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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Flammschutzmittel für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor und auf ein Verfahren zu dessen Herstellung
und sie betrifft spezieller ein Flammschutzmittel, welches geeignet
ist, einem Epoxyharz flammhemmende Eigenschaft zu verleihen, insbesondere
für ein
Epoxyharz zum Abdichten von Halbleitern, welches das Herauslösen von
Phosphorsäureionen
aus dem Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor unterdrückt und
auf Gebieten eingesetzt wird, auf denen Verlässlichkeit der elektrischen
Eigenschaften erforderlich ist.
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Technischer
Hintergrund
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Ein
Dichtungsmaterial schützt
Halbleiter-ICs vor Feuchtigkeit, Staub und dergleichen, die in der
Luft enthalten sind, und erleichtert die Handhabung von Halbleiter-ICs.
Zur Zeit wird überwiegend
ein Epoxyharz-Dichtungsmaterial verwendet. Es ist üblich, als
Flammschutzmittel für
ein Epoxyharz-Dichtungsmaterial ein halogeniertes Epoxyharz oder
eine Kombination aus einem halogenierten Epoxyharz und Antimontrioxid zu
verwenden. In den letzten Jahren sind jedoch weltweit Probleme der
Umweltverschmutzung und von gesundheitlichen Gefahren aufgetreten
und die Nachfrage nach halogenfreien Flammschutzmitteln ist angestiegen.
Es besteht daher die Tendenz, keine Halogenverbindungen, das heißt keine
Verbindungen von Chlor, Brom, etc. und kein Antimontrioxid zu verwenden.
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Als
halogenfreies Flammschutzmittel ist roter Phosphor ein vielversprechendes
Flammschutzmittel, er hat jedoch inso fern Nachteile, dass eine kleine
Menge von gasförmigem
Phosphin durch Reaktion von rotem Phosphor und Feuchtigkeit in der
Luft gebildet wird und dass Oxosäuren
des Phosphors aus der Oberfläche von
rotem Phosphor herausgelöst
werden.
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Wenn
aus der Oberfläche
des roten Phosphors herausgelöste
Oxosäuren
des Phosphors in Kontakt mit einer Halbleiter-IC-Schaltung kommen, wird die Aluminiumverdrahtung
korrodiert, wodurch die Verlässlichkeit
verschlechtert wird. Die Verminderung der herausgelösten Ionen
war ein ernsthaftes Problem bei der Verwendung eines Flammschutzmittels
auf Basis von rotem Phosphor für
das Epoxyharz-Dichtungsmaterial.
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Zahlreiche
Untersuchungen über
das Problem der Bildung von Phosphin aus rotem Phosphor wurden durchgeführt und
es wurden verschiedene Methoden vorgeschlagen, um das Volumen des
erzeugten Phosphins zu erniedrigen, bei denen die Oberfläche des
roten Phosphors mit einem Hydroxid eines Metalls, wie Aluminium
oder Titan, oder mit einer organischen Verbindung, wie einem Phenolharz
oder einem Melaminharz, beschichtet wurde oder durch doppeltes Beschichten
mit einer anorganischen Verbindung und einer organischen Verbindung.
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Jedoch
werden Oxosäuren
des Phosphors aus der Oberfläche
des roten Phosphors eluiert, auch wenn dieser in der vorher beschriebenen
Weise beschichtet ist, und es war schwierig, den oberflächlich beschichteten
roten Phosphor auf Gebieten einzusetzen, auf denen Laminatplatten,
Halbleiter-Dichtungsmaterialien, etc. elektrische Verlässlichkeit
besitzen müssen.
Wenn beispielsweise ein Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor
für ein
zum Abdichten eines Halbleiters verwendetes Epoxyharz eingesetzt
wird, besteht die Schwierigkeit, dass ein Verlässlichkeitstest für das Dichtungsmaterial
zeigt, dass IC-Schaltungen durch aus dem roten Phosphor gelöste Oxosäuren des
Phosphors korrodiert werden, was zu einer Verminderung der Verlässlichkeit
führt.
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Es
wird angenommen, dass eine der Ursachen für das Herauslösen von
Oxosäuren
des Phosphors aus rotem Phosphor darin besteht, dass selbst dann,
wenn eine geeignete Methode zum Beschichten der Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors angewendet wird, bei der Herstellung
eines Epoxyharz-Dichtungsmaterials durch Mischen und Zugeben von
rotem Phosphor mit anderen Materialien, zum Beispiel einem Epoxyharz,
einem Phenolharz-Härtungsmittel,
einem Siliziumdioxid-Füllstoff
etc., die Überzugsschicht
auf dem roten Phosphor abgelöst
wird, weil die Teilchen des roten Phosphors mechanischen Reibungskräften und Scherkräften unterworfen
werden und der rote Phosphor an den abgeschälten Bereichen in direkten
Kontakt mit Wasser kommt, wodurch das Herauslösen von Oxosäuren des
Phosphors verursacht wird. In einem solchen Fall besteht das Dichtungsmaterial
häufig
den Verlässlichkeitstest
nicht.
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Um
ein Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor für ein Epoxyharz
zum Abdichten eines Halbleiters zugänglich zu machen, wurden beispielsweise
eine Methode, bei der roter Phosphor, dessen Oberfläche mit
einem Phenolharz und außerdem
mit einem Epoxy-Silan-Kupplungsmittel und einem Amino-Silan-Kupplungsmittel
sowie auch mit einem Melaminpolyphosphat beschichtet ist (japanische
offengelegte Patentanmeldung 10-182940), eine Methode, bei der ein
Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor verwendet wird, in
welchem die Oberflächenschicht
des roten Phosphors mit TixOy beschichtet
ist (x, y sind positive Zahlen, x:y = 1:2 bis 1:4) (japanische offengelegte
Patentanmeldung 7-173372), eine Methode, bei der ein Flammschutzmittel
auf Basis von rotem Phosphor mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 2
bis 8 μm und
einer maximalen Teilchengröße von 20 μm oder weniger
verwendet wird, wobei die Oberflächenschicht des
roten Phosphors mit Aluminiumhydroxid und außerdem mit einem Phenolharz
beschichtet ist (offengelegte japanische Patentanmeldung 10-152599)
und eine Methode vorgeschlagen, bei der ein Flammschutzmittel auf Basis
von rotem Phosphor verwendet wird, in welchem die Oberflächenschicht
des roten Phosphors mit SixOy beschichtet ist (x, y sind positive
Zahlen, x: y = 1:2 bis 1:4) (offengelegte japanische Patentanmeldung 7-157542).
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Weiterhin
wird eine Methode vorgeschlagen, bei der ein Flammschutzmittel auf
Basis eines beschichteten roten Phosphors und ein Ionen-Abfangmittel
aus BiOx(OH)y(NO3)z(X=0,0 bis 1,1,
Y=0,6 bis 0,8, Z=0,2 bis 0,4) und Mg4,3Al2(OH)12,6CO3·3,5H2O verwendet werden (offengelegte japanische
Patentanmeldung 8-151427 und offengelegte japanische Patentanmeldung
9-227765).
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Wenn
ein flammhemmendes Mittel auf Basis von beschichtetem rotem Phosphor
zur Herstellung eines Epoxyharz-Dichtungsmaterials verwendet wird,
wird die Überzugsschicht
auf dem roten Phosphor abgeschält, weil
die Teilchen des roten Phosphors einer mechanischen Reibungskraft
und einer Scherkraft unterworfen werden und der rote Phosphor kommt
in direkten Kontakt mit Wasser an den abgeschälten Bereichen, wobei das Herauslösen einer
Oxosäure
des Phosphors eingeleitet wird. Es besteht daher das Problem, die
herausgelöste
Oxosäure
des Phosphors zu binden, um ihre Wirkung zu vermindern. Dieses Problem
wurde bisher jedoch praktisch nicht gelöst, weil die vorstehend angegebene
Methode der gleichzeitigen Verwendung eines Ionen-Einfangmittels
schlecht für
das Binden einer Oxosäure
des Phosphors ist.
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Die
offengelegte japanische Patentanmeldung 62-21704 schlägt als Flammschutzmittel
beschichteten roten Phosphor vor, der durch Überziehen der Oberfläche von
Teilchen des roten Phosphors mit Al- und/oder Zn-Hydroxid und weiteres
Auftragen eines Zinkhydroxid enthaltenden thermisch härtenden
Harzes hergestellt wird und verbesserte Feuchtigkeitsbeständigkeit
und Korrosionsbeständigkeit
hat.
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Weil
das Zinkhydroxid gemäß der offengelegten
japanischen Patentanmeldung 62-21704 ein Hydrat ist, wird, wenn
mit Hilfe von Zinkhydroxid stabilisierter roter Phosphor als Flammschutzmittel
für ein
Epoxyharz zum Abdichten eines Halbleiters verwendet wird, Wasser
durch Zersetzung von Zinkhydroxid gebildet, wenn der Verlässlichkeitstest
des Halbleiter-Dichtungsmaterials bei hoher Temperatur durchgeführt wird,
und roter Phosphor kommt in direkten Kontakt mit Wasser, wobei Oxosäuren des
Phosphors eluiert werden. Zinkhydroxyd selbst ist bei 18°C in einer
Menge von etwa 0,52 mg/100 ml in Wasser löslich. Es ist schwierig, industriell hochreines
Zinkhydroxid zu erhalten, das keine ionischen Verunreinigungen enthält. Der
mit Hilfe der Herstellungsmethode gemäß der offengelegten japanischen
Patentanmeldung 62-21704 erhaltene stabilisierte rote Phosphor wird
hergestellt, indem ein wasserlösliches
Metallsalz zu einer Aufschlämmung
von in Wasser dispergierten Teilchen von rotem Phosphor gegeben
wird, weiterhin Alkali zugesetzt wird, um ein Metalloxid oder Metallhydroxid
auf der Oberfläche
der Teilchen des roten Phosphors abzuscheiden, um mit einer anorganischen
Substanz beschichteten roten Phosphor zu erhalten, wonach die Reaktion
ohne Waschen des mit anorganischer Substanz beschichteten roten
Phosphors beendet wird, Zinkhydroxid und ein synthetisches Material
aus einem thermisch härtenden
Harz oder dessen Prepolymeren direkt zu der Aufschlämmung gegeben werden,
die ionische Verunreinigungen enthält und eine elektrische Leitfähigkeit
von 10.000 μs/cm
oder mehr hat, und die Polymerisationsreaktion unter den Polymerisationsbedingungen
des Monomeren für
das thermisch härtende
Harz durchgeführt
wird. Der in der beschriebenen Weise erhaltene stabilisierte rote
Phosphor enthält
einen großen
Anteil an ionischen Verunreinigungen, die zum Zeitpunkt der Polymerisationsreaktion
in der Harzbeschichtung aufgenommen werden, und es ist schwierig,
durch nachträgliches
Waschen die ionischen Verunreinigungen aus dem Harz zu entfernen.
Wenn wiederholtes Waschen ausgeführt
wird, um die elektrische Leitfähigkeit
zwangs weise zu vermindern, bricht die Oberflächenbeschichtung der roten
Phosphorteilchen, wodurch die eluierte Menge einer Phosphorsäure erhöht wird,
und speziell wenn der stabilisierte rote Phosphor als Flammschutzmittel
für eine
Epoxyharz-Zusammensetzung als Dichtungsmaterial eingesetzt wird,
wird die elektrische Verlässlichkeit
wegen des Herauslösens
der ionischen Verunreinigungen aus dem Harz erniedrigt. Er ist daher
nachteilig, wenn er als Flammschutzmittel für ein Epoxyharz zum Abdichten
eine Halbleiters verwendet wird.
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Die
offengelegte japanische Patentanmeldung 4-130007 schlägt einen
stabilisierten roten Phosphor vor, dessen Teilchenoberfläche mit
einem Verbundfilm aus einem thermisch härtenden Harz und mindestens einem
im wesentlichen wasserfreien Metalloxid beschichtet ist, das unter
Zinkoxid, Aluminiumoxid und Titanoxid ausgewählt ist.
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Der
stabilisierte rote Phosphor gemäß der offengelegten
japanischen Patentanmeldung 4-130007 wird jedoch als Flammschutzmittel
für ein
Polyolefinharz-Beschichtungsmaterial für Fernmeldekabel und elektrische
Kabel verwendet und wenn dieser stabilisierte rote Phosphor als
Flammschutzmittel für
ein Epoxyharz als Dichtungsmittel für einen Halbleiter eingesetzt
wird, besteht der Nachteil, dass eine stabile elektrische Verlässlichkeit
in dem Verlässlichkeitstest
für das
Halbleiter-Dichtungsmaterial nicht nachgewiesen werden kann, weil
die elektrische Leitfähigkeit
und dergleichen des stabilisierten roten Phosphors nicht spezifiziert
sind.
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DE 694 06 223 T2 offenbart
ein Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor und eine nicht brennbare
Harzzusammensetzung.
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DE 693 12 116 T2 offenbart
ein Gemisch eines mit einem wärmehärtenden
Harz beschichteten roten Phosphors und einer Zinkverbindung als
Flammschutzmittel für
ein Polyamidharz.
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JP 04130007 A offenbart
ein Flammschutzmittel, das roten Phosphor enthält. Der rote Phosphor ist mit
Zinkoxid und einem wärmehärtenden
Harz beschichtet.
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JP 61152746 A und
JP 61111342 A offenbaren
ein Verfahren zur Herstellung eines Phosphor enthaltenden Flammschutzmittels,
das eine Stufe umfasst, bei der roter Phosphor mit Wasser gewaschen
wird.
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DE 40 39 906 A1 und
EP 0 176 836 A2 offenbaren
ein Phosphor enthaltendes Flammschutzmittel, das durch ein Verfahren
hergestellt wird, bei dem Teilchen von rotem Phosphor mit einer
Base gewaschen werden.
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Im
Hinblick auf die vorstehenden Gegebenheiten haben die Erfinder eine
intensive Untersuchung über ein
Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor durchgeführt, das
für ein
Halbleiter-Dichtungsmaterial geeignet ist, und gefunden, dass in
einem Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor, bei dem in
einem thermisch härtenden
Harz zum Beschichten der Teilchen des roten Phosphors eine wasserfreie
Zinkverbindung vorliegt, oder in einer flammhemmenden Zusammensetzung
auf Basis von rotem Phosphor, welche aus einem Gemisch, welches
stabilisierten flammhemmenden roten Phosphor und eine wasserfreie
Zinkverbindung enthält,
gebildet ist, die wasserfreie Zinkverbindung wirksam mit einer Oxosäure des
Phosphors unter Bildung einer unlöslichen Phosphatverbindung
reagiert, die an ihrer Oberfläche
gebunden wird, wobei das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor
oder die flammhemmende Zusammensetzung auf Basis von rotem Phosphor
speziell durch Waschen oder dergleichen behandelt wird, um ionische
Verunreinigungen zu entfernen, so dass sie eine besonders niedere
elektrische Leitfähigkeit
hat, so dass das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor
oder die flammhemmende Zusammensetzung auf Basis von rotem Phosphor
in geeigneter Weise als Flammschutzmittel für ein Dichtungsharz eines Halbleiters
verwendet wer den kann. Somit wurde die vorliegende Erfindung fertiggestellt.
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Es
ist somit Gegenstand der vorliegenden Erfindung, ein Flammschutzmittel
auf Basis von rotem Phosphor für
ein Epoxyharz und ein Verfahren zu dessen Herstellung zur Verfügung zu
stellen, bei dem das Herauslösen
einer Oxosäure
des Phosphors aus dem roten Phosphor des Flammschutzmittels auf
Basis von rotem Phosphor unterdrückt
werden kann und einem Epoxyharz zum Abdichten eines Halbleiters
ausgezeichnete Flammhemmung verliehen werden kann.
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Beschreibung
der Erfindung
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Ein
erster Aspekt der Erfindung bezieht sich auf ein Flammschutzmittel
auf Basis von rotem Phosphor für
ein Epoxyharz (nachstehend als Flammschutzmittel (1) auf Basis von
rotem Phosphor für
ein Epoxyharz bezeichnet), und auf ein Verfahren zu dessen Herstellung.
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Speziell
umfasst das Flammschutzmittel (1) für ein Epoxyharz auf Basis von
rotem Phosphor gemäß dem ersten
Aspekt der Erfindung einen beschichteten roten Phosphor, dessen
Teilchenoberflächen
mit einem thermisch härtenden
Harz, welches eines wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet
sind, wobei der beschichtete rote Phosphor solche Eigenschaften
hat, dass eine durch Dispergieren in einer Menge von 10 Gew.-% in
Wasser von 20°C
hergestellte Aufschlämmung
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat, die Aufschlämmung
nach dem 20 Stunden dauernden Stehenlassen bei 80°C eine elektrische
Leitfähigkeit
von 150 μs/cm
oder darunter hat und dass dann, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten
roten Phosphors gegeben werden und 20 Stunden auf 80°C erhitzt
wird, die Konzentration von eluierten PO4-Ionen 10
ppm oder weniger beträgt.
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Es
wird außerdem
bevorzugt, dass der vorstehende, beschichtete rote Phosphor solche
Eigenschaften hat, dass seine durch Dispergieren in einer Menge
von 10 Gew.-% in Wasser gebildete Aufschlämmung nach 20-stündigem Stehenlassen
bei 150°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 2000 μs/cm
oder weniger hat und dass, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten
roten Phosphors gegeben werden und 20 Stunden lang auf 150°C erhitzt
wird, die Konzentration von eluierten PO4-Ionen
800 ppm oder weniger beträgt.
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Außerdem wird
bevorzugt, dass der beschichtete rote Phosphor die Eigenschaft hat,
dass, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten roten Phosphors
zugesetzt werden und 20 Stunden auf 80°C erhitzt wird, die Konzentration
an eluierten PHO3-Ionen 300 ppm oder weniger
ist und dass nach Erhitzen während
20 Stunden auf 150°C
die Konzentration an eluierten PHO3-Ionen
1500 ppm oder weniger ist.
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Das
Verfahren zur Herstellung des Flammschutzmittels (1) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor nach dem ersten Aspekt der Erfindung
umfasst die folgenden Stufen (A1) bis (A3).
- (A1)
Eine Stufe, in der Teilchen von rotem Phosphor mit einer Säure und
einer Base gewaschen werden.
- (A2) Eine Stufe, in der beschichtete Teilchen von rotem Phosphor
hergestellt werden, indem eine wasserfreie Zinkverbindung und ein
synthetisches Ausgangsmaterial für
ein thermisch härtendes
Harz oder dessen Prepolymeres zu einer Aufschlämmung der in Wasser dispergierten
Teilchen des gewaschenen roten Phosphors gegeben werden, und die
Polymerisationsreaktion durchgeführt
wird, um die Oberfläche
der Teilchen des roten Phosphors mit dem thermisch härtenden
Harz, welches die wasserfreie Zinkverbindung enthält, zu beschichten.
- (A3) Eine Stufe, in der das Flammschutzmittel (1) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor durch Waschen des beschichteten roten
Phosphors mit reinem Wasser gewonnen wird, so dass eine Aufschlämmung, die
eine 10 gewichtsprozentige Dispersion des beschichteten roten Phosphors
in Wasser ist, bei 20°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat.
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Ein
zweiter Aspekt der Erfindung ist auf ein Flammschutzmittel für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor (nachstehend als Flammschutzmittel
(2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor bezeichnet) und auf ein
Verfahren zu seiner Herstellung gerichtet.
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Das
Flammschutzmittel (2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem zweiten Aspekt der
Erfindung umfasst speziell doppelt beschichteten roten Phosphor,
in welchem die Oberflächen
der Teilchen des roten Phosphors mit einer anorganischen Substanz
und weiterhin mit einem thermisch härtenden Harz, welches eine
wasserfreie Zinkverbindung enthält,
beschichtet sind, wobei der doppelt beschichtete rote Phosphor solche
Eigenschaften hat, dass seine durch Dispergieren in einer Menge
von 10 Gew.-% in Wasser bei 20°C
gebildete Aufschlämmung
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat, dass die Aufschlämmung nach dem Stehen lassen
während
20 Stunden bei 80°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 150 μs/cm
oder weniger hat und dass dann, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des doppelt
beschichteten roten Phosphors gegeben werden und während 20
Stunden auf 80°C
erhitzt wird, die Konzentration von eluierten PO4-Ionen
10 ppm oder weniger ist.
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Außerdem ist
es bevorzugt, dass der doppelt beschichtete rote Phosphor solche
Eigenschaften hat, dass seine durch Dispergieren in einer Menge
von 10 Gew.-% in Wasser gebildete und 20 Stunden bei 150°C stehengelassene
Aufschlämmung
eine elektrische Leitfähigkeit
von 2000 μs/cm
oder weniger hat und dass bei Zugabe von 80 ml Wasser zu 8 g des
doppelt beschichteten roten Phosphors und 20-stündiges Erhitzen bei 150°C die Konzentration
an eluierten bzw. herausgelösten
PO4-Ionen 800 ppm oder weniger ist.
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Es
wird ferner bevorzugt, dass der doppelt beschichtete rote Phosphor
solche Eigenschaften hat, dass dann, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des
doppelt beschichteten roten Phosphors gegeben werden und 20 Stunden lang
auf 80°C
erhitzt wird, die Konzentration von eluierten PHO3-Ionen
300 ppm oder weniger ist und dass nach 20 Stunden langem Erhitzen
auf 150°C
die Konzentration von eluierten PHO3-Ionen 1500 ppm oder
weniger ist.
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Das
Verfahren zur Herstellung des Flammschutzmittels (2) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor besitzt folgende Stufen (B1) bis (B5).
- (B1) Eine Stufe, in der Teilchen von rotem
Phosphor mit einer Säure
und einer Base gewaschen werden.
- (B2) Eine Stufe, in der die Oberflächen der Teilchen von rotem
Phosphor mit einer anorganischen Substanz überzogen werden, die aus einem
Metallhydroxid oder -Oxid gebildet ist, indem ein wasserlösliches
Metallsalz und ein alkalisches Mittel zu einer Aufschlämmung der
gewaschenen Teilchen des roten Phosphors in Wasser zugesetzt werden.
- (B3) Eine Stufe, in der die mit der anorganischen Substanz überzogenen
Teilchen des roten Phosphors mit reinem Wasser gewaschen werden.
- (B4) Eine Stufe, in der doppelt beschichteter roter Phosphor
hergestellt wird, indem eine wässrige
Zinkverbindung und ein synthetisches Material für ein thermisch härtendes
Harz oder dessen Prepolymeres zu einer Aufschlämmung, welche die in Wasser
dispergierten, gewaschenen Teilchen des roten Phosphors, die mit
der anorganischen Substanz beschichtet sind, enthält, gegeben
werden und eine Polymerisationsreaktion durchgeführt wird, um die Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors, die mit der anorganischen Substanz überzogen
sind, mit dem eine wasserfreie Zinkverbindung enthaltenden thermisch
härtenden Harz
zu beschichten.
- (B5) Eine Stufe, in der das Flammschutzmittel (2) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor erhalten wird, indem der doppelt beschichtete
rote Phosphor mit reinem Wasser gewaschen wird, so dass eine Aufschlämmung, die
10 Gew.-% des doppelt beschichteten roten Phosphors in Wasser enthält, bei
20°C eine elektrische
Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat.
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Die Merkmale der Erfindung
werden nachstehend beschrieben.
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Das
Flammschutzmittel (1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem ersten Aspekt der
Erfindung enthält
einen beschichteten roten Phosphor, in welchem die Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors mit einem eine wasserfreie Zinkverbindung
enthaltenden thermisch härtenden
Harz beschichtet sind. In der Stufe der Herstellung des beschichteten
roten Phosphors wird ein Schritt des Waschens der Teilchen des roten
Phosphors mit mindestens einem unter Säuren und Alkalien ausgewählten Mitglied
durchgeführt,
um gelben Phosphor und Metallgehalte, wie Fe, Ni und Cu zu entfernen,
die in den Teilchen des roten Phosphors enthalten sind und als Oxidationskatalysator
für roten
Phosphor wirken. Dann werden die Teilchen des roten Phosphors mit
dem thermisch härtenden
Harz, das die wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet und zum Entfernen
von ionischen Verunreinigungen gewaschen, so dass die Aufschlämmung, in
der 10 Gew.-% der Teilchen von rotem Phosphor bei 20°C in Wasser
dispergiert sind, eine elektrische Leitfähigkeit von 30 μs/cm oder
weniger hat.
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Durch
den synergistischen Effekt der niederen elektrischen Leitfähigkeit
infolge des Entfernens von ionischen Verunreinigungen der Beschichtung
mit dem thermisch härtenden
Harz und der Bildung einer unlöslichen
Phosphatverbindung durch die wirksame Reaktion der wasserfreien
Zinkverbindung und einer Oxosäure des
Phosphors ist unter Erhitzen die elektrische Leitfähigkeit
nach dem Stehen lassen bei 80°C
während
20 Stunden 150 μs/cm
oder weniger und wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten roten
Phosphors gegeben werden und 20 Stunden bei 80°C erhitzt wird, ist die Konzentration
der eluierten PO4-Ionen 10 ppm oder weniger.
Bei einer Lagerung bei Normaltemperatur und bei der Temperatur zum
Einmischen in das Epoxyharz kann ausreichende Flammhemmung, Feuchtigkeitsbeständigkeit
und elektrische Verlässlichkeit
erreicht werden.
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Außerdem hat
das Flammschutzmittel (1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor Wärmebeständigkeit und die vorstehend
angegebene elektrische Leitfähigkeit
von 2000 μs/cm
oder weniger sowie eine Konzentration von eluierten PO4-Ionen
von 800 pm oder weniger unter Heizbedingungen bei hoher Temperatur von
150°C. Somit
kommt die Wirkung der wasserfreien Zinkverbindung ausreichend zum
Tragen und unter Bedingungen hoher Temperatur können Flammhemmung, Feuchtigkeitsbeständigkeit
und elektrische Verlässlichkeit
erreicht werden.
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Das
Flammschutzmittel (2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem zweiten Aspekt der
Erfindung enthält
doppelt beschichteten roten Phosphor, wobei die Oberflächen der
Teilchen von rotem Phosphor mit einer anorganischen Substanz und
weiterhin mit einem thermisch härtenden
Harz, welches eine wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet
sind. Bei der Stufe der Herstellung des doppelt beschichteten roten
Phosphors werden die Stufe des Waschens der Teilchen des roten Phosphors
mit Säure
und/oder Alkali und die Stufe des Waschens der mit anorganischer
Substanz beschichteten Teilchen des roten Phosphors mit reinem Wasser
durchgeführt,
um gelben Phosphor und Metallverunreinigungen, wie Fe, Ni und Cu,
die in den Teilchen des roten Phosphors enthalten sind und zu Oxidationskatalysatoren
werden, zu entfernen, und um die ionischen Verunreinigungen zu entfernen,
die in der Herstellungsstufe gebildet werden, so dass sie nicht in
dem Produkt aufgenommen werden. Danach werden die Teilchen des roten
Phosphors mit dem thermisch härtenden
Harz, welches die wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet,
weiterhin mit reinem Wasser gewaschen, um die ionischen Verunreinigungen
zu entfernen, so dass eine durch Dispergieren von 10 Gew.-% der
Teilchen des roten Phosphors in Wasser hergestellte Aufschlämmung bei
20°C eine
niedere elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat.
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Speziell
hat der doppelt beschichtete rote Phosphor des Flammschutzmittels
(2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor eine anorganische Beschichtung
aus der anorganischen Substanz, welche zwischen der Teilchenoberfläche des
roten Phosphors und der thermisch härtenden Harzbeschichtung vorhanden ist,
im Vergleich mit dem beschichteten roten Phosphor des Flammschutzmittels
(1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor, so dass die Beschichtung
aus anorganischer Substanz den roten Phosphor bedeckt und somit
die Bildung und Elution einer Oxosäure des Phosphors unter den
Bedingungen des Erhitzens verhindert. Dadurch wird die elektrische
Leitfähigkeit
und die Konzentration von eluierten PO4-Ionen
nach dem Stehen lassen bei 80°C
während
20 Stunden besser erniedrigt als in dem Flammschutzmittel (1) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor. Außerdem können für die Lagerung bei normaler
Temperatur und bei einer Temperatur zum Einmischen in ein Epoxyharz
ausreichende Flammhemmung, Feuchtigkeitsbeständigkeit und elektrische Verlässlichkeit
erzielt werden.
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Das
Flammschutzmittel (2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor besitzt außerdem Wärmebeständigkeit
und führt
unter Heizbedingungen auf eine hohe Temperatur von 150°C zu einer
besseren Wirkung zum Erniedrigen der elektrischen Leitfähigkeit
und der Konzentration von eluierten PO4-Ionen,
als das Flammschutzmittel (1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor. Somit können bei
hoher Temperatur Flammhemmung, Feuchtigkeitsbeständigkeit und elektrische Verlässlichkeit
erzielt werden.
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Beste Ausführungsform
der Erfindung
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Die
Erfindung wird nachstehend ausführlich
beschrieben.
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Flammschutzmittel für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor
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Das
Flammschutzmittel für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor umschließt ein Flammschutzmittel
(1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem ersten Aspekt
der Erfindung und ein Flammschutzmittel (2) für ein Epoxyharz auf Basis von
rotem Phosphor nach dem zweiten Aspekt der Erfindung.
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Das
Flammschutzmittel (1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem ersten Aspekt der
Erfindung ist beschichteter roter Phosphor, wobei die Oberfläche der
Teilchen von rotem Phosphor mit einem eine wasserfreie Zinkverbindung
enthaltenden thermisch härtenden
Harz beschichtet ist und der beschichtete rote Phosphor solche Eigenschaften
hat, dass seine Aufschlämmung,
die durch Dispergieren einer Menge von 10 Gew.-% in Wasser hergestellt
wird, bei 20°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat, dass die Aufschlämmung nach 20-stündigem Stehen
lassen bei 80°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 150 μs/cm
oder weniger hat und dass, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten
roten Phosphors gegeben werden und 20 Stunden auf 80°C erhitzt
wird, die Konzentration an eluierten PO4-Ionen 10 ppm oder weniger
ist.
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Das
Flammschutzmittel (2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor nach dem zweiten Aspekt der
Erfindung ist doppelt beschichteter roter Phosphor, dessen Teilchenoberflächen mit
einer anorganischen Substanz und weiterhin mit einem eine wasserfreie
Zinkverbindung enthaltenden, thermisch härtenden Harz beschichtet sind,
wobei der doppelt beschichtete rote Phosphor solche Eigenschaften
hat, dass seine durch Dispergieren einer Menge von 10 Gew.-% in
Wasser bei 20°C
erhaltene Aufschlämmung
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat, dass die Aufschlämmung nach 20-stündigem Stehenlassen
bei 80°C eine
elektrische Leitfähigkeit
von 150 μs/cm
oder weniger hat, und dass bei der Zugabe von 80 ml Wasser zu 8
g des doppelt beschichteten roten Phosphors und 20-stündiges Erhitzen
auf 80°C
die Konzentration an eluierten PO4-Ionen
10 ppm oder weniger beträgt.
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In
anderen Worten ist in den erfindungsgemäßen Flammschutzmitteln (1),
(2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor die Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors mit einem thermisch härtenden Harz,
das eine wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet und diese sind
spezifisch jeweils aus dem folgenden beschichteten roten Phosphor
gebildet.
- (1) Beschichteter roter Phosphor
(nachstehend als beschichteter roter Phosphor (1) bezeichnet), bei
dem die Oberflächen
der Teilchen des roten Phosphors in dem Flammschutzmittel (1) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor mit einem thermisch härtenden
Harz, welches eine wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet
sind.
- (2) Doppelt beschichteter roter Phosphor (nachstehend als doppelt
beschichteter roter Phosphor (2) bezeichnet), wobei die Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors in dem Flammschutzmittel (2) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor mit einer anorganischen Substanz und
weiterhin mit dem thermisch härtenden
Harz, welches die wasserfreie Zinkverbindung enthält, beschichtet
sind.
-
Die
Ausgangsmaterialien für
rote Phosphorteilchen vor der Beschichtungsbehandlung, die für den beschichteten
roten Phosphor (1) und den doppelt beschichteten roten Phosphor
(2) verwendet werden können, sind
nicht speziell beschränkt
und können
ein zerkleinertes Produkt oder ein kugeliges Produkt sein. So ist
es speziell wünschenswert,
dass die Teilchen des roten Phosphors gemäß der Erfindung eine durchschnittliche Teilchengröße von 1
bis 50 μm,
bestimmt mit Hilfe der Lasermethode, haben. Wenn die durchschnittliche
Teilchengröße kleiner
als 1 μm
ist, ist es technisch schwierig und daher nicht praktisch, die Teilchen
des roten Phosphors zu beschichten. Wenn die Teilchen andererseits
größer als
50 μm sind,
ist dies nicht wünschenswert,
weil die Dispergierbarkeit des beschichteten roten Phosphors in
dem Harz schlecht wird und die Tendenz besteht, dass ein erwünschter
flammhemmender Effekt nicht erreicht wird.
-
Es
ist wünschenswert,
dass die Teilchen des roten Phosphors 10 Gew.-% oder weniger, und
speziell bevorzugt 5 Gew.-% oder weniger von Teilchen einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm,
enthalten.
-
In
dem erfindungsgemäßen Flammschutzmittel
für ein
Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor ist die Teilchengröße des Flammschutzmittels
auf Basis von rotem Phosphor in Abhängigkeit von der Teilchengröße der roten
Phosphorteilchen variierbar, so dass es wünschenswert ist, dass der bevorzugte
Bereich der durchschnittlichen Teilchengröße und maximalen Teilchengröße vorher
in einer Stufe ausgewählt
werden, bei der die Teilchen des roten Phosphors noch nicht der
Beschichtungsbehandlung unterworfen wurden und dass diese Auswahl
in Abhängigkeit
von der Gestalt eines IC-Packets,
für das
das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor verwendet wird,
erfolgt.
-
Ein
Zusammenhang zwischen der durchschnittlichen Teilchengröße und der
maximalen Teilchengröße des Flammschutzmittels
auf Basis von rotem Phosphor wird nachstehend ausführlicher
beschrieben. Es existieren wünschenswerte
Teilchengrößebereiche,
in Abhängigkeit
von der Gestalt von IC-Paketen, für welche das Flammschutzmittel
auf Basis von rotem Phosphor verwendet wird. Wenn beispielsweise
das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor für ein flüssiges Dichtungsmaterial
wie CSP (chip size package) oder BGA (ball grind array) oder für ein dünnes Paket,
das Transfer-BGA
genannt wird, verwendet wird, ist es nicht vorteilhaft, wenn Teilchen
vorhanden sind, die größer als
der Abstand zwischen dem Substrat und dem IC-Chip sind und es ist
wünschenswert,
dass die durchschnittliche Teilchengröße 1 bis 10 μm und die
maximale Teilchengröße 20 μm oder weniger,
bestimmt durch die Lasermethode, betragen.
-
Wenn
dagegen das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor für ein relativ
dickes IC-Paket, ein sogenanntes DIP (Dual inline package) oder
ZIP (Zickzack-Inline-Paket) verwendet wird, ist es wünschenswert,
dass die durchschnittliche Teilchengröße 10 bis 50 μm und die
maximale Teilchengröße 150 μm oder weniger
betragen, jeweils bestimmt durch die Lasermethode.
-
Wenn
das Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor für ein dünnes IC-Paket,
ein sogenanntes TSOP (thin small outline package) oder TQFP (thin
quad flat package) verwendet wird, ist es wünschenswert, Teilchen anzuwenden,
die eine Teilchengrößencharakteristik
zwischen den beiden vorstehenden Fällen haben und es ist wünschenswert,
dass die durchschnittliche Teilchengröße 5 bis 20 μm und die
maximale Teilchengröße 45 μm oder weniger
betragen, bestimmt durch die Lasermethode. Die durchschnittliche
Teilchengröße und die
maximale Teilchengröße werden
vorzugsweise erzeugt, indem Teilchen von rotem Phosphor vor der Beschichtungsbehandlung
behandelt werden, jedoch können
die durchschnittliche Teilchengröße und die
maximale Teilchengröße mit Hilfe üblicher
Methoden, wie Klassieren, nach der Herstellung des beschichteten
roten Phosphors erhalten werden.
-
Die
wasserfreie Zinkverbindung, die zur Herstellung des vorstehend beschriebenen
beschichteten roten Phosphors (1) und doppelt beschichteten roten
Phosphors (2) verwendet wird, ist verschieden von einem hydratisierten
Metalloxid. Die hydratisierte Metallverbindung ist speziell eine
Verbindung, die Kristallwasser enthält und durch die allgemeine
Formel MmOn·XH2O
ausgedrückt
wird (wobei M ein Metall darstellt, m und n eine ganze Zahl von
1 oder mehr, die von der Wertigkeit des Metalls abhängen, und
X das enthaltene Kristallwasser bedeuten) oder ein Doppelsalz, welches
die vorstehende Verbindung enthält,
die erfindungsgemäß verwendete
wasserfreie Zinkverbindung ist jedoch eine Zinkverbindung, die kein
Kristallwasser enthält.
Zu Zinkverbindungen, die kein solches Kristallwasser enthalten,
gehören
Zinkoxid, Zinkcarbonat, Zinkorthosilikat etc., die einzeln oder
in Kombination aus zwei oder mehreren verwendet werden. Unter diesen
wird Zinkoxid im Hinblick auf seine Reaktivität mit der eluierten Phosphor-Komponente
speziell bevorzugt.
-
Zinkoxid
wird durch die chemische Formel ZnO gekennzeichnet, Zinkcarbonat
wird durch die chemische Formel ZnCO3 gekennzeichnet
und Zinkorthosilikat wird durch die chemische Formel Zn2SiO4 ausgedrückt.
Im Hinblick auf die physikalischen Eigenschaften der wasserfreien
Zinkverbindung ist es wünschenswert,
dass diese fein ist, so dass eine homogene Verteilung in dem Beschichtungsharz
und Reaktivität
gegenüber
der eluierten Oxosäure
des Phosphors erzielt wird.
-
Im
allgemeinen ist erwünscht,
dass es eine durchschnittliche Teilchengröße von 2 μm oder weniger, vorzugsweise
0,2 bis 1 μm
hat, bestimmt durch die Lasermethode. Die vorstehend genannten wasserfreien Zinkverbindungen
enthalten wünschenswert
keine große
Menge an ionischen Verunreinigungen.
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In
dem Fall, dass das Flammschutzmittel für ein Epoxyharz auf Basis von
rotem Phosphor als Dichtungsmaterial oder dergleichen verwendet
wird, reagieren die wasserfreien Zinkverbindungen gemäß der Erfindung
mit Oxosäuren
des Phosphors, die aus dem beschichteten roten Phosphor eluiert
werden, wobei unlösliche
Phosphatverbindungen gebildet werden, so dass sie das Erzielen von
Feuchtigkeitsbeständigkeit
und elektrischer Verlässlichkeit
bewirken.
-
Das
thermisch härtende
Harz zum Beschichten der Teilchen des roten Phosphors in dem beschichteten
roten Phosphor (1) und in dem doppelt beschichteten roten Phosphor
(2) ist beispielsweise eine Art oder zwei oder mehr Arten, die unter
Phenolharzen, Melaminharzen, Epoxyharzen, ungesättigten Polyesterharzen, Phenol-Formalin-Harzen,
Harnstoff-Formalin-Harzen, Melamin-Formalin-Harzen, Furfurylalkohol-Formalin-Harzen
etc. ausgewählt
ist bzw. sind. Unter diesen sind Phenolharze besonders wünschenswert,
weil sie ausgezeichnete Dispergierbarkeit in und Unverträglichkeit
mit dem Epoxyharz haben.
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Es
ist wünschenswert,
dass der Gehalt des thermisch härtenden
Harzes in dem beschichteten roten Phosphor (1) 0,5 bis 20 Gew.-%,
vorzugsweise 1 bis 10 Gew.-%, beträgt. Es ist außerdem wünschenswert, dass
der Gehalt des thermisch härtenden
Harzes in dem doppelt beschichteten roten Phosphor (2) 0,5 bis 20 Gew.-%,
vorzugsweise 1 bis 10 Gew.-%, beträgt. Dies ist dadurch begründet, dass
dann, wenn der Gehalt weniger als 0,5 Gew.-% ist, der Effekt eines
Harzüberzugs
nicht erhalten werden kann und das Herauslösen der Phosphatkomponente
und die Produktion von gasförmigem
Phosphin ansteigen. Wenn andererseits der Gehalt größer als
20 Gew.-% ist, aggregieren die Teilchen unter einer Erhöhung der
Teilchengröße, die
Redispergierbarkeit im Harz wird schlecht und der flammhemmende
Effekt wird ebenfalls gering.
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Es
ist erwünscht,
dass die wasserfreie Zinkverbindung in dem beschichteten roten Phosphor
(1) oder dem doppelt beschichteten roten Phosphor (2) in einem Verhältnis von
50 bis 1000 Gewichtsteilen, vorzugsweise 100 bis 500 Gewichtsteilen,
auf 100 Gewichtsteile des thermisch härtenden Harzes der vorstehend
genannten beschichteten Komponente, zugemischt wird. Der Grund ist
der, dass die Fähigkeit
zum Binden der eluierten Phosphorsäure-Komponente unzureichend
wird, wenn der Gehalt weniger als 50 Gewichtsteile beträgt und die
Festigkeit des Überzugsharzes
ebenfalls vermindert wird, so dass der Überzugsfilm leicht bricht, so
dass bei der Ausbildung der Epoxyharz-Zusammensetzung für ein Halbleiter-Dichtungsmaterial
IC-Schaltungen durch Oxosäuren
des Phosphors, die aus dem roten Phosphor eluiert werden, bei dem
Verlässlichkeitstest
des Dichtungsmaterials korrodiert werden und die elektrische Verlässlichkeit
vermindert wird. Es ist ferner nicht bevorzugt, dass der genannte
Gehalt größer als
1000 Gewichtsteile ist, weil sonst der Phosphorgehalt in dem gesamten
Flammschutzmittel auf Basis von rotem Phosphor klein wird und der
Flammschutzeffekt verringert wird.
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Erfindungsgemäß kann außerdem ein
wasserfreies Metalloxid, wie Al2O3, ZrO2, TiO2 oder SnO2, zusätzlich zu
der wasserfreien Zinkverbindung in dem als Überzugskomponente verwendeten
thermisch härtenden
Harz vorliegen.
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Erfindungsgemäß ist es
wesentlich, dass dann, wenn der beschichtete rote Phosphor (1) oder
der doppelt beschichtete rote Phosphor (2) in einem Anteil von 10
Gew.-% in Wasser bei 20°C
dispergiert wird, um eine Aufschlämmung zu bilden (danach l0%ige
Aufschlämmung
genannt), dass die l0%ige Aufschlämmung eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat. Es ist nicht wünschenswert,
dass die elektrische Leitfähigkeit
größer als
30 μs/cm
wird, weil die elektrische Verlässlichkeit
sonst die Tendenz zur Verschlechterung hat, wenn der beschichtete
rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete rote Phosphor (2)
als Flammschutzmittel für
das Epoxyharz eines Dichtungsmaterials verwendet wird.
-
Weiterhin
ist es erfindungsgemäß wesentlich,
dass der beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) eine auf 10 ppm oder weniger, vorzugsweise 8 ppm
oder weniger, begrenzte Konzentration an eluierten PO4-Ionen
hat, wenn 80 ml Wasser zu 8 g seines Pulvers gegeben werden und 20
Stunden auf 80°C
erhitzt wird.
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Der
Grund dafür,
warum die Konzentration der eluierten PO4-Ionen auf 10 ppm
oder weniger begrenzt ist, liegt darin, dass es nicht vorteilhaft
ist, wenn die Konzentration der eluierten PO4-Ionen
größer als
10 ppm ist, weil dann, wenn der beschichtete rote Phosphor (1) oder
der doppelt beschichtete rote Phosphor (2) zum Beispiel als Flammschutzmittel
für eine
Halbleiter-Dichtung eingesetzt wird, die auf der Oberfläche der
Halbleitervorrichtung ausgebildete Aluminium-Verdrahtung korrodiert
und die Feuchtigkeitsbeständigkeit
und die elektrische Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials beeinträchtigt werden.
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Unter
den vorstehenden Bedingungen ist es wünschenswert, dass die Konzentration
der PHO3-Ionen im Hinblick auf die Feuchtigkeitsbeständigkeit
und die elektrische Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials so niedrig wie möglich ist
und dass sie 300 ppm oder weniger und vorzugsweise 250 ppm oder
weniger beträgt.
-
Es
ist außerdem
wichtig, dass die Konzentration der eluierten PO4-Ionen
des beschichteten roten Phosphors (1) oder des doppelt beschichteten
roten Phosphors (2) auf 800 ppm oder weniger und vorzugsweise auf
500 ppm oder weniger beschränkt
ist, wenn 80 ml Wasser zu 8 g des beschichteten roten Phosphors gegeben
werden und 20 Stunden auf 150°C
erhitzt wird. Dann kann selbst unter den Bedingungen des hohen Erhitzen
s. auf 150°C
die Konzentration der eluierten PO4-Ionen
erniedrigt werden, so dass die auf der Feuchtigkeitsbeständigkeit
beruhende elektrische Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials unter Hochtemperaturbedingungen
erreicht werden kann.
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Unter
den vorstehend erwähnten
Bedingungen ist es wünschenswert,
dass die Konzentration an PHO3-Ionen im
Hinblick auf die Feuchtigkeitsbeständigkeit und die elektrische
Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials so niedrig wie möglich bis
1500 ppm oder weniger ist.
-
Außerdem ist
es für
den beschichteten roten Phosphor (1) oder den doppelt beschichteten
roten Phosphor (2) gemäß der Erfindung
wichtig, dass dann, wenn 8 g des beschichteten roten Phosphors zu
80 ml Wasser von 20°C
gegeben werden (10%ige Aufschlämmung)
und 20 Stunden bei 80°C
stehen gelassen werden, die elektrische Leitfähigkeit 150μs/cm oder weniger, vorzugsweise
100 μs/cm
oder weniger, beträgt.
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Es
ist nicht vorteilhaft, wenn die elektrische Leitfähigkeit
größer als
150 μs/cm
ist, weil dann, wenn der beschichtete rote Phosphor (1) oder der
doppelt beschichtete rote Phosphor (2) als Flammschutzmittel für eine Halbleiterdichtung
verwendet wird, die auf der Oberfläche der Halbleitervorrichtung
ausgebildete Aluminiumverdrahtung korrodiert und die Feuchtigkeitsbeständigkeit
und elektrische Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials in gleicher Weise, wie vorstehend
beschrieben, ist, verschlechtert werden.
-
Erfindungsgemäß resultiert
der Wert der elektrischen Leitfähigkeit
durch ionische Verbindungen, wie Chlorionen, Bromionen, PO4 –3, PHO3 –2,
NH4 +, SO4 –2, Na+,
K+ und PH2O2-.
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Es
ist außerdem
wichtig, dass eine l0%ige Aufschlämmung des beschichteten roten
Phosphors (1) oder des doppelt beschichteten roten Phosphors (2)
eine elektrische Leitfähigkeit
von 2000 μs/cm
oder darunter, vorzugsweise 800 μs/cm
oder darunter, hat, wenn sie 20 Stunden bei 150°C stehen gelassen wurde. Unter den
Bedingungen des Erhitzens auf eine hohe Temperatur von 150°C kann die
angegebene Konzentration der ionischen Verbindungen verringert werden,
so dass die durch Feuchtigkeitsbeständigkeit bedingte elektrische Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials unter Hochtemperaturbedingungen
erreicht werden kann.
-
Es
ist erwünscht,
dass der beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) eine durchschnittliche Teilchengröße von 1
bis 50 μm
hat, die durch die Lasermethode bestimmt wird. Der Grund ist der,
dass es technisch schwierig und nicht praktisch ist, wie vorstehend
beschrieben wurde, die Teilchen des roten Phosphors zu beschichten,
wenn die durchschnittliche Teilchengröße kleiner als 1 μm ist. Andererseits
ist es nicht wünschenswert,
wenn die durchschnittliche Teilchengröße größer als 50 μm ist, weil die Dispergierbarkeit
in dem Harz verschlechtert wird und die Neigung besteht, dass ein
wünschenswerter flammhemmender
Effekt nicht erzielt werden kann.
-
Es
ist wünschenswert,
die durchschnittliche Teilchengröße und die
maximale Teilchengröße des beschichteten
roten Phosphors (1) oder des doppelt beschichteten roten Phosphors
(2) in einen wünschenswerten
Bereich einzustellen, der, wie vorstehend beschrieben, von dem IC-Paket
abhängt,
für das
der angegebene rote Phosphor (1) oder (2) verwendet wird. Wenn beispielsweise
der beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) für
ein flüssiges
Dichtungsmaterial, wie CSP und BGA, oder ein dünnes Paket, ein sogenanntes
Transfer-BGA, verwendet wird, beträgt vorzugsweise die durchschnittliche Teilchengröße 1 bis
10 μm und
die maximale Teilchengröße 20 μm oder weniger,
bestimmt durch die Lasermethode. Wenn er für ein relativ dickes IC-Paket,
ein sogenanntes DIP oder ZIP, verwendet wird, betragen vorzugsweise
die durchschnittliche Teilchengröße 10 bis
50 μm und
die maximale Teilchengröße 150 μm oder weniger,
bestimmt durch die Lasermethode. Wenn er für ein dünnes IC-Paket, ein sogenanntes
TSOP oder TQFP, verwendet wird, ist vorzugsweise die durchschnittliche
Teilchengröße 5 bis
20 μm und
die maximale Teilchengröße 45 μm oder weniger,
bestimmt durch die Lasermethode.
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Es
ist besonders wünschenswert,
dass der beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) 10 Gew.-% oder weniger, vorzugsweise 5 Gew.-%
oder weniger, an Teilchen einer Teilchengröße von weniger als 1 μm enthält.
-
Es
ist außerdem
erwünscht,
dass der beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete rote
Phosphor (2) nach der Beschichtungsbehandlung einen Gehalt des roten
Phosphors von 65 bis 97 Gew.-% aufweist. Dies ist dadurch begründet, dass
bei einem Gehalt des roten Phosphors von weniger als 65 Gew.-% die
Menge der Überzugskomponente
ansteigt und die Teilchen des roten Phosphors aufgrund eines Bindemittel-Effekts
aggregieren, so dass die Teilchengröße ansteigt und dadurch die
Dispergierbarkeit in dem Dichtungsharz vermindert wird und darüber hinaus
eine Tendenz zur Verminderung des Flammschutz-Effekts besteht.
-
Dagegen
ist ein Gehalt an rotem Phosphor von größer als 97 Gew.-% nicht wünschenswert,
weil die Menge der Überzugskomponente
klein wird, so dass eine große
Menge einer Phosphorsäure-Komponente eluiert
wird und gasförmiges
Phosphin erzeugt wird.
-
Das
erfindungsgemäße Flammschutzmittel
(1) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor kann durch eine Herstellungsmethode
hergestellt werden, die folgende Stufen (A1) bis (A3) umfasst.
- (A1) Stufe des Waschens der Teilchen des roten
Phosphors mit einer Säure
und einer Base.
- (A2) Stufe der Herstellung des beschichteten roten Phosphors
(1) durch Zugabe einer wasserfreien Zinkverbindung und eines synthetischen
Materials eines thermisch härtenden
Harzes oder dessen Prepolymeren zu einer Aufschlämmung, welche die in Wasser
dispergierten gewaschenen Teilchen des roten Phosphors umfasst,
und Durchführen
einer Polymerisationsreaktion, um die Oberfläche der Teilchen des roten Phosphors
mit dem die wasserfreie Zinkverbindung enthaltenden thermisch härtenden
Harz zu beschichten.
- (A3) Eine Stufe, in der das Flammschutzmittel (1) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor durch Waschen des beschichteten roten
Phosphors (1) mit reinem Wasser erhalten wird, so dass die Aufschlämmung, die
10 Gew.-% des beschichteten roten Phosphors (1) dispergiert in Wasser
von 20°C
umfasst, eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat.
-
Beispielsweise
werden die angegebenen Teilchen des roten Phosphors mit einer Säure und
einer Base gewaschen und in Wasser dispergiert, um eine Aufschlämmung von
Teilchen des roten Phosphors herzustellen. Durch Waschen der Teilchen
des roten Phosphors mit einer Säure,
wie Salpetersäure,
wird der pH-Wert der Aufschlämmung
auf 2 oder darunter, vorzugsweise 1,5 oder darunter, eingestellt,
und Metall-Anteile,
wie Eisen, Nickel und Kupfer, welche als Oxidationskatalysator für roten
Phosphor und gelben Phosphor wirken, der chemisch instabil, entzündlich ist
und einen Grund für
die Elution von Phosphorsäureionen
darstellt, werden entfernt.
-
Vor
dem Waschen mit der angegebenen Säure kann eine Base, wie Natriumhydroxid,
zu der Aufschlämmung
der Teilchen des roten Phosphors gegeben werden, um den pH der Aufschlämmung auf
9 oder mehr, vorzugsweise 10 oder mehr, einzustellen, so dass vorher
der größte Anteil
des gelben Phosphors entfernt wird und danach die erwähnte Säurebehandlung
durchgeführt
werden, um die Metall-Anteile, wie Eisen, Nickel und Kupfer und
gelben Phosphor zu entfernen. Es ist wünschenswert, dass die Alkalibehandlung
in Gegenwart eines Oxidationsmittels, wie Wasserstoffperoxid, zur
Oxidation des Phosphin-Gases durchgeführt wird.
-
Es
ist wünschenswert,
dass die wie vorstehend mit einer Säure und einer Base gewaschenen
Teilchen des roten Phosphors weiter mit reinem Wasser gewaschen
werden, um dem pH-Wert der Aufschlämmung der Teilchen des roten
Phosphors auf 2 oder mehr, vorzugsweise 2,5 oder mehr, einzustellen,
so dass die Elution der Phosphorsäureionen aus den gewaschenen
roten Phosphorteilchen vermindert werden kann.
-
Dann
können
die wasserfreie Zinkverbindung und das synthetische Material für das thermisch
härtende
Harz oder dessen Prepolymeres zu der Aufschlämmung des roten Phosphors gegeben
werden, um eine Polymerisationsreaktion unter den Polymerisationsbedingungen
des Monomeren für
das thermisch härtende Harz
durchzuführen
und die Oberfläche
der Teilchen des roten Phosphors zu beschichten, wobei der beschichtete
rote Phosphor (1) erhalten wird. Wenn beispielsweise ein Phenolharz
als Beschichtungsharz verwendet wird, werden 5 bis 30 Gewichtsteile,
vorzugsweise 10 bis 20 Gewichtsteile, der Teilchen des roten Phosphors in
100 Gewichtsteilen Wasser dispergiert, um eine Aufschlämmung von
rotem Phosphor herzustellen. Dann wird zu der Aufschlämmung des
roten Phosphors ein alkalischer Katalysator, wie Ammoniak oder Natriumhydroxid,
oder ein Säurekatalysator,
wie Chlorwasserstoffsäure,
Salpetersäure
oder Schwefelsäure,
zugesetzt. Danach werden 0,25 bis 20 Gewichtsteile, vorzugsweise
0,5 bis 10 Gewichtsteile, der erwähnten pulverförmigen wasserfreien
Zinkverbindung und 0,25 bis 3 Gewichtsteile, vorzugsweise 0,5 bis
2 Gewichtsteile, eines Phenolharzes (bezogen auf den Feststoffgehalt)
zugefügt
und die Polymerisationsreaktion wird eine bis drei Stunden unter
Rühren
bei 60 bis 90°C
durchgeführt.
-
Um
die feinverteilte wasserfreie Zinkverbindung gleichförmig in
der Aufschlämmung
der Teilchen des roten Phosphors zu dispergieren, kann eine Dispergierbehandlung
durch Zugabe eines gewünschten
Dispergiermittels, wie eines Alkalihexametaphosphats oder eines
oberflächenaktiven
Mittels, oder durch eine kraftvolle Scherbehandlung mit Hilfe einer
Kolloidmühle,
eines Homogenisators oder von Ultraschallwellen erforderlichenfalls
durchgeführt
werden.
-
Nach
Beendigung der Reaktion werden eine Filtration, das Waschen mit
Wasser und Trocknen vorgenommen, um das Produkt herzustellen. Erfindungsgemäß ist es
erwünscht,
dass das Waschen mit Wasser vollständig durchgeführt wird,
so dass die elektrische Leitfähigkeit
30 μs/cm
oder weniger, vorzugsweise 20 μs/cm
oder weniger ist, wenn eine 10%ige Aufschlämmung des beschichteten roten
Phosphors (1) hergestellt wird. Eine elektrische Leitfähigkeit
von mehr als 30 μs/cm
ist nicht wünschenswert,
weil sonst bei Verwendung des Produkts als Flammschutzmittel für ein Epoxyharz
für ein
Dichtungsmaterial die elektrische Verlässlichkeit leicht verschlechtert
wird, wie vorstehend beschrieben wurde.
-
Das
erfindungsgemäße Flammschutzmittel
(2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor kann durch eine Her stellungsmethode,
welche die folgenden Stufen (B1) bis (B5) umfasst, hergestellt werden.
- (B1) Eine Stufe des Waschens der Teilchen von
rotem Phosphor mit einer Säure
und einer Base.
- (B2) Eine Stufe, in der die Oberfläche der Teilchen des roten
Phosphors mit einer anorganischen Substanz überzogen werden, die aus einem
Metallhydroxid oder Metalloxid gebildet wird, indem ein wasserlösliches Metallsalz
und ein alkalisches Mittel zu einer Aufschlämmung gegeben werden, welche
eine Dispersion der gewaschenen Teilchen des roten Phosphors in
Wasser darstellt.
- (B3) Eine Stufe des Waschens der Teilchen des roten Phosphors,
die mit der anorganischen Substanz beschichtet sind, mit reinem
Wasser.
- (B4) Eine Stufe, in der doppelt beschichteter roter Phosphor
(2) erhalten wird, indem eine wasserfreie Zinkverbindung und ein
synthetisches Material eines thermisch härtenden Harzes oder dessen
Prepolymeres zu einer Aufschlämmung
gegeben werden, welche die gewaschenen Teilchen des roten Phosphors,
die mit der anorganischen Substanz überzogen sind, in Form einer
Dispersion in Wasser enthält,
und die Polymerisationsreaktion durchgeführt wird, um die Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors, die mit der anorganischen Substanz
beschichtet sind, mit dem thermisch härtenden Harz, welches die wasserfreie
Zinkverbindung enthält,
zu beschichten.
- (B5) Eine Stufe, in der das Flammschutzmittel (2) für ein Epoxyharz
auf Basis von rotem Phosphor erhalten wird, indem der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) mit reinem Wasser gewaschen wird, so dass eine Aufschlämmung, die
eine Dispersion von 10 Gew.-% des doppelt beschichteten roten Phosphors
in Wasser von 20°C
darstellt, eine elektrische Leitfähigkeit von 30 μs/cm oder
weniger aufweist.
-
Das
Verfahren zur Herstellung des doppelt beschichteten roten Phosphors
(2) ist das gleiche wie das des beschichteten roten Phosphors (1),
mit der Ausnahme, dass es die Stufe (B2), in der die Oberfläche der Teilchen
des roten Phosphors mit der aus einem Metallhydroxid oder Metalloxid
gebildeten anorganischen Substanz beschichtet werden und die Stufe
(B3) des Waschens der mit der anorganischen Substanz beschichteten
Teilchen des roten Phosphors mit reinem Wasser enthält.
-
Bei
dem Herstellungsverfahren für
den doppelt beschichteten roten Phosphor (2) ist die zum Beschichten
der Teilchen des roten Phosphors in Stufe (B2) verwendete anorganische
Substanz ein Metallhydroxid oder -oxid mindestens eines der zum
Beispiel unter Zn, Al, Mg, Si, Co, Zr, Ti und Sn ausgewählten Metalle
und die Teilchen des roten Phosphors werden wünschenswert mit einem Metallhydroxid
oder Oxid von Al, Al-Co, Al-Ti oder Al-Zr beschichtet.
-
Die
Menge der zum Beschichten der Teilchen des roten Phosphors verwendeten
anorganischen Substanz ist 0,5 bis 20 Gewichtsteile, vorzugsweise
2 bis 10 Gewichtsteile, auf 100 Gewichtsteile des roten Phosphors.
Es ist nicht wünschenswert,
dass die Menge der anorganischen Substanz weniger als 0,5 Gewichtsteile beträgt, weil
sonst eine große
Menge Phosphin gebildet wird und auch die Menge der eluierten Phosphorsäure ansteigt
und der Überzugseffekt
verschlechtert wird. Wenn die Menge größer als 20 Gewichtsteile ist,
vermindert sich die Flammschutz-Wirkung mit der Verringerung des
P-Gehalts und wenn Hydroxid aufgetragen wird, erhöht sich
die Menge der eluierten Phosphorsäure durch die Reaktion des
Wassergehalts mit P.
-
Der
doppelt beschichtete rote Phosphor (2), der speziell mit Hilfe der
nachstehenden Methode erhalten wird, ist im Hinblick auf die elektrische
Verlässlichkeit
wünschenswert,
weil das Flammschutzmittel für
eine Epoxyharz-Zusammensetzung für
ein Halbleiter-Dichtungsmaterial auf Basis von rotem Phosphor gute
elektrische Verlässlichkeit
hat.
-
Im
einzelnen werden die vorstehend genannten Teilchen des roten Phosphors
mit einer Säure
und einer Base gewaschen und die Teilchen des roten Phosphors werden
unter Bildung einer Aufschlämmung
von rotem Phosphor in Wasser dispergiert. Die Teilchen des roten
Phosphors werden in gleicher Weise gewaschen, wie vorstehend beschrieben
ist (Stufe B1). Ein wasserlösliches
Metallsalz wird zu der durch Dispergieren der Teilchen des roten
Phosphors in Wasser hergestellten Aufschlämmung gegeben, ein alkalisches
Mittel wird zugesetzt, um Metallhydroxid oder -oxid auf der Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors abzulagern, so dass mit einer anorganischen
Substanz beschichteter roter Phosphor hergestellt wird (Stufe B2).
Dann wird das Waschen so durchgeführt, dass eine l0%ige Aufschlämmung des
erhaltenen, mit einer anorganischen Substanz überzogenen roten Phosphors
eine elektrische Leitfähigkeit
von 1000 μs/cm
oder weniger hat (Stufe B3). Die wasserfreie Zinkverbindung und
das synthetische Material für
das thermisch härtende
Harz oder dessen Prepolymer werden zu der Aufschlämmung gegeben,
die eine wässrige
Dispersion des roten Phosphors, der mit der anorganischen Substanz
beschichtet und gewaschen wurde, enthält und die Polymerisationsreaktion
wird unter den Polymerisationsbedingungen für das Monomere des thermisch
härtenden
Harzes durchgeführt,
um die Oberfläche
der Teilchen des roten Phosphors, die mit der anorganischen Substanz überzogen sind,
mit dem die wasserfreie Zinkverbindung enthaltenden thermisch härtenden
Harz zu beschichten, wobei der doppelt beschichtete rote Phosphor
(2) hergestellt wird (Stufe B4). Dann wird so gewaschen, dass eine l0%ige
Aufschlämmung
des erhaltenen doppelt beschichteten roten Phosphors (2) eine elektrische
Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hat (Stufe B5). Somit kann der doppelt beschichtete
rote Phosphor (2) durch aufeinanderfolgendes Durchführen der
vorstehenden Stufen hergestellt werden.
-
So
werden im einzelnen in Stufe B2 5 bis 30 Gewichtsteile, vorzugsweise
10 bis 20 Gewichtsteile, der Teilchen von rotem Phosphor in 100
Gewichteilen Wasser dispergiert, wobei die Aufschlämmung des
roten Phosphors hergestellt wird. Danach werden 0,05 bis 3 Gewichtsteile,
vorzugsweise 0,2 bis 2 Gewichtsteile, eines wasserlöslichen
Metallsalzes, das mindestens eines der unter Si, Al, Mg, Ti, Zn,
Co und Zr ausgewählten ist,
der Aufschlämmung
von rotem Phosphor zugesetzt, mindestens ein alkalisches Mittel,
das unter anorganischen alkalischen Mitteln, wie gasförmigem Ammoniak,
wässrigem
Ammoniak, Ätznatron, Ätzkali,
NaHCO3, Na2CO3, K2CO3,
KHCO3 und Ca(OH)2 ausgewählt ist,
oder ein organisches alkalisches Mittel, wie Äthanolamin, zugefügt, um dem
PH der Aufschlämmung
auf 6 bis 10 einzustellen und damit das Metallsalz auf der Oberfläche der
Teilchen des roten Phosphors abzuscheiden.
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Bei
dem vorstehenden Herstellungsverfahren kann Aluminiumhydroxid auf
die Teilchen des roten Phosphors aufgetragen werden, indem einfach
Polyaluminiumchlorid oder Aluminiumsulfat mit Alkali neutralisiert
wird.
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Nach
Beendigung der Stufe B2 wird der mit einer anorganischen Substanz
beschichtete rote Phosphor abfiltriert, um ihn von der Reaktionslösung abzutrennen,
und wird in der nächsten
Stufe B3 gewaschen.
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Die
Stufe B3 ist eine Stufe zum Waschen des mit der anorganischen Substanz
beschichteten roten Phosphors, der in Stufe B2 erhalten wurde, so
dass die elektrische Leitfähigkeit
einer l0%igen Aufschlämmung des
mit der anorganischen Substanz beschichteten roten Phosphors 1000 μs/cm oder
weniger, vorzugsweise 500 μs/cm
oder weniger, ist.
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Zu
den Gründen
für das
Einstellen der elektrischen Leitfähigkeit des mit der anorganischen
Substanz beschichteten gewaschenen roten Phosphors innerhalb der
vorstehend angegebenen Bereiche in Stufe B3 gehören die, dass dann, wenn die
elektrische Leitfähigkeit
1000 μs/cm überschreitet,
es schwierig wird, die elektrische Leitfähigkeit des angestrebten, doppelt
beschichteten roten Phosphors (2) durch das Waschen in Stufe B5
auf 30 μm/cm
oder darunter einzustellen, dass eine große Menge an ionischen Verunreinigungen
in der Polymerisationsreaktion in Stufe B4 in das Überzugsharz
aufgenommen wird und dass es schwierig ist, die ionischen Verunreinigungen
durch die Waschbehandlung in Stufe B5 aus dem Überzugsharz zu entfernen. Außerdem wird
die elektrische Leitfähigkeit
zwangsweise erniedrigt, wenn das Waschen nur in Stufe B5 durchgeführt wird,
ohne dass in Stufe B3 gewaschen wird, so dass wiederholtes übermäßiges Waschen
den Überzugsfilm
auf der Oberfläche
der Teilchen des roten Phosphors aufbricht und die eluierte Menge
einer Oxosäure des
Phosphors erhöht
wird. Speziell dann, wenn das Material als Flammschutzmittel für eine Epoxyharz-Zusammensetzung
eines Dichtungsmaterial verwendet wird, welches elektrische Verlässlichkeit
haben muss, ist dies nicht wünschenswert,
weil die in das Harz aufgenommenen ionischen Verunreinigungen und
das Herauslösen
von Oxosäuren
des Phosphors die elektrische Verlässlichkeit verschlechtern.
Die Methode des Waschens des roten Phosphors in Stufe B3 unterliegt
keiner speziellen Beschränkung,
es ist jedoch wünschenswert,
das Waschen mit Hilfe von Wiederaufschlämmen oder dergleichen durchzuführen.
-
In
Stufe B4 werden eine wasserfreie Zinkverbindung und das synthetische
Ausgangsmaterial für
das thermisch härtende
Harz oder dessen Prepolymer zu der Aufschlämmung des in Stufe B3 mit der
anorganischen Substanz beschichteten roten Phosphors gegeben und
das thermisch härtende
Harz, welches die wasserfreie Zinkverbindung enthält, wird
auf die Oberfläche
der mit anorganischer Substanz überzogenen
Teilchen des roten Phosphors durch die Polymerisationsreaktion aufgetragen,
die unter den Polymerisationsbedingungen des Monomeren für das thermisch
härtende
Harz durchgeführt
wird. Wenn beispielsweise als Überzugsharz
ein Phenolharz verwendet wird, kann die Polymerisationsreaktion
durch Dispergieren von 5 bis 30 Gewichtsteilen, vorzugsweise 10
bis 20 Gewichtsteilen, des gewaschenen und mit der anorganischen
Substanz in Stufe B3 beschichteten roten Phosphors in 100 Gewichtsteilen
Wasser, unter Bildung einer Aufschlämmung von rotem Phosphor, Zugabe
eines Alkalikatalysators, wie Ammoniak oder Natriumhydroxid, oder
eines Säurekatalysators,
wie Chlorwasserstoffsäure,
Salpetersäure
oder Schwefelsäure,
zu der Aufschlämmung
des roten Phosphors, danach Zugabe von 0,25 bis 20 Gewichtsteilen,
vorzugsweise 0,5 bis 10 Gewichtsteilen, einer pulverförmigen wasserfreien
Zinkverbindung und 0,25 bis 3 Gewichtsteilen, vorzugsweise 0,5 bis
2 Gewichtsteilen, eines Phenolharzes (als Feststoffgehalt) und Rühren bei
60 bis 90°C
während
einer bis drei Stunden, durchgeführt
werden.
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Um
die feinverteilte wasserfreie Zinkverbindung gleichförmig in
der Aufschlämmung
des mit der anorganischen Substanz beschichteten roten Phosphors
zu dispergieren, kann ein geeignetes Dispergiermittel, wie Alkalihexametaphosphat,
oder ein oberflächenaktives
Mittel zugesetzt werden oder die Dispergierbehandlung kann mit Hilfe
einer Dispergierbehandlung unter hoher Scherkraft mit Hilfe einer
Kolloidmühle,
eines Homogenisators oder von Ultraschallwellen oder dergleichen,
durchgeführt
werden, falls dies erforderlich ist.
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Nach
Beendigung der Reaktion wird der doppelt beschichtete rote Phosphor
(2), dessen Teilchenoberfläche
mit der anorganischen Substanz beschichtet und weiterhin mit dem
die wasserfreie Zinkverbindung enthaltenden, thermisch härten den
Harz beschichtet ist, von der Reaktionsflüssigkeit abgetrennt und danach
in Stufe B5 gewaschen.
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Die
Stufe B5 ist eine Stufe zum Waschen des vorstehend erhaltenen, doppelt
beschichteten roten Phosphors (2), in der Weise, dass eine 10%ige
Aufschlämmung
des doppelt beschichteten roten Phosphors (2) eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger, vorzugsweise 20 μs/cm
oder weniger, hat.
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Der
Grund für
das Einstellen der elektrischen Leitfähigkeit des gewaschenen roten
Phosphors innerhalb der angegebenen Bereiche in Stufe B5 ist der,
dass eine elektrische Leitfähigkeit
von mehr als 30 μs/cm nicht
wünschenswert
ist, weil die Tendenz einer schlechten elektrischen Leitfähigkeit
besteht, wenn der doppelt beschichtete rote Phosphor (2) als Flammschutzmittel
für ein
Epoxyharz für
ein Dichtungsmaterial verwendet wird, wie vorstehend beschrieben
wurde.
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In
der angegebenen Stufe B5 ist die Methode des Waschens des doppelt
beschichteten roten Phosphors nicht speziell beschränkt, es
ist jedoch besonders wünschenswert,
das Waschen durch Wiederaufschlämmen
oder dergleichen vorzunehmen.
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Nach
Beendigung des Waschens wird der doppelt beschichtete rote Phosphor
(2) in einer Inertgasatmosphäre,
wie gasförmigem
Stickstoff, bei 60 bis 160°C
während
1 bis 24 Stunden vollständig
getrocknet, so dass ein Produkt erhalten wird, dessen Wassergehalt
vollständig
entfernt ist.
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Erfindungsgemäß kann der
beschichtete rote Phosphor (1) oder der doppelt beschichtete rote
Phosphor (2) als Mischpulver mit einem Metalloxid, Metallhydroxid,
Metallcarbonat, Metallphosphat oder einem anorganischen Ionenaustauscher,
das bzw. der mit einer Phosphorsäurekomponente reagiert
und diese als unlösliches
oder schlecht lösliches
Phosphat bindet, verwendet werden.
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Das
vorher erwähnte
Metalloxid, Metallhydroxid, Metallcarbonat oder Metallphosphat ist
ein oder zwei oder mehr Verbindungen aus der Gruppe der Oxide, Hydroxide,
Carbonate oder Orthophosphate, die beispielsweise unter solchen
von Zn, Mg, Ti, Ca, Al, Co, Zr und Sn ausgewählt sind. Insbesondere handelt
es sich um Zinkcarbonat, Zinkhydroxid, Zinkorthosilikat, Magnesiumoxid,
Magnesiumhydroxid, Titanoxid, Calciumoxid, Calciumhydroxid, Calciumcarbonat,
Calciumphosphat, tertiäres
Calciumphosphat, Hydroxylapatit, Calciumsilikat, Aluminiumoxid,
Aluminiumhydroxid, Kobaltoxid, Kobalthydroxid, Zirkoniumoxid, Zirkoniumhydroxid, Zinnoxid
und Zinnhydroxid und diese werden einzeln oder als Kombination aus
zwei oder mehr Verbindungen verwendet. Diese Verbindungen können in
Form eines Hydrats oder einer wasserfreien Verbindung vorliegen.
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Wenn
sie Hydrate sind und zum Formen mit einem Epoxyharz vermischt werden,
wird Wasser bei der Formtemperatur gebildet und das gebildete Wasser
reagiert mit dem roten Phosphor unter Bildung von Phosphin. Daher
besteht die Tendenz, dass Nachteile auftreten. Es ist daher erwünscht, dass
diese Verbindungen wasserfrei (Anhydride) sind.
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Beispiele
für anorganische
Ionenaustauscher können
anorganische Anionenaustauscher, wie Anionenaustauscher auf Basis
von Hydrocalmit, anorganische Anionenaustauscher auf Basis von Hydrotalcit,
BiOx(OH)y(NO3)z(X=0,9 bis 1,1,
Y=0,6 bis 0, 8, Z=0,2 bis 0,4), Mg4,3Al2(OH)12,6CO3·3,5H2O, Sb2O5·2H2O, SbSiVBiwOx(OH)y(NO3)z·nH2O(V=0,1 bis 0,3, w=1,5 bis 1,9, X=4,1 bis
4,5, Y=1,2 bis 1,6, Z=0,2 bis 0,3, n=1 bis 2), etc. sein.
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Es
ist erwünscht,
dass das Metalloxid, Metallhydroxid, Metallcarbonat, Metallphosphat
oder der anorganische Ionen austauscher im Hinblick auf die homogene
Dispergierbarkeit zusammen mit dem angegebenen beschichteten roten
Phosphor und die Reaktivität
mit der eluierten Oxosäure
des Phosphors fein verteilt ist, und die durchschnittliche Teilchengröße ist im
allgemeinen 10 μm
oder weniger und vorzugsweise 0,2 bis 5 μm. Das vorstehend erwähnte Oxid
oder Hydroxid, das unter Zn, Mg, Ti, Ca, Al, Co, Zr und Sn ausgewählt ist, ist
wünschenswerter
Weise nicht oberflächenbehandelt
im Hinblick auf die Reaktivität
mit Phosphorsäureionen,
so dass es eine Komponente darstellt, die mit dem eluierten Phosphorsäureion reagiert.
-
Das
Mengenverhältnis
eines solchen Metalloxids, Metallhydroxids, Metallcarbonats, Metallphosphats oder
anorganischen Ionenaustauschers zu dem beschichteten roten Phosphor
beträgt
vorzugsweise 0,1 bis 20 Gewichtsteile auf 100 Gewichtsteile des
beschichteten roten Phosphors.
-
Wenn
das Mischpulver aus dem beschichteten roten Phosphor (1) oder dem
doppelt beschichteten roten Phosphor (2) und dem Metalloxid, Metallhydroxid,
Metallcarbonat, Metallphosphat oder anorganischem Ionenaustauscher
hergestellt wird, ist es erwünscht,
die elektrische Leitfähigkeit
des Mischpulvers zusätzlich zu
der des beschichteten roten Phosphors allein einzustellen. Außerdem ist
erwünscht,
dass die Konzentration der eluierten PO4-Ionen,
wenn 80 ml Wasser zu 8 g des Mischpulvers gegeben werden und 20
Stunden auf 80°C
erhitzt wird, 10 ppm oder weniger, vorzugsweise 8 ppm oder weniger,
beträgt,
und dass die elektrische Leitfähigkeit
nach 20-stündigem
Stehen lassen bei 80°C
150 μs/cm
oder weniger, vorzugsweise 10 bis 100 μs/cm, beträgt. Der Grund für die Begrenzung
der Konzentration der eluierten PO4-Ionen
auf 10 ppm oder weniger liegt darin, dass eine größere Konzentration
der eluierten PO4-Ionen als die oben genannten
10 ppm nicht vorteilhaft ist, weil bei Verwendung des Mischpulvers
als Flammschutzmittel beispielsweise zum Abdichten eines Halbleiters
die auf der Oberfläche
der Halb leitervorrichtung ausgebildete Aluminium-Verdrahtung korrodiert
und die auf der Feuchtigkeitsbeständigkeit beruhende elektrische
Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials verschlechtert wird.
-
Außerdem ist
es unter dem Gesichtspunkt der Feuchtigkeitsbeständigkeit und elektrischen Verlässlichkeit
des Halbleiter-Dichtungsmaterials erwünscht, dass unter den vorstehenden
Bedingungen die PHO3-Ionen-Konzentration
so niedrig wie möglich
ist und 300 ppm oder weniger, vorzugsweise 250 ppm oder weniger, beträgt.
-
Es
ist nicht wünschenswert,
wenn die elektrische Leitfähigkeit
größer als
150 μs/cm
ist, weil bei der Verwendung des Mischpulver als Flammschutzmittel
für die
Abdichtung eines Halbleiters die auf der Oberfläche der Halbleitervorrichtung
ausgebildete Aluminiumverdrahtung in gleicher Weise wie vorstehend
korrodiert und die Feuchtigkeitsbeständigkeit und die elektrische
Verlässlichkeit
des Halbleitermaterials verschlechtert wird
-
Die
vorliegende Erfindung wird nachstehend ausführlich unter Bezugnahme auf
die folgenden Beispiele beschrieben, es ist jedoch festzuhalten,
dass die Erfindung nicht auf die Beispiele beschränkt sein
soll.
-
Beispiele 1-5 und Vergleichsbeispiele
1-5
-
Es
werden Beispiele und Vergleichsbeispiele für Flammschutzmittel (1) und
(2) für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor beschrieben.
-
Herstellung von beschichtetem
rotem Phosphor (1)
-
Beschichteter
roter Phosphor Probe A
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 20 μm, einer maximalen Teilchengröße von 45 μm und 2 Gew.-%
Teilchen einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 525 g Wasser wurden zu 210 g des vorbereiteten roten
Phosphors gegeben, um eine Aufschlämmung von rotem Phosphor herzustellen
und 0,7 ml einer wässrigen
Lösung von
Wasserstoffperoxid wurde zugesetzt. Dann wurde eine wässrige Lösung von
Natriumhydroxid zugegeben, um den pH-Wert auf 10 einzustellen, und
die Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C
gehalten. Nun wurde Salpetersäure
zugefügt,
um den pH-Wert auf 1 einzustellen und die Aufschlämmung wurde
4 Stunden bei 80°C gehalten,
filtriert und mit Wasser gewaschen, bis die Aufschlämmung einen
pH-Wert von 2,5 hatte.
-
20
g des gewaschenen roten Phosphors wurden in 180 g reinem Wasser
dispergiert, wässriges
Ammoniak wurde unter Rühren
zugesetzt, um den pH-Wert auf 10 einzustellen. Dann wurden 2 g Zinkoxid
(Handelsname "GINREY", hergestellt von
TOHO ZINC), das eine durchschnittliche Teilchengröße von 0,3 μm hatte, und
3,8 g eines Phenolharzes (Prepolymer "PHENOLITE TD2388", hergestellt von DAINIPPON INK AND CHEMICALS,
Feststoffgehalt 26 %) zugesetzt, wonach 10 Minuten lang gerührt wurde
und Chlorwasserstoffsäure
wurde eingetropft, um den pH-Wert auf 6 bis 6,5 einzustellen.
-
Danach
wurde 0,3 g Ammoniumchlorid zugefügt und bei 90°C während einer
Stunde umgesetzt. Nach dem Abkühlen
wurde das Reaktionsgemisch filtriert und mit reinem Wasser gewaschen,
so dass die 10%ige Aufschlämmung
von 20°C
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hatte. Der Filterkuchen wurde unter leichtem Zerkleinern
im Vakuum getrocknet, während
2 Stunden bei 140°C
gebrannt, abgekühlt und durch
ein 100-Maschen-Sieb gesiebt, wobei Probe A des roten Phosphors
erhalten wurde.
-
Der
beschichtete rote Phosphor hatte einen Phosphorgehalt von 87 %.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe B
-
Der
beschichtete rote Phosphor, Probe B (dessen 10%ige Aufschlämmung hatte
eine elektrische Leitfähigkeit
von 16 μs/cm)
wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung der
Probe A des beschichteten roten Phosphors hergestellt, mit der Ausnahme,
dass 3 g Zinkoxid zugesetzt wurden.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe C
-
Eine
Probe C von beschichtetem rotem Phosphor (dessen 10%ige Aufschlämmung hatte
eine elektrische Leitfähigkeit
von 19 μs/cm)
wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung der
Probe A des beschichteten roten Phosphors h hergestellt, mit der
Ausnahme, dass 4 g Zinkoxid zugesetzt wurden.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe D
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 5,5 μm, einer maximalen Teilchengröße von 20 μm und 2 Gew.-%
an Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 525 g Wasser wurden zu 210 g des so hergestellten roten
Phosphors gegeben, wobei eine Aufschlämmung von rotem Phosphor gebildet
wurde und 0,7 ml einer wässrigen
Lösung
von Wasserstoffperoxid wurde zuge fügt. Dann wurde eine wässrige Lösung von
Natriumhydroxid zugegeben, um den pH-Wert auf 10 einzustellen und
die Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C gehalten.
Danach wurde Salpetersäure
zugefügt,
um den pH-Wert auf 1 einzustellen und die Aufschlämmung wurde
4 Stunden bei 80°C
behandelt, filtriert und mit Wasser gewaschen, bis die Aufschlämmung einen pH-Wert
von 2,5 hatte.
-
20
g des roten Phosphors wurden in 180 g reinem Wasser dispergiert,
wässriges
Ammoniak wurde unter Rühren
zur Einstellung des pH-Werts auf 10 zugesetzt. Dann wurden 2 g Zinkoxid
(Handelsname "GINREY", hergestellt von
TOHO ZINC) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,3 μm und 3,8
g eines Phenolharzes (ein Prepolymeres "PHENOLITE TD2388", hergestellt von DAINIPPON INK AND
CHEMICALS, Feststoffgehalt 26 %) zugegeben, wonach 10 Minuten lang
gerührt
wurde, und dann wurde Chlorwasserstoffsäure eingetropft, um den pH-Wert
auf 6 bis 6,5 einzustellen.
-
Dann
wurde 0,3 g Ammoniumchlorid zugefügt und eine Stunde lang bei
90°C umgesetzt.
Nach dem Abkühlen
wurde das Reaktionsgemisch filtriert und gewaschen, so dass eine
l0%ige Aufschlämmung
bei 20°C eine
elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hatte. Die gewaschene Aufschlämmung wurde durch ein Sieb
von 20 μm
gegeben, das gesiebte Produkt wurde filtriert und der Filterkuchen
wurde im Vakuum getrocknet, während
er leicht verteilt wurde. Dann wurde ein Nachkalzinieren bei 140°C während 2
Stunden durchgeführt,
das gebildete Produkt wurde abkühlen
gelassen und durch ein 100-Maschen-Sieb gegeben, wobei die Probe
D von beschichtetem rotem Phosphor erhalten wurde.
-
Der
beschichtete rote Phosphor hatte einen P-Gehalt von 87 %. Der getrocknete
rote Phosphor wurde in Wasser dispergiert, der auf dem 20 μm-Sieb verbliebene
Teil wurde mit 0,01 % oder weniger bestimmt.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe E
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 20 μm, einer maximalen Teilchengröße von 45 μm und 2 Gew.-%
Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 525 g Wasser wurden zu 210 g des vorbereiteten roten Phosphors
gegeben, um eine Aufschlämmung
von rotem Phosphor auszubilden und 0,7 ml einer wässrigen Lösung von
Wasserstoffperoxid wurde zugefügt.
Dann wurde eine wässrige
Lösung
von Natriumhydroxid zugegeben, um den pH-Wert auf 10 einzustellen
und die Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C
gehalten. Salpetersäure
wurde dann zugefügt,
um den pH-Wert auf 1 einzustellen, die Aufschlämmung wurde 4 Stunden bei 80°C behandelt,
filtriert und mit Wasser gewaschen, bis die Aufschlämmung einen
Wert von 2,5 hatte.
-
20
g des gewaschenen roten Phosphors wurden in 180 g reinem Wasser
dispergiert und unter Rühren wurde
wässriges
Ammoniak zugesetzt, um den pH-Wert auf 10 einzustellen. Dann wurden
2 g Zinkoxid (Handelsname "GINREY", hergestellt von
TOHO ZINC) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,3 μm, 1 g Titandioxid
(Handelsname "TIPAQUE", hergestellt von
ISHIHARA SANGYO) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,2 μm und 3,8
g eines Phenolharzes (Prepolymeres, Handelsname "PHENOLITE TD2388", hergestellt von DAINIPPON INK AND
CHEMICALS, Feststoffgehalt 26 %) zugegeben, das Gemisch 10 Minuten
lang gerührt
und Chlorwasserstoffsäure
wurde eingetropft, um den pH-Wert auf 6 bis 6,5 einzustellen. Dann
wurde 0,3 g Ammoniumchlorid zugesetzt und eine Stunde bei 90°C umgesetzt.
-
Nach
dem Abkühlen
wurde das Reaktionsprodukt abfiltriert und mit reinem Wasser gewaschen,
so dass eine l0%ige Aufschlämmung
eine elektrische Leitfähigkeit
von 30 μs/cm
oder weniger hatte, wobei beschichteter roter Phosphor, Probe E,
erhalten wurde.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe F
-
Eine
Probe F von beschichtetem rotem Phosphor (deren l0%ige Aufschlämmung hatte
eine elektrische Leitfähigkeit
von 103 μs/cm)
wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung der
Probe A des beschichteten roten Phosphors hergestellt, mit der Ausnahme,
dass das Waschen der Aufschlämmung
unterbrochen wurde, wenn die elektrische Leitfähigkeit einen Wert von 100 μs/cm angenommen
hatte.
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe G
-
Die
Probe G von beschichtetem rotem Phosphor (deren 10%ige Aufschlämmung eine
elektrische Leitfähigkeit
von 21 μs/cm
hatte), wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung
der Probe A von beschichtetem rotem Phosphor hergestellt, mit der
Ausnahme, dass Zinkoxid durch Calciumcarbonat ersetzt wurde (durchschnittliche
Teilchengröße 2,1 μm).
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe H
-
Eine
Probe H von beschichtetem rotem Phosphor (deren 10%ige Aufschlämmung eine
elektrische Leitfähigkeit
von 26 μs/cm
hatte), wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung
der Probe A des beschichteten roten Phosphors hergestellt, mit der
Ausnahme, dass Zinkoxid durch Aluminiumhydroxid ersetzt wurde (hergestellt
von SHOWA DENKO, "HIGILITE", durchschnittliche
Teilchengröße 1,0 μm).
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Beschichteter roter Phosphor,
Probe I
-
Eine
Probe I von beschichtetem rotem Phosphor (deren l0%ige Aufschlämmung eine
elektrische Leitfähigkeit
von 23 μs/cm
hatte), wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung
der Probe A des beschichteten roten Phosphors hergestellt, mit der
Ausnahme, dass Zinkoxid durch Zinkhydroxid ersetzt wurde (hergestellt
von JUNSEI CHEMICAL, durchschnittliche Teilchengröße 0,9 μm).
-
Beschichteter roter Phosphor,
Probe J
-
Eine
Probe J von beschichtetem rotem Phosphor (deren 10%ige Aufschlämmung eine
elektrische Leitfähigkeit
von 18 μs/cm
hatte) wurde nach der gleichen Verfahrensweise wie zur Herstellung
der Probe A von beschichtetem rotem Phosphor hergestellt, mit der
Ausnahme, dass kein Zinkoxid zugesetzt wurde.
-
Messung von
eluierten Ionen
-
Jeweils
8 g der vorstehend hergestellten Proben von beschichtetem rotem
Phosphor A bis J wurde in eine 100 ml-Polypropylenflasche gegeben,
80 ml destilliertes Wasser wurde zugesetzt und die Flasche wurde luftdicht
verschlossen.
-
Jede
Probe wurde für
die Extraktion 20 Stunden lang mit Hilfe eines Umlufttrockners mit
konstanter Temperatur von 80°C
erhitzt, dann aus dem Trockner entnommen und innerhalb von 10 Minuten
auf Normaltemperatur abgekühlt.
Die überstehende
Flüssigkeit
wurde filtriert und die Konzentration der eluierten PO4-Ionen
und die Konzentration der eluierten PHO3-Ionen
in dem Filtrat wurde mit Hilfe von Ionenchromatographie gemessen.
-
Die
Konzentration der eluierten PO4-Ionen und
der eluierten PHO3-Ionen wurden auch nach
einer 20 stündigen
Wärmebehandlung
bei 150°C
gemessen.
-
Die
Chlorionenkonzentration wurde mit Hilfe der Ionenchromatographie
bestimmt.
-
Die Ergebnisse sind in
Tabellen 1 bis 4 gezeigt.
-
In
den Tabellen zeigt N.B an, dass die Konzentration der eluierten
PO4-Ionen 0,09 ppm oder weniger ist.
-
Messung der
elektrischen Leitfähigkeit
-
An
den zur Messung der eluierten Ionen verwendeten Filtraten wurde
die elektrische Leitfähigkeit
bei 20°C
gemessen. Um die elektrische Leitfähigkeit zu messen, wurde die
Testflüssigkeit
zur Bestimmung der eluierten Ionen mit Hilfe eines Messgeräts für die elektrische
Leitfähigkeit
gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabellen 1 bis 4 gezeigt.
-
Messung der
Teilchengröße
-
Die
durchschnittliche Teilchengröße wurde
mit Hilfe einer Messvorrichtung für die Teilchengrößen-Verteilung
der Bezeichnung Microtrack (Typ X100) nach der Lasermethode bestimmt.
Die maximale Teilchengröße wurde
mit Hilfe eines analytischen Siebs gemessen. Tabelle
1
-
-
-
-
(Anmerkungen)
-
- (1) In den Tabellen zeigen *1 und *2 jeweils die Messbedingungen
von 80°C × 20 h bzw.
150°C × 20 h an.
- (2) Elektrische Leitfähigkeit
*3 bedeutet, dass die elektrische Leitfähigkeit bestimmt wurde, nachdem
die Probe des beschichteten roten Phosphors als 10%ge Aufschlämmung bei
29°C zubereitet
worden war.
- (3) Elektrische Leitfähigkeit
*1, *2 zeigt die Leitfähigkeit
der Filtrate an, die dem Test auf eluierte Ionen unterworfen worden
waren.
-
Danach
wurden 30 Gew.-Teile des wie vorstehend hergestellten beschichteten
roten Phosphors, 35 Gewichtsteile Aluminiumhydroxid (SUMITOMO CHEMICAL,
CL-310, durchschnittliche Teilchengröße 11 μm) als Flammschutzmittel auf
anorgani scher Basis und 35 Gewichtsteile eines Phenolharzes vom
Novolac-Typ (Härtungsmittel,
SUMITOMO BAKELITE, PR53195) gleichförmig gemischt, um die Grundmischungen
herzustellen.
-
Bewertung
als Halbleiter-Dichtungsmaterial Epoxyharz-Zusammensetzung
für ein
Halbleiter-Dichtungsmaterial (Gewichtsteile)
Epoxyharz
(YUKA SHELL, YX-4000H) Phenolharz | 113,98
Teile |
(GUN-EI
CHEMICAL INDUSTRY, PSM4261) Triphenylphosphin | 61,50
Teile |
(HOKKO
CHEMICAL INDUSTRY) | 2,26
Teile |
OP-Wachs
(HOECHST) | 1,13
Teile |
Ruß (MITSUBISHI
CHEMISTRY) Gesinterte kugelige Kieselsäure (NIPPON CHEMICAL INDUSTRIAL, | 1,13
Teile |
"SILSTAR M2430") | 820,0
Teile |
Grundmischung | 33,3
Teile |
-
Die
obigen Komponenten der Epoxyharz-Zusammensetzung wurden bei Normaltemperatur
mit Hilfe eines Mischers gemischt, und weitere 7 Minuten mit Hilfe
einer biaxialen geheizten Walze bei 80 bis 85°C gemischt. Das Ablösen, Abkühlen und
die Pulverisation wurden vorgenommen, wobei ein Epoxyharz-Dichtungsmaterial
erhalten wurde.
-
Unter
Verwendung des so hergestellten Dichtungsmaterials wurde der Spiralfluss
mit Hilfe einer Spritzpress-Vorrichtung unter den Bedingungen einer
Formtemperatur von 175°C,
einem Druck des Formharzes von 7 MPa (70 kg/cm2) und bei einer Formzeit
von 120 Sekunden gemessen. Proben einer Größe von 10 mm × 100 mm × 3 mm Dicke
(etwa 5 g) wurden auch als Proben für den Elutionstest geformt.
Außerdem
wurden Proben von 12,5 mm × 125
mm × 1
mm Dicke für
den Brandtest geformt. Diese Proben wurden dem Brandtest nach UL-94
sowie dem Test der Bildung von eluierten Ionen unter Erhitzen durch
PCT getestet.
-
Die Ergebnisse sind in
Tabellen 5 und 6 gezeigt.
-
Die
Feuchtigkeitsbeständigkeit
und Hochtemperatur-Lagerbeständigkeit
wurden ebenfalls geprüft
und die Ergebnisse sind in Tabellen 7 und 8 gezeigt.
-
-
-
(Anmerkung)
In den obigen Tabellen geben *1 bzw. *2 die Messbedingungen von
80°C × 20 h und 150°C × 20 h an.
-
Brandtest nach UL-94
-
Die
verformten Proben wurden mit Hilfe eines UL-94-Brandprüfgeräts, hergestellt
von SUGA TEST INSTRUMENTS, im Hinblick auf vertikales Brennen geprüft und die
Werte V-0 bis V2 wurden in Abhängigkeit
von der Brenndauer und der Tatsache, ob Tropfen stattfand oder nicht,
bewertet.
-
Test
der Bildung von eluierten Ionen durch Wärme mit Hilfe von PCT
-
Eine
geformte Probe und 80 g destilliertes Wasser wurden in einen druckbeständigen Reaktor
aus Teflon mit einem inneren Fassungsvermögen von 100 ml gegeben, 20
Stunden auf 150°C
erhitzt und abgekühlt. Die
Konzentration der eluierten Ionen und die elektrische Leitfähigkeit
der Lösung
wurden gemessen. Der Test wurde außerdem unter Heizbedingungen
von 80°C × 20 Stunden
durchgeführt.
-
In
Tabellen 5 und 6 geben *1 und *2 die Messbedingungen von 80°C × 20 h bzw.
150°C × 20 h an.
-
Prüfung der
Feuchtigkeitsbeständigkeit
-
Ein
80-Pin-Flachpaket mit den Außenabmessungen
19 × 14 × 2,7 mm,
auf der ein 6 × 6 × 0,4 mm großer Testsiliziumchip
mit einer darauf befindlichen Aluminium-Leitung einer Breite von
10 μm und
einer Dicke von 1 μm
angeordnet war, wurde durch Spritzpressen des vorstehend angegebenen
Epoxyharz-Dichtungsmaterials
hergestellt. Das Paket wurde vorbehandelt, befeuchtet und die Anzahl
der durch Korrosion der Aluminium-Leitungen verursachten Leitungsbrüche und
so verursachtes Versagen wurde zu vorbestimmten Zeitabständen geprüft. Das
Flachpaket wurde durch Versiegeln mit dem Dichtungsmaterial mit
Hilfe der Spritzpresse bei 180 ± 3°C, 6,9 ± 0,17 MPa während 90
Sekunden und Härten
bei 180 ± 5°C während fünf Stunden
hergestellt. Durch die Vorbehandlung wurde das Flachpaket bei 85°C, 25 % relativer
Feuchte, 72 Stunden lang befeuchtet und einer Dampfphasen-Rückflussbehandlung
bei 215°C
während
90 Sekunden unterworfen. Der Befeuchtungstest wurde unter den Bedingungen
von 2,02 × 105
Pa, 121°C
und 85% relativer Feuchte, durchgeführt.
-
Hochtemperatur-Lagerbeständigkeit
-
Eine
Testvorrichtung wurde hergestellt, indem auf einem Siliziumsubstrat
mit einem Oxidfilm und mit Außenabmessungen
von 5 × 9
mm und einer Dicke von 5 μm
eine Aluminium-Verdrahtung mit einem Abstand zwischen den Leitern
von 10 μm
ausgebildet wurde. Die Testvorrichtung wurde mit einem teilweise
silberplatierten Leitungsrahmen aus Legierung 42 mit Hilfe einer
Silberpaste verbunden und eine Abbindeauflage der Testvorrichtung
wurde mit Hilfe eines Induktionsheizungs-Drahtverbinders bei 200°C mit Au-Drähten mit
den inneren Leitungen verbunden. Dann wurde ein 16-Pin-DIP (Dual
Inline-Paket) durch Spritzpressen aus dem vorstehend angegebenen
Epoxyharz-Dichtungsmaterial hergestellt. Der erhaltene Test-IC wurde
in einem Hochtemperaturbad bei 200°C aufbewahrt und zu vorbestimmten
Zeitabständen
herausgenommen, um die Anzahl von fehlerhaften Proben durch Leitfähigkeitstest
zu prüfen.
Der Test-IC wurde durch Abdichten mit dem Dichtungsmaterial mit
Hilfe einer Spritzpresse unter den Bedingungen von 180 ± 3°C, 6,9 ± 0,17
MPa und 90 Sekunden und Härten
bei 180°C ± 5°C während 5
Stunden hergestellt.
-
-
-
(Anmerkung)
Die vorstehenden Tabellen zeigen zehn zur Auswertung getestete Proben
und die Anzahl der fehlerhaften Proben.
-
Beispiele 6–8 und Vergleichbeispiele
6–8
-
Herstellung von doppelt
beschichtetem rotem Phosphor (2)
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe K
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 20 μm, einer maximalen Teilchengröße von 45 μm und 2 Gew.-%
Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 525 g Wasser wurden zu 210 g des vorbereiteten roten Phosphors
gegeben, wobei eine Aufschlämmung
von rotem Phosphor hergestellt wurde und 0,7 ml einer wässrigen
Lösung
von Wasserstoffperoxid wurde zugesetzt. Dann wurde eine wässrige Lösung von
Natriumhydroxid zugegeben, um den pH-Wert auf 10 einzustellen und
die resultierende Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C
gehalten. Danach wurde Salpetersäure
zugesetzt, um den pH-Wert auf 1 einzustellen und die Aufschlämmung wurde
vier Stunden bei 80°C
gehalten und filtriert. Der erhaltene Niederschlag wurde mit Wasser
gewaschen, bis seine Aufschlämmung
einen pH-Wert von 2,5 hatte.
-
100
g pulverförmiger
roter Phosphor wurden in 800 ml reinem Wasser suspendiert, um eine
Aufschlämmung
von rotem Phosphor herzustellen. Dann wurden 16,3 g einer wässrigen
Lösung
von 8 Gew.-% Aluminiumsulfat (als Al203) zugefügt und 10 Gew.-% einer wässrigen
Lösung
von Natriumhydroxid wurden bei 80°C
unter Rühren
zugegeben, bis der pH-Wert auf 6,6 eingestellt war. Nach beendigter
Zugabe wurde das Rühren
bei 80°C
während
zwei Stunden fortgesetzt, um Aluminiumhydroxid abzuscheiden. Zu
diesem Zeitpunkt betrug die aufgetragene Menge an Aluminiumhydroxid
1,0 Gew.-%.
-
Dann
wurde der beschichtete rote Phosphor abgetrennt und durch Filtration
der Reaktionsflüssigkeit mit
Hilfe einer üblichen
Verfahrensweise gewonnen und Wasser wurde erneut zugesetzt, wobei
eine Aufschlämmung
erhalten wurde. Nach dem Wiederaufschlämmen nach einem konventionellen
Verfahren wurden die Filtration und das Wiederaufschlämmen so
lange wiederholt, bis eine 10%ige Aufschlämmung des beschichteten roten
Phosphors eine elektrische Leitfähigkeit
von 300 μs/cm
oder weniger erreicht hatte. Nach dem Waschen wurden 20 g des roten
Phosphors in 180 g reinem Wasser dispergiert und ein Zinkoxid enthaltendes
Phenolharz wurde nach der gleichen Verfahrensweise, die zur Herstellung
des beschichteten roten Phosphors, Probe A, angewendet wurde, aufgetragen.
Dabei wurde doppelt beschichteter roter Phosphor, Probe K, erhalten.
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe L
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 20 μm, einer maximalen Teilchengröße von 45 μm und 2 Gew.-%
Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 525 g Wasser wurden zu 210 g des vorbereiteten roten Phosphors
gegeben, um eine Aufschlämmung
von rotem Phosphor herzustellen und 0,7 ml einer wässrigen Lösung von
Wasserstoffperoxid wurde zugesetzt. Dann wurde eine wässrige Lösung von
Natriumhydroxid zugegeben, um den pH-Wert auf 10 einzustellen und
die resultierende Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C
gehalten. Danach wurde Salpetersäure
zugegeben, um den pH-Wert auf 1 einzustellen, die Aufschlämmung wurde
4 Stunden bei 80°C
gehalten und filtriert. Der Niederschlag wurde mit Wasser gewaschen,
bis seine Aufschlämmung
einen pH-Wert von 2,5 erreichte.
-
Eine
Aufschlämmung
von rotem Phosphor wurde durch Suspendieren von 100 g des erhaltenen
pulverförmigen
roten Phosphors in 800 ml Wasser hergestellt. Dann wurden 16,3 g
einer wässrigen
Lösung
von Aluminiumsulfat (8 Gew.-% als Al2O3) und 2,5 g einer wässrigen
Lösung
von Titantetrachlorid (8,5 Gew.-% als Ti) zugesetzt und eine 3 gew.-%ige
Lösung
von Ammoniak wurde bei einer Temperatur von 80°C unter Rühren zugegeben, bis der pH-Wert
7,0 erreichte. Nach Beendigung der Zugabe wurde das Rühren weitere
zwei Stunden bei 80°C
fortgesetzt, um Aluminiumhydroxid und Titanhydroxid auszufällen. Zu
diesem Zeitpunkt betrug die aufgetragene Menge an Aluminiumhydroxid
1,0 Gew.-% und die aufgetragene Menge von Titanhydroxid 0,5 Gew.-%.
-
Dann
wurde der beschichtete rote Phosphor abgetrennt und durch Filtration
der Reaktionsflüssigkeit mit
Hilfe eines üblichen
Verfahrens gewonnen und Wasser wurde erneut zuge geben, um eine Aufschlämmung herzustellen.
Das Wiederaufschlämmen
erfolgte nach einem üblichen
Verfahren und die Filtration und die Wiederaufschlämmung wurden
so lange wiederholt, bis eine l0%ige Aufschlämmung des beschichteten roten Phosphors
eine elektrische Leitfähigkeit
von 300 μs/cm
oder weniger erreichte. Nach dem Waschen wurden 20 g des roten Phosphors
in 180 g reinem Wasser dispergiert und Zinkoxid enthaltendes Phenolharz
wurde mit Hilfe des gleichen Verfahrens wie zur Herstellung des
beschichteten roten Phosphors, Probe A, aufgetragen, wobei doppelt
beschichteter roter Phosphor, Probe L, erhalten wurde.
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe M
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 5,5 μm, einer maximalen Teilchengröße von 20 μm und 2 Gew.-%
Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 526 g Wasser wurden zu 210 g des zubereiteten roten Phosphors
gegeben, wobei eine Aufschlämmung
von rotem Phosphor erhalten wurde und 0,7 ml einer wässrigen
Lösung
von Wasserstoffperoxid wurde zugegeben. Dann wurde eine wässrige Lösung von
Natriumhydroxid zugesetzt, um den pH-Wert auf 10 einzustellen, und
die gebildete Aufschlämmung
wurde 6 Stunden bei 80°C
gehalten. Salpetersäure
wurde dann zur Einstellung des pH-Werts auf 1 zugegeben und die
Aufschlämmung
wurde 4 Stunden bei 80°C
gehalten und filtriert. Der Niederschlag wurde mit Wasser gewaschen,
bis seine Aufschlämmung
einen pH-Wert von 2,5 erreichte.
-
Eine
Aufschlämmung
von rotem Phosphor wurde durch Suspendieren von 100 g des pulverförmigen roten
Phosphors in 800 ml Wasser hergestellt. Dann wurden 16,3 g einer
8 gew.-%igen (als
Al2O3) wässrigen Lösung von
Aluminiumsulfat und 1,38 g einer 28,0 gew.-%igen (als ZrO2) wässrigen
Lösung von
Zirkonsulfat zugesetzt und eine 3 gew.%ige wässrige Lösung von Ammoniak wurde bei
einer Temperatur von 80°C
unter Rühren
zugefügt,
bis der pH-Wert 7,0 erreichte. Nach Beendigung der Zugabe wurde
das Rühren
während
2 Stunden bei 80°C
fortgesetzt, um Aluminiumhydroxid und Zirkoniumhydroxid auszufällen. Zu
diesem Zeitpunkt betrug die aufgetragene Menge an Aluminiumhydroxid
1,0 Gew.-% und die aufgetragene Menge an Zirkoniumhydroxid 0,5 Gew.-%.
-
Dann
wurde der beschichtete rote Phosphor durch Filtration der Reaktionsflüssigkeit
mit Hilfe eines üblichen
Verfahrens abgetrennt und es wurde wieder Wasser zugegeben, um eine
Aufschlämmung
herzustellen. Das Wiederaufschlämmen
erfolgte mit Hilfe eines üblichen
Verfahrens und die Filtration und Wiederaufschlämmung wurden wiederholt, bis
die elektrische Leitfähigkeit
einer l0%igen Aufschlämmung
des beschichteten roten Phosphors 300 μs/cm oder weniger wurde.
-
Nach
dem Waschen wurden 20 g des roten Phosphors in 180 g reinem Wasser
dispergiert und ein Zinkoxid enthaltendes Phenolharz wurde nach
der gleichen Verfahrensweise, die zur Herstellung der Probe A des
beschichteten roten Phosphors angewendet worden war, aufgetragen,
wobei doppelt beschichteter roter Phosphor, Probe M, erhalten wurde.
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe N
-
Doppelt
beschichteter roter Phosphor, Probe N, wurde durch Beschichten der
Oberfläche
von roten Phosphorteilchen mit Aluminiumhydroxid und weitere Beschichtung
mit einem Zinkoxid enthaltenden Phenolharz mit Hilfe der gleichen
Verfahrensweise, die zur Herstellung des beschichteten roten Phosphors,
Probe K, verwendet worden war, erhalten, mit der Ausnahme, dass
Zinkhydroxid (durchschnittliche Teilchengröße 0,9 μm) anstelle von Zinkoxid verwendet
wurde.
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe O
-
Stückiger roter
Phosphor wurde pulverisiert und klassiert, wobei roter Phosphor
mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 20 μm, einer maximalen Teilchengröße von 45 μm und 2 Gew.-%
Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 1 μm
erhalten wurde. 100 g des pulverförmigen vorbereiteten roten
Phosphors wurden in 800 ml Wasser suspendiert, wobei eine Aufschlämmung von
rotem Phosphor erhalten wurde. Dann wurden 16,3 g einer 8 gew.-%igen
(als Al2O3) wässrigen
Lösung
von Aluminiumsulfat zugegeben und eine 10 gew.-%ige wässrige Lösung von
Natriumhydroxid wurde unter Rühren
bei einer Temperatur von 80°C
zugesetzt, bis der pH-Wert 6,6 betrug. Nach Beendigung der Zugabe
wurde das Rühren
weiter bei 80°C
während zwei
Stunden fortgesetzt, um Aluminiumhydroxid auszufällen. Zu dieser Zeit betrug
die aufgetragene Menge an Aluminiumhydroxid 1,0 Gew.-%. Nach Beendigung
der Reaktion hatte die Reaktionslösung eine elektrische Leitfähigkeit
von 13700 μs/cm.
-
Danach
wurde ohne Waschen des vorstehend resultierenden Produkts ein Zinkoxid
enthaltendes Phenolharz nach der gleichen Verfahrensweise aufgetragen,
die zur Herstellung des beschichteten roten Phosphor, Probe A. angewendet
worden war, wobei doppelt beschichteter roter Phosphor, Probe O,
erhalten wurde.
-
Doppelt beschichteter
roter Phosphor, Probe P
-
Doppelt
beschichteter roter Phosphor, Probe P (dessen 10%ige Aufschlämmung hatte
eine elektrische Leitfähigkeit
von 103 μs/cm)
wurde nach der gleichen Verfahrensweise hergestellt, die zur Herstellung
des doppelt beschichteten roten Phosphors, Probe K, angewendet worden
war, mit der Ausnahme, dass das Waschen der Aufschlämmung in
der Endstufe unterbrochen wurde, als die elektrische Leitfähigkeit
einen Wert von 100 μs/cm
annahm.
-
Jeweils
8,0 g jeder der so hergestellten Proben von beschichtetem rotem
Phosphor K bis P wurden einer Bestimmung der eluierten Ionen und
der elektrischen Leitfähigkeit
nach der gleichen Verfahrensweise unterworfen, die in Beispielen
1 bis 5 und Vergleichsbeispielen 1 bis 5 angewendet wurde. Die Ergebnisse
sind in Tabellen 9 und 10 gezeigt. Tabelle
9
-
-
(Anmerkung)
-
- (1) In den Tabellen zeigen *1 und *2 die Messbedingungen
entsprechend 80°C × 20 h bzw.
150°C × 20 h an.
- (2) Elektrische Leitfähigkeit
*3 gibt die elektrische Leitfähigkeit
an, wenn die Probe von beschichtetem rotem Phosphor als l0%ige Aufschlämmung bei
20°C hergestellt
worden war.
- (3) Elektrische Leitfähigkeit
*1 und *2 zeigen diejenigen der Filtrate an, die dem Test auf eluierte
Ionen unterworfen worden sind.
-
Dann
wurden 30 Gewichtsteile des oben hergestellten doppelt beschichteten
roten Phosphors, 35 Gewichtsteile Aluminiumhydroxid (SUMITOMO CHEMCAL,
CL-310, durchschnittliche Teilchengröße von 11 μm) als Flammschutzmittel auf
anorganischer Basis und 35 Gewichtsteile Phenolharz des NOVOLAC- Typs (Härtungsmittel
SUMITOMO BAKELITE, PR53195) gleichförmig vermischt, um eine Grundmischung
herzustellen.
-
Bewertung
als Halbleiter-Dichtungsmaterial Epoxyharz-Zusammensetzung
für ein
Halbleiter-Dichtungsmaterial (Gewichtsteile)
Epoxyharz
(YUKA SHELL, YX-4000H) Phenolharz | 113,98
Teile |
(GUN-EI
CHEMICAL INDUSTRY, P5M4261) | 61,50
Teile |
Triphenylphosphin
(HOKKO CHEMICAL INDUSTRY) | 2,26
Teile |
OP
Wachs (HOECHST) | 1,13
Teile |
Ruß (MITSUBISHI
CHEMISTRY) kugelige gesinterte Kieselsäure | 1,13
Teile |
(NIPPON
CHEMICAL INDUSTRAL, SILSTAR M2430) | 820,0
Teile |
Grundmischung | 30,0
Teile |
-
Die
obigen Komponenten der Epoxyharz-Zusammensetzung wurden bei normaler
Temperatur mit Hilfe eines Mischers gemischt, und mit Hilfe einer
biaxialen erhitzten Walze sieben Minuten bei 80 bis 85°C gemischt.
Das Ablösen,
Kühlen
und Pulverisieren wurden durchgeführt, um eine Epoxyharz-Dichtungsmasse
zu erhalten. Unter Verwendung des vorbereiteten Dichtungsmaterials
wurde der Spiralfluss mit Hilfe einer Spritzpresse unter den Bedingungen
einer Formtemperatur von 175°C,
einem Druck des Formharzes von 7 MPa (70 kg/cm2) und einer Formzeit
von 120 Sekunden gemessen.
-
Proben
von 10 mm × 100
mm × 3
mm Dicke wurden als Testproben für
die Elution geformt. Außerdem wurden
Proben mit Abmessungen von 12,5 mm × 125 mm × 1 mm Dicke für den Brandtest
geformt.
-
Diese
Proben wurden dem Brandtest nach UL-94 und dem Erhitzungstest zur
Bildung von eluierten Ionen durch PCT nach der gleichen Verfahrensweise
wie in Beispielen 1 bis 5 und Vergleichbeispielen 1 bis 5 unterworfen.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 11 gezeigt.
-
Außerdem wurden
die Feuchtigkeitsbeständigkeit
und die Hochtemperatur-Beständigkeit
nach der gleichen Verfahrensweise wie in Beispielen 1 bis 5 und
Vergleichsbeispielen 1 bis 5 geprüft. Die Ergebnisse sind in
Tabelle 12 gezeigt.
-
In
der Tabelle bedeutet N.B., dass die Konzentration der eluierten
PHO3-Ionen 0,09 ppm oder weniger ist.
-
-
-
Industrielle Anwendbarkeit
-
Wie
vorstehend beschrieben wurde, können
das Flammschutzmittel für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor und die flammhemmende
Zusammensetzung für
ein Epoxyharz auf Basis von rotem Phosphor gemäß der Erfindung als Flammschutzmittel
auf Gebieten eingesetzt werden, auf denen gute elek trische Eigenschaften
gefordert werden. Insbesondere, wenn sie als Flammschutzmittel in
einem Epoxyharz für
ein Halbleiter-Dichtungsmaterial vorliegen, kann eine Epoxyharz-Zusammensetzung
für ein
Halbleiter-Dichtungsmaterial mit ausgezeichneter Flammhemmung erhalten
werden, während
die elektrische Verlässlichkeit
aufrecht erhalten wird.
-
Die
erfindungsgemäße Epoxyharz-Zusammensetzung
für ein
Halbleiter-Dichtungsmaterial zeigt bemerkenswerte Flammhemmung und
elektrische Verlässlichkeit,
so dass sie die nützliche
Wirkung zeigt, einem Dichtungsmaterial, einer Formmasse, einem Vergussmaterial,
einem Klebmittel, einem elektrisch isolierenden Beschichtungsmaterial,
einer laminierten Platte, einer gedruckten Schaltung, einem Flachkabel
etc., wie sie für verschiedene
Arten von integrierten Halbleiter-Schaltungen (ICs) und einzelnen
Halbleitern, wie Transistoren und Dioden, verwendet werden, flammhemmende
Eigenschaften zu verleihen. Das entsprechende Dichtungsmaterial
kann verwendet werden, um eine Halbleitervorrichtung herzustellen,
die ausgezeichnete Flammhemmung und elektrische Verlässlichkeit
besitzt.