WO2024009732A1

WO2024009732A1 - ポジ型感光性樹脂組成物

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Publication number: WO2024009732A1
Application number: PCT/JP2023/022421
Authority: WO
Inventors: 良和新井; 絢子高橋
Original assignee: 日本ポリテック株式会社
Priority date: 2022-07-08
Filing date: 2023-06-16
Publication date: 2024-01-11
Also published as: JPWO2024009732A1; KR20240145042A; TW202405560A

Abstract

付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）と、式（１）で表される構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）と、キノンジアジド化合物（Ｃ）と、フッ素系界面活性剤（Ｄ）と、クレゾールノボラック樹脂とを含むポジ型感光性樹脂組成物。（式（１）において、ｘは０～３の整数であり、Ｒ１はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ２はアルカリ可溶性官能基を有する有機基である。）

Description

ポジ型感光性樹脂組成物

　本発明は、ポジ型感光性樹脂組成物に関する。より詳細には、本発明は、感放射線化合物としてキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物に関する。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、半導体デバイスの層間絶縁膜、平坦化膜、若しくは保護膜として、又は有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）、液晶ディスプレイ等の表示装置の絶縁膜、平坦化膜、若しくは隔壁材として、広く使用されている。

　例えば、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置においては、表示特性向上のために、表示領域内の着色パターンの間隔部又は表示領域周辺部分の縁等に隔壁材が用いられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、有機物質の画素が互いに接触しないようにするため、まず隔壁が形成され、その隔壁の間に有機物質の画素が形成される。この隔壁は一般に、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフィによって形成され、絶縁性を有する。詳しくは、塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、揮発成分を加熱等の手段で除去したのち、マスクを介して露光し、次いでネガ型の場合は未露光部分を、ポジ型の場合は露光部分をアルカリ水溶液等の現像液で除去することによって現像し、得られたパターンを加熱処理して、隔壁（絶縁膜）を形成する。次いでインクジェット法等によって、赤、緑、青の３色の光を発する有機物質を隔壁の間に成膜して、有機ＥＬ表示装置の画素を形成する。

　該分野では近年、表示装置の小型化、及び表示するコンテンツが多様化したことにより、画素の高性能化及び高精細化が要求されている。表示装置におけるコントラストを高め、視認性を向上させる目的で、着色剤を用いて隔壁材に遮光性を持たせる試みがなされている。

　特許文献１（特開２００１－２８１４４０号公報）は、露光後の加熱処理により高い遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物にチタンブラックを添加した組成物を記載している。

　特許文献２（特開２００２－１１６５３６号公報）は、［Ａ］アルカリ可溶性樹脂、［Ｂ］１，２－キノンジアジド化合物、及び［Ｃ］着色剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、カーボンブラックを用いて隔壁材を黒色化する方法を記載している。

　特許文献３（特開２０１０－２３７３１０号公報）は、露光後の加熱処理により遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物に感熱色素を添加した組成物を記載している。

　特許文献４（国際公開第２０１７／０６９１７２号）は、（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）キノンジアジド化合物、及び（Ｃ）ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックスで規定される黒色染料から選ばれた少なくとも１種の黒色染料を含有するポジ型感光性樹脂組成物を記載している。

　一方で、ポジ型感光性樹脂組成物の感度を高める手法として、感光性樹脂組成物を化学増幅系とすることが広く知られている。化学増幅系の感光性樹脂組成物は、一般に、アルカリ可溶性官能基が酸分解性基で保護された樹脂と、光酸発生剤とを含む。露光時に光酸発生剤から発生した酸は、酸分解性基の分解（脱保護）を促進してアルカリ可溶性官能基を再生させる。これにより現像時に露光部における樹脂のアルカリ溶解が促進される。光酸発生剤由来の酸は、ある酸分解性基を分解した後に再生して、別の酸分解性基の分解に関与する。上記の反応機構に基づく化学増幅系のみかけの量子効率は、酸発生の量子効率と反応連鎖の積で表されることから、感光性樹脂組成物を化学増幅系とすることで高感度を達成することができる。

　特許文献５（国際公開第２０１５／０８７８３０号）は、特定の繰り返し単位を含むポリベンゾオキサゾール前駆体、光酸発生剤、溶剤、架橋剤、及び酸基が酸分解性基で保護された基を分子中に有する化合物を含有する感光性樹脂組成物を記載している。

　特許文献６（国際公開第２０２０／２４６５１７号）は、複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された第１樹脂（Ａ）と、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｂ）と、黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種の着色剤（Ｃ）と、光酸発生剤（Ｄ）とを含有するポジ型感光性樹脂組成物を記載している。

特開２００１－２８１４４０号公報特開２００２－１１６５３６号公報特開２０１０－２３７３１０号公報国際公開第２０１７／０６９１７２号国際公開第２０１５／０８７８３０号国際公開第２０２０／２４６５１７号

　しかし、隔壁材に遮光性を持たせた場合、感光性樹脂組成物が低感度となる傾向があり、その結果、露光時間が長くなり生産性が低下するおそれがある。そのため、特に着色剤を含む隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物は、より高感度であることが要求される。

　着色された隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物では、硬化した膜の遮光性を十分高めるために、着色剤を相当量使用する必要がある。このように多量の着色剤を用いた場合、感光性樹脂組成物の被膜に照射された放射線が着色剤により吸収されるために、被膜中の放射線の有効強度が低下し、感光性樹脂組成物が十分に露光されず、結果としてパターン形成性が低下する。このことは、表示装置の画質向上、フレキシブル化又は省電力化を目的として、黒色の着色剤を感光性樹脂組成物に配合して、厚い被膜、例えば厚さ２～３μｍの被膜を形成する場合に顕著である。

　化学増幅系のポジ型感光性樹脂組成物は、例えばキノンジアジド化合物を感放射線化合物として含むポジ型感光性樹脂組成物と比較して感度が高い。しかし、化学増幅系に使用される光酸発生剤は高価であり、化学増幅系のポジ型感光性樹脂組成物は、被膜に塗工ムラが発生しやすく、酸分解性基の分解を促進するための露光後ベーク（ＰＥＢ、Post Exposure Bake）を必要とする。また、化学増幅系では、露光時に光酸発生剤から発生した酸がＰＥＢ工程時に被膜中を拡散するため、ＰＥＢの条件によってはパターンの形状及び寸法、感度などが変化する場合がある。そのため、化学増幅系のポジ型感光性樹脂組成物を用いて、厚い被膜に段差パターンを高精度で形成することは難しい。

　段差パターンを高精度で形成するためには、露光部と未露光部の溶解性の差が大きいことに加え、段差部分（中間露光部）における表面荒れ及び細孔の発生を抑制することが重要である。本発明者らは、感放射線化合物としてキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物において、樹脂成分として付加（共）重合体である疎水性樹脂とノボラック骨格を有するアルカリ可溶性樹脂と、フッ素系界面活性剤とを組み合わせることにより、被膜表面のアルカリ可溶性を相対的に低下させることができ、その結果、露光部と未露光部のコントラストを増加させることができることを見出した。しかしながら、段差部分における表面平滑性には改善の余地があった。

　本発明の目的は、厚膜パターンを高精度で形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供することである。

　本発明者らは、感放射線化合物としてのキノンジアジド化合物と、樹脂成分としての付加（共）重合体である疎水性樹脂及びノボラック骨格を有するアルカリ可溶性樹脂と、フッ素系界面活性剤とを含むポジ型感光性樹脂組成物において、クレゾールノボラック樹脂を添加することにより、段差部分における表面荒れ及び細孔の発生を抑制することができ、その結果、高精度で厚膜パターンを形成することができることを見出した。

　すなわち、本発明は次の態様を含む。
［１］
　付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）と、
　式（１）で表される構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）と、
　キノンジアジド化合物（Ｃ）と、
　フッ素系界面活性剤（Ｄ）と、
　クレゾールノボラック樹脂と
を含むポジ型感光性樹脂組成物。
（式（１）において、ｘは０～３の整数であり、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^２はアルカリ可溶性官能基を有する有機基である。）
［２］
　前記式（１）中、前記アルカリ可溶性官能基がフェノール性水酸基である、［１］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［３］
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、式（２）で表される構造単位を更に有する、［１］又は［２］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
（式（２）において、ｙは０～３の整数であり、Ｒ^３はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４はアルカリ可溶性官能基を有さない有機基である。）
［４］
　前記式（２）中、Ｒ^４がエポキシ基を有する有機基である、［３］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［５］
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の全構造単位を基準として、前記式（１）で表される構造単位と前記式（２）で表される構造単位を合計で３０ｍｏｌ％～１００ｍｏｌ％の量で含む、［３］又は［４］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［６］
　前記クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が５００～１７５００である、［１］～［５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［７］
　前記クレゾールノボラック樹脂を、樹脂成分の合計質量を基準として０．５質量％～３５質量％含む、［１］～［６］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［８］
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、ケイ素含有基及びフッ素含有基からなる群より選ばれる少なくとも１つを有する樹脂である、［１］～［７］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［９］
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、式（３）
（式（３）において、Ｒ^５は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^６はＳｉＲ^７Ｒ^８Ｒ^９で表され、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９はそれぞれ独立して炭素原子数１～８のアルキル基又は炭素原子数６～２０のアリール基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数である。）
で表される構造単位を有し、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位を少なくとも１つ有する、［８］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１０］
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、式（４）
（式（４）において、Ｒ^１０及びＲ^１１は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～３のアルキル基であり、Ｒ^１２は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を更に有する、［９］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１１］
　前記フッ素系界面活性剤（Ｄ）が、フッ素化アルキル基及びフッ素化アルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つのフッ素化炭化水素基を有するアクリル系共重合体を含む、［１］～［１０］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１２］
　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であって、前記式（１）で表される構造単位を有しないアルカリ可溶性樹脂を更に含む、［１］～［１１］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１３］
　黒色染料及び黒色顔料からなる群より選ばれる少なくとも１種の着色剤（Ｅ）を更に含む、［１］～［１２］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１４］
　前記着色剤（Ｅ）を、樹脂成分の合計１００質量部を基準として１０質量部～１５０質量部含む、［１３］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１５］
　前記ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上である、［１３］又は［１４］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１６］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
［１７］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
［１８］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。

　本発明によれば、厚膜パターンを高精度で形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供することができる。

（Ａ）は、比較例１のサンプル表面のＦＥ－ＳＥＭ図であり、（Ｂ）は、実施例１のサンプル表面のＦＥ－ＳＥＭ図である。

　以下に本発明について詳細に説明する。

　本明細書では、数値範囲について「～」を使用する場合には、両端の数値は、それぞれ上限値及び下限値であり、数値範囲に含まれる。

　本開示において「アルカリ可溶性」とは、ポジ型感光性樹脂組成物若しくはその成分、又はポジ型感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜が、２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に溶解可能であることを意味する。「アルカリ可溶性樹脂」とは、単体で、又は未露光若しくは露光後のポジ型感光性樹脂組成物に含有された状態で、２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に溶解可能である樹脂を意味する。「アルカリ可溶性官能基」とは、そのようなアルカリ可溶性を、ポジ型感光性樹脂組成物若しくはその成分、又はポジ型感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜に付与する能力を有する基を意味する。アルカリ可溶性官能基としては、例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、及びメルカプト基が挙げられる。

　本開示において「ラジカル重合性官能基」とは、エチレン性不飽和基を意味し、「ラジカル重合性化合物」とは、１又は複数のエチレン性不飽和基を有する化合物を意味する。

　本開示において「構造単位」とは、高分子の基本構造の一部分を構成する原子団を意味し、この原子団はペンダント原子又はペンダント原子団を有してもよい。例えば、ラジカル（共）重合体の場合は、単量体として使用したラジカル重合性化合物に由来する単位を意味し、フェノールノボラック樹脂の場合は、１分子のフェノール（Ｃ_６Ｈ_５ＯＨ）と１分子のホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）の縮合反応より形成される以下の単位を意味する。ペンダント基（側基）を有する構造単位について、架橋部位の形成に使用されているペンダント基又はそれに由来する基を有する構造単位と、架橋部位の形成に関与していない遊離ペンダント基を有する構造単位とは、互いに異なるものとみなす。枝分かれ分子鎖（分岐鎖）を有する高分子について、分岐点を含む構造単位（分岐単位）と線状分子鎖に含まれる構造単位とは、互いに異なるものとみなす。

　本開示において「（メタ）アクリル」とはアクリル又はメタクリルを意味し、「（メタ）アクリレート」とはアクリレート又はメタクリレートを意味し、「（メタ）アクリロイル」とはアクリロイル又はメタクリロイルを意味し、「（メタ）アリル」とはアリル又はメタリルを意味する。

　本開示において「（共）重合体」とは単独重合体又は共重合体を意味する。

　本開示において、樹脂、重合体、又は共重合体の数平均分子量（Ｍｎ）及び重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、gel permeation chromatography）によって測定される、標準ポリスチレン換算値を意味する。

　本開示において、フェノール性水酸基当量は、樹脂を構成する構造単位の分子量及び組成比から計算される理論値である。具体的には、フェノール性水酸基当量は、樹脂がｎ種類の単量体ｉ（ｉ＝１～ｎの自然数）の（共）重合体であるときに、下記式：
によって算出される値を意味する。式中、単量体ｉ（ｉ＝１～ｎ）の共重合比（モル基準）の合計は１である。

　後述するエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂の場合、フェノール性水酸基当量は、下記式：
フェノール性水酸基当量＝
（原料のエポキシ当量＋付加させるカルボン酸の分子量）／（カルボン酸のフェノール性水酸基数）
によって算出される値を意味する。

　本開示において「樹脂成分」とは疎水性樹脂（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、及びクレゾールノボラック樹脂、並びに任意選択的に含まれるアルカリ可溶性官能基を有する共重合体を意味する。フッ素系界面活性剤（Ｄ）に該当する成分は、疎水性樹脂（Ａ）、及びアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、並びに任意選択的に含まれるアルカリ可溶性官能基を有する共重合体には含めないものとする。

　本開示において「固形分」とは、疎水性樹脂（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、キノンジアジド化合物（Ｃ）、フッ素系界面活性剤（Ｄ）、及びクレゾールノボラック樹脂、並びにアルカリ可溶性官能基を有する共重合体、着色剤（Ｅ）、溶解促進剤（Ｆ）等の任意成分を含み、液体の溶媒（Ｇ）を除く成分の合計質量を意味する。

［ポジ型感光性樹脂組成物］
　一実施態様のポジ型感光性樹脂組成物は、付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）と、式（１）で表される構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）と、キノンジアジド化合物（Ｃ）と、フッ素系界面活性剤（Ｄ）と、クレゾールノボラック樹脂とを含む。
（式（１）において、ｘは０～３の整数であり、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^２はアルカリ可溶性官能基を有する有機基である。）

〈疎水性樹脂（Ａ）〉
　付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）（単に疎水性樹脂（Ａ）ともいう）は、フッ素系界面活性剤（Ｄ）によって被膜表面へのその偏在化が促進され、ポジ型感光性樹脂組成物の被膜表面をアルカリ水溶液に対して難溶化する樹脂である。いかなる理論に拘束される訳ではないが、疎水性樹脂（Ａ）は、ポジ型感光性樹脂組成物の被膜の形成過程で、被膜表面に移動するフッ素系界面活性剤（Ｄ）に随伴して被膜表面に向かって移動しやすい。そのため、被膜形成後に、疎水性樹脂（Ａ）は、被膜内部と比べて被膜表面により高濃度で存在し、被膜表面のアルカリ溶解性を低下させる。現像時には、疎水性樹脂（Ａ）は、アルカリ低溶解性の樹脂成分として未露光部の被膜表面の溶解を抑制しつつ、露光部ではキノンジアジド化合物（Ｃ）由来のカルボン酸化合物、アルカリ可溶性の高い他の樹脂成分、及び任意の溶解促進剤の溶解に伴い、被膜から現像液中に放出される。露光部において被膜表面が一旦溶解すると、疎水性樹脂（Ａ）の濃度が相対的に低いために被膜表面に比べアルカリ溶解性の高い被膜内部の溶解は速やかに進行する。これにより、露光部と未露光部のコントラストを増加させることができ、その結果、ポジ型感光性樹脂組成物の厚膜におけるパターン形成性を高めることができる。

　疎水性樹脂（Ａ）は、付加（共）重合体であれば特に限定されず、ラジカル（共）重合体、カチオン（共）重合体、又はアニオン（共）重合体であってよい。疎水性樹脂（Ａ）としては、例えば、オレフィン（共）重合体、（メタ）アクリル（共）重合体、スチレン（共）重合体、アクリルアミド（共）重合体、アクリロニトリル（共）重合体、Ｎ－置換マレイミド（共）重合体、及びこれらの樹脂の誘導体が挙げられる。これらの樹脂の誘導体は、疎水性基を有することが好ましい。疎水性基としては、例えば、ケイ素含有基、及びフッ素含有基が挙げられる。疎水性樹脂（Ａ）として、アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体の単独重合体又は共重合体をベース樹脂として、アルカリ可溶性官能基の一部又は全てを上記疎水性基を有する基に変換した樹脂を使用することもできる。疎水性樹脂（Ａ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　一実施態様では、疎水性樹脂（Ａ）は、ケイ素含有基及びフッ素含有基からなる群より選ばれる少なくとも１つを有する樹脂である。ケイ素含有基及びフッ素含有基は、疎水性樹脂（Ａ）の主鎖を構成してもよく、ペンダント基であってもよい。

　ケイ素含有基としては、例えば、脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基、環状シロキサン構造を有する基、及びシルセスキオキサン構造を有する基が挙げられる。

　脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基は、１置換体、２置換体又は３置換体である。脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基の置換基は、同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基は３置換体であることが好ましい。脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基は、アルキル基又はアリール基以外の置換基、例えば脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリルオキシ基を更に有してもよい。

　環状シロキサン構造を有する基の環状シロキサン部位の環員数は６～１４であることが好ましい。環状シロキサン構造を有する基のケイ素原子上の水素原子の一部又は全てが、それぞれ独立して脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されていてもよい。

　シルセスキオキサン構造を有する基のケイ素原子上の水素原子の一部又は全てが、それぞれ独立して脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されていてもよい。

　脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基の脂肪族炭化水素基、環状シロキサン構造を有する基の置換基としての脂肪族炭化水素基、シルセスキオキサン構造を有する基の置換基としての脂肪族炭化水素基、及び脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリルオキシ基の置換基としての脂肪族炭化水素基は、好ましくは炭素原子数１～２０の脂肪族炭化水素基であり、より好ましくは炭素原子数１～８の脂肪族炭化水素基である。炭素原子数１～２０の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基等の飽和炭化水素基；エテニル基、プロペニル基、ブテニル基、エチニル基、プロピニル基等の不飽和炭化水素基；シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロへプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の飽和単環炭化水素基；シクロプロペニル基、シクロブテニル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、シクロオクテニル基、シクロデセニル基等の不飽和単環炭化水素基；ビシクロ［２．２．１］ヘプタニル基、ビシクロ［２．２．２］オクタニル基、アダマンチル基等の飽和多環炭化水素基；及びビシクロ［２．２．１］ヘプテニル基、ビシクロ［２．２．２］オクテニル基等の不飽和多環炭化水素基が挙げられる。

　脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基のアリール基、環状シロキサン構造を有する基の置換基としてのアリール基、シルセスキオキサン構造を有する基の置換基としてのアリール基、及び脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリルオキシ基の置換基としてのアリール基は、好ましくは炭素原子数６～２０のアリール基であり、より好ましくは炭素原子数６～１４のアリール基である。炭素原子数６～２０のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、フルオレニル基、アントリル基、及びフェナントレニル基が挙げられる。

　脂肪族炭化水素基又はアリール基で置換されたシリル基としては、例えば、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリル基、ジフェニルメチルシリル基、トリフェニルシリル基、及びトリメチルシリルオキシジメチルシリル基が挙げられる。

　環状シロキサン構造を有する基としては、例えば、ペンタメチルシクロトリシリルオキシ基、ヘプタメチルシクロテトラシリルオキシ基、及びノナメチルシクロペンタシリルオキシ基が挙げられる。

　シルセスキオキサン構造を有する基としては、例えば、シルセスキオキサニル基、ヘプタメチルシルセスキオキサニル基、ヘプタエチルシルセスキオキサニル基、ヘプタ（ｎ－プロピル）シルセスキオキサニル基、及びヘプタ（ｎ－ブチル）シルセスキオキサニル基が挙げられる。

　フッ素含有基としては、例えば、フッ素置換アルキル基、フッ素置換アリール基、及びフルオロアクリロイル基が挙げられる。

　フッ素置換アルキル基は、パーフルオロアルキル基であってもよく、部分フッ素化アルキル基であってもよい。フッ素置換アルキル基の置換基は、同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。フッ素置換アルキル基は、フッ素原子以外の置換基、例えばヒドロキシ基を更に有してもよい。

　フッ素置換アルキル基は、好ましくは炭素原子数１～２０のパーフルオロアルキル基又は炭素原子数１～２０の部分フッ素化アルキル基であり、より好ましくは炭素原子数１～８のパーフルオロアルキル基又は炭素原子数１～８の部分フッ素化アルキル基である。炭素原子数１～２０のパーフルオロアルキル基及び炭素原子数１～２０の部分フッ素化アルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、ペンタフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ（２－メチル）イソプロピル基、ヘプタフルオロブチル基、ノナフルオロブチル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロ－ｔｅｒｔ－ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、ノナフルオロヘキシル基、パーフルオロ（トリメチル）ヘキシル基、パーフルオロオクチル基、２－パーフルオロヘキシルエチル基等の直鎖又は分岐フッ素置換アルキル基；及び２，２，３，３－テトラフルオロシクロブチル基、パーフルオロシクロヘキシル基等の環状フッ素置換アルキル基が挙げられる。フッ素置換アルキル基は、２，２，２－トリフルオロエチル基、又は２－パーフルオロヘキシルエチル基であることが好ましい。

　置換基としてヒドロキシ基を有するフッ素置換アルキル基としては、例えば、－ＣＨ（ＣＦ_３）ＯＨ、－Ｃ（ＣＦ_３）_２ＯＨ、－Ｃ（ＣＦ_３）（ＣＨ_３）ＯＨ、及び－Ｃ（Ｃ_２Ｆ_５）_２ＯＨが挙げられ、－Ｃ（ＣＦ_３）_２ＯＨが好ましい。

　フッ素置換アリール基は、パーフルオロアリール基であってもよく、部分フッ素化アリール基であってもよい。フッ素置換アリール基の置換基は、同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。フッ素置換アリール基は、フッ素原子以外の置換基、例えばヒドロキシ基を更に有してもよい。

　フッ素置換アリール基は、好ましくは炭素原子数６～２０のパーフルオロアリール基又は炭素原子数６～２０の部分フッ素化アリール基である。炭素原子数６～２０のパーフルオロアリール基及び炭素原子数６～２０の部分フッ素化アリール基としては、例えば、ｐ－フルオロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、及び３，５－ジ（トリフルオロメチル）フェニル基が挙げられる。フッ素置換アリール基は、ペンタフルオロフェニル基であることが好ましい。

　疎水性樹脂（Ａ）は、例えば、疎水性基を有する重合性単量体をラジカル重合させることにより、又は疎水性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル共重合させることにより製造することができる。疎水性樹脂（Ａ）をラジカル重合によって製造する場合、必要に応じて重合開始剤及びＲＡＦＴ（Reversible Addition Fragmentation Transfer、可逆的付加開裂型連鎖移動）剤を使用することができる。疎水性基を有する重合性単量体及びその他の重合性単量体が有する重合性官能基としては、例えば、ＣＨ_２＝ＣＨ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）－、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－、－ＯＣ－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯ－等のラジカル重合性官能基が挙げられる。疎水性樹脂（Ａ）は、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、エポキシ基等の官能基を有する樹脂を疎水性基を有する化合物と反応させて、当該官能基を疎水性基を含む基に変換することにより製造することもできる。

　一実施態様では、疎水性樹脂（Ａ）は、疎水性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体である。疎水性基を有する重合性単量体としては、例えば、ケイ素含有基を有する重合性単量体、及びフッ素含有基を有する重合性単量体が挙げられる。

　ケイ素含有基を有する重合性単量体としては、例えば、トリメチルビニルシラン、トリメチルアリルシラン、トリメチル（３－ブテニル）シラン、ｔｅｒｔ－ブチルジメチルビニルシラン、（トリメチルシリルオキシ）ジメチルビニルシラン、（トリメチルシリルオキシ）ジメチルアリルシラン、トリエチルビニルシラン、トリエチルアリルシラン、トリエチル（３－ブテニル）シラン、（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、２－（トリメチルシリル）エチル（メタ）アクリレート、３－（トリメチルシリル）プロピル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルジメチルシリル（メタ）アクリレート、トリイソプロピルシリルメチル（メタ）アクリレート、ビス（トリメチルシリルメチル）メチル（メタ）アクリレート、４－（トリメチルシリル）シクロヘキシル（メタ）アクリレート、３－［（トリメチルシリルオキシ）ジメチルシリル］プロピル（メタ）アクリレート、３－［トリス（トリメチルシリルオキシ）シリル］プロピル（メタ）アクリレート、４－トリメチルシリルオキシフェニル（メタ）アクリレート、４－トリエチルシリルオキシフェニル（メタ）アクリレート、４－トリイソプロピルシリルオキシフェニル（メタ）アクリレート、４－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシフェニル（メタ）アクリレート、ビニルヘプタメチルシクロテトラシロキサン、及び３－（ヘプタメチルシルセスキオキサニル）プロピル（メタ）アクリレートが挙げられる。

　フッ素含有基を有する重合性単量体としては、例えば、２－パーフルオロヘキシルエチル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、２－（１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロプロピル）（メタ）アクリレート、２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロブチル（メタ）アクリレート、３，３，４，４，５，５，６，６，６－ノナフルオロヘキシル（メタ）アクリレート、２－（１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロ－２－メチルプロピル）（メタ）アクリレート、２－（１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロ－２－フェニルプロピル）（メタ）アクリレート、ペンタフルオロフェニル（メタ）アクリレート、３，５－ビス（トリフルオロメチル）フェニル（メタ）アクリレート、パーフルオロシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチルビニルエーテル、２－（１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロプロピル）ビニルエーテル、２，３，４，５，６－ペンタフルオロスチレン、イソプロピル２－フルオロアクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル２－フルオロアクリレート、シクロヘキシル２－フルオロアクリレート、４－ｔｅｒｔ－ブチルシクロヘキシル２－フルオロアクリレート、イソプロピル２－（トリフルオロメチル）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル２－（トリフルオロメチル）アクリレート、シクロヘキシル２－（トリフルオロメチル）アクリレート、及び４－ｔｅｒｔ－ブチルシクロヘキシル２－（トリフルオロメチル）アクリレートが挙げられる。

　その他の重合性単量体としては、例えば、スチレン；α－メチルスチレン、ｐ－メチルスチレン、ｐ－エチルスチレン等のスチレン誘導体；アクリルアミド；アクリロニトリル；ビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル化合物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ－ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル；及びフェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のＮ－置換マレイミドが挙げられる。

　その他の重合性単量体は、アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体であってもよい。アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体としては、例えば、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸誘導体；（メタ）アクリル酸、α－ブロモ（メタ）アクリル酸、α－クロル（メタ）アクリル酸、β－フリル（メタ）アクリル酸、β－スチリル（メタ）アクリル酸等の（メタ）アクリル酸誘導体；マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、３－マレイミドプロピオン酸、４－マレイミド酪酸、６－マレイミドヘキサン酸等の不飽和カルボン酸化合物；４－ヒドロキシスチレン、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、３，５－ジメチル－４－ヒドロキシベンジルアクリルアミド、４－ヒドロキシフェニルアクリルアミド、４－ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有する重合性単量体；（メタ）アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸等のスルホ基を有する重合性単量体；リン酸モノ（２－（メタ）アクリロイルオキシエチル）等のリン酸基を有する重合性単量体；及び無水イタコン酸、無水シトラコン酸、マレイン酸無水物等の酸無水物基を有する重合性単量体が挙げられる。

　疎水性基を有する重合性単量体として、重合後に式（３）
（式（３）において、Ｒ^５は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^６はＳｉＲ^７Ｒ^８Ｒ^９で表され、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９はそれぞれ独立して炭素原子数１～８のアルキル基又は炭素原子数６～２０のアリール基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数である。）で表される構造単位のうち、ｓが１以上の整数である構造単位を形成するものが好ましい。Ｒ^５は水素原子又はメチル基であることが好ましい。Ｒ^７、Ｒ^８、及びＲ^９はそれぞれ独立してメチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、又はフェニル基であることが好ましい。ｒは０～３の整数であることが好ましく、０であることがより好ましい。ｓは１～３の整数であることが好ましく、１であることがより好ましい。そのような疎水性基を有する重合性単量体として、４－トリエチルシリルオキシフェニルメタクリレート、及び４－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシフェニルメタクリレートが特に好ましい。

　その他の重合性単量体として、重合後に式（４）
（式（４）において、Ｒ^１０及びＲ^１１は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～３のアルキル基であり、Ｒ^１２は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）で表される構造単位を形成するものが好ましい。Ｒ^１０及びＲ^１１は、水素原子であることが好ましい。Ｒ^１２は、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基であることが好ましく、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、又はフェニル基であることがより好ましい。そのようなその他の重合性単量体として、フェニルマレイミド及びＮ－シクロヘキシルマレイミドが特に好ましい。

　アルカリ可溶性官能基を有するその他の重合性単量体として、重合後に式（５）
（式（５）において、Ｒ^１３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。）で表される構造単位を形成するものが好ましい。Ｒ^１３は水素原子又はメチル基であることが好ましい。ａは１～３の整数であることが好ましく、１であることがより好ましい。そのようなアルカリ可溶性官能基を有するその他の重合性単量体として、４－ヒドロキシフェニルメタクリレートが特に好ましい。

　一実施態様では、疎水性樹脂（Ａ）は、式（３）
（式（３）において、Ｒ^５は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^６はＳｉＲ^７Ｒ^８Ｒ^９で表され、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９はそれぞれ独立して炭素原子数１～８のアルキル基又は炭素原子数６～２０のアリール基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数である。）で表される構造単位を有し、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位を少なくとも１つ有する。

　この実施態様において、疎水性樹脂（Ａ）は、式（４）
（式（４）において、Ｒ^１０及びＲ^１１は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～３のアルキル基であり、Ｒ^１２は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）で表される構造単位を更に有することが好ましい。

　この実施態様において、疎水性樹脂（Ａ）は、式（５）
（式（５）において、Ｒ^１３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。）で表される構造単位を更に有することが好ましい。

　上記疎水性樹脂（Ａ）において、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位と式（４）で表される構造単位と式（５）で表される構造単位のモル比は、式（３）：式（４）：式（５）＝５～６０：３～１０：２０～９０であることが好ましく、式（３）：式（４）：式（５）＝６～５０：４～９：３０～８５であることがより好ましい。

　疎水性基を有する重合性単量体として、４－トリエチルシリルオキシフェニルメタクリレート、又は４－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシフェニルメタクリレートを用い、その他の重合性単量体としてフェニルマレイミド又はＮ－シクロヘキシルマレイミドと、４－ヒドロキシフェニルメタクリレートとを用いることが特に好ましい。これらの重合性単量体をラジカル重合させた樹脂を用いることにより、ポジ型感光性樹脂組成物の感度及びパターン形成性を向上させるとともに、アウトガスも低減することができる。

　疎水性樹脂（Ａ）がケイ素含有基を有する場合、ケイ素原子の含有量は、疎水性樹脂（Ａ）の質量を基準として、好ましくは１．０質量％～１０質量％、より好ましくは３．０質量％～８．０質量％である。ケイ素含有基を有する疎水性樹脂（Ａ）は、疎水性樹脂（Ａ）の全構造単位を基準として、ケイ素含有基を有する構造単位を好ましくは３ｍｏｌ％～６０ｍｏｌ％、より好ましくは５ｍｏｌ％～５０ｍｏｌ％の量で含む。

　疎水性樹脂（Ａ）がフッ素含有基を有する場合、フッ素原子の含有量は、疎水性樹脂（Ａ）の質量を基準として、好ましくは１質量％～３５質量％、より好ましくは５質量％～３０質量％である。フッ素含有基を有する疎水性樹脂（Ａ）は、疎水性樹脂（Ａ）の全構造単位を基準として、フッ素含有基を有する構造単位を好ましくは５ｍｏｌ％～５５ｍｏｌ％、より好ましくは６ｍｏｌ％～５０ｍｏｌ％の量で含む。

　疎水性樹脂（Ａ）は、アルカリ可溶性官能基を有してもよく、有さなくてもよい。疎水性樹脂（Ａ）は、疎水性樹脂（Ａ）の全構造単位を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する構造単位を好ましくは２０ｍｏｌ％～９０ｍｏｌ％、より好ましくは３０ｍｏｌ％～８５ｍｏｌ％、更に好ましくは４０ｍｏｌ％～８０ｍｏｌ％の量で含む。一実施態様では、疎水性樹脂（Ａ）はアルカリ可溶性官能基を有さない。

　疎水性樹脂（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは３０００～８００００、より好ましくは４０００～７００００、更に好ましくは５０００～６００００である。疎水性樹脂（Ａ）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは１０００～３００００、より好ましくは１５００～２５０００、更に好ましくは２０００～２００００である。疎水性樹脂（Ａ）の多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１．０～３．５、より好ましくは１．１～３．０、更に好ましくは１．２～２．８である。重量平均分子量、数平均分子量及び多分散度を上記範囲とすることで、感度及びパターン形成性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を得ることができる。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、疎水性樹脂（Ａ）を１質量％～５０質量％、好ましくは２質量％～４０質量％、より好ましくは３質量％～３０質量％含む。疎水性樹脂（Ａ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として１質量％以上であれば、フッ素系界面活性剤（Ｄ）によって被膜表面への疎水性樹脂（Ａ）の偏在化が促進され、被膜表面で疎水性樹脂（Ａ）が高濃度になり、被膜表面がアルカリ水溶液に対し難溶化するため、高感度化が実現できる。疎水性樹脂（Ａ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として５０質量％以下であれば、露光部におけるキノンジアジド化合物由来のカルボン酸化合物、アルカリ可溶性の高い他の樹脂成分、及び任意の溶解促進剤の溶解に伴う被膜表面の溶解が速やかに進行するため、高感度化が実現できる。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、疎水性樹脂（Ａ）を好ましくは１質量％～５０質量％、より好ましくは３質量％～４５質量％、更に好ましくは５質量％～４０質量％含む。疎水性樹脂（Ａ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として１質量％以上であれば、フッ素系界面活性剤（Ｄ）によって被膜表面への疎水性樹脂（Ａ）の偏在化が促進され、被膜表面で疎水性樹脂（Ａ）が高濃度になり、被膜表面がアルカリ水溶液に対し難溶化するため、高感度化が実現できる。疎水性樹脂（Ａ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として５０質量％以下であれば、露光部におけるキノンジアジド化合物由来のカルボン酸化合物、アルカリ可溶性の高い他の樹脂成分、及び任意の溶解促進剤の溶解に伴う被膜表面の溶解が速やかに進行するため、高感度化が実現できる。

〈アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）〉
　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、式（１）で表される構造単位を有する。
　式（１）において、ｘは０～３の整数であり、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^２はアルカリ可溶性官能基を有する有機基である。ｘは０又は１が好ましい。Ｒ^１はメチル基が好ましい。Ｒ^２は、特に限定されないが、アルカリ可溶性官能基を有し、かつ、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アリーレン基、アミノ基、イミノ基、イミド基、アミド基、複素環基、スルホニル基、又はこれらのうちの２つ以上を組み合わせた基を含む有機基であることが好ましい。一実施態様では、Ｒ^２は、アルカリ可溶性官能基、及びアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アリーレン基、アミノ基、イミノ基、イミド基、アミド基、複素環基、スルホニル基、又はこれらのうちの２つ以上を組み合わせた基で構成される有機基である。Ｒ^２の炭素原子数は、例えば、１～３０、好ましくは２～２５である。アルカリ可溶性官能基としては、特に限定されないが、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、及びメルカプト基が挙げられ、フェノール性水酸基が好ましい。式（１）において、Ｒ^２は、好ましくは１つ以上のフェノール性水酸基を有する有機基であり、より好ましくは－ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２－Ｏ－（Ｃ＝Ｏ）－Ｘ（Ｘは、１つ以上の水酸基で置換されたフェニル基を表す。）で表される有機基である。

　２種類以上のアルカリ可溶性官能基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を使用してもよい。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の全構造単位を基準として、式（１）で表される構造単位を好ましくは２０ｍｏｌ％～９５ｍｏｌ％、より好ましくは２５ｍｏｌ％～９０ｍｏｌ％、更に好ましく３０ｍｏｌ％～８５ｍｏｌ％の量で含む。２０ｍｏｌ％以上であれば、アルカリ可溶性が十分に発現し、パターン底部における残渣の問題を引き起こさない。９５ｍｏｌ％以下であれば、未露光部の溶解性に影響を与えない。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、式（１）で表される構造単位以外の、他の構造単位を含んでもよい。他の構造単位としては、下記式（２）で表される構造単位が挙げられる。
（式（２）において、ｙは０～３の整数であり、Ｒ^３はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４はアルカリ可溶性官能基を有さない有機基である。）
　式（２）において、ｙは０又は１が好ましい。Ｒ^３はメチル基が好ましい。Ｒ^４は、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アリーレン基、アミノ基、イミノ基、イミド基、アミド基、複素環基、スルホニル基、又はこれらのうちの２つ以上を組み合わせた基を含む有機基であることが好ましい。Ｒ^４の有機基は、１価基であっても多価基であってもよく、多価基の場合はアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の他の部分と結合して架橋構造が形成されていることを意味する。Ｒ^４の炭素原子数は、例えば、１～３０、好ましくは１～２０、より好ましくは２～１０である。式（２）において、Ｒ^４は、好ましくは複素環基を有する有機基であり、より好ましくはエポキシ基を有する有機基である。より具体的には、Ｒ^４は、－ＣＨ_２－Ｙ（Ｙはエポキシ基を表す。）で表される有機基（グリシジル基）であることが好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の全構造単位を基準として、式（１）で表される構造単位と式（２）で表される構造単位を合計で、好ましくは３０ｍｏｌ％～１００ｍｏｌ％、より好ましくは４０ｍｏｌ％～１００ｍｏｌ％、更に好ましく５０ｍｏｌ％～１００ｍｏｌ％の量で含む。３０ｍｏｌ％以上であれば、樹脂成分にクレゾールノボラック樹脂を添加することによる、疎水性樹脂（Ａ）とアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の相溶性を向上させる効果が、十分に得られる。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、式（１）中のＲ^２がフェノール性水酸基を有する有機基である構造単位を含むことが好ましい。このようなアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂に、フェノール性水酸基を有する有機基が導入された樹脂が挙げられる。ノボラック型エポキシ樹脂は、フェノールノボラック及びクレゾールノボラックの水酸基の部分にグリシジル基が導入された樹脂である。フェノール性水酸基を有する有機基が導入されたノボラック型エポキシ樹脂は、フェノール性水酸基以外のアルカリ可溶性官能基を有していてもよい。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、式（１）で表される構造単位と式（２）で表される構造単位とを含む場合、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、式（１）中のＲ^２がフェノール性水酸基を有する有機基である構造単位と、式（２）中のＲ^４がエポキシ基を有する有機基である構造単位を含むことが好ましい。より好ましくは、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、式（１）中のＲ^２が－ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２－Ｏ－（Ｃ＝Ｏ）－Ｘ（Ｘは、１つ以上の水酸基で置換されたフェニル基を表す。）で表される有機基である構造単位と、式（２）中のＲ^４が－ＣＨ_２－Ｙ（Ｙはエポキシ基を表す。）で表される有機基である構造単位を含む。

　このようなアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の一部と、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基を反応させることで得ることができる（以下、この樹脂を「エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂」と呼ぶ場合がある。）。この樹脂は、ノボラック型エポキシ樹脂由来の未反応のエポキシ基と、ヒドロキシ安息香酸化合物由来のフェノール性水酸基を有する。この樹脂は熱硬化型であるため、当業者の常識として、エポキシ基の有無、官能基の種類、重合度等の違いからその構造を一義的に記載することができない。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のエポキシ基は、現像後の加熱処理（ポストベーク）時にフェノール性水酸基との反応により架橋を形成し、これにより被膜の耐薬品性、耐熱性などを向上させることができる。フェノール性水酸基は現像時のアルカリ水溶液に対する可溶性に寄与することから、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂は、低露光量で露光したときに他の樹脂の溶解促進剤としても機能し、これにより感光性樹脂組成物を高感度にすることができる。

　ノボラック型エポキシ樹脂が有するエポキシ基の１つと、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基とが反応し、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂となる反応の例を次の反応式１に示す。

　ノボラック型エポキシ樹脂の構造の一例を式（６）に示す。式（６）において、Ｒ^１４は、水素原子、又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ｍは１～５０の整数である。

　フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、ＥＰＩＣＬＯＮ（商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社）、及びｊＥＲ（商標）－１５２（三菱ケミカル株式会社）が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、ＥＰＩＣＬＯＮ（商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社）、及びＥＯＣＮ（商標）－１０２Ｓ（日本化薬株式会社）が挙げられる。

　ノボラック型エポキシ樹脂は、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びクレゾールノボラック型エポキシ樹脂からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましく、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂であることがより好ましい。ノボラック型エポキシ樹脂、特にクレゾールノボラック型エポキシ樹脂に由来するエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂を含むポジ型感光性樹脂組成物は、パターン形成性に優れており、アルカリ溶解性の調節が容易であり、アウトガスが少ない。

　ヒドロキシ安息香酸化合物は、安息香酸の２～６位の少なくとも１つが水酸基で置換された化合物であり、例えば、サリチル酸、４－ヒドロキシ安息香酸、２，３－ジヒドロキシ安息香酸、２，４－ジヒドロキシ安息香酸、２，５－ジヒドロキシ安息香酸、２，６－ジヒドロキシ安息香酸、３，４－ジヒドロキシ安息香酸、３，５－ジヒドロキシ安息香酸、２－ヒドロキシ－５－ニトロ安息香酸、３－ヒドロキシ－４－ニトロ安息香酸、及び４－ヒドロキシ－３－ニトロ安息香酸が挙げられ、アルカリ現像性を高める点でジヒドロキシ安息香酸化合物が好ましい。ヒドロキシ安息香酸化合物は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　一実施態様では、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、ノボラック型エポキシ樹脂とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（７）
（式（７）において、ｂは１～５の整数であり、＊は、ノボラック型エポキシ樹脂の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す。）の構造を有する。

　ノボラック型エポキシ樹脂とヒドロキシ安息香酸化合物からアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を得る方法では、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基１当量に対して、ヒドロキシ安息香酸化合物を０．２～０．９５当量使用することができ、好ましくは０．３～０．９当量、更に好ましくは０．４～０．８当量使用する。ヒドロキシ安息香酸化合物が０．２当量以上であれば、十分なアルカリ溶解性を得ることができ、０．９５当量以下であれば、副反応による分子量増加を抑制することができる。

　ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基とヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基との反応を促進させるために、触媒を使用してもよい。触媒の使用量は、ノボラック型エポキシ樹脂及びヒドロキシ安息香酸化合物からなる反応原料混合物１００質量部を基準として０．１～１０質量部とすることができる。反応温度は６０～１５０℃、反応時間は３～３０時間とすることができる。この反応で使用する触媒としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルホスフィン、オクタン酸クロム、及びオクタン酸ジルコニウムが挙げられる。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは５００～８０００、より好ましくは８００～６０００、更に好ましくは１０００～５０００である。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは５００～３００００、より好ましくは２０００～２５０００、更に好ましくは３０００～２００００である。数平均分子量が５００以上、又は重量平均分子量が５００以上であれば、アルカリ現像速度が適切で露光部と未露光部との溶解速度差が十分なためパターンの解像度が良好である。数平均分子量が８０００以下、又は重量平均分子量が３００００以下であれば、塗工性及びアルカリ現像性が良好である。

　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂である場合、そのエポキシ当量は、好ましくは３００～７０００であり、より好ましくは４００～６０００であり、更に好ましくは５００～５０００である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のエポキシ当量が３００以上であれば、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂に十分なアルカリ溶解性を付与することができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のエポキシ当量が７０００以下であれば、硬化後の被膜の強度及び耐熱性を高めることができる。エポキシ当量は、ＪＩＳ　Ｋ　７２３６：２００９によって決定される。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を５質量％～６０質量％、好ましくは１０質量％～５０質量％、より好ましくは１５質量％～４０質量％含む。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として５質量％以上であれば、疎水性樹脂（Ａ）との相分離を保ち、疎水性樹脂（Ａ）の表面への偏在化の妨げにならない。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として６０質量％以下であれば、疎水性樹脂（Ａ）との相分離を保ち、疎水性樹脂（Ａ）の表面への偏在化の妨げにならず、未露光部の溶解性に影響を与えない。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を好ましくは１５質量％～８０質量％、より好ましくは２０質量％～７５質量％、更に好ましくは２５質量％～７０質量％含む。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として１５質量％以上であれば、疎水性樹脂（Ａ）との相分離を保ち、疎水性樹脂（Ａ）の表面への偏在化の妨げにならない。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として８０質量％以下であれば、疎水性樹脂（Ａ）との相分離を保ち、疎水性樹脂（Ａ）の表面への偏在化の妨げにならず、未露光部の溶解性に影響を与えない。

〈アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であって、式（１）で表される構造単位を有しないアルカリ可溶性樹脂〉
　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であって、式（１）で表される構造単位を有しないアルカリ可溶性樹脂（単に「アルカリ可溶性官能基を有する共重合体」ともいう。）を更に含んでもよい。

　アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の有するアルカリ可溶性官能基としては、例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、及びメルカプト基が挙げられる。アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体は、２種類以上のアルカリ可溶性官能基を有してもよい。アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体及びその他の重合性単量体が有する重合性官能基としては、例えば、ＣＨ_２＝ＣＨ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）－、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－、－ＯＣ－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯ－等のラジカル重合性官能基が挙げられる。

　耐熱性の観点から、アルカリ可溶性官能基を有する共重合体は、脂環式構造、芳香族構造、多環式構造、無機環式構造、及び複素環式構造からなる群より選ばれる１又は複数の環式構造を有することが好ましい。

　アルカリ可溶性官能基を有する共重合体は、例えば、アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体をラジカル重合によって製造する場合、必要に応じて重合開始剤及びＲＡＦＴ（Reversible Addition Fragmentation Transfer、可逆的付加開裂型連鎖移動）剤を使用することができる。ラジカル重合により共重合体を合成した後に、アルカリ可溶性官能基を前記共重合体に付加してもよい。

　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体として、例えば、疎水性樹脂（Ａ）について記載したアルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体を使用することができる。

　感度の観点から、アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体は、カルボキシ基又はフェノール性水酸基を有する重合性単量体であることが好ましく、フェノール性水酸基を有する重合性単量体であることが更に好ましい。

　その他の重合性単量体として、例えば、疎水性樹脂（Ａ）について記載したその他の重合性単量体を使用することができる。

　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体として、重合後に式（５）
（式（５）において、Ｒ^１３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。）で表される構造単位を形成するものが好ましい。Ｒ^１３は水素原子又はメチル基であることが好ましい。ａは１～３の整数であることが好ましく、１であることがより好ましい。そのようなアルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体として、４－ヒドロキシフェニルメタクリレートが特に好ましい。

　一実施態様では、アルカリ可溶性官能基を有する共重合体は、式（５）
（式（５）において、Ｒ^１３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。）で表される構造単位、及び式（４）
（式（４）において、Ｒ^１０及びＲ^１１は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～３のアルキル基であり、Ｒ^１２は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）で表される構造単位を有する。

　アルカリ可溶性官能基を有する共重合体において、式（５）で表される構造単位と式（４）で表される構造単位のモル比は、式（５）：式（４）＝７０～９５：３０～５であることが好ましく、式（５）：式（４）＝７５～９０：２５～１０であることがより好ましい。

　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体として４－ヒドロキシフェニルメタクリレートを用い、その他の重合性単量体としてフェニルマレイミド又はＮ－シクロヘキシルマレイミドを用いることが特に好ましい。これらの重合性単量体をラジカル重合させた樹脂を用いることにより、ポジ型感光性樹脂組成物の被膜の形状維持性及び現像性を向上させるとともに、アウトガスも低減することができる。

　アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは３０００～８００００、より好ましくは４０００～７００００、更に好ましくは５０００～６００００である。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは１０００～３００００、より好ましくは１５００～２５０００、更に好ましくは２０００～２００００である。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１．０～３．５、より好ましくは１．１～３．０、更に好ましくは１．２～２．８である。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の重量平均分子量、数平均分子量及び多分散度を上記範囲とすることで、塗工性、パターン形成性及びアルカリ現像性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を得ることができる。

　アルカリ可溶性官能基を有する共重合体のアルカリ可溶性官能基がフェノール性水酸基である場合、アルカリ可溶性官能基を有する共重合体のフェノール性水酸基当量は、好ましくは６０～４００であり、より好ましくは８０～３５０であり、更に好ましくは１００～３００である。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体のフェノール性水酸基当量が６０以上であれば、アルカリ現像時に未露光部の膜厚を十分に保持することができる。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体のフェノール性水酸基当量が４００以下であれば、所望のアルカリ溶解性を得ることができる。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する共重合体を１質量％～７０質量％、好ましくは３質量％～６０質量％、より好ましくは５質量％～５０質量％含む。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の含有量が、固形分１００質量％を基準として１質量％以上であれば、露光部の溶解を促進して高感度を実現することができ、熱硬化後の被膜の安定性及び耐久性を確保することができる。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の含有量が、固形分１００質量％を基準として７０質量％以下であれば、露光部パターン底部の残渣の問題を起こさず、綺麗なパターンが形成できる。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する共重合体を好ましくは１質量％～８０質量％、より好ましくは３質量％～７０質量％、更に好ましくは５質量％～６０質量％含む。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として１質量％以上であれば、露光部の溶解を促進して高感度を実現することができ、熱硬化後の被膜の安定性及び耐久性を確保することができる。アルカリ可溶性官能基を有する共重合体の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として８０質量％以下であれば、露光部パターン底部の残渣の問題を起こさず、綺麗なパターンが形成できる。

〈キノンジアジド化合物（Ｃ）〉
　キノンジアジド化合物（Ｃ）は、可視光、紫外光、γ線、電子線等の放射線が照射されると下記反応式２に示す反応を経てアルカリ可溶性のカルボン酸化合物を生成する。キノンジアジド化合物（Ｃ）は、感光前にはアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、及びクレゾールノボラック樹脂、並びに任意選択的に含まれるアルカリ可溶性官能基を有する共重合体、のアルカリ可溶性官能基、例えばフェノール性水酸基と相互作用（例えば水素結合形成）して、それらの樹脂をアルカリ水溶液に対して不溶化させる。その一方で、放射線が照射された部分にアルカリ可溶性のカルボン酸化合物が存在することで、その部分にある樹脂がカルボン酸化合物と一緒にアルカリ水溶液に溶解し易くなる。更に、カルボン酸化合物は、化学増幅レジストに一般に使用される光酸発生剤から生じる酸、例えばｐ－トルエンスルホン酸、１－プロパンスルホン酸などよりも分子構造が相対的に大きく、被膜中で拡散しにくい。これらが相乗的に作用する結果、未露光部と露光部のアルカリ溶解性の差を大きくすることができ、それにより低露光量でも高感度で高解像度のパターンを形成することができる。キノンジアジド化合物（Ｃ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。ポジ型感光性樹脂組成物は、化学増幅レジストに一般に使用される光酸発生剤を実質的に含まないことが好ましく、当該光酸発生剤を含まずに感光剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）のみを含むことがより好ましい。「光酸発生剤を実質的に含まない」とは、ポジ型感光性樹脂組成物に含まれる上記光酸発生剤の量が、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．２質量部以下、０．１質量部以下、又は０．０５質量部以下であることを意味する。

　一実施態様では、一般的な化学増幅レジストに必要な露光後の加熱処理（ＰＥＢ）を行わずに、高解像度のパターンを形成することができる。キノンジアジド化合物（Ｃ）は量子収率が比較的高く、露光部でカルボン酸化合物が効率よく生成される。ＰＥＢを省略することにより、キノンジアジド化合物（Ｃ）から生じた酸がＰＥＢ工程の高温環境下で未露光部に過度に拡散することに起因するパターン形成性の低下を回避することができる。また、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）がエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂を含む場合、ＰＥＢを省略するとエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のエポキシ基の開環重合が進行しないため、現像時にエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂のアルカリ溶解性を維持することができる。

　キノンジアジド化合物（Ｃ）としては、ポリヒドロキシ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステルで結合したもの、ポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がスルホンアミド結合したもの、ポリヒドロキシポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合又はスルホンアミド結合したもの等が挙げられる。露光部と未露光部のコントラストの観点から、ポリヒドロキシ化合物、ポリアミノ化合物又はポリヒドロキシポリアミノ化合物の官能基全体の２０ｍｏｌ％以上がキノンジアジドで置換されていることが好ましい。

　ポリヒドロキシ化合物としては、Ｂｉｓ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＥＺ、ＴｅｋＰ－４ＨＢＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＨＡＰ、ＴｒｉｓＰ－ＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＳＡ、ＴｒｉｓＯＣＲ－ＰＡ、ＢｉｓＯＣＨＰ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＭＺ、ＢｉｓＰ－ＰＺ、ＢｉｓＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＯＣＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＰ－ＣＰ、ＢｉｓＲＳ－２Ｐ、ＢｉｓＲＳ－３Ｐ、ＢｉｓＰ－ＯＣＨＰ、メチレントリス－ＦＲ－ＣＲ、ＢｉｓＲＳ－２６Ｘ、ＤＭＬ－ＭＢＰＣ、ＤＭＬ－ＭＢＯＣ、ＤＭＬ－ＯＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣ、ＤＭＬ－ＰＴＢＰ、ＤＭＬ－３４Ｘ、ＤＭＬ－ＥＰ、ＤＭＬ－ＰＯＰ、ジメチロール－ＢｉｓＯＣ－Ｐ、ＤＭＬ－ＰＦＰ、ＤＭＬ－ＰＳＢＰ、ＤＭＬ－ＭＴｒｉｓＰＣ、ＴｒｉＭＬ－Ｐ、ＴｒｉＭＬ－３５ＸＬ、ＴＭＬ－ＢＰ、ＴＭＬ－ＨＱ、ＴＭＬ－ｐｐ－ＢＰＦ、ＴＭＬ－ＢＰＡ、ＴＭＯＭ－ＢＰ、ＨＭＬ－ＴＰＰＨＢＡ、ＨＭＬ－ＴＰＨＡＰ（以上、商品名、本州化学工業株式会社）、ＢＩＲ－ＯＣ、ＢＩＰ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＴＢＰ、ＢＩＲ－ＰＣＨＰ、ＢＩＰ－ＢＩＯＣ－Ｆ、４ＰＣ、ＢＩＲ－ＢＩＰＣ－Ｆ、ＴＥＰ－ＢＩＰ－Ａ、４６ＤＭＯＣ、４６ＤＭＯＥＰ、ＴＭ－ＢＩＰ－Ａ（以上、商品名、旭有機材株式会社）、テトラヒドロキシベンゾフェノン、没食子酸メチルエステル、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＥ、メチレンビスフェノール、ＢｉｓＰ－ＡＰ（商品名、本州化学工業株式会社）等が挙げられるが、これらに限定されない。

　キノンジアジド化合物（Ｃ）は、ポリヒドロキシ化合物の１，２－ナフトキノンジアジド－４－スルホン酸エステル又は１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸エステルであることが好ましい。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、キノンジアジド化合物（Ｃ）を５質量部～７０質量部、好ましくは７質量部～６５質量部、より好ましくは１０質量部～６０質量部含む。キノンジアジド化合物（Ｃ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として５質量部以上であれば、高感度を実現することができる。キノンジアジド化合物（Ｃ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として７０質量部以下であればアルカリ現像性が良好である。

〈フッ素系界面活性剤（Ｄ）〉
　フッ素系界面活性剤（Ｄ）は特に限定されないが、フッ素化アルキル基及びフッ素化アルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つのフッ素化炭化水素基と親水性基とを有する界面活性剤を使用することができる。そのようなフッ素系界面活性剤（Ｄ）としては、例えば、パーフルオロアルキルスルホン酸、部分フッ素化アルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、部分フッ素化アルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルリン酸エステル、部分フッ素化アルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、部分フッ素化アルキルトリメチルアンモニウム塩、パーフルオロアルキルベタイン、部分フッ素化アルキルベタイン、パーフルオロアルキルＥＯ付加物、及びフッ素テロマーアルコールが挙げられる。フッ素系界面活性剤（Ｄ）としては、パーフルオロアルキル基、部分フッ素化アルキル基、パーフルオロアルキレン基又は部分フッ素化アルキレン基と、スルホ基、カルボキシ基、リン酸基、アンモニウム基、オキシアルキレン基、ポリオキシアルキレン基等の親水性基とを分子内に有する単独重合体又は共重合体も使用することができる。フッ素系界面活性剤（Ｄ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　フッ素系界面活性剤（Ｄ）は、フッ素化アルキル基及びフッ素化アルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つのフッ素化炭化水素基を有するアクリル系共重合体を含むことが好ましい。上記アクリル系共重合体は、ポジ型感光性樹脂組成物の被膜表面への疎水性樹脂（Ａ）の移動を促進して、被膜表面をよりアルカリ難溶性にすることができる。

　一実施態様では、上記アクリル系共重合体は、式（８）
（式（８）において、Ｒ^１５は水素原子又はメチル基であり、Ｌ^１は炭素原子数１～３０の２価基であり、Ｒｆ^１は鎖中に１若しくは複数のエーテル結合を含んでもよい炭素原子数４～６のパーフルオロアルキル基又は部分フッ素化アルキル基である。）
で表される含フッ素重合性単量体と、式（９）
（式（９）において、Ｒ^１６は水素原子又はメチル基であり、Ｒ^１７はそれぞれ独立して炭素原子数２～４の直鎖又は分岐のアルキレン基であり、Ｒ^１８は水素原子又は炭素原子数１～６のアルキル基であり、ｃは２～５０の整数である。）
で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体との共重合体（Ｄ１）である。

　式（８）において、Ｌ^１で表される炭素原子数１～３０の２価基は、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子からなる群より選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を含んでもよく、炭素原子数４～６のパーフルオロアルキル基又は部分フッ素化アルキル基を含んでもよい。Ｌ^１は、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ（ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｃ_４Ｆ_９）ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ（ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｃ_６Ｆ_１３）ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｎ（Ｃ_３Ｈ_７）ＳＯ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２Ｏ－、又は－Ｎ（Ｃ_４Ｈ_９）ＣＨ_２ＣＨ_２－であることが好ましい。

　式（８）において、Ｒｆ^１は、－Ｃ_４Ｆ_９又は－Ｃ_６Ｆ_１３であることが好ましい。

　式（８）で表される含フッ素重合性単量体は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　式（９）において、Ｒ^１７で表される炭素原子数２～４の直鎖又は分岐のアルキレン基としては、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、及びイソブチレン基が挙げられる。Ｒ^１７は同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。レベリング性の観点から、Ｒ^１７は、プロピレン基、テトラメチレン基、又はイソブチレン基であることが好ましく、同じ基が隣接する酸素原子を介して複数連結して、ポリオキシプロピレン鎖、ポリオキシテトラメチレン鎖、又はポリオキシイソブチレン鎖を形成することがより好ましい。

　式（９）において、Ｒ^１８で表される炭素原子数１～６のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、及びｎ－ヘキシル基が挙げられる。

　式（９）で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　共重合体（Ｄ１）は、式（８）で表される含フッ素重合性単量体、式（９）で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体に加えて、その他の重合性単量体との共重合体であってもよい。

　その他の重合性単量体としては、例えば、式（１０）
（式（１０）において、Ｒ^１９は水素原子又はメチル基であり、Ｒ^２０は炭素原子数１～１８の直鎖、分岐又は環状のアルキル基である。）
で表される重合性単量体が挙げられる。

　式（１０）において、Ｒ^２０で表される炭素原子数１～１８の直鎖、分岐又は環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－オクチル基、ｎ－デシル基、ｎ－ドデシル基、ステアリル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、２－エチルヘキシル基、シクロヘキシル基、イソボルニル基、アダマンチル基、及びジシクロペンタニル基が挙げられる。

　その他の重合性単量体としては、スチレン、α－メチルスチレン、ｐ－メチルスチレン、ｐ－メトキシスチレン等の芳香族ビニル化合物；及びマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、ｎ－プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド、ｎ－ブチルマレイミド、ｎ－ヘキシルマレイミド、ｎ－オクチルマレイミド、ｎ－ドデシルマレイミド、ステアリルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド化合物も挙げられる。

　その他の重合性単量体は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　レベリング性の観点から、共重合体（Ｄ１）における、式（８）で表される含フッ素重合性単量体と式（９）で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体の質量比（式（８）で表される含フッ素重合性単量体の質量／式（９）で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体の質量）は、好ましくは１０／９０～７０／３０、より好ましくは１５／８５～６０／４０、更に好ましくは２５／７５～５０／５０である。その他の重合性単量体を用いる場合は、共重合体（Ｄ１）の質量を基準として、その他の重合性単量体が５０質量％以下となる量で使用することが好ましい。

　共重合体（Ｄ１）は、例えば、式（８）で表される含フッ素重合性単量体、式（９）で表されるポリオキシアルキレン基を有する重合性単量体、及び必要に応じてその他の重合性単量体を、有機溶媒中、重合開始剤を使用してラジカル重合させることにより得ることができる。有機溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン；酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチルピロリドン等のアミド；ジメチルスルホキシド等のスルホキシド；ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル；及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素が挙げられる。重合開始剤としては、例えば、過酸化ベンゾイル等の過酸化物重合開始剤、及び２，２’－アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ重合開始剤が挙げられる。必要に応じて、ラウリルメルカプタン、２－メルカプトエタノール、チオグリセロール、エチルチオグリコール酸、オクチルチオグリコール酸等の連鎖移動剤を使用してもよい。

　樹脂成分との相溶性又は混和性が良好であり、優れたレベリング性が得られることから、共重合体（Ｄ１）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは２０００～１０００００、より好ましくは２５００～５００００である。

　樹脂成分との相溶性又は混和性、及びレベリング性の観点から、共重合体（Ｄ１）のフッ素原子含有率は、好ましくは２～４０質量％、より好ましくは５～３０質量％、更に好ましくは１０～２５質量％である。共重合体（Ｄ１）のフッ素原子含有率は、用いた重合性単量体の合計質量を基準として、フッ素原子の質量比率から算出される値である。

　別の実施態様では、上記アクリル系共重合体は、式（１１）
（式（１１）において、Ｒ^２１はラジカル重合性官能基であり、Ｌ^２は炭素原子数１～８の２価基であり、Ｌ^３は炭素原子数１～８の２価基であり、Ｒｆ^２はそれぞれ独立して炭素原子数１～３のフッ素化アルキレン基であり、ｄは１～１００の整数である。）
で表される含フッ素重合性単量体と、式（１２）
（式（１２）において、Ｒ^２２は水素原子又はメチル基であり、Ｒ^２３はそれぞれ独立して炭素原子数２～４の直鎖又は分岐のアルキレン基であり、Ｒ^２４は水素原子又は炭素原子数１～６のアルキル基であり、ｅは１～８０の整数である。）
で表されるオキシアルキレン基を有する重合性単量体との共重合体（Ｄ２）である。

　式（１１）において、Ｒ^２１で表されるラジカル重合性官能基としては、例えば、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－、及びＣＨ_２＝ＣＨ－Ｃ_６Ｈ_４－が挙げられる。Ｒ^２１は同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。Ｒ^２１は、入手容易性及びラジカル重合性の観点から、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、又はＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－であることが好ましく、レベリング性に優れることからＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－であることがより好ましい。

　式（１１）において、Ｌ^２で表される炭素原子数１～８の２価基は、酸素原子、及び窒素原子からなる群より選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を含んでもよい。Ｌ^２は、－ＯＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）－、－ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）－、－ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２ＯＣＨ_２－、又は－ＣＨ_２ＯＣＨ_２－であることが好ましく、－ＯＣＨ_２－、又は－ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２－であることがより好ましく、－ＯＣＨ_２－であることが更に好ましい。

　式（１１）において、Ｌ^３で表される炭素原子数１～８の２価基は、酸素原子、及び窒素原子からなる群より選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を含んでもよい。Ｌ^３は、－ＣＨ_２Ｏ－、－ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ－、－ＣＨ_２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ－、－ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ－、－（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ－、－（Ｃ＝Ｏ）ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２Ｏ－、－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２Ｏ－、又は－ＣＨ_２ＯＣＨ_２－であることが好ましく、－ＣＨ_２Ｏ－、又は－ＣＨ_２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ－であることがより好ましく、－ＣＨ_２Ｏ－であることが更に好ましい。

　式（１１）において、Ｒｆ^２で表される炭素原子数１～３のフッ素化アルキレン基は、具体的には、－ＣＦ_２－（パーフルオロメチレン基）、－ＣＦ_２ＣＦ_２－（パーフルオロエチレン基）、－ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、－ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）－、及び－ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２－からなる群より選ばれることが好ましい。

　レベリング性の観点から、式（１１）において、－（Ｒｆ^２Ｏ）_ｄＲｆ^２－で表される部位は、パーフルオロメチレン基及びパーフルオロエチレン基の組合せを含むことが好ましい。この実施態様において、パーフルオロメチレン基とパーフルオロエチレン基のモル比（パーフルオロメチレン基のモル数／パーフルオロエチレン基のモル数）は、１／１０～１０／１であることが好ましい。

　式（１１）において、ｄは、好ましくは３～１００、より好ましくは６～７０である。

　樹脂成分との相溶性又は混和性、及びレベリング性の観点から、式（１１）で表される含フッ素重合性単量体は、フッ素原子を好ましくは１８～２００個、より好ましくは２５～１５０個含む。

　式（１１）で表される含フッ素重合性単量体は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　式（１２）において、Ｒ^２３で表される炭素原子数２～４の直鎖又は分岐のアルキレン基としては、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、及びイソブチレン基が挙げられる。Ｒ^２３は同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。レベリング性の観点から、Ｒ^２３は、エチレン基、又はプロピレン基であることが好ましく、同じ基が隣接する酸素原子を介して複数連結して、ポリオキシエチレン鎖、ポリオキシプロピレン鎖、又はポリオキシエチレン鎖とポリオキシプロピレン鎖が結合した鎖を形成することがより好ましい。

　式（１２）において、Ｒ^２４で表される炭素原子数１～６のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、及びｎ－ヘキシル基が挙げられる。

　式（１２）において、ｅは、好ましくは３～５０である。

　式（１２）で表されるオキシアルキレン基を有する重合性単量体は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　共重合体（Ｄ２）は、式（１１）で表される含フッ素重合性単量体、式（１２）で表されるオキシアルキレン基を有する重合性単量体に加えて、その他の重合性単量体との共重合体であってもよい。その他の重合性単量体としては、例えば、共重合体（Ｄ１）について説明したものが挙げられる。

　共重合体（Ｄ２）は、共重合体（Ｄ１）について説明したラジカル重合により得ることができる。

　樹脂成分との相溶性又は混和性が良好であり、優れたレベリング性が得られることから、共重合体（Ｄ２）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは５００～２００００、より好ましくは１５００～１００００であり、共重合体（Ｄ２）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは２０００～１０００００、より好ましくは３０００～５００００である。

　樹脂成分との相溶性又は混和性、及びレベリング性の観点から、共重合体（Ｄ２）のフッ素原子含有率は、好ましくは２～４０質量％、より好ましくは５～３０質量％、更に好ましくは１０～２５質量％である。共重合体（Ｄ２）のフッ素原子含有率は、用いた重合性単量体の合計質量を基準として、フッ素原子の質量比率から算出される値である。

　フッ素系界面活性剤（Ｄ）の具体例としては、メガファック（商標）Ｆ－２５１、Ｆ－２８１、Ｆ－４３０、Ｆ－４４４、Ｒ－４０、Ｆ－５５３、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６２、及びＦ－５６３（商品名、ＤＩＣ株式会社）、並びにサーフロン（商標）Ｓ－２４２、Ｓ－２４３、Ｓ－３８６、Ｓ－４２０、及びＳ－６１１（商品名、ＡＧＣセイミケミカル株式会社）が挙げられる。フッ素系界面活性剤（Ｄ）は、好ましくはメガファック（商標）Ｆ－５６３、Ｆ－５５９、Ｆ－５５４、Ｒ－４０、又はＦ－５６２であり、より好ましくはメガファック（商標）Ｆ－５６３、Ｆ－５５４、又はＲ－４０である。

　ポジ型感光性樹脂組成物中のフッ素系界面活性剤（Ｄ）の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、好ましくは０．０１質量部～５質量部、より好ましくは０．０３質量部～３質量部、更に好ましくは０．０５質量部～２質量部である。フッ素系界面活性剤（Ｄ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として０．０１質量部以上であれば、ポジ型感光性樹脂組成物のレベリング性が改善されるため、ポジ型感光性樹脂組成物を均一に基板に塗布することができ、これにより疎水性樹脂（Ａ）の偏在化を促進することができる。フッ素系界面活性剤（Ｄ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として５質量部以下であれば、ポストベーク後の硬化膜に悪影響を与えずに、ポジ型感光性樹脂組成物のレベリング性を高め、かつ疎水性樹脂（Ａ）の偏在化を促進することができる。

〈クレゾールノボラック樹脂〉
　ポジ型感光性樹脂組成物は、クレゾールノボラック樹脂を含む。クレゾールノボラック樹脂を添加することにより、段差部分における表面荒れ及び細孔の発生を抑制することができる。いかなる理論に拘束される訳ではないが、ポジ型感光性樹脂組成物において、樹脂成分として付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）と式（１）で表されるノボラック骨格を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）とを用いた場合、被膜内部において疎水性樹脂（Ａ）とアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）との間で相分離が起き、段差部分において表面荒れ及び細孔が発生する。この樹脂成分にクレゾールノボラック樹脂を添加することにより、疎水性樹脂（Ａ）とアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の相溶性が向上し、被膜内部での相分離が抑制される。その結果、段差部分における表面荒れ及び細孔の発生が抑制される。

　クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは５００以上、より好ましくは１０００以上、更に好ましくは１５００以上である。クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは１７５００以下、より好ましくは１５０００以下、更に好ましくは１２５００以下である。これらの下限値と上限値の組み合わせは、いかなる組み合わせでもよい。クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは５００～１７５００、より好ましくは１０００～１５０００、更に好ましくは１５００～１２５００である。重量平均分子量を上記範囲とすることで、パターン底部の残渣を発生させずに、段差部の平滑性を改善することができる。

　クレゾールノボラック樹脂としては、例えば、ＴＲ４０２０Ｇ、ＴＲ４０８０Ｇ、及びＴＲ４０００Ｂ（以上、商品名、旭有機材株式会社）が挙げられる。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、クレゾールノボラック樹脂を０．１質量％～４０質量％、好ましくは０．２質量％～３０質量％、より好ましくは０．３質量％～２０質量％含む。クレゾールノボラック樹脂の含有量が、固形分１００質量％を基準として０．１質量％以上であれば、十分に段差部の表面平滑性を改善することができる。クレゾールノボラック樹脂の含有量が、固形分１００質量％を基準として４０質量％以下であれば、感度の低下及び未露光部の溶解性への影響が生じない。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、クレゾールノボラック樹脂を好ましくは０．５質量％以上、より好ましくは０．６質量％以上、更に好ましくは０．７質量％以上含む。ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、クレゾールノボラック樹脂を好ましくは３５質量％以下、より好ましくは３０質量％以下、更に好ましくは２５質量％以下含む。これらの下限値と上限値の組み合わせは、いかなる組み合わせでもよい。ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、クレゾールノボラック樹脂を好ましくは０．５質量％～３５質量％、より好ましくは０．６質量％～３０質量％、更に好ましくは０．７質量％～２５質量％含む。クレゾールノボラック樹脂の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として０．５質量％以上であれば、十分に段差部の表面平滑性を改善することができる。クレゾールノボラック樹脂の含有量が、樹脂成分の合計質量を基準として３５質量％以下であれば、感度の低下及び未露光部の溶解性への影響が生じない。

〈着色剤（Ｅ）〉
　ポジ型感光性樹脂組成物は、黒色染料及び黒色顔料からなる群より選ばれる少なくとも１種の着色剤（Ｅ）を更に含んでもよい。着色剤（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物を用いて有機ＥＬ素子に黒色の隔壁を形成することにより、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置の視認性を向上させることができる。この実施態様では、着色剤（Ｅ）が存在するために露光時の放射線の透過量が被膜の表面から内部にかけて急激に低下する。そのため、キノンジアジド化合物（Ｃ）由来のカルボン酸化合物は、被膜表面の近傍では比較的多く発生するが、被膜内部では発生しにくい。キノンジアジド化合物（Ｃ）由来のカルボン酸化合物は被膜中での拡散性が低いため、被膜表面の近傍に留まって露光部の被膜表面の溶解促進に寄与する。被膜内部は疎水性樹脂（Ａ）の濃度が相対的に低いためにアルカリ可溶性が相対的に高い。そのため、被膜内部まで十分に放射線が透過しない場合であっても、この実施態様のポジ型感光性樹脂組成物を用いることにより、高感度で高精度の厚膜パターンを形成することができる。

　黒色染料としては、例えば、ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料が挙げられる。黒色染料は、好ましくは、ソルベントブラック２７、２９又は３４のＣ．Ｉ．で規定されるものである。ソルベントブラック２７～４７のＣ．Ｉ．で規定される染料のうち少なくとも１種類を黒色染料として用いた場合、硬化後のポジ型感光性樹脂組成物の被膜の遮光性を維持することができる。黒色染料を含むポジ型感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含むポジ型感光性樹脂組成物と比較して、現像時に着色剤の残渣が少なく、高精細のパターンを形成することができる。

　黒色顔料としては、例えば、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、アセチレンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、及びラクタム系顔料が挙げられる。これらの黒色顔料に表面処理を施したものを使用することもできる。市販のペリレン系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社のＫ００８４、Ｋ００８６、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４が挙げられる。市販のラクタム系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社のＩｒｇａｐｈｏｒ（商標）ブラック　Ｓ０１００ＣＦが挙げられる。高い遮光性を有することから、黒色顔料は、好ましくはカーボンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、及びラクタム系顔料からなる群より選択される少なくとも１種である。

　ポジ型感光性樹脂組成物中の着色剤（Ｅ）の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、好ましくは１０～１５０質量部であり、より好ましくは１５～１００質量部であり、更に好ましくは２０～８０質量部である。着色剤（Ｅ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１０質量部以上であれば、十分な遮光性を得ることができ、特に着色剤（Ｅ）が黒色染料を含む場合、硬化後の被膜の遮光性を維持することができる。着色剤（Ｅ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１５０質量部以下であれば、残膜率及び感度が適切であり、特に着色剤（Ｅ）が黒色染料を含む場合、被膜に高い耐熱性を付与することができる。

〈任意成分〉
　ポジ型感光性樹脂組成物は任意成分として、溶解促進剤（Ｆ）、熱硬化剤、フッ素系界面活性剤（Ｄ）以外の第２界面活性剤、着色剤（Ｅ）以外の第２着色剤等を含むことができる。本開示において、任意成分は（Ａ）～（Ｅ）、クレゾールノボラック樹脂、及びアルカリ可溶性官能基を有する共重合体のいずれにも当てはまらないものと定義する。

〈溶解促進剤（Ｆ）〉
　ポジ型感光性樹脂組成物は、現像時にアルカリ可溶性部分の現像液への溶解性を向上させるための溶解促進剤（Ｆ）を更に含んでもよい。溶解促進剤（Ｆ）として、カルボキシ基を有する化合物及びフェノール性水酸基を有する化合物からなる群より選択される有機低分子化合物が挙げられる。溶解促進剤（Ｆ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　本開示において「低分子化合物」とは分子量１０００以下の化合物をいう。上記有機低分子化合物は、１若しくは複数のカルボキシ基又は複数のフェノール性水酸基を有しておりアルカリ可溶性である。

　そのような有機低分子化合物としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸、ヘミメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸；ジヒドロキシ安息香酸、トリヒドロキシ安息香酸、没食子酸等の芳香族ヒドロキシカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸；カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、１，２，４－ベンゼントリオール、ピロガロール、フロログルシノール、ビスフェノール等の芳香族ポリオールなどが挙げられる。

　ポジ型感光性樹脂組成物中の溶解促進剤（Ｆ）の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．１質量部～５０質量部とすることができ、好ましくは１質量部～３５質量部であり、より好ましくは２質量部～２０質量部である。溶解促進剤（Ｆ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として０．１質量部以上であれば、樹脂成分の溶解を効果的に促進することができ、５０質量部以下であれば樹脂成分の過度の溶解を抑制して、被膜のパターン形成性、及び表面品質を高めることができる。

［コーティング組成物］
〈溶媒（Ｇ）〉
　ポジ型感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｇ）に溶解又は分散させて溶液状態又は分散液状態のコーティング組成物として用いることができる。例えば、疎水性樹脂（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、及びクレゾールノボラック樹脂、並びに必要に応じてアルカリ可溶性官能基を有する共重合体を溶媒（Ｇ）に溶解して得られた溶液に、キノンジアジド化合物（Ｃ）、及びフッ素系界面活性剤（Ｄ）、並びに必要に応じて溶解促進剤（Ｅ）、熱硬化剤、その他界面活性剤等の任意成分を所定の割合で混合することにより、ポジ型感光性樹脂組成物を含むコーティング組成物を調製することができる。コーティング組成物は、溶媒（Ｇ）の量を変化させることにより、使用する塗布方法に適した粘度に調整することができる。

　溶媒（Ｇ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール化合物；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート化合物；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素；メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、４－ヒドロキシ－４－メチル－２－ペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン；２－ヒドロキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルブタン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ－ブチロラクトン等のエステル；及びＮ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド化合物が挙げられる。溶媒（Ｇ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

　コーティング組成物の固形分濃度は、使用目的により適宜決定することができる。例えば、コーティング組成物の固形分濃度は１～６０質量％としてもよく、３～５０質量％、又は５～４０質量％としてもよい。

　顔料を使用する場合の分散混合方法については公知の方法を使用することができる。例えば、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ペイントシェーカー、ロッキングミル等のボール型、ニーダー、パドルミキサー、プラネタリミキサー、ヘンシェルミキサー等のブレード型、３本ロールミキサー等のロール型、その他としてライカイ機、コロイドミル、超音波、ホモジナイザー、自転・公転ミキサーなどを使用してもよい。分散効率及び微分散化の観点からビーズミルを使用することが好ましい。

　調製されたコーティング組成物は、通常、使用前にろ過される。ろ過の手段としては、例えば孔径０．０５～１．０μｍのミリポアフィルターが挙げられる。

　このように調製されたコーティング組成物は、長期間の貯蔵安定性にも優れている。

［ポジ型感光性樹脂組成物の使用方法］
　ポジ型感光性樹脂組成物を放射線リソグラフィーに使用する場合、まず、ポジ型感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製する。次に、コーティング組成物を基板表面に塗布し、加熱等の手段により溶媒を除去して、被膜を形成することができる。基板表面へのコーティング組成物の塗布方法は特に限定されず、例えば、スプレー法、ロールコート法、スリット法、又はスピンコート法を使用することができる。

　コーティング組成物を基板表面に塗布した後、通常、加熱により溶媒を除去して被膜を形成する（プリベーク）。加熱条件は各成分の種類及び配合割合によっても異なるが、通常７０～１３０℃で、例えばホットプレート上なら３０秒～２０分間、オーブン中では１～６０分間加熱処理をすることによって被膜を得ることができる。一実施態様では、形成された被膜の厚さは２～３μｍである。

　次にプリベークされた被膜に所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線（例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線、ガンマ線、又はシンクロトロン放射線）を照射する（露光工程）。好ましい放射線は、２５０～４５０ｎｍの波長を有する紫外線乃至可視光線である。一実施態様では、放射線はｉ線である。別の実施態様では、放射線はｇｈｉ線である。

　露光工程の後、被膜を現像液に接触させることにより現像し、不要な部分を除去して被膜にパターンを形成する（現像工程）。現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ化合物；エチルアミン、ｎ－プロピルアミン等の第一級アミン；ジエチルアミン、ジ－ｎ－プロピルアミン等の第二級アミン；トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三級アミン；ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン等の第四級アンモニウム塩；及びピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン、１，５－ジアザビシクロ［４．３．０］－５－ノナン等の環状アミン等のアルカリ化合物の水溶液を用いることができる。アルカリ水溶液に、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒、界面活性剤などを適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像時間は通常３０～１８０秒間である。現像方法は液盛り法、シャワー法、ディッピング法等のいずれでもよい。現像後、流水洗浄を３０～９０秒間行い、不要な部分を除去し、圧縮空気又は圧縮窒素で風乾させることによって、被膜にパターンを形成することができる。

　その後、パターンが形成された被膜を、ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、例えば１００～３５０℃で、２０～２００分間加熱処理をすることによって硬化被膜を得ることができる（ポストベーク、加熱処理工程）。加熱処理において、温度を一定に維持してもよく、温度を連続的に上昇させてもよく、段階的に上昇させてもよい。加熱処理は、窒素ガス雰囲気下で行うことが好ましい。

〈残膜率〉
　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物をプリベーク後の膜厚が３．０±０．３μｍになるように塗布し、１２５℃で１２０秒プリベークして被膜を形成した後、温度２３℃にて２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間アルカリ現像したときに、下式：
残膜率（％）＝現像後の膜厚（μｍ）／現像前の膜厚（μｍ）
で定義される残膜率が９０％以上、好ましくは９５％以上、より好ましくは９９％以上である。残膜率は未露光部の溶解性の指標であり、残膜率が高いほど露光部と未露光部の溶解性の差が大きく、高低差の大きい厚膜パターンを高精度で形成することができる。

〈光学濃度〉
　ポジ型感光性樹脂組成物が着色剤（Ｅ）を含む実施態様において、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）は、膜厚１μｍあたり０．５以上であることが好ましく、０．７以上であることがより好ましく、１．０以上であることが更に好ましい。硬化被膜のＯＤ値が膜厚１μｍあたり０．５以上であれば、十分な遮光性を得ることができる。

　一実施態様の有機ＥＬ素子隔壁又は有機ＥＬ素子絶縁膜の製造方法は、ポジ型感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製すること、コーティング組成物を基材に塗布して被膜を形成すること、被膜に含まれる溶媒を除去して被膜を乾燥すること、乾燥した被膜に放射線をフォトマスク越しに照射して被膜を露光すること、露光された被膜を現像液に接触させることにより現像して、被膜にパターンを形成すること、及びパターンが形成された被膜を１００℃～３５０℃の温度で加熱処理して、有機ＥＬ素子隔壁又は有機ＥＬ素子絶縁膜を形成することを含む。本開示のポジ型感光性樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組成物が着色剤（Ｅ）を含む実施態様においても、高感度で高精度の厚膜パターンを形成することができる。

［有機ＥＬ素子隔壁］
　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁である。ポジ型感光性樹脂組成物は着色剤（Ｅ）を含むことが好ましい。

［有機ＥＬ素子絶縁膜］
　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜である。ポジ型感光性樹脂組成物は着色剤（Ｅ）を含むことが好ましい。

［有機ＥＬ素子］
　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子である。ポジ型感光性樹脂組成物は着色剤（Ｅ）を含むことが好ましい。

　以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。

（１）原料
　実施例及び比較例で使用した原料を以下のとおり製造又は入手した。

　樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）に関しては、以下の測定条件で、ポリスチレンの標準物質を使用して作成した検量線を用いて算出した。
　装置名：Ｓｈｏｄｅｘ（商標）ＧＰＣ－１０１
　カラム：Ｓｈｏｄｅｘ（商標）ＬＦ－８０４
　移動相：テトラヒドロフラン
　流速：１．０ｍＬ／分
　検出器：Ｓｈｏｄｅｘ（商標）ＲＩ－７１
　温度：４０℃

［製造例１］アルカリ可溶性官能基を有する共重合体（ＰＣＸ－０１）：フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社「ＰＱＭＡ」）２８．０ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒）７．８９ｇを、溶媒である１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）７７．１ｇに、重合開始剤としてＶ－６０１（ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、富士フイルム和光純薬株式会社）３．６６ｇを、１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）１４．６ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８５℃に加熱した１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）６１．２ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８５℃で３時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を８１５ｇのトルエン中に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、９０℃で４時間真空乾燥し白色の粉体を３３．４ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０１の数平均分子量は６６００、重量平均分子量は１１６００であった。

［製造例２］アルカリ可溶性官能基を有する共重合体（ＰＣＸ－０２ｅ）：フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社「ＰＱＭＡ」）２５．５ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒）４．５０ｇを、溶媒である１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）７７．１ｇに、重合開始剤としてＶ－６０１（ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、富士フイルム和光純薬株式会社）３．６６ｇを、１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）１４．６ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８５℃に加熱した１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル）６１．２ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８５℃で３時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を８１５ｇのトルエン中に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、９０℃で４時間真空乾燥し白色の粉体を３２．４ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０２ｅの数平均分子量は３１００、重量平均分子量は６７００、フェノール性水酸基当量は２１０であった。

［製造例３］疎水性樹脂（Ａ）：ケイ素含有基を有する樹脂（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社「ＰＱＭＡ」）１５．９ｇ、４－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシフェニルメタクリレート（ＰＱＭＡ－ＴＢＤＭＳ）１６．６ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（東京化成工業株式会社）４．６２ｇを、溶媒であるイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）５５．８ｇに完全に溶解させた。重合開始剤としてＶ－６０１（ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、富士フイルム和光純薬株式会社）２．８６ｇを、イソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）４．２９ｇに完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、還流管が付いた３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱したイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）９０．５ｇに、同時に２時間かけて滴下し、その後、８９℃で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液５０ｇを、２５０ｇのヘキサンに滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し、白色の粉体（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４）を９．７３ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４の数平均分子量は３７５３、重量平均分子量は７５８１であった。ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４において、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位と式（４）で表される構造単位と式（５）で表される構造単位のモル比は、式（３）：式（４）：式（５）＝３２：７：６１であり、全構造単位を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する構造単位は６１ｍｏｌ％であった。ケイ素原子の含有量は、ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４の質量を基準として、４．０質量％であった。

［製造例４］疎水性樹脂（Ａ）：ケイ素含有基を有する樹脂（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社「ＰＱＭＡ」）１５．９ｇ、４－トリエチルシリルオキシフェニルメタクリレート（ＰＱＭＡ－ＴＥＳ）１６．６ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（東京化成工業株式会社）４．６２ｇを、溶媒であるイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）５５．８ｇに完全に溶解させた。重合開始剤としてＶ－６０１（ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、富士フイルム和光純薬株式会社）２．８６ｇを、イソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）４．２９ｇに完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、還流管が付いた３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱したイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）９０．４ｇに、同時に２時間かけて滴下し、その後、８９℃で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液５０ｇを、２００ｇのヘキサンと５０ｇのトルエンの混合溶媒に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し、白色の粉体（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４）を９．４９ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４の数平均分子量は３８４７、重量平均分子量は７５３４であった。ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４において、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位と式（４）で表される構造単位と式（５）で表される構造単位のモル比は、式（３）：式（４）：式（５）＝３２：７：６１であり、全構造単位を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する構造単位は６１ｍｏｌ％であった。ケイ素原子の含有量は、ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４の質量を基準として、４．０質量％であった。

［製造例５］疎水性樹脂（Ａ）：フッ素含有基を有する樹脂（ＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６）の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社「ＰＱＭＡ」）１２．１ｇ、２－パーフルオロヘキシルエチルメタクリレート（東京化成工業株式会社）２０．５ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（東京化成工業株式会社）３．６２ｇを、溶媒であるイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）８４．５ｇに完全に溶解させた。重合開始剤としてＶ－６０１（ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、富士フイルム和光純薬株式会社）３．７４ｇを、イソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）１４．９ｇに完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、還流管が付いた３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８９℃に加熱したイソプロピルアセテート（神港有機化学工業株式会社）５１．０ｇに、同時に２時間かけて滴下し、その後、８９℃で４時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液５０ｇを、２５０ｇのヘキサンに滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、８０℃で５時間真空乾燥し、白色の粉体（ＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６）を５．５８ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６の数平均分子量は２８６９、重量平均分子量は５７４３であった。ＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６において、２－パーフルオロヘキシルエチルメタクリレートに由来する構造単位と式（４）で表される構造単位と式（５）で表される構造単位のモル比は３６：６：５８であり、全構造単位を基準として、アルカリ可溶性官能基を有する構造単位は５８ｍｏｌ％であった。フッ素原子の含有量は、ＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６の質量を基準として、２４質量％であった。

［製造例６］アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）：エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ６９５ＯＨ７０）の製造
　３００ｍＬの３つ口型フラスコに溶媒としてγ－ブチロラクトン（三菱ケミカル株式会社）７５．２ｇ、及びＥＰＩＣＬＯＮ（商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２１４）３７．８ｇを仕込み、窒素ガス雰囲気下、６０℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸化合物として３，５－ジヒドロキシ安息香酸（富士フイルム和光純薬株式会社）２０．１ｇ（エポキシ１当量に対して０．６５当量）、及び反応触媒としてトリフェニルホスフィン（東京化成工業株式会社）０．１６６ｇ（０．６６０ｍｍｏｌ）を追加し、１１０℃で２１時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ－ブチロラクトンで固形分２０質量％に希釈し、溶液をろ過して２７４．２ｇのエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｎ６９５ＯＨ７０）の溶液を得た。得られた反応物の数平均分子量は３０００、重量平均分子量は５１００、エポキシ当量は２２００、フェノール性水酸基当量は１６１であった。

［疎水性樹脂（Ａ）］
　疎水性樹脂（Ａ）として、製造例３のＰＣＸ－０２ｅ－ＴＢＤＭＳ３４、及び製造例４のＰＣＸ－０２ｅ－ＴＥＳ３４（ケイ素含有基を有する樹脂）、並びに製造例５のＰＣＸ－０２ｅ－Ｃ６ＳＦＭＡ３６（フッ素含有基を有する樹脂）を使用した。

［アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）］
　アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）として、製造例６のＮ６９５ＯＨ７０を使用した。

［キノンジアジド化合物（Ｃ）］
　キノンジアジド化合物（Ｃ）として、ＴＳ－１５０Ａ及びＴＳ－２００Ａ（４，４’－［１－［４－［１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（ＴｒｉｓＰ－ＰＡ）と６－ジアゾ－５，６－ジヒドロ－５－オキソナフタレン－１－スルホン酸（１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸）とのエステル、東洋合成工業株式会社）；ＴＰＰＡ（４）－１５０ＤＦ（４，４’－［１－［４－［１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（ＴｒｉｓＰ－ＰＡ）の１，２－ナフトキノンジアジド－４－スルホン酸エステル、東洋合成工業株式会社）；並びにＴＨＤＰＰ－２８０（２－（４－ヒドロキシフェニル）－２－（２’，４’－ジヒドロキシフェニル）プロパンの１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸エステル、東洋合成工業株式会社）を使用した。

　ＴＳ－１５０Ａ及びＴＳ－２００Ａの構造を以下に示す。ＴＳ－１５０Ａは、１分子あたり３個のＲのうち、平均で１．５個のＲがキノンジアジド構造を有する。ＴＳ－２００Ａは、１分子あたり３個のＲのうち、平均で２．０個のＲがキノンジアジド構造を有する。

［フッ素系界面活性剤（Ｄ）］
　フッ素系界面活性剤（Ｄ）として、メガファック（商標）Ｆ－５５４、メガファック（商標）Ｒ－４０、及びメガファック（商標）Ｆ－５６３（全てＤＩＣ株式会社）を使用した。

［クレゾールノボラック樹脂］
　クレゾールノボラック樹脂として、ＴＲ４０８０Ｇ（重量平均分子量（Ｍｗ）：４７８５）、ＴＲ４０２０Ｇ（重量平均分子量（Ｍｗ）：９９２０）、及びＴＲ４０００Ｂ（重量平均分子量（Ｍｗ）：３０２１）（全て旭有機材株式会社）を使用した。

［アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体］
　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体として、製造例１のＰＣＸ－０１、及び製造例２のＰＣＸ－０２ｅを使用した。

　フェノールノボラック樹脂として、ショウノール（商標）ＢＲＧ－５５６（重量平均分子量（Ｍｗ）：５５８以下、昭和電工株式会社製）、ショウノール（商標）ＢＲＧ－５５８（重量平均分子量（Ｍｗ）：３０００、昭和電工株式会社製）、及びＢＲＮ－５８３４Ｙ（重量平均分子量（Ｍｗ）：７４００、昭和電工株式会社製）を使用した。

［着色剤（Ｅ）］
　着色剤として、黒色染料であるＶＡＬＩＦＡＳＴ（商標）ＢＬＡＣＫ　３８２０（ソルベントブラック２７のＣ．Ｉ．で規定される黒色染料、オリエント化学工業株式会社）、及びＶＡＬＩＦＡＳＴ（商標）ＢＬＡＣＫ　３８０４（ソルベントブラック３４のＣ．Ｉ．で規定される黒色染料、オリエント化学工業株式会社）を使用した。

［溶解促進剤（Ｆ）］
　溶解促進剤（Ｆ）としてフロログルシノールを使用した。

［溶媒（Ｇ）］
　溶媒（Ｇ）としてγ－ブチロラクトン（ＧＢＬ）及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の混合溶媒（ＧＢＬ：ＰＧＭＥＡ＝４０：６０（質量比））を使用した。

（２）評価方法
　実施例及び比較例で使用した評価方法は以下のとおりである。

［感度］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が３．０±０．３μｍになるようにバーコートし、常温真空乾燥６０秒間の後、蓋つきホットプレート上１２５℃で１２０秒加熱してプリベークを行った。超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置（商品名マルチライトＭＬ－２５１Ａ／Ｂ、ウシオ電機株式会社）で石英製のフォトマスク（φ１０μｍの開口パターンを有するもの）を介して被膜を露光した。露光量は紫外線積算光量計（商品名ＵＩＴ－１５０　受光部　ＵＶＤ－Ｓ３６５、ウシオ電機株式会社）を用いて測定した。露光後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社）を用い、温度２３℃にて２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間アルカリ現像を行なった。露光量を変えながら上記手順を繰り返して、現像後にガラス基板に完全に達するホール径１０μｍのパターンが形成できる最小露光量（ｍＪ／ｃｍ^２）を感度とした。

［中間露光部Ｒａの評価方法］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が３．０±０．３μｍになるようにバーコートし、常温真空乾燥６０秒間の後、蓋つきホットプレート上１２５℃で１２０秒加熱してプリベークを行った。乾燥被膜を、超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置（商品名マルチライトＭＬ－２５１Ａ／Ｂ、ウシオ電機株式会社）で水銀露光用バンドパスフィルター（商品名ＨＢ０３６５、朝日分光株式会社）を介して露光した。露光量を紫外線積算光量計（商品名ＵＩＴ－１５０　受光部　ＵＶＤ－Ｓ３６５、ウシオ電機株式会社）を用いて測定し、露光量が各配合の感度の２５％となるように調整した。露光後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社）を用い、温度２３℃にて２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で、８０秒間現像した。その後、イナートオーブンにおいて、窒素ガス雰囲気下で２５０℃、６０分間ポストベークを行い、測定サンプルを得た。得られたサンプルの表面をレーザーマイクロスコープ（ＶＫ－Ｘ２００、株式会社キーエンス）を用いて、倍率５０倍、測定ピッチ０．０２μｍで算術平均荒さＲａを測定し、中間露光部Ｒａとした。中間露光部の荒れ具合の評価について、Ｒａが０.０６未満を合格、０．０６以上を不合格とした。

［中間露光部の細孔有無］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が３．０±０．３μｍになるようにバーコートし、常温真空乾燥６０秒間の後、蓋つきホットプレート上１２５℃で１２０秒加熱してプリベークを行った。乾燥被膜を、超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置（商品名マルチライトＭＬ－２５１Ａ／Ｂ、ウシオ電機株式会社）で水銀露光用バンドパスフィルター（商品名ＨＢ０３６５、朝日分光株式会社）を介して露光した。露光量を紫外線積算光量計（商品名ＵＩＴ－１５０　受光部　ＵＶＤ－Ｓ３６５、ウシオ電機株式会社）を用いて測定し、露光量が各配合の感度の２５％となるように調整した。露光後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社）を用い、温度２３℃にて２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で、８０秒間現像した。その後、イナートオーブンにおいて、窒素ガス雰囲気下で２５０℃、６０分間ポストベークを行い、測定サンプルを得た。得られたサンプルを１０ｍｍ角に切り出し、全自動イオンコーター（ＪＦＣ１５００、日本電子株式会社）でサンプル表面を２５ｓ×２セットの条件で白金蒸着し、ＦＥ－ＳＥＭ（ＪＳＭ－７６００Ｆ、日本電子株式会社）にサンプルを導入し、加速電圧２．０ｋＶ、ＬＥＩ（Ｌｏｗｅｒ　Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｉｍａｇｅ）モードで、倍率１５０００倍においてサンプルを観察した。細孔有無の評価について、図１の（Ａ）（比較例１）のように、サンプル表面に微細な穴（細孔）が見られる場合を細孔有とし、図１の（Ｂ）（実施例１）のように、サンプル表面に微細な穴（細孔）が見られない場合を細孔無しとした。

［未露光部溶解性］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が３．０±０．３μｍになるようにバーコートし、常温真空乾燥６０秒間の後、蓋つきホットプレート上１２５℃で１２０秒加熱してプリベークを行った。乾燥膜厚を光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社）を用いて測定した後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社）を用い、温度２３℃にて２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間アルカリ現像を行なった。アルカリ現像後の膜厚を再び光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社）を用いて測定し、現像前後で溶解した膜厚（μｍ）を未露光部溶解性の指標とした。未露光部溶解性が０μｍであることは、下式：
　残膜率（％）＝現像後の膜厚（μｍ）／現像前の膜厚（μｍ）
で定義される残膜率が１００％であることと等価である。

［硬化被膜のＯＤ値］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が約１．５μｍになるようにスピンコートし、ホットプレート上１２５℃で１２０秒加熱してプリベークを行った。その後、窒素ガス雰囲気下２５０℃で６０分硬化させることにより被膜を得た。硬化後の被膜のＯＤ値を透過濃度計（ＢＭＴ－１、サカタインクスエンジニアリング株式会社）で測定し、ガラスのみのＯＤ値で補正を行って、被膜の厚さ１μｍ当たりのＯＤ値に換算した。被膜の厚みは光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社）を用いて測定した。

（３）ポジ型感光性樹脂組成物の調製及び評価
［実施例１～１４、比較例１～４］
　表１に記載の組成で樹脂成分及びフェノールノボラック樹脂を溶媒（Ｇ）中で混合して溶解して得られた溶液に、表１に記載のキノンジアジド化合物（Ｃ）、フッ素系界面活性剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）、及び溶解促進剤（Ｆ）を加えて、更に混合した。成分が溶解したことを目視で確認した後、孔径０．２２μｍのミリポアフィルターで濾過し、固形分濃度１２質量％のポジ型感光性樹脂組成物を調製した。表１における組成の質量部は固形分換算値である。実施例１～１４、及び比較例１～４のポジ型感光性樹脂組成物の評価結果を表１に示す。

　表１の評価結果より、実施例１～１４のポジ型感光性樹脂組成物は、その未露光部溶解性が０μｍであることから、露光部と未露光部のコントラストを増加させることができ、更に中間露光部の表面荒れが小さく、細孔も観察されなかったことから段差構造を有する厚膜パターンを高精度で形成することができると判断した。更に、現像後にホール径１０μｍのパターンが形成できる露光量が３００ｍＪ／ｃｍ^２以下であり、高感度であることも確認された。これに対し、クレゾールノボラック樹脂に代えてフェノールノボラック樹脂を添加した比較例１～３のポジ型感光性樹脂組成物、及び、クレゾールノボラック樹脂を添加しなかった比較例４のポジ型感光性樹脂組成物は、中間露光部Ｒａが不合格（０．０６以上）であり、サンプル表面に細孔が観察された。フェノールノボラック樹脂の場合、ベンゼン環上にアルキル基が無いため、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）には相溶するが、疎水性樹脂（Ａ）に相溶できず、結果として両者の相分離を和らげる効果がないと推定される。このことから、クレゾールノボラック樹脂を添加することにより、段差部分における表面荒れ及び細孔の発生を抑制できることが確認された。

　本開示によるポジ型感光性樹脂組成物は、有機ＥＬ素子の隔壁又は絶縁膜を形成する放射線リソグラフィーに好適に利用することができる。特に、着色剤（Ｅ）を含む実施態様のポジ型感光性樹脂組成物から形成された隔壁又は絶縁膜を備えた有機ＥＬ素子は、良好なコントラストを示す表示装置の電子部品として好適に使用される。

Claims

　付加（共）重合体である疎水性樹脂（Ａ）と、
　式（１）で表される構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）と、
　キノンジアジド化合物（Ｃ）と、
　フッ素系界面活性剤（Ｄ）と、
　クレゾールノボラック樹脂と
を含むポジ型感光性樹脂組成物。
（式（１）において、ｘは０～３の整数であり、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^２はアルカリ可溶性官能基を有する有機基である。）
　前記式（１）中、前記アルカリ可溶性官能基がフェノール性水酸基である、請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、式（２）で表される構造単位を更に有する、請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
（式（２）において、ｙは０～３の整数であり、Ｒ^３はそれぞれ独立に炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^４はアルカリ可溶性官能基を有さない有機基である。）
　前記式（２）中、Ｒ^４がエポキシ基を有する有機基である、請求項３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）が、前記アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の全構造単位を基準として、前記式（１）で表される構造単位と前記式（２）で表される構造単位を合計で３０ｍｏｌ％～１００ｍｏｌ％の量で含む、請求項３又は４に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が５００～１７５００である、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記クレゾールノボラック樹脂を、樹脂成分の合計質量を基準として０．５質量％～３５質量％含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、ケイ素含有基及びフッ素含有基からなる群より選ばれる少なくとも１つを有する樹脂である、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、式（３）
（式（３）において、Ｒ^５は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^６はＳｉＲ^７Ｒ^８Ｒ^９で表され、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９はそれぞれ独立して炭素原子数１～８のアルキル基又は炭素原子数６～２０のアリール基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数である。）
で表される構造単位を有し、ｓが１以上の整数である式（３）で表される構造単位を少なくとも１つ有する、請求項８に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記疎水性樹脂（Ａ）が、式（４）
（式（４）において、Ｒ^１０及びＲ^１１は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～３のアルキル基であり、Ｒ^１２は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖アルキル基、炭素原子数３～１２の環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されたフェニル基である。）
で表される構造単位を更に有する、請求項９に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記フッ素系界面活性剤（Ｄ）が、フッ素化アルキル基及びフッ素化アルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つのフッ素化炭化水素基を有するアクリル系共重合体を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　アルカリ可溶性官能基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体との共重合体であって、前記式（１）で表される構造単位を有しないアルカリ可溶性樹脂を更に含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　黒色染料及び黒色顔料からなる群より選ばれる少なくとも１種の着色剤（Ｅ）を更に含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記着色剤（Ｅ）を、樹脂成分の合計１００質量部を基準として１０質量部～１５０質量部含む、請求項１３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上である、請求項１３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
　請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
　請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。