CN103534223A - 电介质陶瓷、层叠陶瓷电子部件、层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 - Google Patents
电介质陶瓷、层叠陶瓷电子部件、层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103534223A CN103534223A CN201280023727.0A CN201280023727A CN103534223A CN 103534223 A CN103534223 A CN 103534223A CN 201280023727 A CN201280023727 A CN 201280023727A CN 103534223 A CN103534223 A CN 103534223A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- duplexer
- molar part
- crystal grain
- ceramic
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 97
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title claims description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 24
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 32
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 9
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 1
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- UZLYXNNZYFBAQO-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);ytterbium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Yb+3].[Yb+3] UZLYXNNZYFBAQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 102220043159 rs587780996 Human genes 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 description 1
- 238000007666 vacuum forming Methods 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 229940075624 ytterbium oxide Drugs 0.000 description 1
- 229910003454 ytterbium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/465—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
- C04B35/468—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
- C04B35/4682—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates based on BaTiO3 perovskite phase
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1236—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on zirconium oxides or zirconates
- H01G4/1245—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on zirconium oxides or zirconates containing also titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/781—Nanograined materials, i.e. having grain sizes below 100 nm
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/785—Submicron sized grains, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/43—Electric condenser making
- Y10T29/435—Solid dielectric type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
本发明提供一种在150℃下比电阻大、且具有一致的电容特性的电介质陶瓷，以及使用该电介质陶瓷的层叠陶瓷电子部件。陶瓷层（3）的特征在于，含有具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物，并且含有Si，选择性地含有Mn，具备晶粒，在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，晶粒的平均粒径小于130nm。
Description
技术领域
本发明涉及以层叠陶瓷电容器为代表的层叠陶瓷电子部件所使用的电介质陶瓷。此外，还涉及层叠陶瓷电子部件、层叠陶瓷电容器、以及层叠陶瓷电容器的制造方法。
背景技术
首先，参照图1，对作为本发明的层叠陶瓷电子部件代表例的层叠陶瓷电容器1进行说明。
层叠陶瓷电容器1具备层叠体2，所述层叠体2由被层叠的多个陶瓷层3和沿着陶瓷层3间的界面而形成的多个内部电极4和5构成。
在层叠体2的外表面上彼此不同的位置处，形成有第1外部电极8和第2外部电极9。在图1所示的层叠陶瓷电容器1中，第1外部电极8和第2外部电极9分别形成在层叠体2彼此对向的各端面6和7上。内部电极4和5具有与第1外部电极8电连接的多个第1内部电极4、以及与第2外部电极9电连接的多个第2内部电极5，这些第1内部电极4和第2内部电极5在层叠方向上交替配置。在外部电极8和9的表面，根据需要形成有第1镀层10、11以及第2镀层12、13。为了削减成本，内部电极4和5可以使用Ni等贱金属。
作为可以用于陶瓷层3的电介质陶瓷，可以根据所要求的介电常数等特性选择各种电介质陶瓷，例如，已知有专利文献1中记载的电介质陶瓷。
该电介质陶瓷是含有部分A位被Ca取代、部分B位被Zr取代的至少2种钙钛矿型钛酸锆酸钡钙晶粒（BCTZ型晶粒）的烧结体。其中一种BCTZ型晶粒（1）[(Ba1-xCax)m(Ti1-yZry)O3]的x、y、m分别为0.15≤x≤0.25、0.15≤y≤0.20、1.000＜m。此外，另一种BCTZ型晶粒（2）[(Ba1-zCaz)n(Ti1-sZrs)O3]的z、s、n分别为0≤z≤0.08、0.01≤s≤0.10、1.000＜n。而且，特征在于BCTZ型晶粒（1）和BCTZ型晶粒（2）都具有0.15～0.7μm的平均粒径。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005－22890号公报
发明内容
发明要解决的课题
近年来，特别是作为汽车用途，需要一种在－55℃至150℃的温度范围具有一致的电容特性的电容器。然而，就专利文献1中记载的电介质陶瓷而言，其在150℃下比电阻小，并且还存在有电容特性的温度变化率大这样的问题。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种在150℃下比电阻大、且具有一致的电容特性的电介质陶瓷、以及使用该电介质陶瓷的层叠陶瓷电子部件。
用于解决课题的方法
一种电介质陶瓷，其特征在于，含有具有Ba、Ca、Ti和Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，具备晶粒，在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，晶粒的平均粒径小于130nm。
此外，就本发明的电介质陶瓷而言，晶粒的平均粒径优选为超过50nm且小于130nm。
此外，本发明还涉及一种层叠陶瓷电子部件，其包含层叠体和形成在层叠体的外表面上的外部电极，陶瓷层含有上述的电介质陶瓷，所述层叠体具备被层叠的多个陶瓷层和沿着陶瓷层间的界面而形成的多个内部电极。
此外，本发明的层叠陶瓷电容器，其特征在于，具备层叠体和多个外部电极，所述层叠体具有被层叠的具备晶粒的多个电介质陶瓷层、和沿着电介质陶瓷层间界面而形成的多个内部电极，所述外部电极形成于层叠体的外表面、且与内部电极电连接，层叠体含有具有Ba、Ca、Ti和Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，晶粒的平均粒径小于130nm。
此外，本发明的其他层叠陶瓷电容器，其特征在于，具备层叠体和多个外部电极，所述层叠体具有被层叠的具备晶粒的多个电介质陶瓷层、和沿着电介质陶瓷层间界面而形成的多个内部电极，所述外部电极形成于层叠体的外表面、且与内部电极电连接，层叠体含有具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，在将使用溶剂溶解层叠体后的Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，晶粒的平均粒径小于130nm。
此外，就本发明的层叠陶瓷电容器而言，晶粒的平均粒径优选为超过50nm且小于130nm。
此外，本发明的层叠陶瓷电容器的制造方法，其特征在于，具备：将包含具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物的粉末、Si化合物和Mn化合物混合，之后，得到陶瓷浆料的工序；由陶瓷浆料得到陶瓷生片的工序；层叠陶瓷生片、和烧成后成为内部电极的导电性图案，得到烧成前的层叠体的工序；和烧成烧成前的层叠体，得到在具备晶粒的电介质陶瓷层间形成了内部电极的层叠体的工序；晶粒的平均粒径小于130nm，在陶瓷浆料中，在将Ti和Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18。
此外，本发明的其他层叠陶瓷电容器的制造方法，其特征在于，具备：称量包含具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物的粉末、Si化合物和Mn化合物，使混合后的混合物浆料化，由此得到陶瓷浆料的工序；由陶瓷浆料得到陶瓷生片的工序；层叠陶瓷生片、和烧成后成为内部电极的导电性图案，得到烧成前的层叠体的工序；和烧成烧成前的层叠体，得到在具备晶粒的电介质陶瓷层间形成了内部电极的层叠体的工序；晶粒的平均粒径小于130nm，在混合物中，在将Ti和Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18。
此外，就本发明的层叠陶瓷电容器的制造方法而言，晶粒的平均粒径优选为超过50nm且小于130nm。
发明效果
根据本发明，可以提供一种在150℃下比电阻大、且具有一致的电容特性的电介质陶瓷，进而可以对层叠陶瓷电容器的高性能化作出较大贡献。
附图说明
图1是表示本发明的层叠陶瓷电容器的一个示例的模式图。
图2是表示晶粒的平均粒径的测定方法的说明图。
具体实施方式
本发明的电介质陶瓷，其特征在于，含有具有Ba、Ca、Ti和Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，具备晶粒，在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，所述晶粒的平均粒径小于130nm。通过该组合，可以得到在150℃下比电阻大、且具有一致的电容特性的电介质陶瓷。
虽然其原因尚未明确，但推测为如下情况。就本发明而言，在电介质陶瓷中，不仅含有Ba和Ti，还同时含有Ca和Zr。在钛酸钡系陶瓷中，在不含Ca而含有Zr的情况下，150℃时的比电阻变大，但是电介质陶瓷的相转变温度下降。因此，150℃时的电容特性的温度变化率变大。另一方面，如本发明所述，在同时含有Ca和Zr、且晶粒的平均粒径小于130nm的情况下，晶格畸变增大，因此可以抑制电介质陶瓷的相转变温度的下降。因此，即使在150℃的高温下，也可以得到比电阻大并且具有一致的电容特性的电介质陶瓷。
需要说明的是，与Mn或Si的存在形式无关。例如，可以在晶界中作为氧化物而存在，也可以生成与其他元素的复合化合物，还可以固溶于以(Ba1-xCax)(Ti1-yZry)O3为主成分的晶粒。
此外，在本发明的电介质陶瓷中，在不损害本发明目的的范围内，还可以含有稀土类元素、Mg、V、Al、Ni、Co、Zn等。
接着，对用于形成陶瓷层的陶瓷原料粉末的制造方法的一个示例进行说明。
首先，作为主成分的起始原料，准备Ba、Ca、Ti、Zr等的氧化物或碳酸化物的粉末。称量这些起始原料的粉末，并在液体中使用媒介物进行混合粉碎。干燥后，对所得的混合粉末进行热处理，由此得到作为主成分的BaTiO3粉末。该方法一般被称作为固相合成法，作为其他方法，也可以使用热液合成法、水解法、草酸法等湿式合成法。
接着，向该主成分粉末中添加规定量的MnO粉末和SiO2粉末。只要不损害本发明的目的，则该MnO粉末和SiO2粉末不限于氧化物粉末。然后，在液体中将它们混合，并进行干燥，由此得到作为最终原料的陶瓷原料粉末。
接着，以层叠陶瓷电容器为例，对本发明的层叠陶瓷电子部件的制造方法进行说明。
首先，准备陶瓷原料粉末。在溶剂中，根据需要将该陶瓷原料粉末与有机粘合剂成分混合，制成陶瓷浆料。将该陶瓷浆料成形为片状，得到陶瓷生片。
接着，在陶瓷生片上形成以Ni为主成分的内部电极。该过程可采用若干种方法，其中，对含有Ni粉末和有机载体的导电性糊剂进行丝网印刷而形成所需图案的方法是较为简便的。除此以外，还有转印Ni金属箔的方法、或使用真空薄膜形成法而在进行掩蔽的同时形成Ni膜的方法。
如此所述，层叠多层陶瓷生片和内部电极后，进行压接，由此得到烧成前的未加工的层叠体。
在烧成炉中，在规定的气氛·温度下对该未加工的生层叠体进行烧成。此时，在内部电极的主成分为Ni的情况下，通过降低烧成炉中的氧分压，能够实现内部电极和陶瓷层的共烧成。
此外，在烧成工序中，如果使升至最高温度为止的升温速度为100℃/分钟以上，则能够在获得充分的特性的同时，得到晶粒的平均粒径小的陶瓷层。
接着，相对于该层叠体的内部电极的引入位置形成外部电极，由此完成层叠陶瓷电容器。作为外部电极的形成方法，可以列举：涂布含有Cu、Ag等金属粒子和玻璃粉的糊剂并进行烘烤的方法等。此外，可根据需要，在该外部电极的表面上形成Ni、Sn等镀层。
需要说明的是，本发明的层叠陶瓷电子部件并不限于层叠陶瓷电容器，还可以适用于陶瓷多层基板等各种电子部件。
实验例
首先，作为起始原料，准备BaCO3、CaCO3、TiO2、ZrO2粉末。称量这些粉末，以使Ba和Ca的合计含量相对于Ti和Zr的合计含量1摩尔份为1摩尔份，Ca与Ca、Ba的合计的摩尔比Ca/（Ba+Ca）为x，Zr与Zr、Ti的合计的摩尔比Zr/（Ti+Zr）为y，使用球磨机在水中混合24小时。混合后，进行干燥，并以规定的温度和时间对该配合粉末进行热处理合成。
如上进行操作，得到钛酸钡系主成分粉末。
在表1中示出各试样的x、y值。
接着，作为副成分，准备MnO粉末和SiO2粉末。然后，称量这些粉末，相对于主成分粉末中的Ti、Zr的合计含量1摩尔份而使Mn的含量为a摩尔份、Si的含量为b摩尔份，再添加到主成分粉末中。使用球磨机将其在水中混合24小时，进行干燥，制成陶瓷原料粉末。使该陶瓷原料粉末过筛，除去30nm以下的微粒粉末。结果，陶瓷原料粉末的平均粒径为D50=50nm。
需要说明的是，在上述混合的过程中，使用YSZ（氧化镱稳定化的氧化锆）球作为媒介物时，有时会由称量的原材料以外混入氧化锆，在这种情况下，调整原材料的配合比例，从而包括混入量在内达到表1A、表1B的组成。
使该陶瓷原料粉末分散在含有乙醇、甲苯的有机溶剂中，加入聚乙烯醇缩丁醛系的有机粘合剂并进行混合，将其制成陶瓷浆料。将该陶瓷浆料成形为片状，得到陶瓷生片。
并且，使用酸将制作出的陶瓷浆料中的原料粉末溶解，进行ICP发光分光分析，确认具有与表1所示的组成基本相同的组成。
接着，在该陶瓷生片上印刷以Ni为主体的导电性糊剂，形成用于构成内部电极的导电性糊剂膜。
接着，以使导电性糊剂膜的被引出侧彼此不同的方式层叠多层陶瓷生片，得到层叠体。在氮气气氛下，在350℃的温度下加热该层叠体，使粘合剂燃烧。然后，在由氧分压为10－10～10－12MPa的H2－N2－H2O气体所形成的还原气氛中，以100℃/分钟的升温速度升温至表1所示的温度，烧成5～30分钟。
接着，在烧成后的层叠体的两个端面涂布含有B2O3－SiO2－BaO系玻璃粉的银糊剂，在氮气气氛中在600℃的温度下进行烘烤，形成与内部电极电连接的外部电极。
如上操作而制作出的层叠陶瓷电容器的外形尺寸为长度2.0mm、宽度1.0mm、厚度1.0mm。此外，存在于内部电极间的陶瓷层的厚度为2.5μm，有效层数为5层。此外，内部电极的重叠面积为1.7×10－6m2。
使用酸将除去制作出的各试样（层叠陶瓷电容器）的外部电极后的层叠体溶解，进行ICP发光分光分析。结果确认除了内部电极成分的Ni以外，具有与表1所示的组成基本相同的组成。
各条件的晶粒的平均粒径，如下算出。
截断试样，以使各试样（层叠陶瓷电容器）的长度（L）方向1/2左右的深度的WT截面露出。接着，为了明确电介质陶瓷层的晶粒间的边界（晶界），对上述试样进行热处理。热处理的温度是晶粒不生长且晶界变得明确的温度，在该实验例中，在1000℃下进行处理。
然后，如图2所示，将如上操作而截断的层叠体的截断面（WT截面）中W、T方向的各自1/2左右位置的附近区域（即，截断面的大致中央区域）作为测定区域，并使用扫描型电子显微镜（SEM）以10000倍进行观察。
然后，从所得的SEM图像中随机选取50个晶粒，通过图像分析求出各晶粒的晶界的内侧部分的面积，算出圆当量直径，并以此作为各晶粒的粒径。对于各条件的2个试样，进行各晶粒的粒径测定（数据数量：50个晶粒×2（试样数）=100个数据）。
此外，将各晶粒的形状假定为，以如上求出的粒径作为直径的球，并作为球的体积而算出各晶粒的体积。然后，通过如上求出的粒径和体积，算出各条件的试样的体积平均粒径，并将其作为各条件的平均粒径。
此外，对于所得的试样，测定介电常数和150℃时的介电常数的温度变化率。测定中使用了自动桥式测定装置。此外，测定条件为AC电压1V、1kHz。然后，测定25℃和150℃的介电常数，并以25℃的介电常数为基准，算出150℃时的介电常数的温度变化率。然后，在150℃、25V的条件下施加120秒钟直流电压，算出150℃时的比电阻。将该结果示于表1。
[表1]
由表1的结果可知，电介质陶瓷含有具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，具备晶粒，在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，Mn的含量为0.015摩尔份以下，Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，晶粒的平均粒径小于130nm，就所述电介质陶瓷而言，其150℃时的比电阻为108Ωm以上，并且，150℃时的介电常数的温度变化率为±15%以内，获得了满足X8R特性的结果。
此外，在晶粒的平均粒径为超过50nm且小于130nm的情况下，介电常数显示出600以上的较高值。
符号说明
1 层叠陶瓷电容器
2 层叠体
3 陶瓷层
4、5 内部电极
6、7 端面
8、9 外部电极
10、11 第1镀层
12、13 第2镀层
Claims (9)
1.一种电介质陶瓷，其特征在于，含有具有Ba、Ca、Ti和Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，具备晶粒，
在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，
Mn的含量为0.015摩尔份以下，
Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，
Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，
Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，
所述晶粒的平均粒径小于130nm。
2.根据权利要求1所述的电介质陶瓷，其特征在于，所述晶粒的平均粒径为超过50nm且小于130nm。
3.一种层叠陶瓷电子部件，其特征在于，包含层叠体和形成在所述层叠体的外表面上的外部电极，所述层叠体具备被层叠的多个陶瓷层和沿着所述陶瓷层间的界面而形成的多个内部电极，
所述陶瓷层含有权利要求1或2所述的电介质陶瓷。
4.一种层叠陶瓷电容器，其特征在于，具备层叠体和多个外部电极，所述层叠体具有被层叠的具备晶粒的多个电介质陶瓷层、和沿着所述电介质陶瓷层间界面而形成的多个内部电极，所述外部电极形成于所述层叠体的外表面、且与所述内部电极电连接，
所述层叠体含有具有Ba、Ca、Ti和Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，
在将Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，
Mn的含量为0.015摩尔份以下，
Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，
Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，
Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，
所述晶粒的平均粒径小于130nm。
5.一种层叠陶瓷电容器，其特征在于，具备层叠体和多个外部电极，所述层叠体具有被层叠的具备晶粒的多个电介质陶瓷层、和沿着所述电介质陶瓷层间界面而形成的多个内部电极，所述外部电极形成于所述层叠体的外表面、且与所述内部电极电连接，
所述层叠体含有具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物，并且，含有Si，选择性地含有Mn，
在将使用溶剂溶解所述层叠体后的Ti、Zr的合计含量设为1摩尔份时，
Mn的含量为0.015摩尔份以下，
Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，
Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，
Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18，
所述晶粒的平均粒径小于130nm。
6.根据权利要求4或5所述的层叠陶瓷电容器，其特征在于，所述晶粒的平均粒径为超过50nm且小于130nm。
7.一种层叠陶瓷电容器的制造方法，其特征在于，具备：
将包含具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物的粉末、Si化合物和Mn化合物混合，之后，得到陶瓷浆料的工序；
由所述陶瓷浆料得到陶瓷生片的工序；
层叠所述陶瓷生片、和烧成后成为内部电极的导电性图案，得到烧成前的层叠体的工序；和
烧成所述烧成前的层叠体，得到在具备晶粒的电介质陶瓷层间形成了内部电极的层叠体的工序；
所述晶粒的平均粒径小于130nm，
在所述陶瓷浆料中，
在将Ti和Zr的合计含量设为1摩尔份时，
Mn的含量为0.015摩尔份以下，
Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，
Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，
Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18。
8.一种层叠陶瓷电容器的制造方法，其特征在于，具备：
称量包含具有Ba、Ca、Ti、Zr的钙钛矿型化合物的粉末、Si化合物和Mn化合物，使混合后的混合物浆料化，由此得到陶瓷浆料的工序；
由所述陶瓷浆料得到陶瓷生片的工序；
层叠所述陶瓷生片、和烧成后成为内部电极的导电性图案，得到烧成前的层叠体的工序；和
烧成所述烧成前的层叠体，得到在具备晶粒的电介质陶瓷层间形成了内部电极的层叠体的工序；
所述晶粒的平均粒径小于130nm，
在所述混合物中，
在将Ti和Zr的合计含量设为1摩尔份时，
Mn的含量为0.015摩尔份以下，
Si的含量为0.005摩尔份以上且小于0.03摩尔份，
Ca/（Ba+Ca）的摩尔比x为0.05＜x＜0.20，
Zr/（Ti+Zr）的摩尔比y为0.03＜y＜0.18。
9.根据权利要求7或8所述的层叠陶瓷电容器的制造方法，其特征在于，所述晶粒的平均粒径为超过50nm且小于130nm。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011175750 | 2011-08-11 | ||
| JP2011-175750 | 2011-08-11 | ||
| PCT/JP2012/070346 WO2013022064A1 (ja) | 2011-08-11 | 2012-08-09 | 誘電体セラミック、積層セラミック電子部品、積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103534223A true CN103534223A (zh) | 2014-01-22 |
Family
ID=47668568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201280023727.0A Pending CN103534223A (zh) | 2011-08-11 | 2012-08-09 | 电介质陶瓷、层叠陶瓷电子部件、层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9522847B2 (zh) |
| JP (1) | JP5804064B2 (zh) |
| CN (1) | CN103534223A (zh) |
| WO (1) | WO2013022064A1 (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111724992A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 株式会社村田制作所 | 层叠陶瓷电容器 |
| CN112687468A (zh) * | 2019-10-17 | 2021-04-20 | 太阳诱电株式会社 | 陶瓷电子器件及其制造方法 |
| CN114057483A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-02-18 | 清华大学 | 一种适用于耐高压、高可靠性的x8r型bczt基bme-mlcc介质材料及制备方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6384829B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2018-09-05 | 株式会社スーパーナノデザイン | Ｂｃｔｚナノ粒子の製造方法 |
| KR102149786B1 (ko) * | 2015-03-05 | 2020-08-31 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터 및 그 실장 기판 |
| KR102163417B1 (ko) * | 2018-08-09 | 2020-10-08 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터 |
| JP2020068262A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社村田製作所 | 誘電体磁器組成物及び積層セラミックコンデンサ |
| CN111755247B (zh) * | 2019-03-28 | 2022-01-07 | 株式会社村田制作所 | 层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 |
| US11694846B2 (en) * | 2020-11-10 | 2023-07-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer ceramic electronic component |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1375835A (zh) * | 2001-03-19 | 2002-10-23 | 株式会社村田制作所 | 介电陶瓷及其制造和评价方法,及单片陶瓷电子元件 |
| CN101104558A (zh) * | 2006-06-12 | 2008-01-16 | Tdk株式会社 | 电子部件、电介质陶瓷组合物及其制造方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4988468A (en) | 1987-01-08 | 1991-01-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing non-reducible dielectric ceramic composition |
| JPS63170803A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-14 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体磁器の製造方法 |
| DE69701294T2 (de) | 1996-03-08 | 2000-07-06 | Murata Manufacturing Co | Keramisches Dielektrikum und dieses verwendendes monolithisches keramisches Elektronikbauteil |
| JP3146967B2 (ja) * | 1996-03-08 | 2001-03-19 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体セラミック及びそれを用いた積層セラミック電子部品 |
| JP4522025B2 (ja) * | 2001-07-30 | 2010-08-11 | 京セラ株式会社 | 誘電体磁器及び積層型電子部品並びに積層型電子部品の製法 |
| JP4513278B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2010-07-28 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体セラミックの製造方法、非還元性誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
| JP4354224B2 (ja) | 2003-06-30 | 2009-10-28 | 京セラ株式会社 | 誘電体磁器および積層型電子部品 |
| JP2005145791A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Tdk Corp | 電子部品、誘電体磁器組成物およびその製造方法 |
| JP4572628B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2010-11-04 | Ｔｄｋ株式会社 | 誘電体磁器組成物及び電子部品 |
| CN101479212B (zh) * | 2006-07-27 | 2012-12-26 | 京瓷株式会社 | 电介质瓷质体及电容器 |
| TW200844072A (en) * | 2006-11-29 | 2008-11-16 | Kyocera Corp | Dielectric ceramic and capacitor |
| JP4992918B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2012-08-08 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
| WO2011024582A1 (ja) * | 2009-08-27 | 2011-03-03 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサの製造方法および積層セラミックコンデンサ |
| JP5733313B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-06-10 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ、及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-08-09 WO PCT/JP2012/070346 patent/WO2013022064A1/ja active Application Filing
- 2012-08-09 CN CN201280023727.0A patent/CN103534223A/zh active Pending
- 2012-08-09 JP JP2013528065A patent/JP5804064B2/ja active Active
-
2013
- 2013-10-30 US US14/067,591 patent/US9522847B2/en active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1375835A (zh) * | 2001-03-19 | 2002-10-23 | 株式会社村田制作所 | 介电陶瓷及其制造和评价方法,及单片陶瓷电子元件 |
| CN101104558A (zh) * | 2006-06-12 | 2008-01-16 | Tdk株式会社 | 电子部件、电介质陶瓷组合物及其制造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111724992A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 株式会社村田制作所 | 层叠陶瓷电容器 |
| CN112687468A (zh) * | 2019-10-17 | 2021-04-20 | 太阳诱电株式会社 | 陶瓷电子器件及其制造方法 |
| CN114057483A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-02-18 | 清华大学 | 一种适用于耐高压、高可靠性的x8r型bczt基bme-mlcc介质材料及制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5804064B2 (ja) | 2015-11-04 |
| US20140049877A1 (en) | 2014-02-20 |
| US9522847B2 (en) | 2016-12-20 |
| WO2013022064A1 (ja) | 2013-02-14 |
| JPWO2013022064A1 (ja) | 2015-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI613688B (zh) | 積層陶瓷電容器 | |
| CN103534223A (zh) | 电介质陶瓷、层叠陶瓷电子部件、层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 | |
| JP3780851B2 (ja) | チタン酸バリウムおよびその製造方法ならびに誘電体セラミックおよびセラミック電子部品 | |
| JP5131595B2 (ja) | 誘電体セラミック、及びセラミック電子部品、並びに積層セラミックコンデンサ | |
| US8830651B2 (en) | Laminated ceramic capacitor and producing method for laminated ceramic capacitor | |
| JP4884101B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP5483825B2 (ja) | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ | |
| JP2023052831A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP6996867B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP5078307B2 (ja) | 誘電体磁器およびその製法、ならびにコンデンサ | |
| US20120075768A1 (en) | Dielectric ceramic composition and manufacturing method thereof, and ceramic electronic device | |
| JP5409443B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| WO2014097678A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP5590224B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| CN110085423B (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
| WO2017094882A1 (ja) | 誘電体磁器組成物、積層セラミックコンデンサ、及び積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
| US20130194717A1 (en) | Dielectric ceramic, stack ceramic electronic component, and method of manufacturing these | |
| KR20130027782A (ko) | 유전체 조성물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 적층 세라믹 전자부품 | |
| WO2014010273A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP2019099427A (ja) | 誘電体組成物、電子部品および積層電子部品 | |
| KR101504583B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조 방법 | |
| JP2002234771A (ja) | 正方晶ペロブスカイト構造を有する酸化物粉末およびその製造方法、誘電体セラミックならびに積層セラミックコンデンサ | |
| JP7037945B2 (ja) | セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP5800408B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| CN105359236A (zh) | 层叠陶瓷电容器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20140122 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |