WO2022145187A1

WO2022145187A1 - 感光性樹脂組成物及び有機ｅｌ素子隔壁

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Publication number: WO2022145187A1
Application number: PCT/JP2021/045202
Authority: WO
Inventors: 恭裕石田; 健太郎古江; 拓樹倉本
Original assignee: 昭和電工株式会社
Priority date: 2020-12-28
Filing date: 2021-12-08
Publication date: 2022-07-07
Also published as: TWI797892B; JPWO2022145187A1; TW202238266A

Abstract

高い光学濃度（ＯＤ値）を有する厚膜パターンを形成することができる、黒色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物の提供。（Ａ）エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第１樹脂、（Ｂ）重量平均分子量が３０００～８００００である第２樹脂、（Ｄ）感放射線化合物、及び（Ｅ）黒色剤を含む感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上であり、第２樹脂のアルカリ溶解速度が第１樹脂のアルカリ溶解速度の５％以下である、感光性樹脂組成物。

Description

感光性樹脂組成物及び有機ＥＬ素子隔壁

　本発明は、黒色剤を含有する感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた有機ＥＬ素子隔壁、有機ＥＬ素子絶縁膜、及び有機ＥＬ素子に関する。

　有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等の表示装置においては、表示特性向上のために、表示領域内の着色パターンの間隔部又は表示領域周辺部分の縁等に隔壁材が用いられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、有機物質の画素が互いに接触しないようにするため、まず隔壁が形成され、その隔壁の間に有機物質の画素が形成される。この隔壁は一般に、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフィによって形成され、絶縁性を有する。詳しくは、塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、揮発成分を加熱等の手段で除去したのち、マスクを介して露光し、次いでネガ型の場合は未露光部分を、ポジ型の場合は露光部分をアルカリ水溶液等の現像液で除去することによって現像し、得られたパターンを加熱処理して、隔壁（絶縁膜）を形成する。次いでインクジェット法等によって、赤、緑、青の３色の光を発する有機物質を隔壁の間に成膜して、有機ＥＬ表示装置の画素を形成する。

　該分野では近年、表示装置の小型化、及び表示するコンテンツが多様化したことにより、画素の高性能化及び高精細化が要求されている。表示装置におけるコントラストを高め、視認性を向上させる目的で、着色剤を用いて隔壁材に遮光性を持たせる試みがなされている。しかし、隔壁材に遮光性を持たせた場合、感光性樹脂組成物が低感度となる傾向があり、その結果、露光時間が長くなり生産性が低下するおそれがある。そのため、着色剤を含む隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物はより高感度であることが要求される。

　特許文献１（特開２００１－２８１４４０号公報）は、露光後の加熱処理により高い遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物にチタンブラックを添加した組成物を記載している。

　特許文献２（特開２００２－１１６５３６号公報）は、［Ａ］アルカリ可溶性樹脂、［Ｂ］１，２－キノンジアジド化合物、及び［Ｃ］着色剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、カーボンブラックを用いて隔壁材を黒色化する方法を記載している。

　特許文献３（特開２０１０－２３７３１０号公報）は、露光後の加熱処理により遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物に感熱色素を添加した組成物を記載している。

　特許文献４（国際公開第２０１７／０６９１７２号）は、（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）キノンジアジド化合物、及び（Ｃ）ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックスで規定される黒色染料から選ばれた少なくとも１種の黒色染料を含有するポジ型感光性樹脂組成物を記載している。

特開２００１－２８１４４０号公報特開２００２－１１６５３６号公報特開２０１０－２３７３１０号公報国際公開第２０１７／０６９１７２号

　着色された隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物では、硬化した膜の遮光性を十分高めるために、着色剤を相当量使用する必要がある。このように多量の着色剤を用いた場合、感光性樹脂組成物の被膜に照射された放射線が着色剤により吸収されるために、被膜中の放射線の有効強度が低下し、感光性樹脂組成物が十分に露光されず、結果としてパターン形成性が低下する。

　特に、黒色剤を含む感光性樹脂組成物を用いて厚い被膜、例えば厚さ２～３μｍの被膜を形成しようとすると、黒色剤に加えて感放射線化合物による放射線の吸収により、露光部の被膜底部に到達する放射線量が顕著に低下する。そのため、ポジ型においては露光部の被膜底部のアルカリ溶解性が不足して現像時に樹脂残渣が発生する、あるいは所望の厚さの被膜を得るために多量の感光性樹脂組成物を消費する、すなわち残膜率が低下する場合がある。一方、ネガ型においては露光部の被膜底部の不溶化が十分でなく、現像時に被膜剥離が生じる場合がある。そのため、黒色剤を含む感光性樹脂組成物において、硬化被膜に高い光学濃度（ＯＤ値）を付与しつつ、硬化被膜の厚さを増加させることのできる感光性樹脂組成物が切望されている。

　本発明の目的は、高い光学濃度（ＯＤ値）を有する厚膜パターンを形成することができる、黒色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物を提供することである。

　本発明者らは、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第１樹脂と、所定の重量平均分子量を有する第２樹脂とを組み合わせて用い、第２樹脂のアルカリ溶解速度が第１樹脂のアルカリ溶解速度よりも大幅に低くなるように第２樹脂を選択することにより、黒色剤を含有する感光性樹脂組成物を用いた場合であっても厚膜パターンを形成することができることを見出した。

　すなわち、本発明は次の態様を含む。
［１］
　（Ａ）エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第１樹脂、
　（Ｂ）重量平均分子量が３０００～８００００である第２樹脂、
　（Ｄ）感放射線化合物、及び
　（Ｅ）黒色剤
を含む感光性樹脂組成物であって、前記感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上であり、前記第２樹脂のアルカリ溶解速度が前記第１樹脂のアルカリ溶解速度の５％以下である、感光性樹脂組成物。
［２］
　前記第２樹脂が、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体である、［１］に記載の感光性樹脂組成物。
［３］
　前記第２樹脂が、式（４）

（式（４）において、Ｒ^３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４は炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、炭素原子数６～２０のアリール基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～１２の環状アルキル基、及び酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数６～２０のアリール基からなる群より選ばれる基である。）
で表される構造単位を有する、［１］又は［２］に記載の感光性樹脂組成物。
［４］
　前記第２樹脂が、式（３）

（式（３）において、Ｒ^２は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｂは１～５の整数である。）
で表される構造単位を有する、［１］～［３］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［５］
　前記第２樹脂が、式（５）

（式（５）において、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のフルオロアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^７は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を有する、［１］～［４］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［６］
　前記第１樹脂が、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（２）

（式（２）において、ａは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す。）
の構造を有する化合物である、［１］～［５］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［７］
　前記１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物がノボラック型エポキシ樹脂である、［６］に記載の感光性樹脂組成物。
［８］
　前記黒色剤がソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料である、［１］～［７］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［９］
　前記感放射線化合物が光酸発生剤である、［１］～［８］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１０］
　前記感光性樹脂組成物が、（Ｃ）前記第１樹脂及び前記第２樹脂のいずれとも異なる、重量平均分子量が３０００～８００００である第３樹脂を更に含み、前記第２樹脂のアルカリ溶解速度が前記第３樹脂のアルカリ溶解速度の５％以下である、［１］～［９］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１１］
　前記第３樹脂が、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体である、［１０］に記載の感光性樹脂組成物。
［１２］
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第１樹脂を２０質量％～９０質量％含む、［１］～［１１］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１３］
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第２樹脂を５質量％～５０質量％含む、［１］～［１２］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１４］
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第３樹脂を５質量％～５０質量％含む、［１０］又は［１１］に記載の感光性樹脂組成物。
［１５］
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、前記感放射線化合物を１質量部～４０質量部含む、［１］～［１４］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１６］
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、前記黒色剤を１０質量部～１５０質量部含む、［１］～［１５］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［１７］
　［１］～［１６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
［１８］
　［１］～［１６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
［１９］
　［１］～［１６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。

　本発明によれば、高い光学濃度（ＯＤ値）を有する厚膜パターンを形成することができる、黒色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物を提供することができる。

　以下に本発明について詳細に説明する。

　本開示において「アルカリ可溶性」とは、感光性樹脂組成物若しくはその成分、又は感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜が、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に溶解可能であることを意味する。「アルカリ可溶性官能基」とは、そのようなアルカリ可溶性を感光性樹脂組成物若しくはその成分、又は感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜に付与する基を意味する。アルカリ可溶性官能基としては、例えばフェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、メルカプト基等が挙げられる。

　本開示において「ラジカル重合性官能基」とは、エチレン性不飽和基を意味し、「ラジカル重合性化合物」とは、１又は複数のエチレン性不飽和基を有する化合物を意味する。

　本開示において「構造単位」とは、高分子の基本構造の一部分を構成する原子団を意味し、この原子団はペンダント原子又はペンダント原子団を有してもよい。例えば、ラジカル（共）重合体の場合は、単量体として使用したラジカル重合性化合物に由来する単位を意味し、フェノールノボラック樹脂の場合は、１分子のフェノール（Ｃ_６Ｈ_５ＯＨ）と１分子のホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）の縮合反応より形成される以下の単位を意味する。ペンダント基（側基）を有する構造単位について、架橋部位の形成に使用されているペンダント基又はそれに由来する基を有する構造単位と、架橋部位の形成に関与していない遊離ペンダント基を有する構造単位とは、互いに異なるものとみなす。枝分かれ分子鎖（分岐鎖）を有する高分子について、分岐点を含む構造単位（分岐単位）と線状分子鎖に含まれる構造単位とは、互いに異なるものとみなす。

　本開示において「（メタ）アクリル」とはアクリル又はメタクリルを意味し、「（メタ）アクリレート」とはアクリレート又はメタクリレートを意味し、「（メタ）アクリロイル」とはアクリロイル又はメタクリロイルを意味する。

　本開示において、樹脂又はポリマーの数平均分子量（Ｍｎ）及び重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、gel permeation chromatography）によって測定される、標準ポリスチレン換算値を意味する。

　本開示において、フェノール性水酸基当量は、樹脂を構成する構造単位の分子量及び組成比から計算される理論値である。具体的には、フェノール性水酸基当量は、樹脂がｎ種類の単量体ｉ（ｉ＝１～ｎの自然数）の（共）重合体であるときに、下記式：

によって算出される値を意味する。式中、単量体ｉ（ｉ＝１～ｎ）の共重合比（モル基準）の合計は１である。

　後述する（ｃ）エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂の場合、フェノール性水酸基当量は、下記式：
フェノール性水酸基当量＝
（原料のエポキシ当量＋付加させるカルボン酸の分子量）／（カルボン酸のフェノール性水酸基数）
によって算出される値を意味する。

　本開示において、カルボキシ基含量（ｍｍｏｌ／ｇ）は、試料を適量秤量して、トルエン／メタノール＝７／３（質量比）の混合溶剤に溶解させ、フェノールフタレイン溶液を数滴加えて、０．１ｍｏｌ／Ｌエタノール性水酸化カリウム溶液を用いて滴定して酸価を求め、得られた酸価に基づき下記式：
カルボキシ基含量（ｍｍｏｌ／ｇ）＝酸価／５６．１
によって算出される値を意味する。

　本開示において「樹脂成分」とは第１樹脂（Ａ）、第２樹脂（Ｂ）、及び任意成分の第３樹脂（Ｃ）を意味する。

　本開示において「固形分」とは、樹脂成分、感放射線化合物（Ｄ）、黒色剤（Ｅ）、及び溶解促進剤（Ｆ）などの任意成分を含み、液体の塩基性化合物（Ｇ）及び溶媒（Ｈ）を除く成分の合計質量を意味する。

　本開示において、樹脂又は感光性樹脂組成物のアルカリ溶解速度は、以下の手順で決定される。樹脂又は感光性樹脂組成物の２０質量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）溶液に、レベリング剤としてメガファック（登録商標）Ｆ－５５９（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ株式会社製）を樹脂固形分１００質量部あたり０．１質量部の量で添加する。得られた混合物をガラス基板（７０ｍｍ×７０ｍｍ×０．７ｍｍ）に乾燥膜厚が５．０μｍになるように塗布し、３０秒間真空乾燥した後、温度１２０℃で１２０秒間被膜を乾燥する。乾燥後、２．３８質量％水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液でアルカリ現像を行う。現像時間は８～４００秒の範囲で、被膜が溶け切らない時間に調整する。現像後の被膜の減少量（ｎｍ）を現像時間（秒）で割って得られた値がアルカリ溶解速度（ｎｍ／秒）と定義される。

　一実施態様の感光性樹脂組成物は、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第１樹脂（Ａ）、重量平均分子量が３０００～８００００である第２樹脂（Ｂ）、感放射線化合物（Ｄ）、及び黒色剤（Ｅ）を含む。

　第２樹脂（Ｂ）のアルカリ溶解速度は、第１樹脂（Ａ）のアルカリ溶解速度の５％以下である。第２樹脂（Ｂ）のアルカリ溶解速度は、第１樹脂（Ａ）のアルカリ溶解速度の３％以下であることが好ましく、１％以下であることがより好ましい。第１樹脂（Ａ）と比べて大幅に低いアルカリ溶解速度を有する第２樹脂（Ｂ）は、現像時にアルカリ低溶解性の樹脂成分として未露光部の過度の溶解を抑制しつつ、一方で露光部ではアルカリ可溶性の高い他の樹脂成分及び任意の溶解促進剤の溶解に伴って被膜から現像液中に放出されるため、感光性樹脂組成物の感度及び残膜率を高めることができる。これにより、感光性樹脂組成物中の感放射線化合物（Ｄ）の含有量を用途に応じて低減することができ、その結果、感光性樹脂組成物を厚膜形成に適したものとすることができる。

［第１樹脂（Ａ）］
　第１樹脂（Ａ）はエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂は、例えば、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物（以下、「エポキシ化合物」と表記することがある。）のエポキシ基と、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基を反応させることで得ることができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂がエポキシ基を有することで、加熱時にフェノール性水酸基との反応により架橋を形成し、被膜の耐薬品性、耐熱性などを向上させることができる。フェノール性水酸基は現像時のアルカリ可溶性を樹脂に付与する。

　エポキシ化合物が有するエポキシ基の１つと、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基とが反応し、フェノール性水酸基を有する化合物となる反応の例を次の反応式１に示す。

　１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ化合物は、１分子中に２個以上のエポキシ基を有していればよく、１種類のみで用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの化合物は熱硬化型であるため、当業者の常識として、エポキシ基の有無、官能基の種類、重合度などの違いからその構造を一義的に記載することができない。ノボラック型エポキシ樹脂の構造の一例を式（１）に示す。式（１）において、例えば、Ｒ^１は、水素原子、炭素原子数１～５のアルキル基、炭素原子数１～２のアルコキシ基又は水酸基であり、ｍは１～５０の整数である。

　フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社製）、ｊＥＲ（登録商標）－１５２（三菱ケミカル株式会社製）等が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社製）、ＥＯＣＮ（登録商標）－１０２Ｓ（日本化薬株式会社製）等が挙げられる。ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばｊＥＲ（登録商標）８２８、ｊＥＲ（登録商標）１００１（三菱ケミカル株式会社製）、ＹＤ－１２８（商品名、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製）等のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ｊＥＲ（登録商標）８０６（三菱ケミカル株式会社製）、ＹＤＦ－１７０（商品名、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製）等のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂等が挙げられる。ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばｊＥＲ（登録商標）ＹＸ－４０００、ｊＥＲ（登録商標）ＹＬ－６１２１Ｈ（三菱ケミカル株式会社製）等があげられる。ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂としては、例えばＮＣ－７０００（商品名、日本化薬株式会社製）、ＥＸＡ－４７５０（商品名、ＤＩＣ株式会社製）等があげられる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばＥＨＰＥ（登録商標）－３１５０（ダイセル化学工業株式会社製）等が挙げられる。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばＴＥＰＩＣ（登録商標）、ＴＥＰＩＣ－Ｌ、ＴＥＰＩＣ－Ｈ、ＴＥＰＩＣ－Ｓ（日産化学工業株式会社製）等が挙げられる。

　１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物がノボラック型エポキシ樹脂であることが好ましく、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂であることがより好ましい。ノボラック型エポキシ樹脂、特にクレゾールノボラック型エポキシ樹脂に由来するエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂を含む感光性樹脂組成物は、パターン形成性に優れており、アルカリ溶解性の調節が容易であり、アウトガスが少ない。

　ヒドロキシ安息香酸化合物は、安息香酸の２～６位の少なくとも１つが水酸基で置換された化合物であり、例えばサリチル酸、４－ヒドロキシ安息香酸、２，３－ジヒドロキシ安息香酸、２，４－ジヒドロキシ安息香酸、２，５－ジヒドロキシ安息香酸、２，６－ジヒドロキシ安息香酸、３，４－ジヒドロキシ安息香酸、３，５－ジヒドロキシ安息香酸、２－ヒドロキシ－５－ニトロ安息香酸、３－ヒドロキシ－４－ニトロ安息香酸、４－ヒドロキシ－３－ニトロ安息香酸等が挙げられ、アルカリ現像性を高める点でジヒドロキシ安息香酸化合物が好ましい。これらヒドロキシ安息香酸化合物は、１種類のみで用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

　一実施態様では、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂が、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（２）

の構造を有する。式（２）において、ａは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す。

　エポキシ化合物とヒドロキシ安息香酸化合物からエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂を得る方法では、エポキシ化合物のエポキシ基１当量に対して、ヒドロキシ安息香酸化合物を０．２～１．０当量使用することができ、好ましくは０．３～０．９当量、更に好ましくは０．４～０．８当量使用する。ヒドロキシ安息香酸化合物が０．２当量以上であれば十分なアルカリ溶解性を得ることができ、１．０当量以下であれば副反応による分子量増加を抑制することができる。

　エポキシ化合物とヒドロキシ安息香酸化合物の反応を促進させるために触媒を使用してもよい。触媒の使用量は、エポキシ化合物及びヒドロキシ安息香酸化合物からなる反応原料混合物１００質量部を基準として０．１～１０質量部とすることができる。反応温度は６０～１５０℃、反応時間は３～３０時間とすることができる。この反応で使用する触媒としては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルホスフィン、オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム等が挙げられる。

　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂の数平均分子量は、好ましくは５００～８０００であり、より好ましくは８００～６０００であり、更に好ましくは１０００～５０００である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂の重量平均分子量は、好ましくは５００～３００００であり、より好ましくは２０００～２５０００であり、更に好ましくは３０００～２００００である。数平均分子量が５００以上、又は重量平均分子量が５００以上であれば、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好である。数平均分子量が８０００以下、又は重量平均分子量が３００００以下であれば、塗工性及びアルカリ現像性が良好である。

　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のフェノール性水酸基当量は、好ましくは６０～３００であり、より好ましくは８０～２５０であり、更に好ましくは１００～２００である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のフェノール性水酸基当量が６０以上であれば、アルカリ現像時に未露光部の膜厚を十分に保持することができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のフェノール性水酸基当量が３００以下であれば、所望のアルカリ溶解性を得ることができる。

　本開示において、第１樹脂（Ａ）、後述する第２樹脂（Ｂ）及び後述する任意成分の第３樹脂（Ｃ）のフェノール性水酸基当量は、感光性樹脂組成物の露光後、現像前の時点での値を意味する。これらの樹脂の本来のフェノール性水酸基当量の値と、感光性樹脂組成物の露光後、現像前の時点でのフェノール性水酸基当量の値との変化の有無は、ＮＭＲを用いた以下の手順で判断することができる。測定対象である樹脂１００質量部に対して、感光性樹脂組成物に使用される感放射線化合物３０質量部、及び内部標準としてメチルトリフェニルシラン１質量部をＤＭＳＯ－ｄ６中で添加し混合することにより試験組成物を調製する。得られた試験組成物の^１Ｈ－ＮＭＲを測定し、内部標準の積分値を１．００としたときのフェノール性水酸基の積分値Ｓ１を算出する。更に、試験組成物に対し、超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置で紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ^２照射し、オイルバスを用いて１２０℃で５分間加熱した後の試験組成物の^１Ｈ－ＮＭＲを測定し、内部標準の積分値を１．００としたときのフェノール性水酸基の積分値Ｓ２を算出する。これらの積分値の変化割合（（Ｓ２－Ｓ１）／Ｓ１の絶対値）が１０％未満である樹脂は、フェノール性水酸基当量の値に変化が無いものとみなす。

　感光性樹脂組成物中の第１樹脂（Ａ）の含有量は、樹脂成分、感放射線化合物（Ｄ）、及び黒色剤（Ｅ）の合計質量を基準として、好ましくは５～６０質量％、より好ましくは１０～５５質量％、更に好ましくは１０～５０質量％である。第１樹脂（Ａ）の含有量が、上記合計質量を基準として５質量％以上であれば、残膜率、耐熱性、感度等が適切である。第１樹脂（Ａ）の含有量が、上記合計質量を基準として６０質量％以下であれば、硬化後の被膜の光学濃度（ＯＤ値）を膜厚１μｍあたり０．５以上とすることができ、硬化後も遮光性を維持することができる。

　感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、第１樹脂（Ａ）を２０質量％～９０質量％含むことが好ましく、２５質量％～７０質量％含むことがより好ましく、３０質量％～５５質量％含むことが更に好ましい。第１樹脂（Ａ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として２０質量％以上であれば、所望のアルカリ溶解性を得ることができる。第１樹脂（Ａ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として９０質量％以下であれば、高い感度を感光性樹脂組成物に付与することができる。

［第２樹脂（Ｂ）］
　第２樹脂（Ｂ）は、重量平均分子量が３０００～８００００である樹脂である。第２樹脂（Ｂ）は、第１樹脂（Ａ）と異なるものであって、アルカリ溶解速度について上記の関係を満たすものであれば特に限定されない。ここで「異なる」とは、ある樹脂と他の樹脂の構造単位の構造が互いに異なること、又はある樹脂が他の樹脂と１又は複数の共通する構造単位を含む場合、共通する構造単位を合計で７０モル％未満含むことを指し、分子量のみが異なる樹脂同士は互いに同じ樹脂とみなす。第２樹脂（Ｂ）としては、例えば、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体、シリコーン樹脂、環状オレフィンポリマー、カルド樹脂、及びこれらの樹脂の誘導体、並びにこれらの樹脂にアルカリ可溶性官能基を結合させたものが挙げられる。第２樹脂（Ｂ）として、フェノール性水酸基を有する重合性単量体の単独重合体又は共重合体を使用することもできる。第２樹脂（Ｂ）として、これらの樹脂のいずれかを単独で、又はこれらの樹脂の２種以上を組み合わせて用いることができる。第２樹脂（Ｂ）はラジカル重合性官能基を有してもよい。一実施態様では、第２樹脂（Ｂ）はラジカル重合性官能基として（メタ）アクリロイルオキシ基、アリル基又はメタリル基を有する。

　第２樹脂（Ｂ）の重量平均分子量は、３０００～８００００であり、好ましくは４０００～３００００であり、より好ましくは５０００～１５０００である。重量平均分子量が３０００～８００００であることにより、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好であり、塗工性及びアルカリ現像性も良好である。

　第２樹脂（Ｂ）の数平均分子量は、好ましくは１０００～２００００であり、より好ましくは１５００～１５０００であり、更に好ましくは２０００～１００００である。数平均分子量が１０００以上であれば、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好である。数平均分子量が２００００以下であれば、塗工性及びアルカリ現像性が良好である。第２樹脂（Ｂ）の多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１．０～３．５であり、より好ましくは１．１～３．０であり、更に好ましくは１．２～２．８である。多分散度を上記範囲とすることで、パターン形成性及びアルカリ現像性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。

　第２樹脂（Ｂ）がフェノール性水酸基をアルカリ可溶性官能基として有する場合、第２樹脂（Ｂ）のフェノール性水酸基当量は、好ましくは２５０～７００であり、より好ましくは２６０～６００であり、更に好ましくは２７０～５５０である。第２樹脂（Ｂ）のフェノール性水酸基当量が２５０以上であれば、アルカリ現像時に未露光部の膜厚を十分に保持することができる。第２樹脂（Ｂ）のフェノール性水酸基当量が７００以下であれば、所望のアルカリ溶解性を得ることができる。

　第２樹脂（Ｂ）のカルボキシ基含量は、好ましくは０．０～０．５ｍｍｏｌ／ｇであり、より好ましくは０．０～０．１ｍｍｏｌ／ｇであり、更に好ましくは０．００～０．０５ｍｍｏｌ／ｇである。カルボキシ基はフェノール性水酸基と比べてアルカリ溶解性が高いため、アルカリ低溶解性成分である第２樹脂（Ｂ）に多量に含まれることは望ましくない。第２樹脂（Ｂ）のカルボキシ基含量が０．０～０．５ｍｍｏｌ／ｇであることにより、アルカリ低溶解性成分である第２樹脂（Ｂ）のアルカリ溶解速度を精密に制御することができる。

　第２樹脂（Ｂ）は、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であることが好ましい。重合性単量体が有する重合性官能基としては、ラジカル重合性官能基を挙げることができ、例えば、ＣＨ_２＝ＣＨ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）－、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－、－ＯＣ－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯ－などが挙げられる。

　フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体は、例えば、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。ラジカル重合により共重合体を合成した後に、フェノール性水酸基を付加した誘導体を用いてもよい。フェノール性水酸基を有する重合性単量体としては、例えば、４－ヒドロキシスチレン、４－ヒドロキシフェニルメタクリレート、３，５－ジメチル－４－ヒドロキシベンジルアクリルアミド、４－ヒドロキシフェニルアクリルアミド、４－ヒドロキシフェニルマレイミド等が挙げられる。その他の重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α－メチルスチレン、ｐ－メチルスチレン、ｐ－エチルスチレン等の重合可能なスチレン誘導体；アクリルアミド；アクリロニトリル；ビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル化合物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ－ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル；マレイン酸無水物、マレイン酸モノエステル等のマレイン酸誘導体；フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のＮ－置換マレイミドが挙げられる。耐熱性等の観点から、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体は、脂環式構造、芳香族構造、多環式構造、無機環式構造、複素環式構造等の１種又は複数種の環式構造を有することが好ましい。

　フェノール性水酸基を有する重合性単量体として、式（３）

で表される構造単位を形成するものが好ましい。式（３）において、Ｒ^２は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｂは１～５の整数である。そのようなフェノール性水酸基を有する重合性単量体として、４－ヒドロキシフェニルメタクリレートが特に好ましい。

　その他の重合性単量体として、式（４）

（式（４）において、Ｒ^３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４は炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、炭素原子数６～２０のアリール基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～１２の環状アルキル基、及び酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数６～２０のアリール基からなる群より選ばれる基である。）
で表される構造単位を形成する重合性単量体が好ましい。本開示において、酸性官能基とは、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液との酸塩基反応を示す基であり、具体的には、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、及びメルカプト基が挙げられる。このような重合性単量体を用いることで、第２樹脂（Ｂ）にアルカリ低溶解性を付与することができる。

　式（４）のＲ^３において、炭素原子数１～５のアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基等を挙げることができる。Ｒ^３はメチル基であることが好ましい。

　式（４）のＲ^４において、炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、及び炭素原子数３～２０の分岐アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、２－エチルヘキシル基、ｎ－デシル基、ｎ－ドデシル基、ｎ－ヘキサデシル基などが挙げられる。炭素原子数３～１２の環状アルキル基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、ジシクロペンタニル基などが挙げられる。炭素原子数６～２０のアリール基としては、フェニル基、４－（ベンジロキシメトキシ）フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フルオレニル基、アントラセニル基、フェナントレニル基などが挙げられる。Ｒ^４は、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロヘキシル基、イソボルニル基、ジシクロペンタニル基、フェニル基、又は４－（ベンジロキシメトキシ）フェニル基であることが好ましい。

　その他の重合性単量体として、式（５）

で表される構造単位を形成する重合性単量体も好ましい。式（５）において、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のフルオロアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^７は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。Ｒ^５及びＲ^６は水素原子であることが好ましい。Ｒ^７は炭素原子数３～１２の環状アルキル基又はフェニル基であることが好ましい。そのようなその他の重合性単量体として、フェニルマレイミド及びシクロヘキシルマレイミドが特に好ましい。

　フェノール性水酸基を有する重合性単量体として４－ヒドロキシフェニルメタクリレートを用い、その他の重合性単量体として、ｔｅｒｔ－ブチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、フェニルメタクリレート及び４－（ベンジロキシメトキシ）フェニルメタクリレートからなる群より選ばれる少なくとも１つと、フェニルマレイミド及びシクロヘキシルマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つとを組み合わせて用いることが特に好ましい。これらの重合性単量体をラジカル重合させた樹脂をアルカリ低溶解性の第２樹脂（Ｂ）として用いることにより、形状維持性を向上させるとともにアウトガスも低減することができる。

　フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体をラジカル重合によって製造する際の重合開始剤としては、次のものに限定されないが、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）、ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、４，４’－アゾビス（４－シアノバレリアン酸）、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）（ＡＶＮ）などのアゾ重合開始剤、ジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔｅｒｔ－ブチルパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の１０時間半減期温度が１００～１７０℃の過酸化物重合開始剤、あるいは過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、１，１’－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシピバレートなどの過酸化物重合開始剤を用いることができる。重合開始剤の使用量は、重合性単量体の混合物１００質量部に対して、一般に０．０１質量部以上、０．０５質量部以上又は０．５質量部以上、４０質量部以下、２０質量部以下又は１５質量部以下であることが好ましい。

　ＲＡＦＴ（Reversible Addition Fragmentation Transfer、可逆的付加開裂型連鎖移動）剤を重合開始剤と併用してもよい。ＲＡＦＴ剤としては、次のものに限定されないが、ジチオエステル、ジチオカルバメート、トリチオカルボナート、キサンタートなどのチオカルボニルチオ化合物を使用することができる。ＲＡＦＴ剤は、重合性単量体の総量１００質量部に対して、０．００５～２０質量部の範囲で使用することができ、０．０１～１０質量部の範囲で使用することが好ましい。

　一実施態様では、第２樹脂（Ｂ）は、式（４）

（式（４）において、Ｒ^３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４は炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、炭素原子数６～２０のアリール基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～１２の環状アルキル基、及び酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数６～２０のアリール基からなる群より選ばれる基である。）
で表される構造単位を有する。式（４）のＲ^３及びＲ^４は上述したとおりである。

　一実施態様では、第２樹脂（Ｂ）は、式（３）

（式（３）において、Ｒ^２は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｂは１～５の整数である。）
で表される構造単位を有する。Ｒ^２はメチル基であることが好ましい。ｂは１であることが好ましい。ｂが１の場合、ＯＨ基は４位にあることが好ましい。

　一実施態様では、第２樹脂（Ｂ）は、式（５）

（式（５）において、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のフルオロアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^７は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を有する。Ｒ^５及びＲ^６は水素原子であることが好ましい。Ｒ^７はフェニル基又はシクロヘキシル基であることが好ましい。

　第２樹脂（Ｂ）は、上記の式（３）で表される構造単位、式（４）で表される構造単位、及び式（５）で表される構造単位を含む共重合体であることが好ましい。

　感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、第２樹脂（Ｂ）を５質量％～５０質量％含むことが好ましく、８質量％～４５質量％含むことがより好ましく、１０質量％～４０質量％含むことが更に好ましい。第２樹脂（Ｂ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として５質量％以上であれば、第１樹脂（Ａ）との溶解速度差によるコントラストを十分に得ることができる。第２樹脂（Ｂ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として５０質量％以下であれば、現像時の被膜の溶解を微視的により均一にすることができ、その結果、被膜表面の荒れを効果的に抑制することができる。

［第３樹脂（Ｃ）］
　感光性樹脂組成物は、任意成分として、第１樹脂（Ａ）及び第２樹脂（Ｂ）のいずれとも異なる、重量平均分子量が３０００～８００００である第３樹脂（Ｃ）を更に含んでもよい。第３樹脂（Ｃ）の重量平均分子量は、好ましくは４０００～７００００であり、より好ましくは５０００～６００００である。重量平均分子量が３０００～８００００であることにより、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好であり、塗工性及びアルカリ現像性も良好である。

　第３樹脂（Ｃ）の数平均分子量は、好ましくは１０００～３００００であり、より好ましくは１５００～２５０００であり、更に好ましくは２０００～２００００である。数平均分子量が１０００以上であれば、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好である。数平均分子量が３００００以下であれば、塗工性及びアルカリ現像性が良好である。第３樹脂（Ｃ）の多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１．０～３．５であり、より好ましくは１．１～３．０であり、更に好ましくは１．２～２．８である。多分散度を上記範囲とすることで、パターン形成性及びアルカリ現像性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。

　第２樹脂（Ｂ）のアルカリ溶解速度は第３樹脂（Ｃ）のアルカリ溶解速度の５％以下である。第２樹脂（Ｂ）のアルカリ溶解速度は、第３樹脂（Ｃ）のアルカリ溶解速度の４％以下であることが好ましく、３％以下であることがより好ましい。第３樹脂（Ｃ）は第２樹脂（Ｂ）よりもアルカリ溶解性が高いため、硬化被膜の露光部及び未露光部の溶解速度を調整することができ、これによりパターン形成性を高めることができる。

　第３樹脂（Ｃ）のアルカリ溶解速度は第１樹脂（Ａ）のアルカリ溶解速度よりも低いことが好ましく、第１樹脂（Ａ）のアルカリ溶解速度の９０％以下であることがより好ましく、第１樹脂（Ａ）のアルカリ溶解速度の８０％以下であることが更に好ましい。これにより、現像時の被膜の溶解を微視的により均一にすることができ、その結果、被膜表面の荒れを効果的に抑制することができる。

　第３樹脂（Ｃ）がフェノール性水酸基をアルカリ可溶性官能基として有する場合、第３樹脂（Ｃ）のフェノール性水酸基当量は、好ましくは１０７～２４０であり、より好ましくは１４０～２３５であり、更に好ましくは１７０～２３０である。第３樹脂（Ｃ）のフェノール性水酸基当量が１０７以上であれば、アルカリ現像時に未露光部の膜厚を十分に保持することができる。第３樹脂（Ｃ）のフェノール性水酸基当量が２４０以下であれば、所望のアルカリ溶解性を得ることができる。

　第３樹脂（Ｃ）は、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であることが好ましい。フェノール性水酸基を有する重合性単量体、その他の重合性単量体、及びフェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体の製造方法は、第２樹脂（Ｂ）について説明したとおりである。

　第３樹脂（Ｃ）の製造において、フェノール性水酸基を有する重合性単量体として４－ヒドロキシフェニルメタクリレートを用い、その他の重合性単量体として、フェニルマレイミド及びシクロヘキシルマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つを用いることが特に好ましい。これらの重合性単量体をラジカル重合させた樹脂を第３樹脂（Ｃ）として用いることにより、形状維持性、現像性を向上させるとともにアウトガスも低減することができる。第３樹脂（Ｃ）の製造において、式（４）で表される構造単位を形成する重合性単量体を使用しないことが好ましい。

　一実施態様では、第３樹脂（Ｃ）は、式（３）

（式（３）において、Ｒ^２は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｂは１～５の整数である。）
で表される構造単位、及び式（５）

（式（５）において、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のフルオロアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^７は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を有する。第３樹脂（Ｃ）は、式（４）で表される構造単位を含まないことが好ましい。

　感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、第３樹脂（Ｃ）を５質量％～５０質量％含むことが好ましく、８質量％～４５質量％含むことがより好ましく、１０質量％～４０質量％含むことが更に好ましい。第３樹脂（Ｃ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として５質量％以上であれば、現像時の被膜の溶解を微視的により均一にすることができ、その結果、被膜表面の荒れを効果的に抑制することができる。第３樹脂（Ｃ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として５０質量％以下であれば、第１樹脂（Ａ）と第２樹脂（Ｂ）の溶解速度差によるコントラストが維持されたパターンを形成することができる。

［感放射線化合物（Ｄ）］
　感放射線化合物（Ｄ）として、光酸発生剤、光塩基発生剤又は光重合開始剤を用いることができる。光酸発生剤は可視光、紫外光、γ線、電子線などの放射線が照射されると酸を発生する化合物である。光酸発生剤は、放射線が照射された部分のアルカリ水溶液に対する溶解性を増大させることから、その部分が溶解するポジ型感光性樹脂組成物に使用することができる。光塩基発生剤は放射線が照射されると塩基を発生する化合物である。光塩基発生剤は、放射線が照射された部分のアルカリ水溶液に対する溶解性を低下させることから、その部分が不溶化するネガ型感光性樹脂組成物に使用することができる。光重合開始剤は放射線が照射されるとラジカルを発生する化合物である。光重合開始剤は、感光性樹脂組成物がラジカル重合性官能基を有するバインダー樹脂又はラジカル重合性化合物を含む場合に、放射線が照射された部分のバインダー樹脂のラジカル重合官能基又はラジカル重合性化合物のラジカル重合が進行して、その部分にアルカリ水溶液に対して不溶性の重合物が形成される、ネガ型感光性樹脂組成物に使用することができる。

〈光酸発生剤〉
　高感度及び高解像度のパターンを得ることができる点で、感放射線化合物（Ｄ）が光酸発生剤であることが好ましい。光酸発生剤として、キノンジアジド化合物、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、及びヨードニウム塩からなる群より選択される少なくとも１種を使用することができる。一実施態様では、光酸発生剤はｉ線（３６５ｎｍ）に対する感度の高い化合物又は塩である。

　光酸発生剤としてキノンジアジド化合物を用いることが好ましい。キノンジアジド化合物としては、ポリヒドロキシ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステルで結合したもの、ポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がスルホンアミド結合したもの、ポリヒドロキシポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合又はスルホンアミド結合したもの等が挙げられる。露光部と未露光部のコントラストの観点から、ポリヒドロキシ化合物又はポリアミノ化合物の官能基全体の２０モル％以上がキノンジアジドで置換されていることが好ましい。

　ポリヒドロキシ化合物としては、Ｂｉｓ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＥＺ、ＴｅｋＰ－４ＨＢＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＨＡＰ、ＴｒｉｓＰ－ＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＳＡ、ＴｒｉｓＯＣＲ－ＰＡ、ＢｉｓＯＣＨＰ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＭＺ、ＢｉｓＰ－ＰＺ、ＢｉｓＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＯＣＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＰ－ＣＰ、ＢｉｓＲＳ－２Ｐ、ＢｉｓＲＳ－３Ｐ、ＢｉｓＰ－ＯＣＨＰ、メチレントリス－ＦＲ－ＣＲ、ＢｉｓＲＳ－２６Ｘ、ＤＭＬ－ＭＢＰＣ、ＤＭＬ－ＭＢＯＣ、ＤＭＬ－ＯＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣ、ＤＭＬ－ＰＴＢＰ、ＤＭＬ－３４Ｘ、ＤＭＬ－ＥＰ、ＤＭＬ－ＰＯＰ、ジメチロール－ＢｉｓＯＣ－Ｐ、ＤＭＬ－ＰＦＰ、ＤＭＬ－ＰＳＢＰ、ＤＭＬ－ＭＴｒｉｓＰＣ、ＴｒｉＭＬ－Ｐ、ＴｒｉＭＬ－３５ＸＬ、ＴＭＬ－ＢＰ、ＴＭＬ－ＨＱ、ＴＭＬ－ｐｐ－ＢＰＦ、ＴＭＬ－ＢＰＡ、ＴＭＯＭ－ＢＰ、ＨＭＬ－ＴＰＰＨＢＡ、ＨＭＬ－ＴＰＨＡＰ（以上、商品名、本州化学工業株式会社製）、ＢＩＲ－ＯＣ、ＢＩＰ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＴＢＰ、ＢＩＲ－ＰＣＨＰ、ＢＩＰ－ＢＩＯＣ－Ｆ、４ＰＣ、ＢＩＲ－ＢＩＰＣ－Ｆ、ＴＥＰ－ＢＩＰ－Ａ、４６ＤＭＯＣ、４６ＤＭＯＥＰ、ＴＭ－ＢＩＰ－Ａ（以上、商品名、旭有機材工業株式会社製）、２，６－ジメトキシメチル－４－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール、２，６－ジメトキシメチル－ｐ－クレゾール、２，６－ジアセトキシメチル－ｐ－クレゾール、ナフトール、テトラヒドロキシベンゾフェノン、没食子酸メチルエステル、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＥ、メチレンビスフェノール、ＢｉｓＰ－ＡＰ（商品名、本州化学工業株式会社製）等が挙げられるが、これらに限定されない。

　ポリアミノ化合物としては、１，４－フェニレンジアミン、１，３－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド等が挙げられるが、これらに限定されない。

　ポリヒドロキシポリアミノ化合物としては、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、３，３’－ジヒドロキシベンジジン等が挙げられるが、これらに限定されない。

　キノンジアジド化合物は、ポリヒドロキシ化合物の１，２－ナフトキノンジアジド－４－スルホン酸エステル又は１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸エステルであることが好ましい。

　キノンジアジド化合物は紫外光等が照射されると下記反応式２に示す反応を経てカルボキシ基を生成する。カルボキシ基が生成することにより、露光された部分（被膜）がアルカリ水溶液に対して溶解可能となり、その部分にアルカリ現像性が生じる。

　感放射線化合物（Ｄ）が光酸発生剤である場合、感光性樹脂組成物中の光酸発生剤の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、１～４０質量部とすることができ、好ましくは５～３５質量部であり、より好ましくは１０～３０質量部である。光酸発生剤の含有量が、上記合計１００質量部を基準として、１質量部以上であるとアルカリ現像性が良好であり、４０質量部以下であると３００℃以上での加熱による被膜の減少を抑制することができる。

〈光塩基発生剤〉
　感放射線化合物（Ｄ）として光塩基発生剤を用いてもよい。光塩基発生剤として、アミド化合物及びアンモニウム塩からなる群より選択される少なくとも１種を使用することができる。一実施態様では、光塩基発生剤はｉ線（３６５ｎｍ）に対する感度の高い化合物又は塩である。

　アミド化合物としては、例えば、２－ニトロフェニルメチル－４－メタクリロイルオキシピペリジン－１－カルボキシレート、９－アントリルメチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルカルバメート、１－（アントラキノン－２－イル）エチルイミダゾールカルボキシレート、（Ｅ）－１－［３－（２－ヒドロキシフェニル）－２－プロペノイル］ピペリジンなどが挙げられる。アンモニウム塩としては、例えば、１，２－ジイソプロピル－３－（ビスジメチルアミノ）メチレン）グアニジウム２－（３－ベンゾイルフェニル）プロピオネート、（Ｚ）－｛［ビス（ジメチルアミノ）メチリデン］アミノ｝－Ｎ－シクロヘキシルアミノ）メタナミニウムテトラキス（３－フルオロフェニル）ボレート、１，２－ジシクロヘキシル－４，４，５，５－テトラメチルビグアニジウムｎ－ブチルトリフェニルボレートなどが挙げられる。

　感放射線化合物（Ｄ）が光塩基発生剤である場合、感光性樹脂組成物中の光塩基発生剤の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、１～４０質量部とすることができ、好ましくは５～３５質量部であり、より好ましくは１０～３０質量部である。光塩基発生剤の含有量が、上記合計１００質量部を基準として、１質量部以上であるとアルカリ現像性が良好であり、４０質量部以下であると３００℃以上での加熱による被膜の減少を抑制することができる。

〈光重合開始剤〉
　感放射線化合物（Ｄ）として光重合開始剤を用いてもよい。光重合開始剤として、ベンジルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、アクリジン化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、芳香族ケトエステル化合物及び安息香酸エステル化合物からなる群より選択される少なくとも１種を使用することができる。一実施態様では、光重合開始剤はｉ線（３６５ｎｍ）に対する感度の高い化合物である。露光時の感度が高いことから、光重合開始剤は、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、アクリジン化合物又はベンゾフェノン化合物であることが好ましく、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、又はオキシムエステル化合物であることがより好ましい。

　ベンジルケタール化合物としては、例えば、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オンが挙げられる。α－ヒドロキシケトン化合物としては、例えば、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル］－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン又は２－ヒドロキシ－１－［４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル］フェニル］－２－メチルプロパン－１－オンが挙げられる。α－アミノケトン化合物としては、例えば、２－ジメチルアミノ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ジエチルアミノ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、２－メチル－２－モルフォリノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ジメチルアミノ－２－メチル－１－（４－メチルフェニル）プロパン－１－オン、２－ジメチルアミノ－１－（４－エチルフェニル）－２－メチルプロパン－１－オン、２－ジメチルアミノ－１－（４－イソプロピルフェニル）－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ブチルフェニル）－２－ジメチルアミノ－２－メチルプロパン－１－オン、２－ジメチルアミノ－１－（４－メトキシフェニル）－２－メチルプロパン－１－オン、２－ジメチルアミノ－２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）プロパン－１－オン、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－ジメチルアミノフェニル）－ブタン－１－オン、２－ジメチルアミノ－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルフォルニル）フェニル］－１－ブタノンが挙げられる。アシルホスフィンオキサイド化合物としては、例えば、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイド又はビス（２，６－ジメトキシベンゾイル）－（２，４，４－トリメチルペンチル）ホスフィンオキサイドが挙げられる。オキシムエステル化合物としては、例えば、１－フェニルプロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－エトキシカルボニル）オキシム、１－フェニルブタン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－メトキシカルボニル）オキシム、１，３－ジフェニルプロパン－１，２，３－トリオン－２－（Ｏ－エトキシカルボニル）オキシム、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］オクタン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイル）オキシム、１－［４－［４－（カルボキシフェニル）チオ］フェニル］プロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－アセチル）オキシム、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチル）オキシム、１－［９－エチル－６－［２－メチル－４－［１－（２，２－ジメチル－１，３－ジオキソラン－４－イル）メチルオキシ］ベンゾイル］－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチル）オキシムが挙げられる。アクリジン化合物としては、例えば、１，７－ビス（アクリジン－９－イル）－ｎ－ヘプタンが挙げられる。ベンゾフェノン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４－フェニルベンゾフェノン、４，４－ジクロロベンゾフェノン、４－ヒドロキシベンゾフェノン、アルキル化ベンゾフェノン、３，３’，４，４’－テトラキス（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４－メチルベンゾフェノン、ジベンジルケトン又はフルオレノンが挙げられる。アセトフェノン化合物としては、例えば、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２，３－ジエトキシアセトフェノン、４－ｔｅｒｔ－ブチルジクロロアセトフェノン、ベンザルアセトフェノン又は４－アジドベンザルアセトフェノンが挙げられる。芳香族ケトエステル化合物としては、例えば、２－フェニル－２－オキシ酢酸メチルが挙げられる。安息香酸エステル化合物としては、例えば、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸（２－エチル）ヘキシル、４－ジエチルアミノ安息香酸エチル又は２－ベンゾイル安息香酸メチルが挙げられる。

　第１樹脂（Ａ）、第２樹脂（Ｂ）、若しくは任意成分である第３樹脂（Ｃ）又はこれらの２種以上がエポキシ基などのカチオン重合性基を有する場合、光重合開始剤として、光によりカチオン種又はルイス酸を発生する光カチオン重合開始剤を用いることができる。光カチオン重合開始剤としては、例えば、カチオン部分が、トリフェニルスルホニウム、ジフェニル－４－（フェニルチオ）フェニルスルホニウムなどのスルホニウム、ジフェニルヨードニウム、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムなどのヨードニウム、フェニルジアゾニウムなどのジアゾニウム、１－ベンジル－２－シアノピリジニウム、１－（ナフチルメチル）－２－シアノピリジニウムなどのピリジニウム、（２，４－シクロペンタジエン－１－イル）［（１－メチルエチル）ベンゼン］－ＦｅなどのＦｅカチオンであり、アニオン部分が、ＢＦ_４ ^－、ＰＦ_６ ^－、ＳｂＦ_６ ^－、［ＢＸ_４］^－（Ｘは少なくとも２つ以上のフッ素原子又はトリフルオロメチル基で置換されたフェニル基）等で構成されるオニウム塩が挙げられる。

　感放射線化合物（Ｄ）が光重合開始剤である場合、感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、１～４０質量部とすることができ、好ましくは１．５～３５質量部であり、より好ましくは２～３０質量部である。光重合開始剤の含有量が、上記合計１００質量部を基準として、１質量部以上であるとアルカリ現像性が良好であり、４０質量部以下であると３００℃以上での加熱による被膜の減少を抑制することができる。

　感放射線化合物（Ｄ）が光重合開始剤である場合、感光性樹脂組成物はラジカル重合性化合物を更に含んでもよい。ラジカル重合性化合物としての複数のエチレン性不飽和基を有する樹脂及び化合物は、被膜を架橋してその硬度を高めることができる。

　露光時の反応性、被膜の硬度及び耐熱性などの点から、ラジカル重合性化合物として、複数の（メタ）アクリル基を有する化合物を用いることが好ましい。そのような化合物として、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、１，３－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ジメチロール－トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ（メタ）アクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカ（メタ）アクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、２，２－ビス［４－（３－（メタ）アクリロキシ－２－ヒドロキシプロポキシ）フェニル］プロパン、１，３，５－トリス（（メタ）アクリロキシエチル）イソシアヌル酸、１，３－ビス（（メタ）アクリロキシエチル）イソシアヌル酸、９，９－ビス［４－（２－（メタ）アクリロキシエトキシ）フェニル］フルオレン、９，９－ビス［４－（３－（メタ）アクリロキシプロポキシ）フェニル］フルオレン若しくは９，９－ビス（４－（メタ）アクリロキシフェニル）フルオレン又はそれらの酸変性体、エチレンオキサイド変性体若しくはプロピレンオキサイド変性体が挙げられる。

　感光性樹脂組成物中のラジカル重合性化合物の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部に対して、１５質量部～６５質量部とすることができ、２０質量部～６０質量部であることが好ましく、２５質量部～５０質量部であることがより好ましい。ラジカル重合性化合物の含有量が上記範囲であると、アルカリ現像性が良好であり、硬化した被膜の耐熱性を向上させることができる。

［黒色剤（Ｅ）］
　黒色剤（Ｅ）は黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される。黒色染料と黒色顔料とを併用してもよい。黒色剤（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物を用いて有機ＥＬ素子に黒色の隔壁を形成することにより、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置の視認性を向上させることができる。

　一実施態様では黒色剤（Ｅ）は黒色染料を含む。黒色染料として、ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料を用いることができる。黒色染料は、好ましくは、ソルベントブラック２７、２９又は３４のＣ．Ｉ．で規定されるものである。ソルベントブラック２７～４７のＣ．Ｉ．で規定される染料のうち少なくとも１種類を黒色染料として用いた場合、硬化後の感光性樹脂組成物の被膜の遮光性を維持することができる。黒色染料を含む感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含む感光性樹脂組成物と比較して、現像時に着色剤の残渣が少なく、高精細のパターンを被膜に形成することができる。

　黒色剤（Ｅ）が黒色染料である場合の感光性樹脂組成物中の黒色染料の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、好ましくは１０～１５０質量部であり、より好ましくは１５～１００質量部であり、更に好ましくは２０～８０質量部である。黒色染料の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１０質量部以上であれば、硬化後の被膜の遮光性を維持することができる。黒色染料の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１５０質量部以下であれば、残膜率、耐熱性、感度等が適切である。

　黒色剤（Ｅ）として黒色顔料を用いてもよい。黒色顔料として、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、アセチレンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料等が挙げられる。これらの黒色顔料に表面処理を施したものを使用することもできる。市販のペリレン系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社製のＫ００８４、Ｋ００８６、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等が挙げられる。市販のラクタム系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社製のＩｒｇａｐｈｏｒ（登録商標）ブラック　Ｓ０１００ＣＦが挙げられる。高い遮光性を有することから、黒色顔料は、好ましくはカーボンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、及びラクタム系顔料からなる群より選択される少なくとも１種である。感放射線化合物（Ｄ）が光重合開始剤であるネガ型の感光性樹脂組成物においては、黒色剤（Ｅ）は、重合を阻害しにくい黒色顔料であることが有利である。

　黒色剤（Ｅ）が黒色顔料である場合の感光性樹脂組成物中の黒色顔料の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、好ましくは１０～１５０質量部であり、より好ましくは１５～１００質量部であり、更に好ましくは２０～８０質量部である。黒色顔料の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１０質量部以上であれば、十分な遮光性を得ることができる。黒色顔料の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１５０質量部以下であれば、残膜率、感度等が適切である。

　黒色剤（Ｅ）が黒色染料及び黒色顔料の両方を含む場合の感光性樹脂組成物中の黒色染料と黒色顔料の合計量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、好ましくは１０～１５０質量部であり、より好ましくは１５～１００質量部であり、更に好ましくは２０～８０質量部である。黒色染料及び黒色顔料の合計量が、上記合計１００質量部を基準として１０質量部以上であれば、十分な遮光性を得ることができる。黒色染料及び黒色顔料の合計量が、上記合計１００質量部を基準として１５０質量部以下であれば、残膜率、感度等が適切である。

［任意成分］
　感光性樹脂組成物は任意成分として、溶解促進剤（Ｆ）、塩基性化合物（Ｇ）、溶媒（Ｈ）、熱硬化剤、界面活性剤、黒色剤（Ｅ）以外の第２着色剤等を含むことができる。本開示において、任意成分は（Ａ）～（Ｅ）のいずれにも当てはまらないものと定義する。

［溶解促進剤（Ｆ）］
　感光性樹脂組成物は、例えば現像時にアルカリ可溶性部分の溶解性を向上させるため、溶解促進剤（Ｆ）を含有することができる。溶解促進剤（Ｆ）としては、アルカリ可溶性官能基を有する低分子化合物が用いられる。中でも、カルボキシ基及びフェノール性水酸基から選択される少なくとも１つの基を有する化合物が好ましい。

　例えば、カルボキシ基を有する低分子化合物としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘミメリット酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸；ジヒドロキシ安息香酸、トリヒドロキシ安息香酸、没食子酸等の芳香族ヒドロキシカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。

　フェノール性水酸基を有する低分子化合物としては、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、没食子酸プロピル、ジヒドロキシナフタレン、ロイコキニザリン、１，２，４－ベンゼントリオール、アントラセントリオール、ピロガロール、フロログルシノール、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フェノールフタレイン、フェノールフタリン、トリス（４－ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１－トリス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、α，α，α’－トリス（４－ヒドロキシフェニル）－１－エチル－４－イソプロピルベンゼン等が挙げられる。

　溶解促進剤（Ｆ）の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．１～２０質量部とすることができ、好ましくは１～１５質量部であり、より好ましくは３～１２質量部である。溶解促進剤（Ｆ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として０．１質量部以上であれば、樹脂成分の溶解を効果的に促進することができ、２０質量部以下であれば樹脂成分の過度の溶解を抑制して、被膜のパターン形成性、表面品質等を高めることができる。

［塩基性化合物（Ｇ）］
　感光性樹脂組成物は、有機ＥＬ素子の長期信頼性を確保するため、塩基性化合物（Ｇ）を含有することができる。塩基性化合物（Ｇ）は、感光性樹脂組成物中に含まれるカルボン酸、フェノール性水酸基などの酸性成分若しくは酸性部位、又は光酸発生剤から発生する酸性ガスのクエンチャーとして作用する。被膜を有機ＥＬ素子として用いる場合、塩基性化合物（Ｇ）を用いることにより、発光輝度の低下、画素収縮、ダークスポットの発生などを防ぐことができる。

　塩基性化合物（Ｇ）としては、例えば、ｎ－ヘキシルアミン、ｎ－ヘプチルアミン、ｎ－オクチルアミン、ｎ－ノニルアミン、ｎ－デシルアミン、３－（２－エチルヘキシロキシ）プロピルアミン、ジ－ｎ－ブチルアミン、ジ－ｎ－ペンチルアミン、ジ－ｎ－ヘキシルアミン、ジ－ｎ－ヘプチルアミン、ジ－ｎ－オクチルアミン、ジ－ｎ－ノニルアミン、ジ－ｎ－デシルアミン、トリエチルアミン、トリ－ｎ－プロピルアミン、トリ－ｎ－ブチルアミン、トリ－ｎ－ペンチルアミン、トリ－ｎ－ヘキシルアミン、トリ－ｎ－ヘプチルアミン、トリ－ｎ－オクチルアミン、トリ－ｎ－ノニルアミン、トリ－ｎ－デシルアミン、トリシクロヘキシルアミン、トリフェニルアミン、アニリン、Ｎ－メチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、２－メチルアニリン、３－メチルアニリン、４－メチルアニリン、４－ニトロアニリン、ジフェニルアミン、トリフェニルアミン、ナフチルアミン、エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラメチルエチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノベンゾフェノン、４，４’－ジアミノジフェニルアミン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）プロパン、２－（３－アミノフェニル）－２－（４－アミノフェニル）プロパン、２－（４－アミノフェニル）－２－（３－ヒドロキシフェニル）プロパン、２－（４－アミノフェニル）－２－（４－ヒドロキシフェニル）プロパン、１，４－ビス［１－（４－アミノフェニル）－１－メチルエチル］ベンゼン、１，３－ビス［１－（４－アミノフェニル）－１－メチルエチル］ベンゼン、ポリ（４－ビニルピリジン）、ポリ（２－ピリジン）、ポリ（Ｎ－２－ピロリドン）、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、ポリ（ジメチルアミノエチルアクリルアミド）、ホルムアミド、Ｎ－メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ－メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズアミド、ピロリドン、Ｎ－メチルピロリドン、尿素、メチルウレア、１，１－ジメチルウレア、１，３－ジメチルウレア、１，１，３，３－テトラメチルウレア、１，３－ジフェニルウレア、トリブチルチオウレア、イミダゾール、ベンズイミダゾール、４－メチルイミダゾール、４－メチル－２－フェニルイミダゾール、ピリジン、２－メチルピリジン、４－メチルピリジン、２－エチルピリジン、４－エチルピリジン、２－フェニルピリジン、４－フェニルピリジン、Ｎ－メチル－４－フェニルピリジン、ニコチン、ニコチン酸、ニコチン酸アミド、キノリン、８－オキシキノリン、アクリジン、ピラジン、ピラゾール、ピリダジン、キノザリン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、モルホリン、４－メチルモルホリン、ピペラジン、１，４－ジメチルピペラジン、１，４－ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン、１，５－ジアザビシクロ［４．３．０］－５－ノネン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン、及び２，４，６－トリス［ビス（メトキシメチル）アミノ］－１，３，５－トリアジンが挙げられる。

　塩基性化合物（Ｇ）の含有量は、塩基性化合物（Ｇ）を除く固形分の合計１００質量部を基準として、４質量部以下が好ましく、より好ましくは３質量部以下であり、更に好ましくは２質量部以下である。

［溶媒（Ｈ）］
　感光性樹脂組成物は、溶媒に溶解させて溶液状態（但し、黒色顔料を含むときは、顔料は分散状態である。）で用いることができる。例えば、第１樹脂（Ａ）、第２樹脂（Ｂ）、及び任意成分の第３樹脂（Ｃ）を溶媒（Ｈ）に溶解して得られた溶液に、感放射線化合物（Ｄ）、黒色剤（Ｅ）、必要に応じて溶解促進剤（Ｆ）、塩基性化合物（Ｇ）、熱硬化剤、界面活性剤等の任意成分を所定の割合で混合することにより、溶液状態の感光性樹脂組成物を調製することができる。感光性樹脂組成物は、溶媒の量を変化させることにより使用する塗布方法に適した粘度に調整することができる。

　溶媒（Ｈ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール化合物；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート化合物；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素；メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、４－ヒドロキシ－４－メチル－２－ペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン；２－ヒドロキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルブタン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ－ブチロラクトン、ジエチルカーボネート等のエステル；Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド化合物が挙げられる。溶媒（Ｈ）は単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

［熱硬化剤］
　熱硬化剤として、熱ラジカル発生剤を使用することができる。好ましい熱ラジカル発生剤としては、有機過酸化物を挙げることができ、具体的にはジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔｅｒｔ－ブチルパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の１０時間半減期温度が１００～１７０℃の有機過酸化物等を挙げることができる。

　熱硬化剤の含有量は、熱硬化剤を除く固形分の合計１００質量部を基準として、５質量部以下が好ましく、より好ましくは４質量部以下であり、更に好ましくは３質量部以下である。

［界面活性剤］
　感光性樹脂組成物は、例えば塗工性を向上させるため、被膜の平滑性を向上させるため、又は被膜の現像性を向上させるために、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル類等のノニオン系界面活性剤；メガファック（登録商標）Ｆ－２５１、同Ｆ－２８１、同Ｆ－４３０、同Ｆ－４４４、同Ｒ－４０、同Ｆ－５５３、同Ｆ－５５４、同Ｆ－５５５、同Ｆ－５５６、同Ｆ－５５７、同Ｆ－５５８、同Ｆ－５５９（以上、商品名、ＤＩＣ株式会社製）、サーフロン（登録商標）Ｓ－２４２、同Ｓ－２４３、同Ｓ－３８６、同Ｓ－４２０、同Ｓ－６１１（以上、商品名、ＡＧＣセイミケミカル株式会社製）等のフッ素系界面活性剤；オルガノシロキサンポリマーＫＰ３２３、ＫＰ３２６、ＫＰ３４１（以上、商品名、信越化学工業株式会社製）等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上用いることもできる。

　界面活性剤の含有量は、界面活性剤を除く固形分の合計１００質量部を基準として、２質量部以下が好ましく、より好ましくは１質量部以下であり、更に好ましくは０．５質量部以下である。

［第２着色剤］
　感光性樹脂組成物は、黒色剤（Ｅ）以外の第２着色剤を含有することができる。第２着色剤として、染料、有機顔料、無機顔料等が挙げられ、目的に合わせて用いることができる。第２着色剤は、本発明の効果を損なわない含有量で使用することができる。

　染料としては、例えば、アゾ系染料、ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料、メロシアニン系染料、スチルベン系染料、ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、フルオラン系染料、スピロピラン系染料、フタロシアニン系染料、インジゴ系染料、フルギド系染料、ニッケル錯体系染料、及びアズレン系染料等が挙げられる。

　顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、２４、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４８、１５３、１５４、１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、４３、５１、５５、５９、６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：４、２２、６０、６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５、２６等を挙げることができる。

［感光性樹脂組成物の製造方法］
　感光性樹脂組成物は、第１樹脂（Ａ）、第２樹脂（Ｂ）、任意成分の第３樹脂（Ｃ）、感放射線化合物（Ｄ）、黒色剤（Ｅ）、及び必要に応じて溶解促進剤（Ｆ）、塩基性化合物（Ｇ）などの上記任意成分を溶媒（Ｈ）に溶解又は分散して混合することにより調製することができる。使用目的により、感光性樹脂組成物の固形分濃度を適宜決定することができる。例えば、感光性樹脂組成物の固形分濃度を１～６０質量％としてもよく、３～５０質量％、又は５～４０質量％としてもよい。

　顔料を使用する場合の分散混合方法については公知の方法を使用することができる。例えば、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ペイントシェーカー、ロッキングミルなどのボール型、ニーダー、パドルミキサー、プラネタリミキサー、ヘンシェルミキサーなどのブレード型、３本ロールミキサーなどのロール型、その他としてライカイ機、コロイドミル、超音波、ホモジナイザー、自転・公転ミキサーなどを使用してもよい。分散効率及び微分散化の観点からビーズミルを使用することが好ましい。

　調製された感光性樹脂組成物は、通常、使用前にろ過される。ろ過の手段としては、例えば孔径０．０５～１．０μｍのミリポアフィルター等が挙げられる。

　このように調製された感光性樹脂組成物は、長期間の貯蔵安定性にも優れている。

［感光性樹脂組成物の使用］
　感光性樹脂組成物を放射線リソグラフィーに使用する場合、まず、感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製する。次に、コーティング組成物を基板表面に塗布し、加熱等の手段により溶媒を除去して、被膜を形成することができる。基板表面へのコーティング組成物の塗布方法は特に限定されず、例えばスプレー法、ロールコート法、スリット法、スピンコート法等を使用することができる。

　コーティング組成物を基板表面に塗布した後、通常、加熱により溶媒を除去して被膜を形成する（プリベーク）。加熱条件は各成分の種類、配合割合等によっても異なるが、通常７０～１３０℃で、例えばホットプレート上なら３０秒～２０分間、オーブン中では１～６０分間加熱処理をすることによって被膜を得ることができる。一実施態様では、形成された被膜の厚さは２～３μｍである。

　次にプリベークされた被膜に所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線（例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線、ガンマ線、シンクロトロン放射線等）等を照射する（露光工程）。キノンジアジド化合物を感放射線化合物として使用する場合、好ましい放射線は、２５０～４５０ｎｍの波長を有する紫外線乃至可視光線である。一実施態様では、放射線はｉ線である。別の実施態様では、放射線はｇｈｉ線である。

　露光工程の後、被膜を現像液に接触させることにより現像し、不要な部分を除去して被膜にパターンを形成する（現像工程）。現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ化合物；エチルアミン、ｎ－プロピルアミン等の第一級アミン；ジエチルアミン、ジ－ｎ－プロピルアミン等の第二級アミン；トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三級アミン；ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン；水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン等の第四級アンモニウム塩；ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン、１，５－ジアザビシクロ［４．３．０］－５－ノナン等の環状アミン等のアルカリ化合物の水溶液を用いることができる。アルカリ水溶液に、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒、界面活性剤等を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像時間は通常３０～１８０秒間である。現像方法は液盛り法、シャワー法、ディッピング法等のいずれでもよい。現像後、流水洗浄を３０～９０秒間行い、不要な部分を除去し、圧縮空気又は圧縮窒素で風乾させることによって、被膜にパターンを形成することができる。

　その後、パターンが形成された被膜を、ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、例えば１００～３５０℃で、２０～２００分間加熱処理をすることによって硬化被膜を得ることができる（ポストベーク、加熱処理工程）。加熱処理において、温度を一定に維持してもよく、温度を連続的に上昇させてもよく、段階的に上昇させてもよい。

　感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）は、膜厚１μｍあたり０．５以上である。これにより十分な遮光性を得ることができる。感光性樹脂組成物の硬化被膜のＯＤ値は、０．７以上であることが好ましく、１．０以上であることがより好ましい。

［有機ＥＬ素子隔壁又は有機ＥＬ素子絶縁膜の製造方法］
　一実施態様は、感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製すること、コーティング組成物を基材に塗布して被膜を形成すること、被膜に含まれる溶媒を除去して被膜を乾燥すること、乾燥した被膜に放射線をフォトマスク越しに照射して被膜を露光すること、露光された被膜を現像液に接触させることにより現像して、被膜にパターンを形成すること、及びパターンが形成された被膜を１００℃～３５０℃の温度で加熱処理して、有機ＥＬ素子隔壁又は有機ＥＬ素子絶縁膜を形成することを含む有機ＥＬ素子隔壁又は有機ＥＬ素子絶縁膜の製造方法である。

［有機ＥＬ素子隔壁］
　一実施態様は、感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁である。

［有機ＥＬ素子絶縁膜］
　一実施態様は、感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜である。

［有機ＥＬ素子］
　一実施態様は、感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子である。

　以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。

（１）物性評価
　樹脂又は感光性樹脂組成物の物性評価を以下の手順で行った。

［アルカリ溶解速度］
　樹脂又は感光性樹脂組成物の２０質量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）溶液に、レベリング剤としてメガファック（登録商標）Ｆ－５５９（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ株式会社製）を樹脂固形分１００質量部あたり０．１質量部の量で添加した。得られた混合物をガラス基板（７０ｍｍ×７０ｍｍ×０．７ｍｍ）に乾燥膜厚が５．０μｍになるように塗布し、３０秒間真空乾燥した後、温度１２０℃で１２０秒間被膜を乾燥した。乾燥後、２．３８質量％水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液でアルカリ現像を行った。現像時間は８～４００秒の範囲で、被膜が溶け切らない時間に調整した。現像後の被膜の減少量（ｎｍ）を現像時間（秒）で割ってアルカリ溶解速度（ｎｍ／秒）とした。

［分子量］
　第１樹脂（Ａ）、第２樹脂（Ｂ）、第３樹脂（Ｃ）及びその他の樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）に関しては、以下の測定条件で、ポリスチレンの標準物質を使用して作成した検量線を用いて算出した。
　装置名：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＧＰＣ－１０１
　カラム：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＬＦ－８０４
　移動相：テトラヒドロフラン
　流速：１．０ｍＬ／分
　検出器：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＲＩ－７１
　温度：４０℃

（２）原料
　実施例及び比較例で使用した原料を以下のとおり製造又は入手した。

［製造例１］第１樹脂（Ａ）：エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ７７０ＯＨ７０）の製造
　３００ｍＬの３つ口型フラスコに溶媒としてγ－ブチロラクトン（三菱ケミカル株式会社製）７５．２ｇ、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としてＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社製フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量１８８）を３７．６ｇ仕込み、窒素ガス雰囲気下、６０℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸化合物として３，５－ジヒドロキシ安息香酸（富士フイルム和光純薬株式会社製）を２０．１ｇ（エポキシ１当量に対して０．６５当量）、反応触媒としてトリフェニルホスフィン（東京化成工業株式会社製）を０．１７３ｇ（０．６６０ｍｍｏｌ）追加し、１１０℃で２４時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ－ブチロラクトンで固形分２０質量％に希釈し、溶液をろ過して２８６．５ｇのエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ７７０ＯＨ７０）の溶液を得た。得られた反応物の数平均分子量は２４００、重量平均分子量は５４００、エポキシ当量は２０００、フェノール性水酸基当量は１４２であった。

［製造例２］第１樹脂（Ａ）：エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ６９５ＯＨ７０）の製造
　３００ｍＬの３つ口型フラスコに溶媒としてγ－ブチロラクトン（三菱ケミカル株式会社製）７５．２ｇ、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としてＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２１４）を３７．８ｇ仕込み、窒素ガス雰囲気下、６０℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸化合物として３，５－ジヒドロキシ安息香酸（富士フイルム和光純薬株式会社製）を２０．１ｇ（エポキシ１当量に対して０．６５当量）、反応触媒としてトリフェニルホスフィン（東京化成工業株式会社製）を０．１６６ｇ（０．６６０ｍｍｏｌ）追加し、１１０℃で２１時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ－ブチロラクトンで固形分２０質量％に希釈し、溶液をろ過して２７４．２ｇのエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ６９５ＯＨ７０）の溶液を得た。得られた反応物の数平均分子量は３０００、重量平均分子量は５１００、エポキシ当量は２２００、フェノール性水酸基当量は１６１であった。

［製造例３］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＴＢＭＡ４２．５％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１７．３ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）６．１５ｇ、及びｔｅｒｔ－ブチルメタクリレート（三菱ケミカル株式会社製「アクリエステルＴＢ」）１３．８ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）５６．０ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．６９ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）４．０５ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１００ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの８０：２０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３６．５ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＴＢＭＡ４２．５％の数平均分子量は４１００、重量平均分子量は７６００、フェノール性水酸基当量は３８４であった。

［製造例４］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＰｈＭＡ４１％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１７．０ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）５．８３ｇ、及びフェニルメタクリレート（三菱ケミカル株式会社製「アクリエステルＰＨ」）１４．４ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６０．０ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）４．０８ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）９５．９ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３６．５ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＰｈＭＡ４１％の数平均分子量は４３００、重量平均分子量は７８００、フェノール性水酸基当量は３９０であった。

［製造例５］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＰｈＭＡ５３％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１２．５ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）５．９０ｇ、及びフェニルメタクリレート（三菱ケミカル株式会社製「アクリエステルＰＨ」）１８．９ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）５６．０ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）４．０８ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１００ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３６．５ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＰｈＭＡ５３％）の数平均分子量は４４００、重量平均分子量は７５００、フェノール性水酸基当量は５３１であった。

［製造例６］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＰｈＭＡ２０％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２４．６ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）５．７１ｇ、及びフェニルメタクリレート（三菱ケミカル株式会社製「アクリエステルＰＨ」）６．８９ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）５５．８ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．８３ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）４．２３ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１００ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３６．４ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＰｈＭＡ２０％の数平均分子量は３６００、重量平均分子量は７２００、フェノール性水酸基当量は２７０であった。

［製造例７］第３樹脂（Ｃ）：フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体（ＰＣＸ－０２ｅ）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２５．５ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）４．５０ｇを、溶媒である１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）７７．１ｇに、重合開始剤としてＶ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）３．６６ｇを、１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）１４．６ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８５℃に加熱した１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）６１．２ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８５℃で３時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を８１５ｇのトルエン中に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、９０℃で４時間真空乾燥し白色の粉体を３２．４ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体ＰＣＸ－０２ｅの数平均分子量は３１００、重量平均分子量は６７００、フェノール性水酸基当量は２１０であった。

［製造例８］グリシジルメタクリレートとメタクリル酸の共重合体（ＧＭＡ－ＭＡＡ）の製造
　グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）９９．５ｇ（０．７モル）、及びメタクリル酸（ＭＡＡ）８．６ｇ（０．１モル）をプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）７２．１ｇに、重合開始剤としてＶ－６５（富士フイルム和光純薬株式会社製）７．６ｇをＰＧＭＥ７．６ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、５００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８０℃に加熱したＰＧＭＥ１７２．６ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後２時間撹拌して反応させた。このようにして、グリシジルメタクリレートとメタクリル酸のモル比が７：１のグリシジルメタクリレートとメタクリル酸の共重合体（ＧＭＡ－ＭＡＡ）を、固形分３０質量％のＰＧＭＥ溶液の形態で得た。得られたＧＭＡ－ＭＡＡは、カルボキシ基とエポキシ基を分子内に有することから、自己反応性が高い、すなわちエポキシ基の開環重合が進行し易いため、再沈殿及び真空乾燥を行うと高分子量化してしまい単離することはできなかった。ＧＭＡ－ＭＡＡのＰＧＭＥ溶液は、安定性が低く、高分子量化が経時で進行して溶液の粘度が増加した。

［製造例９］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＣＨＭＡ２０％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２４．５ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）７．１１ｇ、及びシクロヘキシルメタクリレート（東京化成株式会社製）５．６８ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６９．３ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１０．８７ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１４３ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３９．１ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＣＨＭＡ２０％の数平均分子量は３５００、重量平均分子量は７２００、フェノール性水酸基当量は２７１であった。

［製造例１０］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＣＨＭＡ４０％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１７．１４ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）１４．３９ｇ、及びシクロヘキシルメタクリレート（東京化成株式会社製）５．７５ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６９．３ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１０．８７ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１４３ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３９．１ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＣＨＭＡ４０％の数平均分子量は３９００、重量平均分子量は７５００、フェノール性水酸基当量は３８７であった。

［製造例１１］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＢＯＭ３２％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１７．３ｇ、Ｎ，Ｎ－ジイソプロピルエチルアミン（東京化成工業株式会社製）、２９．０ｇ、テトラヒドロフラン（脱水）（関東化学株式会社製）１６０ｇを５００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で固体が完全に溶解するまで撹拌した。溶液を０℃に冷却し、ベンジルクロロメチルエーテル（東京化成工業株式会社製）２６．４ｇを溶液へ滴下した。滴下終了後、７０℃に加熱し５時間反応させた。反応液を室温にした後、ろ過により不要物を除去し、酢酸エチル（純正化学株式会社製　特級）を２００ｍＬ加え、ＴＨＦを留去した。有機層を飽和炭酸水素水溶液３００ｍＬで１回、純水２００ｍＬで２回洗浄した。硫酸ナトリウムで乾燥した後、溶剤を完全に留去した。粗生成物をヘキサン：酢酸エチル＝５０：１の展開溶媒を用いてシリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製し、ＰＱＭＡ－ＢＯＭ３１．２ｇを得た。

　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）１２．１ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）３．４５ｇ、及びＰＱＭＡ－ＢＯＭ１２．３ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）４１．８ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．１４ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）８．５４ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６９．７ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を２９．３ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＢＯＭ３２％の数平均分子量は３６００、重量平均分子量は６９００、フェノール性水酸基当量は４３１であった。

［製造例１２］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＩＢＭＡ２０％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２３．１ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）８．８６ｇ、及びイソボルニルメタクリレート（東京化成株式会社製）５．３５ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６９．２ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１０．８３ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１４３ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３９．１ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＩＢＭＡ２０％の数平均分子量は３６００、重量平均分子量は７１００、フェノール性水酸基当量は２８８であった。

［製造例１３］第２樹脂（Ｂ）：フェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ－ＴＣＤＭＡ２０％）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２３．１ｇ、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）８．７９ｇ、及びジシクロペンタニルメタクリレート（東京化成株式会社製）５．３７ｇを、溶媒である酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）６９．２ｇに、重合開始剤として２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬株式会社製「Ｖ－６０１」）２．７２ｇを、酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１０．８３ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱した酢酸イソプロピル（神港有機化学工業株式会社製）１４３ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８９℃還流下で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を１０００ｇのヘキサンとトルエンの５０：５０の混合液に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し白色の粉体を３９．１ｇ回収した。得られたフェノール性水酸基を有する第２樹脂Ｂ－ＴＣＤＭＡ２０％の数平均分子量は３８００、重量平均分子量は８０００、フェノール性水酸基当量は２８７であった。

［第１樹脂（Ａ）］
　第１樹脂（Ａ）として、製造例１のＮ７７０ＯＨ７０、及び製造例２のＮ６９５ＯＨ７０を使用した。

［第２樹脂（Ｂ）］
　第２樹脂（Ｂ）として、製造例３のＢ－ＴＢＭＡ４２．５％、製造例４のＢ－ＰｈＭＡ４１％、製造例５のＢ－ＰｈＭＡ５３％、製造例６のＢ－ＰｈＭＡ２０％、製造例９のＢ－ＣＨＭＡ２０％、製造例１０のＢ－ＣＨＭＡ４０％、製造例１１のＢ－ＢＯＭ３２％、製造例１２のＢ－ＩＢＭＡ２０％、及び製造例１３のＢ－ＴＣＤＭＡ２０％を使用した。

［第３樹脂（Ｃ）］
　第３樹脂（Ｃ）として、製造例７のＰＣＸ－０２ｅを使用した。

［その他の樹脂］
　その他の樹脂として、ショウノール（登録商標）ＢＲＧ－５５８（アイカ工業株式会社製フェノールノボラック樹脂、フェノール性水酸基当量１０７）、ＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社製フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量１８８）、及び製造例８のＧＭＡ－ＭＡＡを使用した。

　表１に、樹脂の構造単位比、フェノール性水酸基当量、アルカリ溶解速度、及び重量平均分子量（Ｍｗ）を示す。表１中、ＰＱＭＡは４－ヒドロキシフェニルメタクリレートに由来する構造単位、ＣＨＭＩはＮ－シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位を表す。

［感放射線化合物（Ｄ）］
　感放射線化合物（Ｄ）として、キノンジアジド化合物であるＴＳ－１５０Ａ（４、４’－［１－［４－［１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（ＴｒｉｓＰ－ＰＡ）と６－ジアゾ－５，６－ジヒドロ－５－オキソナフタレン－１－スルホン酸（１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸）とのエステル、東洋合成工業株式会社製）を使用した。ＴＳ－１５０Ａの構造を以下に示す。

［黒色剤（Ｅ）］
　黒色剤として、黒色染料であるＶＡＬＩＦＡＳＴ（登録商標）ＢＬＡＣＫ　３８２０（ソルベントブラック２７のＣ．Ｉ．で規定される黒色染料、オリエント化学工業株式会社製）を使用した。

［溶解促進剤（Ｆ）］
　溶解促進剤（Ｆ）としてフロログルシノールを使用した。

［塩基性化合物（Ｇ）］
　塩基性化合物（Ｇ）としてトリ－ｎ－オクチルアミン（ＴＯＡ）を使用した。

［溶媒（Ｈ）］
　溶媒（Ｈ）として、γ－ブチロラクトン（ＧＢＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、及びジエチルカーボネート（ＤＥＣ）の混合溶媒（ＧＢＬ：ＰＧＭＥＡ：ＤＥＣ＝３５：４５：２０（質量比））、又はγ－ブチロラクトン（ＧＢＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、ジエチルカーボネート（ＤＥＣ）、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）の混合溶媒（ＧＢＬ：ＰＧＭＥＡ：ＤＥＣ：ＰＧＭＥ＝３５：３５：２０：１０（質量比））を使用した。ＧＢＬ及びＰＧＭＥの質量比の値には、製造例１、２又は８で使用したものも含まれる。

（３）評価方法
　実施例及び比較例で使用した評価方法は以下のとおりである。

［溶解性］
〈露光部溶解性〉
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）に感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が２．７μｍになるようにバーコートし、ホットプレート上１２０℃で１２０秒加熱し溶媒を乾燥した（プリベーク）。乾燥膜厚を光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定後、超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置（商品名マルチライトＭＬ－２５１Ａ／Ｂ、ウシオ電機株式会社製）で水銀露光用バンドパスフィルター（商品名ＨＢ０３６５、朝日分光株式会社製）と石英製のフォトマスク（５μｍ、１０μｍ、２０μｍ、５０μｍ、１００μｍ、２００μｍ、５００μｍのライン＆スペース（Ｌ／Ｓ）パターンを有するもの）を介して１００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。露光量は紫外線積算光量計（商品名ＵＩＴ－１５０　受光部　ＵＶＤ－Ｓ３６５、ウシオ電機株式会社製）を用いて測定した。その後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社製）を用い２．３８質量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で、２０秒～２００秒の範囲で露光部の被膜がなくなるまでアルカリ現像を行なった。したがって、表２では現像時間と合わせて露光部溶解性は全て２．７０μｍ（比較例２のみパターンが剥離したため２．７０μｍ超）と表記した。

〈未露光部溶解性〉
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）に感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が２．７μｍになるようにバーコートし、ホットプレート上１２０℃で１２０秒加熱し溶媒を乾燥した（プリベーク）。乾燥膜厚を光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社製）を用い２．３８質量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で、露光部溶解性と同じ現像時間でアルカリ現像を行なった。アルカリ現像後の膜厚を再び光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定し、現像前後で溶解した膜厚（μｍ）を未露光部溶解性として算出した。

〈溶解性差〉
　露光部溶解性（μｍ）から未露光部溶解性（μｍ）を引いたものを溶解性差（μｍ）とした。溶解性差が大きいほど感度がより高く、パターン形成性に優れていることを意味する。

［硬化被膜のＯＤ値］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）に感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が約１．５μｍになるようにスピンコートし、ホットプレート上１２０℃で１２０秒加熱し溶媒を乾燥した。その後、窒素ガス雰囲気下２５０℃で６０分硬化させることにより被膜を得た。硬化後の被膜のＯＤ値を透過濃度計（ＢＭＴ－１、サカタインクスエンジニアリング株式会社製）で測定し、ガラスのみのＯＤ値で補正を行って、被膜の厚さ１μｍ当たりのＯＤ値に換算した。被膜の厚みは光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定した。

（４）感光性樹脂組成物の調製及び評価
［実施例１～１４、比較例１～４］
　表２に記載の組成で樹脂成分を混合して溶解して得られた溶液に、表２に記載の感放射線化合物（Ｄ）、黒色剤（Ｅ）、溶解促進剤（Ｆ）、塩基性化合物（Ｇ）、及び溶媒（Ｈ）を加えて、更に混合した。成分が溶解したことを目視で確認した後、孔径０．２２μｍのミリポアフィルターで濾過し、固形分濃度約１２質量％の感光性樹脂組成物を調製した。表２における組成の質量部は固形分換算値である。表２には、感光性樹脂組成物のアルカリ溶解速度も記載されている。実施例１～１４、及び比較例１～４の感光性樹脂組成物の評価結果を表２に示す。比較例３では現像時にパターン剥がれが発生し、正確な溶解性を測定できなかったため、表２の溶解性に関する数値に括弧を付す。比較例４は、ＧＭＡ－ＭＡＡのＰＧＭＥ溶液の安定性が低く、評価することができなかった。

　本開示の感光性樹脂組成物は、有機ＥＬ素子の隔壁又は絶縁膜を形成する放射線リソグラフィーに好適に利用することができる。本開示の感光性樹脂組成物から形成された隔壁又は絶縁膜を備えた有機ＥＬ素子は、良好なコントラストを示す表示装置の電子部品として好適に使用される。

Claims

　（Ａ）エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第１樹脂、
　（Ｂ）重量平均分子量が３０００～８００００である第２樹脂、
　（Ｄ）感放射線化合物、及び
　（Ｅ）黒色剤
を含む感光性樹脂組成物であって、前記感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上であり、前記第２樹脂のアルカリ溶解速度が前記第１樹脂のアルカリ溶解速度の５％以下である、感光性樹脂組成物。
　前記第２樹脂が、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記第２樹脂が、式（４）

（式（４）において、Ｒ^３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４は炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、炭素原子数６～２０のアリール基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数１～２０の直鎖アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～２０の分岐アルキル基、酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数３～１２の環状アルキル基、及び酸性官能基以外の基により置換された炭素原子数６～２０のアリール基からなる群より選ばれる基である。）
で表される構造単位を有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記第２樹脂が、式（３）

（式（３）において、Ｒ^２は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｂは１～５の整数である。）
で表される構造単位を有する、請求項１～３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記第２樹脂が、式（５）

（式（５）において、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のフルオロアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^７は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記第１樹脂が、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（２）

（式（２）において、ａは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す。）
の構造を有する化合物である、請求項１～５のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物がノボラック型エポキシ樹脂である、請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
　前記黒色剤がソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料である、請求項１～７のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記感放射線化合物が光酸発生剤である、請求項１～８のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記感光性樹脂組成物が、（Ｃ）前記第１樹脂及び前記第２樹脂のいずれとも異なる、重量平均分子量が３０００～８００００である第３樹脂を更に含み、前記第２樹脂のアルカリ溶解速度が前記第３樹脂のアルカリ溶解速度の５％以下である、請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　前記第３樹脂が、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体である、請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第１樹脂を２０質量％～９０質量％含む、請求項１～１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第２樹脂を５質量％～５０質量％含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計質量を基準として、前記第３樹脂を５質量％～５０質量％含む、請求項１０又は１１に記載の感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、前記感放射線化合物を１質量部～４０質量部含む、請求項１～１４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、前記黒色剤を１０質量部～１５０質量部含む、請求項１～１５のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　請求項１～１６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
　請求項１～１６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
　請求項１～１６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。