洗机中清洗槽中加入了硝酸加氢氟酸的酸洗液，硅料进入该槽的处理时间大都只能以秒计，而后硅料进入各纯水清洗槽清洗的工艺时间通常为数分钟。再例如在硅料硅片清洗过程中，为了使硅片硅料清洗后能较快烘干，最后一道清洗槽通常为热水槽，且硅料硅片从该槽中需以缓慢的速度提升，以利用其表面张力使水尽可能多地从硅料硅片表面分离，使之在烘干前去除大部分的水分。本实施中采用了公用的水平推送机构，当然也可以采用独立的水平推送机构。

图10示出了本发明的又一种实施方式的端面结构示意图。在本实施方式中每一清洗槽1中只容纳一只物料篮2，因此升降托架4仅有一单边通过托架连杆12与升降横梁10相固定连接。升降驱动机构7驱动升降横梁10、托架连杆12及升降托架4上下升降运动。在机架3上滑动支承有物料篮水平主推杆8，物料篮水平主推杆8上固定连接有物料篮水平推杆6，物料篮水平推杆6的外端为伸出作用端；物料篮水平主推杆8由水平驱动机构19驱动，该水平驱动机构19为气缸或液压缸等相应直线驱动机构；物料篮水平推杆6与升降托架4位置相对应。

上述仅举出了本发明的一些优选实施方式，但本发明并不局限于此，在不违背本发明基本原理的情况下，还可以作许多的改进和变换。如：在清洗槽中可以容纳如上述的单只或两只物料篮，根据工艺需要也可以通过加宽升降托架4的宽度使同一清洗槽中容纳更多个的物料篮。升降托架4更是有诸多的改进和变换，它不仅还可以采用以减摩材料制成的平面板式或带孔的板式结构，而且也可以采用框式的带滚轴结构，等等。同样固定托架11也可以平面窄板式或直接采用滚轴结构；当固定托架11采用平板式结构时，实际上可与清洗槽的槽口连为一体。横梁的升降驱动机构更可以直接采用气缸或液压缸等动力器件，将气缸或液压缸直接安装于升降横梁和机架的架体之间；当然该动力器件也可以是丝杠螺母传动副、直线电机等直线运动件。水平推送机构同样也可以是丝杠螺母传动副、直线电机等直线运动件。因此，只要采用了升降托架和水平推杆结构，均应视为落入本发明的保护范围内。 

Claims (10)

1.一种具有托升推移机构的清洗机，包括机架（3），以及安装于机架（3）上的若干清洗槽（1），其特征在于：在每一所述的清洗槽（1）中均设置有一用于托持物料篮（2）的升降托架（4）；各升降托架（4）至少有一侧通过托架连杆（12）与升降横梁（10）相连接，安装于机架（3）上的升降驱动机构（7）可通过升降横梁（10）驱动所述升降托架（4）沿竖直方向往复升降；在所述清洗槽（1）的上方还设有用于水平推动物料篮（2）移动的物料篮水平推杆（6），该物料篮水平推杆（6）由水平驱动机构（19）驱动；在相邻的清洗槽（1）之间固定设置有固定托架（11），该固定托架（11）的上支承面与升至高位的升降托架（4）的托承面处于同一支承平面内，该支承平面高于清洗槽（1）的槽口。

2.根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于：所述升降托架（4）的两侧边分别通过托架连杆（12）与对应的升降横梁（10）固定连接，升降横梁（10）通过横梁升降导轨（18）滑动支承于机架（3）上。

3.根据权利要求1或2所述的清洗机，其特征在于：所述升降驱动机构（7）包括驱动电机（71）及传动轴（75），传动轴（75）固定连接于驱动电机（71）的输出轴上；该传动轴（75）的一端装有一升降主动链轮（72），升降主动链轮（72）与同侧的升降从动链轮（74）及升降链条（73）组成链轮链条副；该传动轴（75）的另一端安装有升降传动副（76）的主动链轮，升降传动副（76）的从动链轮与同侧的升降主动链轮（72）构成双排链轮，该侧的升降主动链轮（72）与该侧的升降从动链轮（74）及升降链条（73）也组成一链轮链条副；两侧的升降链条（73）上均固定连接有升降牵吊杆（9），升降牵吊杆（9）通过升降牵吊带（17）与升降横梁（10）相连接；该升降牵吊杆（9）上还扣系有升降配重块（14）。

4.根据权利要求1或2所述的清洗机，其特征在于：所述升降驱动机构（7）为安装于升降横梁（10）与机架（3）之间的气缸或液压缸或丝杠螺母机构。

5.根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于：所述水平驱动机构（19）采用气缸或液压缸结构，该气缸或液压缸的一端与物料篮水平主推杆（8）相连接，该物料篮水平主推杆（8）滑动支承于机架（3）上；物料篮水平主推杆（8）上还固定设置有物料篮水平推杆（6）。

6.根据权利要求1或5所述的清洗机，其特征在于：所述物料篮水平推杆（6）固定设置于物料篮水平主推杆（8）的两侧，并垂直地向物料篮水平主推杆（8）的两侧延伸。

7.根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于：所述升降托架（4）的一侧通过托架连杆（12）与升降横梁（10）固定连接；安装于机架（3）上的升降驱动机构（7）驱动升降横梁（10），该升降横梁（10）通过托架连杆（12）与升降托架（4）固定连接；在机架（3）上滑动支承有物料篮水平主推杆（8），物料篮水平主推杆（8）上固定连接有物料篮水平推杆（6），物料篮水平主推杆（8）由水平驱动机构（19）驱动，物料篮水平推杆（6）与升降托架（4）位置相对应。

8.根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于：所述升降托架（4）由若干固定连接于托架体上的托杆组成，在该托杆上套接有可转动的滑套；所述固定托架（11）为一固定支承于机架（3）上的固定托杆，该固定托杆上也套有可转动的滑套。

9.根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于：所述机架（3）上至少安装有一独立升降驱动机构（20），该独立升降驱动机构（20）驱动独立升降托架（24）沿竖直方向往复升降。

10.根据权利要求9所述的清洗机，其特征在于：所述独立升降托架（24）的两侧分别通过独立升降连杆（22）与对应的短升降横梁（21）固定连接，该短升降横梁（21）通过短横梁升降导轨（23）滑动支承于机架（3）上；独立升降驱动机构（20）包括独立驱动电机（201）及独立传动轴（204），该独立传动轴（204）上装有两个独立牵吊轮（202），连接于独立牵吊轮（202）上的独立牵吊带（203）的另一端扣系于与之对应的短升降横梁（21）上。

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