JPH0215390Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0215390Y2 JPH0215390Y2 JP16284782U JP16284782U JPH0215390Y2 JP H0215390 Y2 JPH0215390 Y2 JP H0215390Y2 JP 16284782 U JP16284782 U JP 16284782U JP 16284782 U JP16284782 U JP 16284782U JP H0215390 Y2 JPH0215390 Y2 JP H0215390Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode fingers
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave transducer
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［考案の技術分野］
本考案は弾性表面波フイルタや弾性表面波共振
子等の弾性表面波装置に好適する弾性表面波トラ
ンスジユーサの改良に関する。
子等の弾性表面波装置に好適する弾性表面波トラ
ンスジユーサの改良に関する。
［考案の技術的背景］
従来この種の弾性表面波装置、例えば弾性表面
波フイルタに用いられる弾性表面波トランスジユ
ーサとしては、第１図に示すように、圧電基板１
の主面上に、対向する共通電極２，３から延びる
電極指４ａ，４ｂ…および電極指５ａ，５ｂ，５
ｃ…を所定の間隔ピツチをおいて相互に差し込む
ように交叉させて形成し、所望の特性に合せて電
極指４ａ，４ｂ…および電極指５ａ，５ｂ，５ｃ
…の長さを変化させるいわゆる重みづけを施して
構成されたものがよく知られている。
波フイルタに用いられる弾性表面波トランスジユ
ーサとしては、第１図に示すように、圧電基板１
の主面上に、対向する共通電極２，３から延びる
電極指４ａ，４ｂ…および電極指５ａ，５ｂ，５
ｃ…を所定の間隔ピツチをおいて相互に差し込む
ように交叉させて形成し、所望の特性に合せて電
極指４ａ，４ｂ…および電極指５ａ，５ｂ，５ｃ
…の長さを変化させるいわゆる重みづけを施して
構成されたものがよく知られている。
なお、符号６ａ，６ｂ，６ｃ…および７ａ，７
ｂは共通電極２，３から延びるダミー電極であ
る。
ｂは共通電極２，３から延びるダミー電極であ
る。
このように交叉する電極指４ａ，４ｂ…および
電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…が重みづけされた弾性
表面波トランスジユーサは、例えば電極指４ａと
電極指５ｂによる交叉長l1と電極指４ｂと電極指
５ｂによる交叉長l2が異なり、それぞれ異なる入
力パルスに応答し、それぞれの交叉長l1，l2部分
で異なる周波数成分の入力信号による電界を介し
て異なる特性の歪みが圧電基板１上を伝播する。
電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…が重みづけされた弾性
表面波トランスジユーサは、例えば電極指４ａと
電極指５ｂによる交叉長l1と電極指４ｂと電極指
５ｂによる交叉長l2が異なり、それぞれ異なる入
力パルスに応答し、それぞれの交叉長l1，l2部分
で異なる周波数成分の入力信号による電界を介し
て異なる特性の歪みが圧電基板１上を伝播する。
その結果、電極指４ａ，４ｂ…、電極指５ａ，
５ｂ，５ｃ…に施された重みづけに対応した周波
数特性のフイルタが得られる。
５ｂ，５ｃ…に施された重みづけに対応した周波
数特性のフイルタが得られる。
［背景技術の問題点］
しかしながら、上述の弾性表面波トランスジユ
ーサにあつては、共通電極２，３から延びる電極
指４ａ，４ｂ…や電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…が棒
グラフ状に形成されるので、電極指４ａ，４ｂ…
および電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…の先端部にはほ
ぼ直角に区画された先端角部８，９が形成されて
いる。
ーサにあつては、共通電極２，３から延びる電極
指４ａ，４ｂ…や電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…が棒
グラフ状に形成されるので、電極指４ａ，４ｂ…
および電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…の先端部にはほ
ぼ直角に区画された先端角部８，９が形成されて
いる。
そのため、電極指４ａ，４ｂ…および電極指５
ａ，５ｂ，５ｃ…の先端角部８，９には電気力線
が集中し易くなり、例えば第２図に示すように、
先端角部８，９に対向する電極指４ａ，４ｂから
最短距離の電気力線以外にも符号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
に示すように交叉長l1，l2を越える領域の電極指
４ａ，４ｂ…からの電気力線も到達し易い。
ａ，５ｂ，５ｃ…の先端角部８，９には電気力線
が集中し易くなり、例えば第２図に示すように、
先端角部８，９に対向する電極指４ａ，４ｂから
最短距離の電気力線以外にも符号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
に示すように交叉長l1，l2を越える領域の電極指
４ａ，４ｂ…からの電気力線も到達し易い。
その結果、電界の漏れが生じて、交叉長l1，l2
が実質上l1′，l2′となつて長くなり、設計どうりの
フイルタ特性を得ることが困難になるばかりか、
そのフイルタ特性が不安定となり易い欠点があ
る。
が実質上l1′，l2′となつて長くなり、設計どうりの
フイルタ特性を得ることが困難になるばかりか、
そのフイルタ特性が不安定となり易い欠点があ
る。
なお、予め電極指４ａ，４ｂ…、電極指５ａ，
５ｂ，５ｃ…の交叉長l1，l2、を短く設定するこ
とも提案されているが、電界の漏れは、電極指４
ａ，４ｂ…と電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…間のギヤ
ツプt1，t2によつても変化するので、100〜200本
程度の異なる長さの電極指をすべて補正すること
は極めて困難であり、実用化が困難である。
５ｂ，５ｃ…の交叉長l1，l2、を短く設定するこ
とも提案されているが、電界の漏れは、電極指４
ａ，４ｂ…と電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…間のギヤ
ツプt1，t2によつても変化するので、100〜200本
程度の異なる長さの電極指をすべて補正すること
は極めて困難であり、実用化が困難である。
［考案の目的］
本考案はこのような従来の欠点を解決するため
になされたもので、電極指間の漏れ電界を効果的
に抑えて所望の安定した特性を簡単に実現するこ
との可能な弾性表面波トランスジユーサの提供を
目的とする。
になされたもので、電極指間の漏れ電界を効果的
に抑えて所望の安定した特性を簡単に実現するこ
との可能な弾性表面波トランスジユーサの提供を
目的とする。
［考案の概要］
すなわち本考案は、基板上に電極指を交互に差
し込むように交叉させて形成してなる弾性表面波
トランスジユーサにおいて、その電極指の先端角
部が切欠かれてなることを特徴とする。
し込むように交叉させて形成してなる弾性表面波
トランスジユーサにおいて、その電極指の先端角
部が切欠かれてなることを特徴とする。
［考案の実施例］
以下本考案の詳細を図面を参照して説明する。
なお従来例と共通する部分には同一の符号を付
す。
なお従来例と共通する部分には同一の符号を付
す。
第３図は本考案の弾性表面波トランスジユーサ
の一実施例を部分的に拡大して示す図である。
の一実施例を部分的に拡大して示す図である。
本考案の弾性表面波トランスジユーサの概略的
構成は上述の第１図とほぼ同様であり、圧電基板
１の鏡面加工された主面に、共通電極２から延び
る電極指４ａ，４ｂ…とこの共通電極２に対向す
る共通電極３から延びる電極指５ａ，５ｂ，５ｃ
…が、所定間隔ピツチをおいて交互に差し込むよ
うに交叉させて形成され、各電極指４ａ，４ｂ
…、電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…に所望の周波数特
性に伴う重みづけが施されて構成されている。
構成は上述の第１図とほぼ同様であり、圧電基板
１の鏡面加工された主面に、共通電極２から延び
る電極指４ａ，４ｂ…とこの共通電極２に対向す
る共通電極３から延びる電極指５ａ，５ｂ，５ｃ
…が、所定間隔ピツチをおいて交互に差し込むよ
うに交叉させて形成され、各電極指４ａ，４ｂ
…、電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…に所望の周波数特
性に伴う重みづけが施されて構成されている。
本考案の弾性表面波トランスジユーサは、この
ような構成において、第３図に示すように、共通
電極２（第３図において共通電極３の図示省略）
から延びる電極指５ｂの先端角部８，９を曲線状
に切欠いて構成したものである。
ような構成において、第３図に示すように、共通
電極２（第３図において共通電極３の図示省略）
から延びる電極指５ｂの先端角部８，９を曲線状
に切欠いて構成したものである。
このように電極指５ｂの先端角部８，９を曲線
状に切欠いて形成することにより、電極指５ｂの
先端部において角部８，９がなくなつて電気力線
の集中が減少し、電極指４ａ，４ｂと電極指５ｂ
による交叉長l1，l2を越えた領域からの電気力線
が大きく抑圧されるので、漏れ電界が減少し、交
叉長l1，l2、が実質上長くならない。
状に切欠いて形成することにより、電極指５ｂの
先端部において角部８，９がなくなつて電気力線
の集中が減少し、電極指４ａ，４ｂと電極指５ｂ
による交叉長l1，l2を越えた領域からの電気力線
が大きく抑圧されるので、漏れ電界が減少し、交
叉長l1，l2、が実質上長くならない。
その結果、設計どうりの所定の帯域特性を有す
るフイルタが得られ、その特性も安定する。
るフイルタが得られ、その特性も安定する。
考案者の実験によれば、電極指４ａ，４ｂ…お
よび電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…の先端部における
切欠部の曲率半径Ｒは、その電極指５ａ，５ｂ，
５ｃ…の電極幅（ｍ）に対して、Ｒ≧ｍ／３の範
囲で設定すれば漏れ電界を大幅に抑圧することが
判つた。
よび電極指５ａ，５ｂ，５ｃ…の先端部における
切欠部の曲率半径Ｒは、その電極指５ａ，５ｂ，
５ｃ…の電極幅（ｍ）に対して、Ｒ≧ｍ／３の範
囲で設定すれば漏れ電界を大幅に抑圧することが
判つた。
また、本考案の弾性表面波トランスジユーサに
あつては、電極指４ａ，４ｂ…および電極指５
ａ，５ｂ，５ｃ…の先端角部８，９を切欠くこと
によつて、電極指４ａ，４ｂ…と電極指５ａ，５
ｂ，５ｃ…による交叉長l1，l2、を越えた領域と
の間隔が長くなつてその領域からの電気力線の到
達を抑えるように構成すれば本考案の目的が可能
であるから、例えば第４図に示すように、電極指
５ｂの先端角部８，９を凹状すなわち段階状に切
欠くことも可能である。
あつては、電極指４ａ，４ｂ…および電極指５
ａ，５ｂ，５ｃ…の先端角部８，９を切欠くこと
によつて、電極指４ａ，４ｂ…と電極指５ａ，５
ｂ，５ｃ…による交叉長l1，l2、を越えた領域と
の間隔が長くなつてその領域からの電気力線の到
達を抑えるように構成すれば本考案の目的が可能
であるから、例えば第４図に示すように、電極指
５ｂの先端角部８，９を凹状すなわち段階状に切
欠くことも可能である。
なお、上述の実施例においては電極指５ｂの先
端角部８，９について説明したが、交叉する電極
指４ａ，４ｂ…にあつても実施できることはいう
までもない。
端角部８，９について説明したが、交叉する電極
指４ａ，４ｂ…にあつても実施できることはいう
までもない。
さらに、本考案はフイルタに限らず、重みづけ
された電極指を有する弾性表面波共振子において
も実施可能であり、同様に電界の漏れを有効に抑
圧することが可能である。
された電極指を有する弾性表面波共振子において
も実施可能であり、同様に電界の漏れを有効に抑
圧することが可能である。
なお、重みづけされた電極指を有する弾性表面
波装置において本考案は特に有用であるが、重み
づけされない電極指を有する弾性表面波トランス
ジユーサにおいても実施可能である。
波装置において本考案は特に有用であるが、重み
づけされない電極指を有する弾性表面波トランス
ジユーサにおいても実施可能である。
［考案の効果］
以上説明したように本考案の弾性表面波トラン
スジユーサは、基板上に、電極指の先端角部の切
欠かれた電極指を交互に差し込むように交叉させ
て形成してなるので、電極指の先端部に電極指の
交叉による交叉長を越えた領域からの電気力線が
減少して漏れ電界が抑圧され、漏れ電界効果によ
る余分な弾性表面波の励振が防止されるので、当
初の設計どうりの特性が極めて簡単に得られる
し、その特性も安定化する。
スジユーサは、基板上に、電極指の先端角部の切
欠かれた電極指を交互に差し込むように交叉させ
て形成してなるので、電極指の先端部に電極指の
交叉による交叉長を越えた領域からの電気力線が
減少して漏れ電界が抑圧され、漏れ電界効果によ
る余分な弾性表面波の励振が防止されるので、当
初の設計どうりの特性が極めて簡単に得られる
し、その特性も安定化する。
また、電極指は、電極指形成過程においてガラ
スマスクパターンがホツトエツチング等の工程に
おいて極めて容易に形成できるので、従来どうり
製造も簡単である。
スマスクパターンがホツトエツチング等の工程に
おいて極めて容易に形成できるので、従来どうり
製造も簡単である。
第１図および第２図は従来の弾性表面波トラン
スジユーサを示す平面図、第３図は本考案の弾性
表面波トランスジユーサの一実施例を示す部分拡
大平面図、第４図は本考案の弾性表面波トランス
ジユーサの他の実施例を示す部分拡大図である。 １……基板（圧電基板）、２，３……共通電極、
４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，５ｃ……電極指、８，
９……先端角部、l1，l1′，l2，l2′……交叉長。
スジユーサを示す平面図、第３図は本考案の弾性
表面波トランスジユーサの一実施例を示す部分拡
大平面図、第４図は本考案の弾性表面波トランス
ジユーサの他の実施例を示す部分拡大図である。 １……基板（圧電基板）、２，３……共通電極、
４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，５ｃ……電極指、８，
９……先端角部、l1，l1′，l2，l2′……交叉長。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板上に電極指を交互に差し込むように交叉
させて形成してなる弾性表面波トランスジユー
サにおいて、前記電極指の先端角部が切欠かれ
てなることを特徴とする弾性表面波トランスジ
ユーサ。 (2) 交叉させた電極指が重みづけされてなること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載の弾性表面波トランスジユーサ。 (3) 電極指の先端角部が曲線状に切欠かれてなる
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項もしくは第２項記載の弾性表面波トランスジ
ユーサ。 (4) 曲線状に切欠かれた電極指の先端部の曲率半
径Ｒと、前記電極指の幅ｍとを、Ｒ≧ｍ／３な
る関係に構成してなることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第３項記載の弾性表面波トラ
ンスジユーサ。 (5) 電極指の先端角部が凹状に切欠かれてなるこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載もしくは第２項記載の弾性表面波トランス
ジユーサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16284782U JPS5967027U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16284782U JPS5967027U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967027U JPS5967027U (ja) | 1984-05-07 |
| JPH0215390Y2 true JPH0215390Y2 (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=30357489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16284782U Granted JPS5967027U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967027U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059624U (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | 株式会社東芝 | 弾性表面波装置 |
| JP6994855B2 (ja) * | 2017-07-12 | 2022-01-14 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP16284782U patent/JPS5967027U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5967027U (ja) | 1984-05-07 |
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