JP6132547B2 - 負圧生成装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研削する研削装置等に接続される負圧生成装置に関する。

半導体ウエーハ等の被加工物を研削する研削装置等の加工装置は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを備えている。このチャックテーブルは、保持する被加工物に吸引力を作用せしめるバキューム生成機構に接続されている。このバキューム生成機構は、ノズルからディフューザに向けて圧縮空気を噴射するエジェクタを利用する負圧生成手段が用いられる場合や、ケーシングに偏心配設された羽根車を非接触で作動させる水封式バキュームポンプを利用する負圧生成手段が用いられる場合がある。また、高い吸引力を必要とし、かつ、チャックテーブルから液体を多く吸引させる場合、水封式バキュームポンプが加工装置に接続される（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−７８４２４号公報

水封式バキュームポンプは、封水の蒸発分等を補うため、外部から水を適宜追加する必要がある。また、加工装置のチャックテーブルのバキューム生成機構として水封式バキュームポンプを用いた場合、研削屑等の加工屑が混入した加工液がチャックテーブルから水封式バキュームポンプ内へ流入するため、長時間の使用によっては加工屑が多く溜まり、水封式バキュームポンプの内部に加工屑が付着してしまい、水封式バキュームポンプの正常な動作ができなくなる虞があるので、外部から追加する水は清浄な液体である必要がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、外部から水封式バキュームポンプに追加する水を抑制することができる負圧生成装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の負圧生成装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物に加工液を供給しながら研削ホイールを回転させて研削加工する加工手段と、を備える加工装置の前記チャックテーブルの前記被加工物を吸引保持する吸引保持部に吸引力を作用せしめる負圧生成装置であって、吸引口と排出口と水供給口とを有する水封式バキュームポンプと、前記吸引口と前記チャックテーブルとを連通し前記チャックテーブルを通じて空気と、前記被加工物から加工によって発生した加工屑を含む前記加工液とを吸引する吸引経路と、前記排出口と排出経路を介して連通し、前記排出口から排出される前記水封式バキュームポンプの封水と吸引された前記加工液との混合液を貯留する排水タンクと、前記排水タンクと前記水供給口と連通し前記排水タンクに貯留された前記混合液を前記水封式バキュームポンプに封水として供給する供給経路と、前記排水タンクと送出経路を介して連通し、前記排水タンクから送出された前記混合液に含まれる前記加工屑を除去する加工屑除去手段と、前記加工屑除去手段から排出される前記加工屑が除去された処理水を前記排水タンクに戻す戻り経路と、を有し、前記排水タンク内に貯留された混合液は、前記送出経路と前記戻り経路との循環により加工屑が除去された処理水として循環利用され、前記供給経路の循環により前記水封式バキュームポンプの封水として循環利用されることを特徴とする。

本発明の負圧生成装置によれば、加工装置チャックテーブルから吸引された加工液中の加工屑を加工屑除去手段で除去した処理水を排水タンクに戻し、この排水タンク内の混合液を水封式バキュームポンプの封水として供給することで、チャックテーブルから吸引された加工液を循環利用することができ、外部から水封式バキュームポンプに追加する水を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る負圧生成装置の概略構成例を示す図である。 図２は、実施形態に係る負圧生成装置のイニシャル処理を示す概略フローである。 図３は、実施形態に係る負圧生成装置の加工屑除去手段のメンテナンス処理を示す概略フローである。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る負圧生成装置の概略構成例を示す図である。図１に示す実施形態に係る負圧生成装置１は、被加工物Ｗに研削加工を施す加工装置１００において、加工手段１０１のチャックテーブル１０２に被加工物Ｗを吸引保持する吸引力を作用せしめる吸引源である。負圧生成装置１は、水封式バキュームポンプ１０と、吸引経路２０と、排水タンク３０と、供給経路４０と、加工屑除去手段５０と、戻り経路６０と、受水手段７０と、排水手段８０と、制御手段９０と、を含んで構成されている。

ここで、加工装置１００の加工手段１０１は、本実施形態においては、被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１０２と、被加工物Ｗを研削する研削ホイール１０３ａを有する研削手段１０３と、加工液Ｌを供給するノズル１０４と、を備えており、チャックテーブル１０２に保持された被加工物Ｗに加工液Ｌを供給しながら研削ホイール１０３ａを回転させて研削加工する。チャックテーブル１０２は、ポーラスセラミック等で円盤形状に形成され、被加工物Ｗを吸引保持する吸引保持部１０２ａと、吸引保持部１０２ａと負圧生成装置１とに連通する吸引路１０２ｂと、を有している。被加工物Ｗは、研削加工される加工対象であり、特に限定されないが、例えば、シリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等を母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）系の円板状の無機材料基板、金属や樹脂等の板状の延性材料、さらには、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダーまでの平坦度（ＴＴＶ：total thickness variation：被加工物の被研削面を基準面として厚み方向に測定した高さの被研削面の全面における最大値と最小値の差）が要求される各種加工材料である。また、被加工物Ｗは、表面に保護テープＴが貼着され、この保護テープＴを介してチャックテーブル１０２に吸引保持される。

水封式バキュームポンプ１０は、吸引口１１と、排出口１２と、水供給口１３と、ケーシング１４と、羽根車１５と、排出経路１６と、を有している。水封式バキュームポンプ１０は、ケーシング１４に対して偏心する位置に回転可能に取り付けられた羽根車１５を回転させることにより、吸引口１１から空気を吸入し、その吸入した空気を圧縮し、この圧縮した空気を排出口１２より排気する。水封式バキュームポンプ１０は、例えば、一分間当たりの封水の必要量が数リットルのものが用いられる。吸引口１１は、吸引経路２０に接続され、吸引経路２０を介してチャックテーブル１０２と連通している。排出口１２は、排出経路１６に接続され、排出経路１６を介して排水タンク３０と連通している。排出口１２は、水封式バキュームポンプ１０の封水と、チャックテーブル１０２から吸引された加工液Ｌとの混合液Ｌ２を排出する。水供給口１３は、供給経路４０に接続され、供給経路４０を介して排水タンク３０と連通している。水供給口１３は、排水タンク３０に貯留された混合液Ｌ４を水封式バキュームポンプ１０に封水として供給する。排出経路１６は、排出口１２と排水タンク３０とに連通している。排出経路１６は、排水タンク３０側の端部が当該排水タンク３０の上部に接続されている。排出経路１６は、混合液Ｌ２と、チャックテーブル１０２から吸引された空気と、を排水タンク３０へ排出する。

吸引経路２０は、吸引口１１とチャックテーブル１０２とを連通し、前記チャックテーブル１０２を通じて空気と、加工によって被加工物Ｗから発生した加工屑を含む加工液Ｌと、を吸引する。吸引経路２０は、空気や加工液Ｌが水封式バキュームポンプ１０側からチャックテーブル１０２側へ流れるのを止める逆止弁２１を有している。

排水タンク３０は、排出経路１６を介して排出口１２と連通し、かつ、戻り経路６０を介して加工屑除去手段５０と連通しており、水封式バキュームポンプ１０の封水と吸引された加工液Ｌとの混合液Ｌ２と、加工屑除去手段５０を通った処理水Ｌ３と、を貯留する。すなわち、排水タンク３０は、混合液Ｌ２と処理水Ｌ３との混合液Ｌ４を貯留する。排水タンク３０は、上限貯留量を超えた混合液Ｌ４を外部へ排水する図示しないオーバーフロー経路と、チャックテーブル１０２から吸引された空気、すなわち、水封式バキュームポンプ１０の排出口１２から排出される排気を外部へ放出する図示しないエアー放出経路と、を有している。排水タンク３０は、通常の稼働状況下において混合液Ｌ４の貯留量が変動しても、水封式バキュームポンプ１０や加工屑除去手段５０に安定して混合液Ｌ４を供給することができる容量、例えば、数十リットルの混合液Ｌ４を貯留できる容量のものが用いられる。また、排水タンク３０には、混合液Ｌ４の貯留量を検出する図示しない貯留量検出手段が設けられている。貯留量検出手段は、排水タンク３０内の混合液Ｌ４の貯留量に対応する貯留量検出信号を制御手段９０に出力する。

供給経路４０は、排水タンク３０と水供給口１３とに連通している。供給経路４０は、水封式バキュームポンプ１０の封水の蒸発分や、排出口１２から排気とともに排出される封水の排出分を補うために、排水タンク３０に貯留された混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）を封水として水封式バキュームポンプ１０に供給する。供給経路４０は、第１ポンプ４１と、図示しない流量計と、図示しない流量調整弁と、を有している。第１ポンプ４１は、例えば、吸い上げポンプである。流量計は、供給経路４０内の混合液Ｌ４の流量に対応する流量検出信号を制御手段９０に出力する。流量調整弁は、供給経路４０内の混合液Ｌ４の流量を制御手段９０からの制御信号により調整する。

加工屑除去手段５０は、排水タンク３０から送出された混合液Ｌ４に含まれる加工屑、例えば、加工装置１００の加工手段１０１により研削加工された被加工物Ｗの微粒子を除去する。加工屑除去手段５０は、送出経路５１と、第２ポンプ５２と、を備えている。加工屑除去手段５０は、例えば、濾紙等により加工屑を除去するフィルタ手段や、電界により加工屑を吸着および通過規制して除去する電界手段等を用いて、混合液Ｌ４中の加工屑を除去する。加工屑除去手段５０は、混合液Ｌ４中のイオンを除去するイオン調整手段と、処理水Ｌ３の液温を調整する温調手段と、を有している。加工屑除去手段５０は、上記フィルタ手段や上記電界手段、上記イオン調整手段、上記温調手段などが一体的に組み合わされたユニットであり、負圧生成装置１の図示しない筐体に対して、オペレータ等の作業員により交換可能である。また、加工屑除去手段５０は、チャックテーブル１０２から吸引される加工液Ｌの液量が比較的に少量であり、その液量が一定ではないということと、水封式バキュームポンプ１０にかかる背圧を抑制したいということとから、排水経路１６と直結せず、排水タンク３０を介して混合液Ｌ４が供給される。これにより、加工屑除去手段５０に混合液Ｌ４を安定して供給することができる。送出経路５１は、排水タンク３０と加工屑除去手段５０とに連通している。送出経路５１は、排水タンク３０側の端部が当該排水タンク３０の下部に接続されている。第２ポンプ５２は、例えば、吸い上げポンプである。

戻り経路６０は、加工屑除去手段５０と排水タンク３０とに連通している。戻り経路６０は、加工屑除去手段５０から排出される加工屑が除去された処理水Ｌ３を排水タンク３０に戻す。戻り経路６０は、排水タンク３０側の端部が当該排水タンク３０の上部に接続されている。処理水Ｌ３は、混合液Ｌ２または混合液Ｌ４がフィルタ等を通った後の処理液であり、水封式バキュームポンプ１０に封水として供給しても、水封式バキュームポンプ１０の性能を低下させない程度にまで加工屑が取り除かれた液体である。

受水手段７０は、水封式バキュームポンプ１０の封水として補給水Ｌ５を外部から補給するための水供給源１１０に接続され、補給水Ｌ５を受け入れる。受水手段７０は、受水経路７１と、受水経路開閉弁７２と、図示しない流量計と、図示しない流量調整弁と、を備えている。受水経路７１は、水供給源１１０の水供給経路１１１と、混合液Ｌ４の供給経路４０と、に連通している。受水経路７１は、供給経路４０において、第１ポンプ４１と水封式バキュームポンプ１０との間の位置で接続されている。受水経路７１は、補給水Ｌ５を水封式バキュームポンプ１０の封水として受け入れる。受水経路開閉弁７２は、例えば、単動ソレノイドを有するスプリングリターンのノーマルクローズタイプ（通電時開型）の開閉弁であり、制御手段９０からの制御信号により開閉制御される。流量計は、受水経路７１内の補給水Ｌ５の流量に対応する流量検出信号を制御手段９０に出力する。流量制御弁は、受水経路７１内の補給水Ｌ５の流量を制御手段９０からの制御信号により調整する。補給水Ｌ５は、純水等であり、水封式バキュームポンプ１０の性能を低下させない清浄な液体である。

排水手段８０は、排水タンク３０内の混合液Ｌ４を外部の図示しない排水処理装置等に排水する。排水手段８０は、排水経路８１と、排水経路開閉弁８２と、を備えている。排水経路８１は、混合液Ｌ４の送出経路５１と外部とに連通している。排水経路８１は、送出経路５１において、排水タンク３０と第２ポンプ５２との間の位置で接続されている。排水経路開閉弁８２は、例えば、単動ソレノイドを有するスプリングリターンのノーマルクローズタイプ（通電時開型）の開閉弁であり、制御手段９０からの制御信号により開閉制御される。

制御手段９０は、コンピュータ等を有する電子制御装置である。制御手段９０は、水封式バキュームポンプ１０と、第１ポンプ４１と、第２ポンプ５２と、受水経路開閉弁７２と、排水経路開閉弁８２と、排水タンク３０の図示しない貯留量検出手段と、加工屑除去手段５０の図示しない温調手段と、混合液Ｌ４の供給経路４０の図示しない流量計および流量調整弁と、補給水Ｌ５の受水経路７１の図示しない流量計および流量調整弁と、にそれぞれ接続されており、これらをそれぞれ制御する。

本実施形態に係る負圧生成装置１は、以上のごとき構成であり、以下、その基本的動作について説明する。負圧生成装置１により加工装置１００のチャックテーブル１０２に被加工物Ｗを吸引保持させる場合、吸引経路２０を介して吸引保持部１０２ａに水封式バキュームポンプ１０で生成した負圧を作用せしめることで、保護テープＴが貼着された被加工物Ｗがチャックテーブル１０２に吸引保持される。また、ノズル１０４から被加工物Ｗに供給される加工液Ｌは、その一部が吸引保持部１０２ａからチャックテーブル１０２の吸引路１０２ｂ内へ吸引され（矢印ａ）、吸引経路２０から吸引口１１を介して水封式バキュームポンプ１０のケーシング１４内へ吸引される（矢印ｂ）。水封式バキュームポンプ１０のケーシング１４内へ吸引された加工液Ｌは、水封式バキュームポンプ１０の封水と混合されて混合液Ｌ２となり、排出口１２から排出経路１６へ排出され、排水タンク３０内に貯留される（矢印ｃ）。排水タンク３０内に貯留された混合液Ｌ２は、第１ポンプ４１により供給経路４０を介して水封式バキュームポンプ１０の水供給口１３へ供給される（矢印ｄ）。また、排水タンク３０内に貯留された混合液Ｌ２は、第２ポンプ５２により送出経路５１を介して加工屑除去手段５０へ送出される（矢印ｅ）。加工屑除去手段５０へ送出された混合液Ｌ２は、加工屑除去手段５０を通って加工屑が除去された処理水Ｌ３となり、戻り経路６０を介して排水タンク３０へ戻される（矢印ｆ）。すなわち、排水タンク３０内に貯留された混合液Ｌ２は、矢印ｃ，ｄで示す循環により、水封式バキュームポンプ１０の封水として循環利用され、矢印ｅ，ｆで示す循環により、加工屑が除去された処理水Ｌ３として循環利用される。したがって、加工装置１００のチャックテーブル１０２から吸引された加工液Ｌを水封式バキュームポンプ１０の封水として循環利用することで、水封式バキュームポンプ１０の封水として外部の水供給源１１０から補給水Ｌ５を追加する量を抑制することができる。なお、排水タンク３０内に貯留された混合液Ｌ２は、負圧生成装置１の稼働に伴って、水封式バキュームポンプ１０から排出される混合液Ｌ２と、加工屑除去手段５０から戻される処理水Ｌ３とが混合した混合液Ｌ４となる。

また、排水タンク３０内の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）の貯留量が上限貯留量を超えた場合、上限貯留量を超えた混合液Ｌ４がオーバーフロー経路から外部へ排水され、排水タンク３０内の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）の貯留量が下限貯留量を下回った場合、水供給源１１０から補給水Ｌ５が補給されるので、混合液Ｌ４を上限貯留量と下限貯留量との間に保つことができる。これにより、水封式バキュームポンプ１０に混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）を安定供給することができ、水封式バキュームポンプ１０により生成される負圧の真空度を安定させることができる。なお、排水タンク３０内の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）が下限貯留量を下回った場合、下限貯留量を下回ったことを報知した後に負圧生成装置１の運転を停止してもよい。これにより、混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）等の液漏れ等により貯留量が減少した場合、漏出量等を抑えることができる。

また、排水タンク３０内の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）は、加工屑除去手段５０により所望の温度に保たれるため、封水として供給される混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）の温度変動を抑えることができ、水封式バキュームポンプ１０が生成する真空の真空度の変動を抑えることができる。また、加工屑除去手段５０により加工屑を除去した処理水Ｌ３を排水タンク３０へ戻すことで、加工屑が相対的に減少した混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）を水封式バキュームポンプ１０の封水として供給することができるので、水封式バキュームポンプ１０の内部に加工屑が付着することを抑制し、水封式バキュームポンプ１０を正常に動作させることができる。

また、供給経路４０は、図示しない流量計および液量調整弁により混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）の流量を調整することができるので、水封式バキュームポンプ１０に適量の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）を供給することができる。送出経路５１も同様に、図示しない流量計および液量調整弁により混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）の流量を調整することができるので、加工屑除去手段５０に適量の混合液Ｌ４（混合液Ｌ２を含む）を送出することができる。

ここで、図２を参照して、実施形態に係る負圧生成装置１のイニシャル処理について説明する。図２は、実施形態に係る負圧生成装置のイニシャル処理を示す概略フローである。

まず、負圧生成装置１の制御手段９０は、イニシャル処理を実行するか否かを判断する（ステップＳＴ１）。ここで、制御手段９０は、作業員によるイニシャル処理の実行、例えば、負圧生成装置１の筐体に配設された図示しない入力手段において、作業員によりイニシャルボタンが押下されたことに基づいて、イニシャル処理を実行すると判断する。なお、イニシャル処理は、負圧生成装置１の電源投入直後や、後述する加工屑除去手段５０のメンテナンス処理後に行われる処理であり、負圧生成装置１が生成する負圧を安定させ、加工装置１００の負圧源として使用できる状態にするための処理である。

次に、制御手段９０は、イニシャル処理を実行すると判断する（ステップＳＴ１肯定）と、排水経路開閉弁８２を閉弁し（ステップＳＴ２）、受水経路開閉弁７２を開弁し（ステップＳＴ３）、水封式バキュームポンプ１０を作動する（ステップＳＴ４）。ここで、制御手段９０は、受水経路開閉弁７２のソレノイドに通電し、水封式バキュームポンプ１０の駆動源である図示しないモータに通電する。これにより、水供給源１１０の水供給経路１１１から補給水Ｌ５が受水経路７１に受け入れられ、受水経路７１から水供給口１３を介して水封式バキュームポンプ１０のケーシング１４内に補給水Ｌ５が供給された後、排出口１２から排出経路１６を介して排水タンク３０に補給水Ｌ５が排出され、排出された補給水Ｌ５が排水タンク３０内に貯留される。

次に、制御手段９０は、排水タンク３０内の貯留量が所定量であるか否かを判断する（ステップＳＴ５）。ここで、制御手段９０は、図示しない貯留量検出手段から出力される貯留量検出信号に基づいて、排水タンク３０内の補給水Ｌ５の貯留量が所定量であるか否かを判断する。本実施形態において、所定量は、水封式バキュームポンプ１０の作動に必要な量の補給水Ｌ５を第１ポンプ４１により前記水封式バキュームポンプ１０へ供給し、かつ、加工屑除去手段５０の作動に必要な量の補給水Ｌ５を第２ポンプ５２により前記加工屑除去手段５０へ送出した際、排水タンク３０内の補給水Ｌ５が下限貯留量を上回る貯留量である。なお、所定量は、水封式バキュームポンプ１０には水供給源１１０から補給水Ｌ５が封水として供給されていることから、加工屑除去手段５０の作動に必要な補給水Ｌ５の量に基づいて設定してもよい。

次に、制御手段９０は、排水タンク３０内の貯留量が所定量であると判断する（ステップＳＴ５肯定）と、第２ポンプ５２を作動し（ステップＳＴ６）、受水経路開閉弁７２を閉弁し（ステップＳＴ７）、第１ポンプ４１を作動し（ステップＳＴ８）、イニシャル処理完了を報知する（ステップＳＴ９）。ここで、制御手段９０は、上記所定量を検出した貯留量検出手段からの貯留量検出信号に基づいて、排水タンク３０内の補給水Ｌ５の貯留量が上記所定量であると判断する。また、制御手段９０は、第２ポンプ５２の駆動源である図示しないモータに通電し、受水経路開閉弁７２のソレノイドへの通電を停止し、第１ポンプ４１の駆動源である図示しないモータに通電し、図示しない報知手段によりイニシャル処理が完了したことを作業員へ報知する。これにより、水供給源１１０からの補給水Ｌ５の供給が停止され、排水タンク３０内の補給水Ｌ５が送出経路５１を介して加工屑除去手段５０へ送出され、加工屑除去手段５０を通った処理水Ｌ３が戻り経路６０を介して排水タンク３０へ戻される。また、排水タンク３０内の補給水Ｌ５が供給経路４を介して水封式バキュームポンプ１０へ供給され、水封式バキュームポンプ１０から排出された補給水Ｌ５が排出経路１６を介して排水タンク３０へ排出される。また、負圧生成装置１のイニシャル処理が完了したことが作業員に報知される。

ここで、図３を参照して、実施形態に係る負圧生成装置１の加工屑除去手段５０のメンテナンス処理について説明する。図３は、実施形態に係る負圧生成装置の加工屑除去手段のメンテナンス処理を示す概略フローである。

まず、負圧生成装置１の制御手段９０は、メンテナンス処理を実行するか否かを判断する（ステップＳＴ１１）。ここで、制御手段９０は、作業員による加工屑除去手段５０のメンテナンス処理の実行、例えば、負圧生成装置１の筐体に配設された図示しない入力手段において、作業員によりメンテナンスボタンが押下されたことに基づいて、メンテナンス処理を実行すると判断する。なお、メンテナンス処理は、加工屑除去手段５０の処理量や、負圧生成装置１の稼働時間等に基づいて、メンテナンス処理の実行タイミングを制御手段９０が作業員に報知することにより行われることが好ましい。これにより、加工屑除去手段５０が定期的に交換されるようになり、加工屑除去手段５０の処理性能を維持することができる。

次に、制御手段９０は、メンテナンス処理を実行すると判断する（ステップＳＴ１１肯定）と、水封式バキュームポンプ１０を停止し（ステップＳＴ１２）、第１ポンプ４１を停止し（ステップＳＴ１３）、第２ポンプ５２を停止し（ステップＳＴ１４）、排水経路開閉弁８２を開弁する（ステップＳＴ１５）。ここで、制御手段９０は、水封式バキュームポンプ１０、第１ポンプ４１、第２ポンプ５２の各モータへの通電を停止し、排水経路開閉弁８２のソレノイドへ通電を開始する。これにより、チャックテーブル１０２から水封式バキュームポンプ１０への加工液Ｌの吸引が停止され、排水タンク３０から水封式バキュームポンプ１０への混合液Ｌ４の供給が停止され、水封式バキュームポンプ１０から排水タンク３０への混合液Ｌ４の排出が停止され、排水タンク３０から加工屑除去手段５０への混合液Ｌ４の送出が停止され、排水タンク３０内の混合液Ｌ４が排水経路８１から外部へ排水される。また、加工屑除去手段５０内の混合液Ｌ４は、加工屑除去手段５０を通って処理水Ｌ３となり、戻り経路６０から排水タンク３０へ戻され、排水経路８１から外部へ排水される。

次に、制御手段９０は、排水タンク３０の排水が完了したか否かを判断する（ステップＳＴ１６）。ここで、制御手段９０は、貯留量検出手段から出力される貯留量検出信号に基づいて、排水タンク３０内の混合液Ｌ４の排水が完了したか否かを判断する。

次に、制御手段９０は、排水タンク３０の排水が完了したと判断する（ステップＳＴ１６肯定）と、排水完了を報知する（ステップＳＴ１７）。ここで、制御手段９０は、貯留量検出手段から出力される貯留量検出信号に基づいて、排水タンク３０内の混合液Ｌ４の排水が完了したと判断し、図示しない報知手段により排水タンク３０内の混合液Ｌ４の排水が完了したことを作業員に報知する。これにより、排水タンク３０内の混合液Ｌ４の排水が完了したことを報知された作業員により、加工屑除去手段５０が交換され、負圧生成装置１の加工屑除去手段５０のメンテナンス処理が完了する。

以上のように、実施形態に係る負圧生成装置１によれば、加工装置１００のチャックテーブル１０２から吸引された加工液Ｌ中の加工屑を加工屑除去手段５０で除去した処理水Ｌ３を排水タンク３０に戻し、この排水タンク３０内の混合液Ｌ２（混合液Ｌ３を含む）を水封式バキュームポンプ１０の封水として供給することで、チャックテーブル１０２から吸引された加工液Ｌを循環利用することができ、外部の水供給源１１０から水封式バキュームポンプ１０に追加する補給水Ｌ５の補給量を抑制することができる。

なお、上記実施形態においては、処理量や稼働時間等に基づいて加工屑除去手段５０のメンテナンス処理を実行するようにしているが、加工屑除去手段５０に設けたイオン濃度検出センサや目詰まり検出センサ等の信号に基づいてメンテナンス処理を実行してもよい。これにより、必要に応じて加工屑除去手段５０のメンテナンス処理を実行することができる。

また、加工屑除去手段５０のメンテナンス処理において、加工屑除去手段５０を交換しているが、フィルタ等をモジュール化したフィルタモジュール等を交換するようにしてもよい。これにより、メンテナンス処理の所要時間を短縮することができる。

また、負圧生成装置１は、複数の加工装置１００の吸引源として利用してもよい。この場合、複数のチャックテーブル１０２から加工液Ｌが水封式バキュームポンプ１０へ吸引されるので、加工屑除去手段５０の単位時間当の処理量を増やすことが好ましい。

また、加工屑除去手段５０により加工屑が除去されるので、加工装置１００のノズル１０４から被加工物Ｗに供給される加工液Ｌは、研削加工のための添加剤や薬液等を含んでいてもよい。これにより、加工装置１００において、研削加工に適した加工液Ｌを供給することができる。

１ 負圧生成装置
１０ 水封式バキュームポンプ
１１ 吸引口
１２ 排出口
１３ 水供給口
１６ 排出経路
２０ 吸引経路
３０ 排水タンク
４０ 供給経路
５０ 加工屑除去手段
５１ 送出経路
６０ 戻り経路
１００ 加工装置
１０１ 加工手段
１０２ チャックテーブル
Ｌ 加工液
Ｌ２、Ｌ４ 混合液
Ｌ３ 処理水
Ｗ 被加工物

Claims (1)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物に加工液を供給しながら研削ホイールを回転させて研削加工する加工手段と、を備える加工装置の前記チャックテーブルの前記被加工物を吸引保持する吸引保持部に吸引力を作用せしめる負圧生成装置であって、
   吸引口と排出口と水供給口とを有する水封式バキュームポンプと、
   前記吸引口と前記チャックテーブルとを連通し前記チャックテーブルを通じて空気と、前記被加工物から加工によって発生した加工屑を含む前記加工液とを吸引する吸引経路と、
   前記排出口と排出経路を介して連通し、前記排出口から排出される前記水封式バキュームポンプの封水と吸引された前記加工液との混合液を貯留する排水タンクと、
   前記排水タンクと前記水供給口と連通し前記排水タンクに貯留された前記混合液を前記水封式バキュームポンプに封水として供給する供給経路と、
   前記排水タンクと送出経路を介して連通し、前記排水タンクから送出された前記混合液に含まれる前記加工屑を除去する加工屑除去手段と、
   前記加工屑除去手段から排出される前記加工屑が除去された処理水を前記排水タンクに戻す戻り経路と、を有し、
   前記排水タンク内に貯留された混合液は、前記送出経路と前記戻り経路との循環により加工屑が除去された処理水として循環利用され、前記供給経路の循環により前記水封式バキュームポンプの封水として循環利用される負圧生成装置。

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