CN103189797A - 感光性树脂组合物、图案构造物、显示装置及隔壁 - Google Patents

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Abstract

本发明提供疏液性、耐热性及耐溶剂性优异、感光性树脂组合物不会在图案化形成部以外的部位形成残渣而残留、且可形成图案的负型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物是含有碱可溶性树脂(A)、氟系疏液剂(B)、交联剂(C)及产酸剂(D)的负型感光性树脂组合物，氟系疏液剂(B)为含有源自具有碳原子数4至6的氟烷基的不饱和化合物的结构单元的加成聚合物，且氟系疏液剂(B)的添加比例相对于组合物中的全部固体成分为0.01至1.0重量％。

Description

感光性树脂组合物、图案构造物、显示装置及隔壁
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物、图案构造物、显示装置及隔壁。
背景技术
近年来，作为制造显示装置等的方法，已报告如下的方法：利用喷墨法等涂布型工艺来制作构成该装置等的一部分的滤色器、液晶显示元件的ITO电极、有机电致发光元件(以下，有时称为“有机EL元件”)、电路配线基板等的方法。在此种喷墨法等涂布型工艺中，利用使用感光性树脂组合物所形成的隔壁。
例如，在利用了有机EL元件的显示装置中，3种有机EL元件设于支撑基板上。即，(1)射出红色光的红色有机EL元件、(2)射出绿色光的绿色有机EL元件、(3)射出蓝色光的蓝色有机EL元件分别设于支撑基板上。在支撑基板上通常设有规定像素图案的隔壁，上述3种有机EL元件分别整列地配置在被上述隔壁划分成的区域(即被隔壁包围的区域)中。
各有机EL元件通过在被隔壁3包围的区域5依次层叠第1电极2、有机EL层4及第2电极7而形成(参照图1)。
参照图2说明有机EL层4的形成方法。首先，在支撑基板1上形成第1电极2及隔壁3。然后，将包含有机EL层4的材料和溶剂的墨液6供给至被隔壁3包围的区域5(图2A)。所供给的墨液6被收纳于被隔壁3包围的区域5(图2B)，在该区域5内使墨液6的溶剂蒸发，由此形成有机EL层4(图2C)。作为此种供给墨液6的涂布型工艺，已提出喷墨法或喷嘴涂布法等。
此处，规定像素图案的隔壁3利用使用了感光性树脂组合物的光刻法来形成图案。要求在涂布型工艺中所利用的隔壁3具有所谓的“疏液性”，即，需要确实地收容并保持供给至被隔壁包围的区域5内的墨液6，以防其润湿扩展到所需之外的地方。
作为用于形成显示上述疏液性的构件的感光性树脂组合物，例如已知一种感光性树脂组合物，其含有使具有碳原子数4至6的氟烷基的α位取代丙烯酸酯聚合所得到的聚合物(专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-287251号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，在使用以往所提出的感光性树脂组合物来形成如上述隔壁那样的图案构造物时，由于形成具有适度的疏液性的隔壁，因此供给至被隔壁包围的区域内的墨液被容纳和保持，但存在所得到的图案构造物的耐热性低这一稳定性上的问题。此外，当为了形成有机EL元件而在支撑基板上图案化形成隔壁时，在形成图案的部位以外的部位会残留感光性树脂组合物的残渣，该残渣会造成用于形成有机EL层的墨液被斥开，形成涂布膜时，有时未必能形成膜厚十分均匀且平坦的涂布膜。
因此，本发明的目的在于，提供疏液性、耐热性优异、感光性树脂组合物不会在图案化形成部以外的部位形成残渣而残留、且可形成图案的负型感光性树脂组合物。
用于解决技术问题的技术手段
本发明提供以下的感光性树脂组合物、图案构造物、显示装置及隔壁。
[1]一种感光性树脂组合物，其是含有碱可溶性树脂(A)、氟系疏液剂(B)、交联剂(C)及产酸剂(D)的负型感光性树脂组合物，
氟系疏液剂(B)为含有源自具有碳原子数4至6的氟烷基的不饱和化合物的结构单元的加成聚合物，且氟系疏液剂(B)的添加比例相对于组合物中的全部固体成分为0.01至1.0重量％。
[2]根据[1]所述的感光性树脂组合物，其进一步含有溶剂(E)。
[3]根据[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，碱可溶性树脂(A)含有酚树脂。
[4]根据[1]至[3]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，碱可溶性树脂(A)含有酚醛清漆树脂。
[5]根据[1]至[4]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，氟系疏液剂(B)为含有源自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所构成的组中选出的至少一种的结构单元的加成聚合物。
[6]根据[1]至[5]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，氟系疏液剂(B)为含有源自具有碳原子数2至4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元的加成聚合物。
[7]一种图案构造物，其使用[1]至[6]中任一项所述的感光性树脂组合物而形成。
[8]一种显示装置，其含有[7]所述的图案构造物。
[9]一种喷墨用隔壁，其含有[7]所述的图案构造物。
发明效果
本发明可提供疏液性及耐热性优异、感光性树脂组合物不会在图案化形成部以外的部位形成残渣而残留、且可形成图案的负型感光性树脂组合物。
附图说明
图1是显示装置中的有机EL元件的剖面图。
图2A是用于说明有机EL层的形成方法的图。
图2B是用于说明有机EL层的形成方法的图。
图2C是用于说明有机EL层的形成方法的图。
图3A是用于说明隔壁的形成方法的图。
图3B是用于说明隔壁的形成方法的图。
图3C是用于说明隔壁的形成方法的图。
图3D是用于说明隔壁的形成方法的图。
图4A是用于说明隔壁的形成方法的图。
图4B是用于说明隔壁的形成方法的图。
图4C是用于说明隔壁的形成方法的图。
图4D是用于说明隔壁的形成方法的图。
符号说明
1           支撑基板
2           第1电极
3           隔壁
3a          隔壁
4           有机EL层
5           被隔壁包围的区域
6           墨液
7           第2电极
10          掩模
11          感光性树脂组合物
具体实施方式
本发明的感光性树脂组合物是含有下述(A)、(B)、(C)及(D)的负型感光性树脂组合物。
(A)碱可溶性树脂
(B)氟系疏液剂
(C)交联剂
(D)产酸剂
另外，在本说明书中，作为各成分而例示的化合物，只要无特别声明，均可单独使用或组合使用。
本发明的感光性树脂组合物所含有的氟系疏液剂(B)是含有源自具有碳原子数4至6的氟烷基的不饱和化合物(例如具有氟烷基及碳-碳双键的不饱和化合物)的结构单元的加成聚合物，且其添加比例相对于感光性树脂组合物中的全部固体成分为0.01至1.0重量％。
氟系疏液剂(B)是例如含有源自具有碳原子数4至6的全氟烷基的不饱和化合物(d)(以下，有时称为“不饱和化合物(d)”)的结构单元的聚合物。
作为不饱和化合物(d)，可举出例如以下述式(d-0)所示的化合物。
Figure BDA00003102475200051
[式(d-0)中，Rf表示碳原子数4至6的氟烷基。
Rd表示氢原子、卤原子、氰基、苯基、苯甲基或碳原子数1至21的烷基，该烷基所含有的氢原子可被卤原子或羟基取代。
Xd表示单键、碳原子数1至10的2价脂肪族烃基、碳原子数3至10的2价脂环式烃基或碳原子数6至12的2价芳香族烃基，该脂肪族烃基及该脂环式烃基所含有的1个以上的-CH2-可被-O-、-CO-、-COO-、-C6H4-(亚苯基)、-NRe-、-S-或-SO2-置换]。
Rf优选为碳原子数4至6的全氟烷基。作为其例子，可举出全氟丁基、全氟己基，优选为全氟丁基。
作为Rd中的卤原子，可例示出F、Cl、Br、I。
作为Rd中的碳原子数1至21的烷基，可举出例如甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等直链状烷基；
异丙基、异丁基、仲丁基、异戊基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1-乙基丁基、2-乙基丁基、1-甲基己基、2-甲基己基、3-甲基己基、4-甲基己基、5-甲基己基、1-乙基戊基、2-乙基戊基、3-乙基戊基、1-丙基丁基、1-甲基庚基、2-甲基庚基、3-甲基庚基、4-甲基庚基、5-甲基庚基、6-甲基庚基、1-乙基己基、2-乙基己基、3-乙基己基、4-乙基己基、2-丙基戊基、1-丁基丁基、1-丁基-2-甲基丁基、1-丁基-3-甲基丁基、叔丁基、1，1-二甲基丙基、1，1-二甲基丁基、1，2-二甲基丁基、1，3-二甲基丁基、2，3-二甲基丁基、1-乙基-2-甲基丙基、1，1-二甲基戊基、1，2-二甲基戊基、1，3-二甲基戊基、1，4-二甲基戊基、2，2-二甲基戊基、2，3-二甲基戊基、2，4-二甲基戊基、3，3-二甲基戊基、3，4-二甲基戊基、1-乙基-1-甲基丁基、2-乙基-3-甲基丁基等支链状烷基等。
作为Rd，优选为氢原子、卤原子及甲基。
作为Xd中的碳原子数1至10的2价脂肪族烃基，可举出例如亚甲基、亚乙基、1，3-亚丙基、1，2-亚丙基、1，4-亚丁基、1，3-亚丁基、1，2-亚丁基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基、1，7-亚庚基、1，8-亚辛基等亚烷基。
作为Xd中的碳原子数3至10的2价脂环式烃基，可举出例如亚环丙基、亚环丁基、亚环戊基、亚环己基、亚环庚基、亚环癸基等。
作为Xd中的碳原子数6至12的2价芳香族烃基，可举出例如亚苯基、亚萘基等。
作为Re，可例示出碳原子数1至4的脂肪族烃基。
作为脂肪族烃基及该脂环式烃基所含有的-CH2-被-O-、-CO-、-COO-、-C6H4-(亚苯基)、-NRe-、-S-或-SO2-置换而成的Xd，可举出例如以式(xd-1)至式(xd-10)所示的基团。
Figure BDA00003102475200061
作为Xd，优选为碳原子数1至6的亚烷基，更优选为亚乙基。
作为以式(d-0)所示的化合物，可举出例如下表所示的化合物(d-1)至化合物(d-94)等。表中，表示于Xd栏的式编号表示上述例示的基团的式编号。此外，例如，化合物(d-1)是以下述式(d-1)所示的化合物。
Figure BDA00003102475200062
[表1-1]
[表1-2]
Figure BDA00003102475200081
[表2-1]
Figure BDA00003102475200082
[表2-2]
Figure BDA00003102475200091
作为氟系疏液剂(B)，优选为含有源自不饱和化合物(d)的结构单元和源自后述的不饱和化合物(a)的结构单元的树脂，更优选为含有源自不饱和化合物(d)的结构单元、源自不饱和化合物(a)的结构单元和源自后述的不饱和化合物(b)的结构单元的树脂。通过使氟系疏液剂(B)含有源自不饱和化合物(a)的结构单元，而使显影性优异，故有抑制源自残渣或显影的不均的倾向。通过使氟系疏液剂(B)含有源自不饱和化合物(b)的结构单元，而有耐溶剂性优异的倾向。此外，氟系疏液剂(B)也可含有源自后述的不饱和化合物(c)的结构单元。
在氟系疏液剂(B)为不饱和化合物(a)与不饱和化合物(d)的共聚物时，源自各单体的结构单元的比率，相对于构成氟系疏液剂(B)的结构单元的总和，优选在以下范围内。
源自不饱和化合物(a)的结构单元：5至40重量％(更优选10至30重量％)
源自不饱和化合物(d)的结构单元：60至95重量％(更优选70至90重量％)
在氟系疏液剂(B)为不饱和化合物(a)、不饱和化合物(b)及不饱和化合物(d)的共聚物时，源自各单体的结构单元的比率，相对于构成氟系疏液剂(B)的结构单元的总摩尔数，优选在以下范围内。
源自不饱和化合物(a)的结构单元：5至40重量％(更优选10至30重量％)
源自不饱和化合物(b)的结构单元：5至80重量％(更优选10至70重量％)
源自不饱和化合物(d)的结构单元：10至80重量％(更优选20至70重量％)
在氟系疏液剂(B)为不饱和化合物(a)、不饱和化合物(b)、不饱和化合物(c)及不饱和化合物(d)的共聚物时，源自各单体的结构单元的比率，相对于构成氟系疏液剂(B)的结构单元的总摩尔数，优选在以下范围内。
源自不饱和化合物(a)的结构单元：5至40重量％(更优选10至30重量％)
源自不饱和化合物(b)的结构单元：5至80重量％(更优选10至70重量％)
源自不饱和化合物(c)的结构单元：10至50重量％(更优选20至40重量％)
源自不饱和化合物(d)的结构单元：10至80重量％(更优选20至70重量％)
当各结构单元的比率在上述范围时，有疏液性、显影性优异的倾向。
氟系疏液剂(B)的换算成聚苯乙烯的重均分子量优选为3000至20000，更优选为5000至15000。当氟系疏液剂(B)的重均分子量在上述范围时，有涂布性优异的倾向，此外，显影时难以产生曝光部的膜减少，进而容易通过显影除去非曝光部。
氟系疏液剂(B)的酸值为20至200mgKOH/g，优选为40至150mgKOH/g。
感光性树脂组合物中的氟系疏液剂(B)的含量，在碱可溶性树脂(A)及交联剂(C)的总重量为100重量份时，优选为0.01至10重量份，更优选为0.01至5重量份。当氟系疏液剂(B)的含量在上述范围时，在形成图案时，有显影性优异且所得到的图案(上表面)的疏液性优异的倾向。
不饱和化合物(a)是从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所构成的组中选出的不饱和化合物。作为不饱和化合物(a)，可举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、邻乙烯基苯甲酸、间乙烯基苯甲酸、对乙烯基苯甲酸等不饱和单羧酸；
马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基邻苯二甲酸、4-乙烯基邻苯二甲酸、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸、二甲基四氢邻苯二甲酸、1，4-环己烯二羧酸等不饱和二羧酸；
甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸、5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的双环不饱和化合物；
马来酸酐、柠康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸酐、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐、5，6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯酸酐(纳迪克酸酐(Himic anhydride))等不饱和二羧酸酐；
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上多元羧酸的不饱和单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯；
如(α-(羟基甲基)丙烯酸之类的、在同一分子中含有羟基及羧基的不饱和丙烯酸酯等。
其中，从共聚反应性的观点或碱溶解性的观点来看，优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
在本说明书中，所谓“(甲基)丙烯酸”表示从丙烯酸及甲基丙烯酸所构成的组中选出的至少一种。“(甲基)丙烯酰基”及“(甲基)丙烯酸酯”等的表述也具有同样的意义。
不饱和化合物(b)是具有碳原子数2至4的环状醚(例如从环氧乙烷环、氧杂环丁烷环及四氢呋喃环(氧杂环戊烷环)所构成的组选出的至少一种)的不饱和化合物，优选为具有碳原子数2至4的环状醚和烯键式不饱和双键的单体，更优选为具有碳原子数2至4的环状醚与(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为不饱和化合物(b)，可举出例如具有环氧乙烷基的不饱和化合物(b1)(以下有时称为“不饱和化合物(b1)”)、具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物(b2)(以下有时称为“不饱和化合物(b2)”)、具有四氢呋喃基的不饱和化合物(b3)(以下有时称为“不饱和化合物(b3)”)。
作为不饱和化合物(b1)，可举出具有使烯烃进行环氧化的结构的不饱和化合物(b1-1)(以下有时称为“不饱和化合物(b1-1)”)、具有使环烯烃进行环氧化的结构的不饱和化合物(b1-2)(以下有时称为“不饱和化合物(b1-2)”)。
作为不饱和化合物(b1)，优选为具有环氧乙烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体，更优选为具有使环烯烃进行环氧化的结构和(甲基)丙烯酰氧基的单体。在使用这些单体时，感光性树脂组合物的保存稳定性优异。
作为不饱和化合物(b1-1)，可举出例如(甲基)丙烯酸缩水甘油基酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油基酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油基酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、间乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、对乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、α-甲基-邻乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、α-甲基-间乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、α-甲基-对乙烯基苯甲基缩水甘油基醚、2，3-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，5-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，6-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，4-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3，4，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、日本特开平7-248625号公报中记载的化合物等。
作为不饱和化合物(b1-2)，可举出例如乙烯基环己烯单氧化物、1，2-环氧基-4-乙烯基环己烷(例如Celloxide 2000；Daicel化学工业(株)制)、丙烯酸3，4-环氧基环己基甲酯(例如Cyclomer A400；Daicel化学工业(株)制)、甲基丙烯酸3，4-环氧基环己基甲酯(例如Cyclomer M100；Daicel化学工业(株)制)、以式(I)所示的化合物、以式(II)所示的化合物等。
在式(I)及式(II)中，R1及R2分别独立地表示氢原子、或碳原子数1至4的烷基，该烷基可被羟基取代。
X1及X2分别独立地表示单键、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-。
R3表示碳原子数1至6的亚烷基。
*表示与O的键合位置。
作为以R1及R2表示的碳原子数1至4的烷基，可举出例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。
作为被羟基取代的碳原子数1至4的烷基，可举出例如羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基、1-羟基丙基、2-羟基丙基、3-羟基丙基、1-羟基-1-甲基乙基、2-羟基-1-甲基乙基、1-羟基丁基、2-羟基丁基、3-羟基丁基、4-羟基丁基等。
作为R1及R2，可优选举出氢原子、甲基、羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基，可更优选举出氢原子、甲基。
作为R3所示的亚烷基，可举出例如亚甲基、亚乙基、1，2-亚丙基、1，3-亚丙基、1，4-亚丁基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基等。
作为X1及X2，可优选举出单键、亚甲基、亚乙基、*-CH2-O-基、*-CH2CH2-O-基，可更优选举出单键、*-CH2CH2-O-基，此处，*表示与O的键合位置。
作为以式(I)所示的化合物，可举出例如以式(I-1)至式(I-15)所示的化合物等。可优选举出式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-11)至式(I-15)。可更优选举出式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-15)。
Figure BDA00003102475200141
作为以式(II)所示的化合物，可举出例如以式(II-1)至式(II-15)所示的化合物等。可优选举出式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-11)至式(II-15)。
可更优选举出式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-15)。
Figure BDA00003102475200151
以式(I)所示的化合物及以式(II)所示的化合物可分别单独使用。此外，这些化合物也可以任意的比率混合使用。在混合以式(I)所示的化合物及以式(II)所示的化合物时，这些化合物以式(I)∶式(II)的摩尔比优选5∶95至95∶5、更优选10∶90至90∶10、尤其优选20∶80至80∶20的方式进行混合。
作为不饱和化合物(b2)，优选为具有氧杂环丁烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为不饱和化合物(b2)，可举出例如3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。
作为不饱和化合物(b3)，优选为具有四氢呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为不饱和化合物(b3)，可举出例如丙烯酸四氢糠基酯(例如BiscoatV#150，大阪有机化学工业(株)制)、甲基丙烯酸四氢糠基酯等。
作为不饱和化合物(c)，可举出例如(甲基)丙烯酸酯类、N-取代马来酰亚胺类、不饱和二羧酸二酯类、脂环式不饱和化合物类、苯乙烯类、其他乙烯基化合物等。
作为(甲基)丙烯酸酯类，可举出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等烷基酯类；
(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02.6]癸烷-8-基酯(在该技术领域中，惯用名称为(甲基)丙烯酸二环戊酯)、(甲基)丙烯酸二环戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等环烷基酯类；
(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯等羟基烷基酯类；
(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯等芳基酯及芳烷基酯类。
作为不饱和二羧酸二酯类，可举出例如马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等。
作为N-取代马来酰亚胺类，可举出例如N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苯甲基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等。
作为脂环式不饱和化合物类，可举出例如双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羟基甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2’-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己基氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-双(叔丁氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-双(环己基氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯等双环不饱和化合物类等。
作为苯乙烯类，可举出例如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯等。
作为其他乙烯基化合物，可举出例如(甲基)丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、(甲基)丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3-丁二烯、异戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等。
从共聚反应性及碱溶解性的观点来看，作为不饱和化合物(c)，优选为例如苯乙烯、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苯甲基马来酰亚胺、双环[2.2.1]庚-2-烯等。
<碱可溶性树脂(A)>
本发明的感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂(A)。作为碱可溶性树脂(A)，只要涂膜性良好且具有与其他成分的相溶性即可。
在使本发明的感光性树脂组合物中的碱可溶性树脂(A)、交联剂(C)及产酸剂(D)的总和为100重量％时的碱可溶性树脂(A)的含量优选为60至98重量％。当碱可溶性树脂(A)的含量在上述范围时，有感光性树脂组合物的显影性、所得到的图案的密合性、耐溶剂性及机械特性变良好的倾向。
需要在有机EL装置的构造上、例如透明电极(ITO(掺杂锡的氧化铟)、IZO(掺杂锌的氧化铟：简称IZO))上图案化形成感光性树脂组合物。
透明电极与感光性树脂组合物的密合性良好，故即使使用碱可溶性树脂，有时也会在形成图案构造物后在图案构造物以外的部分、例如图案构造物的开口部的周缘部残留感光性树脂组合物的残渣。
在以喷墨法等将含有有机EL材料的墨液涂布于图案构造物的开口部内时，残留于此开口部周缘部的树脂残渣造成墨液被斥开。在此“斥开(Dewetting)”轻微时，发光层等的膜厚会产生不均。例如发光层的膜厚在周缘部会比开口部的中央部薄。因此，发光层的周缘部的电阻比中央部低，对发光层施加电压时电流集中流动于周缘部，中央部比周缘部暗。在如此地产生膜厚不均时，会产生认为起因于膜厚差的发光不均。尤其在“斥开(Dewetting)”显著时，在开口部的周缘部不会形成发光层等，当以该状态在此发光层上形成电极时，会产生以下现象：在一对电极间产生电流泄漏，电流不在形成于像素内的发光层流动而不发光。
为了解决上述技术问题，本发明人经专心研究的结果，发现：作为碱可溶性树脂(A)，优选使用乙烯基酚树脂(以下，有时称为“聚乙烯基酚”)或酚醛清漆树脂。尤其发现：通过并用聚乙烯基酚和酚醛清漆树脂，可确保图案化形成有感光性树脂组合物的图案构造物与基板(或电极)的密合性，并且在除了图案构造物的区域实质上无残渣(残渣不易残留)，能够显著改善耐热温度。
作为聚乙烯酚，可举出乙烯基苯酚的均聚物、乙烯基苯酚同可与其共聚的单体形成的共聚物等。
聚乙烯基酚可通过将4-乙烯基苯酚、3-乙烯基苯酚、2-乙烯基苯酚、2-甲基-4-乙烯基苯酚、2，6-二甲基-4-乙烯基苯酚等乙烯基苯酚单独或组合2种以上，并使用偶氮双异丁腈、过氧化苯甲酰等聚合引发剂进行自由基聚合而得到。
有关乙烯基酚类及聚乙烯基酚类，详细记载于丸善石油化学(株)研究所编“乙烯基酚基础与应用”(教育出版中心发行)。作为可与乙烯基苯酚共聚的单体，可举出例如异丙烯基苯酚、丙烯酸、甲基丙烯酸、苯乙烯、马来酸酐、马来酰亚胺、乙酸乙烯酯等。其中，优选为乙烯基苯酚的均聚物，特别选为对乙烯基苯酚的均聚物。
聚乙烯基酚的平均分子量，以利用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的换算成单分散聚苯乙烯的重均分子量(Mw)计，通常为3000至20000，优选为4000至15000，更优选为5000至10000。当聚乙烯基酚的重均分子量过低时，即使引起曝光区域的交联反应，分子量也不会充分增大，故易溶解于碱显影液，此外，耐热性的提升效果降低。当聚乙烯基酚的重均分子量过大时，曝光区域与未曝光区域对碱显影液的溶解度的差变小，故难以得到良好的抗蚀图案。
作为酚醛清漆树脂，也可使用在抗蚀剂的技术领域中广泛使用的酚醛清漆树脂。酚醛清漆树脂可通过例如使酚类和醛类或酮类在酸性催化剂(例如草酸)的存在下反应来得到。
作为酚类，可举出例如苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚、2，3-二甲基苯酚、2，5-二甲基苯酚、3，4-二甲基苯酚、3，5-二甲基苯酚、2，4-二甲基苯酚、2，6-二甲基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，6-三甲基苯酚、2-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、2-甲基间苯二酚、4-甲基间苯二酚、5-甲基间苯二酚、4-叔丁基儿茶酚、2-甲氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-丙基苯酚、3-丙基苯酚、4-丙基苯酚、2-异丙基苯酚、2-甲氧基-5-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚、麝香草酚(thymol)、异麝香草酚等。它们可分别单独使用或组合使用2种以上。
作为醛类，可举出例如甲醛、福尔马林、多聚甲醛、三噁烷(trioxane)、乙醛、丙醛、苯甲醛、苯乙醛、α-苯丙醛、β-苯丙醛、邻羟基苯甲醛、间羟基苯甲醛、对羟基苯甲醛、邻氯苯甲醛、间氯苯甲醛、对氯苯甲醛、邻甲基苯甲醛、间甲基苯甲醛、对甲基苯甲醛、对乙基苯甲醛、对正丁基苯甲醛、对苯二甲醛等。作为酮类，可举出丙酮、甲乙酮、二乙基酮、二苯基酮等。它们可分别单独使用或组合使用2种以上。
上述当中，从抗蚀剂的灵敏度控制性的观点来看，特别优选：并用间甲酚和对甲酚，并将其与甲醛、福尔马林或多聚甲醛进行缩合反应而得的酚醛清漆树脂。间甲酚与对甲酚的投入重量比(间甲酚∶对甲酚)通常为80∶20至20∶80，优选为70∶30至50∶50。进而，也优选使用3，5-二甲基苯酚(即3，5-二甲酚)。此时，甲酚类(间甲酚与对甲酚的总量)与3，5-二甲酚的投入重量比(甲酚类：3，5-二甲酚)通常为50∶50至80∶20，优选为60∶40至70∶30。酚醛清漆树脂的平均分子量，以利用GPC测定的换算成单分散聚苯乙烯的重均分子量(Mw)计，通常为1000至10000，优选为2000至7000，更优选为2500至6000。当酚醛清漆树脂的重均分子量过低时，即使引起曝光部的交联反应，分子量增大效果也小，易溶解于碱显影液。
当酚醛清漆树脂的重均分子量过高时，曝光部与未曝光部对碱显影液的溶解度的差变小，难以得到良好的抗蚀图案。聚乙烯基酚及酚醛清漆树脂的重均分子量可通过调整合成条件来控制在所需范围内。此外，通过例如(1)对由合成所得到的树脂进行粉碎，以具有适当的溶解度的有机溶剂进行固-液萃取的方法；(2)使由合成所得到的树脂溶解于良溶剂中，将其滴加到不良溶剂中或者向其中滴加不良溶剂，进行固-液或液-液萃取的方法等，可控制重均分子量。
利用GPC所得到的重均分子量的测定使用SC8020(TOS0公司制)作为GPC测定装置，以如下的条件实施。
柱：TOSO公司制TSKGEL G3000HXL和G200HXL 1000各1根的组合
温度：38℃；
溶剂：四氢呋喃；
流速：1.0ml/分钟；
试样：注入浓度0.05至0.6重量％的试样0.1ml。
聚乙烯基酚与酚醛清漆树脂的使用比率，以聚乙烯基酚∶酚醛清漆树脂的重量比计，通常为30∶70至95∶5，优选为35∶65至95∶5，更优选为40∶60至90∶10的范围。
聚乙烯基酚的比率越大，抗蚀图案的耐热性越良好，但是越容易从基板剥离。当酚醛清漆树脂的比率变大时，可解决抗蚀图案从基板剥离的问题，但是耐热性降低。因此，通过使两者的比率在上述范围内，使耐热性与耐剥离性的平衡变良好。
<产酸剂(D)>
作为产酸剂(D)，可例示出利用活性光线产生酸的化合物、利用热产生酸的化合物。
作为利用活性光线产生酸的化合物，当利用活化辐射线进行曝光时，只要为产生布朗斯台德酸(Bronsted acid)或路易士酸的物质即可，无特别限制，可使用鎓盐、卤化有机化合物、醌二叠氮化合物、α，α’-双(磺酰基)重氮甲烷系化合物、α-羰基-α’-磺酰基重氮甲烷系化合物、砜化合物、有机酸酯化合物、有机酸酰胺化合物、有机酸酰亚胺化合物等公知的化合物。其中，优选为芳香族磺酸酯类、芳香族碘鎓盐、芳香族锍盐、具有卤代烷基残基的芳香族化合物等。这些产酸剂(D)优选根据使图案曝光的光源的波长而从光谱灵敏度的方面进行选择。
作为鎓盐，可举出例如重氮鎓盐、铵盐、二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐等碘鎓盐、三苯基锍三氟甲磺酸盐等锍盐、鏻盐、砷鎓盐、氧鎓盐等。
作为卤化有机化合物，可举出例如含有卤素的噁二唑系化合物、含有卤素的三嗪系化合物、含有卤素的苯乙酮系化合物、含有卤素的二苯甲酮系化合物、含有卤素的亚砜系化合物、含有卤素的砜系化合物、含有卤素的噻唑系化合物、含有卤素的噁唑系化合物、含有卤素的三唑系化合物、含有卤素的2-吡喃酮(pyrone)系化合物、其他的含有卤素的杂环状化合物、含有卤素的脂肪族烃化合物、含有卤素的芳香族烃化合物、亚磺酰卤化合物等。
作为卤化有机化合物的具体例，可举出三(2，3-二溴丙基)磷酸酯、三(2，3-二溴-3-氯丙基)磷酸酯、四溴氯丁烷、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]1-4，6-双(三氯γ甲基)均三嗪、六氯苯、六溴苯、六溴环十二烷、六溴环十二碳烯、六溴联苯、烯丙基三溴苯基醚、四氯双酚A、四溴双酚A、四氯双酚A的双(氯乙基)醚、四溴双酚A的双(溴乙基)醚、双酚A的双(2，3-二氯丙基)醚、双酚A的双(2，3-二溴丙基)醚、四氯双酚A的双(2，3-二氯丙基)醚、四溴双酚A的双(2，3-二溴丙基)醚、四氯双酚S、四溴双酚S、四氯双酚S的双(氯乙基)醚、四溴双酚S的双(溴乙基)醚、双酚S的双(2，3-二氯丙基)醚、双酚S的双(2，3-二溴丙基)醚、三(2，3-二溴丙基)异氰脲酸酯、2，2-双(4-羟基-3，5-二溴苯基)丙烷、2，2-双(4-(2-羟基乙氧基)-3，5-二溴苯基)丙烷等卤系阻燃剂；二氯二苯基三氯乙烷、五氯苯酚、2，4，6-三氯苯基、4-硝基苯基醚、2，4-二氯苯基、3’-甲氧基-4’-硝基苯基醚、2，4-二氯苯氧基乙酸、4，5，6，7-四氯苯酞(4，5，6，7-tetrachlorophthalide)、1，1-双(4-氯苯基)乙醇、1，1-双(4-氯苯基)-2，2，2-三氯乙醇、2，4，4’，5-四氯二苯基硫醚、2，4，4’，5-四氯二苯基砜等有机氯系农药等。
作为醌二叠氮化合物的具体例，可举出例如1，2-苯醌二叠氮-4-磺酸酯、1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸酯、1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯、2，1-萘醌二叠氮-4-磺酸酯、2，1-苯醌二叠氮-5-磺酸酯之类的醌二叠氮衍生物的磺酸酯；1，2-苯醌-2-二叠氮-4-磺酰氯、1，2-萘醌-2-二叠氮-4-磺酰氯、1，2-萘醌-2-二叠氮-5-磺酰氯、1，2-萘醌-1-二叠氮-6-磺酰氯、1，2-苯醌-1-二叠氮-5-磺酰氯等醌二叠氮衍生物的磺酰氯等。
作为α，α’-双(磺酰基)重氮甲烷系化合物的具体例，可举出具有未取代、被对称性或非对称性取代的烷基、烯基、芳烷基、芳香族基、或杂环状基的α，α’-双(磺酰基)重氮甲烷等。
作为α-羰基-α’-磺酰基重氮甲烷系化合物的具体例，可举出具有未取代、被对称性或非对称性取代的烷基、烯基、芳烷基、芳香族基、或杂环状基的α-羰基-α’-磺酰基重氮甲烷等。
作为砜化合物的具体例，可举出具有未取代、被对称性或非对称性取代的烷基、烯基、芳烷基、芳香族基、或杂环状基的砜化合物、二砜化合物等。
作为有机酸酯的具体例，可举出羧酸酯、磺酸酯、磷酸酯等，作为有机酸酰胺，可举出羧酰胺、磺酰胺、磷酰胺等，作为有机酸酰亚胺，可举出羧酰亚胺、磺酰亚胺、磷酰亚胺等。
此外，作为产酸剂(D)，可举出环己基甲基(2-氧代环己基)锍三氟甲烷磺酸盐、二环己基(2-氧代环己基)锍三氟甲烷磺酸盐、2-氧代环己基(2-降冰片基)锍三氟甲烷磺酸盐、2-环己基磺酰基环己酮、二甲基(2-氧代环己基)锍三氟甲烷磺酸盐、三苯基锍三氟甲烷磺酸盐、二苯基碘鎓三氟甲烷磺酸盐、N-羟基琥珀酰亚胺三氟甲烷磺酸酯、对甲苯磺酸苯酯等。
产酸剂(D)相对于碱可溶性树脂(A)100重量份通常以0.1至10重量份、优选0.3至8重量份、更优选0.5至5重量份的比率使用。当产酸剂(D)的比例过小或过大时，有抗蚀图案的形状劣化的可能。
<交联剂(C)>
交联剂(C)是能够在利用活性光线的照射(曝光)所产生的酸的存在下使碱可溶性树脂交联的化合物(感酸物质)。作为此种交联剂，可举出例如烷氧基甲基化脲醛树脂、烷氧基甲基化三聚氰胺树脂、烷氧基甲基化糖醛酸树脂、烷氧基甲基化甘醇脲醛树脂、烷氧基甲基化氨基树脂等公知的酸交联性化合物。此外，可举出烷基醚化三聚氰胺树脂、苯并胍胺树脂、烷基醚化苯并胍胺树脂、脲醛树脂、烷基醚化脲醛树脂、氨基甲酸酯-甲醛树脂、甲阶酚醛树脂、烷基醚化甲阶酚醛树脂、环氧树脂等。
其中，优选为烷氧基甲基化氨基树脂，作为其具体例，可举出甲氧基甲基化氨基树脂、乙氧基甲基化氨基树脂、正丙氧基甲基化氨基树脂、正丁氧基甲基化氨基树脂等。其中，从使析像度良好的观点来看，特别优选为六甲氧基三聚氰胺等的甲氧基甲基化氨基树脂。作为烷氧基甲基化氨基树脂的市售品，可举出例如PL-1170、PL-1174、UFR65、CYMEL300、CYMEL303(以上，三井Cytec公司制)、BX-4000、Nikalac MW-30、MX290(以上，三和Chemical公司制)等。
这些交联剂可分别单独使用或组合使用2种以上。交联剂(C)相对于碱可溶性树脂(A)100重量份通常以0.5至60重量份、优选1至50重量份、更优选2至40重量份的比率使用。当交联剂的使用量过小时，交联反应难以充分进行，使用碱显影液的显影后的抗蚀图案的残膜率降低，或者易产生抗蚀图案的溶胀或蜿蜒等变形。当交联剂的使用量过多时，有析像度降低的可能。
本发明的感光性树脂组合物可含有溶剂(E)。
作为在本发明中可使用的溶剂，可从例如酯溶剂(含有-COO-的溶剂)、酯溶剂以外的醚溶剂(含有-O-的溶剂)、醚酯溶剂(含有-COO-和-O-的溶剂)、酯溶剂以外的酮溶剂(含有-CO-的溶剂)、醇溶剂、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲基亚砜等中选择使用。
作为酯溶剂，可举出例如乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羟基异丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、环己醇乙酸酯、γ-丁内酯等。
作为醚溶剂，可举出例如乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氢呋喃、四氢吡喃、1，4-二噁烷、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙基醚、二乙二醇二丁基醚、茴香醚、苯乙醚、甲基茴香醚等。
作为醚酯溶剂，可举出例如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚乙酸酯、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单丁基醚乙酸酯等。
作为酮溶剂，可举出例如4-羟基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、环戊酮、环己酮、异佛尔酮等。
作为醇溶剂，可举出例如甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。
作为芳香族烃溶剂，可举出例如苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等。
作为酰胺溶剂，可举出例如N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。
这些溶剂可单独使用，也可组合使用2种以上。
上述溶剂中，从涂布性、干燥性的观点来看，优选在1atm下的沸点为120℃以上且180℃以下的有机溶剂。其中，优选为丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二乙二醇甲基乙基醚、乙酸3-甲氧基丁酯、3-甲氧基-1-丁醇等。当溶剂为这些溶剂时，可抑制涂布时的不均、使涂膜的平坦性良好。
感光性树脂组合物中的溶剂(E)的含量相对于感光性树脂组合物所含有的成分的总量优选为60至95重量％，更优选为70至90重量％。换言之，感光性树脂组合物的固体成分优选为5至40重量％，更优选为10至30重量％。当溶剂的含量在上述范围时，有涂布感光性树脂组合物所形成的膜的平坦性高的倾向。此处，固体成分是指从感光性树脂组合物除去溶剂后的成分。
本发明的感光性树脂组合物中可根据需要而添加吸收活性光线的化合物(以下有时称为“光吸收剂(H)”)。
当在感光性树脂组合物中含有吸收活性光线的化合物时，在曝光时，由于吸收朝抗蚀剂膜的深度方向行进的光，因此可得到剖面从顺锥状至逆锥状或外突(overhang)状的抗蚀图案。另外，即使通过基板或形成于基板上的ITO膜等来反射曝光后的光，抗蚀图案的形状也会受到影响。因此，为了防止曝光光的反射，需要有光吸收剂(H)。尤其，使用产酸剂(D)和交联剂(C)的组合的感光性树脂组合物是交联型化学增幅抗蚀剂，利用光的照射所生成的酸在抗蚀剂膜内进行扩散，连光照射不到的区域也引起交联反应，故通过存在吸收活性光线的光吸收剂(H)，可控制抗蚀图案的形状。
作为光吸收剂(H)，只要根据曝光光源的波长来选择在其波长区域具有吸收区域的化合物即可。但是，当光吸收剂(H)为对于碱显影液溶解度低的化合物时，显影后该光吸收剂(H)易残留于基板上，故优选为赋予酚性羟基或羧基、磺酰基等酸性残基且提高对于碱显影液的溶解度的化合物。此外，为了解决此种产生残渣的问题，优选选择吸光度更高的化合物以便能够以少量添加量得到充分的吸光度。当所形成的抗蚀图案在曝光后烘焙(PEB)或溅射工序中曝露于高温时，有时光吸收剂(H升华而污染装置，故光吸收剂(H)优选为升华性低的化合物。
作为本发明所使用的光吸收剂(H)，优选为所谓的偶氮染料。作为偶氮染料，可举出例如偶氮苯衍生物、偶氮萘衍生物、芳基吡咯烷酮的偶氮苯或偶氮萘取代物、以及吡唑啉酮(pyrazolone)、苯并吡唑啉酮、吡唑、咪唑、噻唑等杂环的芳基偶氮化合物等。
这些芳基偶氮化合物为了使吸收波长设定于所希望的区域，而可适当选择共轭体系的长度或取代基的种类等。例如通过被磺酸(金属盐)基、磺酸酯基、磺基、羧基、氰基、(取代)芳基或烷基羰基、卤素等吸电子基团取代，可形成使吸收区域设定为短波长的芳基偶氮化合物。此外，通过被如下的供电子基团取代，也可形成使吸收波长设定于长波长区域的芳基偶氮化合物，所述供电子基团为被(取代)烷基、(取代)芳基或聚环氧烷基等所取代的氨基、羟基、烷氧基、或芳基氧基等。作为取代基，有如氨基那样使对碱显影液的溶解性降低的基团和如羧基或羟基那样使对碱显影液的溶解性提高的基团，故为了使本发明的感光性树脂组合物的感光度达到实用性水准，优选适当选定芳基偶氮化合物的取代基的种类。
在偶氮染料的情况下，通过选择化合物的结构或取代基的种类，可使用在200至500nm的宽泛的波长区域吸收活性光线的各种化合物。此种共轭体系的长度或取代基的选定，也符合偶氮染料以外的化合物。作为主要对应于300至400nm的波长区域的光源的化合物，可举出使(取代)苯甲醛与具有活性亚甲基的化合物进行缩合所得到的苯乙烯衍生物。作为苯甲醛的取代基，可举出例如被羟基、烷氧基或卤原子取代的烷基氨基、聚环氧烷基氨基、羟基、卤原子、烷基、烷氧基、烷基羰基或芳基羰基等。
作为具有活性亚甲基的化合物，可举出例如乙腈、α-氰基乙酸酯、α-氰基酮类、丙二酸酯、乙酰乙酸酯等1，3-二酮类等。
此外，作为光吸收剂(H)，也可使用使芳基吡唑啉酮与芳基醛缩合所得到的次甲基染料类、芳基苯并三唑类、作为胺与醛的缩合物所得到的偶氮次甲基染料、姜黄素(Curcumin)、氧杂蒽酮(xanthone)等天然化合物等。具有芳基羟基的染料的醌二叠氮磺酸酯化合物或双叠氮化合物等，与吸收曝光光同时地改变对碱显影液的溶解性，或者可使用进行交联反应的化合物来调整显影特性。
进而，作为光吸收剂(H)，可使用例如氰基乙烯基苯乙烯系化合物、1-氰基-2-(4-二烷基氨基苯基)乙烯类、对(卤代苯基偶氮)-二烷基氨基苯类、1-烷氧基-4-(4’-N，N-二烷基氨基苯基偶氮)苯类、二烷基氨基化合物、1，2-二氰基乙烯、9-氰基蒽、9-蒽基亚甲基丙二腈、N-乙基-3-咔唑基亚甲基丙二腈、2-(3，3-二氰基-2-亚丙烯基(propenylidene))-3-甲基-1，3-噻唑啉等。
在市售的染料中，作为光吸收剂(H)有用的染料，可举出例如油溶黄#101、油溶黄#103、油溶黄#117、油溶粉红#312、油溶绿BG、油溶蓝BOS、油溶蓝#603、油溶黑BY、油溶黑BS、油溶黑T-505(以上均为Orient化学工业株式会社制)；结晶紫(C.I.42555、甲基紫(C.I.42535、若丹明(rhodamine)B(C.I.45170B)、孔雀石绿(C.I.42000)、亚甲基蓝(C.I.52015)等。
作为上述1-氰基-2-(4-二烷基氨基苯基)乙烯类，可举出例如1-羧基-1-氰基-2-(4-二正己基氨基苯基)乙烯、1-羧基-1-氰基-2-(4-二正丁基氨基苯基)乙烯、1-羧基-1-氰基-2-(4-二正庚基氨基苯基)乙烯等1位具有羧基的1-氰基-2-(4-二烷基氨基苯基)乙烯类。
从逆锥状的抗蚀图案轮廓的形成性优异的观点来看，特别优选这些1-氰基-2-(4-二烷基氨基苯基)乙烯类、油溶黄#101、油溶黄#103、油溶黄#107等。另外，所谓逆锥状是指图案化形成感光性树脂组合物而成的图案构造物的剖面形状为随著远离基板而变宽的形状。当剖面形成逆锥状或外突状的抗蚀图案时，光吸收剂(H)的使用量可根据感光性树脂组合物的膜厚或光吸收剂(H)的种类等而适当决定，一般在膜厚较厚时，光难以透射，故使用量可以较少，在膜厚薄时，使用量较多。光吸收剂(H)相对于碱可溶性树脂100重量份通常以0.1至15重量份、优选0.5至10重量份、特别优选1至8重量份的比率使用。当剖面形成顺锥状的抗蚀图案时，与剖面形成逆锥状或外突状的抗蚀图案时相比，光吸收剂(H)的使用量少，相对于碱可溶性树脂(A)100重量份，以未使用(0)至小于0.1重量份的比率使用。
本发明的感光性树脂组合物可含有表面活性剂(F)。作为表面活性剂(F)，可举出例如硅酮系表面活性剂、氟系表面活性剂、具有氟原子的硅酮系表面活性剂等。但是，表面活性剂(F)以与氟系疏液剂(B)不同的结构的化合物作为主要成分。
作为硅酮系表面活性剂，可举出具有硅氧烷键的表面活性剂，可举出例如Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray SiliconeDC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray SiliconeSH29PA、Toray Silicone SH30PA、聚醚改性硅油SH8400(商品名：TorayDow Corning(株)制)，KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工业(株)制)，TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(Momentive PerformanceMaterials Japan合同公司制)等。
作为氟系表面活性剂，可举出具有氟碳链的表面活性剂，可举出例如Fluorinert(注册商标)FC430、Fluorinert FC431(住友3M(株)制)，Megafac(注册商标)P142D、Megafac F171、Megafac F172、Megafac F173、Megafac F177、Megafac F183、Megafac R30(DIC(株)制)，Eftop(注册商标)EF301、Eftop EF303、Eftop EF351、Eftop EF352(三菱Materials电子化成(株)制)，Surflon(注册商标)S381、Surflon S382、Surflon SC101、Surflon SC105(旭硝子(株)制)，E5844(Daikin fine Chemical研究所(株)制)等。
作为具有氟原子的硅酮系表面活性剂，可举出具有硅氧烷键及氟碳链的表面活性剂，可举出例如Megafac(注册商标)R08、Megafac BL20、Megafac F475、Megafac F477、Megafac F443(DIC(株)制)等。可优选举出例如Megafac(注册商标)F475。
表面活性剂(F)的含量相对于感光性树脂组合物所含有的成分的总量为0.001重量％以上且0.2重量％以下，优选为0.002重量％以上且0.1重量％以下，更优选为0.01重量％以上且0.05重量％以下。通过以此范围含有表面活性剂(F)，可使涂膜的平坦性良好。
在本发明的感光性树脂组合物也可以根据需要并用填充剂、其他高分子化合物、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、光稳定剂、链转移剂等各种添加剂。
本发明的感光性树脂组合物实质上不含有颜料及染料等着色剂。即，在本发明的感光性树脂组合物中，着色剂相对于组合物整体的含量，例如优选小于1重量％，更优选小于0.5重量％。
将本发明的感光性树脂组合物填充于光程长为1cm的石英池内，使用分光光度计在测定波长400至700nm的条件下测定透射率时的平均透射率优选为70％以上，更优选为80％以上。
在将本发明的感光性树脂组合物制成涂膜时，涂膜的平均透射率优选为90％以上，进一步更优选为95％以上。此平均透射率是使用分光光度计在测定波长400至700nm的条件下测定加热固化(例如在100至250℃、5分钟至3小时的条件下进行固化)后的3μm厚度的涂膜时的平均值。由此，可提供在可见光区域的透明性优异的涂膜。
例如，如后述那样，通过将本发明的感光性树脂组合物涂布于基材(例如玻璃、金属、塑料等基板、形成有滤色器、各种绝缘膜或导电膜、驱动电路等的此类基板)上，可形成为涂膜。涂膜优选为经干燥及固化后的涂膜。此外，还可将所得到的涂膜图案化为所希望的形状而用作图案构造物。进而，也可使这些涂膜或图案构造物形成为显示装置等构成部件的一部分而使用。
首先，将本发明的感光性树脂组合物涂布于基材上。
涂布可使用旋涂器、模缝及旋涂器(slit and spin coater)、模缝涂布器、喷墨机、辊涂器、浸涂器等各种涂布装置来进行。
然后，优选进行干燥或预烘焙而除去溶剂等挥发成分。由此，可得到平滑的未固化涂膜。
此时的涂膜的膜厚并无特别限定，可根据所使用的材料、用途等而适当调整，例如为1至6μm左右。
进而，在所得到的未固化涂膜上隔着用于形成目标图案的光掩模照射光、例如产生自汞灯、发光二极管的紫外线等。此时的光掩模的形状无特别限定，其形状和大小只要根据图案的用途进行选择即可。
在近年来的曝光机中，将小于350nm的光使用截取此波长域的滤光膜进行截取；或者将436nm附近、408nm附近、365nm附近的光使用取出这些波长域的带通滤波器进行选择性地取出，对曝光面整体均匀地照射大致平行的光线。若使用光掩模对准器(mask aligner)、步进器等装置，则此时可进行掩模与基材的准确对位。
通过使曝光后的涂膜接触显影液而溶解特定部分例如非曝光部分，并进行显影，由此可得到目标图案形状。
显影方法可为液池法(puddle method)、浸渍法、喷涂法等中的任一种。进而，也可以在显影时使基材倾斜成任意的角度。
使用于显影的显影液优选为碱性化合物的水溶液。碱性化合物可为无机碱性化合物及有机碱性化合物中的任一种。
作为无机碱性化合物的具体例，可举出例如氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨水等。
作为有机碱性化合物，可举出例如四甲基氢氧化铵、2-羟基乙基三甲基氢氧化铵、单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺等。
这些无机碱性化合物及有机碱性化合物的水溶液中的浓度优选为0.01至10质量％，更优选为0.03至5质量％。
显影液可含有表面活性剂。
表面活性剂可为非离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂或阳离子系表面活性剂中的任一种。
作为非离子系表面活性剂，可举出例如聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。
作为阴离子系表面活性剂，可举出例如月桂醇硫酸酯钠或油醇硫酸酯钠之类的高级醇硫酸酯盐类，月桂基硫酸钠或月桂基硫酸铵之类的烷基硫酸盐类，十二烷碳基苯磺酸钠或十二烷基萘磺酸钠之类的烷基芳基磺酸盐类等。
作为阳离子系表面活性剂，可举出例如硬脂胺盐酸盐或月桂基三甲基氯化铵之类的胺盐或者季铵盐等。
碱显影液中的表面活性剂的浓度优选为0.01至10重量％的范围，更优选为0.05至8重量％，进一步优选为0.1至5重量％。
显影后，利用水洗进行图案化，可以得到图案构造物。可根据需要进一步进行后烘焙。后烘焙例如优选在150至240℃的温度范围进行10至180分钟。
在使未固化涂膜曝光时，不使用形成有图案的光掩模，而整面地进行光照射和/或省略显影，由此可得到不具有图案的涂膜。
以这种方式从本发明的感光性树脂组合物所得到的图案构造物具有高的耐热性和疏液性，在图案的形成部以外无残渣(或残渣非常少)，故尤其在喷墨法等涂布型工艺中作为用于制作滤色器、液晶显示元件的ITO电极、有机EL显示元件及电路配线基板等所使用的隔壁有用。本发明的感光性树脂组合物尤其优选用作依据上述特性而用于制作有机EL元件的隔壁。
参照图3对于使用上述感光性树脂组合物而形成用于将有机EL元件形成于支撑基板上所设的隔壁的隔壁形成工艺进行说明。另外，图3所示的隔壁的锥形仅为例示，未必需要为所例示的形状，只要为可使有机EL层形成在均匀且平坦的膜厚的涂膜上的构造即可。
首先，准备形成有第1电极2的支撑基板1(图3A)。然后，利用涂布工艺使感光性树脂组合物11在支撑基板1上成膜，实施预烘焙(图3B)。然后，对于成膜后的感光性树脂组合物，隔着掩模10仅对应形成隔壁的部位选择性地照射光(图3C)。进而，通过显影、实施后烘焙，形成隔壁3(图3D)。
此外，隔壁3不限于单一的构成，例如可在图3所示的隔壁3上进一步重叠形成隔壁3a(参照图4A至图4D)。这些重叠的隔壁3及3a可使用彼此相同的感光性树脂组合物而形成，此外，也可使用不同的感光性树脂组合物而形成。另外，图4A至图4D所示的隔壁的锥形仅为例示，未必需要为所例示的形状，只要为可使有机EL层形成在均匀且平坦的膜厚的涂膜上的构造即可。
因此，所层叠的隔壁可以相同或分别呈现不同的形状。
在如此地重叠形成隔壁时，例如在图3D所得到的支撑基板上将感光性树脂组合物进一步涂布成膜，实拖预烘焙(图4B)，进行曝光(图4C)、显影，实施后烘焙，由此形成隔壁3a(图4D)。
接着，对于可用作有机EL显示装置的有机EL元件的构成进行例示说明。
<有机EL元件的构成>
有机EL元件具有至少1层发光层作为有机EL层，作为有机EL层，可具有例如空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层及电子注入层等。
以下表示有机EL元件可采取的层构成的一个例子。
a)阳极/发光层/阴极
b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极
c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极
d)阳极/空穴注入层/发光层/电子传输层/阴极
e)阳极/空穴注入层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
f)阳极/空穴传输层/发光层/阴极
g)阳极/空穴传输层/发光层/电子注入层/阴极
h)阳极/空穴传输层/发光层/电子传输层/阴极
i)阳极/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
j)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/阴极
k)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子注入层/阴极
l)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/阴极
m)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
n)阳极/发光层/电子注入层/阴极
o)阳极/发光层/电子传输层/阴极
p)阳极/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
(此处，记号“/”表示夹持记号“/”的各层相邻层叠。以下相同)。
另外，发挥阳极功能的第1电极可在相对于第2电极更靠近支撑基板处配置，发挥阴极功能的第1电极也可在相对于第2电极更靠近支撑基板处配置。
<支撑基板>
支撑基板优选使用在制造有机EL元件的工序中不发生化学变化的支撑基板，可使用例如玻璃、塑料、高分子膜及硅板、以及将它们层叠而成的层叠物等。
<阳极>
在从发光层所放射的光通过阳极而出射至外界的构成的有机EL元件的情况下，阳极使用显示光透射性的电极。作为显示光透射性的电极，可使用金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，优选使用电导率及透光率高的薄膜。作为阳极，具体而言，可使用氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide：简称IZO)、金、铂、银及铜等所形成的薄膜，其中，优选使用ITO、IZO或氧化锡所形成的薄膜。作为阳极的制作方法，可举出真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、镀敷法等。此外，作为该阳极，可使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有机透明导电膜。
<阴极>
作为阴极的材料，优选功函数小、电子容易注入发光层且电导率高的材料。此外，在从阳极侧取出光的构成的有机EL元件中，将从发光层所放射的光用阴极反射至阳极侧，因此，作为阴极的材料，优选为对可见光的反射率高的材料。在阴极中可使用例如碱金属、碱土金属、过渡金属及周期表的13族金属等。作为阴极的材料，可使用例如锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属；上述金属中的2种以上的合金；上述金属中的1种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中的1种以上的合金；或者，石墨或石墨层间化合物等。作为合金的例子，可举出例如镁-银合金、镁-铟合金、镁-铝合金、铟-银合金、锂-铝合金、锂-镁合金、锂-铟合金、钙-铝合金等。此外，作为阴极，可使用由导电性金属氧化物及导电性有机物等所形成的透明导电性电极。具体而言，作为导电性金属氧化物，可举出例如氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO及IZO，作为导电性有机物，可举出聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。另外，阴极也可以由层叠2层以上的层叠体构成。另外，也可使用电子注入层作为阴极。
作为阴极的制作方法，可举出例如真空蒸镀法、离子镀法等。
阳极或阴极的膜厚考虑所要求的特性或成膜工序的简易性等而适当设定，例如为10nm至10μm，优选为20nm至1μm，进一步优选为50nm至500nm。另外，在阳极及阴极中，相当于第2电极的电极也可以按照其膜厚比第2电极及上述有机EL层之间的界面与隔壁的顶面在支撑基板的厚度方向的间隔厚的方式形成。
<空穴注入层>
作为构成空穴注入层的空穴注入材料，可举出例如氧化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物，苯胺系化合物、星状爆炸型胺系化合物、酞菁系、无定形碳、聚苯胺及聚噻吩衍生物等。
作为空穴注入层的成膜方法，可举出例如源自含有空穴注入材料的溶液的成膜。例如可通过利用特定的涂布法将含有空穴注入材料的溶液涂布成膜、再使其固化而形成空穴注入层。
空穴注入层的膜厚考虑所要求的特性及工序的简易性等而适当设定，例如为1nm至1μm，优选为2nm至500nm，进一步优选为5nm至200nm。
<空穴传输层>
作为构成空穴传输层的空穴传输材料，可举出例如聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、二苯乙烯衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯)或其衍生物、或聚(2，5-亚噻吩基亚乙烯)或其衍生物等。
空穴传输层的膜厚考量所要求的特性及成膜工序的简易性等而设定，例如为1nm至1μm，优选为2nm至500nm，进一步优选为5nm至200nm。
<发光层>
发光层通常由主要发出荧光和/或磷光的有机物或由该有机物和辅助该有机物的掺杂剂形成。例如为了提高发光效率、改变发光波长而加入掺杂剂。另外，构成发光层的有机物可为低分子化合物或高分子化合物，在利用涂布工艺形成发光层时，发光层优选含有高分子化合物。构成发光层的高分子化合物的换算成聚苯乙烯的数均分子量例如为103至108左右。作为构成发光层的发光材料，可举出例如以下的色素系材料、金属络合物系材料、高分子系材料、掺杂剂材料。
(色素系材料)
作为色素系材料，可举出例如环戊丙甲胺(cyclopendamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基亚芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、紫环酮(perinone)衍生物、苝衍生物、低聚噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖啶酮衍生物、香豆素衍生物等。
(金属络合物系材料)
作为金属络合物系材料，可举出例如在中心金属中具有Tb、Eu、Dy等稀土金属或Al、Zn、Be、Ir、Pt等，在配体中具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等的金属络合物，可举出例如铱络合物、铂络合物等具有源自三重激态的发光的金属络合物，羟基喹啉铝络合物、苯并羟基喹啉铍络合物、苯并噁唑啉锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉(porphyrin)锌络合物、菲咯啉(phenanthroline)铕络合物等。
(高分子系材料)
作为高分子系材料，可举出例如聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑衍生物、将上述色素系材料或金属络合物系发光材料进行高分子化的物质等。
发光层的厚度通常为约2nm至200nm。
<电子传输层>
作为构成电子传输层的电子传输材料，可使用公知的物质，可举出例如噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯或其衍生物、联苯醌衍生物、或者8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。
电子传输层的膜厚考虑所要求的特性及成膜工序的简易性等而适当设定，例如为1nm至1μm，优选为2nm至500nm，进一步优选为5nm至200nm。
<电子注入层>
作为构成电子注入层的材料，可以根据发光层的种类而适当选择最佳材料，可举出例如碱金属、碱土金属、含有碱金属及碱土金属中的1种以上的合金、碱金属或碱土金属的氧化物、碱金属或碱土金属的卤化物、碱金属或碱土金属的碳酸盐、及这些物质的混合物等。作为碱金属、碱金属的氧化物、碱金属的卤化物及碱金属的碳酸盐的例子，可举出锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等。此外，作为碱土金属、碱土金属的氧化物、碱土金属的卤化物、碱土金属的碳酸盐的例子，可举出镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等。电子注入层可以由层叠2层以上的层叠体构成，可举出例如LiF/Ca等。
作为电子注入层的膜厚，优选为1nm至1μm左右。
上述的各有机EL层可通过例如喷嘴印刷法、喷墨印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法等涂布型工艺，或真空蒸镀法、溅射法或CVD法等而形成。
另外，在涂布型工艺中，将含有各有机EL层的材料和溶剂的墨液进行涂布、成膜，再蒸发溶剂，将其固化而形成有机EL层，此时所使用的墨液的溶剂可使用例如氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶剂，四氢呋喃等醚系溶剂，甲苯、二甲苯等芳香族烃系溶剂，丙酮、甲乙酮等酮系溶剂，乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙基溶纤剂乙酸酯等酯系溶剂及水等。
实施例
以下，利用实施例更详细地说明本发明。例中的“％”及“份”只要无特别说明，均为重量％及重量份。
(合成例1)
在具备回流冷凝管、氮气导入管、温度计及搅拌装置的四口烧瓶中，加入甲基丙烯酸30份、甲基丙烯酸2-羟基乙酯30份、甲基丙烯酸异冰片酯40份、2-硫基乙醇(2-sulfanyl ethanol)5.9份、丙二醇单甲基醚乙酸酯163份，加热至70℃后，在氮气流下搅拌30分钟。再添加偶氮双异丁腈1.3份，聚合18小时。其后，加入丙烯酸2-异氰酸根合乙酯(2-isocyanato ethyl acrylate)(Karenz AOI：昭和电工(株)制)29.3份，加入相对于全部组合物为50ppm的氢醌单甲基醚，在氮气流下在45℃反应1小时，得到固体成分34重量％的共聚物(碱可溶性树脂Ab)的溶液，所得到的碱可溶性树脂Ab的重均分子量(Mw)为4900。
(合成例2)
在具备回流冷凝管、氮气导入管、温度计及搅拌装置的四口烧瓶中，加入α-氯丙烯酸3，3，4，4，5，5，6，6，6-九氟己酯78份、甲基丙烯酸19.5份、甲基丙烯酸异冰片酯19.5份、甲基丙烯酸缩水甘油基酯13份、十二碳硫醇12.7份、丙二醇单甲基醚乙酸酯266份，加热至70℃后，在氮气流下搅拌30分钟。再添加偶氮双异丁腈1份，聚合18小时，得到固体成分33重量％、酸值68mg-KOH/g(固体成分换算)的共聚物(氟系疏液剂Ba)的溶液。所得到的树脂Ba的重均分子量为7500。
氟系疏液剂Ba具有以下结构单元。
(合成例3)
在具备回流冷凝管、氮气导入管、温度计及搅拌装置的四口烧瓶中，加入α-氯甲基丙烯酸3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，8，8，8-十三氟辛酯78份、甲基丙烯酸19.5份、甲基丙烯酸异冰片酯19.5份、甲基丙烯酸缩水甘油基酯13份、十二碳硫醇12.7份、丙二醇单甲基醚乙酸酯266份，加热至70℃后，在氮气流下搅拌30分钟。再添加偶氮双异丁腈1份，聚合18小时，得到固体成分33重量％、酸值65mg-KOH/g(固体成分换算)的共聚物(氟系疏液剂Bb)的溶液。所得到的树脂Bb的重均分子量为6800。
氟系疏液剂Bb具有以下结构单元。
Figure BDA00003102475200372
在合成例1、2、3所得到的树脂的重均分子量(Mw)及数均分子量(Mn)的测定使用GPC法以如下的条件实施。
装置：K2479(岛津制作所(株)制)
柱：SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
柱温：40℃
溶剂：THF(四氢呋喃)
流速：1.0ml/分钟
检测器：RI
将上述所得到的换算成聚苯乙烯的重均分子量及数均分子量的比(Mw/Mn)作为分子量分布。
(合成例4)
得到由聚对乙烯基苯酚(重均分子量6000)90重量份、以及间甲酚和对甲酚以间甲酚/对甲酚为70/30(重量比)的投入比与甲醛进行脱水缩合而得到的酚醛清漆树脂(重均分子量4000)10重量份所形成的碱可溶性树脂Aa。
此外，得到由聚对乙烯基苯酚(重均分子量6000)60重量份、以及间甲酚和对甲酚以间甲酚/对甲酚为70/30(重量比)的投入比与甲醛进行脱水缩合而得到的酚醛清漆树脂(重均分子量4000)40重量份所形成的碱可溶性树脂Aa’。
<感光性树脂的制备>
以使固体成分量成为18.0％的方式将各成分混合于溶剂Ea(丙二醇单甲基醚乙酸酯)，得到表3记载的负型感光性树脂组合物1、2、3。
[表3]
Figure BDA00003102475200381
表3中，在实施例中的各成分的数值表示使感光性树脂组合物中的固体成分(A+C+D)为100重量份时的各成分的重量％(组成比率)。在比较例中的各成分的数值表示使感光性树脂组合物中的固体成分(A+B+C+G)为100重量份时的各成分的重量％(组成比率)。
在实施例及比较例中所使用的各成分如下。
Ca：三聚氰胺系树脂交联剂(三井Cytec公司制、Cymel 303)
Cb：三聚氰胺系树脂交联剂(三井Cytec公司制、Cymel 300)
Ha：光吸收剂(染料)Orient化学公司制：油溶黄
Ga：四氢邻苯二甲酸酐(Rikacid TH：新日本理化(株)制)
Gb：2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基丙酰基)-苯甲基]苯基}-2-甲基丙烷-1-酮(光聚合引发剂Irgacure 127；BASF Japan(株)制)
Gc：季戊四醇四丙烯酸酯(聚合性化合物A-TMMT；新中村化学工业(株)制)
<组合物的透射率>
对于上述所得到的感光性树脂组合物，分别使用紫外线可见光近红外线分光光度计(V-650；日本分光(株)制)(石英池，光程长：1em)，测定400至700nm下的平均透射率(％)。结果表示于表4中。
[表4]
平均透射率(％)
感光性树脂组合物1 91
感光性树脂组合物2 91
感光性树脂组合物3 93
<涂膜的制作>
将2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG；Corning公司制)以中性清洁剂、水及醇依次洗净后，进行干燥。在此玻璃基板上，将上述所得到的感光性树脂组合物1、2、3分别以使后烘焙后的膜厚成为3.0μm的方式进行旋涂，以减压干燥机(Microtek(株)制)减压干燥至减压度成为66kPa后，以热板在80℃预烘焙2分钟，使其干燥。冷却后，使用曝光机(TME-150RSK；Topcon(株)制，光源：超高压汞灯)，在大气环境下照射曝光量50mJ/cm2(365nm基准)的光。另外，对此时的感光性树脂组合物的照射使用超高压汞灯。光照射后，感光性树脂组合物1、2通过以热板在110℃烘焙60秒钟而使曝光部交联。其后，在含有非离子性表面活性剂0.12％与氢氧化钾0.04％的水系显影液中将上述涂膜在23℃浸渍并摇动60秒而使其接触，其后，在烘箱中，以230℃加热20分钟(后烘焙)而得到涂膜。
对于感光性树脂组合物3，除了将曝光量换成500mJ/cm2(365nm基准)，并且不实施光照射后的烘焙以外，按照与上述同样的方法得到涂膜。
<涂膜的平均透射率>
对于所得到的涂膜，使用显微分光测定装置(OSP-SP200；OLYMPUS公司制)，测定400至700nm下的平均透射率(％)。透射率变高意味着吸收变小。
<接触角>
对于所得到的涂膜，使用接触角计(DGD Fast/60；GBX公司制)，测定与茴香醚的接触角。测定结果示于表5中。
[表5]
接触角(°)
感光性树脂组合物1的涂膜 33
感光性树脂组合物2的涂膜 30
感光性树脂组合物3的涂膜 28
接触角越高，意味着疏液性越高。在涂膜的接触角较高时，使用相同的感光性树脂组合物所形成的图案中接触角也较高。以接触角高的感光性树脂组合物形成隔壁，在以该隔壁所包围的区域中利用喷墨装置印上墨液时，墨液易被斥开。因此，例如在利用喷墨法制作滤色器时，难以产生在相邻的像素区域间的墨液的混色。
<耐热性评估>
使所得到的涂膜在洁净烘箱中以240℃加热1小时，测定膜厚及透射率。从加热前后的膜厚及400nm的透射率，按照下式分别求出变化率。
膜厚变化率(％)＝加热后的膜厚(μm)/加热前的膜厚(μm)×100
透射率变化率(％)＝加热后的透射率(％)/加热前的透射率(％)×100
若涂膜的耐热性良好，则使用相同的感光性树脂组合物所形成的图案的耐热性也良好。结果示于表6中。
[表6]
膜厚变化率(％) 透射率变化率(％)
感光性树脂组合物1的涂膜 97 95
感光性树脂组合物2的涂膜 97 95
感光性树脂组合物3的涂膜 88 93
<图案形成>
将2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG；Corning公司制)以中性清洁剂、水及醇依次洗净后，进行干燥。在此玻璃基板上，将感光性树脂组合物1、2分别以使后烘焙后的膜厚成为3.5μm的方式进行旋涂，以减压干燥机(Microtek(株)制)减压干燥至减压度成为66kPa后，以热板在80℃预烘焙2分钟，使其干燥。冷却后，将分别涂布有此感光性树脂组合物1、2、3的基板与石英玻璃制光掩模的间隔设为10μm，使用曝光机(TME-150RSK；Topcon(株)制，光源：超高压汞灯)，在大气环境下照射曝光量50mJ/cm2(365nm基准)的光。另外，对此时的感光性树脂组合物的照射通过使源自超高压汞灯的放射光通过光学滤波器(UV-33；朝日分光(株)制)而进行。此外，作为光掩模，使用图案(具有1边为13μm的多个正方形的透光部，该正方形间隔为100μm)(即透光部)形成于同一平面上的光掩模。
光照射后，感光性树脂组合物1、2通过以热板在110℃烘焙60秒钟而使曝光部交联。其后，在含有非离子性表面活性剂0.12％与氢氧化钾0.04％的水系显影液中将上述涂膜以25℃浸渍并摇动100秒，进行显影，水洗后，在烘箱中，以235℃后烘焙15分钟而得到图案。
对于感光性树脂组合物3，除了将曝光量换成500mJ/cm2(365nm基准)，并且不实施光照射后的烘焙以外，按照与上述同样的方法得到涂膜。
<“有无”图案部以外的残渣的判定>
在被由上述所形成的图案构造物所构成的隔壁包围的区域，以喷墨装置(ULVAC制Litrex 142P)填充纯水和茴香醚。用显微镜观察是否在隔壁与被隔壁所包围的区域的边界部未产生斥开。在从实施例的感光性树脂组合物1、2所得到的隔壁不产生斥开，在从比较例的感光性树脂组合物3所得到的隔壁产生斥开。
从实施例的结果，可知：通过使用本发明的负型感光性树脂组合物，可形成耐热性优异的涂膜及图案部以外无残渣(残渣非常少)的图案。

Claims (9)

1.一种感光性树脂组合物，其是含有碱可溶性树脂(A)、氟系疏液剂(B)、交联剂(C)及产酸剂(D)的负型感光性树脂组合物，
氟系疏液剂(B)为含有源自具有碳原子数4至6的氟烷基的不饱和化合物的结构单元的加成聚合物，且氟系疏液剂(B)的添加比例相对于组合物中的全部固体成分为0.01至1.0重量％。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其进一步含有溶剂(E)。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，碱可溶性树脂(A)含有酚树脂。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，碱可溶性树脂(A)含有酚醛清漆树脂。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，氟系疏液剂(B)为含有源自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所构成的组中选出的至少一种的结构单元的加成聚合物。
6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，氟系疏液剂(B)为含有源自具有碳原子数2至4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元的加成聚合物。
7.一种图案构造物，其使用权利要求1所述的感光性树脂组合物而形成。
8.一种显示装置，其含有权利要求7所述的图案构造物。
9.一种喷墨用隔壁，其含有权利要求7所述的图案构造物。
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