WO2002084689A1 - Procede de fabrication d'un mur de cloison pour les panneaux d'affichage sur ecrans plasma au moyen du jet de sable - Google Patents

Procede de fabrication d'un mur de cloison pour les panneaux d'affichage sur ecrans plasma au moyen du jet de sable Download PDF

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WO2002084689A1
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pattern
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plasma display
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Inventor
Akihiro Fujinaga
Kazunori Ishizuka
Tatsutoshi Kanae
Kazuhide Iwasaki
Toshiyuki Nanto
Yoshimi Kawanami
Masayuki Shibata
Yasuhiko Kunii
Tadayoshi Kosaka
Osamu Toyoda
Yoshimi Shirakawa
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Fujitsu Limited
Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited
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    • H01J2211/368—Dummy spacers, e.g. in a non display region

Definitions

  • the present invention relates to a method for forming a partition for manufacturing a plasma display panel (PDP) having a partition in a display area.
  • PDP plasma display panel
  • the arrangement pattern of the partition walls includes a stripe pattern that divides the display area into columns (columns) of a matrix display and a mesh pattern that divides the display area into cells.
  • a stripe pattern When a stripe pattern is employed, a plurality of barrier ribs having a band shape in plan view are arranged in the display area.
  • a mesh pattern When a mesh pattern is used, one partition (so-called box rib) having a plan view shape that individually surrounds all cells is arranged in the display area.
  • the partition is a fired body of low-melting glass and is formed by a sand blast method.
  • FIG. 12 shows a conventional partition wall forming method.
  • the partition pattern in the figure is a stripe pattern.
  • the partition is formed by the following procedure.
  • A A low-melting glass paste is applied on a glass substrate 101 in a uniform thickness and dried, and a layered partition wall 102 made of the dried paste is used as a photosensitive resist film 1 as a mask material. Coat with 0 3 a.
  • Pattern A mask 103 of a pattern corresponding to the partition is formed by photolithography including exposure and development.
  • C Partition material by spraying cutting material 1 Cut off the unmasked part of 0 2a.
  • the spray nozzle is reciprocated along the length direction of the plurality of bands in the mask pattern, and the wide range of the partition wall material 102a is dug down little by little.
  • the mask 103 remaining on the patterned partition wall material 102b is removed.
  • the partition wall 112 is obtained by firing the partition wall material 102 b. In firing, the volume of the partition wall material 102b decreases with the disappearance of the pinda.
  • a side cut is formed at the end of the mask 103 in the nozzle moving direction so that the partition wall material 102b is recessed below the mask 103. .
  • a part of the cutting material ejected from the nozzle is reflected by the glass substrate 101 and collides with the one coming out of the nozzle, and has a moving component parallel to the nozzle moving direction.
  • the side cut amount increases as the cutting rate increases. It is considered that the reason for this is that when the amount of cutting material spouted per unit time is increased, the proportion of the above components increases.
  • a jet This side cut causes mask peeling during cutting, which is a cause of patterning failure.
  • the side cuts prevent formation of a uniform height partition wall 112.
  • the partition wall material 102 b whose end face is curved as shown in FIG. 12 (D) is fired, the end portion of the partition wall 112 becomes higher than the other portions as shown in FIG. 12 (E).
  • a barrier with a height design value of 140 jm has a height of about 200 m before firing, and the height decreases to about 70% by firing. The end is 30 im higher than the rest.
  • This phenomenon is called "bounce", and is caused by the fact that the bottom is in close contact with the glass substrate 101 and contraction is restricted, while the top is free.
  • the bouncing occurs when assembling a PDP that overlaps a substrate with partition walls 1 1 2 with another substrate. Imperfect adhesion between substrates.
  • the substrate is locally vibrated by the electrostatic attraction accompanying the application of a high-frequency drive voltage for display, which causes a slight operating noise (buzz sound). Occurs.
  • This phenomenon was investigated by examining the correlation with the amount of bounce of each part of the panel, and found that the amount of bounce was made to be 16 m or less, which is about 1 Z2 at present, and preferably 12 m or less in consideration of manufacturing variations. It was found that it could be prevented.
  • An object of the present invention is to form a partition having a pattern and a height as designed in a display region without generating a protrusion that hinders close contact between substrates. Disclosure of the invention
  • partition wall forming method when a partially masked partition wall material is patterned by spraying a cutting material, a sub-partition wall connected to a partition wall (main partition) in the display area is formed outside the display area.
  • the partition wall material is masked so that side cuts are formed outside the display area, and the sub-partitions are formed in a grid pattern to increase the area where side cuts are likely to occur, thereby reducing the side cut depth. I do. If the side cut is slight, mask peeling is unlikely to occur, and there is almost no jump during firing.
  • the partition wall material is masked so that an auxiliary partition wall for reducing side cuts of the sub partition wall is formed outside the sub partition wall. Protruding the edge of the auxiliary partition wall from the display area has a great effect of protecting the sub partition wall during cutting.
  • the auxiliary partition walls are also prevented from jumping up so as not to hinder the adhesion of the substrate.
  • the auxiliary partition pattern is a ring pattern. If it is annular, it The concentration of power is eased and jumping is less likely to occur.
  • the dimensions of the pattern should be less than a certain value. Specifically, it is set to 240 m or less.
  • FIG. 1 is a schematic view of a sand blasting apparatus used for carrying out the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing a mask pattern of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the band width of the mask pattern and the amount of jump.
  • FIG. 4 is a plan view showing a mask pattern according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a partially enlarged view of the mask pattern of the second embodiment.
  • FIG. 6A is a diagram showing a first modification of the sub-mask pattern.
  • FIG. 6 (B) is a diagram showing a second modification of the sub-mask pattern.
  • FIG. 6 (C) is a diagram showing a third modification of the sub-mask pattern.
  • FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the shape of the corner of the sub-mask and the amount of jump.
  • FIG. 8 is a plan view showing a first modification of the auxiliary mask pattern.
  • FIG. 9 is a plan view showing a second modification of the auxiliary mask pattern.
  • FIG. 10 is a plan view showing a third modification of the auxiliary mask pattern.
  • FIG. 11 is a plan view showing a mask pattern of the third embodiment.
  • FIG. 12 (A) is a view showing a first stage of the conventional partition wall formation.
  • FIG. 12 (B) is a view showing a first stage of the conventional partition wall formation.
  • FIG. 12 (C) is a view showing a first stage of the conventional partition wall formation.
  • FIG. 12 (D) is a diagram showing the first stage of the conventional partition wall formation.
  • FIG. 12 (E) is a view showing a first stage of the conventional partition wall formation.
  • FIG. 1 is a schematic view of a sandblasting apparatus used for carrying out the present invention.
  • the sandblasting apparatus 90 includes a conveyor 91, four nozzles (also called blast guns) 92, 93, 94, 95, a flow control block 96, a filter 97, and a cyclone 98.
  • the conveyor 91 moves the work carried into the processing room slowly from left to right in the figure.
  • the nozzles 92, 93, 94, 95 move back and forth in a direction orthogonal to the workpiece transfer direction.
  • the flow control block 96 mixes the cutting material with the compressed gas and sends it to the nozzles 92, 93, 94, 95.
  • the cutting material is jetted from the tips of the nozzles 92, 93, 94, 95 to cut the workpiece.
  • the scattered cutting material is collected together with the cutting chips and sent to the filter 97.
  • Filler 97 has the function of removing cuttings as large as the cutting material.
  • the cyclone 98 separates the cutting material that has passed through the filter 97 from the fine chips.
  • the cutting material separated by the cyclone 98 is sent to the flow control block 96 for reuse.
  • the minute cuttings are sent to a dust collector.
  • FIG. 2 is a plan view showing a mask pattern of the first embodiment.
  • the partition pattern of the PDP of the first embodiment is a stripe pattern.
  • the bulkhead is Basically, in the same manner as in the conventional example of FIG. 12, a layered partition material 2 covering the entire surface of a glass substrate 1 as a panel material is patterned by sandplast, and then formed by firing the partition material 2. You.
  • the difference from the conventional example is that the mask 30 used for patterning extends over the display area 10 and the non-display areas 11 on both sides thereof.
  • the display area 10 is an area where cells are formed on the glass substrate 1, and corresponds to the display surface of the completed PDP.
  • the mask 30 is made of a photosensitive resist.
  • the size of the glass substrate 1 is, for example, 103 Omm X 65 Omm when a PDP having a size of 32 inches is manufactured.
  • the portion of the mask 30 located in the display area 10 (hereinafter referred to as the main mask) 3 is a stripe pattern corresponding to the partition to be formed, and a plurality of straight bands along the vertical direction in the figure.
  • Consists of The pattern of a portion (hereinafter, referred to as a sub-mask) 4 of the mask 30 disposed outside the display area 10 is a pattern that partitions the strip-shaped area 13 along the edge of the display area 10 into a grid. And a band corresponding to the extension of the pattern of the display area 10 and a plurality of bands orthogonal to the band.
  • the sub-mask 4 prevents excessive cutting of both ends of each band in the stripe pattern. Since the outer edge ⁇ ⁇ of the sub-mask 4 is continuous over the entire length in the left-right direction (that is, the transport direction during cutting) in the display area 10, the amount of the cutting material per unit area directly injected onto the end face of the sub-mask 4 Is less than in the case of discontinuity. As a result, the side cut on the end face of the sub mask 4 is reduced. Is done.
  • the presence of the sub-mask 4 causes the cutting material bounced off the sub-mask 4 and the cutting material directly flying from the nozzle to interfere with each other, so that the progress of cutting at both ends of the main mask 3 and the progress of the center portion are different. Become even.
  • the mask is less likely to be peeled off by reducing the side cuts and the bounce during baking is small, it is possible to form a partition having a pattern and a height as designed in the display area so as not to hinder the adhesion between the substrates.
  • the adhesion between the substrates does not become incomplete.
  • FIG. 3 is a graph showing the relationship between the band width of the mask pattern and the amount of jump.
  • the amount of jump depends on the band width in the pattern (sub-pan) of the sub-mask 4. Regardless of whether the band width of the main mask 3 pattern (main pattern) is 80 m or 160 m, the band width of the sub-pattern, that is, the band width of the partition wall formed in a direction orthogonal to the stripe-shaped partition wall is set. If it is set to 240, the amount of jump will be the minimum. By setting the sub-pattern bandwidth to a value within the range of 160 m to 320 m, the jumping can be reduced.
  • the side cut depth is 50, but when the side cut amount is almost 0 by an auxiliary partition described later, when the band width of the sub pattern is 240 m, The amount of jump can be reduced to 12 m or less.
  • FIG. 4 is a plan view showing a mask pattern of the second embodiment
  • FIG. 5 is a partially enlarged view of the mask pattern of the second embodiment.
  • the partition pattern of the PDP of the second embodiment is also a stripe pattern.
  • the partition wall is formed by sanding a layered partition wall material 2b covering the entire surface of the glass substrate 1b using a mask 30b in which a main mask 3b and a sub mask 4b are integrated. It is formed by a procedure of patterning by last and then firing the partition wall material 2b.
  • the second embodiment has the following three features.
  • the auxiliary mask 5 is formed on both sides of the mask 30b apart from the mask 30b.
  • the outermost band of the partition walls formed in the direction orthogonal to the stripe-shaped partition walls is thicker than the band forming the pattern of the main mask 3b.
  • the auxiliary mask 5 has a function of adjusting the jet flow in the nozzle movement direction in order to more reliably reduce the side cut of the portion masked by the sub-mask 4b.
  • the pattern of the auxiliary mask 5 on one side is a stripe pattern in which seven strips long in the transport direction are arranged in parallel, and the left and right ends of the auxiliary mask 5 protrude by a length L11 from the mask 30b. . This protrusion enhances the effect of jet conditioning.
  • L 1 is the width of a band other than both ends of the array in the display area 10,
  • L2 is the width of the outermost band
  • L3 is the width of the non-outermost band in the non-display area 11.
  • the nozzle is moved in the vertical direction in the figure as described above.
  • the cutting material is first sprayed onto the auxiliary mask 5 arranged in the upper or lower non-display area 11, then the cutting material is sprayed onto the sub-mask 4b, and then the main mask 3b
  • the cutting material is sprayed.
  • Cutting is Ma
  • the auxiliary mask 5 has a function of preventing excessive cutting of the sub-mask 4b. If the auxiliary mask 5 is peeled off and blown off, the sub-mask 4b prevents excessive cutting of the main mask 3b.
  • FIG. 6 shows a variation of the corner pattern.
  • the corner of the sub-mask 4c in Fig. 6 (A) has a shape in which the outer edge is at a right angle and one grid is filled.
  • the corner of the sub-mask 4d in Fig. 6 (B) is a large arc with a radius twice the lattice spacing.
  • the corners of the sub-mask 4e in FIG. 6 (C) are elliptical arcs that are long to the left and right. As shown in Fig.
  • the amount of bounce depends on the shape of the corner.
  • the amount of bounce is smaller in an arc than in a corner with a sharp corner, and the amount of bounce is smaller in an arc with a larger radius than in an arc with a smaller radius.
  • Even a small radius arc can achieve a jump of 16 or less, which is effective in reducing operating noise.However, considering manufacturing variations, use a large radius arc with a jump of 12 m or less. It is desirable.
  • FIG. 8 is a plan view showing a first modification of the auxiliary mask pattern.
  • the pattern of the auxiliary mask 5b is a left and right elongated triple ring pattern composed of a semicircular arc and a straight line.
  • the pattern of the auxiliary mask 5b is a partially interrupted ring pattern. Since the ring is divided by the slit 51a, when partial mask peeling occurs during the whole cutting of one ring, only a part of one ring is blown off. It is unlikely that the entire ring will be blown off.
  • the ring pattern is a pattern connecting both ends of the strip in the stripe pattern, and is less likely to peel off than the stripe pattern. Since both ends of the ring including the innermost ring protrude from the mask 30b, the function of protecting the mask 30b is great.
  • FIG. 9 is a plan view showing a second modification of the auxiliary mask pattern.
  • the pattern of the partition mask 3b arranged in the display area 10 is a mesh pattern.
  • the auxiliary mask 5c is arranged near a mask 30c composed of the main mask 3b and the sub-mask 4b.
  • the pattern of the auxiliary mask 5C is a stripe pattern in which a plurality of bands shorter than the total length in the left-right direction in the display area 10 are arranged along the transport direction like a plurality of discontinuous lines parallel to each other.
  • the jet can be controlled by setting the width of the slit 55 that divides the stripe band. There is also an effect that a portion blown off when the mask peels off is small.
  • the slits 5 5 are arranged such that the discontinuous points are shifted between a plurality of discontinuous lines, thereby preventing the jet from being locally strengthened in the sub-mask 4 b. , And protrudes by a length L11.
  • the band closest to the mask 30b does not protrude from the mask 30b. The reason for this is that stripping of the band that most contributes to protection of the mask 30b is unlikely to occur. If this band is separated at an early stage, the side cut amount of the sub-partition wall is larger than when other bands are separated. By not projecting the end of the band against the mask 3 Ob, the jet pressure at the end of the band is reduced.
  • FIG. 10 is a plan view showing a third modification of the auxiliary mask pattern.
  • the partition pattern is a mesh pattern.
  • the pattern of the auxiliary mask 5d is a stripe pattern in which a number of bands sufficiently shorter than the entire length in the transport direction in the display area 10 are arranged along the transport direction like a plurality of discontinuous lines parallel to each other. In this pattern, it is important that the length of the stripe band be in the range of 0.05 mm to 200 mm. The longer the belt, the easier it is to get entangled with the movable mechanism of the conveyor 91 (see Fig. 1) when blown off.
  • Entangling of the mask pieces is not preferable from the viewpoint of stable transport and cleaning of the conveyor 91.
  • the above range is a condition that has no entanglement and can be easily collected at Phil 97.
  • the interval between short strips arranged in a line is preferably about 1/5 of the length of the strip.
  • FIG. 11 is a plan view showing a mask pattern of the third embodiment.
  • the third embodiment is applied to a multiple-panel manufacturing process in which a plurality of PDP partition walls are collectively formed on one substrate, and then the substrate is divided.
  • the example in Fig. 11 shows an example in which three PDP bulkheads are formed at a time, and each of the three display areas 10a, 10b, and 10c in the figure corresponds to one PDP bulkhead. Yes, it is.
  • the partition pattern of the PDP of the third embodiment is also a stripe pattern.
  • the partition wall is similar to the first embodiment,
  • the layered partition member 2c that covers the entire surface of the glass substrate 1c using a mask 30b that is integrated with the mask is patterned by sandplast, and then the partition member 2c is baked.
  • the size of the glass substrate 1 c is, for example, 1460 mm ⁇ 1050 mm in the case of manufacturing a 32-inch PDP.
  • the display areas 10a, 10b, and 10c are arranged at intervals along the vertical direction in the figure, and one mask 30b is arranged for each. Then, the auxiliary masks 6a, 7a, 6b, 7b are formed in the non-display areas 1la, 11b between the adjacent display areas simultaneously with the formation of the mask 30b.
  • the auxiliary masks 6a, 7a, 6b, and 7b alleviate the jet pressure on the sub partition formed by the mask 30b.
  • auxiliary masks 6a, 7a, 6b, and 7b By arranging the auxiliary masks 6a, 7a, 6b, and 7b at locations where large jet pressure is applied, it is possible to prevent the mask 30b from peeling off, whereby the partition walls as designed are displayed. 10a, 10b, and 10c.
  • one photomask of a size corresponding to one PDP is used. Step exposure pattern exposure is performed. For this reason, auxiliary masks are actually formed on both sides of each of the display regions 10a, 10b, and 10c as shown in the figure.
  • the jumping amount is 12 m or less over the entire partition forming portion including the sub partitioning portion and its corners, and the auxiliary partitioning portion. Even if the variation between panels is taken into account, it can be reduced to 16 m or less. Operating noise (buzz noise) due to vibration during driving of the robot.
  • the present invention has been described using various embodiments and modified examples. However, the present invention is not limited to these embodiments, and can be implemented in various forms. Industrial applicability
  • the partition wall forming method according to the present invention can form a partition having a pattern and a height as designed in a display region without generating a projection that hinders close contact between substrates. It is useful in providing a plasma display panel that increases the production yield of a plasma display panel due to a defect and does not generate vibration noise due to poor adhesion between substrates.

Description

サンドブラストを用いるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法
技術分野
この発明は、 表示領域内に隔壁を有したプラズマディスプレイパネル (Plasma Display Panel： P D P ) を製造するための隔壁形成方法 明
に関し、 サンドブラスト法による隔壁形成に適用される。
田 背景技術
カラー表示に用いられる面放電型 P D Pは、 隣り合うセルどうしの間 の放電干渉を防止するための隔壁を有する。 隔壁の配置パターンには、 表示領域をマトリクス表示の列 （カラム） ごとに区画するストライプパ ターンと、 セルごとに区画するメッシュパターンとがある。 ストライプ パターンを採用する場合には、 平面視帯状の複数の隔壁が表示領域に配 置される。 メッシュパターンを採用する場合には、 全てのセルを個々に 囲む平面視形状をもった 1つの隔壁 （いわゆるボックスリブ） が表示領 域に配置される。
一般に隔壁は低融点ガラスの焼成体であり、 サンドブラスト法を用い て形成される。 第 1 2図は従来の隔壁形成方法を示す。 同図における隔 壁パターンはストライプパターンである。 隔壁は次の手順で形成される 。 （A) ガラス基板 1 0 1上に低融点ガラスペーストを均一な厚みで塗 布して乾燥させ、 乾燥したペーストからなる層状の隔壁材 1 0 2 aをマ スク材料である感光性レジスト膜 1 0 3 aで被覆する。 （B ) パターン 露光および現像を含むフォトリソグラフィによって、 隔壁に対応したパ ターンのマスク 1 0 3を形成する。 （C ) 切削材を吹き付けて隔壁材 1 0 2 aのマスキングされていない部分を切削する。 このとき、 マスクパ ターンにおける複数の帯の長さ方向に沿って噴射ノズルを往復移動させ て広範囲の隔壁材 1 0 2 aを均等に少しずつ掘り下げる。 （D ) パター ニングされた隔壁材 1 0 2 bの上に残ったマスク 1 0 3を除去する。 （ E ) 隔壁材 1 0 2 bの焼成によって隔壁 1 1 2を得る。 焼成においては パインダの消失に伴って隔壁材 1 0 2 bの体積が減少する。
第 1 2図 （C ) のように、 サンドブラストではマスク 1 0 3のノズル 移動方向の端部において、 隔壁材 1 0 2 bがマスク 1 0 3の下方へ入り 込むように抉られるサイドカツ卜が生じる。 これはノズルから噴出され た切削材の一部が、 ガラス基板 1 0 1で反射し、 かつノズルから出たも のとぶつかることにより、 ノズル移動方向と平行な移動成分をもつよう になり、 このような成分をもった切削材が隔壁端部を抉るためである。 サイドカツト量は切削レートを高くするほど多くなる。 その理由として 、 単位時間あたりの切削材の噴出する量を増やした場合、 上記成分の割 合が多くなるためと考えられる。 以下、 サイドカットを引き起こす上記 の成分を噴流と呼ぶ。 このサイドカットは、 パターニング不良の原因で ある切削途中でのマスク剥離を引き起こす。 加えて、 サイドカットは、 均一な高さの隔壁 1 1 2を形成することを妨げる。 第 1 2図 （D ) のよ うに端面が湾曲した隔壁材 1 0 2 bを焼成すると、 第 1 2図 （E ) のよ うに隔壁 1 1 2の端部が他の部分よりも高くなる。 具体的には、 高さの 設計値が 1 4 0 j mの隔壁においては、 焼成前は約 2 0 0 mの高さを 有しており、 焼成により高さが約 7 0 %に減少するとともに端部が他の 部分よりも 3 0 i m高くなる。 この現象は "跳ね上がり" と呼ばれ、 そ の原因は底部はガラス基板 1 0 1に密着して収縮が拘束されるのに対し 、 頂部は自由であることにより生じるものである。 跳ね上がりは、 隔壁 1 1 2を有した基板と他の基板とを重ねる P D Pの組み立てにおいて、 基板どうしの密着を不完全にする。 密着すべき面どうしの間に隙間があ る P D Pでは、 表示のための高周波駆動電圧の印加にともなう静電吸引 によって基板が局部的に振動し、 それによつて微かな動作音 （バズ音） が生じる。 この現象は、 パネル各部の跳ね上がり量との相関を調べたと ころ、 跳ね上がり量を現状の約 1 Z 2である 1 6 m以下、 製造のばら つきを考えると望ましくは 1 2 m以下にすることにより防止できるこ とが判明した。
本発明は、 基板どうしの密着に支障となる突起を生じさせることなく 、 表示領域にパターンおよび高さが設計どおりの隔壁を形成することを 目的としている。 発明の開示
本発明による隔壁形成方法は、 部分的にマスキングした隔壁材を切削 材の吹き付けによってパターニングする際に、 表示領域の外側に表示領 域の中の隔壁 （メイン隔壁） と繋がったサブ隔壁を形成するように隔壁 材をマスキングし、 それによつてサイドカツトを表示領域の外側で生じ させ、 加えて、 サブ隔壁を格子状パターンとしてサイドカットの起き易 い部位を広範囲にすることによってサイドカツトの深さを低減する。 サ イドカットが軽微であれば、 マスク剥離は起こりにくく、 かつ焼成時の 跳ね上がりはほとんどない。
また、 より好ましい実施形態では、 サブ隔壁のサイドカットをより低 減する補助隔壁をサブ隔壁の外側に形成するように隔壁材をマスキング する。 補助隔壁の端縁を表示領域より突出させると、 切削時におけるサ ブ隔壁を保護する効果が大きい。 補助隔壁についても、 基板の密着に支 障が生じないようにするために跳ね上がりを防止する。 防止策として、 補助隔壁パターンをリングパターンとする。 環状であれば、 熱収縮の応 力集中が緩和されて跳ね上がりが起こりにくい。 他の防止策として、 パ ターンの寸法を一定値以下とする。 具体的には 2 4 0 m以下とする。 厚さ 2 0 0 mの隔壁材を焼成して高さ 1 4 0； mの隔壁を形成する場 合に、 サイドカツ卜の深さ方向のパターン寸法が 2 4 0 以下であれ ば、 サイドカット深さが 5 0 であっても跳ね上がりはごく僅かであ る。 複数個の P D Pの隔壁を同時に形成する場合には、 基板の中央部で は端部と比べて切削材の逃げが少なくてサイドカツ卜が進み易いので、 少なくとも隣り合う表示領域の間に補助隔壁を設けるのが好ましい。 本 発明による隔壁形成方法の他の種々の構成については図面を参照しなが ら後述する。 図面の簡単な説明
第 1図は本発明の実施に用いるサンドブラスト装置の概略図である。 第 2図は第 1実施形態のマスクパターンを示す平面図である。
第 3図はマスクパターンの帯幅と跳ね上がり量との関係を示す図であ る。
第 4図は第 2実施形態のマスクパターンを示す平面図である。
第 5図は第 2実施形態のマスクパターンの部分拡大図である。
第 6図 （A) はサブマスクパターンの第 1変形例を示す図である。 第 6図 （B ) はサブマスクパターンの第 2変形例を示す図である。 第 6図 （C ) はサブマスクパターンの第 3変形例を示す図である。 第 7図はサブマスクの隅部の形状と跳ね上がり量との関係を示す図で ある。
第 8図は補助マスクパターンの第 1変形例を示す平面図である。 第 9図は補助マスクパターンの第 2変形例を示す平面図である。 第 1 0図は補助マスクパターンの第 3変形例を示す平面図である。 第 1 1図は第 3実施形態のマスクパターンを示す平面図である。 第 1 2図 （A) は従来の隔壁形成の第 1段階を示す図である。
第 1 2図 （B) は従来の隔壁形成の第 1段階を示す図である。
第 1 2図 （C) は従来の隔壁形成の第 1段階を示す図である。
第 1 2図 （D) は従来の隔壁形成の第 1段階を示す図である。
第 1 2図 （E) は従来の隔壁形成の第 1段階を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
添付の図面に従って、 本発明をより詳細に説明する。
第 1図は本発明の実施に用いるサンドブラス卜装置の概略図である。 サンドブラスト装置 90は、 コンベア 9 1、 4つのノズル （ブラストガ ンともいう） 9 2, 9 3, 94， 9 5、 流量制御ブロック 9 6、 フィル 夕 9 7、 およびサイクロン 9 8を備えている。 コンベア 9 1は、 加工室 に搬入されたワークをゆつくりと図の左から右へ移動させる。 ノズル 9 2, 9 3， 94, 9 5は、 ワークの搬送方向に対して直交する方向に往 復移動する。 流量制御ブロック 96は、 切削材を圧縮ガスに混合してノ ズル 92， 9 3， 94, 9 5へ送る。 切削材は、 ノズル 92 , 9 3， 9 4, 9 5の先端から噴出してワークを削る。 飛散した切削材は切削屑と ともに回収されてフィルタ 9 7に送られる。 フィル夕 9 7は、 切削材ょ り大きい切削屑を取り除く役割をもつ。 サイクロン 9 8は、 フィル夕 9 7を通過した切削材と微小な切削屑とを分離する。 サイクロン 9 8で分 離された切削材は、 再利用するために流量制御ブロック 96へ送られる 。 微小な切削屑は集塵機へ送られる。
(第 1実施形態）
第 2図は第 1実施形態のマスクパターンを示す平面図である。 第 1実 施形態の PD Pの隔壁パターンはストライプパターンである。 隔壁は、 基本的には第 1 2図の従来例と同様に、 パネル材料であるガラス基板 1 の全面を覆う層状の隔壁材 2をサンドプラストによってパターニングし 、 その後に隔壁材 2を焼成する手順で形成される。 従来例との差異は、 パターニングに用いるマスク 3 0が表示領域 1 0とその両側の非表示領 域 1 1とに跨ることである。 表示領域 1 0とは、 ガラス基板 1における セルが形成される領域であり、 完成した P D Pの表示面に対応する。 な お、 隔壁材 2の形成については、 従来例と同様に低融点ガラスペースト をガラス基板 1に塗布して乾燥させる方法、 および低融点ガラスのダリ —ンシートをガラス基板 1に貼り付ける方法がある。 マスク 3 0は感光 性レジストからなる。 ガラス基板 1のサイズは、 例えば 3 2インチサイ ズの P D Pを製造する場合において 1 0 3 O mm X 6 5 O mmである。 マスク 3 0における表示領域 1 0に配置される部分 （以下、 メインマ スクという） 3のパターンは形成すべき隔壁に対応したストライプパタ —ンであり、 図の上下方向に沿った複数の真っ直ぐな帯からなる。 マス ク 3 0における表示領域 1 0の外側に配置される部分 （以下、 サブマス クという） 4のパターンは、 表示領域 1 0の端縁に沿った帯状の領域 1 3を格子状に区画するパターンであり、 表示領域 1 0のパターンの延長 に相当する帯とそれらと直交する複数の帯とからなる。
ストライプパターンの切削では、 帯の長さ方向に沿ってノズルを移動 させるのが効果的である。 図の上下方向がノズル移動方向である。 ノズ ルと隔壁材 2とを相対的に往復移動させる切削工程において、 サブマス ク 4はストライプパターンにおける個々の帯の両端の過剰切削を防止す る。 サブマスク 4の外端緣は表示領域 1 0における左右方向 （つまり、 切削時の搬送方向） の全長にわたって連続しているので、 サブマスク 4 の端面に直接に噴射される単位面積当たりの切削材の量は不連続の場合 よりも少ない。 これにより、 サブマスク 4の端面のサイドカットは軽減 される。 そして、 サブマスク 4の存在によって、 サブマスク 4で跳ね返 つた切削材とノズルから直接に飛来した切削材とが相互に干渉するので 、 メインマスク 3の両端部における切削の進行と中央部の進行とが均等 になる。
サイドカツトの軽減によってマスク剥離が起こりにくくなるとともに 、 焼成における跳ね上がりが軽微になるので、 基板どうしの密着に支障 のないように、 表示領域にパターンおよび高さが設計どおりの隔壁を形 成することができるとともに、 表示領域の外側にサブ隔壁を設けること によつて基板どうしの密着が不完全になることもない。
第 3図はマスクパターンの帯幅と跳ね上がり量との関係を示すグラフ である。 図のように跳ね上がり量はサブマスク 4のパターン （サブパ夕 —ン） における帯幅に依存する。 メインマスク 3のパターン （メインパ ターン） における帯幅が 8 0 m、 1 6 0 mいずれの場合にも、 サブ パターンの帯幅、 つまりストライプ状隔壁と直交する方向に形成した隔 壁の帯幅を 2 4 0 とすれば、 跳ね上がり量が最小となる。 サブパタ 一ンの帯幅を 1 6 0 ^ m〜 3 2 0 mの範囲内の値に選定すれば、 跳ね 上がりを低減することができる。 なお、 第 3図の場合はサイドカット深 さが 5 0 の場合であるが、 後述の補助隔壁などによりサイドカツト 量をほとんど 0にすると、 サブパターンの帯幅を 2 4 0 mとした場合 において、 跳ね上がり量を 1 2 m以下にすることができる。
(第 2実施形態）
第 4図は第 2実施形態のマスクパターンを示す平面図、 第 5図は第 2 実施形態のマスクパターンの部分拡大図である。 第' 2実施形態の P D P の隔壁パターンもストライプパターンである。 隔壁は、 第 1実施形態と 同様に、 メインマスク 3 bとサブマスク 4 bとが一体になつたマスク 3 0 bを用いてガラス基板 1 bの全面を覆う層状の隔壁材 2 bをサンドブ ラストによってパターニングし、 その後に隔壁材 2 bを焼成する手順で 形成される。 第 2実施形態は次の 3つの特徴をもつ。
( 1 ) マスク 3 0 bの形成と同時に、 マスク 3 0 bの両側にマスク 3 0 bと離して補助マスク 5を形成する。
( 2 ) サブマスク 4 bのパターンを構成する帯で、 ストライプ状隔壁と 直交する方向に形成した隔壁のうち最外周の帯がメインマスク 3 bのパ 夕一ンを構成する帯よりも太い。
( 3 ) サブマスク 4 bの隅部は円弧状である。
補助マスク 5は、 サブマスク 4 bでマスキングされる部分のサイドカ ットをより確実に低減するために、 ノズル移動方向の噴流を調整する役 割をもつ。 片側の補助マスク 5のパターンは、 搬送方向に長い 7本の帯 が平行に並ぶストライプパターンであり、 補助マスク 5の左右の両端は マスク 3 0 bに対して長さ L 1 1だけ突出している。 この突出は噴流調 整の効果を高める。
また、 マスク 3 0 bのパターンを構成する帯の幅について次の関係が ある。
L 2 > L 1 > L 3
ここで、 L 1は表示領域 1 0における配列の両端以外の帯の幅であり、
L 2は最外周の帯の幅であり、 L 3は非表示領域 1 1における最外周以 外の帯の幅である。 このように最外周の帯幅を最も大きくすることによ り、 隔壁パターンにおける最外周の部分が消失してしまうパターニング 不良を防ぐことができる。
切削に際しては上述したとおり図の上下方向にノズルを移動させる。 ノズルの移動に伴って、 最初に上側または下側の非表示領域 1 1に配置 された補助マスク 5に切削材が噴射され、 次にサブマスク 4 bへ切削材 が噴射され、 さらにメインマスク 3 bへ切削材が噴射される。 切削はマ スクのパターン間隙が大きいほど速く進むので、 補助マスク 5に対する 切削作用が最も大きい。 補助マスク 5はサブマスク 4 bに対する過度の 切削を防止する機能をもつ。 補助マスク 5が剥離して吹き飛ばされた場 合には、 サブマスク 4 bがメインマスク 3 bに対する過度の切削を防止 する。
サブマスク 4 bの隅部を円弧状にすることは、 跳ね上がりの低減に有 効である。 その理由として、 焼成時の収縮による応力を分散させ、 局部 的に生じていた跳ね上がりを分散させ平均化することが重要であると考 えられる。 隅部のパターンについては第 6図に示す変形例がある。 第 6 図 （A) のサブマスク 4 cの隅部は、 外縁が直角で格子の 1つのマスが 埋まった形状である。 第 6図 （B ) のサブマスク 4 dの隅部は、 格子間 隔の 2倍の半径をもつ大きな円弧状である。 第 6図 （C ) のサブマスク 4 eの隅部は、 左右に長い楕円弧状である。 第 7図に示すとおり、 跳ね 上がり量は隅部の形状に依存する。 隅部が角張っているよりも円弧の方 が跳ね上がり量は少なく、 半径の小さい円弧よりも半径の大きい円弧の 方が跳ね上がり量は少ない。 半径の小さい円弧でも動作音の低減に効果 的な 1 6 以下の跳ね上がりを実現することができるが、 製造のばら つきを考えると、 半径の大きな円弧にして跳ね上がり量を 1 2 m以下 にしておくことが望ましい。
第 8図は補助マスクパターンの第 1変形例を示す平面図である。 補助 マスク 5 bのパターンは、 半円弧と直線とで構成される左右に細長い 3 重のリングパターンである。 ただし、 各リングの両端の半円弧にスリツ ト 5 1 aが形成されているので、 厳密には補助マスク 5 bのパターンは 部分的に途切れたリングパターンである。 スリット 5 1 aによってリン グが分断されているので、 1つのリングの全体が切削途中で部分的なマ スク剥離が生じたときに、 吹き飛ばされるのは 1つのリングの一部に限 られ、 1つのリングの全体が吹き飛ばされることは起こりにくい。 リングパターンはストライプパターンにおける帯の両端を連結したパ ターンであり、 ストライプパターンと比べて剥離が起こりにくい。 最も 内側のリングを含めて全てのリングの両端がマスク 3 0 bに対して突出 しているので、 マスク 3 0 bを保護する機能が大きい。
第 9図は補助マスクパターンの第 2変形例を示す平面図である。 この 例において表示領域 1 0に配置される隔壁マスク 3 bのパターンはメッ シュパターンである。 補助マスク 5 cは、 メインマスク 3 bとサブマス ク 4 bとで構成されるマスク 3 0 cの近傍に配置される。 補助マスク 5 Cのパターンは、 表示領域 1 0における左右方向の全長より短い複数の 帯が、 互いに平行な複数の不連続の線のように搬送方向に沿って並ぶス トライプパターンである。 このパターンでは、 ストライプの帯を分断す るスリット 5 5の幅の設定によって噴流を制御できる。 マスク剥離が生 じたときに吹き飛ばされる部分が少ないという効果もある。 スリット 5 5は複数の不連続の線どうしで不連続点がずれるように配置され、 これ によってサブマスク 4 bにおいて局所的に噴流が強まるのが防止される 補助マスク 5 cの両端はマスク 3 0 bに対して長さ L 1 1だけ突出し ている。 しかし、 ストライプパターンを構成する帯のうち、 マスク 3 0 bに最も近い帯はマスク 3 0 bに対して突出していない。 その理由は、 マスク 3 0 bの保護に最も寄与する帯の剥離を起こりにくくするためで ある。 この帯が早期に剥離してしまうと、 他の帯が剥離する場合と比べ て、 サブ隔壁のサイドカット量が多くなる。 帯の端をマスク 3 O bに対 して突出させないことにより、 帯の端における噴流圧力が弱まる。 なお 、 マスク 3 0 bに最も近い帯の形状は、 第 5図に示す実施形態の補助マ スクにおいても適用可能である。 第 1 0図は補助マスクパターンの第 3変形例を示す平面図である。 こ の例においても隔壁パターンはメッシュパターンである。 補助マスク 5 dのパターンは、 表示領域 1 0における搬送方向の全長より十分に短い 多数の帯が、 互いに平行な複数の不連続の線のように搬送方向に沿って 並ぶストライプパターンである。 このパターンにおいては、 ストライプ の帯の長さを 0 . 0 5 mm〜 2 0 0 mmの範囲内の値にすることが重要 である。 帯が長いほど、 吹き飛ばされたときにコンベア 9 1 (第 1図参 照） の可動機構に絡みつき易い。 マスク片の絡みつきは搬送の安定とコ ンベア 9 1の清掃の観点において好ましくない。 上述の範囲は、 絡みつ きがなく且つフィル夕 9 7で容易に回収可能な条件である。 線状に並ぶ 短い帯どうしの間隔としては、 帯の長さの 1 / 5程度が好適である。 さ らに、 跳ね上がりの低減を加味した好ましい条件は、 帯の幅および長さ 力 2 4 0 m ( = 0 . 2 4 mm) より小さいことである。 この条件を満 たすと、 幅方向と長さ方向とを問わず、 深さ 5 0 mのサイドカットが 生じても、 跳ね上がり量が数 m以下になることが実験によって確認さ れた。 これは帯が 2 4 0 より長いと、 長い部分の収縮により端部が 引っ張られて跳ね上がりとなつて現れるが、 短いと引っ張る部分が存在 しないので、 ほとんど跳ね上がらないと説明することができる。
(第 3実施形態）
第 1 1図は第 3実施形態のマスクパターンを示す平面図である。 第 3 実施形態は、 1枚の基板の上に複数個の P D Pの隔壁を一括に形成し、 その後に基板を分割する多面取り形式の製造工程に適用される。 第 1 1 図の例は 3個の P D Pの隔壁を一括形成する例を示し、 図中の 3つの表 示領域 1 0 a， 1 0 b , 1 0 cのそれぞれが 1つの P D Pの隔壁部分に 対応している。 第 3実施形態の P D Pの隔壁パターンもストライプパタ ーンである。 隔壁は、 第 1実施形態と同様に、 クとが一体になつたマスク 30 bを用いてガラス基板 1 cの全面を覆う 層状の隔壁材 2 cをサンドプラストによってパターニングし、 その後に 隔壁材 2 cを焼成する手順で形成される。 ガラス基板 1 cのサイズは、 例えば 32インチサイズの PD Pを製造する場合において 1460 mm X 1 050 mmである。
表示領域 1 0 a， 1 0 b, 10 cは図の上下方向に沿って間隔をあけ て並び、 それぞれに 1つのマスク 30 bが配置される。 そして、 隣り合 う表示領域の間の非表示領域 1 l a, 1 1 bに、 マスク 30 bの形成と 同時に補助マスク 6 a， 7 a, 6 b, 7 bが形成される。 補助マスク 6 a， 7 a, 6 b, 7 bはマスク 30 bによって形成されるサブ隔壁に対 する噴流圧力を緩和する。 表示領域の配列方向にノズルを移動させる場 合には、 移動方向におけるガラス基板 1 cの両端部よりも中間部の方が 大きな噴流圧力を受ける。 両端部では噴流の約半分がガラス基板 1じの 外側へ逃げるからである。 大きな噴流圧力を受ける部位に補助マスク 6 a, 7 a, 6 b， 7 bを配置することにより、 マスク 3 0 bの剥離を防 止することができ、 それによつて設計どおりの隔壁を表示領域 1 0 a, 1 0 b, 1 0 cに形成することができる。 なお、 3つのマスク 30 bお よび補助マスク 6 a, 7 a, 6 b, 7 bを形成するためのフォトリソグ ラフイエ程においては、 1個の P DPに対応する大きさの 1つのフォト マスクを 3回用いるステツパ形式のパターン露光を行う。 このため、 実 際には図示のようにいずれの表示領域 10 a, 1 0 b, 10 cについて も同様にそれぞれの両側に補助マスクが形成される。
以上、 本発明を適用することにより、 表示部を基準とした跳ね上がり に関して、 サブ隔壁部およびその隅部、 補助隔壁部を含む、 隔壁形成部 全域にわたって跳ね上がり量を 12 m以下、 製造される複数のパネル 間のばらつきを考慮に入れても 16 m以下に抑えることができ、 パネ ル駆動時の振動に伴う動作音 （バズ音） を抑制することができる。 以上、 本発明を種々の実施形態及び変形例を用いて説明したが、 本発 明はこれらの実施形態に限らず、 種々の形態で実施することが可能であ る。 産業上の利用可能性
以上のように、 本発明による隔壁形成方法は、 基板どうしの密着に支 障となる突起を生じさせることなく、 表示領域にパターンおよび高さが 設計どおりの隔壁を形成することができるので、 パターニング不良によ るプラズマディスプレイパネルの製造の歩留まりを高め、 且つ基板どう しの密着不良による振動音が生じないプラズマディスプレイパネルを提 供する上で有用である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . プラズマディスプレイパネルにおける放電空間を区画する隔壁を 形成するために、
パネル材料である基板の上に、 基板表面における表示領域とその外側 とを覆う層状の隔壁材を設け、
前記隔壁材の上に、 前記表示領域とその外側とに跨るパターニング用 のマスクを設け、 その際に前記マスクにおける前記表示領域に配置され る部分のパターンを前記隔壁に対応したパターンとし、 かつ前記マスク における前記表示領域の外側に配置される部分のパターンを、 前記表示 領域の端縁に沿った帯状の領域を格子状に区画するパターンとし、 前記マスクによって部分的に覆われた前記隔壁材をサンドプラス卜に よってパ夕一ニングし、
パターニングされた隔壁材を焼成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
2 . 前記マスクを、 前記表示領域とその第 1方向の両側とに跨るよう に設け、
サンドプラストによる前記隔壁材のパターニングにおいて、 切削材の 噴射口と前記隔壁材とを相対的に前記第 1方向に往復移動させる 請求項 1記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
3 . 前記マスクの形成と同時に、 前記マスクの前記第 1方向の外側に 前記マスクと離して補助マスクを形成する
請求項 2記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
4 . 前記補助マスクにおける前記第 1方向と直交する第 2方向の両端 が、 前記マスクに対して突出する
請求項 3記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
5 . 前記補助マスクのパターンは、 前記第 2方向に長い複数の帯が平 行に並ぶストライプパターンである
請求項 4記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
6 . 前記補助マスクのパターンは、 前記第 2方向に長い複数の細い帯 が平行に並び、 かつ少なくとも前記マスクに最も近い帯の両端が前記マ スクに対して突出しないストライプパターンである
請求項 4記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
7 . 前記補助マスクのパターンは、 前記第 2方向に細長いリングパ夕 ーンである
請求項 4記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
8 . 前記マスクの隅部は円弧状である
請求項 1記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
9 . 前記補助マスクのパターンは、 前記表示領域における前記第 2方 向の全長よりも短い多数の帯が、 互いに平行な複数の不連続の線のよう に前記第 2方向に沿つて並ぶパターンである
請求項 4記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
1 0 . 前記補助マスクのパターンにおける前記複数の不連続の線どう しで不連続点がずれている
請求項 9記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
1 1 . 前記補助マスクのパ夕一ンにおける前記帯の長さが、 0 . 0 5 mmから 2 0 0 mmの範囲内の値である
請求項 9記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
1 2 . 前記補助マスクのパターンにおける前記帯の幅および長さがと もに 2 4 0 mより小さい値である
請求項 9記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
1 3 . 前記マスクにおける前記表示領域の外側に配置される部分の格 子状パターンを構成する帯のうち少なくとも最外周に位置する帯の幅は 、 1 6 0 mから 3 2 0 /x mの範囲内の値である
請求項 1記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
1 4 . 複数のプラズマディスプレイパネルのそれぞれにおける放電空 間を区画する隔壁を同時に形成するために、
前記複数のプラズマディスプレイパネルのそれぞれに対応した表示領 域が一列に並ぶ大きさのパネル材料である基板の上に、 基板表面におけ る複数の表示領域とこれら表示領域のそれぞれの外側とを覆う層状の隔 壁材を設け、
前記隔壁材の上に、 前記表示領域ごとにその内側と外側とに跨るパ夕 一二ング用のマスクを設け、 その際に前記マスクにおける前記表示領域 に配置される部分のパターンを前記隔壁に対応したパターンとし、 かつ 前記マスクにおける前記表示領域の外側に配置される部分のパターンを 、 前記表示領域の端縁に沿った帯状の領域を格子状に区画するパターン とし、
前記マスクの形成と同時に、 少なくとも隣り合う前記マスクどうしの 間に、 前記マスクと離して補助マスクを形成し、
前記マスクおよび前記補助マスクによって部分的に覆われた前記隔壁 材をサンドプラストによってパターニングし、
パ夕一ニングされた隔壁材を焼成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
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KR1020087005766A KR100887033B1 (ko) 2001-04-09 2002-04-03 플라즈마 디스플레이 패널
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JP2002581544A JP4027233B2 (ja) 2001-04-09 2002-04-03 サンドブラストを用いるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法
TW091107473A TWI283883B (en) 2001-04-09 2002-04-12 Method for forming partitions of plasma display panel by sandblasting
US10/680,136 US6855026B2 (en) 2001-04-09 2003-10-08 Method for forming partitions of plasma display panel by using sandblasting process
US11/705,796 USRE41312E1 (en) 2001-04-09 2007-02-14 Method for forming partitions of plasma display panel by using sandblasting process
US12/328,197 USRE42405E1 (en) 2001-04-09 2008-12-04 Method for forming partitions of plasma display panel by using sandblasting process
US13/117,892 USRE44445E1 (en) 2001-04-09 2011-05-27 Method for forming partitions of plasma display panel by using sandblasting processing

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007123151A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネル
US7291377B2 (en) 2002-11-05 2007-11-06 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
WO2007138700A1 (ja) * 2006-05-31 2007-12-06 Hitachi Plasma Display Limited プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
US7466078B2 (en) 2004-08-30 2008-12-16 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7501759B2 (en) 2004-12-10 2009-03-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
JP2009140928A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Samsung Sdi Co Ltd プラズマディスプレイパネル、及びプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法
US7649314B2 (en) 2005-04-13 2010-01-19 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7683544B2 (en) 2005-09-29 2010-03-23 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel having buffer areas along the periphery of display area
CN108642440A (zh) * 2018-05-14 2018-10-12 昆山国显光电有限公司 掩膜板及掩膜组件

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100590769C (zh) * 2001-04-09 2010-02-17 富士通株式会社 利用喷砂形成等离子体显示面板的间隔壁的形成方法
JP4136799B2 (ja) * 2002-07-24 2008-08-20 富士フイルム株式会社 Ｅｌ表示素子の形成方法
KR100590040B1 (ko) * 2004-09-23 2006-06-14 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
KR100692028B1 (ko) 2004-11-23 2007-03-09 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
US7675234B2 (en) * 2005-08-31 2010-03-09 Chunghwa Picture Tubes, Ltd. Plasma display panel having honeycomb supporting structures
JP2008018518A (ja) * 2006-07-14 2008-01-31 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置
TW200830931A (en) * 2007-01-08 2008-07-16 Tatung Co Ltd Method for manufacturing the spacer for field emission device and base material utilized for the spacer
US8597288B2 (en) * 2008-10-01 2013-12-03 St. Jude Medical, Artial Fibrillation Division, Inc. Vacuum-stabilized ablation system
KR20100043498A (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법
TWI438160B (zh) * 2010-07-14 2014-05-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 玻璃加工設備
TW201208816A (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Fixing device and glass processing equipment using same
TWI438161B (zh) * 2010-10-12 2014-05-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 玻璃加工設備
WO2024039355A2 (en) * 2022-08-19 2024-02-22 Vestel Beyaz Esya Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi A control panel for domestic appliances

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745193A (ja) * 1993-07-30 1995-02-14 Dainippon Printing Co Ltd プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法
JPH11191377A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Hitachi Chem Co Ltd プラズマディスプレイパネルの障壁及びその製造法
JP2001236890A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Mitsubishi Electric Corp ガス放電表示パネル及びその製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW320732B (ja) * 1995-04-20 1997-11-21 Matsushita Electron Co Ltd
US5684362A (en) * 1995-07-25 1997-11-04 Sony Corporation Plasma addressed electro-optical device having a plasma discharge chamber
JPH09115452A (ja) * 1995-10-13 1997-05-02 Sumitomo Kinzoku Electro Device:Kk プラズマディスプレイパネルの障壁構造
JP3624992B2 (ja) * 1996-04-22 2005-03-02 富士通株式会社 表示パネルの隔壁形成方法
JPH10319875A (ja) * 1997-05-20 1998-12-04 Sony Corp プラズマアドレス表示装置の製造方法
JPH117897A (ja) 1997-06-13 1999-01-12 Hitachi Ltd ガス放電型表示パネルおよびそれを用いた表示装置
JP3427699B2 (ja) * 1997-10-17 2003-07-22 富士通株式会社 プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法
JP3705914B2 (ja) 1998-01-27 2005-10-12 三菱電機株式会社 面放電型プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
US6465956B1 (en) 1998-12-28 2002-10-15 Pioneer Corporation Plasma display panel
JP3599316B2 (ja) 1999-04-26 2004-12-08 パイオニア株式会社 プラズマディスプレイパネル
JP3569458B2 (ja) * 1999-03-26 2004-09-22 パイオニア株式会社 プラズマディスプレイパネル
JP2001052616A (ja) 1999-08-12 2001-02-23 Toray Ind Inc プラズマディスプレイ用部材およびそれを用いたプラズマディスプレイ
US6428945B1 (en) * 2001-02-13 2002-08-06 Au Optronics Corp. Method of forming barrier ribs used in a plasma display panel
CN100590769C (zh) * 2001-04-09 2010-02-17 富士通株式会社 利用喷砂形成等离子体显示面板的间隔壁的形成方法
CN1129947C (zh) * 2001-06-12 2003-12-03 友达光电股份有限公司 等离子显示器的阻隔壁的制造方法及显示器的后板结构

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745193A (ja) * 1993-07-30 1995-02-14 Dainippon Printing Co Ltd プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法
JPH11191377A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Hitachi Chem Co Ltd プラズマディスプレイパネルの障壁及びその製造法
JP2001236890A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Mitsubishi Electric Corp ガス放電表示パネル及びその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1388876A4 *

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7291377B2 (en) 2002-11-05 2007-11-06 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7466078B2 (en) 2004-08-30 2008-12-16 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7501759B2 (en) 2004-12-10 2009-03-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7649314B2 (en) 2005-04-13 2010-01-19 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel
US7683544B2 (en) 2005-09-29 2010-03-23 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel having buffer areas along the periphery of display area
US8138674B2 (en) 2005-09-29 2012-03-20 Samsung Sdi Co., Ltd. Phosphor layer and plasma display panel using the same
JP2007123151A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネル
WO2007138700A1 (ja) * 2006-05-31 2007-12-06 Hitachi Plasma Display Limited プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
JP2009140928A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Samsung Sdi Co Ltd プラズマディスプレイパネル、及びプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法
CN108642440A (zh) * 2018-05-14 2018-10-12 昆山国显光电有限公司 掩膜板及掩膜组件
CN108642440B (zh) * 2018-05-14 2019-09-17 昆山国显光电有限公司 掩膜板及掩膜组件
TWI690107B (zh) 2018-05-14 2020-04-01 大陸商昆山國顯光電有限公司 掩膜板及掩膜元件

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