KR102580973B1 - 바이트 절삭 장치 - Google Patents

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마코토 고바야시
미츠루 이쿠시마
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 메인터넌스의 빈도를 낮게 억제할 수 있는 바이트 절삭 장치를 제공한다.
(해결 수단) 척 테이블과 바이트 휠과 세정 노즐을 수용하는 가공실로부터 세정액과 가공 부스러기를 포함하는 분위기를 흡인하여 배출하는 흡인 유닛을 구비하는 바이트 절삭 장치로서, 흡인 유닛은, 일단측이 가공실에 접속되는 제 1 흡인로와, 제 1 흡인로의 타단측에 접속되고, 가공실로부터 배출되는 분위기로부터 세정액 및 가공 부스러기를 분리하는 분리실과, 일단측이 분리실에 접속되고, 타단측이 흡인원에 접속되는 제 2 흡인로와, 분리실의 바닥부에 형성되고, 분리실에서 분리된 세정액 및 가공 부스러기를 상부에 모아 둘 수 있는 도어와, 도어를 개폐함으로써, 도어의 상부에 모인 세정액 및 가공 부스러기를 낙하시켜 분리실 밖으로 배출하는 개폐 기구를 포함하고, 개폐 기구는, 도어를 소정의 타이밍으로 개폐함으로써, 소정의 타이밍을 제외한 기간에 있어서, 분리실의 바닥부로부터 제 2 흡인로로의 분리실 밖의 분위기의 유입을 제한한다.

Description

바이트 절삭 장치{BITE CUTTING APPARATUS}
본 발명은 바이트 절삭 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 패키지 기판 등으로 대표되는 판상의 피가공물에 대하여, 바이트로 불리는 절삭용의 공구를 절입하여 평탄한 면을 형성하는 바이트 절삭 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 바이트 절삭 장치에서는, 원궤도를 따라 바이트를 선회시키면서, 이 원궤도에 대하여 평행한 방향으로 피가공물을 이동시킴으로써, 바이트의 선단을 피가공물의 피가공 영역에 접촉시켜 피가공물을 절삭한다.
그런데, 상기 서술한 바와 같은 원궤도를 따라 선회하는 바이트에 의해 피가공물을 절삭하면, 어느 정도 길고 가느다란 가공 부스러기 (절삭 부스러기) 가 대량으로 발생해 버린다. 따라서, 이 가공 부스러기를 적절히 제거할 수 있도록, 피가공물의 피가공 영역을 향하여 세정용의 유체를 분사하는 노즐이나, 노즐로부터 분사된 유체를 가공 부스러기와 함께 흡인하여 배출하는 흡인 유닛 등을 바이트 절삭 장치에 형성하고 있다.
일본 공개특허공보 2014-18942호
상기 서술한 흡인 유닛은, 진공 펌프로 대표되는 흡인원에서 발생하는 흡인력을 이용하여 유체 및 가공 부스러기를 흡인하므로, 이 흡인원에 문제가 발생하지 않도록, 흡인원의 상류측에서 가공 부스러기를 제거해 둘 필요가 있다. 그 때문에, 흡인원의 상류측에는, 통상적으로 가공 부스러기를 제거하기 위한 필터가 형성되어 있다.
그러나, 이와 같은 구조의 흡인 유닛에서는, 필터의 상류측에 가공 부스러기가 모이기 쉬워, 성능을 유지하기 위해 메인터넌스를 빈번히 실시해야만 한다. 그 결과, 바이트 절삭 장치의 정지 시간이 길어지므로, 장치의 가동률은 저하되어 버린다. 또, 메인터넌스 작업의 오퍼레이터에 대한 부하도 컸다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 메인터넌스의 빈도를 낮게 억제할 수 있는 바이트 절삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 절삭날을 갖고 그 유지면에 수직인 회전축의 하단에 장착되는 바이트 휠을 회전시켜 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 상면측으로부터 절삭하는 바이트 절삭 유닛과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물의 상면측에 세정액을 공급하는 세정 노즐과, 그 척 테이블과 그 바이트 휠과 그 세정 노즐을 수용하는 가공실로부터 그 세정액과 가공 부스러기를 포함하는 분위기를 흡인하여 배출하는 흡인 유닛과, 그 가공실 내에서 낙하하는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 그 가공실 밖으로 배출하는 배출관과, 그 배출관을 통해 그 가공실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 수용하고, 그 가공 부스러기를 포획하는 네트 형상의 포획 부재와, 그 흡인 유닛 및 그 배출관에 대해 그 포획 부재를 이동시킬 수 있도록 지지하는 대차를 구비하고, 그 흡인 유닛은, 일단측이 그 가공실에 접속되는 제 1 흡인로와, 그 제 1 흡인로의 타단측에 접속되고, 그 가공실로부터 배출되는 그 분위기로부터 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 분리하는 분리실과, 일단측이 그 분리실에 접속되고, 타단측이 흡인원에 접속되는 제 2 흡인로와, 그 분리실의 바닥부에 형성되고, 그 분리실에서 분리된 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 상부에 모아 둘 수 있는 도어와, 그 도어를 개폐함으로써, 그 도어의 그 상부에 모인 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 낙하시켜 그 분리실 밖으로 배출하는 개폐 기구를 포함하고, 그 개폐 기구는, 그 도어를 소정의 타이밍으로 개폐함으로써, 그 소정의 타이밍을 제외한 기간에 있어서, 그 분리실의 바닥부로부터 그 제 2 흡인로로의 그 분리실 밖의 분위기의 유입을 제한하고, 그 포획 부재는, 그 배출관을 통해 그 가공실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기와 함께, 그 도어로부터 낙하하여 그 분리실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 수용하는 바이트 절삭 장치가 제공된다.
상기 서술한 본 발명의 일 양태에 있어서, 그 포획 부재를 통과한 그 세정액이 모이는 바닥을 갖는 회수층을 추가로 구비하고, 그 포획 부재는, 그 회수층의 그 바닥으로부터 소정의 높이의 위치에 형성되어 있고, 그 회수층과 함께 그 대차에 지지되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 양태에 관련된 바이트 절삭 장치는, 가공실로부터 배출되는 분위기로부터 세정액 및 가공 부스러기를 분리하는 분리실과, 분리실의 바닥부에 형성되고, 분리실에서 분리된 세정액 및 가공 부스러기를 상부에 모아 둘 수 있는 도어와, 도어를 개폐하는 개폐 기구를 포함하는 흡인 유닛을 구비하고 있다.
그 때문에, 가공실로부터 배출되는 분위기로부터 세정액 및 가공 부스러기를 분리실에서 분리할 수 있음과 함께, 이 분리실로부터의 세정액 및 가공 부스러기의 배출을 도어의 개폐에 의해 제어할 수 있다. 요컨대, 흡인 유닛 내에 가공 부스러기가 모이기 어려워지므로, 메인터넌스의 빈도를 낮게 억제할 수 있다.
또, 도어를 개폐하는 타이밍을 제외한 기간에는, 도어가 형성되어 있는 분리실의 바닥부로부터의 분리실 밖의 분위기의 유입은 제한되므로, 도어를 개폐하는 타이밍을 적절히 제어함으로써, 피가공물을 절삭할 때에 흡인 유닛의 흡인력이 저하되어 버리는 경우도 없다.
도 1 은, 바이트 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 바이트 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 정면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 관련된 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 실시형태에 관련된 바이트 절삭 장치 (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 2 는, 바이트 절삭 장치 (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 정면도이다. 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 바이트 절삭 장치 (2) 는, 각 구성 요소를 지지하는 기대 (4) 를 구비하고 있다. 기대 (4) 의 후단에는, 벽 형상의 지지 구조 (6) 가 형성되어 있다.
기대 (4) 의 상면 전측에는, 개구 (4a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (4a) 내에는, 판상의 피가공물 (11) 을 반송하는 반송 유닛 (8) 이 배치되어 있다. 피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 (Si) 등의 재료로 이루어지는 웨이퍼 (13) (도 2) 의 상면측에 수지 등의 재료로 이루어지는 봉지층 (15) (도 2) 이 형성된 패키지 기판이다.
이 피가공물 (11) 의 하면측 (봉지층 (15) 의 반대측) 에는, 예를 들어, 수지제의 점착 테이프로 대표되는 보호 부재 (17) (도 2) 가 첩부되어 있다. 또한, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판을 피가공물 (11) 로 할 수도 있다. 또, 피가공물 (11) 에는, 보호 부재 (17) 가 첩부되어 있지 않아도 된다.
개구 (4a) 의 측방의 영역에는, 피가공물 (11) 을 수용하는 카세트 (10a, 10b) 가 탑재된다. 카세트 (10a) 가 탑재되는 영역의 후방에는, 센터링 기구 (12) 가 형성되어 있다. 센터링 기구 (12) 는, 예를 들어, 카세트 (10a) 로부터 반송 유닛 (8) 으로 반송된 피가공물 (11) 의 중심의 위치를 조정한다.
센터링 기구 (12) 의 후방에는, 피가공물 (11) 을 유지하여 선회하는 반입 유닛 (14) 이 형성되어 있다. 반입 유닛 (14) 의 후방에는, 개구 (4b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (4b) 내에는, X 축 이동 테이블 (16) (도 2), X 축 이동 테이블 (16) 을 X 축 방향 (전후 방향) 으로 이동시키는 X 축 이동 유닛 (도시 생략), X 축 이동 테이블 (16) 을 덮는 테이블 커버 (18a), 및 X 축 이동 유닛을 덮는 방진 방적 커버 (18b) 가 배치되어 있다.
X 축 이동 유닛은, X 축 방향으로 평행한 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (도시 생략) 을 구비하고 있고, X 축 가이드 레일에는, X 축 이동 테이블 (16) 이 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. X 축 이동 테이블 (16) 의 하면측에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, X 축 가이드 레일에 평행한 X 축 볼 나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다.
X 축 볼 나사의 일단부에는, X 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. X 축 펄스 모터에 의해 X 축 볼 나사를 회전시킴으로써, X 축 이동 테이블 (16) 은 X 축 가이드 레일을 따라 X 축 방향으로 이동한다. X 축 이동 테이블 (16) 의 상면측에는, 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 척 테이블 (20) 이 형성되어 있다.
척 테이블 (20) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향) 으로 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (20) 은, 상기 서술한 X 축 이동 유닛에 의해, 피가공물 (11) 이 반입, 반출되는 전방의 반입 반출 영역과, 피가공물 (11) 이 절삭되는 후방의 절삭 영역 사이를 이동한다.
척 테이블 (20) 의 상면은, 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 유지면으로 되어 있다. 이 유지면은, 척 테이블 (20) 의 내부에 형성된 흡인로 (도시 생략) 등을 통해 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 반입 유닛 (14) 에 의해 척 테이블 (20) 에 반입된 피가공물 (11) 은, 유지면에 작용하는 흡인원의 부압에 의해 척 테이블 (20) 에 흡인, 유지된다.
지지 구조 (6) 의 전면에는, Z 축 이동 유닛 (22) 이 형성되어 있다. Z 축 이동 유닛 (22) 은, Z 축 방향으로 평행한 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (24) 을 구비하고 있고, 이 Z 축 가이드 레일 (24) 에는, Z 축 이동 플레이트 (26) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. Z 축 이동 플레이트 (26) 의 후면측 (이면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Z 축 가이드 레일 (24) 에 평행한 Z 축 볼 나사 (28) 가 나사 결합되어 있다.
Z 축 볼 나사 (28) 의 일단부에는, Z 축 펄스 모터 (30) 가 연결되어 있다. Z 축 펄스 모터 (30) 에 의해 Z 축 볼 나사 (28) 를 회전시킴으로써, Z 축 이동 플레이트 (26) 는 Z 축 가이드 레일 (24) 을 따라 Z 축 방향으로 이동한다.
Z 축 이동 플레이트 (26) 의 전면 (표면) 에는, 피가공물 (11) 을 절삭 (바이트 절삭) 하는 바이트 절삭 유닛 (32) 이 형성되어 있다. 바이트 절삭 유닛 (32) 은, Z 축 이동 플레이트 (26) 에 고정된 통 형상의 스핀들 하우징 (34) 을 구비하고 있다. 스핀들 하우징 (34) 의 내부에는, Z 축 방향 (연직 방향) 으로 대체로 평행한 회전축이 되는 스핀들 (36) 이 수용되어 있다.
스핀들 하우징 (34) 으로부터 노출되는 스핀들 (36) 의 선단부 (하단부) 에는, 원반상의 바이트 휠 (38) 이 고정되어 있고, 이 바이트 휠 (38) 의 하면의 외주측의 영역에는, 단결정 다이아몬드 등으로 이루어지는 절삭날 (바이트) (40) 이 장착되어 있다. 바이트 휠 (38) 을 회전시키면, 절삭날 (40) 은 원궤도를 따라 선회한다.
스핀들 (36) 의 기단측 (상단측) 에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 바이트 휠 (38) 은, 이 스핀들 (36) 을 통해 회전 구동원으로부터 전달되는 힘에 의해 회전한다.
반입 유닛 (14) 에 인접하는 위치에는, 피가공물 (11) 을 유지하여 선회하는 반출 유닛 (42) 이 형성되어 있다. 반출 유닛 (42) 의 전방, 또한, 카세트 (10b) 가 탑재되는 영역의 후방에는, 절삭된 후의 피가공물 (11) 을 세정하는 세정 유닛 (44) 이 배치되어 있다.
세정 유닛 (44) 에 의해 세정된 피가공물 (11) 은, 반송 유닛 (8) 에 의해 반송되고, 예를 들어, 카세트 (10b) 에 수용된다. 개구 (4a) 의 전방에는, 절삭의 조건 등을 입력하기 위한 조작 패널 (46) 이 설치되어 있다.
이 바이트 절삭 장치 (2) 에 의해 피가공물 (11) 을 절삭할 때에는, 반입 반출 영역의 척 테이블 (20) 에 피가공물 (11) 을 흡인, 유지시키고, 이 피가공물 (11) 의 상면보다 절삭날 (40) 의 하단이 낮아질 때까지 바이트 절삭 유닛 (32) 을 Z 축 방향으로 이동시킨다. 그 후, 바이트 휠 (38) 을 회전시키면서 척 테이블 (20) 을 절삭 영역을 향하여 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 절삭날 (40) 을 측방으로부터 피가공물 (11) 에 절입시켜, 피가공물 (11) 을 절삭할 수 있다.
상기 서술한 바와 같은 바이트 절삭 유닛 (32) 에 의해 피가공물 (11) 을 절삭하면, 척 테이블 (20) 이나 바이트 절삭 유닛 (32) 의 주위로 가공 부스러기 (23) (도 2) 가 비산되기 쉽다. 그 때문에, 바이트 절삭 장치 (2) 의 절삭 영역에는, 척 테이블 (20) 이나 스핀들 (36) 의 선단부 (바이트 휠 (38)) 등을 덮는 커버 (52) 가 형성되어 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 이 커버 (52) 에 의해, 피가공물 (11) 을 절삭하기 위한 가공실 (절삭실) (52a) 이 형성된다. 또한, 커버 (52) 의 재질, 형상 등에 특별한 제한은 없다.
가공실 (52a) 내에서 바이트 휠 (38) 에 인접하는 위치에는, 척 테이블 (20) 에 유지된 피가공물 (11) 의 상면측에 세정용의 유체를 공급하는 세정 노즐 (54) 이 배치되어 있다. 즉, 이 세정 노즐 (54) 은, 척 테이블 (20) 이나 바이트 휠 (38) 과 함께, 가공실 (52a) 내에 수용된다.
세정 노즐 (54) 로부터 공급되는 세정용의 유체에는, 적어도 물 등의 세정액 (액체) (21) (도 2) 이 포함되어 있다. 단, 구체적인 세정용의 유체의 종류 등에 특별한 제한은 없다. 예를 들어, 세정액 (21) 과 에어를 혼합시킨 혼합 유체를 세정용의 유체로서 사용할 수도 있다.
개구 (4b) 의 바닥에는, 배출관 (56) 의 일단 (56a) 측이 개구되어 있다. 배출관 (56) 의 타단 (56b) 측은, 가공실 (52a) 의 외부에 배치되어 있다. 그 때문에, 세정 노즐 (54) 로부터 공급되고 척 테이블 (20) 등으로부터 낙하하는 세정액 (21) 은, 절삭시에 피가공물 (11) 등으로부터 발생하는 가공 부스러기 (23) 와 함께, 이 배출관 (56) 을 통해 가공실 (52a) 의 외부로 배출된다.
배출관 (56) 의 타단 (56b) 의 하방에는, 배출관 (56) 을 통해 배출되는 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 회수하기 위한 회수층 (58) 이 배치되어 있다. 이 회수층 (58) 의 바닥으로부터 소정의 높이의 위치에는, 배출관 (56) 의 타단 (56b) 으로부터 배출되는 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 수용하고, 가공 부스러기 (23) 를 포획하는 네트 (그물) 형상의 포획 부재 (60) 가 형성되어 있다.
그 때문에, 배출관 (56) 을 통해 배출되는 가공 부스러기 (23) 는, 세정액 (21) 으로부터 분리되어 포획 부재 (60) 의 상방에 모인다. 한편으로, 배출관 (56) 을 통해 배출되는 세정액 (21) 은, 포획 부재 (60) 를 통과하여 회수층 (58) 의 바닥에 모인다. 또한, 이 회수층 (58) 은, 대차 (臺車) (62) 에 지지되어 있어, 필요에 따라 용이하게 이동시킬 수 있다. 또, 회수층 (58) 의 바닥에는, 배액관 등이 접속되어 있어도 된다.
바이트 휠 (38) 을 사이에 두고 세정 노즐 (54) 과 대면하는 위치에는, 커버 (52) 를 안밖으로 관통하는 통 형상의 덕트 (64) 가 형성되어 있다. 커버 (52) 의 외측에 위치하는 덕트 (64) 의 단부에는, 흡인 유닛 (66) 을 통해 흡인원 (68) 이 접속되어 있다. 그 때문에, 흡인원 (68) 을 작동시킴으로써, 덕트 (64) 및 흡인 유닛 (66) 을 통해 가공실 (52a) 내의 분위기를 외부로 배출할 수 있다.
흡인 유닛 (66) 은, 일단이 덕트 (64) (가공실 (52a)) 에 접속되는 제 1 흡인로 (70) 를 포함한다. 제 1 흡인로 (70) 의 타단에는, 내부에 분리실 (72a) 을 구비하는 분리기 (72) 의 상류단이 접속되어 있다. 분리실 (72a) 에는, 판상의 장벽 (방해판) (74) 이 형성되어 있고, 제 1 흡인로 (70) 를 통해 분리실 (72a) 에 유입되는 분위기가 장벽 (74) 에 충돌하면, 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 는 분위기로부터 분리된다.
또한, 장벽 (74) 의 형상, 수량, 배치 등에 특별한 제한은 없지만, 분위기를 효율적으로 장벽 (74) 에 충돌시켜 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 분리할 수 있도록, 분위기의 유로를 따라 장벽 (74) 을 배치하는 것이 바람직하다. 분리기 (72) 의 하류단에는, 제 2 흡인로 (76) 의 일단측이 접속되어 있다. 또, 제 2 흡인로 (76) 의 타단측은, 흡인원 (68) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 분리기 (72) 에서 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 가 분리된 후의 분위기는, 제 2 흡인로 (76) 를 통해 흡인원 (68) 에 유입되어, 외부로 배출된다.
분리기 (72) (분리실 (72a)) 의 바닥부에는, 개구가 형성됨과 함께, 이 개구를 닫기 위한 도어 (78) 가 형성되어 있다. 도어 (78) 의 개폐는, 예를 들어, 모터 등의 회전 구동원을 포함하는 개폐 기구 (80) 에 의해 제어된다. 이 도어 (78) 를 닫은 상태에서는, 분위기로부터 분리되고 분리실 (72a) 내에서 낙하하는 세정액 (21) 과 가공 부스러기 (23) 의 혼합물 (25) 이 도어 (78) 의 상부에 모인다.
또, 도어 (78) 를 닫은 상태에서는, 분리기 (72) 의 바닥부의 개구를 통한 외부의 분위기의 유입이 제한되므로, 외부의 분위기가 분리실 (72a) 이나 제 2 흡인로 (76) 등으로 유입되어, 덕트 (64) 에 작용하는 흡인력이 저하되어 버리는 경우는 없다. 즉, 도어 (78) 를 닫아둠으로써, 흡인원 (68) 의 흡인력을 가공실 (52a) 에 작용시켜, 가공실 (52a) 의 분위기를 적절히 외부로 배출할 수 있다.
한편으로, 도어 (78) 를 열면, 도어 (78) 의 상부에 모여 있는 혼합물 (25) 은 낙하하여, 분리실 (72a) 의 외부로 배출된다. 따라서, 피가공물 (11) 을 절삭하지 않는 타이밍 (예를 들어, 피가공물 (11) 을 반송 등을 하는 타이밍) 에 일시적으로 도어 (78) 를 열면, 바이트 절삭 장치 (2) 를 정지시키지 않고 혼합물 (25) 을 흡인 유닛 (66) 의 외부로 배출할 수 있다. 또한, 이 도어 (78) 를 개폐하는 타이밍 등은, 개폐 기구 (80) 등에 의해 자동 제어되어도 된다.
분리기 (72) 의 하방에는, 상기 서술한 회수층 (58) 이 배치되어 있다. 그 때문에, 개폐 기구 (80) 에 의해 도어 (78) 를 열고, 도어 (78) 의 상부에 모여 있는 혼합물 (25) 을 낙하시키면, 이 혼합물 (25) 에 포함되어 있는 가공 부스러기 (23) 는, 포획 부재 (60) 에 의해 세정액 (21) 으로부터 분리되어, 포획 부재 (60) 의 상방에 모인다. 또, 혼합물 (25) 에 포함되어 있는 세정액 (21) 은, 포획 부재 (60) 를 통과하여 회수층 (58) 의 바닥에 모인다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 바이트 절삭 장치 (2) 는, 가공실 (52a) 로부터 배출되는 분위기로부터 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 분리하는 분리기 (72) (분리실 (72a)) 와, 분리기 (72) 의 바닥부에 형성되고, 분리실 (72a) 에서 분리된 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 상부에 모아 둘 수 있는 도어 (78) 와, 도어 (78) 를 개폐하는 개폐 기구 (80) 를 포함하는 흡인 유닛 (66) 을 구비하고 있다.
그 때문에, 가공실 (52a) 로부터 배출되는 분위기로부터 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 분리실 (72a) 에서 분리할 수 있음과 함께, 이 분리실 (72a) 로부터의 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 의 배출을 도어 (78) 의 개폐에 의해 제어할 수 있다. 요컨대, 흡인 유닛 (66) 내에 가공 부스러기 (23) 가 모이기 어려워지므로, 메인터넌스의 빈도를 낮게 억제할 수 있다.
또, 도어 (78) 를 개폐하는 타이밍을 제외한 기간에는, 도어 (78) 가 형성되어 있는 분리기 (72) 의 바닥부로부터의 분리실 (72a) 밖의 분위기의 유입은 제한되므로, 도어 (78) 를 개폐하는 타이밍을 적절히 제어함으로써, 피가공물 (11) 을 절삭할 때에 흡인 유닛 (66) 의 흡인력이 저하되어 버리는 경우도 없다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태 등의 기재에 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 세정액 (21) 및 가공 부스러기 (23) 를 분위기로부터 분리하기 위한 판상의 장벽 (방해판) (74) 을 구비하는 분리기 (72) 를 사용하여 흡인 유닛 (66) 을 구성하고 있지만, 흡인 유닛에 사용되는 분리기의 종류 등에 특별한 제한은 없다. 예를 들어, 소용돌이 형상의 흐름을 형성하는 원심 분리형의 분리기 등을 사용하여 흡인 유닛을 구성해도 된다.
그 밖에, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
2 : 바이트 절삭 장치
4 : 기대
4a, 4b : 개구
6 : 지지 구조
8 : 반송 유닛
10a, 10b : 카세트
12 : 센터링 기구
14 : 반입 유닛
16 : X 축 이동 테이블
18a : 테이블 커버
18b : 방진 방적 커버
20 : 척 테이블
22 : Z 축 이동 유닛
24 : Z 축 가이드 레일
26 : Z 축 이동 플레이트
28 : Z 축 볼 나사
30 : Z 축 펄스 모터
32 : 바이트 절삭 유닛
34 : 스핀들 하우징
36 : 스핀들
38 : 바이트 휠
40 : 절삭날 (바이트)
42 : 반출 유닛
44 : 세정 유닛
46 : 조작 패널
52 : 커버
52a : 가공실
54 : 세정 노즐
56 : 배출관
56a : 일단
56b : 타단
58 : 회수층
60 : 포획 부재
62 : 대차
64 : 덕트
66 : 흡인 유닛
68 : 흡인원
70 : 제 1 흡인로
72 : 분리기
72a : 분리실
74 : 장벽 (방해판)
76 : 제 2 흡인로
78 : 도어
80 : 개폐 기구
11 : 피가공물
13 : 웨이퍼
15 : 봉지층
17 : 보호 부재
21 : 세정액 (액체)
23 : 가공 부스러기
25 : 혼합물

Claims (2)

  1. 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과,
    절삭날을 갖고 그 유지면에 수직인 회전축의 하단에 장착되는 바이트 휠을 회전시켜 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 상면측으로부터 절삭하는 바이트 절삭 유닛과,
    그 척 테이블에 유지된 피가공물의 상면측에 세정액을 공급하는 세정 노즐과,
    그 척 테이블과 그 바이트 휠과 그 세정 노즐을 수용하는 가공실로부터 그 세정액과 가공 부스러기를 포함하는 분위기를 흡인하여 배출하는 흡인 유닛과,
    그 가공실 내에서 낙하하는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 그 가공실 밖으로 배출하는 배출관과,
    그 배출관을 통해 그 가공실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 수용하고, 그 가공 부스러기를 포획하는 네트 형상의 포획 부재와,
    그 흡인 유닛 및 그 배출관에 대해 그 포획 부재를 이동시킬 수 있도록 지지하는 대차를 구비하고,
    그 흡인 유닛은,
    일단측이 그 가공실에 접속되는 제 1 흡인로와,
    그 제 1 흡인로의 타단측에 접속되고, 그 가공실로부터 배출되는 그 분위기로부터 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 분리하는 분리실과,
    일단측이 그 분리실에 접속되고, 타단측이 흡인원에 접속되는 제 2 흡인로와,
    그 분리실의 바닥부에 형성되고, 그 분리실에서 분리된 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 상부에 모아 둘 수 있는 도어와,
    그 도어를 개폐함으로써, 그 도어의 그 상부에 모인 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 낙하시켜 그 분리실 밖으로 배출하는 개폐 기구를 포함하고,
    그 개폐 기구는, 그 도어를 소정의 타이밍으로 개폐함으로써, 그 소정의 타이밍을 제외한 기간에 있어서, 그 분리실의 바닥부로부터 그 제 2 흡인로로의 그 분리실 밖의 분위기의 유입을 제한하고,
    그 포획 부재는, 그 배출관을 통해 그 가공실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기와 함께, 그 도어로부터 낙하하여 그 분리실 밖으로 배출되는 그 세정액 및 그 가공 부스러기를 수용하는 것을 특징으로 하는 바이트 절삭 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 포획 부재를 통과한 그 세정액이 모이는 바닥을 갖는 회수층을 추가로 구비하고,
    그 포획 부재는, 그 회수층의 그 바닥으로부터 소정의 높이의 위치에 형성되어 있고, 그 회수층과 함께 그 대차에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 바이트 절삭 장치.
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