KR20090088791A - 가공 폐액 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 장치 전체를 컴팩트하게 구성할 수 있는 폐액 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
폐액 수용 탱크, 폐액 여과 수단, 청수 저수 탱크, 순수 생성 수단, 순수 온도 조정 수단, 제어 수단, 조작반 및 이들 각 구성 수단을 수용하는 장치 하우징을 구비하는 가공 폐액 처리 장치로서, 장치 하우징은 바닥벽, 상부벽, 좌측벽, 우측벽, 후방벽 및 앞쪽 개구를 개폐하는 개폐 도어를 구비하고 있으며, 바닥벽에 있어서의 후방벽측에 폐액 탱크가 배치되고, 폐액 탱크에 인접하고 바닥벽의 중앙부에 청수 저수 탱크가 배치되고, 청수 저수 탱크에 인접하고 바닥벽에 있어서의 앞쪽 개구측에 순수 생성 수단이 배치되며, 순수 생성 수단의 상측에 폐약 여과 수단이 배치되고, 폐액 탱크의 위쪽에 순수 온도 조정 수단이 배치되고, 폐액 여과 수단의 상측에 제어 수단 및 조작반이 배치되는 동시에 조작반이 장치 하우징의 앞쪽에 배치된다.
Description
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치 등의 가공 장치에 부설되어, 가공시에 공급되는 가공액의 폐액을 처리하는 가공 폐액 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조 공정에서는, 대략 원판 형상인 반도체 웨이퍼의 표면에 격자형으로 배열된 스트리트라고 불리는 분할 예정 라인에 의해서 복수의 영역이 구획되고, 이 구획된 영역에 IC, LSI 등의 디바이스를 형성한다. 그리고, 반도체 웨이퍼를 스트리트를 따라서 절단함으로써 디바이스가 형성된 영역을 분할하여 개개의 반도체 디바이스를 제조하고 있다. 또한, 사파이어 기판의 표면에 질화갈륨계 화합물 반도체 등이 적층된 광 디바이스 웨이퍼도 스트리트를 따라서 절단함으로써 개개의 발광 다이오드, 레이저 다이오드 등의 광 디바이스로 분할되어, 전기기기에 널리 이용되고 있다.
전술한 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등을 스트리트를 따라 절단하는 것은 통상 다이싱소우라고 불리는 절삭 장치에 의해서 이루어지고 있다. 이 절삭 장치는 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 이 척 테이블에 유 지된 피가공물을 절삭하기 위한 절삭 블레이드를 갖춘 절삭 수단과, 절삭 블레이드에 가공수를 공급하는 가공수 공급 수단을 구비하고, 상기 가공수 공급 수단에 의해서 회전하는 절삭 블레이드에 절삭수를 공급함으로써 절삭 블레이드를 냉각하고, 절삭 블레이드에 의한 피가공물의 절삭부에 가공수를 공급하면서 절삭 작업을 실시한다.
전술한 바와 같이 절삭시에 공급된 가공액에는 실리콘이나 질화갈륨계 화합물 반도체를 절삭함으로써 발생하는 절삭 부스러기가 혼입된다. 이 반도체 소재로 이루어지는 절삭 부스러기가 혼입된 가공 폐액은 환경을 오염시키므로, 폐액 처리 장치를 이용하여 절삭 부스러기를 제거한 후에 재이용하거나 폐기하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
<특허문헌 1> 일본 특허 공개 2004-230527호 공보
이에 따라, 가공 장치의 가공시에 공급된 가공액의 가공 폐액을 수용하는 폐액 수용 탱크와, 이 폐액 수용 탱크에 수용된 가공 폐액을 송급하는 펌프와, 이 펌프에 의해서 송급된 가공 폐액을 여과하여 맑은 물로 정제하는 폐액 여과 수단과, 이 폐액 여과 수단에 의해서 정제된 맑은 물을 저수하는 청수(淸水) 저수 탱크와, 이 청수 저수 탱크에 저수된 맑은 물을 송급하는 청수 송급 펌프와, 이 청수 송급 펌프에 의해서 송급된 맑은 물을 순수로 정제하는 이온 교환 수단을 포함하는 순수 생성 수단과, 이 순수 생성 수단에 의해서 정제된 순수를 소정의 온도로 조정하는 순수 온도 조정 수단과, 이들 각 구성 수단을 제어하는 제어 수단과, 이 제어 수단에 처리 정보 등을 입력하는 입력 수단 및 제어 수단에 의한 작동 상황 등을 표시하는 표시 수단을 구비하는 조작반을 포함하며, 이들 각 구성 수단을 배치하기 위해서는 상당한 설치 면적이 필요하므로, 유지 비용이 높은 클린룸을 유효하게 이용할 수 없다.
본 발명은 이러한 사실을 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술적 과제는 장치 전체를 컴팩트하게 구성할 수 있는 폐액 처리 장치를 제공하는 데에 있다.
상기 주된 기술적 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 따르면, 가공 장치의 가공시에 공급된 가공액의 가공 폐액을 수용하는 폐액 수용 탱크와, 이 폐액 수용 탱크에 수용된 가공 폐액을 송급하는 폐액 송급 펌프와, 이 폐액 송급 펌프에 의해 서 송급된 가공 폐액을 여과하여 맑은 물로 정제하는 필터 및 이 필터를 착탈 가능하게 지지하는 청수 받이 팬(pan)을 갖춘 폐액 여과 수단과, 이 폐액 여과 수단에 의해서 정제된 맑은 물을 저수하는 청수 저수 탱크와, 이 청수 저수 탱크에 저수된 맑은 물을 송급하는 청수 송급 펌프와, 이 청수 송급 펌프에 의해서 송급된 맑은 물을 순수로 정제하는 이온 교환 수단 및 이 이온 교환 수단을 착탈 가능하게 지지하는 지지대를 갖춘 순수 생성 수단과, 이 순수 생성 수단에 의해서 정제된 순수를 소정의 온도로 조정하는 순수 온도 조정 수단과, 이들 각 구성 수단을 제어하는 제어 수단과, 이 제어 수단에 처리 정보를 입력하는 입력 수단 및 상기 제어 수단에 의한 작동 상황 등을 표시하는 표시 수단을 구비하는 조작반과, 이들 각 구성 수단을 수용하는 장치 하우징을 구비하는 가공 폐액 처리 장치에 있어서,
상기 장치 하우징은, 바닥벽, 상부벽, 좌측벽, 우측벽, 후방벽 및 앞쪽 개구를 개폐하는 개폐 도어를 구비하고 있고,
상기 바닥벽에 있어서의 상기 후방벽측에 상기 폐액 탱크가 배치되고, 이 폐액 탱크에 인접하여 상기 바닥벽의 중앙부에 상기 청수 저수 탱크가 배치되고, 이 청수 저수 탱크에 인접하여 상기 바닥벽에 있어서의 상기 앞쪽 개구측에 상기 순수 생성 수단이 배치되고,
상기 순수 생성 수단의 상측에 폐액 여과 수단이 배치되고,
상기 폐액 탱크의 위쪽에 순수 온도 조정 수단이 배치되고,
상기 폐액 여과 수단의 상측에 상기 제어 수단 및 상기 조작반이 배치되고, 상기 조작반이 상기 장치 하우징의 앞쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 가공 폐액 처리 장치가 제공된다.
본 발명에 의한 가공 폐액 처리 장치에 있어서는, 장치 하우징을 구성하는 바닥벽에 있어서의 후방벽측에 폐액 탱크가 배치되고, 폐액 탱크에 인접하여 바닥벽의 중앙부에 청수 저수 탱크가 배치되고, 청수 저수 탱크에 인접하여 앞쪽 개구측에 순수 생성 수단이 배치되고, 순수 생성 수단의 상측에 폐액 여과 수단이 배치되고, 폐액 탱크의 위쪽에 순수 온도 조정 수단이 배치되고, 폐액 여과 수단의 상측에 제어 수단 및 조작반이 배치되고 조작반이 장치 하우징의 앞쪽에 배치되기 때문에, 오퍼레이터에 의한 조작성을 손상시키는 일없이 장치 전체를 컴팩트하게 구성할 수 있어, 유지 비용이 높은 클린룸을 유효하게 이용할 수 있다.
이하, 본 발명에 따라서 구성된 가공 폐액 처리 장치의 적합한 실시형태에 관해서 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1에는 본 발명에 따라서 구성된 가공 폐액 처리 장치의 구성 요소가 가공 폐액의 흐름을 따라서 나타내어져 있다.
도시한 실시형태에 있어서의 가공 폐액 처리 장치는, 가공 폐액을 수용하는 폐액 탱크(2)와, 이 폐액 탱크(2)에 수용된 가공 폐액을 송급하는 폐액 송급 펌프(3)를 구비하고 있다. 폐액 탱크(2)는 도시하지 않는 절삭 장치 등의 가공 장치에 장비되는 가공 폐액 송출 수단에 배관(20)에 의해서 접속된다. 따라서, 폐액 탱크(2)에는 도시하지 않는 절삭 장치 등의 가공 장치에 장비되는 가공 폐액 송출 수 단으로부터 보내지는 가공 폐액이 배관(20)을 통해 도입된다. 이 폐액 탱크(2)의 상부벽에 가공 폐액을 송급하는 폐액 송급 펌프(3)가 배치되어 있다.
상기 폐액 송급 펌프(3)에 의해서 송급되는 가공 폐액은, 가요성 호스로 이루어지는 배관(30)을 통해 폐액 여과 수단(4)으로 보내진다. 폐액 여과 수단(4)은, 청수 받이 팬(41)과, 이 청수 받이 팬(41) 상에 배치되는 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)를 구비하고 있다. 이 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)는 청수 받이 팬(41) 상에 착탈 가능하게 배치된다. 또, 상기 폐액 송급 펌프(3)와 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)를 접속하는 배관(30)에는 전자 개폐 밸브(43a) 및 전자 개폐 밸브(43b)가 배치되어 있다. 전자 개폐 밸브(43a)가 온(ON)으로 되어 개로(開路)되면 폐액 송급 펌프(3)에 의해서 송급된 가공 폐액이 제1 필터(42a)에 도입되고, 전자 개폐 밸브(43b)가 온(ON)으로 되어 개로되면 폐액 송급 펌프(3)에 의해서 송급된 가공 폐액이 제2 필터(42b)에 도입되도록 되어 있다. 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)에 도입된 가공 폐액은 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)에 의해서 여과되고 가공 폐액에 혼입되어 있는 절삭 부스러기가 포집되어 맑은 물로 정제되어 청수 받이 팬(41)으로 흘러나온다. 이 청수 받이 팬(41)은 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)에 의해서 청수 저수 탱크(5)에 접속되어 있고, 이에 따라 청수 받이 팬(41)으로 흘러나온 맑은 물은 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)을 통해 청수 저수 탱크(5)로 보내져 저류된다.
상기 배관(30)에는 폐액 여과 수단(4)의 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)에 송급되는 가공 폐액의 압력을 검출하는 압력 검출 수단(31)이 배치되어 있고, 이 압력 검출 수단(31)은 검출 신호를 후술하는 제어 수단으로 보낸다. 예컨대, 상기 전자 개폐 밸브(43a)를 온(ON)으로 하여 가공 폐액을 제1 필터(42a)에 의해서 여과하고 있는 상태에서, 압력 검출 수단(31)으로부터의 검출 신호가 소정 압력치 이상에 달했다면, 후술하는 제어 수단은 제1 필터(42a)에 가공 부스러기가 퇴적되어 필터로서의 기능을 잃어버렸다고 판단하여, 전자 개폐 밸브(43a)를 오프(OFF)로 하고, 전자 개폐 밸브(43b)를 온(ON)으로 한다. 그리고, 후술하는 제어 수단은, 제1 필터(42a)로부터 제2 필터(42b)로 전환했음을 후술하는 조작반에 설치된 표시 수단에 표시한다. 이와 같이 표시 수단에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 제1 필터(42a)가 수명이 다했음을 감지하여, 필터를 교환할 수 있다. 또한, 상기 전자 개폐 밸브(43b)를 온(ON)으로 하여 가공 폐액을 제2 필터(42b)에 의해서 여과하고 있는 상태에서, 압력 검출 수단(31)으로부터의 검출 신호가 소정 압력치 이상에 달했다면, 후술하는 제어 수단은 제2 필터(42b)에 가공 부스러기가 퇴적되어 필터로서의 기능을 잃어버렸다고 판단하여, 전자 개폐 밸브(43b)를 오프(OFF)로 하고, 전자 개폐 밸브(43a)를 온(ON)으로 한다. 그리고, 후술하는 제어 수단은, 제2 필터(42b)로부터 제1 필터(42a)로 전환했음을 후술하는 조작반에 설치된 표시 수단에 표시한다.
상기 폐액 여과 수단(4)으로부터 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)을 통해 보내져 청수 저수 탱크(5)에 저류된 맑은 물은, 청수 송급 펌프(50)에 의해서 송급되어 가요성 호스로 이루어지는 배관(51)을 통해 순수 생성 수단(6)으로 보내진다. 도시한 실시형태에 있어서의 순수 생성 수단(6)은, 지지대(61)와, 이 지지대(61)에 세워져 설치된 분할판(611)과, 지지대(61)에 있어서 분할판(611)의 뒤쪽에 배치된 자외선 조사 수단(62)과, 지지대(61)에 있어서 분할판(611)의 앞쪽에 배치된 이온 교환 수지를 갖춘 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)과, 지지대(61)에 있어서 분할판(611)의 뒤쪽에 배치된 정밀 필터(64)를 구비하고 있다. 이들 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)과 정밀 필터(64)는 지지대(61) 상에 착탈 가능하게 배치된다. 상기 청수 송급 펌프(50)에 의해서 송급되어 가요성 호스로 이루어지는 배관(51)을 통해 보내진 맑은 물은 자외선 조사 수단(62)에 도입되고, 여기서 자외선(UV)이 조사됨으로써 살균된다. 자외선 조사 수단(62)에서 살균 처리된 맑은 물은 배관(65)을 통해 제1 이온 교환 수단(63a) 또는 제2 이온 교환 수단(63b)에 도입된다. 한편, 배관(65)에는 전자 개폐 밸브(66a) 및 전자 개폐 밸브(66b)가 배치되어 있다. 전자 개폐 밸브(66a)가 온(ON)으로 되어 개로되면 살균 처리된 맑은 물이 제1 이온 교환 수단(63a)에 도입되고, 전자 개폐 밸브(66b)가 온(ON)으로 되어 개로되면 살균 처리된 맑은 물이 제2 이온 교환 수단(63b)에 도입되도록 되어 있다. 제1 이온 교환 수단(63a) 또는 제2 이온 교환 수단(63b)에 도입된 맑은 물은 이온이 교환되어 순수로 정제된다. 이와 같이 하여 맑은 물이 이온 교환되어 정제된 순수에는 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)을 구성하는 이온 교환 수지의 수지 찌꺼기 등의 미세한 물질이 혼입되어 있는 경우가 있다. 이 때문에, 도시한 실시형태에서는 전술한 바와 같이 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)에 의해서 맑은 물이 이온 교환되어 정제된 순수를 배관(67)을 통해 정밀 필터(64)에 도입하고, 이 정밀 필터(64)에 의해서 순수에 혼입되어 있는 이온 교환 수지의 수지 찌꺼기 등의 미세한 물질을 포집한다.
또한, 상기 배관(67)에는, 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)으로부터 정밀 필터(64)로 송급되는 순수의 압력을 검출하는 압력 검출 수단(68)이 배치되어 있고, 이 압력 검출 수단(68)은 검출 신호를 후술하는 제어 수단에 보낸다. 예컨대, 압력 검출 수단(68)으로부터의 검출 신호가 소정 압력치 이상에 달하면, 후술하는 제어 수단은 정밀 필터(64)에 수지 찌꺼기 등의 미세한 물질이 퇴적되어 필터로서의 기능을 잃어버렸다고 판단하여, 후술하는 조작반에 설치된 표시 수단에 표시한다. 이와 같이 표시 수단에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 정밀 필터(64)가 수명이 다한 것을 감지하여, 필터를 교환할 수 있다.
또한, 상기 배관(67)에는, 제1 이온 교환 수단(63a) 또는 제2 이온 교환 수단(63b)으로부터 정밀 필터(64)로 송급되는 순수의 비저항을 검출하기 위한 비저항계(69)가 배치되어 있고, 이 비저항계(69)는 검출 신호를 후술하는 제어 수단에 보낸다. 상기 전자 개폐 밸브(66a)를 온(ON)으로 하여 맑은 물을 제1 이온 교환 수단(63a)에 의해서 순수로 정제하고 있는 상태에서, 비저항계(69)로부터의 검출 신호가 소정치(예컨대 10 MΩ·cm) 이하에 달했다면, 후술하는 제어 수단은 제1 이온 교환 수단(63a)에 의한 순수 정제 능력이 저하되었다고 판단하여, 전자 개폐 밸브(66a)를 오프(OFF)로 하고, 전자 개폐 밸브(66b)를 온(ON)으로 한다. 그리고, 후술하는 제어 수단은 제1 이온 교환 수단(63a)으로부터 제2 이온 교환 수단(63b)으로 전환했음을 후술하는 조작반에 설치된 표시 수단에 표시한다. 이와 같이 표시 수단에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 제1 이온 교환 수단(63a)이 수명이 다했음을 감지하여, 제1 이온 교환 수단(63a)의 이온 교환 수지를 교환할 수 있다. 또한, 상기 전자 개폐 밸브(66b)를 온(ON)으로 하여 제2 이온 교환 수단(63b)에 의해서 맑은 물을 순수로 정제하고 있는 상태에서, 비저항계(69)로부터의 검출 신호가 소정치(예컨대 10 MΩ·cm) 이하에 달했다면, 후술하는 제어 수단은 제2 이온 교환 수단(63b)에 의한 순수 정제 능력이 저하되었다고 판단하여, 전자 개폐 밸브(66b)를 오프(OFF)로 하고, 전자 개폐 밸브(66a)를 온(ON)으로 한다. 그리고, 후술하는 제어 수단은 제2 이온 교환 수단(63b)으로부터 제1 이온 교환 수단(63a)으로 전환했음을 후술하는 조작반에 설치된 표시 수단에 표시한다.
상기 순수 생성 수단(6)에 의해서 정제된 순수는 가요성 호스로 이루어지는 배관(60)을 통해 순수 온도 조정 수단(7)으로 보내진다. 순수 온도 조정 수단(7)에 보내진 순수는 그 조정 수단에서 소정 온도(예컨대 23℃)로 조정되고 배관(70)을 통해 도시하지 않는 절삭 장치 등의 가공 장치에 장비되는 가공액 공급 수단으로 순환된다.
전술한 폐액 탱크(2), 폐액 여과 수단(4), 순수 생성 수단(6), 순수 온도 조정 수단(7) 및 각 배관 등은 도 2 및 도 3에 도시하는 장치 하우징(10) 내에 배치된다. 도 2에는 장치 하우징(10)의 사시도가 도시되어 있고, 도 3에는 장치 하우징(10)을 구성하는 후술하는 각 벽을 투시하여 장치 하우징(10) 내에 상기 폐액 탱크(2), 폐액 여과 수단(4), 순수 생성 수단(6), 순수 온도 조정 수단(7) 및 각 배관 등이 배치된 상태가 도시되어 있다. 도시한 실시형태에 있어서의 장치 하우 징(10)은, 직방체 형상의 수용실을 형성하는 프레임(110)과, 이 프레임(110)에 장착되는 바닥벽(121), 상부벽(122), 좌측벽(123), 우측벽(124), 후방벽(125) 및 프레임(110)의 앞쪽에 장착되어 프레임(110)의 앞쪽에 형성되는 앞쪽 개구(101)를 개폐하는 개폐 도어(126)로 이루어지고 있다.
이와 같이 구성된 장치 하우징(10)의 바닥벽(121) 상에는 상기 폐액 탱크(2)와 청수 저수 탱크(5) 및 순수 생성 수단(6)이 배치된다. 폐액 탱크(2)는 장치 하우징(10)의 바닥벽(121)에 있어서의 후방벽(125)측에 배치되고, 청수 저수 탱크(5)는 폐액 탱크(2)에 인접하여 바닥벽(121)의 중앙부에 배치되고, 순수 생성 수단(6)은 청수 저수 탱크(5)에 인접하여 바닥벽(121)에 있어서의 앞쪽 개구(101)측[개폐 도어(126)측]에 배치된다.
상기 순수 생성 수단(6)은, 도시한 실시형태에서는 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출할 수 있게 배치되어 있다. 즉, 장치 하우징(10)을 구성하는 좌측벽(123)과 우측벽(124)의 내면 하단부에는, 서로 대향하여 배치되고 바닥벽(121)의 상면과 평행하게 전후 방향으로 뻗어 있는 1쌍의 가이드 레일(130, 130)이 배치되어 있다. 이 1쌍의 가이드 레일(130, 130) 상에 순수 생성 수단(6)의 지지대(61)를 얹어 놓음으로써, 순수 생성 수단(6)은 1쌍의 가이드 레일(130, 130)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출할 수 있게 지지된다. 따라서, 도 4에 도시하는 바와 같이 순수 생성 수단(6)을 1쌍의 가이드 레일(130, 130)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통과시켜 인출함으로써, 순수 생성 수단(6)을 구성하는 지지대(61)에 배치된 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이 온 교환 수단(63b)과 정밀 필터(64)를 용이하게 교환할 수 있다.
도시한 실시형태의 가공 폐액 처리 장치에 있어서는, 장치 하우징(10) 내에서 상기 순수 생성 수단(6) 및 청수 저수 탱크(5)의 상측에 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출할 수 있게 상기 폐액 여과 수단(4)이 배치되어 있다. 즉, 장치 하우징(10)을 구성하는 좌측벽(123)과 우측벽(124)의 내면 중간부에는, 서로 대향하여 배치되고 상기 바닥벽(121)의 상면과 평행[1쌍의 가이드 레일(130, 130)과 평행]하게 전후 방향으로 뻗는 1쌍의 가이드 레일(140, 140)이 배치되어 있다. 이 1쌍의 가이드 레일(140, 140) 상에 폐액 여과 수단(4)의 청수 받이 팬(41)을 얹어 놓음으로써, 폐액 여과 수단(4)은 1쌍의 가이드 레일(140, 140)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출될 수 있게 지지된다. 한편, 폐액 여과 수단(4)을 인출하는 조작을 용이하게 하기 위해서, 폐액 여과 수단(4)을 구성하는 청수 받이 팬(41)의 전단에는 아래쪽으로 돌출하는 손잡이(411)가 설치되어 있다. 따라서, 도 5에 도시하는 바와 같이 폐액 여과 수단(4)을 1쌍의 가이드 레일(140, 140)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출함으로써, 폐액 여과 수단(4)을 구성하는 청수 받이 팬(41)에 착탈 가능하게 배치된 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)를 용이하게 교환할 수 있다. 이와 같이 폐액 여과 수단(4)을 인출할 수 있게 배치하고 있기 때문에, 폐액 여과 수단(4)의 청수 받이 팬(41)과 상기 청수 저수 탱크(5)를 접속하는 배관은 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)에 의해서 형성되어 있다.
전술한 바와 같이 폐액 여과 수단(4)의 청수 받이 팬(41)과 상기 청수 저수 탱크(5)를 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)으로 접속하는 것과 관련하여, 장치 하우징(10)에 있어서 폐액 여과 수단(4)의 후방벽(125)측에는 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)을 지지하는 호스 지지판(150)이 배치되어 있다. 이 호스 지지판(150)은, 후방벽(125)측을 향해서 높아지도록 경사져 있는 동시에 우측벽(124)측을 향해서 높아지도록 경사져 있는 형상으로 구성되어 있어, 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)이 자중(自重)에 의해 아래쪽으로 구부러지는 것을 방지하여, 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)을 청수 받이 팬(41)측이 항상 높은 위치에 위치되게 되도록 유지한다. 따라서, 청수 받이 팬(41)으로 흘러나온 맑은 물은 자중에 의해 가요성 호스로 이루어지는 배관(44)을 통해서 청수 저수 탱크(5)로 흘러들어갈 수 있다.
도시한 실시형태에서의 가공 폐액 처리 장치에 있어서는, 장치 하우징(10) 내에서 상기 호스 지지판(150)의 상측에 상기 순수 온도 조정 수단(7)이 배치된다. 즉, 장치 하우징(10)을 구성하는 좌측벽(123)과 우측벽(124)에 장착된 도시하지 않는 지지 부재 상에 순수 온도 조정 수단(7)을 놓고, 적절한 고정 수단에 의해서 고정한다.
도시한 실시형태에서의 가공 폐액 처리 장치는, 상기 각 구성 수단의 작동을 제어하는 제어 수단(8)과, 이 제어 수단(8)에 폐액 처리 시작 정보 등의 처리 정보를 입력하는 조작반(9)을 구비하고 있다. 이 제어 수단(8)과 조작반(9)은 도시한 실시형태에서는 일체적으로 구성되어 있다. 이와 같이 구성된 제어 수단(8) 및 조작반(9)은 장치 하우징(10)에 있어서의 폐액 여과 수단(4)의 상측에 배치된다. 즉, 장치 하우징(10)을 구성하는 좌측벽(123)과 우측벽(124)에 장착된 도시하지 않는 지지 부재 상에 제어 수단(8)과, 이 제어 수단(8) 및 조작반(9)을 놓고, 적절한 고정 수단에 의해서 고정한다. 이 때, 조작반(9)이 장치 하우징(10)의 앞쪽[개폐 도어(126)가 배치되어 있는 쪽]에 위치된다. 한편, 조작반(9)에는 처리 정보 등을 입력하는 입력 수단(91)과, 제어 수단(8)에 의한 처리 정보를 표시하는 표시 수단(92) 등이 배치되어 있다.
도시한 실시형태에 있어서의 가공 폐액 처리 장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로, 오퍼레이터가 조작반(9)에서 폐액 처리 시작 정보를 입력하면, 제어 수단(8)은 상기 각 구성 수단을 제어하여 전술한 바와 같이 폐액 처리 작업을 실행한다. 그리고, 전술한 폐액 처리 작업을 실행하고 있을 때에, 제어 수단(8)은 전술한 바와 같이 폐액 여과 수단(4)의 전자 개폐 밸브(43a)를 오프(OFF)로 하고 전자 개폐 밸브(43b)를 온(ON)으로 한 경우 또는 전자 개폐 밸브(43b)를 오프(OFF)로 하고 전자 개폐 밸브(43a)를 온(ON)으로 한 경우에는, 제1 필터(42a)로부터 제2 필터(42b)로, 또는 제2 필터(42b)로부터 제1 필터(42a)로 전환했음을 조작반(9)의 표시 수단(92)에 표시한다. 이와 같이 표시 수단(92)에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 제1 필터(42a) 또는 제2 필터(42b)가 수명이 다했음을 감지하여, 장치 하우징(10)의 개폐 도어(126)를 열고, 폐액 여과 수단(4)을 1쌍의 가이드 레일(140, 140)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)을 통해서 인출한다. 이 때, 오퍼레이터는 폐액 여과 수단(4)을 구성하는 청수 받이 팬(41)에 설치된 손잡이(411)를 꽉 쥐고 인출한다. 그리고, 오퍼레이터는 표시 수단(92)에 표시된 메시 지에 따라서 제1 필터(42a) 또는 제2 필터(42b)를 교환한다.
또한, 전술한 폐액 처리 작업을 실행하고 있을 때에, 제어 수단(8)은 상기 압력 검출 수단(68)으로부터의 검출 신호가 소정 압력치 이상에 달했다면, 정밀 필터(64)의 기능이 없어졌다고 판단하여, 이를 조작반(9)의 표시 수단(92)에 표시한다. 이와 같이 표시 수단에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 정밀 필터(64)가 수명이 다했음을 감지하여, 장치 하우징(10)의 개폐 도어(126)를 열고, 순수 생성 수단(6)을 1쌍의 가이드 레일(130, 130)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출한다. 이때, 오퍼레이터는 순수 생성 수단(6)을 구성하는 지지대(61)에 세워 설치한 분할판(611)에 설치된 손잡이(612)를 꽉 쥐고 인출한다. 그리고, 오퍼레이터는 표시 수단(92)에 표시된 메시지에 따라서 정밀 필터(64)를 교환한다.
또한, 전술한 폐액 처리 작업을 실행하고 있을 때에, 제어 수단(8)은, 상기 비저항계(69)로부터의 검출 신호가 소정치(예컨대 10 MΩ·cm) 이하에 달하여, 순수 생성 수단(6)의 전자 개폐 밸브(66a)를 오프(OFF)로 하고 전자 개폐 밸브(66b)를 온(ON)으로 한 경우 또는 전자 개폐 밸브(66b)를 오프(OFF)로 하고 전자 개폐 밸브(66a)를 온(ON)으로 한 경우에는, 제1 이온 교환 수단(63a)으로부터 제2 이온 교환 수단(63b)으로, 또는 제2 이온 교환 수단(63b)으로부터 제1 이온 교환 수단(63a)으로 전환했음을 조작반(9)의 표시 수단(92)에 표시한다. 이와 같이 표시 수단(92)에 표시된 메시지에 기초하여 오퍼레이터는 제1 이온 교환 수단(63a) 또는 제2 이온 교환 수단(63b)이 수명이 다했음을 감지하여, 장치 하우징(10)의 개폐 도 어(126)를 열고, 순수 생성 수단(6)을 1쌍의 가이드 레일(130, 130)을 따라서 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출한다. 이 때, 오퍼레이터는 전술한 바와 같이 순수 생성 수단(6)을 구성하는 지지대(61)에 세워 설치된 분할판(611)에 설치한 손잡이(612)를 꽉 쥐고 인출한다. 그리고, 오퍼레이터는 표시 수단(92)에 표시된 메시지에 따라서 제1 이온 교환 수단(63a) 또는 제2 이온 교환 수단(63b)의 이온 교환 수지를 교환한다.
도시한 실시형태에 있어서의 가공 폐액 처리 장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로, 상기 장치 하우징(10)의 바닥벽(121) 상에 폐액 탱크(2), 청수 저수 탱크(5) 및 순수 생성 수단(6)이 배치되고, 순수 생성 수단(6)의 상측에 폐액 여과 수단(4)이 배치되고, 호스 지지판(150)의 상측[폐액 탱크(2)의 위쪽]에 순수 온도 조정 수단(7)이 배치되며, 폐액 여과 수단(4)의 상측에 제어 수단(8) 및 조작반(9)이 배치되어 있기 때문에, 오퍼레이터에 의한 조작성을 손상시키는 일없이 장치 전체를 컴팩트하게 구성할 수 있어, 유지 비용이 높은 클린룸을 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 순수 생성 수단(6)은 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)측에 배치되고, 이 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출할 수 있게 구성되어 있기 때문에, 제1 이온 교환 수단(63a) 및 제2 이온 교환 수단(63b)과 정밀 필터(64)의 교환을 용이하게 실시할 수 있다. 더욱이, 폐액 여과 수단(4)도 장치 하우징(10)의 앞쪽 개구(101)를 통해서 인출할 수 있게 구성되어 있기 때문에, 제1 필터(42a) 및 제2 필터(42b)의 교환을 용이하게 실시할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따라서 구성된 가공 폐액 처리 장치의 구성 요소를 가공 폐액의 흐름을 따라서 도시하는 설명도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 가공 폐액 처리 장치의 구성 요소를 배치하는 장치 하우징의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 장치 하우징을 구성하는 각 벽을 투시하여 장치 하우징 내에 가공 폐액 처리 장치의 구성 요소를 배치한 상태를 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시하는 가공 폐액 처리 장치를 구성하는 순수 생성 수단을 장치 하우징의 앞쪽 개구를 통해서 인출한 상태를 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 3에 도시하는 가공 폐액 처리 장치를 구성하는 폐액 여과 수단을 장치 하우징의 앞쪽 개구를 통해서 인출한 상태를 도시하는 사시도이다.
<부호의 설명>
2 : 폐액 탱크 3 : 폐액 송급 펌프
31 : 압력 검출 수단 4 : 폐액 여과 수단
41 : 청수 받이 팬(pan) 42a : 제1 필터
42b : 제2 필터 43a, 43b : 전자 개폐 밸브
5 : 청수 저수 탱크 50 : 청수 송급 펌프
6 : 순수 생성 수단 61 : 지지대
62 : 자외선 조사 수단 63a : 제1 이온 교환 수단
63b : 제2 이온 교환 수단 64 : 정밀 필터
66a, 66b : 전자 개폐 밸브 68 : 압력 검출 수단
69 : 비저항계 7 : 순수 온도 조정 수단
8 : 제어 수단 9 : 조작반
91 : 입력 수단 92 : 표시 수단
10 : 장치 하우징 126 : 개폐 도어
Claims (1)
- 가공 장치의 가공시에 공급된 가공액의 가공 폐액을 수용하는 폐액 수용 탱크와, 이 폐액 수용 탱크에 수용된 가공 폐액을 송급(送給)하는 폐액 송급 펌프와, 이 폐액 송급 펌프에 의해서 송급된 가공 폐액을 여과하여 맑은 물로 정제하는 필터 및 이 필터를 착탈 가능하게 지지하는 청수(淸水) 받이 팬(pan)을 갖춘 폐액 여과 수단과, 이 폐액 여과 수단에 의해서 정제된 맑은 물을 저수하는 청수 저수 탱크와, 이 청수 저수 탱크에 저수된 맑은 물을 송급하는 청수 송급 펌프와, 이 청수 송급 펌프에 의해서 송급된 맑은 물을 순수로 정제하는 이온 교환 수단 및 이 이온 교환 수단을 착탈 가능하게 지지하는 지지대를 갖춘 순수 생성 수단과, 이 순수 생성 수단에 의해서 정제된 순수를 소정의 온도로 조정하는 순수 온도 조정 수단과, 이들 각 구성 수단을 제어하는 제어 수단과, 이 제어 수단에 처리 정보를 입력하는 입력 수단 및 상기 제어 수단에 의한 작동 상황 등을 표시하는 표시 수단을 구비하는 조작반과, 이들 각 구성 수단을 수용하는 장치 하우징을 구비하는 가공 폐액 처리 장치로서,상기 장치 하우징은, 바닥벽, 상부벽, 좌측벽, 우측벽, 후방벽 및 앞쪽 개구를 개폐하는 개폐 도어를 구비하고 있고,상기 바닥벽에 있어서의 상기 후방벽측에 상기 폐액 탱크가 배치되고, 이 폐액 탱크에 인접하여 상기 바닥벽의 중앙부에 상기 청수 저수 탱크가 배치되며, 이 청수 저수 탱크에 인접하여 상기 바닥벽에 있어서의 상기 앞쪽 개구측에 상기 순수 생성 수단이 배치되고,상기 순수 생성 수단의 상측에 폐액 여과 수단이 배치되고,상기 폐액 탱크의 위쪽에 순수 온도 조정 수단이 배치되고,상기 폐액 여과 수단의 상측에 상기 제어 수단 및 상기 조작반이 배치되며, 상기 조작반이 상기 장치 하우징의 앞쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 가공 폐액 처리 장치.
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