JPS61234114A - 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ - Google Patents
一方向性ｉｄｔ励振型フイルタInfo
- Publication number
- JPS61234114A JPS61234114A JP7465785A JP7465785A JPS61234114A JP S61234114 A JPS61234114 A JP S61234114A JP 7465785 A JP7465785 A JP 7465785A JP 7465785 A JP7465785 A JP 7465785A JP S61234114 A JPS61234114 A JP S61234114A
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- JP
- Japan
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- line
- bus
- filter
- insulating film
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタの如きＩＤＴ励
振型フィルタ、殊にグループ型一方向性ＩＤＴ励振型フ
ィルタに関する。
振型フィルタ、殊にグループ型一方向性ＩＤＴ励振型フ
ィルタに関する。
（従来技術）
ＳＡＷフィルタはＬＣフィルタ等に比して小型、軽量且
つ無調整で振動衝撃に鈍感であって量産容易なことから
広く使用されるようになりたが一方で挿入損失が比較的
大であるという欠陥があった。とりわけ一般的なＳＡＷ
フィルタに於ける双方向性損失６ｄＢ？：減少する為３
相型或は反射器型環各種の一方向性トランスジューサが
提案されているがその中でも９０度移相器を用いたグル
ープ型一方向性トランスジューサを用いたフィルタが比
較的低損失であることから賞月されている。
つ無調整で振動衝撃に鈍感であって量産容易なことから
広く使用されるようになりたが一方で挿入損失が比較的
大であるという欠陥があった。とりわけ一般的なＳＡＷ
フィルタに於ける双方向性損失６ｄＢ？：減少する為３
相型或は反射器型環各種の一方向性トランスジューサが
提案されているがその中でも９０度移相器を用いたグル
ープ型一方向性トランスジューサを用いたフィルタが比
較的低損失であることから賞月されている。
しかしながら上述の如きグループ型一方向性トランスジ
ューサを用いたフィルタにあっても接地線たるミアンダ
ラインのオーミック損失が少なくない為伺挿入損失が大
きくフィルタ特性は満足すべきものではないという問題
があった。
ューサを用いたフィルタにあっても接地線たるミアンダ
ラインのオーミック損失が少なくない為伺挿入損失が大
きくフィルタ特性は満足すべきものではないという問題
があった。
（発明の目的）
本発明は上述した如き従来の一方向性トランスジューサ
を用いたＩＤＴ励振型フィルタの問照点を除去すべくな
されたものであって挿入損失を大幅に低減し九一方向性
ＩＤＴ励振型フィルタを提供することを目的とする。
を用いたＩＤＴ励振型フィルタの問照点を除去すべくな
されたものであって挿入損失を大幅に低減し九一方向性
ＩＤＴ励振型フィルタを提供することを目的とする。
（発明の概要）
上述の目的を達成する為９本発明に於いては前記ミアン
ダラインをその両端部の他途中適所に於いてＩＤＴ１１
１極指を接続するバスバーを跨いで接地するようにした
ものである。
ダラインをその両端部の他途中適所に於いてＩＤＴ１１
１極指を接続するバスバーを跨いで接地するようにした
ものである。
（発明の実施例）
以下１本発明を図面に示した実施例によって詳細に説明
する。
する。
実施例の説明に先立って本発明の理解を容易にする為先
ず一方向性トランスジー−サを用いたＳＡＷフィルタに
ついて簡単に説明する。
ず一方向性トランスジー−サを用いたＳＡＷフィルタに
ついて簡単に説明する。
第２図は従来のグループ型一方向性トランスジューサを
用いるＳＡＷフィルタの一般的構成を示す概念図であり
で、圧電基板１上に零度相ＩＤＴ２とこれに対向する９
０度相ＩＤＴ３１−設は両者間の位相差金移相器４によ
って与えると共に前記側ＩＤＴ２及び３の電極指間にミ
アンダライン５を配してこれを接地し一方向性入力トラ
ンスジー−サを形成する。前記ミアンダライン５はＩＤ
Ｔ電極指が零度相から９０度相に変る部分ではライン幅
を１／２λ（λは励振する８ＡＷの波長）に、又９０度
相から零度相に変る部分ではλとすることによってＳＡ
Ｗが一方向にのみ伝搬するように構成したものである。
用いるＳＡＷフィルタの一般的構成を示す概念図であり
で、圧電基板１上に零度相ＩＤＴ２とこれに対向する９
０度相ＩＤＴ３１−設は両者間の位相差金移相器４によ
って与えると共に前記側ＩＤＴ２及び３の電極指間にミ
アンダライン５を配してこれを接地し一方向性入力トラ
ンスジー−サを形成する。前記ミアンダライン５はＩＤ
Ｔ電極指が零度相から９０度相に変る部分ではライン幅
を１／２λ（λは励振する８ＡＷの波長）に、又９０度
相から零度相に変る部分ではλとすることによってＳＡ
Ｗが一方向にのみ伝搬するように構成したものである。
尚、出力側には前記入力トランスジ為−サと同様のトラ
ンスジューサをシールド電極６を介して配置するのが一
般的である。
ンスジューサをシールド電極６を介して配置するのが一
般的である。
上述の説明からも明らかな如く前記ミアンダライ１５及
び５′はいずれも入出力トランスジー−サ中金かなりの
距離に亘って配線する１接ｍは入出カドランスジューサ
夫々の地部に於いてのみ行なわれるのでオーミック損失
がかなり大きくなりこれがフィルタの挿入損失となって
フィルタ特性を劣化せしめること前述のとうりである。
び５′はいずれも入出力トランスジー−サ中金かなりの
距離に亘って配線する１接ｍは入出カドランスジューサ
夫々の地部に於いてのみ行なわれるのでオーミック損失
がかなり大きくなりこれがフィルタの挿入損失となって
フィルタ特性を劣化せしめること前述のとうりである。
又、この損失は励振するＳＡＷの周波数が高くなる穆顕
著となることは云うまでもない。
著となることは云うまでもない。
この問題を解決する為本発明に於いては以下の如き構成
をとる。
をとる。
即ち、第１図に示す如く前記ミアンダライン５の途中適
所を延長して前記零度相ＩＤＴ２及び９０度相ＩＤＴ３
の各バスバーを跨がせその外側にそれぞれ配置した接地
線７及び８と接続するよう構成する。この際前記ミアン
ダライｙ５と前記接地線の接続は量産性を考慮し、前記
ＩＤＴのバスバーの所要部分表面に酸化シリコｙｓｉ（
ｈの如き絶縁層をスパッタリング等によって付着せしめ
るか或は０２ガスにより酸化せしめて絶縁被膜を形成し
た後、当該絶縁部上に導電被膜を付着することによって
前記ミアンダライ１５と前記接地線７又は８とを接続す
ればよい。
所を延長して前記零度相ＩＤＴ２及び９０度相ＩＤＴ３
の各バスバーを跨がせその外側にそれぞれ配置した接地
線７及び８と接続するよう構成する。この際前記ミアン
ダライｙ５と前記接地線の接続は量産性を考慮し、前記
ＩＤＴのバスバーの所要部分表面に酸化シリコｙｓｉ（
ｈの如き絶縁層をスパッタリング等によって付着せしめ
るか或は０２ガスにより酸化せしめて絶縁被膜を形成し
た後、当該絶縁部上に導電被膜を付着することによって
前記ミアンダライ１５と前記接地線７又は８とを接続す
ればよい。
もりとも上述の如き手法は２回のフォトリングラフイエ
程金含むことになり１糧が複雑となるので前記接地線が
バスバーを跨ぐ部分のみを露出するパターンを用いてＩ
ＤＴのバスバーにのみ電流を流しつつ陽極酸化を行えば
核部のみが酸化せられ、この絶縁被膜上に改めて導体蒸
着を行って前記ミアンダライン５と前記接地線７又は８
とｔ接続すれば１回のフォトリングラフィ工程でできる
。
程金含むことになり１糧が複雑となるので前記接地線が
バスバーを跨ぐ部分のみを露出するパターンを用いてＩ
ＤＴのバスバーにのみ電流を流しつつ陽極酸化を行えば
核部のみが酸化せられ、この絶縁被膜上に改めて導体蒸
着を行って前記ミアンダライン５と前記接地線７又は８
とｔ接続すれば１回のフォトリングラフィ工程でできる
。
以上、最も一般的なグループ型一方向性ＳＡＷフィルタ
についてのみ説明したが本発明はこれのみに適用さるべ
きものではなく例えば入出力トランスジー−サのいずれ
か一方にのみ適用してもよく或は入力トランスジー−サ
が双方向性でその両側に一方向性出力トランスジューサ
を付した型式のフィルタに適用してもよいことは自明で
あろう。
についてのみ説明したが本発明はこれのみに適用さるべ
きものではなく例えば入出力トランスジー−サのいずれ
か一方にのみ適用してもよく或は入力トランスジー−サ
が双方向性でその両側に一方向性出力トランスジューサ
を付した型式のフィルタに適用してもよいことは自明で
あろう。
更に本発明は５ＡＷｉ用いるフィルタにのみ限定する必
要もな（ＩＤＴによって励振しうるいかなる波動を利用
するフィルタにも同様に適用しうるものである。
要もな（ＩＤＴによって励振しうるいかなる波動を利用
するフィルタにも同様に適用しうるものである。
最后に本発明を一方向性入出力ＩＤＴＩＱ対、中心周波
数６００ＭＨｚ、バンド幅４９ＭＨｚのフィルタに適用
した結果、ミアンダ２４フ両端でのみ接地した従来のフ
ィルタに於いては８ｄＢの挿入損失があったものがミア
ンダライン途中２ケ所を更に接地したのみで挿入損失は
３ｄＢに減少し著しい効果のあることが確認された。
数６００ＭＨｚ、バンド幅４９ＭＨｚのフィルタに適用
した結果、ミアンダ２４フ両端でのみ接地した従来のフ
ィルタに於いては８ｄＢの挿入損失があったものがミア
ンダライン途中２ケ所を更に接地したのみで挿入損失は
３ｄＢに減少し著しい効果のあることが確認された。
（発明の効果）
本発明は以上説明した如く構成するから、従来低損失の
ＩＤＴ励振型フィルタ、殊に弾性表面波フィルタを実現
するのに最適とされてい友グループ型一方向性弾性表面
波フィルタの欠点を除去し更に低損失のフィルタを実現
する上で著しい効果を発揮するが、この効果は製造工程
のわずかな増加を補りて余りあるものである。
ＩＤＴ励振型フィルタ、殊に弾性表面波フィルタを実現
するのに最適とされてい友グループ型一方向性弾性表面
波フィルタの欠点を除去し更に低損失のフィルタを実現
する上で著しい効果を発揮するが、この効果は製造工程
のわずかな増加を補りて余りあるものである。
第１図は本発明に係る一方向性ＩＤＴ励振型フィルタの
一実施例を示す部分平面図、第２図は本発明を適用すべ
き従来の一方向性ＳＡＷフィルタの一般的構成図である
。
一実施例を示す部分平面図、第２図は本発明を適用すべ
き従来の一方向性ＳＡＷフィルタの一般的構成図である
。
Claims (1)
- 圧電基板表面に入出力インタディジタル・トランスジ
ューサ（ＩＤＴ）電極を設け、該ＩＤＴ電極の対をなす
電極指の一方が零度相、他方が９０度相となるようにす
ると共に前記入出力ＩＤＴの一方或は双方のＩＤＴ電極
指間にミアンダラインを配置してこれを接地するフィル
タに於いて、前記ミアンダラインをその両端以外の適所
に於いても前記ＩＤＴ電極指を接続するバスバーを跨い
で接地することによってフィルタの挿入損失を低減した
ことを特徴とする一方向性ＩＤＴ励振型フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7465785A JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7465785A JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61234114A true JPS61234114A (ja) | 1986-10-18 |
| JPH0460367B2 JPH0460367B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=13553519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7465785A Granted JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61234114A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0394480A1 (en) * | 1988-10-16 | 1990-10-31 | YAMANOUCHI, Kazuhiko | Structure of surface acoustic wave transducer having small electrode gaps and method of producing the same |
| JPH0316309A (ja) * | 1989-03-28 | 1991-01-24 | Kazuhiko Yamanouchi | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
| WO2024029610A1 (ja) * | 2022-08-03 | 2024-02-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1985
- 1985-04-09 JP JP7465785A patent/JPS61234114A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0394480A1 (en) * | 1988-10-16 | 1990-10-31 | YAMANOUCHI, Kazuhiko | Structure of surface acoustic wave transducer having small electrode gaps and method of producing the same |
| JPH0316309A (ja) * | 1989-03-28 | 1991-01-24 | Kazuhiko Yamanouchi | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
| WO2024029610A1 (ja) * | 2022-08-03 | 2024-02-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0460367B2 (ja) | 1992-09-25 |
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