TWI283883B - Method for forming partitions of plasma display panel by sandblasting - Google Patents

Description

1283883 A7 _B7 五、發明説明（1 ) <技術領域> 本發明係關於在顯示領域内為了製造具有隔板之電 漿顯示面板（Plasma Display Panel : PDP)之隔板形成方法， 適用於以喷砂機法形成隔板。 <背景技術> 使用於彩色顯示之面放電型PDP，係具有為了防止比 鄰元件相互之間的放電干涉之隔板。隔板的配置圖案具有 線條圖案與網狀圖案，該線條圖案，係將顯示領域區畫成 矩陣變換電路顯示之每列（立柱）；該網狀圖案，係區晝成 母個元件。採用線條圖案的場合，平面視帶狀之多數隔板 被配置於顯示領域。採用網狀圖案的場合，具有各個包圍 全部之元件之平面視形狀之1個隔板（所謂箱型肋條）被配 置於顯示領域。 一般，隔板為低溶點玻璃之培燒体，使用噴砂機法形 成。第12圖為表示習知之隔板形成方法。同圖中隔板圖案 為線條圖案。隔板係以其次之程序形成。（A)在玻璃基板1〇1 上，以均一之厚度塗敷低熔點玻璃膠並使其乾燥，以掩模 材料之感光性保護膜1 〇3a包覆由乾燥之膠所形成之層狀之 隔板材102a。（B)藉包含圖案露光及顯像之光蝕法，形成配 合隔板之圖案之掩模103。（C)噴上切削材並切削隔板材 102a之未被掩蔽之部分。此時，在掩模圖案中沿著多數帶 的長度方向使噴射噴嘴往復移動，均等的一點一點的往廣 範圍的隔板材102a的下面挖。⑼除去殘留在形成圖案之隔 板材l〇2b上之掩模103。（E)藉隔板材⑺几的焙燒得到隔板 1本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱) ' ------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂· 1283883

、發明說明（2) 112 °在培燒中隨著掩蔽的消失減少隔板材1021)的體積。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第12圖（C)所示，在喷砂機之掩模1〇3之噴嘴移動方 向之端部中’發生隔板材102b被朝掩模103的下方割入之側 削。此乃由噴嘴所喷出之切削材的一部以玻璃基板101反 射’且藉與由噴嘴喷出之物碰撞，形成具有喷嘴移動方向 與平行之移動成分，具有如此成分之切削材係為了切割隔 板端部。側削量為切削比率愈高則量愈多，其理由可以考 慮到的是由於增加平均每單位之切削材的喷出量的場合， 則上述成分的比例就變多。以下將引起側削之上述的成分 稱為喷流。該側削係引起在形成圖案不良的原因之之切削 途中之掩模剝離。加上，側削妨礙了形成均一高度之隔板 Π2。如第12圖（D)所示，焙燒端面彎曲之隔板材Π2後，如 第12圖（E)所示隔板112的端部變成比其他部分高。具體 的’高度的設計值在140 am的隔板中，焙燒前具有200 // m 的高度，藉焙燒高度減少約70% ，同時端部變成比其他部 分高30 β m。該現象稱作“跳起，，，其原因是相對於底部黏 合於玻璃基板101拘束收縮，而頂部則是自由因而產生該現 象。跳起係在重疊具有隔板112之基板與其他之基板之pdp 之裝配中，將基板相互間做成不完全黏合。在應黏合面相 互之間具有間隙之PDP ’隨著印加為了顯示之高周波驅動 電壓，基板藉靜電吸引局部的振動，藉此產生微微之動作 音（嘈'雜音）。該現象在調查了與面板各部之跳起量的相關 時，了解到可以藉將跳起量定於現狀的約1/2之16 // m以 下，若考慮製造之不均後期望的是12/zm以下就可以加以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 1283883 A7 __________B7 五、發明説明（3 ) 防止。 本發明係以不使對基板相互間的黏合造成障礙之突 起發生’在顯示領域形成圖案及高度如設計樣之隔板為目 的。 〈發明的開示〉 依據本發明之隔板形成方法，係藉切削材的噴射在將 掩蔽部分之隔板材形成圖案之際，掩蔽隔板材使其在顯示 領域的外側形成聯繫顯示領域中之隔板（主隔板）之副隔 板’依此使側削在顯示領域的外側發生，加上，將副隔板 作為格子狀圖案，藉將側削之容易引起部位作成廣範圍減 低側削的深度。若側削為輕微的話，則掩模剝離較不容易 引起，且焙燒時的跳起幾乎沒有。 另外，在更好的實施型態，掩蔽隔板材使更減低副隔 板之側削之辅助隔板形成於副隔板的外側。使輔助隔板的 端緣由顯不領域突出後，則在切削時保護副隔板之效果較 大。即使針對輔助隔板，防止跳起乃為了對基板的黏合不 發生障礙。作為防止策，係將輔助隔板作成環形圖案。若 為環狀的話，則熱收縮的應力被緩和很難引起跳起。作為 另外之防止策，係將圖案的尺寸作為一定值以下。在焙燒 厚度200/Z m的隔板材形成高度14〇#爪的隔板的場合，側削 的/罙度方向之圖案尺寸若為240 “ m以下的話，則側削深度 即使為SOein跳起也僅為極小部分。在同時形成多數個之 PDP的隔板的場合，在基板的中央部與端部相比，由於切 削材的脫離較少容易進行側削，所以至少在比鄰顯示領域 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇><297公釐） 6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1283883 A7 --------- B7____ :五、發明説明（4 ) • 之間設置輔助隔板。依據本發明針對隔板形成方法之其他 之種種的構造，一面參照圖面一面加以後述。 • 〈圖面的簡單說明〉 -_ 第1圖為使用於本發明之實施之噴砂機裝置之概略 _ 圖。 第2圖為表示第1實施型態之掩模圖案之平面圖。 m 第3圖為表示掩模圖案的帶寬與跳起量之關係之圖。 第4圖為表示第2實施型態之掩模圖案之平面圖。 第5圖為表示第2實施型態之掩模圖案之部分擴大圖。 第6圖（A)為表示副掩模圖案之第1變形例之圖。 第6圖（B)為表示副掩模圖案之第2變形例之圖。 第6圖（C)為表示副掩模圖案之第3變形例之圖。 第7圖為表示副掩模之角部的形狀與跳上量的關係之 圖。 第8圖為表示輔助掩模圖案之第1變形例之圖。 第9圖為表示辅助掩模圖案之第2變形例之圖。 第10圖為表示辅助掩模圖案之第3變形例之圖。 第11圖為表示第3實施型態之掩模圖案之平面圖。 第12圖（A)為表示習知之隔板形成之第1階段之圖。 第12圖（B)為表示習知之隔板形成之第1階段之圖。 第12圖（C)為表示習知之隔板形成之第1階段之圖。 第12圖（D)為表示習知之隔板形成之第1階段之圖。 第12圖（E)為表示習知之隔板形成之第1階段之圖。 <實施發明的最佳型態> 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂| •.線· 7 1283883 五、發明説明（5 ) 依照添附之圖面，更詳細的說明本發明。 第1圖為使用於本發明之實施之喷砂機裝置之概略 圖。喷砂機裝置90係包含有··輸送帶91、4個嗔嘴（也稱為 喷々搶）92 93、94、95、流量控制區96、過遽器97、及旋 風器98。輸送帶9卜係使搬入加工室之製品慢慢的由圖的 左邊移動至右邊。噴嘴92、93、94、95，係往復移動於對 工作之搬送方向垂直之方向。流量控制區96，係將切削材 混合於壓縮氣體朝喷嘴92、93、94、95運送。切削材係由 喷嘴92、93、94、95的先端喷出切削製品。飛散之切削材 係隨著切削屑被回收且被送至過遽器97。過遽器97係具有 去除比切削材還大之切削屑之任務。旋風器98係分離通過 過濾器97之切削材與微小之切削屑。在旋風器”被分離之 切削材為了再利用被朝流量控制區96運送。微小之切削屑 被朝集塵機運送。 (第1實施型態） 第2圖為表示第1實施型態之掩模圖案之平面圖。第^ 實施型態之PDP之隔板圖案為線條型。隔板基本上係與第 12圖之習知例同樣，藉噴砂機形成將覆蓋面板材料之玻璃 基板1的全面之層狀的隔板材2之圖案，其後以焙燒程序形 成隔板材2。與習知例的差異係使用於形成圖案之掩模， 係橫跨於顯示領域10與其兩側之非顯示領域丨丨。所謂顯示 領域10,係指在玻璃基板1中形成元件之領域，對應完成之 PDP之顯示面。又，針對隔板材2的形成，係與習知例同樣 將低熔點之玻璃漿塗敷於玻璃基板丨且使其乾燥之方法，及 A4規格（210X297公釐） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) 1283883 A7 B7 五、發明説明（6 ) 將低熔點之玻璃之印刷電路基板貼上於玻璃基板丨的方 法。掩模30係由感光保護膜所形成。玻璃基板丨的尺寸在例 如製造32英制尺寸之PDP的場合中為1030rnnlx650mm。 在掩模3 0中’配置於顯示領域1 〇之部分（以下稱主掩 模）3之圖案係應對應形成隔板之線條圖案，由沿著圖的上 下方向之多數直的帶所形成。在掩模3〇中，配置於顯示領 域10的外側之部分（以下稱副掩模）4之圖案，係將沿著顯示 領域10的端緣之帶狀之領域區劃成格子狀之圖案，由相當 於顯示領域10的圖案之延長之帶與和彼等垂直之多數帶所 形成。 在線條圖案的切削，沿著帶的長度方向使噴嘴移動是 有效果的。圖的上下方向為噴嘴移動方向。在使噴嘴與隔 板材2相對地往復移動之切削過程中，副掩模4在線條圖案 中係防止各個之帶的過度切削。由於副掩模4的外端緣在顯 示領域10中係橫誇左右方向（也就是切削時的搬送方向）之 全長連續著，所以直接喷射於副掩模4的端面之平均單位面 積之切削材的量比不連續的場合還少。藉此，副掩模4的端 面之側面切削被減輕。而且，藉副掩模4的存在，由於在副 掩模跳回之切削材與由喷嘴直接飛來之切削材相互干涉， 所以在主掩模3的兩端部切削的進行與中央部的進行變成 均等。 時 ........................^…… (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) :線丨 因側削的減輕很難引起掩模的剝離，同時由於在培声 中跳起微減’所以可以在顯示領域形成圖案及高度如設計 樣之隔板，使其不會對基板相互間的黏合帶來障礙，同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 1283883 A7 ---- B7 "-----___________________ . 五、發明説明（7 ) 在顯示領域的外側藉設置副隔板，基板相互間的黏合也不 會變成不完全。 第3圖為表示掩模圖案的帶寬與跳起量之關係之圖 表。如圖跳起量在副掩模4的圖案（副圖案）中依存於帶寬。 在主掩模3的圖案中，帶寬即使為80 # m、16〇# m之一的場 合’若將副圖案之帶寬，也就是形成與線條狀隔板垂直之 方向之隔板的帶寬作為240 // m的話，則跳起量變成最小。 若將副圖案的帶寬選定於160//m〜320 之範圍内之值 的化’則可以減低跳起。又，第3圖的場合為側削深度為5〇 β m的場合，但藉後述之輔助隔板等將側削量作成幾乎為〇 後’在將副圖案之帶寬作成240 // m的場合中，可以使跳起 量位於12 // m以下。 (第2實施型態) 第4圖為表示第2實施型態之掩模圖案之平面圖。第5 圖為表示第2實施型態之掩模圖案之部分擴大圖。第2實施 型％之PDP的隔板圖案也為線條圖案。隔板係與第1實施型 態同樣，使用主掩模3b與副掩模4b—體形成之掩模3〇b，藉 噴砂機形成覆蓋玻璃基板lb的全面之層狀的隔板材之圖 案。其後以焙燒之程序形成隔板材2b。第2實施型態具有其 次之3個特徵。 (1) 與形成掩模30b的同時，在掩模3〇b的兩側形成與掩 模30b離開之輔助掩模5。 (2) 在構成副掩模4b的圖案之帶，其形成於與線條狀隔 板垂直方向之隔板中之最外周之帶，係構成比主掩模补的 本紙張尺度適用中國國家標準（〇[S) A4規格（210X297公釐）

-訂---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1283883 A7 -—----- B7 -五、發明說明（^ B~" ---— 圖案之帶還粗。 (3)副掩模4b之角部為圓弧狀。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 輔助掩模5為了更確實的減低在副掩模4所掩蔽部分之 側削，所以具有調整噴嘴移動方向之噴流之任務。單側之 輔助掩模5之圖案係7條長形之帶平行並排於搬送方向之線 條圖案，輔助掩模5的左右之兩端對掩模30b僅突出著長度 丨 L11。該突出可以提高噴流調整之效果。 另外，針對構成掩模3〇b的圖案之帶的寬，具有其次之 關係。 L2> LI >L3 在此’ L1為在顯示領域1 ο中配列的兩端以外之帶的寬度， L2為最外周之帶的寬度，L3為在非顯示領域丨丨中最外周以 外之帶的寬度。如此藉最外周的帶寬最大，在隔板中最外 周的部分最後消失，可以防止形成不良之圖案。 在切削之際可以使噴嘴移動至如上所示圖之上下方 •向。伴隨著嘴嘴的移動，最初切削材被噴射至配置於上側 或下側之非顯示領域丨丨之輔助掩模5,其次，切削材被朝副 掩模4b喷射，進一步，切削材被朝主掩模3b喷射。由於切 削係掩模的圖案間隙愈大則愈快進行，所以對於輔助掩模5 切削作用也就愈大。辅助掩模5具有防止對副掩模仆過度的 切削之機能。在辅助掩模5剝離被吹起的場合，副掩模4b 防止對主掩模3b過度的切削。 將副掩模4b之角部作成圓弧狀係可以有效的降低跳 起。其理由可以考慮到重要的是藉焙燒時的收縮使應力分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 11 1283883 A7 _________B7___ 五、發明説明（9^ " "' — 散，使局部發生之跳起分散平均化。針對角部之圖案第6 圖所示為變形例。第6圖（A)之副掩模4(：之角部係外緣以直 角埋入格子1塊之形狀。第6圖（B)之副掩模4d的角部係具有 格子間隔之2倍的半徑之較大之圓弧狀。第6圖（〇之副掩模 4e的角σρ為呈左右長形之橢圓形狀。如第7圖所示，跳起量 係依存於角部的形狀。圓弧方面的跳起量比角部角展開的 跳起量少，半徑較大之圓弧方面之跳起量比半徑小的圓弧 之跳起量少。即使半徑較小之圓弧亦可以實現降低動作音 之效果的16# m以下的跳起，但是考慮到製造之不均後， 期望預先將作於半徑較大之圓弧之跳起量作成丨2 #爪以 下。 第8圖為表示輔助掩模圖案之第1變形例之平面圖。輔 助掩模5b之圖案，係以半圓弧與直線構成之左右細長之3 重之環圖案。由於藉切口 51a分斷環，所以當丨個之環的全 體在切削途中部分地掩模發生剝離時，被吹走的僅限於1 個環的一部，很難引起1個環的全部被吹走。 環圖案係在線條圖案中連結帶的兩端之圖案，與線條 圖案相比很難引起剝離。包含最内側之環之全部之環的兩 端’由於對掩模30b·突出著，所以保護掩模30之機能較大。 第9圖為表示輔助掩模圖案之第2變形例之圖。在該例 中配置於顯示領域10之隔板掩模3b的圖案為網狀圖案。輔 助掩膜5c係配置於以主掩模3b與副掩模4b所構成之掩模 30c的近旁。輔助掩模5C的圖案，係在顯示領域1〇中比左右 方向的全長短之多數帶如相互平行之多數不連續線沿著搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公爱） 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *訂 -1283883 A7 •「---：_!Z_____ ，五、發明説明（10) • 送方向並排之線條圖案。在該圖案，藉分斷線條之帶之切 口 5 5的良的设定可以控制喷流。當產生掩模剝離時也具有 / 所謂被吹走部分較少之效果。切口 55，係配置成在多數不 .· 連續之線上不連續點係錯開的，藉此，在副掩模仆中可以 - 防止喷流局部的過強。 輔助掩模5c的兩端對掩模30b僅長L11突出著。但是， 丨 構成線條圖案之帶中，最接近於於掩模30b之帶並未對掩模 30b突出著。其理由是由於很難引起最有助於掩模3〇b的保 護之帶的剝離。該帶若早期剝離的話，則與另外1個帶剝離 的場合相比，副隔板的側削量變多。藉不使帶的端對掩模 30b突出，在帶的端中喷流壓力變弱。又，最接近掩模3〇b 之帶的形狀，係如第5圖所示，即使在實施型態之輔助掩模 中亦可以適用。 第1 〇圖為表示輔助掩模圖案之第3變形例之圖。即使 在該例中隔板圖案亦為網狀圖案。輔助掩模5d的圖案，係 〇 在顯示領域10中比搬送方向的全長還短之多數帶如相互平 行之多數不連續線沿著搬送方向並排之線條圖案。在該圖 案中重要的疋將線條之帶的長度作成0.05 mm〜2 00 mm的 . 範圍内之值。帶愈長的話，當被吹走時愈容易纏於輸送帶 91(參照第1圖）的可動機構。掩模片的纏上在搬送的安定與 輸送帶91的清掃之觀點中不佳。上述的範圍係沒有纏上且 以過遽器97可以容易回收之條件。作為並排成線狀之較短 帶相互間之間隔最好為帶的長度之1/5程度。進一步，加上 減低跳起最好條件是帶的寬度及長度比24〇以爪小。若滿足 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 13 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂| -線丨 1283883 五、發明説明（U) 該條件後，不問寬方向與長度方向，即使產生深度心m 之側削，亦可以藉試驗確認跳起量變成數以下。此乃 帶若比24〇/zm長的話，端部藉長的部分之收縮形成被拉跳 起來，但是若比240^m短的話，則由於拉的部分不存在， 所以可以說明幾乎不跳起。 (第3實施型態） 第11圖為表示第3實施型態之掩模圖案之平面圖。第3 實施型態係在1枚之基板上一次形成多數個之pDp之隔 板，其後適用於分割基板之取得多面形式之製造過程。第 11圖之例係表不1次形成3個之PDp之隔板之例，圖中之3個 之顯示領域10a、l〇b、l〇c之各個係對應於丨個之pDp的隔 板部分。第3實施型態之PDP的隔板圖案也為線條圖案。隔 板係與第1實施型態同樣，使用主掩模與副掩模形成一体之 掩模30b，藉噴砂機形成覆蓋玻璃基板lc的全面之層狀之隔 板材2c之圖案，其後以焙燒程序形成隔板材及。玻璃基板 1 c的尺寸在製造例如32英制尺寸之pDp的場合中為 1460mmxl050mm 〇 顯示領域10a、10b、l〇c係沿著圖的上下方向打開間 隔，及分別配置1個之掩模30b。而且，在鄰接顯示領域之 間之非顯示領域11a、Ub，在形成掩模3〇b的同時形成輔助 掩模6a、7a、6b、7b。辅助掩模6a、7a、6b、7b係藉掩模 3Ob對形成之副隔板緩和噴流壓力。在使喷嘴移動於顯示領 域的配列方向的場合，在移動方向中中間部方面比玻璃基 板1 c的兩端部承受較大之噴流壓力。因為在兩端部噴流的 1283883 五、發明説明（12) 約一半朝玻璃基板lc的外側脫離。在承受較大之噴流壓力 之部位藉配置輔助掩模6a、6b、7a、7b，可以防止掩模3〇b 的剝離，藉此可以在顯示領域l〇a、l〇b、10c形成如設計 樣之隔板。又，在為了形成3個之掩模3〇b及輔助掩模6a、 6b、7a、7b之光蝕過程中，3次使用對應1個之pdp尺寸之1 個光掩模，進行逐次移動式曝光形式之模式露光。為此， 貫際上如圖示針對那一個之顯示領域丨〇a、1 〇b、1 〇c，也同 樣在分別的兩側形成輔助掩模。 以上，藉適用本發明，關於以顯示部作為基準跳起， 包含副隔板部及其角部、輔助隔板部，可以將橫誇隔板形 成部全域之跳起量抑制於12/zm以下，即使將製造多數面 板間之不均考慮進去亦可以抑制於丨6以m以下，可以抑制 隨著面板驅動時之振動之動作音（嘈雜音）。 以上，使用種種之實施型態及變形例說明了本發明， 但疋本發明並不限於此等之實施型態，亦可以以種種的型 態來實施。 〈產業上利用的可能丧> 如上述’依據本發明之隔板形成方法，由於不使對基 板相互間之黏著造成障礙之突起發生，在顯示領域可以形 成圖案及咼度如設計樣的隔板，所以提供一種因形成圖案 不良而可以提高電漿顯示面板的製造良率，且因基板相互 間的黏著不良而不使振動音發生之電漿顯示面板上是有用 的〇 A4規格（210X297公釐） 衣紙張尺度適用中_家標準（CNS) 1283883 A7 B7 五、發明説明（13 ) 元件標號對照 1、 HH…玻璃基板 2、 2b、102a、102b···隔板材 3、 3b···主掩模 4、 4b···副掩模 5、 5c、5d…輔助掩模 6a、6b、7a、7b···辅助掩模 10、 10a、10b、10c…顯示領域 11、 11a、lib···非顯示領域 55···切口 90…喷砂機裝置 .91…輸送帶 92、93、94、95···噴嘴 96…流量控制區 9 7…過濾器 9 8…旋風器 30、30b、103…掩模 103a…保護膜 112…隔板 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 申請專利範圍 L 一種電漿顯示面板之隔板形成方法，係用以形成在電聚 顯示面板中可區畫放電空間之隔板者，該方法包含有·· 在面板材料之基板上，設置可覆蓋在基板表面之顯 示領域與其外側之層狀的隔板材； 在刖述隔板材上，設置橫跨前述顯示領域與其外側 之形成圖案用之掩模.，此時在前述掩模中，將配置於前 述顯示領域之部分的圖案作成對應前述隔板之圖案，且 在前述掩模中，將配置於前述領域的外側之部分的圖案 作成將沿著前述顯示領域之端緣之帶狀的領域區畫成 格子狀之圖案； 藉噴砂機使藉前述掩模而被部分地覆蓋之前述隔 板材形成圖案·，及 培燒業經形成圖案之隔板材。 2. 如申請專利範圍第丨項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中將前述掩模設置成橫跨前述顯示領域與其第1方 向的兩側，又在藉噴砂機形成前述隔板材的圖案之製程 中’使切削材的噴射口與前述隔板材相對地朝前述第1 方向往復移動。 3. 如申請專利範圍第2項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中在與形成前述掩模之同時，在前述掩模的前述第 1方向的外側形成與前述掩模隔開之輔助掩模。 4·如申請專利範圍第3項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中在前述輔助掩模中與前述第1方向垂直之第2方向 的兩端係相對前述掩模突出。 17 本紙張尺度緖準（CNS) M規格（2igx297公^ 專利範圍 如申請專利範圍第4項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中前述輔助掩模之圖案為於前述第2方向呈長形之 夕數帶平行並排之線條圖案。 如申請專利範圍第4項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中前述輔助掩模之圖案為於前述第2方向呈長形多 數帶平行並排，且至少最接近前述掩模之帶的兩端不相 斜前述掩模突出之線條圖案。 7 •如申請專利範圍第4項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中前述輔助掩模之圖案為於前述第2方向呈細長形 之環型圖案。 8·如申請專利範圍第丨項之電漿顯示面板之隔板形成方法 其中前述掩模的角部為圓弧狀。 如申清專利範圍第4項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ’其中前述輔助掩模的圖案係在前述領域中比前述第2 方向的全長更短之多數帶以相互平行之多數不連續線 之形態沿著前述第2方向並排之圖案。 10·如申請專利範圍第9項之電聚顯示面板之隔板形成方法 ，其中在前述輔助掩模的圖案中之前述多數不連續之線 上’不連續點是錯開的。 1.如申凊專利範圍第9項《電聚顯示面板之隔板形成方法 ，其中在前述輔助掩模的圖案中，前述帶的長度為從 〇.〇5mm到200mm之範圍内之值。 12.如申凊專利範圍第9項之電漿顯示面板之隔板形成方法 ，其中在前述輔助掩模的圖案中，前述帶的寬度與長度 (CNS) A4^ (210 X 297^7 18

   Ϊ283883 都疋比2 4 Ο // id小之值。 U利範圍第1項之電漿顯示面板之隔板形成方法 /、中在刖述掩模中構成配置於前述顯示領域的外側部 分之格子狀圖案之帶中至少位於最外周.之帶的寬度係 由160/Z m到320# m的範圍内之值。 14.-種電漿顯示面板之隔板形成方法，係用以同時地形成 在多數電漿顯示面板之各個電蒙顯示面板中可區畫放 電空間之隔板者，該方法包含有： 在對應前述多數電漿顯示面板之各個電漿顯示面 板之顯示領域為一列地並排尺寸之面板材料之基板上 ’ 5又置可覆蓋在基板表面多數顯示領域與多數顯示領域 之各個顯示領域之外側之層狀的隔板材； 在前述隔板材上，設置橫跨前述每個顯示領域的内 側與外側之形成圖案用之掩模，此時在前述掩模中，將 配置於前述顯示領域之部分的圖案作成對應前述隔板 之圖案，且在前述掩模中，將配置於前述領域的外側之 部分的圖案作成將沿著前述顯示領域之端緣之帶狀的 領域區晝成格子狀之圖案； 與形成前述掩模的同時，至少在相鄰前述掩模相互 之間形成與前述掩模隔開之輔助掩模； 藉噴砂機使藉前述掩模及前述輔助掩模而被部分 地覆蓋之前述隔板材作成圖案；及 培燒業經形成圖案之隔板材。 本紙張从適用中國國家標準（CNS) M規格（21〇χ297公爱) 19 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •、句· #·