CN113248070A - 纯水生成装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供纯水生成装置，虽配设有精密过滤器但无需频繁更换精密过滤器。纯水生成装置(2)至少包含：废水容器(3)，其贮存废水；过滤部(4)，其过滤废水；清水容器(5)，其贮存第一清水；紫外线照射部(6b)，其对第一清水照射紫外线而破坏有机物；精密过滤器部(6c)，其从第一清水过滤有机物而生成第二清水；离子交换树脂部(6d)，其将第二清水精制成纯水；和纯水提供部(7)，其将纯水提供至外部装置(1)，在精密过滤器部上至少连接有：流体提供单元(9)，其从送出第二清水的方向对精密过滤器部提供空气或水；和返回单元(10)，其通过空气或水的作用而从接受第一清水的方向将第二清水排出并使第二清水返回废水容器。

Description

纯水生成装置

技术领域

本发明涉及从废水生成纯水的纯水生成装置。

背景技术

晶片由分割预定线划分而在正面上形成有IC、LSI等多个器件，该晶片在通过磨削装置对背面进行磨削而形成为期望的厚度之后，通过切割装置分割成各个器件芯片，并被用于移动电话、个人计算机等电子设备。

磨削装置和切割装置使用纯水作为加工水，因此本申请人提出了使从加工装置排出的废水循环的装置，该装置将废水精制成纯水而进行再利用(参照专利文献1)。

专利文献1所记载的装置构成为至少包含：废水容器，其贮存废水；过滤部，其对从该废水容器送出的废水进行过滤；清水容器，其贮存通过该过滤部生成的清水；紫外线照射部，其对从该清水容器送出的清水照射紫外线而将有机物破坏；离子交换树脂部，其将从该紫外线照射部送出的清水精制成纯水；精密过滤器部，其对通过该离子交换树脂部精制的纯水进行过滤；以及纯水提供部，其将从该精密过滤器部送出的纯水提供至加工装置。

专利文献1：日本特开2009-214193号公报

根据上述的纯水生成装置，一次提供至加工装置而使用后的废水经过滤部而成为清水，进而通过紫外线照射部、离子交换树脂以及精密过滤器进行过滤而生成纯水，再次提供至加工装置而使用。但是，在清水通过紫外线照射部时被紫外线破坏的有机物通过配设于离子交换树脂部的后方的精密过滤器进行过滤，因此该精密过滤器容易发生堵塞，需要频繁地进行更换而导致生产率较差，并且该精密过滤器昂贵，因此存在不经济的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其主要的技术课题在于提供纯水生成装置，即使在配设精密过滤器而生成纯水的情况下，也无需频繁地更换该精密过滤器。

为了解决上述主要的技术课题，根据本发明，提供纯水生成装置，其从废水生成纯水，其中，该纯水生成装置至少包含：废水容器，其贮存废水；过滤部，其对从该废水容器送出的废水进行过滤；清水容器，其贮存通过该过滤部而生成的第一清水；紫外线照射部，其对从该清水容器送出的第一清水照射紫外线而将有机物破坏；精密过滤器部，其从由该紫外线照射部送出的第一清水过滤有机物而生成第二清水；离子交换树脂部，其将从该精密过滤器部送出的第二清水精制成纯水；以及纯水提供部，其将通过该离子交换树脂部而精制的纯水提供至外部装置，在该精密过滤器部上至少连接有：流体提供单元，其从生成纯水时送出第二清水的方向对该精密过滤器部提供空气或水；以及返回单元，其通过由该流体提供单元提供的空气或水的作用而从生成纯水时接受该第一清水的方向排出该第二清水并使该第二清水返回至该废水容器。

更优选该纯水生成装置配设有辅助精密过滤器部，该辅助精密过滤器部对生成纯水时从该离子交换树脂部送出的纯水进一步进行过滤。

本发明的纯水生成装置至少包含：废水容器，其贮存废水；过滤部，其对从该废水容器送出的废水进行过滤；清水容器，其贮存通过该过滤部而生成的第一清水；紫外线照射部，其对从该清水容器送出的第一清水照射紫外线而将有机物破坏；精密过滤器部，其从由该紫外线照射部送出的第一清水过滤有机物而生成第二清水；离子交换树脂部，其将从该精密过滤器部送出的第二清水精制成纯水；以及纯水提供部，其将通过该离子交换树脂部而精制的纯水提供至外部装置，在该精密过滤器部上至少连接有：流体提供单元，其从生成纯水时送出第二清水的方向对该精密过滤器部提供空气或水；以及返回单元，其通过由该流体提供单元提供的空气或水的作用而从生成纯水时接受该第一清水的方向将该第二清水排出并使该第二清水返回至该废水容器，因此能够对该精密过滤器进行清洗，无需频繁地更换构成精密过滤器部的昂贵的过滤器，消除了不经济的问题。

附图说明

图1是本实施方式的纯水生成装置和应用该纯水生成装置的切割装置的整体立体图。

图2是示出图1所记载的纯水生成装置的内部的概略的立体图。

图3是将图2所示的纯水生成装置的各构成要素以及连接各构成要素的配管的结构分解而示出的立体图。

图4是示出从废水生成纯水时的精密过滤器部内的流动的概略剖视图。

图5是示出实施精密过滤器部的再生处理时的纯水和第二清水的流动的立体图。

图6是示出实施精密过滤器部的再生处理时的精密过滤器部内的流动的概略剖视图。

标号说明

1：切割装置；1a：盒；1b：搬出搬入单元；1c：保持单元；1d：切削单元；1e：搬送单元；2：纯水生成装置；2A：罩部件；3：废水容器；3a：输送泵；4：过滤部；5：清水容器；6：纯水生成部；6a支承台；6b：紫外线照射部；6c：精密过滤器部；6d：离子交换树脂部；6d1：第一离子交换树脂单元；6d2：第二离子交换树脂单元；7：纯水提供部；7a：纯水贮存容器；8：控制单元；9：流体提供单元；9a：输送泵；10：返回单元；50：排水路；51、53、54、55、56、58、59：配管；61、62、63、64：配管；52：流路切换阀；56、57：流路切换阀；60：纯水提供路；V1～V6：电磁开闭阀。

具体实施方式

以下，参照附图对根据本发明而构成的纯水生成装置的实施方式进行详细说明。

在图1中示出本实施方式的纯水生成装置2以及通过纯水生成装置2循环而提供加工水的切割装置1的立体图。另外，本实施方式的纯水生成装置2并不仅应用于以下所示的切割装置1，也能够应用于利用加工水的装置、例如磨削装置、研磨装置等。

对切割装置1的概略进行说明，切割装置1具有大致长方体形状的壳体1A，切割装置1具有：搬出搬入单元1b，其将晶片从收纳有多个被加工物(例如半导体的晶片)的盒1a搬出；保持单元1c，其对晶片进行保持；切削单元1d，其对载置并保持于保持单元1c上的晶片实施切削加工；以及搬送单元1e，其用于将实施了切削加工的晶片从保持单元1c搬送至清洗区域。

通过搬出搬入单元1b从盒1a搬出的晶片被搬送至保持单元1c上，进行载置并进行吸引保持。通过对保持单元1c所保持的晶片实施对加工位置进行检测的规定的对准而检测晶片上的切削位置，接着将晶片定位于切削单元1d的下方，根据该切削位置的位置信息，实施切削加工，分割成各个芯片。实施了切削加工的晶片通过搬送单元1e搬送至清洗区域而实施清洗、干燥处理，通过搬出搬入单元1b从清洗区域搬出而返回至盒1a的规定的位置。

在本实施方式中，如图1所示，与切割装置1相邻而配设有纯水生成装置2。纯水生成装置2通过罩部件2A覆盖，具有包含操作面板、监视器等的控制单元8。在纯水生成装置2中生成的纯水经由纯水提供路60而作为加工水提供至切割装置1。该加工水提供至切割装置1的加工区域和清洗区域，成为包含切削屑等杂质的状态，在切割装置1内被回收，经由排水路50而返回至纯水生成装置2。经由排水路50而返回的废水在纯水生成装置2中被精制成纯水，作为加工水进行再利用。

这里，参照图2、图3更具体地说明本实施方式的纯水生成装置2的结构。另外，图2是本实施方式的纯水生成装置2的整体立体图，为了便于说明，示出将覆盖纯水生成装置2整体的罩部件2A取下并适当地省略了将纯水生成装置2内部的各结构间连通的配管的状态。另外，图3是示出将图2所示的纯水生成装置2的各构成要素分解的状态的立体图，示出利用配管将纯水生成装置2的各构成要素连通的状态。另外，各配管实际上由柔性管构成。

如图2所示，纯水生成装置2具有：废水容器3，其暂时收纳从切割装置1经由排水路50而导入的废水；输送泵3a，其输送收纳于废水容器3的废水；过滤部4，其从通过输送泵3a从废水容器3输送的废水中去除切削屑等而进行过滤；清水容器5，其贮存通过过滤部4进行过滤而得的第一清水；纯水生成部6，其对从清水容器5送出的第一清水进一步进行纯水化处理；以及纯水提供部7，其将通过纯水生成部6生成的纯水提供至切割装置1。另外，纯水生成装置2的动作通过操作者进行操作而指示控制单元8来进行控制。参照图3更具体地说明生成纯水时的废水的流动(图中箭头W1所示)。

当开始切割装置1的加工时，开始纯水生成装置2的处理，将加工后的废水经由排水路50而输送至废水容器3。与此同时，输送泵3a进行动作，将从废水容器3吸起的废水经由配管51而输送至过滤部4。过滤部4具有第1过滤器4a和第2过滤器4b，设置于接受过滤后的第一清水的清水接受盘4c上。在将输送泵3a与第1过滤器4a和第2过滤器4b连接的配管51上配设有进行电磁驱动的流路切换阀52。如图所示，在将流路切换阀52断开且通过弹簧向左方(1侧)施力的情况下，通过输送泵3a输送的废水通过配管51的分支路51a而被导入至第1过滤器4a，当将流路切换阀52通电(接通)且向右方(0侧)施力时，通过输送泵3a输送的废水通过分支路51b而被导入至第2过滤器4b。

导入至第1过滤器4a或第2过滤器4b的废水将切削屑等过滤而精制成第一清水，流出至清水接受盘4c。在配管51上经由分支管而连接有与控制单元8连接的压力计S1，对配管51内的压力进行监视。当通过一方的过滤器(4a或4b)持续实施废水的过滤时，在过滤器中堆积切削屑等，最终引起堵塞，压力计S1的压力上升。检测到该情况的控制单元8判断为所连接的该一方的过滤器的过滤功能丧失，在控制单元8的显示监视器上进行指示更换使用中的该一方的过滤器的显示，并且对上述电磁开闭阀52进行切换，将废水的流动切换至未发生堵塞的另一方的过滤器。由此，操作者能够通过控制单元8的指示而一边持续进行纯水生成装置2的动作一边实施发生堵塞的侧的过滤器的更换。

通过第1过滤器4a或第2过滤器4b进行过滤并流出至清水接受盘4c的第一清水经由配管53而被导入至清水容器5。贮存于清水容器5的第一清水通过输送泵5a输送，在配管54中流动而被输送至纯水生成部6。

图示的实施方式中的纯水生成部6具有：支承台6a；紫外线照射部6b，其竖立设置于支承台6a的里侧；精密过滤器部6c，其与紫外线照射部6b的一侧相邻而配置；离子交换树脂部6d，其竖立设置于支承台6a的近前侧，由内置有离子交换树脂的一对第1离子交换单元6d1和第2离子交换单元6d2构成；辅助精密过滤器部6f，其与紫外线照射部6b的另一侧相邻而配置；以及分隔板6g，其将紫外线照射部6b、精密过滤器部6c以及辅助精密过滤器部6f侧与离子交换树脂部6d侧分隔。

从清水容器5通过输送泵5a输送且经由配管54输送的第一清水首先被导入至紫外线照射部6b。这里，通过照射紫外线(UV)而对第一清水进行杀菌，并且将残留在第一清水中的有机物破坏。由紫外线照射单元6b送出的第一清水经由配管55而被导入至精密过滤器部6c。另外，在配管55上配设有电磁开闭阀V1，在从废水生成纯水时电磁开闭阀V1开放。另外，在配管55上连接有与废水容器3连结且配设有电磁开闭阀V2的配管63。另外，在精密过滤器部6c上连接有与离子交换树脂部6d连接且具有电磁开闭阀V3的配管56，在配管56上连接有与后述的流体提供单元9连接且具有电磁开闭阀V4的配管61。

在精密过滤器部6c中，如图4所示，经配管55而流动第一清水，通过过滤体F将有机物等去除，作为第二清水而排出至配管56。另外，此时配管63上的电磁开闭阀V2和配管61上的电磁开闭阀V4关闭，因此不产生向配管63、配管61的流动。

返回图3继续进行说明，经精密过滤器部6c而进行了过滤的第二清水经由在生成纯水时开放的电磁开闭阀V3和配管56而被导入至构成离子交换树脂部6d的第1离子交换单元6d1或第2离子交换单元6d2。这里，在将配设于配管56上的流路切换阀57断开且通过弹簧向左方(1侧)施力的情况下，经由从配管56分支的配管56a而将第二清水导入至第1离子交换单元6d1，当将流路切换阀57通电(接通)且向右方(0侧)施力时，经由从配管56分支的配管56b而导入至第2离子交换单元6d2。通过该流路切换阀57的作用，能够根据需要在持续进行纯水生成装置2的动作的状态下适当地更换构成离子交换树脂部6的任意离子交换单元。

导入至第1离子交换单元6d1或第2离子交换单元6d2的第二清水通过离子交换树脂的作用而将包含在第二清水中的离子去除，精制成能够作为加工水使用的纯水。另外，有时会在这样对第二清水进行离子交换而精制的纯水中混入有构成第1离子交换单元6d1和第2离子交换单元6d2的离子交换树脂的树脂屑等微细的物质。因此，在图示的实施方式中，将如上述那样通过第1离子交换单元6d1和第2离子交换单元6d2对第二清水进行离子交换而精制的纯水经由配管58而进一步导入至辅助精密过滤器部6f，通过该辅助精密过滤器6f捕捉混入至纯水中的离子交换树脂的树脂屑等微细的物质，成为在切割装置1中作为加工水更优选的状态。另外，在几乎看不到在离子交换树脂部6d中产生的微细的物质混入至纯水的情况下，可以省略辅助精密过滤器部6f。

在配管58上经由分支配管而配设有对从第1离子交换单元6d1或第2离子交换单元6d2向辅助精密过滤器部6f输送的纯水的压力和比电阻值进行检测的与控制单元8连接的压力及比电阻值检测单元S2，该压力检测单元S2的检测信号被发送至控制单元8。若来自压力检测单元S2的检测信号达到规定的压力值以上，则控制单元8判断为在辅助精密过滤器部6f中堆积树脂屑等微细的物质而丧失作为过滤器的功能，并显示在设置于控制单元8的显示监视器上，从而操作者能够更换辅助精密过滤器部6f。另外，若比电阻值降低至规定的值以下，则判断为使用中的离子交换单元的功能降低，因此使流路切换阀57进行动作而停止该离子交换单元的使用并进行更换。另外，辅助精密过滤器部6f由于在上游侧配设有过滤部4、精密过滤器部6c，并且来自离子交换单元的树脂屑等的产生是有限的，因此不会产生需要频繁更换的问题。

通过纯水生成部6精制的纯水经由与辅助精密过滤器部6f连接的配管59而输送至向外部的装置(在本实施方式中为切割装置1)进行提供的纯水提供部7。纯水提供部7具有纯水贮存容器7a和纯水提供路60，其中，纯水贮存容器7a具有温度控制器，贮存于纯水贮存容器7a的纯水通过该温度控制器调整成规定的温度(例如23℃)而经由纯水提供路60排出。

本实施方式的纯水生成装置2还具有：流体提供单元9，其从生成纯水时送出第二清水的方向即配管56侧对精密过滤器部6c提供空气或水；以及返回单元10，其包含配管63和电磁开闭阀V2，该返回单元10通过由流体提供单元9提供的空气或水而从生成纯水时接受第一清水的方向即配管55侧排出第二清水并使第二清水返回至废水容器3。

如图3所示，流体提供单元9具有输送泵9a以及经由输送泵9a和电磁开闭阀V4而连接于配管56的配管61。在提供至精密过滤器部6c的流体为水的情况下，具有经由电磁开闭阀V5而将纯水提供部7的纯水贮存容器7a连接于输送泵9a的配管62。另外，在该流体为空气的情况下，代替配管62而具有与输送泵9a连接且经由电磁开闭阀V6在纯水生成装置2的外部开放而取入空气的配管64。另外，上述的配管62和电磁开闭阀V5以及配管64和电磁开闭阀V6可以具有双方。

纯水生成装置2具有如上所述的结构，在切割装置1中作为加工水使用并排出的废水通过纯水生成装置2精制成纯水而进行再利用。此时，随着纯水生成装置2的动作时间的经过，精密过滤器部6c产生堵塞，最终无法作为精密过滤器发挥功能，因此在本实施方式中，在发生堵塞之前，实施消除精密过滤器部6c的堵塞的再生处理。

关于该再生处理，从生成纯水时送出第二清水的方向对精密过滤器部6c提供流体(水或空气)，使精密过滤器部6c再生。以下，参照图5、图6对该再生步骤以及流体提供单元9和返回单元10的作用进行说明。另外，在以下的说明中，根据该流体为水的情况的例子而进行说明，将各配管中的流动的方向用W2示出。

控制单元8例如测量纯水生成装置2的动作时间，在精密过滤器部6c产生堵塞而给纯水的生成带来障碍之前的时机，催促操作者执行精密过滤器部6c的再生处理。在实施再生处理的情况下，操作者在停止纯水生成装置2所进行的纯水的生成之后，指示精密过滤器部6c的再生。由此，将图5所示的配设于配管55的电磁开闭阀V1和配设于配管56的电磁开闭阀V3关闭，并且将生成纯水时关闭的配管63上的电磁开闭阀V2、配管61上的电磁开闭阀V4以及配管62上的配管V5打开。并且，使输送泵9a进行动作，从而从纯水贮存容器7a吸起纯水，如图6所示，经由配管62和配管61，从生成纯水时送出第二清水的侧即配管56所连接的侧将纯水导入至精密过滤器部6c的内部。导入至精密过滤器部6c的内部的纯水向与生成纯水时废水流动的方向相反的方向在过滤体F中流动，将过滤体F所捕集的杂质去除，与通过精密过滤器部6c暂时过滤后的第二清水一起逆流，与该杂质一起如图5所示那样排出至在本实施方式中包含构成返回单元10的电磁开闭阀V2的配管63侧(参照箭头W2)。排出至配管63的包含杂质的第二清水返回至废水容器3。其结果是，从构成精密过滤器部6c的过滤体F去除杂质而消除堵塞，成为再生的状态。另外，返回至废水容器3的包含杂质的第二清水在纯水生成装置2从废水生成纯水时与从切割装置1流过来的加工水一起被导入至过滤部4，将杂质去除而进行清洗。

另外，在上述的实施方式中，在实施精密过滤器部6c的再生处理时，通过流体提供单元9从纯水贮存容器7a吸起纯水，对精密过滤器部6c提供水(纯水)，但也可以经由与输送泵9a连接的配管64和电磁开闭阀V6而从外界取入空气，从生成纯水时送出第二清水的方向对精密过滤器部6c导入空气。通过该空气，也能够使残留在配管55和精密过滤器部6c的第二清水逆流，能够将过滤体F所捕集的杂质去除而返回至废水容器3。

另外，在上述的实施方式中，根据纯水生成装置2的动作时间以规定的时间间隔实施精密过滤器部6c的再生处理，但本发明不限于此，例如也可以是在对精密过滤器部6c提供第一清水的配管54上配设与控制单元8连接的压力计，对压力的上升进行检测，从而对操作者指示应实施再生处理的时机。

根据上述的实施方式，构成为能够对昂贵的精密过滤器部6c进行再生处理，从而能够反复使用精密过滤器部6c，抑制频繁地更换，消除不经济的问题。

Claims (2)

1.一种纯水生成装置，其从废水生成纯水，其中，

该纯水生成装置至少包含：

废水容器，其贮存废水；

过滤部，其对从该废水容器送出的废水进行过滤；

清水容器，其贮存通过该过滤部而生成的第一清水；

紫外线照射部，其对从该清水容器送出的第一清水照射紫外线而将有机物破坏；

精密过滤器部，其从由该紫外线照射部送出的第一清水过滤有机物而生成第二清水；

离子交换树脂部，其将从该精密过滤器部送出的第二清水精制成纯水；以及

纯水提供部，其将通过该离子交换树脂部而精制的纯水提供至外部装置，

在该精密过滤器部上至少连接有：

流体提供单元，其从生成纯水时送出第二清水的方向对该精密过滤器部提供空气或水；以及

返回单元，其通过由该流体提供单元提供的空气或水的作用而从生成纯水时接受该第一清水的方向排出该第二清水并使该第二清水返回至该废水容器。

2.根据权利要求1所述的纯水生成装置，其中，

该纯水生成装置配设有辅助精密过滤器部，该辅助精密过滤器部对生成纯水时从该离子交换树脂部送出的纯水进一步进行过滤。

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