WO2021246445A1

WO2021246445A1 - ポジ型感光性樹脂組成物、及び有機ｅｌ素子隔壁

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Publication number: WO2021246445A1
Application number: PCT/JP2021/021033
Authority: WO
Inventors: 健太郎古江; 良和新井
Original assignee: 昭和電工株式会社
Priority date: 2020-06-03
Filing date: 2021-06-02
Publication date: 2021-12-09
Also published as: JPWO2021246445A1; CN116057470A; TWI775465B; KR20230003181A; TW202210945A

Abstract

高い解像度のパターンを形成することができる、黒色の着色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物を提供する。一実施態様のポジ型感光性樹脂組成物は、複数のフェノール性水酸基を有し、前記複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）と、黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種の黒色着色剤（Ｂ）と、光酸発生剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）とを含む。

Description

ポジ型感光性樹脂組成物、及び有機ＥＬ素子隔壁

　本発明は、ポジ型感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた有機ＥＬ素子隔壁、有機ＥＬ素子絶縁膜、及び有機ＥＬ素子に関する。より詳しくは、本発明は、黒色の着色剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた有機ＥＬ素子隔壁、有機ＥＬ素子絶縁膜、及び有機ＥＬ素子に関する。

　有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等の表示装置においては、表示特性向上のために、表示領域内の着色パターンの間隔部又は表示領域周辺部分の縁等に隔壁材が用いられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、有機物質の画素が互いに接触しないようにするため、まず隔壁が形成され、その隔壁の間に有機物質の画素が形成される。この隔壁は一般に、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフィによって形成され、絶縁性を有する。詳しくは、塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、揮発成分を加熱等の手段で除去したのち、マスクを介して露光し、次いでネガ型の場合は未露光部分を、ポジ型の場合は露光部分をアルカリ水溶液等の現像液で除去することによって現像し、得られたパターンを加熱処理して、隔壁（絶縁膜）を形成する。次いでインクジェット法等によって、赤、緑、青の３色の光を発する有機物質を隔壁の間に成膜して、有機ＥＬ表示装置の画素を形成する。

　該分野では近年、表示装置の小型化、及び表示するコンテンツが多様化したことにより、画素の高性能化及び高精細化が要求されている。表示装置におけるコントラストを高め、視認性を向上させる目的で、着色剤を用いて隔壁材に遮光性を持たせる試みがなされている。しかし、隔壁材に遮光性を持たせた場合、感光性樹脂組成物が低感度となる傾向があり、その結果、露光時間が長くなり生産性が低下するおそれがある。そのため、着色剤を含む隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物はより高感度であることが要求される。

　特許文献１（特開２００１－２８１４４０号公報）は、露光後の加熱処理により高い遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物にチタンブラックを添加した組成物を記載している。

　特許文献２（特開２００２－１１６５３６号公報）は、［Ａ］アルカリ可溶性樹脂、［Ｂ］１，２－キノンジアジド化合物、及び［Ｃ］着色剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、カーボンブラックを用いて隔壁材を黒色化する方法を記載している。

　特許文献３（特開２０１０－２３７３１０号公報）は、露光後の加熱処理により遮光性を示す感放射線性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とを含むポジ型感放射線性樹脂組成物に感熱色素を添加した組成物を記載している。

　特許文献４（国際公開第２０１７／０６９１７２号）は、（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）キノンジアジド化合物、及び（Ｃ）ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックスで規定される黒色染料から選ばれた少なくとも１種の黒色染料を含有するポジ型感光性樹脂組成物を記載している。

特開２００１－２８１４４０号公報特開２００２－１１６５３６号公報特開２０１０－２３７３１０号公報国際公開第２０１７／０６９１７２号

　着色された隔壁材の形成に使用される感光性樹脂組成物では、硬化した膜の遮光性を十分高めるために、着色剤を相当量使用する必要がある。このように多量の着色剤を用いた場合、感光性樹脂組成物の被膜に照射された光などの放射線が着色剤により吸収されるために、被膜中の放射線の有効強度が低下し、感光性樹脂組成物が十分に露光されず、結果としてパターン形成性が低下する。

　一般的なバインダー樹脂を含むポジ型感光性樹脂組成物の感放射線化合物として、キノンジアジド化合物が広く使用されている。キノンジアジド化合物は、可視光、紫外光、γ線、電子線などの放射線が照射されると下記反応式１に示す反応を経てカルボキシ基を生成する。カルボキシ基が生成することにより、露光された部分（被膜）がアルカリ溶液に対して溶解できるようになり、アルカリ現像性が発現する。着色剤を含むポジ型感光性樹脂組成物を厚膜とすると、被膜底部においてキノンジアジド化合物が十分に反応しないため、被膜底部のアルカリ溶解性が不足し、現像時に樹脂残渣の発生及びパターン解像度の低下が生じる場合がある。

　着色剤を多量に含むポジ型感光性樹脂組成物において硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）を更に高めることが要求されているが、トレードオフとしてパターン解像度の低下が生じることは望ましくない。

　本発明の目的は、高い解像度のパターンを形成することができる、黒色の着色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物を提供することである。

　本発明者は、ポジ型感光性樹脂組成物を、複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたアクリル樹脂と、光酸発生剤としてキノンジアジド化合物とを組み合わせて含む化学増幅系としたときに、キノンジアジド化合物に放射線を照射したときに生成するカルボン酸化合物が酸分解性基を脱保護可能であることを見出した。かかる知見に基づいて、本発明者は、黒色の着色剤を含有するにも拘わらず、高い解像度のパターンを形成することができるポジ型感光性組成物を実現した。

　すなわち、本発明は次の態様を含む。
［１］
　複数のフェノール性水酸基を有し、前記複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）と、
　黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種の黒色着色剤（Ｂ）と、
　光酸発生剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）と
を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
［２］
　前記アクリル樹脂（Ａ）が、式（３）

で表される構造単位を有し、式（３）において、Ｒ^１は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^５は前記酸分解性基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数であり、前記アクリル樹脂（Ａ）が、ｓが１以上の整数である前記構造単位を少なくとも１つ有する、［１］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［３］
　前記アクリル樹脂（Ａ）が、式（２）

で表される構造単位をさらに有する共重合体であり、式（２）において、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^４は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖若しくは炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基である、［２］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［４］
　前記アクリル樹脂（Ａ）が式（３）で表される前記構造単位を６０モル％～１００モル％含む、［２］又は［３］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［５］
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、２０質量部～５０質量部の前記キノンジアジド化合物（Ｃ）を含む、［１］～［４］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［６］
　前記キノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤の含有量が、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．５質量部以下である、［１］～［５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［７］
　前記アクリル樹脂（Ａ）の前記酸分解性基が、式（６）
－ＣＲ^６Ｒ^７－Ｏ－Ｒ^８　　（６）
で表される基であり、式（６）中、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～４の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であり、Ｒ^８は、炭素原子数１～１２の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、炭素原子数７～１２のアラルキル基、又は炭素原子数２～１２のアルケニル基であり、Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成してもよく、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選ばれるハロゲン原子で置換されていてもよい、［１］～［６］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［８］
　前記アクリル樹脂（Ａ）のフェノール性水酸基の１０モル％～９５モル％が前記酸分解性基で保護されている、［１］～［７］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［９］
　樹脂成分の合計質量を基準として、３０質量％～９０質量％の前記アクリル樹脂（Ａ）を含む、［１］～［８］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１０］
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、１０質量部～１５０質量部の前記黒色着色剤（Ｂ）を含む、［１］～［９］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１１］
　前記ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上である、［１］～［１０］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１２］
　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）をさらに含む、［１］～［１１］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１３］
　前記エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）が、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（５）

の構造を有する化合物であり、式（５）において、ｂは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す、［１２］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１４］
　前記１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物がノボラック型エポキシ樹脂である、［１３］に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１５］
　前記ヒドロキシ安息香酸化合物がジヒドロキシ安息香酸化合物である、［１３］又は［１４］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
［１６］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
［１７］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
［１８］
　［１］～［１５］のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。

　本発明によれば、高い解像度のパターンを形成することができる、黒色の着色剤を含有する高感度の感光性樹脂組成物を提供することができる。

　以下に本発明について詳細に説明する。

　本開示において「アルカリ可溶性」及び「アルカリ水溶液可溶性」とは、ポジ型感光性樹脂組成物若しくはその成分、又はポジ型感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜が、アルカリ水溶液、例えば２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に溶解可能であることを意味する。「アルカリ可溶性官能基」とは、そのようなアルカリ可溶性を、ポジ型感光性樹脂組成物若しくはその成分、又はポジ型感光性樹脂組成物の被膜若しくは硬化被膜に付与する基を意味する。アルカリ可溶性官能基としては、例えばフェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、メルカプト基等が挙げられる。

　本開示において「酸分解性基」とは、酸の存在下、必要に応じて加熱を行うことにより、分解（脱保護）し、アルカリ可溶性官能基を生成させる基を意味する。

　本開示において「ラジカル重合性官能基」とは、１又は複数のエチレン性不飽和基を指す。

　本開示において「（メタ）アクリル」とはアクリル又はメタクリルを意味し、「（メタ）アクリレート」とはアクリレート又はメタクリレートを意味し、「（メタ）アクリロイル」とはアクリロイル又はメタクリロイルを意味する。

　本開示において、樹脂又はポリマーの数平均分子量（Ｍｎ）及び重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、gel permeation chromatography）によって測定される、標準ポリスチレン換算値を意味する。

　一実施態様のポジ型感光性樹脂組成物は、複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）と、黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種の黒色着色剤（Ｂ）と、光酸発生剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）とを含む。

［アクリル樹脂（Ａ）］
　アクリル樹脂（Ａ）は、α－アルキルアクリル酸エステルの（共）重合体であって、複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたものであれば特に限定されない。フェノール性水酸基はアルカリ可溶性官能基であり、その一部が酸分解性基で保護されていることにより、アクリル樹脂（Ａ）の露光前のアルカリ溶解性は抑制されている。アクリル樹脂（Ａ）は、重合体主鎖にペンダントしたベンゼン環上にフェノール性水酸基を有する。この構造に起因して、アクリル樹脂（Ａ）は、同等の水酸基価を有するノボラック樹脂と比較して、現像液中のアルカリ化合物がフェノール性水酸基に接近しやすくアルカリ可溶性が高い。そのため、アクリル樹脂（Ａ）は、露光前後（酸分解性基の分解前後）でのアルカリ可溶性の変化が大きく、その結果、パターンの解像度をより高めることができる。アクリル樹脂（Ａ）は、フェノール性水酸基以外のアルカリ可溶性官能基を有していてもよく、それらのアルカリ可溶性官能基は、フェノール性水酸基と同様に酸分解性基で保護されていてもよい。露光時に発生した酸が触媒的に酸分解性基の分解（脱保護）を促進してフェノール性水酸基を再生する。露光後必要に応じて露光後ベーク（ＰＥＢ、post exposure bake）を行ってもよい。これにより現像時に露光部でアクリル樹脂（Ａ）のアルカリ溶解が促進される。アクリル樹脂（Ａ）はフェノール性水酸基以外のアルカリ可溶性官能基、例えばカルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、メルカプト基等を有してもよい。アクリル樹脂（Ａ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。例えば、アクリル樹脂（Ａ）は、重合体の構造単位、酸分解性基、フェノール性水酸基の保護率、又はこれらの組み合わせが異なる２種類以上の樹脂の組み合わせであってよい。

〈酸分解性基によるフェノール性水酸基の保護〉
　アクリル樹脂（Ａ）は、複数のフェノール性水酸基を有するベースアクリル樹脂（ａ）のフェノール性水酸基の一部を酸分解性基で保護することによって得ることができる。酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有するアクリル樹脂（Ａ）は、Ａｒ－Ｏ－Ｒの部分構造を有し、Ａｒはフェノール由来の芳香環を表し、Ｒは酸分解性基を表す。

　酸分解性基は、酸の存在下、必要に応じて加熱を行うことにより、分解（脱保護）し、アルカリ可溶性官能基を生成させる基である。具体的には、例えば、ｔｅｒｔ－ブチル基、１，１－ジメチル－プロピル基、１－メチルシクロペンチル基、１－エチルシクロペンチル基、１－メチルシクロヘキシル基、１－エチルシクロヘキシル基、１－メチルアダマンチル基、１－エチルアダマンチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基、１，１－ジメチル－プロポキシカルボニル基などの三級アルキル基を有する基；トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、ｔ－ブチルジメチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、ｔ－ブチルジフェニルシリル基などのシリル基；及び式（６）
－ＣＲ^６Ｒ^７－Ｏ－Ｒ^８　　（６）
（式（６）中、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～４のアルキル基（直鎖状若しくは分岐状）であり、Ｒ^８は、炭素原子数１～１２のアルキル基（直鎖状、分岐状若しくは環状）、炭素原子数７～１２のアラルキル基、又は炭素原子数２～１２のアルケニル基であり、Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成してもよく、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選ばれるハロゲン原子で置換されていてもよい。）で表される基が挙げられる。式（６）で表される基は、フェノール性水酸基由来の酸素原子と一緒にアセタール構造又はケタール構造を形成する。これらの酸分解性基は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　低露光量でも高感度のポジ型感光性樹脂組成物が得られることから、酸分解性基は、式（６）で表される基であることが好ましい。Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～４のアルキル基（直鎖状若しくは分岐状）であり、Ｒ^８は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選ばれるハロゲン原子で置換されていてもよい、炭素原子数１～１２のアルキル基（直鎖状、分岐状若しくは環状）であることがより好ましい。そのような酸分解性基としては、例えば、１－アルコキシアルキル基が挙げられる。１－アルコキシアルキル基としては、例えば、メトキシメチル基、１－メトキシエチル基、１－エトキシエチル基、１－ｎ－プロポキシエチル基、１－ｎ－ブトキシエチル基、１－イソブトキシエチル基、１－（２－クロロエトキシ）エチル基、１－（２－エチルヘキシルオキシ）エチル基、１－シクロヘキシルオキシエチル基、及び１－（２－シクロヘキシルエトキシ）エチル基が挙げられ、１－エトキシエチル基及び１－ｎ－プロポキシエチル基が好ましい。酸分解性基として、式（６）で表される基であって、Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成したものも好適に使用することができる。このとき、環構造の形成に関与しないＲ^６又はＲ^７は、水素原子であることが好ましい。そのような酸分解性基としては、例えば、２－テトラヒドロフラニル基、及び２－テトラヒドロピラニル基が挙げられ、２－テトラヒドロフラニル基が好ましい。

　フェノール性水酸基の保護反応は、一般的な保護剤を用いて公知の条件で行うことができる。例えば、無溶媒又はトルエン、ヘキサン等の溶媒中でベースアクリル樹脂（ａ）と保護剤とを、酸又は塩基の存在下、反応温度－２０～５０℃で反応させることにより、アクリル樹脂（Ａ）を得ることができる。

　保護剤として、フェノール性水酸基を保護することが可能な公知の保護剤を使用することができる。保護剤としては、例えば、酸分解性基がｔｅｒｔ－ブチル基の場合はイソブテン、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基の場合は二炭酸ジ－ｔｅｒｔ－ブチルを用いることができる。酸分解性基がトリメチルシリル基、トリエチルシリル基などのシリル基の場合は、トリメチルシリルクロライド、トリエチルシリルクロライドなどのケイ素含有塩化物、又はトリメチルシリルトリフラート、トリエチルトリフラートなどのケイ素含有トリフラート化合物を用いることができる。酸分解性基がメトキシメチル基の場合はクロロメチルメチルエーテル、１－エトキシエチル基の場合はエチルビニルエーテル、１－ｎ－プロポキシエチル基の場合はｎ－プロピルビニルエーテル、２－テトラヒドロフラニル基の場合は２，３－ジヒドロフラン、２－テトラヒドロピラニル基の場合は３，４－ジヒドロ－２Ｈ－ピランなどを用いることができる。

　酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、過塩素酸等の無機酸、及びメタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ｐ－トルエンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸等の有機酸が挙げられる。有機酸の塩、例えばｐ－トルエンスルホン酸のピリジニウム塩なども酸供給源として使用することができる。塩基としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機水酸化物、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸セシウム等の無機炭酸塩、水素化ナトリウムなどの金属水素化物、及びピリジン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－４－アミノピリジン、イミダゾール、トリエチルアミン、ジイソプロピルエチルアミン等のアミン化合物が挙げられる。

　別の実施態様では、フェノール性水酸基を有する重合性単量体のフェノール性水酸基を酸分解性基で保護した後、酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有する重合性単量体及び必要に応じてその他の重合性単量体を重合又は共重合することにより、アクリル樹脂（Ａ）を得ることもできる。フェノール性水酸基を有する重合性単量体のフェノール性水酸基の保護は、ベースアクリル樹脂（ａ）のフェノール性水酸基の保護と同様の方法で行うことができる。

〈ベースアクリル樹脂（ａ）〉
　アクリル樹脂（Ａ）のベースアクリル樹脂（ａ）としては、フェノール性水酸基を有する重合性単量体の単独重合体又は共重合体を使用することができる。フェノール性水酸基を有する重合性単量体及びその他の重合性単量体の少なくとも一方は、α－アルキルアクリル酸エステルである。これらのベースアクリル樹脂（ａ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。ベースアクリル樹脂（ａ）はラジカル重合性官能基を有してもよい。一実施態様では、ベースアクリル樹脂（ａ）はラジカル重合性官能基として（メタ）アクリロイルオキシ基、アリル基又はメタリル基を有する。

〈フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体とのアルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）〉
　一実施態様では、アクリル樹脂（Ａ）のベースアクリル樹脂（ａ）は、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体とのアルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）であり、アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は複数のフェノール性水酸基を有する。この実施態様において、アクリル樹脂（Ａ）は、アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）の複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたものである。アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は、フェノール性水酸基以外のアルカリ可溶性官能基、例えばカルボキシ基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基、又はメルカプト基をさらに有してもよい。重合性官能基として、例えば、ＣＨ_２＝ＣＨ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）－、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯ－、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯ－、－ＯＣ－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＯ－などのラジカル重合性官能基を有する。

　アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は、例えば、フェノール性水酸基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。ラジカル重合によりフェノール性水酸基を有しない共重合体を合成した後に、フェノール性水酸基を前記共重合体に導入してもよい。フェノール性水酸基を有する重合性単量体としては、例えば、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、３，５－ジメチル－４－ヒドロキシベンジルアクリルアミド、４－ヒドロキシフェニルアクリルアミド等のアクリル系単量体、及び４－ヒドロキシフェニルマレイミドが挙げられ、現像性を向上させる観点からフェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルが好ましい。その他の重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α－メチルスチレン、ｐ－メチルスチレン、ｐ－エチルスチレン等の重合可能なスチレン誘導体、アクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル化合物、アルキル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のＮ－置換マレイミド、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、（メタ）アクリル酸、α－ブロモ（メタ）アクリル酸、α－クロル（メタ）アクリル酸、β－フリル（メタ）アクリル酸、β－スチリル（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、３－マレイミドプロピオン酸、４－マレイミド酪酸、６－マレイミドヘキサン酸等が挙げられる。耐熱性等の観点から、アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は、脂環式構造、芳香族構造、多環式構造、無機環式構造、複素環式構造等の１種又は複数種の環式構造を有することが好ましい。

　フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとして、式（１）

で表される構造単位を形成するものが好ましい。式（１）において、Ｒ^１は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。Ｒ^１はメチル基であることが好ましい。ａは１～３の整数であることが好ましく、１であることがより好ましい。そのようなフェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとして、４－ヒドロキシフェニルメタクリレートが特に好ましい。

　その他の重合性単量体として、式（２）

で表される構造単位を形成するものが好ましい。式（２）において、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^４は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖若しくは炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基である。Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子又は炭素原子数１～３のアルキル基であることが好ましい。Ｒ^４は、炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基であることが好ましく、炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はフェニル基であることがより好ましい。そのようなその他の重合性単量体として、フェニルマレイミド及びシクロヘキシルマレイミドが特に好ましい。

　一実施態様では、アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は、式（１）

（式（１）において、Ｒ^１は炭素原子数１～５のアルキル基であり、ａは１～５の整数である。）
で表される構造単位、及び式（２）

（式（２）において、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^４は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖若しくは炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基である。）
で表される構造単位を有する。

　フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとして４－ヒドロキシフェニルメタクリレートを用い、その他の重合性単量体としてフェニルマレイミド又はシクロヘキシルマレイミドを用いることが特に好ましい。これらをラジカル重合させた樹脂を用いることにより、形状維持性、現像性を向上させるとともにアウトガスも低減することができる。

　ベースアクリル樹脂（ａ）をラジカル重合によって製造する際の重合開始剤としては、次のものに限定されないが、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）、ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、４，４’－アゾビス（４－シアノバレリアン酸）、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）（ＡＶＮ）などのアゾ重合開始剤、ジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔｅｒｔ－ブチルパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の１０時間半減期温度が１００～１７０℃の過酸化物重合開始剤、あるいは過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、１，１’－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシピバレートなどの過酸化物重合開始剤を用いることができる。重合開始剤の使用量は、重合性単量体の総量１００質量部に対して、一般に０．０１質量部以上、０．０５質量部以上又は０．５質量部以上、４０質量部以下、２０質量部以下又は１５質量部以下であることが好ましい。

　ＲＡＦＴ（Reversible Addition Fragmentation Transfer、可逆的付加開裂型連鎖移動）剤を重合開始剤と併用してもよい。ＲＡＦＴ剤としては、次のものに限定されないが、ジチオエステル、ジチオカルバメート、トリチオカルボナート、キサンタートなどのチオカルボニルチオ化合物を使用することができる。ＲＡＦＴ剤は、重合性単量体の総量１００質量部に対して、０．００５～２０質量部の範囲で使用することができ、０．０１～１０質量部の範囲で使用することが好ましい。

　ベースアクリル樹脂（ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３０００～８００００とすることができ、４０００～７００００であることが好ましく、５０００～６００００であることがより好ましい。数平均分子量（Ｍｎ）は１０００～３００００とすることができ、１５００～２５０００であることが好ましく、２０００～２００００であることがより好ましい。多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、１．０～３．５とすることができ、１．１～３．０であることが好ましく、１．２～２．８であることがより好ましい。重量平均分子量、数平均分子量及び多分散度を上記範囲とすることで、アルカリ溶解性及び現像性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を得ることができる。

　一実施態様では、アクリル樹脂（Ａ）のフェノール性水酸基の１０モル％～９５モル％、好ましくは２０モル％～８０モル％、より好ましくは２５モル％～７０モル％が酸分解性基で保護されている。アクリル樹脂（Ａ）において、酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合を１０モル％以上とすることで、化学増幅機能を感光性樹脂組成物に付与して高感度を実現することができる。酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合を９５モル％以下とすることで、露光時に反応しない酸分解性基の残存量を低減し、露光部の溶解性を高めて高感度を実現することができる。酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合は、熱重量示差熱分析装置（ＴＧ／ＤＴＡ）によるアクリル樹脂（Ａ）の重量減少率（％）より算出される。本開示において、アクリル樹脂（Ａ）が保護率の異なる２種類以上の樹脂の組み合わせである場合、アクリル樹脂（Ａ）のフェノール性水酸基の保護割合は、２種以上の樹脂を全体として一つのアクリル樹脂（Ａ）とみなしたときの数値である。

　一実施態様では、アクリル樹脂（Ａ）は、複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された、フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルのアルカリ水溶液可溶性単独重合体、又は複数のフェノール性水酸基を有し、複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護された、フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとその他の重合性単量体とのアルカリ水溶液可溶性共重合体である。後者のアクリル樹脂（Ａ）は、フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとその他の重合性単量体とのアルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）をベースアクリル樹脂（ａ）とするものであり、アルカリ水溶液可溶性共重合体（ａ１）は複数のフェノール性水酸基を有しており、これらのフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されている。

　この実施態様において、アクリル樹脂（Ａ）が、式（３）

（式（３）において、Ｒ^１は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^５は酸分解性基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数である。）で表される構造単位を有し、アクリル樹脂（Ａ）が、ｓが１以上の整数である上記構造単位を少なくとも１つ有することが好ましい。Ｒ^５の酸分解性基は、式（６）
－ＣＲ^６Ｒ^７－Ｏ－Ｒ^８　　（６）
で表される基であることが好ましく、式（６）中、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～４のアルキル基（直鎖状若しくは分岐状）であり、Ｒ^８は炭素原子数１～１２のアルキル基（直鎖状、分岐状若しくは環状）、炭素原子数７～１２のアラルキル基、又は炭素原子数２～１２のアルケニル基であるか、Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成することがより好ましい。Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選ばれるハロゲン原子で置換されていてもよい。そのような酸分解性基としては、例えば、１－アルコキシアルキル基が挙げられる。１－アルコキシアルキル基としては、例えば、メトキシメチル基、１－メトキシエチル基、１－エトキシエチル基、１－ｎ－プロポキシエチル基、１－ｎ－ブトキシエチル基、１－イソブトキシエチル基、１－（２－クロロエトキシ）エチル基、１－（２－エチルヘキシルオキシ）エチル基、１－シクロヘキシルオキシエチル基、及び１－（２－シクロヘキシルエトキシ）エチル基が挙げられ、１－エトキシエチル基及び１－ｎ－プロポキシエチル基が好ましい。Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成した酸分解性基としては、例えば、２－テトラヒドロフラニル基、及び２－テトラヒドロピラニル基が挙げられ、２－テトラヒドロフラニル基が好ましい。

　アクリル樹脂（Ａ）が、式（２）

（式（２）において、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^４は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖若しくは炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基である。）で表される構造単位をさらに有することが好ましい。Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子又は炭素原子数１～３のアルキル基であることが好ましい。Ｒ^４は、炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基であることが好ましい。

　一実施態様では、アクリル樹脂（Ａ）は、式（３）で表される単位を６０モル％～１００モル％、好ましくは６５モル％～１００モル％、より好ましくは７０モル％～１００モル％含む。式（３）で表される単位を６０モル％以上とすることで、アクリル樹脂（Ａ）に十分なアルカリ溶解性を発現させることができる。式（３）で表される単位を１００モル％以下とすることで、アクリル樹脂（Ａ）のアルカリ溶解性を適切な範囲に調整することができる。

　一実施態様では、式（３）で表され、かつｓが１以上の整数である構造単位、すなわち少なくとも１つのフェノール性水酸基が酸分解性基で保護されている式（３）で表される構造単位の数が、アクリル樹脂（Ａ）の全構造単位数の５％～９５％、好ましくは１５％～７０％、より好ましくは２０％～６０％である。上記構造単位の割合を５％以上とすることで、化学増幅機能を感光性樹脂組成物に付与して高感度を実現することができる。上記構造単位の割合を９５％以下とすることで、未反応の酸分解性基の残存量を低減し、露光部の溶解性を高めて高感度を実現することができる。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、アクリル樹脂（Ａ）を１０質量％～８０質量％、好ましくは１５質量％～６０質量％、より好ましくは２０質量％～４０質量％含む。アクリル樹脂（Ａ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として１０質量％以上であると、化学増幅機能を感光性樹脂組成物に付与して高感度を実現することができる。アクリル樹脂（Ａ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として８０質量％以下であると、未反応の酸分解性基の残存量を低減し、露光部の溶解性を高めて高感度を実現することができる。本開示において「固形分」とは、アクリル樹脂（Ａ）、黒色着色剤（Ｂ）、キノンジアジド化合物（Ｃ）、並びに任意のエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）、第３樹脂（Ｅ）、溶解促進剤（Ｆ）、任意成分（Ｇ）及びキノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤を含み、溶媒（Ｈ）を除く成分の合計質量を意味する。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計質量を基準として、アクリル樹脂（Ａ）を１５質量％～９０質量％、好ましくは２０質量％～８０質量％又は３０質量％～９０質量％、より好ましくは２５質量％～６５質量％含む。アクリル樹脂（Ａ）の含有量を１５質量％以上とすることで、化学増幅機能を感光性樹脂組成物に付与して高感度を実現することができる。アクリル樹脂（Ａ）の含有量を９０質量％以下とすることで、露光部の溶解性を高めて高感度を実現することができる。本開示において「樹脂成分」とは、アクリル樹脂（Ａ）、任意のエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）、及び任意の第３樹脂（Ｅ）を意味する。

［黒色着色剤（Ｂ）］
　黒色着色剤（Ｂ）は黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種である。黒色染料と黒色顔料とを併用してもよい。例えば、黒色着色剤（Ｂ）を含むポジ型感光性樹脂組成物を用いて有機ＥＬ素子に黒色の隔壁を形成することにより、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置の視認性を向上させることができる。

　一実施態様では黒色着色剤（Ｂ）は黒色染料を含む。黒色染料として、ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料を用いることができる。黒色染料は、好ましくは、ソルベントブラック２７、２９又は３４のＣ．Ｉ．で規定されるものである。ソルベントブラック２７～４７のＣ．Ｉ．で規定される染料のうち少なくとも１種類を黒色染料として用いた場合、焼成後のポジ型感光性樹脂組成物の被膜の遮光性を維持することができる。黒色染料を含むポジ型感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含むポジ型感光性樹脂組成物と比較して、現像時に黒色着色剤（Ｂ）の残渣が少なく、高精細のパターンを被膜に形成することができる。

　黒色着色剤（Ｂ）として黒色顔料を用いてもよい。黒色顔料として、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、アセチレンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料等が挙げられる。これらの黒色顔料に表面処理を施したものを使用することもできる。市販のペリレン系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社製のＫ００８４、Ｋ００８６、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等が挙げられる。市販のラクタム系顔料の例としては、ＢＡＳＦ社製のＩｒｇａｐｈｏｒ（登録商標）ブラック　Ｓ０１００ＣＦが挙げられる。高い遮光性を有することから、黒色顔料は、好ましくはカーボンブラック、チタンブラック、ペリレン系顔料、及びラクタム系顔料からなる群より選択される少なくとも１種である。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、黒色着色剤（Ｂ）を１０質量部～１５０質量部、好ましくは３０質量部～１００質量部、より好ましくは４０質量部～７０質量部含む。黒色着色剤（Ｂ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１０質量部以上であると、焼成後の被膜の遮光性を維持することができる。黒色着色剤（Ｂ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として１５０質量部以下であると、アルカリ現像性を損なうことなく被膜を着色することができる。

［キノンジアジド化合物（Ｃ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は光酸発生剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）を含む。キノンジアジド化合物（Ｃ）は可視光、紫外光、γ線、電子線などの放射線が照射されると下記反応式１に示す反応を経てアルカリ可溶性のカルボン酸化合物を生成する。生成したカルボン酸化合物は、アクリル樹脂（Ａ）の酸分解性基の分解を促進してフェノール性水酸基を再生させ、アクリル樹脂（Ａ）のアルカリ溶解性を増大させる。キノンジアジド化合物は、感光前にはノボラック樹脂などのバインダー樹脂の官能基と相互作用（例えば水素結合形成）して、そのバインダー樹脂をアルカリ水溶液に対して不溶化させる。その一方で、放射線が照射された部分にアルカリ可溶性のカルボン酸化合物が存在することで、その部分にある樹脂がカルボン酸化合物と一緒にアルカリ水溶液に溶解し易くなる。さらに、カルボン酸化合物は、化学増幅レジストに一般に使用される光酸発生剤から生じる酸、例えばｐ－トルエンスルホン酸、１－プロパンスルホン酸などよりも分子構造が相対的に大きく、被膜中で拡散しにくい。これらが相乗的に作用する結果、未露光部と露光部のアルカリ可溶性の差を大きくすることができ、それにより低露光量でも高感度で高解像度のパターンを形成することができる。キノンジアジド化合物（Ｃ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　一実施態様では、一般的な化学増幅レジストに必要な露光後の加熱処理（ＰＥＢ）を行わなくても、高い解像度のパターンを形成することができる。キノンジアジド化合物は量子収率が比較的高く、露光部でカルボン酸化合物が効率よく生成される。カルボン酸化合物で分解が可能な酸分解性基が周囲に存在すると、生成したカルボン酸化合物により室温でも酸分解性基の分解が起こってフェノール性水酸基が再生し、その結果、未露光部と露光部のアルカリ可溶性の差を大きくすることができる。ＰＥＢを省略することにより、光酸発生剤から生じた酸がＰＥＢ時の高温環境下で未露光部に過度に拡散することに起因するパターン形成性の低下を抑制することができる。また、任意成分として後述するエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）を使用する場合、ＰＥＢを省略するとエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のエポキシ基の開環重合が進行しないため、現像時にエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のアルカリ溶解性を維持することができる。

　キノンジアジド化合物（Ｃ）としては、ポリヒドロキシ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステルで結合したもの、ポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がスルホンアミド結合したもの、ポリヒドロキシポリアミノ化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合又はスルホンアミド結合したもの等が挙げられる。露光部と未露光部のコントラストの観点から、ポリヒドロキシ化合物又はポリアミノ化合物の官能基全体の２０モル％以上がキノンジアジドで置換されていることが好ましい。

　前記ポリヒドロキシ化合物としては、Ｂｉｓ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＥＺ、ＴｅｋＰ－４ＨＢＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＨＡＰ、ＴｒｉｓＰ－ＰＡ、ＴｒｉｓＰ－ＳＡ、ＴｒｉｓＯＣＲ－ＰＡ、ＢｉｓＯＣＨＰ－Ｚ、ＢｉｓＰ－ＭＺ、ＢｉｓＰ－ＰＺ、ＢｉｓＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＯＣＰ－ＩＰＺ、ＢｉｓＰ－ＣＰ、ＢｉｓＲＳ－２Ｐ、ＢｉｓＲＳ－３Ｐ、ＢｉｓＰ－ＯＣＨＰ、メチレントリス－ＦＲ－ＣＲ、ＢｉｓＲＳ－２６Ｘ、ＤＭＬ－ＭＢＰＣ、ＤＭＬ－ＭＢＯＣ、ＤＭＬ－ＯＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣＨＰ、ＤＭＬ－ＰＣ、ＤＭＬ－ＰＴＢＰ、ＤＭＬ－３４Ｘ、ＤＭＬ－ＥＰ、ＤＭＬ－ＰＯＰ、ジメチロール－ＢｉｓＯＣ－Ｐ、ＤＭＬ－ＰＦＰ、ＤＭＬ－ＰＳＢＰ、ＤＭＬ－ＭＴｒｉｓＰＣ、ＴｒｉＭＬ－Ｐ、ＴｒｉＭＬ－３５ＸＬ、ＴＭＬ－ＢＰ、ＴＭＬ－ＨＱ、ＴＭＬ－ｐｐ－ＢＰＦ、ＴＭＬ－ＢＰＡ、ＴＭＯＭ－ＢＰ、ＨＭＬ－ＴＰＰＨＢＡ、ＨＭＬ－ＴＰＨＡＰ（以上、商品名、本州化学工業株式会社製）、ＢＩＲ－ＯＣ、ＢＩＰ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＣ、ＢＩＲ－ＰＴＢＰ、ＢＩＲ－ＰＣＨＰ、ＢＩＰ－ＢＩＯＣ－Ｆ、４ＰＣ、ＢＩＲ－ＢＩＰＣ－Ｆ、ＴＥＰ－ＢＩＰ－Ａ、４６ＤＭＯＣ、４６ＤＭＯＥＰ、ＴＭ－ＢＩＰ－Ａ（以上、商品名、旭有機材工業株式会社製）、２，６－ジメトキシメチル－４－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール、２，６－ジメトキシメチル－ｐ－クレゾール、２，６－ジアセトキシメチル－ｐ－クレゾール、ナフトール、テトラヒドロキシベンゾフェノン、没食子酸メチルエステル、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＥ、メチレンビスフェノール、ＢｉｓＰ－ＡＰ（商品名、本州化学工業株式会社製）等が挙げられるが、これらに限定されない。

　前記ポリアミノ化合物としては、１，４－フェニレンジアミン、１，３－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド等が挙げられるが、これらに限定されない。

　前記ポリヒドロキシポリアミノ化合物としては、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、３，３’－ジヒドロキシベンジジン等が挙げられるが、これらに限定されない。

　キノンジアジド化合物（Ｃ）は、ポリヒドロキシ化合物の１，２－ナフトキノンジアジド－４－スルホン酸エステル又は１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸エステルであることが好ましい。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、キノンジアジド化合物（Ｃ）を５質量部～５０質量部、好ましくは１０質量部～４５質量部又は２０質量部～５０質量部、より好ましくは１３質量部～４０質量部含む。キノンジアジド化合物（Ｃ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として５質量部以上であると、高感度を実現することができる。キノンジアジド化合物（Ｃ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として５０質量部以下であるとアルカリ現像性が良好である。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、キノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤として、例えば、トリクロロメチル－ｓ－トリアジン化合物、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩などのオニウム塩、第四級アンモニウム塩、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、又はオキシムスルホネート化合物を含んでいてもよい。一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物のキノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．５質量部以下であり、好ましくは０．３質量部以下であり、より好ましくは０．１質量部以下である。ポジ型感光性樹脂組成物は、キノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤を含まないことが好ましい。

［エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）をさらに含んでもよい。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）はアルカリ水溶液可溶性樹脂である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）はフェノール性水酸基以外のアルカリ可溶性官能基を有していてもよい。フェノール性水酸基及び他のアルカリ可溶性官能基は酸分解性基で保護されていてもよい。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）は、例えば、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物（以下、「エポキシ化合物」と表記することがある。）のエポキシ基の一部と、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基を反応させることで得ることができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のエポキシ基は、現像後の加熱処理（ポストベーク）時にフェノール性水酸基との反応により架橋を形成し、これにより被膜の耐薬品性、耐熱性などを向上させることができる。フェノール性水酸基は現像時のアルカリ水溶液に対する可溶性に寄与することから、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）は、低露光量で露光したときに酸分解性基が十分に分解（脱保護）されなかったアクリル樹脂（Ａ）の溶解促進剤としても機能し、これにより感光性樹脂組成物を高感度にすることができる。

　エポキシ化合物が有するエポキシ基の１つと、ヒドロキシ安息香酸化合物のカルボキシ基とが反応し、フェノール性水酸基を有する化合物となる反応の例を次の反応式２に示す。

　１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としては、例えばフェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ化合物は、１分子中に２個以上のエポキシ基を有していればよく、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。これらの化合物は熱硬化型であるため、当業者の常識として、エポキシ基の有無、官能基の種類、重合度などの違いからその構造を一義的に記載することができない。ノボラック型エポキシ樹脂の構造の一例を式（４）に示す。式（４）において、例えば、Ｒ^９は、水素原子、炭素原子数１～５のアルキル基、炭素原子数１～２のアルコキシ基又は水酸基であり、ｍは１～５０の整数である。

　フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばＥＰＬＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社製）、ｊＥＲ（登録商標）－１５２（三菱ケミカル株式会社製）等が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社製）、ＥＯＣＮ（登録商標）－１０２Ｓ（日本化薬株式会社製）等が挙げられる。ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばｊＥＲ（登録商標）８２８、ｊＥＲ（登録商標）１００１（三菱ケミカル株式会社製）、ＹＤ－１２８（商品名、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製）等のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ｊＥＲ（登録商標）８０６（三菱ケミカル株式会社製）、ＹＤＦ－１７０（商品名、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製）等のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂等が挙げられる。ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばｊＥＲ（登録商標）ＹＸ－４０００、ｊＥＲ（登録商標）ＹＬ－６１２１Ｈ（三菱ケミカル株式会社製）等が挙げられる。ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂としては、例えばＮＣ－７０００（商品名、日本化薬株式会社製）、ＥＸＡ－４７５０（商品名、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばＥＨＰＥ（登録商標）－３１５０（ダイセル化学工業株式会社製）等が挙げられる。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばＴＥＰＩＣ（登録商標）、ＴＥＰＩＣ－Ｌ、ＴＥＰＩＣ－Ｈ、ＴＥＰＩＣ－Ｓ（日産化学工業株式会社製）等が挙げられる。

　１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物はノボラック型エポキシ樹脂であることが好ましく、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びクレゾールノボラック型エポキシ樹脂からなる群より選択される少なくとも１種であることがより好ましい。ノボラック型エポキシ樹脂に由来するエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）を含むポジ型感光性樹脂組成物は、パターン形成性に優れており、アルカリ溶解性の調節が容易であり、アウトガスが少ない。

　ヒドロキシ安息香酸化合物は、安息香酸の２～６位の少なくとも１つが水酸基で置換された化合物であり、例えばサリチル酸、４－ヒドロキシ安息香酸、２，３－ジヒドロキシ安息香酸、２，４－ジヒドロキシ安息香酸、２，５－ジヒドロキシ安息香酸、２，６－ジヒドロキシ安息香酸、３，４－ジヒドロキシ安息香酸、３，５－ジヒドロキシ安息香酸、２－ヒドロキシ－５－ニトロ安息香酸、３－ヒドロキシ－４－ニトロ安息香酸、４－ヒドロキシ－３－ニトロ安息香酸等が挙げられ、アルカリ現像性を高める点でジヒドロキシ安息香酸化合物が好ましい。ヒドロキシ安息香酸化合物は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　一実施態様では、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（５）

の構造を有する。式（５）において、ｂは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す。

　エポキシ化合物とヒドロキシ安息香酸化合物から、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）を得る方法では、エポキシ化合物のエポキシ基１当量に対して、ヒドロキシ安息香酸化合物を０．２～０．９５当量使用することができ、好ましくは０．３～０．９当量、さらに好ましくは０．４～０．８当量使用する。ヒドロキシ安息香酸化合物が０．２当量以上であれば十分なアルカリ溶解性を得ることができ、０．９５当量以下であれば副反応による分子量増加を抑制することができる。

　エポキシ化合物とヒドロキシ安息香酸化合物の反応を促進させるために触媒を使用してもよい。触媒の使用量は、エポキシ化合物及びヒドロキシ安息香酸化合物からなる反応原料混合物１００質量部を基準として０．１～１０質量部とすることができる。反応温度は６０～１５０℃、反応時間は３～３０時間とすることができる。この反応で使用する触媒としては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルホスフィン、オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム等が挙げられる。

　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の数平均分子量（Ｍｎ）は、５００～８０００であることが好ましく、８００～６０００であることがより好ましく、１０００～５０００であることがさらに好ましい。数平均分子量が５００以上であれば、アルカリ溶解性が適切なため感光性材料の樹脂として良好であり、８０００以下であれば、塗工性及び現像性が良好である。

　一実施態様では、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のエポキシ当量は、３００～７０００であり、好ましくは４００～６０００であり、より好ましくは５００～５０００である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のエポキシ当量が３００以上であれば、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）に十分なアルカリ溶解性を発現させることができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）のエポキシ当量が７０００以下であれば、硬化後の塗膜の強度を高めることができる。エポキシ当量は、ＪＩＳ　Ｋ　７２３６：２００９によって決定される。

　一実施態様では、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の水酸基当量は、１６０～５００であり、好ましくは１７０～４００であり、より好ましくは１８０～３００である。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の水酸基当量が１６０以上であれば、硬化後の塗膜の強度を高めることができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の水酸基当量が５００以下であれば、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）に十分なアルカリ溶解性を付与することができる。水酸基当量は、ＪＩＳ　Ｋ　００７０：１９９２によって決定される。

　一実施態様では、ポジ型感光性樹脂組成物は、固形分１００質量％を基準として、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）を５質量％～５０質量％、好ましくは１０質量％～４０質量％、より好ましくは１５質量％～３０質量％含む。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として５質量％以上であると、露光部の溶解を促進して高感度を実現することができ、熱硬化後の被膜の安定性及び耐久性を確保することができる。エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）の含有量が、固形分１００質量％を基準として５０質量％以下であると、未露光部の溶解性を低く抑えて残膜率を高く保つことができる。

［第３樹脂（Ｅ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は、アクリル樹脂（Ａ）及びエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）以外の第３樹脂（Ｅ）をさらに含んでもよい。第３樹脂（Ｅ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　第３樹脂（Ｅ）として、例えば、アクリル樹脂（Ａ）以外のアクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体、シリコーン樹脂、環状オレフィンポリマー、カルド樹脂、及びこれらの樹脂の誘導体が挙げられる。例えば、フェノール樹脂の誘導体として、アルケニル基がベンゼン環に結合したポリアルケニルフェノール樹脂、ポリスチレン樹脂の誘導体として、フェノール性水酸基とヒドロキシアルキル基又はアルコキシ基とがベンゼン環に結合したヒドロキシポリスチレン樹脂誘導体などが挙げられる。これらの樹脂はアルカリ可溶性官能基を有してもよく、有さなくてもよい。

　一実施態様では、第３樹脂（Ｅ）は、複数のフェノール性水酸基を有するアクリル樹脂であって、複数のフェノール性水酸基が酸分解性基で保護されていないもの、すなわちアクリル樹脂（Ａ）において全ての酸分解性基が脱保護されたものである。そのようなアクリル樹脂は、アクリル樹脂（Ａ）との相溶性に優れており、かつアルカリ溶解性が高いことから、被膜のアルカリ溶解性の調整に好適に使用することができる。

　第３樹脂（Ｅ）の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の用途に要求される特性を損なわない範囲で、適宜決定することができる。

［溶解促進剤（Ｆ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は、現像時にアルカリ可溶性部分の現像液への溶解性を向上させるための溶解促進剤（Ｆ）をさらに含んでもよい。溶解促進剤（Ｆ）として、カルボキシ基を有する化合物及びフェノール性水酸基を有する化合物からなる群より選択される有機低分子化合物が挙げられる。溶解促進剤（Ｆ）は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　本開示において「低分子化合物」とは分子量１０００以下の化合物をいう。上記有機低分子化合物は、カルボキシ基又は複数のフェノール性水酸基を有しておりアルカリ可溶性である。

　そのような有機低分子化合物としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘミメリット酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸；ジヒドロキシ安息香酸、トリヒドロキシ安息香酸、没食子酸等の芳香族ヒドロキシカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸；カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、１，２，４－ベンゼントリオール、ピロガロール、フロログルシノール、ビスフェノール等の芳香族ポリオールなどが挙げられる。

　ポジ型感光性樹脂組成物中の溶解促進剤（Ｆ）の含有量は、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．１質量部～５０質量部とすることができ、好ましくは１質量部～３５質量部であり、より好ましくは２質量部～２０質量部である。溶解促進剤（Ｆ）の含有量が、上記合計１００質量部を基準として０．１質量部以上であれば、樹脂成分の溶解を効果的に促進することができ、５０質量部以下であれば樹脂成分の過度の溶解を抑制して、被膜のパターン形成性、表面品質等を高めることができる。

［任意成分（Ｇ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は、任意成分（Ｇ）として、熱硬化剤、界面活性剤、（Ｂ）以外の着色剤等を含むことができる。本開示において、任意成分（Ｇ）は（Ａ）～（Ｆ）のいずれにも当てはまらないものと定義する。

　熱硬化剤として、熱ラジカル発生剤を使用することができる。好ましい熱ラジカル発生剤としては、有機過酸化物を挙げることができ、具体的にはジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔｅｒｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔｅｒｔ－ブチルパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の１０時間半減期温度が１００～１７０℃の有機過酸化物等を挙げることができる。

　熱硬化剤の含有量は、熱硬化剤を除く固形分の合計１００質量部を基準として、５質量部以下が好ましく、より好ましくは４質量部以下であり、さらに好ましくは３質量部以下である。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、例えば塗工性を向上させるため、被膜の平滑性を向上させるため、又は被膜の現像性を向上させるために、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル類等のノニオン系界面活性剤；メガファック（登録商標）Ｆ－２５１、同Ｆ－２８１、同Ｆ－４３０、同Ｆ－４４４、同Ｒ－４０、同Ｆ－５５３、同Ｆ－５５４、同Ｆ－５５５、同Ｆ－５５６、同Ｆ－５５７、同Ｆ－５５８、同Ｆ－５５９（以上、商品名、ＤＩＣ株式会社製）、サーフロン（登録商標）Ｓ－２４２、同Ｓ－２４３、同Ｓ－３８６、同Ｓ－４２０、同Ｓ－６１１（以上、商品名、ＡＣＧセイミケミカル株式会社製）等のフッ素系界面活性剤；オルガノシロキサンポリマーＫＰ３２３、ＫＰ３２６、ＫＰ３４１（以上、商品名、信越化学工業株式会社製）等が挙げられる。これらの界面活性剤は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　界面活性剤の含有量は、界面活性剤を除く固形分の合計１００質量部を基準として、２質量部以下が好ましく、より好ましくは１質量部以下であり、さらに好ましくは０．５質量部以下である。

　ポジ型感光性樹脂組成物は、黒色着色剤（Ｂ）以外の第２着色剤を含有することができる。第２着色剤として、染料、有機顔料、無機顔料等が挙げられ、目的に合わせて用いることができる。第２着色剤は、本発明の開示の効果を損なわない含有量で使用することができる。

　染料としては、例えば、アゾ系染料、ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料、メロシアニン系染料、スチルベン系染料、ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、フルオラン系染料、スピロピラン系染料、フタロシアニン系染料、インジゴ系染料、フルギド系染料、ニッケル錯体系染料、及びアズレン系染料等が挙げられる。染料の中でも赤色染料が好ましい。赤色染料として、例えば、ＶＡＬＩＦＡＳＴ（登録商標）ＲＥＤ　３３１２（ソルベントレッド１２２のＣ．Ｉ．で規定される赤色染料、オリエント化学工業株式会社製）、及びＶＡＬＩＦＡＳＴ（登録商標）ＲＥＤ　３３１１（ソルベントレッド８のＣ．Ｉ．で規定される赤色染料、オリエント化学工業株式会社製）が挙げられる。

　顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、２４、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４８、１５３、１５４、１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、４３、５１、５５、５９、６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：４、２２、６０、６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５、２６等を挙げることができる。

［コーティング組成物］
［溶媒（Ｈ）］
　ポジ型感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｈ）に溶解させて溶液状態（但し、黒色顔料を含むときは、顔料は分散状態である。）のコーティング組成物として用いることができる。例えば、アクリル樹脂（Ａ）と、任意にエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）及び第３樹脂（Ｅ）とを溶媒（Ｈ）に溶解して得られた溶液に、黒色着色剤（Ｂ）、及びキノンジアジド化合物（Ｃ）、並びに必要に応じて溶解促進剤（Ｆ）、熱硬化剤、界面活性剤等の任意成分（Ｇ）を所定の割合で混合することにより、ポジ型感光性樹脂組成物のコーティング組成物を調製することができる。コーティング組成物は、溶媒（Ｈ）の量を変化させることにより使用する塗布方法に適した粘度に調整することができる。

　溶媒（Ｈ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール化合物、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート化合物、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、４－ヒドロキシ－４－メチル－２－ペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルブタン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ－ブチロラクトン等のエステル、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド化合物が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

　コーティング組成物は、アクリル樹脂（Ａ）、黒色着色剤（Ｂ）、キノンジアジド化合物（Ｃ）、並びに必要に応じてエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）、第３樹脂（Ｅ）、溶解促進剤（Ｆ）、又は任意成分（Ｇ）を、溶媒（Ｈ）に溶解又は分散して混合することにより調製することができる。使用目的により、コーティング組成物の固形分濃度を適宜決定することができる。例えば、コーティング組成物の固形分濃度は１～６０質量％としてもよく、３～５０質量％、又は５～４０質量％としてもよい。

　顔料を使用する場合の分散混合方法については公知の方法を使用することができる。例えば、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ペイントシェーカー、ロッキングミルなどのボール型、ニーダー、パドルミキサー、プラネタリミキサー、ヘンシェルミキサーなどのブレード型、３本ロールミキサーなどのロール型、その他としてライカイ機、コロイドミル、超音波、ホモジナイザー、自転・公転ミキサーなどを使用してもよい。分散効率及び微分散化の観点からビーズミルを使用することが好ましい。

　調製されたコーティング組成物は、通常、使用前にろ過される。ろ過の手段としては、例えば孔径０．０５～１．０μｍのミリポアフィルター等が挙げられる。

　このように調製されたコーティング組成物は、長期間の貯蔵安定性にも優れている。

［ポジ型感光性樹脂組成物の使用方法］
　ポジ型感光性樹脂組成物を放射線リソグラフィーに使用する場合、まず、ポジ型感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製する。次に、コーティング組成物を基板表面に塗布し、加熱等の手段により溶媒を除去して、被膜を形成することができる。基板表面へのコーティング組成物の塗布方法は特に限定されず、例えばスプレー法、ロールコート法、スリット法、スピンコート法等を使用することができる。

　コーティング組成物を基板表面に塗布した後、通常、加熱により溶媒を除去して被膜を形成する（プリベーク）。加熱条件は各成分の種類、配合割合等によっても異なるが、通常７０～１３０℃で、例えばホットプレート上なら３０秒～２０分間、オーブン中では１～６０分間加熱処理をすることによって被膜を得ることができる。

　次にプリベークされた被膜に所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線（例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線、ガンマ線、シンクロトロン放射線等）等を照射する（露光工程）。好ましい放射線は、２５０～４５０ｎｍの波長を有する紫外線乃至可視光線である。一実施態様では、放射線はｉ線である。別の実施態様では、放射線はｇｈｉ線である。

　露光工程の後、酸分解性基の分解を促進させるための加熱処理（ＰＥＢ）を行ってもよい。ＰＥＢにより露光部のアクリル樹脂（Ａ）のアルカリ可溶性をより高めることができる。加熱条件は各成分の種類、配合割合等によっても異なるが、通常７０～１４０℃で、例えばホットプレート上なら３０秒～２０分間、オーブン中では１～６０分間加熱処理をすることによってＰＥＢを行うことができる。

　一実施態様では、露光工程の後のＰＥＢを省略することができる。

　露光工程又はＰＥＢ工程の後、被膜を現像液に接触させることにより現像し、不要な部分を除去して被膜にパターンを形成する（現像工程）。現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類；エチルアミン、ｎ－プロピルアミン等の第一級アミン類；ジエチルアミン、ジ－ｎ－プロピルアミン等の第二級アミン類；トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三級アミン類；ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類；水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン等の第四級アンモニウム塩；ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン、１，５－ジアザビシクロ［４．３．０］－５－ノナン等の環状アミン等のアルカリ化合物の水溶液を用いることができる。アルカリ水溶液に、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒、界面活性剤等を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像時間は通常３０～１８０秒間である。現像方法は液盛り法、シャワー法、ディッピング法等のいずれでもよい。現像後、流水洗浄を３０～９０秒間行い、不要な部分を除去し、圧縮空気又は圧縮窒素で風乾させることによって、被膜にパターンを形成することができる。

　その後、パターンが形成された被膜を、ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、例えば１００～３５０℃で、２０～２００分間加熱処理をすることによって硬化被膜を得ることができる（ポストベーク、加熱処理工程）。加熱処理において、温度を一定に維持してもよく、温度を連続的に上昇させてもよく、段階的に上昇させてもよい。加熱処理は、窒素雰囲気下で行うことが好ましい。

　ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）は、膜厚１μｍあたり０．５以上であることが好ましく、０．７以上であることがより好ましく、１．０以上であることがさらに好ましい。硬化被膜のＯＤ値が膜厚１μｍあたり０．５以上であれば、十分な遮光性を得ることができる。

　一実施態様の有機ＥＬ素子隔壁又は絶縁膜の製造方法は、ポジ型感光性樹脂組成物を溶媒に溶解又は分散してコーティング組成物を調製すること、コーティング組成物を基材に塗布して被膜を形成すること、被膜に含まれる溶媒を除去して被膜を乾燥すること、乾燥した被膜に放射線をフォトマスク越しに照射して被膜を露光することにより、アクリル樹脂（Ａ）の酸分解性基の少なくとも一部を分解すること、露光後の被膜を現像液に接触させることにより現像して、被膜にパターンを形成すること、及びパターンが形成された被膜を１００℃～３５０℃の温度で加熱処理して、有機ＥＬ素子隔壁又は絶縁膜を形成することを含む。露光後かつ現像前に上記のＰＥＢを行うこともできる。

　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁である。

　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜である。

　一実施態様は、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子である。

　以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこの実施例に限定されない。

（１）原料
　実施例及び比較例で使用した原料を以下のとおり製造又は入手した。

　アクリル樹脂（Ａ）、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）及び第３樹脂（Ｅ）の重量平均分子量及び数平均分子量に関しては、以下の測定条件で、ポリスチレンの標準物質を使用して作成した検量線を用いて算出した。
　装置名：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＧＰＣ－１０１
　カラム：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＬＦ－８０４
　移動相：テトラヒドロフラン
　流速：１．０ｍＬ／分
　検出器：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＲＩ－７１
　温度：４０℃

［製造例１］フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとその他の重合性単量体のアルカリ水溶液可溶性共重合体（ＰＣＸ－０２ｅ）（第３樹脂（Ｅ））の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２９．０ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）５．１２ｇを、溶媒である１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）９６．５ｇに、重合開始剤としてＶ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）３．４１ｇを、１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）１３．７ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８５℃に加熱した１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）４０．０ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８５℃で３時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を８１５ｇのトルエン中に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、９０℃で４時間真空乾燥し白色の粉体を３２．４ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０２ｅの数平均分子量は３１００、重量平均分子量は６６００であった。

［製造例２］フェノール性水酸基が１－ｎ－プロポキシエチル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＰＯＥ５８％）の製造
　１００ｍＬの３つ口型フラスコ中で、フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとその他の重合性単量体のアルカリ水溶液可溶性共重合体（ＰＣＸ－０２ｅ）１０．０ｇ、及び酸触媒としてｐ－トルエンスルホン酸のピリジニウム塩（東京化成工業株式会社製）０．６０ｇを、テトラヒドロフラン（富士フイルム和光純薬株式会社製）４０．０ｇに溶解させた。その後窒素ガス雰囲気下で氷冷し、ｎ－プロピルビニルエーテル（東京化成工業株式会社製）５．３３ｇを１時間かけて滴下した。その後室温で４時間撹拌した。飽和炭酸水素ナトリウム水溶液で酸触媒を中和した後、水層を除去した。さらに有機層を水で２回洗浄した。その後、テトラヒドロフランを留去した。得られた固体を酢酸エチル５０．０ｇに溶解させ、２００ｇのトルエン中に滴下し、生成物を沈殿させた。沈殿物をろ過により回収し、８０℃で４時間真空乾燥して白色の粉体１１．０ｇを回収した。得られた粉体をプロピレングリコールモノメチルアセテートに溶解し、フェノール性水酸基が１－ｎ－プロポキシエチル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＰＯＥ５８％）の固形分２０質量％溶液を得た。得られたＰＣＸ－０２ｅ－ＰＯＥ５８％の数平均分子量は４５００、重量平均分子量は８４００、酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合は５８モル％、少なくとも１つのフェノール性水酸基が酸分解性基で保護されている式（３）で表される構造単位の数はアクリル樹脂（Ａ）の全構造単位数の４９％であった。酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合は、熱重量示差熱分析装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００、株式会社日立ハイテクサイエンス製）を用い、窒素ガス気流中、昇温速度１０℃／分の条件下で室温から２５０℃まで昇温し、１０分保持し、さらに昇温速度１０℃／分の条件で４００℃まで昇温したときの、２６０℃におけるアクリル樹脂（Ａ）の重量減少率（％）より算出した。

［製造例３］フェノール性水酸基が２－テトラヒドロフラニル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ５５％）の製造
　ｎ－プロピルビニルエーテルに代えて２，３－ジヒドロフラン（東京化成工業株式会社製）３．００ｇを用いた以外は製造例２と同様にして白色の粉体１１．０ｇを回収した。得られた粉体をプロピレングリコールモノメチルアセテートに溶解し、フェノール性水酸基が２－テトラヒドロフラニル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ５５％）の固形分２０質量％溶液を得た。得られたＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ５５％の数平均分子量は３６００、重量平均分子量は６９００、酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合は５５モル％、少なくとも１つのフェノール性水酸基が酸分解性基で保護されている式（３）で表される構造単位の数はアクリル樹脂（Ａ）の全構造単位数の４７％であった。

［製造例４］フェノール性水酸基が２－テトラヒドロフラニル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ２９％）の製造
　テトラヒドロフランを５０．０ｇ、２，３－ジヒドロフランを２．３４ｇ用いた以外は製造例２と同様にして白色の粉体１０．０ｇを回収した。得られた粉体をプロピレングリコールモノメチルアセテートに溶解し、フェノール性水酸基が２－テトラヒドロフラニル基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）（ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ２９％）の固形分２０質量％溶液を得た。得られたＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ２９％の数平均分子量は３７００、重量平均分子量は６８００、酸分解性基で保護されているフェノール性水酸基の割合は２９モル％、少なくとも１つのフェノール性水酸基が酸分解性基で保護されている式（３）で表される構造単位の数はアクリル樹脂（Ａ）の全構造単位数の２５％であった。

［製造例５］エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）（Ｎ７７０ＯＨ７０）の製造
　３００ｍＬの３つ口型フラスコに溶媒としてγ－ブチロラクトン（三菱ケミカル株式会社製）７５．２ｇ、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としてＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－７７０（ＤＩＣ株式会社製フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量１８８）を３７．６ｇ仕込み、窒素ガス雰囲気下、６０℃で溶解させた。そこへヒドロキシ安息香酸化合物として３，５－ジヒドロキシ安息香酸（富士フイルム和光純薬株式会社製）を２０．１ｇ（エポキシ１当量に対して０．６５当量）、反応触媒としてトリフェニルホスフィン（東京化成工業株式会社製）を０．１７３ｇ（０．６６０ｍｍｏｌ）追加し、１１０℃で５６時間反応させた。反応溶液を室温に戻し、γ－ブチロラクトンで固形分２０質量％に希釈し、溶液をろ過して２８６．５ｇのエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｎ７７０ＯＨ７０）の溶液を得た。得られた反応物の数平均分子量は２２００、重量平均分子量は６９００、エポキシ当量は２０００であった。

［製造例６］エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）（Ｎ６９５ＯＨ７０）の製造
　１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物としてＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）Ｎ－６９５（ＤＩＣ株式会社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２１４）を４２．８ｇ、反応触媒としてトリフェニルホスフィン（東京化成工業株式会社製）を０．１６６ｇ（０．６６０ｍｍｏｌ）を用い、１１０℃で２１時間反応させた以外は製造例５と同様にして３０４．２ｇのエポキシ基及びフェノール性水酸基を有する第２樹脂（Ｎ６９５ＯＨ７０）の溶液を得た。得られた反応物の数平均分子量は３０００、重量平均分子量は７５００、エポキシ当量は２２００であった。

［製造例７］フェノール性水酸基を有するα－アルキルアクリル酸エステルとその他の重合性単量体のアルカリ水溶液可溶性共重合体（ＰＣＸ－０１）（第３樹脂（Ｅ））の製造
　４－ヒドロキシフェニルメタクリレート（昭和電工株式会社製「ＰＱＭＡ」）２８．０ｇ、及びＮ－シクロヘキシルマレイミド（株式会社日本触媒製）７．８９ｇを、溶媒である１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）７７．１ｇに、重合開始剤としてＶ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製）３．６６ｇを、１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）１４．６ｇにそれぞれ完全に溶解させた。得られた２つの溶液を、３００ｍＬの３つ口型フラスコ中、窒素ガス雰囲気下で８５℃に加熱した１－メトキシ－２－プロピルアセテート（株式会社ダイセル製）６１．２ｇに同時に２時間かけて滴下し、その後８５℃で３時間反応させた。室温まで冷却した反応溶液を８１５ｇのトルエン中に滴下し、共重合体を沈殿させた。沈殿した共重合体をろ過により回収し、９０℃で４時間真空乾燥し白色の粉体を３３．４ｇ回収した。得られたＰＣＸ－０１の数平均分子量は６６００、重量平均分子量は１１６００であった。

アクリル樹脂（Ａ）
　アクリル樹脂（Ａ）として、ＰＣＸ－０２ｅ－ＰＯＥ５８％、ＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ５５％、及びＰＣＸ－０２ｅ－ＴＨＦ２９％を使用した。

黒色着色剤（Ｂ）
　黒色着色剤（Ｂ）として、黒色染料であるＶＡＬＩＦＡＳＴ（登録商標）ＢＬＡＣＫ　３８２０（ソルベントブラック２７のＣ．Ｉ．で規定される黒色染料、オリエント化学工業株式会社製）を使用した。

キノンジアジド化合物（Ｃ）
　キノンジアジド化合物（Ｃ）としてキノンジアジド系光酸発生剤であるキノンジアジド化合物ＴＳ－１５０Ａ（４、４’－［１－［４－［１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（ＴｒｉｓＰ－ＰＡ）と６－ジアゾ－５，６－ジヒドロ－５－オキソナフタレン－１－スルホン酸（１，２－ナフトキノンジアジド－５－スルホン酸）とのエステル、東洋合成工業株式会社製）を使用した。ＴＳ－１５０Ａの構造を以下に示す。

　その他の光酸発生剤として、オキシム系光酸発生剤であるＰＡＧ－１０３（２－［２－（プロピルスルホニルオキシイミノ）チオフェン－３（２Ｈ）－イリデン］－２－（２－メチルフェニル）アセトニトリル、ＢＡＳＦ社製、ＣＡＳ　Ｎｏ．８５２２４６－５５－０）を使用した。ＰＡＧ－１０３は光照射により１－プロパンスルホン酸（ｐＫａ＝－２．８）を発生させる。ＰＡＧ－１０３の構造を以下に示す。

　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）として、Ｎ７７０ＯＨ７０、及びＮ６９５ＯＨ７０を使用した。

　第３樹脂（Ｅ）としてＰＣＸ－０２ｅ、ＰＣＸ－０１、及びＴＲ４０２０Ｇ（クレゾールノボラック樹脂、旭有機材工業株式会社製）を使用した。

　溶解促進剤（Ｆ）としてフロログルシノール及びアジピン酸を使用した。

（２）評価方法
　実施例及び比較例で使用した評価方法は以下のとおりである。

［プリベーク後膜厚、現像後膜厚、及び硬化後膜厚］
　ガラス基板（大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍ）にポジ型感光性樹脂組成物を乾燥膜厚が２．４～４．５μｍになるようにバーコートし、表１に示す条件で、ホットプレート上で加熱してプリベークを行った。乾燥膜厚を光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定して、プリベーク後膜厚（μｍ）とした。その後、超高圧水銀ランプを組み込んだ露光装置（商品名マルチライトＭＬ－２５１Ａ／Ｂ、ウシオ電機株式会社製）で石英製のフォトマスク（φ１０μｍの開口パターンを有するもの）を介して被膜を１００ｍＪ／ｃｍ^２（ｉ線照度）で露光した。露光量は紫外線積算光量計（商品名ＵＩＴ－１５０　受光部　ＵＶＤ－Ｓ３６５、ウシオ電機株式会社製）を用いて測定した。露光後、ＰＥＢを行わずに、又はホットプレート上１１０℃で２４０秒間又は２８０秒間被膜を加熱してＰＥＢを行った後、スピン現像装置（ＡＤ－１２００、滝沢産業株式会社製）を用い２．３８質量％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液で６０秒間アルカリ現像を行なった。アルカリ現像後の未露光部の膜厚を再び光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定して、現像後膜厚（μｍ）とした。さらに、被膜をイナートオーブン（ＤＮ４１１Ｉ、ヤマト科学株式会社製）内にて２５０℃で６０分加熱して硬化した。硬化後の未露光部の膜厚を再び光学式膜厚測定装置（Ｆ２０－ＮＩＲ、フィルメトリクス株式会社製）を用いて測定して、硬化後膜厚（μｍ）とした。

［アルカリ溶解性］
　プリベーク後膜厚（μｍ）から現像後膜厚（μｍ）を引いたものをアルカリ溶解性（μｍ）とした。この値が小さいほど、未露光部の耐アルカリ溶解性が高いと言える。

［ホール径］
　硬化後塗膜に形成されているホールの直径をマイクロスコープ（ＶＨＸ－６０００、キーエンス株式会社製）で測定し、ホール径とした。

（３）ポジ型感光性樹脂組成物の調製及び評価
［実施例１～７、及び比較例１～７］
　表１に記載の組成でアクリル樹脂（Ａ）、エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）及び第３樹脂（Ｅ）を混合して溶解し、得られた溶液に、表１に記載の黒色着色剤（Ｂ）、キノンジアジド化合物（Ｃ）又はその他の光酸発生剤、及び溶解促進剤（Ｆ）を加えてさらに混合した。成分が溶解したことを目視で確認した後、孔径０．２２μｍのミリポアフィルターで濾過し、固形分濃度１２質量％のポジ型感光性樹脂組成物を調製した。表１における組成の質量部は固形分換算値である。実施例１～７、及び比較例１～７のポジ型感光性樹脂組成物の評価結果を表１に示す。表１の評価結果のホール径において、「０」とはホールが開口しなかったことを意味する。また、「ｎ．ａ．」はホールが開口しない又はパターンが形成できず、測定できなかったことを意味する。

　実施例１～５ではＰＥＢを行わなかったにも拘らず、ホール径は６．４μｍ以上であり、高い解像度でホールを形成することができた。実施例６及び７に示すようにＰＥＢを行うこともできる。

　アクリル樹脂（Ａ）を含まない比較例１～３では、ホールが開口しないか（比較例１及び３）、未露光部も完全に溶解してしまいパターンが形成できなかった（比較例２）。実施例５の光酸発生剤をキノンジアジド化合物（Ｃ）からＰＡＧ－１０３に変更した比較例４では未露光部が多量に溶解してしまい、パターンが形成できなかった。実施例６の光酸発生剤をキノンジアジド化合物（Ｃ）からＰＡＧ－１０３に変更した比較例５では、実施例６と比較してパターン形成性が低下（ホール径が減少）したのに対して、比較例５のＰＥＢ時間を４０秒延長した比較例６では、未露光部が多量に溶解してしまい、パターンが形成できなかった。比較例５及び６の結果から、ＰＡＧ－１０３を用いた化学増幅系では、ＰＥＢ条件のプロセスウィンドウが狭いことが分かる。なお、比較例５及び比較例６と同じ組成のポジ型感光性樹脂組成物についてＰＥＢを行わなかった比較例７では、ホールが開口しなかった。

　本実施形態によるポジ型感光性樹脂組成物は、有機ＥＬ素子の隔壁又は絶縁膜を形成する放射線リソグラフィーに好適に利用することができる。本実施形態によるポジ型感光性樹脂組成物から形成された隔壁又は絶縁膜を備えた有機ＥＬ素子は、良好なコントラストを示す表示装置の電子部品として好適に使用される。

Claims

　複数のフェノール性水酸基を有し、前記複数のフェノール性水酸基の少なくとも一部が酸分解性基で保護されたアクリル樹脂（Ａ）と、
　黒色染料及び黒色顔料からなる群より選択される少なくとも１種の黒色着色剤（Ｂ）と、
　光酸発生剤としてキノンジアジド化合物（Ｃ）と
を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アクリル樹脂（Ａ）が、式（３）

で表される構造単位を有し、式（３）において、Ｒ^１は炭素原子数１～５のアルキル基であり、Ｒ^５は前記酸分解性基であり、ｒは０～５の整数であり、ｓは０～５の整数であり、但しｒ＋ｓは１～５の整数であり、前記アクリル樹脂（Ａ）が、ｓが１以上の整数である前記構造単位を少なくとも１つ有する、請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アクリル樹脂（Ａ）が、式（２）

で表される構造単位をさらに有する共重合体であり、式（２）において、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１～３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１～３のアルキル基、又はハロゲン原子であり、Ｒ^４は、水素原子、炭素原子数１～６の直鎖若しくは炭素原子数４～１２の環状アルキル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基及び炭素原子数１～６のアルコキシ基からなる群より選択される少なくとも１種で置換されていてもよいフェニル基である、請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アクリル樹脂（Ａ）が式（３）で表される前記構造単位を６０モル％～１００モル％含む、請求項２又は３のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、２０質量部～５０質量部の前記キノンジアジド化合物（Ｃ）を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記キノンジアジド化合物（Ｃ）以外の光酸発生剤の含有量が、樹脂成分の合計１００質量部を基準として、０．５質量部以下である、請求項１～５のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アクリル樹脂（Ａ）の前記酸分解性基が、式（６）
－ＣＲ^６Ｒ^７－Ｏ－Ｒ^８　　（６）
で表される基であり、式（６）中、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して水素原子、又は炭素原子数１～４の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であり、Ｒ^８は、炭素原子数１～１２の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、炭素原子数７～１２のアラルキル基、又は炭素原子数２～１２のアルケニル基であり、Ｒ^６又はＲ^７の一方とＲ^８とが結合して環員数３～１０の環構造を形成してもよく、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選ばれるハロゲン原子で置換されていてもよい、請求項１～６のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記アクリル樹脂（Ａ）のフェノール性水酸基の１０モル％～９５モル％が前記酸分解性基で保護されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計質量を基準として、３０質量％～９０質量％の前記アクリル樹脂（Ａ）を含む、請求項１～８のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　樹脂成分の合計１００質量部を基準として、１０質量部～１５０質量部の前記黒色着色剤（Ｂ）を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記ポジ型感光性樹脂組成物の硬化被膜の光学濃度（ＯＤ値）が膜厚１μｍあたり０．５以上である、請求項１～１０のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）をさらに含む、請求項１～１１のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記エポキシ基及びフェノール性水酸基を有する樹脂（Ｄ）が、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物とヒドロキシ安息香酸化合物との反応物であって、式（５）

の構造を有する化合物であり、式（５）において、ｂは１～５の整数であり、＊は、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物の、反応にかかるエポキシ基を除く残基との結合部を表す、請求項１２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する化合物がノボラック型エポキシ樹脂である、請求項１３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　前記ヒドロキシ安息香酸化合物がジヒドロキシ安息香酸化合物である、請求項１３又は１４のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
　請求項１～１５のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子隔壁。
　請求項１～１５のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子絶縁膜。
　請求項１～１５のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。