JP2018180151A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
[項目1]
(A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、
分子鎖の少なくとも一方の末端に下記式(I)で表される構造、及び
分子内に下記式(II)で表される構造の少なくとも一方と、下記式(III)で表される構造を有する重合体であるアルカリ可溶性樹脂(a1)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
前記式(I)〜式(III)で表される構造が、下記式(IV−1)〜(IV−8)で表される群より選ばれる少なくとも1種の化合物に由来する構造である、項目1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
前記アルカリ可溶性樹脂(a1)の重量平均分子量が5,000〜80,000である、項目1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
(C)黒色着色剤をさらに含有する、項目1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
(A)アルカリ可溶性樹脂の総量100質量部に対して、(B)キノンジアジド化合物の含有量が10〜100質量部、及び存在する場合は(C)黒色着色剤の含有量が10〜100質量部である、項目1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
前記アルカリ可溶性樹脂(a1)が、アルカリ可溶性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体である、項目1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
前記アルカリ可溶性基がカルボキシル基、フェノール性水酸基、及び酸無水物基からなる群より選ばれる少なくとも一種である、項目7に記載の感光性樹脂組成物。
前記アルカリ可溶性樹脂(a1)が下記式(V)
で表されるモノマー単位を有する、項目7又は8に記載の感光性樹脂組成物。
前記アルカリ可溶性樹脂(a1)が下記式(VI)
で表されるモノマー単位を有する、項目7〜9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
(A)アルカリ可溶性樹脂が、エポキシ基とフェノール性水酸基とを有するアルカリ可溶性樹脂(a2)をさらに含有する、項目1〜10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
重合性単量体の総量100質量部に対して、式(I)又は(II)の構造、及び式(III)の構造を付与し得るRAFT剤0.01〜10質量部の存在下で重合性単量体を重合し、アルカリ可溶性樹脂(a1)を含有する(A)アルカリ可溶性樹脂を製造する工程と、
前記(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)キノンジアジド化合物、及び任意に(C)黒色着色剤を混合して樹脂組成物を製造する工程と
を含む、項目1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
項目1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる有機EL素子の隔壁又は絶縁膜。
項目1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機EL素子。
(1)項目1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を溶媒に溶かし、これを基材に塗布する塗布工程、
(2)塗布された感光性樹脂組成物中の溶媒を除去する乾燥工程、
(3)放射線をフォトマスク越しに照射する露光工程、
(4)アルカリ現像によりパターン形成する現像工程、及び
(5)100〜350℃の温度で加熱する加熱処理工程
を含む放射線リソグラフィー構造物の製造方法。
本発明の(A)アルカリ可溶性樹脂は、下記アルカリ可溶性樹脂(a1)を必須とするが、その他にエポキシ基とフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂(a2)(「成分(a2)」ともいう)や、その他のアルカリ可溶性樹脂(a3)(「成分(a3)」ともいう)を含んでいても良い。なお、本発明においてアルカリ可溶性とは、アルカリ溶液、例えば、2.38質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に溶解可能であることを意味する。
アルカリ可溶性樹脂(a1)としては、分子鎖の少なくとも一方の末端に下記式(I)で表される構造、及び分子内に下記式(II)で表される構造の少なくとも一方と、下記式(III)で表される構造を有し、アルカリ可溶性の重合体であれば特に制限されるものではない。例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂等、ラジカル重合で製造できる樹脂にアルカリ可溶性基が付加したもの等が挙げられる。これらは単独で、又は2種類以上の樹脂を組み合わせて用いることができる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂(a1)は上記例示のRAFT剤を連鎖移動剤として用い、重合性単量体をラジカル重合(特にこの場合はRAFT重合)することにより、得ることができる。アルカリ可溶性基はアルカリ可溶性基(例えばカルボキシル基)を有する重合性単量体との共重合により導入しても良いし、重合後にアルカリ可溶性を導入しても良い。
を用いてラジカル重合を行うと、生成する重合体には以下のような反応により
アルカリ可溶性樹脂(a1)は、アルカリ可溶性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体を、RAFT剤(連鎖移動剤)を用いてラジカル重合させることにより製造することができる。アルカリ可溶性基としては、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基等を挙げることができる。あるいは、RAFT重合にて共重合体を合成した後に、アルカリ可溶性基を付加したものであってもよい。重合性単量体が有する重合性基としては、ラジカル重合性炭素−炭素不飽和基を挙げることができる。具体的には、CH2=CH−、CH2=C(CH3)−、CH2=CHCO−、CH2=C(CH3)CO−、−OC−CH=CH−CO−などを例示できる。アルカリ可溶性基を有する重合性単量体としては、例えば、4−ヒドロキシスチレン、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、4−ヒドロキシフェニルメタクリレート、3,5−ジメチル−4−ヒドロキシベンジルアクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルアクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルマレイミド、3−マレイミドプロピオン酸、4−マレイミド酪酸、6−マレイミドヘキサン酸等が挙げられる。
成分(a2)のアルカリ可溶性樹脂は、例えば、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物(以下、「エポキシ化合物」と表記することがある。)のエポキシ基と、ヒドロキシ安息香酸類のカルボキシル基を反応させることで得ることができる。ただし、エポキシ基が残るように反応率を調整する。本発明の感光性樹脂組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂(a2)がエポキシ基を有することで、加熱時にフェノール性水酸基と反応して架橋し耐薬品性、耐熱性などが向上するという利点があり、フェノール性水酸基を有することでアルカリ水溶液に可溶になるという利点がある。
その他のアルカリ可溶性樹脂(a3)としては、例えばポリアルケニルフェノール樹脂が挙げられる。ポリアルケニルフェノール樹脂は、公知のフェノール樹脂の水酸基をアルケニルエーテル化し、さらにアルケニルエーテル基をクライゼン転位することにより得られる。ポリアルケニルフェノール樹脂は、式(2)の構造を有することが好ましい。このような樹脂を含有することにより、得られる感光性樹脂組成物の現像特性を向上させるとともに、アウトガスの低減にも寄与することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、感放射線化合物としてキノンジアジド化合物を含有する。キノンジアジド化合物としては、ポリヒドロキシ化合物にスルホ基を有するキノンジアジド化合物がエステルで結合したもの等が挙げられる。露光部と未露光部のコントラストの観点から、これらポリヒドロキシ化合物やポリアミノ化合物の官能基全体の50モル%以上20モル%以上がキノンジアジドで置換されていることが好ましい。このようなキノンジアジド化合物を用いることで、一般的な紫外線である水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)に感光するポジ型の感光性樹脂組成物を得ることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、任意成分として、黒色着色剤、分散剤、その他の着色剤、熱硬化剤、界面活性剤、溶媒等を添加することができる。なお、任意成分は(A)及び(B)のいずれにも当てはまらないものと定義する。
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに任意成分として、例えば、隔壁材に遮光性を持たせるために、黒色着色剤を含有することができる。このような黒色着色剤としては、例えば、ソルベントブラック27〜47のカラーインデックス(C.I.)で規定される黒色染料(c1)を使用することができる。黒色染料は、好ましくは、ソルベントブラック27、29又は34のC.I.で規定されるものである。ソルベントブラック27〜47のC.I.で規定される染料のうち少なくとも1種類を黒色染料として用いた場合、焼成後の感光性樹脂組成物の膜の厚さ1μm当たりの光学濃度(OD値)を0.1〜3.0にすることができ、より黒色に近い色を保つことができる。膜の厚さ1μm当たりの光学濃度(OD値)は、透過濃度計及び膜厚測定装置を用いて測定可能である。この利点から本発明の感光性樹脂組成物を有機ELディスプレイ等の表示装置の隔壁材として使用した場合、表示装置の視認性を向上させることができる。
チタンブラック等の顔料を分散させるために、分散剤を使用することも可能である。分散剤としては、例えば、商品名DISPERBYK−110、DISPERBYK−111(ビックケミー・ジャパン株式会社製)等、商品名ディスパロン(登録商標)PW−36、ディスパロン(登録商標)DA−375(楠本化成株式会社製)等のリン酸エステル類、ポリリン酸エステル類、リン酸ポリエステル類、ポリエーテルリン酸エステル類等のリン酸分散剤、商品名フローレンG−700、フローレンG−900、フローレンGW−1500(共栄社化学株式会社製)等のカルボキシル基含有ポリマー分散剤、商品名アジスパー(登録商標)PN411、アジスパー(登録商標)PA111(味の素ファインテクノ株式会社製)等の高級脂肪酸エステル分散剤が挙げられる。中でも骨格にグラフト鎖を有しない分散剤、例えば商品名DISPERBYK−110、DISPERBYK−111(ビックケミー・ジャパン株式会社製)等が好ましく用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに任意成分として、その他の着色剤を含有することができる。このような着色剤は、染料、有機顔料、無機顔料が挙げられるが、目的に合わせて用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物に熱硬化剤を含有することが、加熱により組成物を硬化させることができるため好ましい。熱硬化剤としては、熱ラジカル発生剤を使用することができる。好ましい熱ラジカル発生剤としては、有機過酸化物を挙げることができ、具体的にはジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の10時間半減期温度が100〜170℃の有機過酸化物等を挙げることができる。熱硬化剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して5質量部以下が好ましく、より好ましくは4質量部以下であり、さらに好ましくは3質量部以下である。
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに任意成分として、例えば塗布性を向上させるため、あるいは塗膜の現像性を向上させるために、界面活性剤を含有することができる。このような界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル類等のノニオン界面活性剤;メガファック(登録商標)F−251、同F−281、同F−430、同F−444、同R−40、同F−553、同F−554、同F−555、同F−556、同F−557、同F−558、同F−559(以上、商品名、DIC株式会社製)、サーフロン(登録商標)S−242、同S−243、同S−385、同S−386、同S−420、同S−611(以上、商品名、ACGセイミケミカル株式会社製)等のフッ素系界面活性剤;オルガノシロキサンポリマーKP323、KP326、KP341(以上、商品名、信越化学工業株式会社製)等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上用いることもできる。このような界面活性剤は、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部を基準として、好ましくは2質量部以下、より好ましくは1質量部以下、さらに好ましくは0.5質量部以下の量で配合される。
本発明の感光性樹脂組成物は、溶媒に溶解されて溶液状態で用いられることが、基材への塗布性の面で好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は溶媒量によって種々の塗布方法に適した粘度に調整可能である。使用目的により、適宜の固形分濃度を採用することができるが、例えば、固形分濃度1〜60質量%、好ましくは3〜50質量%、さらに好ましくは5〜40質量%とすることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、前記のアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)、及び必要に応じて任意成分を前記の溶媒に溶解又は分散して混合することにより調製することができる。使用目的により、適宜の固形分濃度を採用することができるが、例えば、固形分濃度10〜60質量%とすることができる。調製された組成物の溶液は、通常、使用前にろ過される。ろ過の手段としては、例えば孔径0.05〜1.0μmのメンブレンフィルター等が挙げられる。このように調製された本発明の感光性樹脂組成物は、長期間の貯蔵安定性にも優れている。
顔料を混合する際は、前記のアルカリ可溶性樹脂(A)及びキノンジアジド化合物(B)と混合する前に顔料を溶媒に分散させておくことが好ましい。顔料分散液は、顔料、溶媒、及び必要に応じて分散剤を混合することで製造できる。例えばチタンブラックを使用する場合、チタンブラックと、γ−ブチロラクトンと、DISPERBYK−111(ビックケミー・ジャパン株式会社製)とを混合することで分散液を得ることができる。顔料を解砕、分散する際の分散機としては特に限定されるものではなく、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ペイントシェーカー、ロッキングミルなどのボール型、ニーダー、パドルミキサー、プラネタリミキサー、ヘンシェルミキサーなどのブレード型、3本ロールミキサーなどのロール型、その他として擂潰(ライカイ)機、コロイドミル、超音波、ホモジナイザー、自転・公転ミキサーなどが挙げられる。この中でも、安定して短時間で微分散が可能なボール型が好ましい。このボール型に使用するボールの材質としては、ガラス、窒化珪素、アルミナ、ジルコン、ジルコニア、スチールなどが挙げられる。ビーズ径としては、直径0.03〜25mmの一般的な形状のものが使用できるが、微細化の観点からは直径5mm以下の小径が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物を放射線リソグラフィー用に使用する場合、まず、本発明の感光性樹脂組成物を基板表面に塗布し、加熱等の手段により溶媒を除去して、塗膜を形成することができる。基板表面への感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されず、例えばスプレー法、ロールコート法、スリット法、回転塗布法等の各種の方法を採用することができる。
[製造例1]
300mLの3つ口型フラスコに溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート170gを入れ、窒素ガス雰囲気下で85℃に昇温したところへ、アルカリ可溶性基を有する重合性単量体として4−ヒドロキシフェニルメタクリレート(昭和電工株式会社製「PQMA」)73g、その他の重合性単量体としてN−シクロヘキシルマレイミド(株式会社日本触媒製)27g、重合開始剤としてアゾビスイソ酪酸ジメチル(和光純薬工業株式会社製「V−601」)1.7g、RAFT剤として下記式(r1)で表される化合物(シグマアルドリッチ製「723010」)1.8gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート170gに完全溶解させた溶液を2時間かけて滴下し、さらに85℃で4時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を2000gのトルエン中に滴下し、重合体を沈殿させた。沈殿した重合体をろ過により回収し、90℃で10時間真空乾燥し乳白色の粉体を回収した。これをγ−ブチロラクトンに溶解し、固形分20質量%の樹脂液を得た(樹脂液A1−1)。この重合体の数平均分子量は12400、重量平均分子量は21100であった。
製造例1と同様の方法によって、表1に示す組成に従って製造した。なお、表1中に記載の製造例及び比較製造例の各成分の数字の単位は「g」である。製造例1〜9で使用したRAFT剤の構造は下記式(r2)〜(r5)に示すとおりである。製造例2〜9で調製した樹脂液を、それぞれ樹脂液A2〜A9とし、比較製造例1〜3で調製した樹脂液を、それぞれ樹脂液X1〜X3とした。製造例2〜9及び比較製造例1〜3で得られた重合体の数平均分子量及び重量平均分子量はそれぞれ表1に示すとおりであった。
以下の測定条件で、ポリスチレンの標準物質を使用して作成した検量線を用いて数平均分子量、重量平均分子量を算出した。
装置名:Shodex(登録商標)GPC−101
カラム:Shodex(登録商標)LF−804
移動相:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/min
検出器:Shodex(登録商標)RI−71
温度:40℃
製造例1〜9、比較製造例1〜3の樹脂液を窒素ガス雰囲気下250℃で60分間加熱して溶媒を乾燥した後、示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA7200、株式会社日立ハイテクサイエンス製)で窒素ガス雰囲気下、300℃、90分加熱時の樹脂成分の重量減少率を測定した。重量減少率が5%未満のものを「良好」とし、重量減少率が5%以上のものを「不良」として評価を行った。
[樹脂液A2−1の製造]
300mLの3つ口型フラスコに溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(株式会社ダイセル製)170g、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物としてEPICLON(登録商標)N−695(DIC株式会社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量215)を43g仕込み、窒素雰囲気下、60℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸類として3,5−ジヒドロキシ安息香酸(和光純薬工業株式会社製)を20g(エポキシ化合物のエポキシ基1当量に対して0.7当量)、反応触媒としてトリフェニルホスフィン(北興化学工業株式会社製)を0.2g追加し、110℃で12時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ−ブチロラクトンで固形分20質量%に希釈した溶液をろ過回収した(樹脂液A2−1)。得られた反応物の数平均分子量は3200、重量平均分子量は7000であった。分子量の測定法は樹脂液A1−1と同様である。
300mLの3つ口型フラスコに溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(株式会社ダイセル製)170g、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物としてEPICLON(登録商標)N−695(DIC株式会社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量215)を43g仕込み、窒素ガス雰囲気下、60℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸類として3,5−ジヒドロキシ安息香酸(和光純薬工業株式会社製)を15g(エポキシ化合物のエポキシ基1当量に対して0.53当量)、反応触媒としてトリフェニルホスフィン(北興化学工業株式会社製)を0.2g追加し、110℃で12時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ−ブチロラクトンで固形分20質量%に希釈した溶液をろ過回収した(樹脂液A2−2)。得られた反応物の数平均分子量は2800、重量平均分子量は6200であった。
[実施例1]
(B)キノンジアジド化合物としてTS−100G(東洋合成工業株式会社製、α,α,α−トリス(4−ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼンの1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル)をγ−ブチロラクトンに溶解し、固形分20質量%の樹脂液を得た(樹脂液B)。黒色染料としてソルベントブラック34とアミン類の混合物であるVALIFAST(登録商標) BLACK 3804(オリエント化学工業株式会社製)をγ−ブチロラクトンに溶解し、固形分10質量%の樹脂液を得た(樹脂液C)。レベリング剤としてサーフロンS−386(AGCセイミケミカル製)をγ−ブチロラクトンに溶解し、固形分1質量%の樹脂液を得た(樹脂液D)。
実施例1と同様の方法によって、表2に示す配合組成に従って配合した。なお、表2中に記載の実施例の各成分の数字の単位は「g」であり、()内は固形分の質量部である。
ガラス基板(大きさ70mm×70mm×0.7mm)に実施例1〜4、比較例1〜2の感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が約2μmになるようにバーコートし、120℃で80秒溶剤を乾燥した。さらに超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置(商品名マルチライトML−251A/B、ウシオ電機株式会社製)で石英製のフォトマスクを介して100mJ/cm2露光した。露光量は紫外線積算光量計(商品名UIT−150 受光部 UVD−S365、ウシオ電機株式会社製)を用いて測定した。露光した塗膜は、スピン現像装置(AD−1200、滝沢産業株式会社製)を用い2.38質量%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液で60秒間アルカリ現像を行ない、アルカリ現像性の評価を行った。光学顕微鏡(VH−Z250、株式会社キーエンス製)を用いた観察で、アルカリ現像後の残渣がない場合を「良好」、残渣があった場合を「不良」として判定した。
上記と同様にパターンを形成後、ガラス基板を150℃に温めたホットプレート上に置いて30分経過後、パターン形状と線幅の変化を触針式段差計(SURFCOM130A、株式会社東京精密製)を用いて評価した。加熱によりどちらも変化のないものを「良好」、パターン形状が丸みを帯びるものを「可」、それ以外を「不可」として判定した。
ガラス基板(大きさ70mm×70mm×0.7mm)に実施例1〜4、比較例1〜2の感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が約1μmになるようにバーコートし、120℃で80秒乾燥した。さらに窒素ガス雰囲気下60℃で30分加熱後、窒素ガス雰囲気下250℃で60分間加熱することで硬化した。その塗膜を用い、膜厚測定装置(F20−NIR、フィルメトリクス株式会社製)で膜厚を測定し、透過濃度計(BMT−1、サカタインクスエンジニアリング株式会社製)で光学濃度を測定した。表2には、塗膜の厚さ1μm当たりの光学濃度値(OD値)を示す。
[重量減少率]
実施例1〜4、比較例1〜2の感光性樹脂組成物を窒素ガス雰囲気下250℃で60分間加熱して溶媒を乾燥した後、示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA7200、株式会社日立ハイテクサイエンス製)で窒素ガス雰囲気下、300℃、90分加熱時の樹脂成分の重量減少率を測定した。重量減少率が7.5%未満のものを「良好」とし、重量減少率が7.5%以上のものを「不良」として評価を行った。
Claims (15)
- (A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、
分子鎖の少なくとも一方の末端に下記式(I)で表される構造、及び
分子内に下記式(II)で表される構造の少なくとも一方と、下記式(III)で表される構造を有する重合体であるアルカリ可溶性樹脂(a1)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 前記式(I)〜式(III)で表される構造が、下記式(IV−1)〜(IV−8)で表される群より選ばれる少なくとも1種の化合物に由来する構造である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記アルカリ可溶性樹脂(a1)の重量平均分子量が5,000〜80,000である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- (C)黒色着色剤をさらに含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- (A)アルカリ可溶性樹脂の総量100質量部に対して、(B)キノンジアジド化合物の含有量が10〜100質量部、及び存在する場合は(C)黒色着色剤の含有量が10〜100質量部である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記アルカリ可溶性樹脂(a1)が、アルカリ可溶性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記アルカリ可溶性基がカルボキシル基、フェノール性水酸基、及び酸無水物基からなる群より選ばれる少なくとも一種である、請求項7に記載の感光性樹脂組成物。
- (A)アルカリ可溶性樹脂が、エポキシ基とフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂(a2)をさらに含有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 重合性単量体の総量100質量部に対して、式(I)又は(II)の構造、及び式(III)の構造を付与し得るRAFT剤0.01〜10質量部の存在下で重合性単量体を重合して得られる、アルカリ可溶性樹脂(a1)を含有する(A)アルカリ可溶性樹脂を製造する工程と、
前記(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)キノンジアジド化合物、及び任意に(C)黒色着色剤を混合して樹脂組成物を製造する工程と
を含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる有機EL素子の隔壁又は絶縁膜。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機EL素子。
- (1)請求項1〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を溶媒に溶かし、これを基材に塗布する塗布工程、
(2)塗布された感光性樹脂組成物中の溶媒を除去する乾燥工程、
(3)放射線をフォトマスク越しに照射する露光工程、
(4)アルカリ現像によりパターン形成する現像工程、及び
(5)100〜350℃の温度で加熱する加熱処理工程
を含む放射線リソグラフィー構造物の製造方法。
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