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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung einer
Abfallarbeitsflüssigkeit, die an eine Bearbeitungsvorrichtung,
wie zum Beispiel eine Schneidevorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks,
wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers, angegliedert und geeignet
ist, eine Abfallflüssigkeit einer zu dem Zeitpunkt der
Bearbeitung zugeführten Arbeitsflüssigkeit zu
behandeln.
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Beschreibung des Standes der
Technik
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Bei
einem Halbleiterbauelement-Herstellungsverfahren werden mehrere
Bereiche auf der stirnseitigen Oberfläche eines Halbleiterwafers,
der eine annähernd runde plattenartige Form aufweist, durch
geplante Trennlinien abgegrenzt, die als Straßen bezeichnet
werden und in einem Gittermuster angeordnet sind, und Bauelemente,
wie zum Beispiel ICs (Integrierte Schaltungen) und LSIs in den so
abgegrenzten Bereichen ausgebildet. Dann wird der Halbleiterwafer
entlang der Straßen geschnitten, um die Bereiche mit den
darin ausgebildeten Bauelementen abzutrennen und so einzelne Halbleiterbauelemente
herzustellen. Auch ein Wafer für optische Bauelemente,
bei dem ein Galliumnitrid-Verbundhalbleiter oder dergleichen auf
die stirnseitige Oberfläche eines Saphirsubstrats geschichtet
ist, wird entlang der Straßen in einzelne optische Bauelemente geschnitten,
wie zum Beispiel Leuchtdioden und Laserdioden, die zur Verwendung
in elektrischen Vorrichtungen weit verbreitet sind.
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Das
wie oben beschriebene Schneiden entlang der Straßen des
Halbleiterwafers oder des Wafers für optische Bauelemente
wird normalerweise unter Verwendung einer Schneidevorrichtung durchgeführt,
die als Substratzerteiler (Dicer) bezeichnet wird. Die Schneidevorrichtung
beinhaltet einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks,
wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers, ein Schneidemittel mit
einer Schneideklinge zum Schneiden des auf dem Einspanntisch gehaltenen
Werkstücks und ein Arbeitswasserzuführmittel zum
Zuführen von Arbeitswasser (Arbeitsflüssigkeit)
zu der Schneideklinge. Schneidewasser wird der sich drehenden Schneideklinge
durch das Arbeitswasserzuführmittel so zugeführt,
dass es die Schneideklinge kühlt, und das Arbeitswasser
wird während des Schneidevorgangs dem Teil des Werkstücks
zugeführt, das durch die Schneideklinge geschnitten wird.
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In
die wie oben beschrieben zu dem Zeitpunkt des Schneidens zugeführte
Arbeitsflüssigkeit mischen sich durch das Schneiden des
Siliziums oder des Galliumnitrid-Verbundhalbleiters erzeugte Abfälle.
Da die Abfallarbeitsflüssigkeit, in die sich die Abfälle
des Halbleitermaterials gemischt haben, eine Verschmutzung der Umwelt
hervorrufen würde, werden der Abfallarbeitsflüssigkeit
die Abfälle durch Verwendung einer Abfallflüssigkeits-Behandlungseinrichtung
entzogen, bevor diese wiederverwendet oder entsorgt wird (siehe
zum Beispiel offengelegtes
japanisches
Patent Nr. 2004-230527 ).
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Während
die Abfallflüssigkeits-Behandlungsvorrichtung mit einem
Filter zum Trennen der beim Schneiden erzeugten Abfälle
ausgestattet ist, kann es notwendig sein, einen feinmaschigen Filter zu
verwenden, um die beim Schneiden erzeugten Abfälle sicher
zu trennen. Jedoch ist der zur sicheren Trennung der beim Schneiden
erzeugten Abfälle geeignete feinmaschige Filter teuer und
auf einer ökonomischen Grundlage nicht notwendigerweise
zufriedenstellend.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Dementsprechend
ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Abfallflüssigkeits-Behandlungsvorrichtung
bereitzustellen, durch die bei der Bearbeitung erzeugte Abfälle,
wie zum Beispiel beim Schneiden erzeugte Abfälle, sicher
getrennt werden können, während ein vergleichsweise
grobmaschiger Filter verwendet wird.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zur Behandlung
einer Abfallarbeitsflüssigkeit bereitgestellt, die geeignet
ist, eine durch Beimischung von zu dem Zeitpunkt einer Bearbeitung
an einer Bearbeitungsvorrichtung erzeugten Abfällen in
eine zu dem Zeitpunkt der Bearbeitung zugeführte Arbeitsflüssigkeit
erhaltene Abfallarbeitsflüssigkeit zu behandeln, wobei
die Vorrichtung beinhaltet: einen Abfallflüssigkeitstank
zum Aufnehmen der Abfallarbeitsflüssigkeit; eine Pumpe
zum Befördern der in dem Abfallflüssigkeitstank
aufgenommenen Abfallarbeitsflüssigkeit; und einen Filter zum
Filtern der durch die Pumpe beförderten Abfallarbeitsflüssigkeit,
wobei der Filter ein in einer Röhrenform ausgebildetes
Filterpapier, einen röhrenförmigen Körper,
der einen äußeren Umfang des röhrenförmigen
Filterpapiers abdeckt und mit mehreren Öffnungen in einer
Seitenoberfläche davon versehen ist, eine untere Platte
zum Abschließen eines unteren Endes des röhrenförmigen
Filterpapiers und eine obere Platte beinhaltet, die ein oberes Ende
des röhrenförmigen Filterpapiers abschließt
und eine Abfallflüssigkeitseinlassöffnung zum
Einführen der durch die Pumpe beförderten Abfallarbeitsflüssigkeit
dadurch aufweist, und ein feines Pulver innerhalb des röhrenförmigen
Filterpapiers angeordnet ist.
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Vorzugsweise
beinhaltet das feine Pulver Silica mit einem Teilchendurchmesser
von 0,5 bis 2,0 μm.
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung haftet das feine Pulver, da es innerhalb
des röhrenförmigen Filterpapiers, das einen Teil
des Filters bildet, angeordnet ist, an der inneren Oberfläche
des röhrenförmigen Filterpapiers, wodurch die
Filtrierungseffizienz vergrößert wird. Deshalb
können die bei der Bearbeitung erzeugten Abfälle,
die sich mit der Abfallarbeitsflüssigkeit vermischt haben,
sicher getrennt werden. Dementsprechend kann ein vergleichsweise
grobmaschiger Filter verwendet werden, der kostengünstig
ist.
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Die
obigen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung und die Art und Weise, diese zu realisieren, wird offenkundiger
werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden werden,
indem die folgende Beschreibung und die angefügten Ansprüche
mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen studiert werden,
die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine perspektivische Ansicht eines grundlegenden Teils einer Vorrichtung
zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit, die gemäß der
vorliegenden Erfindung aufgebaut ist;
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2 ist
eine perspektivische Einzelteildarstellung eines grundlegenden Teils
der Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit;
und
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3 ist
ein Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit, die
gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Nachfolgend
wird eine bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung zur
Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit, die gemäß der
vorliegenden Erfindung aufgebaut ist, mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
ausführlich beschrieben. 1 zeigt eine
perspektivische Ansicht eines grundlegenden Teils einer Vorrichtung
zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit, die gemäß der
vorliegenden Erfindung aufgebaut ist, und 2 zeigt
eine perspektivische Einzelteildarstellung eines grundlegenden Teils der
in 1 gezeigten Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit.
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Die
Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit
der gezeigten Ausführungsform beinhaltet einen Abfallflüssigkeitstank 2 zum
Aufnehmen einer Abfallarbeitsflüssigkeit, eine Pumpe 3 zum Befördern
der in dem Abfallflüssigkeitstank 2 aufgenommenen
Abfallarbeitsflüssigkeit und einen ersten Filter 4a und
einen zweiten Filter 4b zum Filtern der durch die Pumpe 3 beförderten
Abfallarbeitsflüssigkeit.
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Der
Abfallflüssigkeitstank 2 weist eine Abfallflüssigkeitseintrittsöffnung 21 an
einer Endwand davon auf und die Abfallflüssigkeitseintrittsöffnung 21 ist
mit einem Abfallarbeitsflüssigkeits-Ausführmittel, das
in einer Bearbeitungseinrichtung, wie zum Beispiel einer Schneidevorrichtung
(nicht gezeigt), vorgesehen ist, verbunden. Eine Pumpe 3 zum
Befördern der Abfallarbeitsflüssigkeit ist an
einer oberen Wand des Abfallflüssigkeitstanks 2 vorgesehen.
Der so aufgebaute Abfallflüssigkeitstank 2 ist
an einer oberen Oberfläche einer Haltebasis 5 angeordnet.
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Der
erste Filter 4a und der zweite Filter 4b beinhalten
jeweils ein in einer Röhrenform ausgebildetes Filterpapier 41,
einen röhrenförmigen Körper 42,
der den äußeren Umfang des Filterpapiers 41 abdeckt,
eine untere Platte 43, die das untere Ende des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abschließt, und eine obere Platte 44,
die das obere Ende des röhrenförmigen Filterpapiers 41 abschließt.
Das röhrenförmige Filterpapier 41 ist
mehrere Male in einer radialen Form gefaltet, so dass die Filtrierungsfläche
vergrößert ist. Im übrigen wird als das
röhrenförmige Filterpapier 41 zum Beispiel
ein vergleichweise kostengünstiges Filterpapier mit solchen
Maschen verwendet, dass Teilchen mit einem Teilchendurchmesser von
nicht mehr als 0,3 bis 0,4 μm durch dieses hindurch treten
können. Der den äußeren Umfang des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abdeckende röhrenförmige
Körper 42 ist mit mehreren Öffnungen 421 in seiner
Seitenoberfläche versehen. Zusätzlich ist die das
obere Ende des röhrenförmigen Filterpapiers 41 abschließende
obere Platte 44 in ihrem zentralen Teil mit einer Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 versehen.
Der erste Filter 4a und der zweite Filter 4b,
die so aufgebaut sind, sind jeweils innerhalb des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 mit einem feinen Pulver 40 angefüllt,
das Silica mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 bis 2,0 um beinhaltet.
Der erste Filter 4a und der zweite Filter 4b,
die so aufgebaut sind, sind auf einem Filtergerüst 6 angeordnet,
das an der oberen Seite des auf der Haltebasis 5 angeordneten
Abfallflüssigkeitstank 2 angeordnet ist.
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Ein
Filtergerüst 6 beinhaltet eine in einer rechteckigen
Form ausgebildete untere Wand 61, an beiden Seitenrändern
der unteren Wand 61 aufrecht stehend vorgesehene Seitenwände 62 und 63 und
an beiden Endrändern der unteren Wand 61 aufrecht stehend
vorgesehene Endwände 64 und 65, wird durch
vier Haltesäulen 66 gehalten und ist an der oberen
Seite des auf der Haltebasis 5 angeordneten Abfallflüssigkeitstanks 2 angeordnet.
Das Filtergerüst 6 weist die untere Wand 61 und
die Seitenwände 62, 63 und die Endwände 64, 65 auf,
die einen Arbeitsflüssigkeitsspeichertank 60 zum
Aufnehmen einer gefilterten Arbeitsflüssigkeit bilden,
die erhalten wird, indem der Abfallarbeitsflüssigkeit durch
den ersten Filter 4a und den zweiten Filter 4b die
bei der Bearbeitung erzeugten Abfälle entzogen werden.
Außerdem ist die untere Wand 61, die einen Teil
des Filtergerüsts 6 bildet, mit einer Auslassöffnung 611 zum Auslassen
der in dem Arbeitsflüssigkeitsspeichertank 60 gespeicherten
gefilterten Arbeitsflüssigkeit versehen. Im Übrigen
ist die Auslassöffnung 611 mit einem in der Bearbeitungsvorrichtung
(nicht gezeigt) vorgesehenen Arbeitsflüssigkeitszuführmittel
oder -entsorgungsmittel verbunden. Zusätzlich ist die untere
Wand 62, die einen Teil des Filtergerüsts 6 bildet, an
ihrer oberen Oberfläche mit ersten Haltebasen 67a und
zweiten Haltebasen 67b zum Halten jeweils des ersten Filters 4a und
des zweiten Filters 4b versehen. Der erste Filter 4a und
der zweite Filter 4b sind jeweils an den ersten Haltebasen 67a und
den zweiten Haltebasen 67b angebracht.
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Nachfolgend
wird ein Abfallarbeitsflüssigkeits-Beförderungsmittel,
durch das die in dem oben beschriebenen Abfallflüssigkeitstank 2 aufgenommene
Abfallarbeitsflüssigkeit zu dem ersten Filter 4a und dem
zweiten Filter 4b befördert wird, mit Bezug auf 3 beschrieben.
Ein in 3 gezeigtes Abfallarbeitsflüssigkeits-Beförderungsmittel 7 beinhaltet:
die Pumpe 3 zum Befördern der in dem Abfallflüssigkeitstank 2 aufgenommenen
Abfallarbeitsflüssigkeit; ein mit der Pumpe 3 verbundenes
Rohrleitungssystem 71; Rohrleitungssysteme 71a und 71b,
durch die das Rohrleitungssystem 71 mit der Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 des
ersten Filters 4a und der Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 des
zweiten Filters 4b verbunden ist; und ein elektromagnetisch betriebenes
Umschaltventil 72, das zwischen dem Rohrleitungssystem 71 und
den Rohrleitungssystemen 71a, 71b angeordnet ist.
Das elektromagnetisch betriebene Umschaltventil 72 unterbricht
im unbetätigten (abgeschalteten) Zustand die Kommunikation des
Rohrleitungssystems 71 mit den Rohrleitungssystemen 71a, 71b.
Außerdem wird, wenn ein Elektromagnet 72a an einer
Seite betätigt (angeschaltet) wird, bewirkt, dass das Rohrleitungssystem 71 mit dem
Rohrleitungssystem 71a kommuniziert, und, wenn ein Elektromagnet 72b an
der anderen Seite betätigt (angeschaltet) wird, bewirkt,
dass das Rohrleitungssystem 71 mit dem Rohrleitungssystem 71b kommuniziert.
Im Übrigen sind das Rohrleitungssystem 71a und
das Rohrleitungssystem 71b jeweils mit einem ersten Druckerfassungsmittel 73a und
einem zweiten Druckerfassungsmittel 73b zum Erfassen des
Drucks der jeweils zu dem ersten Filter 4a und dem zweiten
Filter 4b beförderten Abfallarbeitsflüssigkeit
versehen. Das erste Druckerfassungsmittel 73a und das zweite
Druckerfassungsmittel 73b senden ihre Erfassungssignale
zu einem Steuermittel, das später beschrieben wird.
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Mit
der Beschreibung mit Bezug auf 3 fortfahrend,
weist die Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit
der in der Figur gezeigten Ausführungsform ein Druckluftzuführmittel 8 zum
Zuführen von Druckluft zu dem ersten Filter 4a und
dem zweiten Filter 4b auf. Das Druckluftzuführmittel 8 beinhaltet:
eine Druckluftquelle 81; ein Rohrleitungssystem 82a und
ein Rohrleitungssystem 82b, durch welche die Druckluftquelle 81 mit
dem Rohrleitungssystem 71a und dem Rohrleitungssystem 71b des
Abfallarbeitsflüssigkeits-Beförderungsmittel 7 verbunden
ist; und ein erstes proportionales elektromagnetisch betriebenes
Ablassventil 83a und ein zweites proportionales elektromagnetisch
betriebenes Ablassventil 83b, die jeweils in dem Rohrleitungssystem 82a und
dem Rohrleitungssystem 82b angeordnet sind.
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Zusätzlich
weist die Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit
der in der Figur gezeigten Ausführungsform ein Steuermittel 9 auf,
in das Drucksignale von den Druckerfassungsmitteln 73a und 73b eingegeben
werden und das Steuersignale an die Pumpe 3, das elektromagnetisch
betriebene Umschaltventil 72, das erste proportionale elektromagnetisch
betriebene Ablassventil 83a und das zweite proportionale
elektromagnetisch betriebene Ablassventil 83b ausgibt.
Das Steuermittel 9 ist an der oberen Oberfläche
der Haltebasis 5 angebracht.
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Die
Vorrichtung zur Behandlung einer Abfallarbeitsflüssigkeit
der in der Figur gezeigten Ausführungsform ist wie oben
beschrieben aufgebaut und wird wie folgt betrieben. Bei der Behandlung
der in dem Abfallflüssigkeitstank 2 aufgenommenen
Abfallarbeitsflüssigkeit betätigt das Steuermittel 9 zuerst die
Pumpe 3 und den Elektromagneten 72a an einer Seite
des elektromagnetisch betriebenen Umschaltventils 72 (schaltet
diesen an). Als Folge wird die durch die Pumpe 3 beförderte
Abfallarbeitsflüssigkeit durch das Rohrleitungssystem 71,
das elektromagnetisch betriebene Umschaltventil 72, das
Rohrleitungssystem 71a und die Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 in
den ersten Filter 4a eingeführt. Die in den ersten
Filter 4a eingeführte Abfallarbeitsflüssigkeit wird
durch das röhrenförmige Filterpapier 41 gefiltert und
fließt durch die in der Seitenoberfläche des den äußeren
Umfang des röhrenförmigen Filterpapiers 41 abdeckenden
röhrenförmigen Körpers 42 ausgebildeten
mehreren Öffnungen 421 in den Arbeitsflüssigkeitsspeichertank 60 des
Filtergerüsts 6 heraus. In diesem Fall wird das
innerhalb des ersten Filters 4a angeordnete feine Pulver 40 aus
Silica an der inneren Oberfläche des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abgelagert, um die Filtrierungsleistung
zu erhöhen, so dass die bei der Bearbeitung erzeugten und
der Abfallarbeitsflüssigkeit beigemischten Abfälle
sicher getrennt werden. Deshalb können die bei der Bearbeitung
erzeugten Abfälle ohne Verwendung eines teuren feinmaschigen
Filterpapiers sicher getrennt werden. Die gefilterte Arbeitsflüssigkeit,
die wie oben beschrieben in den Arbeitsflüssigkeitsspeichertank 60 des
Filtergerüsts 6 geflossen ist, wird durch die Auslassöffnung 611 ausgelassen,
so dass sie durch ein in der Bearbeitungseinrichtung (nicht gezeigt) vorgesehenes
Arbeitsflüssigkeitszuführmittel wieder in Umlauf
gebracht oder durch ein Entsorgungsmittel entsorgt werden kann.
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Im Übrigen
betätigt bei der wie oben beschriebenen Einführung
der Abfallarbeitsflüssigkeit in den ersten Filter 4a das
Steuermittel 9 das erste proportionale elektromagnetisch
betriebene Ablassventil 83a des Druckluftzuführmittels 8 (schaltet
dieses an) und steuert eine angelegte Spannung, so dass der Ausflussdruck
zum Beispiel 1,5 atm beträgt. Als Folge wird die Druckluft
von der Druckluftquelle 81 durch das erste proportionale
elektromagnetisch betriebene Ablassventil 83a auf 1,5 atm
druckentlastet, bevor sie durch das Rohrleitungssystem 71b und
die Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 in
den ersten Filter 4a eingeführt wird. Deshalb
wird ein Druck von 1,5 atm auf die in den ersten Filter 4a eingeführte
Abfallarbeitsflüssigkeit ausgeübt. Folglich wird
das innerhalb des ersten Filters 4a angeordnete feine Pulver 40 aus Silica
sicher an der inneren Oberfläche des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abgelagert, so dass die Filtrierungseffizienz
aufrechterhalten wird.
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Wenn
die Behandlung der Abfallarbeitsflüssigkeit durch den ersten
Filter 4a wie oben beschrieben durchgeführt wird,
werden die bei der Bearbeitung erzeugten Abfälle an der
Innenseite des röhrenförmigen Filterpapiers 41 des
ersten Filters 4a abgelagert. Wenn die bei der Bearbeitung
erzeugten Abfälle so an der Innenseite des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abgelagert sind, wird es für
die Arbeitsflüssigkeit schwierig, durch das röhrenförmige
Filterpapier 41 hindurchzutreten, so dass die Filterfunktion verloren
geht.
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Wenn
die bei der Beareitung erzeugten Abfälle so an der Innenseite
des röhrenförmigen Filterpapiers 41 abgelagert
sind, wird der Druck innerhalb des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 erhöht. Dann, wenn der Druck
innerhalb des röhrenförmigen Filterpapiers 41 auf
zum Beispiel 2 atm erhöht wird, betätigt das mit
einem von dem ersten Druckerfassungsmittel 73a ausgegebenen
Drucksignal versorgte Steuermittel 9 den Elektromagneten 72b an
der anderen Seite des elektromagnetisch betriebenen Umschaltventils 72 (schaltet
diesen an). Deshalb wird die Kommunikation zwischen dem Rohrleitungssystem 71 und
dem Rohrleitungssystem 71a unterbrochen, während
das Rohrleitungssystem 71 und das Rohrleitungssystem 71b miteinander
in Kommunikation gebracht werden. Als Folge wird die durch die Pumpe 3 beförderte
Abfallarbeitsflüssigkeit durch das Rohrleitungssystem 71,
das elektromagnetisch betriebene Umschaltventil 72, das
Rohrleitungssystem 71b und die Abfallflüssigkeitseinlassöffnung 441 in
den zweiten Filter 4b eingeführt. Zusätzlich
betätigt das Steuermittel 9 das zweite proportionale
elektromagnetisch betriebene Ablassventil 83b des Druckluftzuführmittels 8 (schaltet
dieses an) und steuert die angelegte Spannung, so dass der Ausflussdruck
zum Beispiel 1,5 atm beträgt. Folglich wird die durch die Pumpe 3 beförderte
Abfallarbeitsflüssigkeit durch den zweiten Filter 4b auf
die gleiche Weise wie bei der Behandlung durch den ersten Filter 4a behandelt.
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Andererseits
steuert das Steuermittel 9 eine angelegte Spannung so,
dass der Ausflussdruck an dem ersten proportionalen elektromagnetisch
betriebenen Ablassventil 83a des Druckluftzuführmittels 8 zum
Beispiel 3 atm beträgt. Als Folge wird die innerhalb des
röhrenförmigen Filterpapiers 41 des ersten Filters 4a stehende
Abfallarbeitsflüssigkeit mit hohem Druck gefiltert und
bewirkt, dass diese durch die in der Seitenoberfläche des
den äußeren Umfang des röhrenförmigen
Filterpapiers 41 abdeckenden röhrenförmigen
Körpers 42 ausgebildeten mehreren Öffnungen 421 in
den Arbeitsflüssigkeitsspeichertank 60 des Filtergerüsts 6 hinausfließt.
Wenn eine vorgegebene Zeitdauer von der Steuerung der angelegten
Spannung an verstrichen ist, so dass der Ausflussdruck an dem ersten
proportionalen elektromagnetisch betriebenen Ablassventil 83a zum
Beispiel 3 atm beträgt, schaltet das Steuermittel 9 das
erste proportionale elektromagnetisch betriebene Ablassventil 83a ab.
Nachdem die innerhalb des röhrenförmigen Filterpapiers 41 des
ersten Filters 4a stehende Abfallarbeitsflüssigkeit
so abgelassen wurde, wird der Filter entsorgt und durch einen neuen
Filter ersetzt. Während dieses Vorgangs wird die Behandlung
der Abfallarbeitsflüssigkeit durch den zweiten Filter 4b wie
oben beschrieben durchgeführt, so dass der Betrieb der
Bearbeitungseinrichtung nicht unterbrochen werden muss.
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen
bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der
Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche
definiert und alle Veränderungen und Abwandlungen, die
innerhalb der Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche liegen,
werden deshalb durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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