JP5266006B2 - 加工廃液処理装置のフィルターユニット - Google Patents
加工廃液処理装置のフィルターユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5266006B2 JP5266006B2 JP2008257660A JP2008257660A JP5266006B2 JP 5266006 B2 JP5266006 B2 JP 5266006B2 JP 2008257660 A JP2008257660 A JP 2008257660A JP 2008257660 A JP2008257660 A JP 2008257660A JP 5266006 B2 JP5266006 B2 JP 5266006B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- waste liquid
- processing
- processing waste
- filter unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Description
筒状に形成された濾紙と、該筒状の濾紙の外周を覆い側面に複数の開口を備えた筒体と、該筒状の濾紙の下端を閉塞する底板と、該筒状の濾紙の上端を閉塞するとともに加工廃液を導入する廃液導入口を備えた天板と、該筒状の濾紙内に投入された微粒子粉体とからなるフィルターと、
該フィルターを収容する水槽と、を具備しており、
該水槽は、該フィルターの該底板から該筒体の外周面と隙間を設けて立設して形成された環状の外周壁によって該フィルターを構成する該底板と一体的に形成されている、
加工廃液処理装置のフィルターユニットが提供される。
また、本発明によれば、フィルターを収容する水槽を具備しているので、フィルターによって濾過された加工水は水槽に流出して水槽を満たすため、フィルターは常に加工水によって満たされている状態となる。従って、フィルター内に投入されているシリカからなる微粒子粉体が全体に浮遊するので、筒状の濾紙が局部的に目詰まりを生ずることはない。
図示の実施形態における加工廃液処理装置は、加工廃液を収容する廃液タンク2と、該廃液タンク2に収容された加工廃液を送給するポンプ3と、該ポンプ3によって送給された加工廃液を濾過するための第1のフィルターユニット4aおよび第2のフィルターユニット4bを具備している。
図3に示す実施形態における第1のフィルターユニット4aおよび第2のフィルターユニット4bは、フィルター40と該フィルター40を収容する水槽45がそれぞれ別体によって構成されている。水槽45は、上記フィルター40を構成する筒状の濾紙41の下端を閉塞する底板43の外径より大きい外径を有する円形状の底壁451と、該底壁451の外周縁から立設して形成された環状の外周壁452とを有するカップ状に形成されている。図示の実施形態における水槽45の底板43の上面には、固定手段としての永久磁石453が装着されている。なお、水槽45を形成する環状の外周壁452の上端は、上記図1および図2に示す水槽45の外周壁452と同様にフィルター40を構成する筒体42の上端と略同じ高さ位置に形成されている。このように構成された水槽45にフィルター40を収容する際には、底板43の上面に装着された永久磁石453にフィルター40を構成する底板43を吸着させることによって固定する。このようにして水槽45にフィルター40を収容すると、フィルター40を構成する筒体42の外周面と水槽45を形成する環状の外周壁452の内周面との間には隙間が設けられる。
図4に示す加工廃液送給手段7は、上記廃液タンク2に収容された加工廃液を送給するポンプ3と、該ポンプ3に接続された配管71と、該配管71と第1のフィルターユニット4aを構成するフィルター40の廃液導入口441および第2のフィルターユニット4bを構成するフィルター40の廃液導入口441とを接続する配管71aおよび71bと、該配管71と配管71aおよび71bとの間に配設された電磁切り換え弁72を具備している。この電磁切り換え弁72は、除勢(OFF)している状態では配管71と配管71aおよび71bとの連通を遮断しており、一方の電磁コイル72aを附勢(ON)すると配管71と配管71a が連通し、他方の電磁コイル72bを附勢(ON)すると配管71と配管71bが連通するようになっている。なお、配管71aおよび配管71bには、第1のフィルターユニット4aを構成するフィルター40および第2のフィルターユニット4bを構成するフィルター40に送給される加工廃液の圧力を検出する第1の圧力検出手段73aおよび第2の圧力検出手段73bが配設されている。この第1の圧力検出手段73aおよび第2の圧力検出手段73bは、その検出信号を後述する制御手段に送る。
廃液タンク2に収容された加工廃液を処理するに際しては、制御手段9は先ずポンプ3を作動するとともに、電磁切り換え弁72の一方の電磁コイル72aを附勢(ON)する。この結果、ポンプ3によって送給された加工廃液は、配管71、電磁切り換え弁72、配管71aおよび廃液導入口441を介して第1のフィルター4aを構成するフィルター40に導入される。第1のフィルターユニット4aを構成するフィルター40に導入された加工廃液は、筒状の濾紙41によって濾過され、再生された加工液となって筒状の濾紙41の外周を覆う筒体42の側面に形成された複数の開口421を通して水槽45に流出する。水槽に流出した濾過された加工液は、水槽45を満たすと外周壁452の上端から流出してフィルターラック6の加工液貯留槽60に落下する。なお、上記第1のフィルターユニット4aを構成するフィルター40によって濾過される加工廃液は、第1のフィルターユニット4aを構成するフィルター40内に投入されているシリカからなる微粒子粉体400が筒状の濾紙41の内面に付着し濾過性能が向上するため、加工廃液に混入している加工屑を確実に分離することができる。従って、メッシュの細かい高価な濾紙を使用することなく加工屑を確実に分離することができる。また、フィルター40によって濾過された加工液は水槽45に流出して該水槽を満たすため、フィルター40内は常に加工廃液によって満たされている状態となる。従って、フィルター40内に投入されているシリカからなる微粒子粉体400が全体に浮遊するので、筒状の濾紙41が局部的に目詰まりを生ずることはない。
21:廃液流入口
3:ポンプ
4a:第1のフィルターユニット
4b:第2のフィルターユニット
40:フィルター
400:微粒子粉体
41:筒状の濾紙
42:筒体
421:複数の開口
43:底板
44:天板
441:廃液導入口
45:水槽
451:底壁
452:外周壁
5:支持基台
6:フィルターラック
60:加工液貯留槽
661:排出口
7:加工廃液送給手段
72:電磁切り換え弁
73a:第1の圧力検出手段
73b:第2の圧力検出手段
8:圧縮空気供給手段
81:圧縮空気源
83a:第1の比例電磁式リリーフ弁
83b:第2の比例電磁式リリーフ弁
9:制御手段
Claims (2)
- 加工装置の加工の際に供給する加工液に加工によって発生した加工屑が混入された加工廃液を処理する加工廃液処理装置のフィルターユニットにおいて、
筒状に形成された濾紙と、該筒状の濾紙の外周を覆い側面に複数の開口を備えた筒体と、該筒状の濾紙の下端を閉塞する底板と、該筒状の濾紙の上端を閉塞するとともに加工廃液を導入する廃液導入口を備えた天板と、該筒状の濾紙内に投入された微粒子粉体とからなるフィルターと、
該フィルターを収容する水槽と、を具備しており、
該水槽は、該フィルターの該底板から該筒体の外周面と隙間を設けて立設して形成された環状の外周壁によって該フィルターを構成する該底板と一体的に形成されている、
加工廃液処理装置のフィルターユニット。 - 該微粒子粉体は、粒径が0.5〜2.0μmのシリカからなる、請求項1記載の加工廃液処理装置のフィルターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257660A JP5266006B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 加工廃液処理装置のフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257660A JP5266006B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 加工廃液処理装置のフィルターユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010082791A JP2010082791A (ja) | 2010-04-15 |
JP5266006B2 true JP5266006B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=42247253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008257660A Active JP5266006B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 加工廃液処理装置のフィルターユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5266006B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105688472A (zh) * | 2014-11-28 | 2016-06-22 | 丹阳恒安化学科技研究所有限公司 | 化工用过滤装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7021868B2 (ja) * | 2017-06-02 | 2022-02-17 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP2021035660A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 株式会社ディスコ | 濾過器 |
CN116551448B (zh) * | 2023-03-16 | 2024-04-09 | 德玛克(浙江)精工科技有限公司 | 一种精密零件生产用数控加工中心 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3058947U (ja) * | 1998-11-06 | 1999-06-22 | 株式会社忍足研究所 | 放電加工機用フィルタ |
JP2003164874A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-10 | Sanyo Aqua Technology Co Ltd | 流体の被除去物除去装置、純水の製造装置および純水の製造方法 |
-
2008
- 2008-10-02 JP JP2008257660A patent/JP5266006B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105688472A (zh) * | 2014-11-28 | 2016-06-22 | 丹阳恒安化学科技研究所有限公司 | 化工用过滤装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010082791A (ja) | 2010-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009095941A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
US6406622B1 (en) | Apparatus for filtering a fluid | |
US6428709B1 (en) | Method of filtering a fluid | |
US6746309B2 (en) | Method of fabricating a semiconductor device | |
JP7021868B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
US6299513B1 (en) | Method of fabricating a semiconductor device | |
JP5266006B2 (ja) | 加工廃液処理装置のフィルターユニット | |
TWI829849B (zh) | 廢液處理裝置 | |
US20070037495A1 (en) | Abrasive water jet cutting machine | |
JP2001038152A (ja) | 流体の被除去物除去方法 | |
JP2009190128A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2009166154A (ja) | 被切削部材の切粉用沈澱槽 | |
JP4518001B2 (ja) | 分離方法および分離装置 | |
EP1055446B1 (en) | Method of fabricating a semiconductor device with process liquid recycling | |
JP2016043421A (ja) | 流体吸引装置 | |
JP5681029B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2005000767A (ja) | フィルター装置および半導体製造装置 | |
JP2014124753A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP5770004B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2011255471A (ja) | 廃液処理装置 | |
JP4549812B2 (ja) | 高圧液噴射式切断装置 | |
JP7399564B2 (ja) | イオン交換ユニット及びイオン交換樹脂の交換方法 | |
JP2017217594A (ja) | イオン交換ユニット及びイオン交換樹脂の交換方法 | |
JP2004268244A (ja) | クーラント清浄装置 | |
JP2012152854A (ja) | 加工廃液処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130321 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5266006 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |