JP2011255471A

JP2011255471A - 廃液処理装置

Info

Publication number: JP2011255471A
Application number: JP2010133012A
Authority: JP
Inventors: Susumu Inakazu; 進稲員; Atsushi Shimomura; 敦下村
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-06-10
Filing date: 2010-06-10
Publication date: 2011-12-22

Abstract

【課題】フィルタユニットの交換忘れを防止する廃液処理装置を提供する。
【解決手段】廃液タンク４と、廃液タンク４に収容された加工廃液を送給する送給ポンプ６と、加工廃液を濾過する濾過手段４４と、該濾過手段４４で生成された清水を排出する清水排出口４０とを備えた廃液処理装置であって、該濾過手段４４は、それぞれ着脱可能に配設された第１及び第２フィルタユニット８ａ，８ｂと、加工廃液の送給先を該第１フィルタユニット８ａと該第２フィルタユニット８ｂとの間で選択的に切り替える切替手段４６と、第１圧力検出手段４８ａと、第２圧力検出手段４８ｂとを含み、圧力検出手段４８ａ，４８ｂで検出した圧力が該所定値を超えた際に各フィルタユニットの詰まりと判定する判定部５８を有する制御手段５６と、警告手段６２と、フィルタユニット８ａ、８ｂを新品に交換した後、各フィルタユニットが新品であることを検出する新品検出手段６０を具備した。
【選択図】図３

Description

本発明は加工装置に付設され、加工で生じた加工廃液を処理する廃液処理装置に関する。

例えば半導体デバイスの製造プロセスでは、半導体ウエーハの表面にＩＣやＬＳＩ等の回路素子を複数形成した後、ウエーハの裏面を研削装置で研削して所定の厚みへと薄化し、薄化したウエーハを切削装置で切削することで個々の半導体デバイスを製造している。

これらの研削装置や切削装置では、加工によって生じる加工屑を除去する目的や、加工で生じた加工熱を冷却する目的等のために、加工水を供給しつつ加工が遂行される。半導体デバイス上にごく微量でも不純物が残っていると半導体デバイスの品質に重大な影響を及ぼす。そのため、これらの研削装置や切削装置でも純水が加工水として用いられている。

純水は、市水をフィルタ、活性炭フィルタ、イオン交換樹脂や逆浸透膜に通過させることで生成され、例えば特開平９−２９２４５号公報で開示されるような純水製造装置を用いて生成される。

一般に純水は高価であるため、加工装置等で使用された使用後の純水は回収されリサイクルされて使用されている。ところが、加工装置で使用された使用後の純水には大量の加工屑が混入しており、これらの加工屑を除去して再度純水を生成しようとすると、純水製造装置のフィルタやイオン交換樹脂、逆浸透膜等がすぐに詰まってしまうという問題がある。

そこで本出願人は、これらの純水製造装置における純水の生成を補助するために、加工によって生じた加工廃液をフィルタで濾過して加工廃液から加工屑を除去する加工廃液処理装置を特開２００９−９５９４１号公報で提案した。

この加工廃液処理装置は２つのフィルタを備え、一方のフィルタが詰まってしまった場合でも他方のフィルタへ加工廃液を送給することで、連続的に濾過作業を行える構成となっている。詰まったフィルタは作業者が新品へと交換する。

特開２００９−９５９４１号公報

ところが、一方のフィルタが詰まった後に、異なる作業者に交代した場合等では、フィルタを交換したか否かが分からなくなってしまう場合がある。フィルタの交換を忘れたまま、他方のフィルタが詰まると加工廃液処理装置の稼動を止めて２つのフィルタを同時に交換しなくてはならず、効率が非常に悪いという問題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フィルタの交換忘れを防止する廃液処理装置を提供することである。

本発明によると、加工装置で発生した加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する送給ポンプと、該送給ポンプで送給された加工廃液を濾過する濾過手段と、該濾過手段で生成された清水を排出する清水排出口とを備えた廃液処理装置であって、該濾過手段は、それぞれ着脱可能に配設された第１及び第２フィルタユニットと、該送給ポンプで送給する加工廃液の送給先を該第１フィルタユニットと該第２フィルタユニットとの間で選択的に切り替える切替手段と、該第１フィルタユニットへ送給される加工廃液の圧力を検出する第１圧力検出手段と、該第２フィルタユニットへ送給される加工廃液の圧力を検出する第２圧力検出手段とを含み、該第１圧力検出手段で検出した圧力が所定値を超えた際に該第１フィルタユニットの詰まりと判定し、該第２圧力検出手段で検出した圧力が該所定値を超えた際に該第２フィルタユニットの詰まりと判定する判定部を有する制御手段と、該判定部で詰まりと判定した際に警告を発する警告手段と、該第１フィルタユニットを新品に交換した後該第１フィルタユニットが新品であることを検出するとともに、該第２フィルタユニットを新品に交換した後該第２フィルタユニットが新品であることを検出する新品検出手段と、を具備したことを特徴とする廃液処理装置が提供される。

好ましくは、前記新品検出手段は前記制御手段で兼用され、該制御手段は前記切替手段を制御する切替制御部を有し、前記判定部で前記第１フィルタユニットの詰まりと判定されると、該切替制御部は、加工廃液が前記第２フィルタユニットへ向かうように前記切替手段を切り替えるとともに、所定のタイミングで加工廃液が該第１フィルタユニットへ向かうように該切替手段を切り替え、前記判定部は、前記第１圧力検出手段で検出した圧力が前記所定値を下回る際に該第１フィルタユニットが新品であると判定し、前記第２圧力検出手段で検出した圧力が該所定値を下回る際に該第２フィルタユニットが新品であると判定する。

本発明の廃液処理装置は、フィルタユニットが新品であることを検出する新品検出手段を備えているため、フィルタユニットの交換忘れが防止され、廃液処理装置の稼動を止めて２つのフィルタユニットを同時に交換するという作業効率の悪化を防止することができる。

廃液処理装置の外観斜視図である。廃液処理装置の分解斜視図である。廃液処理装置の構成ブロック図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る廃液処理装置２の外観斜視図が示されている。図２は図１の廃液処理装置の分解斜視図である。

廃液処理装置２は、加工廃液を収容する廃液タンク４と、廃液タンク４に収容された加工廃液を送給するポンプ６と、ポンプ６によって送給された加工廃液を濾過するための濾過手段４４を備えている。

廃液タンク４は、端壁に廃液流入口１０を備えており、廃液流入口１０が図示しない切削装置等の加工装置の加工廃液送出口に接続される。廃液タンク４の上壁に加工廃液を送給するポンプ６が配設されている。このように構成された廃液タンク４は、支持基台１２の上面に配設される。

濾過手段４４は、ポンプ６によって送給された加工廃液を濾過するための第１フィルタユニット８ａ及び第２フィルタユニット８ｂを具備している。第１フィルタユニット８ａ及び第２フィルタユニット８ｂは、それぞれ筒状に形成された濾紙１４と、濾紙１４の外周を覆う筒体１６と、筒状の濾紙１４の下端を閉塞する底板１８と、筒状の濾紙１４の上端を閉塞する天板２０とからなっている。

筒状の濾紙１４は、放射状に複数折りたたまれて形成され、濾過面積が増大するように構成されている。尚、筒状の濾紙１４は、例えば粒径が０．３〜０．４μｍ以下の粒子が通過することのできるメッシュサイズの大きい比較的安価な濾紙が用いられている。

この筒状の濾紙１４の外周を覆う筒体１６は、側面に複数の開口１７が形成されている。筒状の濾紙１４の上端を閉塞する天板２０には、中央部に廃液導入口２２が設けられている。

このように構成された第１フィルタユニット８ａ及び第２フィルタユニット８ｂは、支持基台１２に配設された廃液タンク４の上側に配置されたフィルタラック２４上に配設される。

フィルタラック２４は、矩形状に形成された底壁２６と、底壁２６の両側面から立設された側壁２８，３０と、底壁２６の両端縁から立設された端壁３２，３４から構成されており、４本の支柱３６によって支持され、支持基台１２に配設された廃液タンク４の上側に配置されている。

フィルタラック２４は、底壁２６と、側壁２８，３０と、端壁３２，３４とによって第１フィルタユニット８ａ及び第２フィルタユニット８ｂによって加工屑が分離された濾過済みの加工液（清水）を収容する加工液貯留槽（清水貯留槽）３８を形成している。

そして、フィルタラック２４の底壁２６には、加工液貯留槽３８に貯留された濾過済みの加工液（清水）を排出する清水排出口４０が設けられている。清水排出口４０は図示しない加工装置に装備された加工液供給手段に接続されるか、又は廃棄手段に接続されている。

フィルタラック２４の底壁２６には、第１フィルタユニット８ａ及び第２フィルタユニット８ｂを支持するための第１支持台４２ａ及び第２支持台４２ｂが配設されている。第１支持台４２ａ上に第１フィルタユニット８ａが載置され、第２支持台４２ｂ上に第２フィルタユニット８ｂが載置される。

図３に示すように、濾過手段４４は、それぞれ着脱可能に配設された第１及び第２フィルタユニット８ａ，８ｂと、送給ポンプ６で加工廃液を送給する送給先を第１フィルタユニット８ａと第２フィルタユニット８ｂとの間で選択的に切り替える切替弁（切替手段）４６と、第１フィルタユニット８ａへ送給される加工廃液の圧力を検出する第１圧力検出手段４８ａと、第２フィルタユニット８ｂへ送給される加工廃液の圧力を検出する第２圧力検出手段４８ｂを含んでいる。

切替弁４６は電磁切替弁から構成され、切替弁４６がオフの状態では配管５０と、配管５０ａ及び配管５０ｂとの連通を遮断しており、一方の電磁コイル５２ａを励磁（オン）すると、配管５０と配管５０ａが連通し、他方の電磁コイル５２ｂを励磁（オン）すると、配管５０と配管５０ｂが連通する。

配管５０ａには第１のフィルタユニット８ａに送給される加工廃液の圧力を検出する第１圧力検出手段４８ａが配設され、配管５０ｂには第２のフィルタユニット８ｂに送給される加工廃液の圧力を検出する第２圧力検出手段４８ｂが配設されている。第１圧力検出手段４８ａで検出した圧力及び第２圧力検出手段４８ｂで検出した圧力はコントローラ５４の判定部５８に送られる。

以下、上述した廃液処理装置２の作用について説明する。廃液タンク４に収容された加工廃液を処理するに際しては、コントローラ５４はまずポンプ６を作動するとともに、コントローラ５４の切替制御部５６は電磁切替弁４６の一方の電磁コイル５２ａを励磁（オン）する。その結果、ポンプ６によって送給される加工廃液は、配管５０、電磁切替弁４６、配管５０ａ及び廃液導入口２２を介して第１フィルタユニット８ａに導入される。

第１フィルタユニット８ａに導入された加工廃液は筒状の濾紙１４によって濾過され、濾紙１４の外周を覆う筒体１６の側面に形成された複数の開口１７を通してフィルタラック２４の加工液貯留槽３８に流出する。

加工液貯留槽３８に流出した濾過された加工液（清水）は、清水排出口４０から排出されて、図示しない加工装置に装備された加工液供給手段によって再循環されるか、又は廃棄手段を介して廃棄される。

以上のようにして第１フィルタユニット８ａによる加工廃液の処理を実施していると、第１フィルタユニット８ａの筒状の濾紙１４の内側には加工屑が堆積する。濾紙１４の内側に加工屑が堆積すると、加工液が筒状の濾紙１４を通過し難くなり、フィルタとしての機能が失われる。

筒状の濾紙１４の内側に加工屑が堆積すると、筒状の濾紙１４内の圧力、即ち配管５０ａ内の圧力が上昇する。そこで、第１圧力検出手段４８ａで検出した配管５０ａの圧力が予め設定した所定値、例えば２気圧になると、コントローラ５４の判定部５８が第１フィルタユニット８ａの詰まりと判定する。

そして、コントローラ５４の切替制御部５６が電磁切替弁４６の電磁コイル５２ｂを励磁（オン）し、電磁切替弁４６のスプールを左方向に移動して、配管５０を配管５０ｂに連通する。その結果、ポンプ６によって送給された加工廃液は、配管５０、電磁切替弁４６、配管５０ｂ及び加工廃液導入口２２を介して第２フィルタユニット８ｂに導入される。

判定部５８で判定した配管５０ａ内の圧力が所定値を超えた際には、コントローラ５４に接続されている警告手段６２が警告を発信し、作業者に第１フィルタユニット８ａの交換を促す。この警告はランプの点灯又はブザー等により行うことができる。

第２フィルタユニット８ｂで加工廃液を濾過している間に、作業者は第１フィルタユニット８ａを新たなフィルタユニットに交換する。この間に加工廃液の処理は第２フィルタユニット８ｂによって実施されるので、加工装置の作業を中断する必要はない。

本発明は、コントローラ５４内に設けた切替制御部５６と判定部５８とから構成される新品検出手段６０を設けた点に特徴を有している。即ち、本発明では、判定部５８で第１フィルタユニット８ａが詰まりと判定されると、切替制御部５６は、加工廃液の送給先が第２フィルタユニット８ｂへと向かうように電磁切替弁４６を切り替えるとともに、所定のタイミングで加工廃液の送給先を第１フィルタユニット８ａへ向かうように電磁切替弁４６を切り替える。

そして、判定部５８は、第１圧力検出手段４８ａで検出した圧力が所定値を下回る場合に、詰まりが発生した第１フィルタユニット８ａが新品のフィルタユニットに交換されていると判定する。

一方、第１圧力検出手段４８ａで検出した圧力が所定値を上回る場合には、詰まりが発生した第１フィルタユニット８ａが新品のフィルタユニットに交換されていないと判定し、コントローラ５４に接続されている警告手段６２が警告を発信し、作業者に第１フィルタユニット８ａの交換を再度促す。

上述した実施形態では、新品検出手段６０をプログラム処理によりソフト的に構成しているが、本発明の新品検出手段はこれに限定されるものではない。例えば、自動／手動で点灯するランプ（フィルタユニット交換後、点灯することで新品であることを表示する。又は、作業者がフィルタユニット交換後、押すことで点灯させる）等でもよい。

２廃液処理装置
４廃液タンク
６ポンプ
８ａ第１フィルタユニット
８ｂ第２フィルタユニット
１４筒状の濾紙
２４フィルタラック
４４濾過手段
４６電磁切替弁
４８ａ第１圧力検出手段
４８ｂ第２圧力検出手段
５４コントローラ
５６切替制御部
５８判定部
６０新品検出手段
６２警告手段

Claims

加工装置で発生した加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する送給ポンプと、該送給ポンプで送給された加工廃液を濾過する濾過手段と、該濾過手段で生成された清水を排出する清水排出口とを備えた廃液処理装置であって、
該濾過手段は、それぞれ着脱可能に配設された第１及び第２フィルタユニットと、該送給ポンプで送給する加工廃液の送給先を該第１フィルタユニットと該第２フィルタユニットとの間で選択的に切り替える切替手段と、該第１フィルタユニットへ送給される加工廃液の圧力を検出する第１圧力検出手段と、該第２フィルタユニットへ送給される加工廃液の圧力を検出する第２圧力検出手段とを含み、
該第１圧力検出手段で検出した圧力が所定値を超えた際に該第１フィルタユニットの詰まりと判定し、該第２圧力検出手段で検出した圧力が該所定値を超えた際に該第２フィルタユニットの詰まりと判定する判定部を有する制御手段と、
該判定部で詰まりと判定した際に警告を発する警告手段と、
該第１フィルタユニットを新品に交換した後該第１フィルタユニットが新品であることを検出するとともに、該第２フィルタユニットを新品に交換した後該第２フィルタユニットが新品であることを検出する新品検出手段と、
を具備したことを特徴とする廃液処理装置。
前記新品検出手段は前記制御手段で兼用され、
該制御手段は前記切替手段を制御する切替制御部を有し、
前記判定部で前記第１フィルタユニットの詰まりと判定されると、該切替制御部は、加工廃液が前記第２フィルタユニットへ向かうように前記切替手段を切り替えるとともに、所定のタイミングで加工廃液が該第１フィルタユニットへ向かうように該切替手段を切り替え、
前記判定部は、前記第１圧力検出手段で検出した圧力が前記所定値を下回る際に該第１フィルタユニットが新品であると判定し、前記第２圧力検出手段で検出した圧力が該所定値を下回る際に該第２フィルタユニットが新品であると判定する請求項１記載の廃液処理装置。