JPH01320808A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH01320808A JPH01320808A JP15556288A JP15556288A JPH01320808A JP H01320808 A JPH01320808 A JP H01320808A JP 15556288 A JP15556288 A JP 15556288A JP 15556288 A JP15556288 A JP 15556288A JP H01320808 A JPH01320808 A JP H01320808A
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- JP
- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- gap
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電基板上に交差指状電極を形成した弾性表面
波装置に関する。
波装置に関する。
弾性表面波装置の使用領域はＶＨＦ帯からＵＨＦ帯（３
００Ｍ Ｈｚ 〜３ Ｇ Ｈｚ ）に拡大される状況に
なっている。このような弾性表面波装置の電極指のパタ
ーンはサブミクロンパターン形成を要求されている。
００Ｍ Ｈｚ 〜３ Ｇ Ｈｚ ）に拡大される状況に
なっている。このような弾性表面波装置の電極指のパタ
ーンはサブミクロンパターン形成を要求されている。
第２図は従来の弾性表面波装置の一例の平面図であり、
交差指状電極部１１′、１２′は電極指幅Ｌ 、の互に
交差した電極指］５がバスバー部］、３．］、４に接続
されており、バスバー部１３゜１４に接続されており、
バスバー部１３．１４と電極指１５との間隔は幅Ｉ−１
より大きな寸法のギャップＬ４．Ｌ５となっている。
交差指状電極部１１′、１２′は電極指幅Ｌ 、の互に
交差した電極指］５がバスバー部］、３．］、４に接続
されており、バスバー部１３゜１４に接続されており、
バスバー部１３．１４と電極指１５との間隔は幅Ｉ−１
より大きな寸法のギャップＬ４．Ｌ５となっている。
これまでの従来製造プロセスにおけるパターン形成で問
題とならなかったさまざまな問題がサブミクロンパター
ンを形生ずる場合に発生してくる。この場合、最も重要
な問題は、弾性表面波を発生させるに必要な交差指状電
極１５とバスバー部１３．１４とのギャップＬ、、Ｌ、
で、パターン転写時に交差指状電極部］］′、１２’の
電極指１５がバスバー部１３，１．４から切れた状態に
なるという欠点があった。これは、パターン転写時に交
差指状電極とバスバー部とがブリッジを形成することが
ないように、光分離して設計されていたことによる。
題とならなかったさまざまな問題がサブミクロンパター
ンを形生ずる場合に発生してくる。この場合、最も重要
な問題は、弾性表面波を発生させるに必要な交差指状電
極１５とバスバー部１３．１４とのギャップＬ、、Ｌ、
で、パターン転写時に交差指状電極部］］′、１２’の
電極指１５がバスバー部１３，１．４から切れた状態に
なるという欠点があった。これは、パターン転写時に交
差指状電極とバスバー部とがブリッジを形成することが
ないように、光分離して設計されていたことによる。
本発明の目的は、このような問題を解決し、電極指の断
線を少くし、信頼性を高くした弾性表面波装置を提供す
ることにある。
線を少くし、信頼性を高くした弾性表面波装置を提供す
ることにある。
本発明の構成は、両側のバスバー部から延長された電極
指を互に交差させた交差指状電極部を圧電基板上に形成
した弾性表面波装置において、前記交差指状電極を形成
する電極指とバスバー部とのギャップが電極指の間隔と
実質的に同一にしたことを特徴とする６ 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。
指を互に交差させた交差指状電極部を圧電基板上に形成
した弾性表面波装置において、前記交差指状電極を形成
する電極指とバスバー部とのギャップが電極指の間隔と
実質的に同一にしたことを特徴とする６ 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の部分平面図であり、代表的
な電ａｍ造であるトランスバーサルタイプを示している
。入出力交差指状電極部１１゜１２は交差指状電極１５
を有するハスバ一部１３１４から構成され、その交差指
電極の幅Ｌ Ｉとそのギャップは同一寸法であり、また
バスバー部１．３．１４の間隔Ｌ２．Ｌ３ともまた同一
となっている。これは、パターン転写時にそのパターン
マスクとレジストを塗布したウェハとを密着させて紫外
線を照射する時に、回折による光の拡がりを電極指配列
方向と電極指幅方向とて同一にすればよい。
な電ａｍ造であるトランスバーサルタイプを示している
。入出力交差指状電極部１１゜１２は交差指状電極１５
を有するハスバ一部１３１４から構成され、その交差指
電極の幅Ｌ Ｉとそのギャップは同一寸法であり、また
バスバー部１．３．１４の間隔Ｌ２．Ｌ３ともまた同一
となっている。これは、パターン転写時にそのパターン
マスクとレジストを塗布したウェハとを密着させて紫外
線を照射する時に、回折による光の拡がりを電極指配列
方向と電極指幅方向とて同一にすればよい。
従来の交差指電極部１１′、１２′では、そのパターン
形成が良好となるように、ハスバ一部１．３，１．４と
電極１５とのギャップＴ、、４．Ｌ５が広くとられてい
たが、パターンがサブミクロン以下になると、その電極
幅も用いる光の波長に近づくため、光の近接効果によっ
て形成されるパターンのくびれか大きくなり、ひどい場
合にはバスバー部］、３．］、４がら切れてしまうこと
もあるが、木実雄側では、バスバー部１．３，１．４と
のギャップを電極幅寸法、電極間隔と同しにとれるため
、近接効果の影響を回避でき信頼性の高い装置が得られ
る。
形成が良好となるように、ハスバ一部１．３，１．４と
電極１５とのギャップＴ、、４．Ｌ５が広くとられてい
たが、パターンがサブミクロン以下になると、その電極
幅も用いる光の波長に近づくため、光の近接効果によっ
て形成されるパターンのくびれか大きくなり、ひどい場
合にはバスバー部］、３．］、４がら切れてしまうこと
もあるが、木実雄側では、バスバー部１．３，１．４と
のギャップを電極幅寸法、電極間隔と同しにとれるため
、近接効果の影響を回避でき信頼性の高い装置が得られ
る。
なお、本発明は、フィルタ、レゾネータ、分散型遅延線
などの各種の弾性表面波装置に適用することができる。
などの各種の弾性表面波装置に適用することができる。
以上説明したように本発明の弾性表面波装置は、サブミ
クロン以下のパターン形成が非常に良好に形成できるた
め、信頼性の高い装置が得られるという効果がある。
クロン以下のパターン形成が非常に良好に形成できるた
め、信頼性の高い装置が得られるという効果がある。
第１図は本発明の弾性表面波長装置の一実施例の平面図
、第２図は従来の弾性表面波装置の一例の平面図である
。 １１．１２． １１′、１２′・・・交差指状電極部、
１３．１４・・・バスバー部、１５・・・電極指。
、第２図は従来の弾性表面波装置の一例の平面図である
。 １１．１２． １１′、１２′・・・交差指状電極部、
１３．１４・・・バスバー部、１５・・・電極指。
Claims (1)
- 両側のバスバー部から延長された電極指を互に交差させ
た交差指状電極部を圧電基板上に形成した弾性表面波装
置において、前記交差指状電極を形成する電極指とバス
バー部とのギャップが電極指の間隔と実質的に同一にし
たことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15556288A JPH01320808A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15556288A JPH01320808A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320808A true JPH01320808A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15608770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15556288A Pending JPH01320808A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01320808A (ja) |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP15556288A patent/JPH01320808A/ja active Pending
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