JPH0316309A - 陽極酸化を用いた三次元配線法 - Google Patents
陽極酸化を用いた三次元配線法Info
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- JPH0316309A JPH0316309A JP14267989A JP14267989A JPH0316309A JP H0316309 A JPH0316309 A JP H0316309A JP 14267989 A JP14267989 A JP 14267989A JP 14267989 A JP14267989 A JP 14267989A JP H0316309 A JPH0316309 A JP H0316309A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、お互いに交差する電極を配線する方法に関す
る。
る。
弾性表面波変換器の高性能化、集積回路の高性能化のた
めには、複雑な電極構造が要求される。
めには、複雑な電極構造が要求される。
特に同一平面上でお互いに交差する電極構成が必要にな
ってきている。従来の方法では、お互いに交差する電極
を作製する場合、既に作製されている電極の上をマスク
を用いて誘電体膜で被い、かつ接続する電極には誘電体
膜が付着しないようにしなければならないため、複雑な
マスクが必要であるばかりでなく、高精度のマスク合わ
せが必要である。
ってきている。従来の方法では、お互いに交差する電極
を作製する場合、既に作製されている電極の上をマスク
を用いて誘電体膜で被い、かつ接続する電極には誘電体
膜が付着しないようにしなければならないため、複雑な
マスクが必要であるばかりでなく、高精度のマスク合わ
せが必要である。
本発明は、陽極酸化電源に接続されている電極の表面か
らある深さ迄、選択的に誘電体化されるのに対し、電源
に接続されていない電極の表面は変化しないことを利用
して、単純な構造のマスクと粗いマスク合わせでお互い
に絶縁された構造の交差した電極を得る方法に関するも
のである。
らある深さ迄、選択的に誘電体化されるのに対し、電源
に接続されていない電極の表面は変化しないことを利用
して、単純な構造のマスクと粗いマスク合わせでお互い
に絶縁された構造の交差した電極を得る方法に関するも
のである。
弾性表面波すだれ状電極である、３位相器型の一方向性
変換器を作製する方法として、第１図のように、圧電体
基板或いは圧電体薄膜を用いた基板２の上に取り出し電
極をもつ金属電極膜３、４及び取り出し電極を持たない
金属電極膜５を付着させた後、更にレジスト膜を塗布し
た後、リソグラフィー法などを用いて金属電極膜５を横
切るような境界線７の内部のレジストを除去して窓を空
けた後、取り出し電極を通して陽極酸化用の電源ｌに接
続されている金属電極膜３、４のレジストに被われてい
ない部分の電極を表面からある深さ迄、陽極酸化により
誘電体化して誘電体膜６を得た後、新たに金属電極膜を
付着させた後、リフトオフ法などを用いてレジスト上の
金属膜及び１ノジストを除去して、境界線７の内部に金
属電極膜８が得られるようにすることにより、金属電極
膜８と金属電極膜５は直流の電気的に接続されているが
、金属電極８！８と金崩電極膜３、４とは誘電体Ｍ４６
で分離した横遣となるので、このような三次元配線法を
用いることにより、３位相器型の弾性表面波一方向性変
換器が得られる。この場合、金属電極膜３、４、５の交
差部の電極幅は中心動作周波数の波長をλ。とした時、
λ。／６を中心として、各電極の中心位置はそのままに
してその幅の値を＝５０％の範囲にあるようにした構造
の３位相器型の一方向性変換器も本特許に含まれるもの
とする。また、この場合の金属電極模８の金属電極膜３
、４の交差部に対する位置は金属電極膜５と電気的接続
が可能な位置ならば、いずれの位置でも良いようにした
構造であって、金属電極Ｉ！ｌＩ８の交差部での幅が、
０、０５λ。以上から交差部の幅迄の間にあるようにし
た三次元配線法を用いた一方向性変換器を得ることによ
り、特性の良い、作製の容易な一方向性変換器が得られ
る。
変換器を作製する方法として、第１図のように、圧電体
基板或いは圧電体薄膜を用いた基板２の上に取り出し電
極をもつ金属電極膜３、４及び取り出し電極を持たない
金属電極膜５を付着させた後、更にレジスト膜を塗布し
た後、リソグラフィー法などを用いて金属電極膜５を横
切るような境界線７の内部のレジストを除去して窓を空
けた後、取り出し電極を通して陽極酸化用の電源ｌに接
続されている金属電極膜３、４のレジストに被われてい
ない部分の電極を表面からある深さ迄、陽極酸化により
誘電体化して誘電体膜６を得た後、新たに金属電極膜を
付着させた後、リフトオフ法などを用いてレジスト上の
金属膜及び１ノジストを除去して、境界線７の内部に金
属電極膜８が得られるようにすることにより、金属電極
膜８と金属電極膜５は直流の電気的に接続されているが
、金属電極８！８と金崩電極膜３、４とは誘電体Ｍ４６
で分離した横遣となるので、このような三次元配線法を
用いることにより、３位相器型の弾性表面波一方向性変
換器が得られる。この場合、金属電極膜３、４、５の交
差部の電極幅は中心動作周波数の波長をλ。とした時、
λ。／６を中心として、各電極の中心位置はそのままに
してその幅の値を＝５０％の範囲にあるようにした構造
の３位相器型の一方向性変換器も本特許に含まれるもの
とする。また、この場合の金属電極模８の金属電極膜３
、４の交差部に対する位置は金属電極膜５と電気的接続
が可能な位置ならば、いずれの位置でも良いようにした
構造であって、金属電極Ｉ！ｌＩ８の交差部での幅が、
０、０５λ。以上から交差部の幅迄の間にあるようにし
た三次元配線法を用いた一方向性変換器を得ることによ
り、特性の良い、作製の容易な一方向性変換器が得られ
る。
弾性表面波すだれ状電極である、２位相器型のグループ
型一方向性すだれ状電極を作製する方法として、第２図
のように、圧電体基板或いは圧電体薄膜を用いた基板２
の上に取り出し電極をもつ０゜位相の金属電極模１０、
９０”位相の金属電極膜１１及び取り出し電極を持たな
いアース電極１２ａ、１２ｂを付着させた後、更にレジ
スト膜を塗布した後、リソグラフィー法などを用いて金
属電極膜１２ａ， ！２ｂを横切るような境界線７の内
部のレジストを除去して窓を空けた後、取り出し電極を
通し陽極酸化用の電源１に接続されている電極１０、１
１のレジストに被われていない部分の電極を表面からあ
る深さ迄、陽極酸化により誘電体化して誘電体膜６を得
た後、新たに金属電極膜を付着させた後、リフトオフ法
などを用いてレジスト上の金属膜及びレジストを除去し
て境界線７の内部に金属電極ＷＡ８か得られるようにす
ることにより、金属電極Ｗ：４８と金属電極模１２ａ，
１２ｂは電気が，に接続されているが、金属電極ａＳと
金属電極膜１０、Ｉ■とは誘電体！！Ｉ６で分離される
ようにした三次元配線法を用いることにより、特性の良
いグループ型一方向性すだれ状電極が得られる。この場
合、金属電極膜１０， １１、１２ａ， １２ｂの交差
部の電極幅がλ。／４、λ。／４、λ。／４、３λ。／
４（この３λ０／４幅の電極は、λ。／４幅の電極、λ
。／４のギャップ、λ。／４の幅の電極に分離している
場合を含む）を中心として、各電極の中心位置はそのま
まにして、その幅の値を土５０％の範囲にあるようにし
たグループ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器で
あって、この場合の１グループ内の励振電界の数が４で
あるが、６、８…などを用いたグループ型一方向性すだ
れ状電極であって、アース電極膜１２ａ， １２ｂの取
り出し電極膜８の電極膜１０、１１の交差部に対する位
置が、アース電極膜１２ａＳ１２ｂと電気的に接続が可
能な位置ならば、いずれの位置でも良いようにしたグル
ープ型一方向性すだれ状電極であって、金属電極膜８の
交差部における幅が、０．０５λ。以上から交差部の幅
迄の間にあるようにしたの三次元配線法を用いることに
より、種々の特性をもつ一方向性変換器が得られる。
型一方向性すだれ状電極を作製する方法として、第２図
のように、圧電体基板或いは圧電体薄膜を用いた基板２
の上に取り出し電極をもつ０゜位相の金属電極模１０、
９０”位相の金属電極膜１１及び取り出し電極を持たな
いアース電極１２ａ、１２ｂを付着させた後、更にレジ
スト膜を塗布した後、リソグラフィー法などを用いて金
属電極膜１２ａ， ！２ｂを横切るような境界線７の内
部のレジストを除去して窓を空けた後、取り出し電極を
通し陽極酸化用の電源１に接続されている電極１０、１
１のレジストに被われていない部分の電極を表面からあ
る深さ迄、陽極酸化により誘電体化して誘電体膜６を得
た後、新たに金属電極膜を付着させた後、リフトオフ法
などを用いてレジスト上の金属膜及びレジストを除去し
て境界線７の内部に金属電極ＷＡ８か得られるようにす
ることにより、金属電極Ｗ：４８と金属電極模１２ａ，
１２ｂは電気が，に接続されているが、金属電極ａＳと
金属電極膜１０、Ｉ■とは誘電体！！Ｉ６で分離される
ようにした三次元配線法を用いることにより、特性の良
いグループ型一方向性すだれ状電極が得られる。この場
合、金属電極膜１０， １１、１２ａ， １２ｂの交差
部の電極幅がλ。／４、λ。／４、λ。／４、３λ。／
４（この３λ０／４幅の電極は、λ。／４幅の電極、λ
。／４のギャップ、λ。／４の幅の電極に分離している
場合を含む）を中心として、各電極の中心位置はそのま
まにして、その幅の値を土５０％の範囲にあるようにし
たグループ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器で
あって、この場合の１グループ内の励振電界の数が４で
あるが、６、８…などを用いたグループ型一方向性すだ
れ状電極であって、アース電極膜１２ａ， １２ｂの取
り出し電極膜８の電極膜１０、１１の交差部に対する位
置が、アース電極膜１２ａＳ１２ｂと電気的に接続が可
能な位置ならば、いずれの位置でも良いようにしたグル
ープ型一方向性すだれ状電極であって、金属電極膜８の
交差部における幅が、０．０５λ。以上から交差部の幅
迄の間にあるようにしたの三次元配線法を用いることに
より、種々の特性をもつ一方向性変換器が得られる。
特許請求の第１項と同様の方法で作製される３位相器型
の一方向性変換器において、金属電極膜３、４、５、の
交差部の電極輻が、弾性表面波の伝搬方向に対して異な
る重み付けされた構造の３位相器型の一方向性変換器の
三次元配線法を用いることにより、従来の一方向性変換
器でありながら、通常のすだれ状電極における重み付け
特性と同様の特性の一方向性変換器が得られる。
の一方向性変換器において、金属電極膜３、４、５、の
交差部の電極輻が、弾性表面波の伝搬方向に対して異な
る重み付けされた構造の３位相器型の一方向性変換器の
三次元配線法を用いることにより、従来の一方向性変換
器でありながら、通常のすだれ状電極における重み付け
特性と同様の特性の一方向性変換器が得られる。
特許請求の範囲第２項と同様の陽極酸化を用いて作製さ
れるグループ型一方向性すだれ状電極であって、第３図
のように、０゜及び９０”位桁の電極膜１０ａ， １１
ａ及びアース電極膜１２ｃ， １２ｄの交差部の幅が弾
性表面波の伝搬方向Ｉｓに対して異なる、重み付け構造
のグループ型一方向性すだれ状電極の三次元配線法を用
いることにより、周波数特性を制御した一方向性変換器
が得られる。
れるグループ型一方向性すだれ状電極であって、第３図
のように、０゜及び９０”位桁の電極膜１０ａ， １１
ａ及びアース電極膜１２ｃ， １２ｄの交差部の幅が弾
性表面波の伝搬方向Ｉｓに対して異なる、重み付け構造
のグループ型一方向性すだれ状電極の三次元配線法を用
いることにより、周波数特性を制御した一方向性変換器
が得られる。
特許請求の範囲第２項と同様の陽極酸化を用いて作製さ
れるミヤンダーライン構造のアース電極膜をもつグルー
プ型一方向性すだれ状電極において、第４図のように、
金属電極ｇｔｏｂ，ｔｔｂとミヤンダーライン電極膜１
３ａとが陽極酸化誘電体膜６ａなどで分離され、金属電
極膜８と金属電極模１０ｂ，１ｌｂとは、陽極酸化誘電
体膜で分離され、ミヤンダーライン構造の電極９が電極
８と直流の電気的に接続された構造のグループ型一方向
性すだれ状電極一方向性変換器であって、この場合、各
電極の交差部の幅が、各電極の中心位置はそのままにし
て、これらの値の±５０％の範囲にあるようにしたグル
ープ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器の三次元
配線法を用いることにより、幅の広いマスクパターンを
用いて、高い周波数で動作する一方向性変換器が得られ
る。
れるミヤンダーライン構造のアース電極膜をもつグルー
プ型一方向性すだれ状電極において、第４図のように、
金属電極ｇｔｏｂ，ｔｔｂとミヤンダーライン電極膜１
３ａとが陽極酸化誘電体膜６ａなどで分離され、金属電
極膜８と金属電極模１０ｂ，１ｌｂとは、陽極酸化誘電
体膜で分離され、ミヤンダーライン構造の電極９が電極
８と直流の電気的に接続された構造のグループ型一方向
性すだれ状電極一方向性変換器であって、この場合、各
電極の交差部の幅が、各電極の中心位置はそのままにし
て、これらの値の±５０％の範囲にあるようにしたグル
ープ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器の三次元
配線法を用いることにより、幅の広いマスクパターンを
用いて、高い周波数で動作する一方向性変換器が得られ
る。
圧電性基板或いは圧電性薄膜を用いた基板上に、第５図
のように、取り出し電極をもつ金属電極膜１５、１６及
び取り出し電極を持たない金属電極膜ｌ７、１８を付着
させた後、レジストを付着させ、リソグラフィー法など
を用いて、境界線７ａと７ｂの内部のレジストを除去し
て窓をあけた後、金属電極模ｌ５、１６の窓の部分の金
属電極膜を表面からある深さ迄陽極酸化により誘電体化
した後、金属電極膜を付着させ、リフトオフ法により、
境界線７ａ、７ｂの内部に金属電極膜８ａ． ８ｂを得
ることにより、金属電極膜８ａと金属電極膜１７，金属
電極膜８ｂと金属電極膜ｌ８とを直流の電気的に接続し
た４移相器型の一方向性変換器であって、この場合、交
差部の電極幅は、各電極の中心位置はそのままにして、
各電極幅をλ。／８を中心として、その値の±５０％の
範囲にあるようにした４移相器型の一方向性変換器の三
次元配線法を用いることにより、大きな放射コンダクタ
ンスをもつ一方向性変換器が得られる。この場合、重み
付けされた、本方法による４位相器型の一方向性変換器
も本特許に含まれる。
のように、取り出し電極をもつ金属電極膜１５、１６及
び取り出し電極を持たない金属電極膜ｌ７、１８を付着
させた後、レジストを付着させ、リソグラフィー法など
を用いて、境界線７ａと７ｂの内部のレジストを除去し
て窓をあけた後、金属電極模ｌ５、１６の窓の部分の金
属電極膜を表面からある深さ迄陽極酸化により誘電体化
した後、金属電極膜を付着させ、リフトオフ法により、
境界線７ａ、７ｂの内部に金属電極膜８ａ． ８ｂを得
ることにより、金属電極膜８ａと金属電極膜１７，金属
電極膜８ｂと金属電極膜ｌ８とを直流の電気的に接続し
た４移相器型の一方向性変換器であって、この場合、交
差部の電極幅は、各電極の中心位置はそのままにして、
各電極幅をλ。／８を中心として、その値の±５０％の
範囲にあるようにした４移相器型の一方向性変換器の三
次元配線法を用いることにより、大きな放射コンダクタ
ンスをもつ一方向性変換器が得られる。この場合、重み
付けされた、本方法による４位相器型の一方向性変換器
も本特許に含まれる。
圧電性基板或いは圧電性薄膜基板２上に、第６図のよう
に、取り出し電極をもつ金属電極膜１９、２０及びこれ
らの金属電極膜と誘電体膜などで分離された金属電極膜
２１及びミヤンダーライン構造の電極１３ｂからなる金
閥電極膜を作製した後、境界線７ｃの内部のレジストの
窓を空けた後、金属電極膜１９、２０及び１３ｂを陽極
酸化用の電源１に接続して陽極酸化して誘電体化した後
、金属電極８ｃを付着させて金属電極２１と８ｃを接続
した後、境界線７ｄの窓を空け、１９、２０Ｊｃを陽極
酸化電源に接続して誘電体化した後、金属電極８ｄを付
着させて、金属Ｍ８ｄと電極１３ｂが接続するようにし
た三次元配線法を用いることにより、ミヤンダーライン
電極の抵抗の影響の無い一方向性変換器が得られる。
に、取り出し電極をもつ金属電極膜１９、２０及びこれ
らの金属電極膜と誘電体膜などで分離された金属電極膜
２１及びミヤンダーライン構造の電極１３ｂからなる金
閥電極膜を作製した後、境界線７ｃの内部のレジストの
窓を空けた後、金属電極膜１９、２０及び１３ｂを陽極
酸化用の電源１に接続して陽極酸化して誘電体化した後
、金属電極８ｃを付着させて金属電極２１と８ｃを接続
した後、境界線７ｄの窓を空け、１９、２０Ｊｃを陽極
酸化電源に接続して誘電体化した後、金属電極８ｄを付
着させて、金属Ｍ８ｄと電極１３ｂが接続するようにし
た三次元配線法を用いることにより、ミヤンダーライン
電極の抵抗の影響の無い一方向性変換器が得られる。
特許請求の範囲第１項、または第２項、または第３項、
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項において、圧電体薄膜基板の場合、圧電体薄膜と基
板の間、或いは圧電体１Ｍの表面に上記の方法で作製さ
れた電極からなる弾性表面波変換器及び電子機能素子の
三次元配線法を用いることにより、大きな放射コンダク
タンスの一方向性変換器が得られる。
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項において、圧電体薄膜基板の場合、圧電体薄膜と基
板の間、或いは圧電体１Ｍの表面に上記の方法で作製さ
れた電極からなる弾性表面波変換器及び電子機能素子の
三次元配線法を用いることにより、大きな放射コンダク
タンスの一方向性変換器が得られる。
特許請求の範囲第Ｌ項、または第２項、または第３項、
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項、または第８項において、中心周波数での波長λ。
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項、または第８項において、中心周波数での波長λ。
の値を各グループ或いはｌ波長毎に変化させた構造の弾
性表面波変換器の三次元配線法を用いることにより、広
い帯域幅の一方向性変換器か得られる。
性表面波変換器の三次元配線法を用いることにより、広
い帯域幅の一方向性変換器か得られる。
特許請求の範囲第１項、または第２項、または第３項、
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項、または第８項、または第９項において、陽極酸化
後に付着する金属電極膜８、＋１１ａ， ８ｂ、８ｃ，
８ｄの交差電極に対する位置は、陽極酸化後に接続され
る電極５ 、．１２ａｓ１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１３
ａ，１３ｂ，１７、ｌ８との接続が可能な範囲の位置な
らば、いずれの位置でも良いようにした弾性表面波一方
向性変換器の三次元配線法を用いることにより、マスク
合わせの容易な、特性の良い一方向性変換器が得られる
。
または第４項、または第５項、または第６項、または第
７項、または第８項、または第９項において、陽極酸化
後に付着する金属電極膜８、＋１１ａ， ８ｂ、８ｃ，
８ｄの交差電極に対する位置は、陽極酸化後に接続され
る電極５ 、．１２ａｓ１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１３
ａ，１３ｂ，１７、ｌ８との接続が可能な範囲の位置な
らば、いずれの位置でも良いようにした弾性表面波一方
向性変換器の三次元配線法を用いることにより、マスク
合わせの容易な、特性の良い一方向性変換器が得られる
。
特許請求の範囲第１項から第１０項迄においては、！＆
初の取り出し電極をもたない電極膜は、３位相器型では
、２４００電極、グループ型一方向性すだれ状電極では
、アース電極及びミヤンダーライン電極、４位相型では
、１８０” 、及び２７０３電極としたが、最初の取り
出しをもたない電極は、いずれの位相の電極でも良い構
造の一方向性変換器の三次元配線法を用いることにより
、種々の特性の一方向性変換器が得られる。
初の取り出し電極をもたない電極膜は、３位相器型では
、２４００電極、グループ型一方向性すだれ状電極では
、アース電極及びミヤンダーライン電極、４位相型では
、１８０” 、及び２７０３電極としたが、最初の取り
出しをもたない電極は、いずれの位相の電極でも良い構
造の一方向性変換器の三次元配線法を用いることにより
、種々の特性の一方向性変換器が得られる。
特許請求の範囲第１項から第１１項において、２位相器
型、３一位相器型、４一位相器型についてであるが、更
に５、６、などの多位相器を用いた構造、或いは位相器
として遅延線を用いた構造の弾性表面波一方向性変換器
の三次元配線法を用いることにより、高性能の一方向忙
変換器か得られる。以上は、一方向性変換器についてで
あるが、第３、第４などの取り出し電極を用いた本発明
の三次元配線法によるすだれ状電極弾性表面波変換器も
本特許に含まれる。
型、３一位相器型、４一位相器型についてであるが、更
に５、６、などの多位相器を用いた構造、或いは位相器
として遅延線を用いた構造の弾性表面波一方向性変換器
の三次元配線法を用いることにより、高性能の一方向忙
変換器か得られる。以上は、一方向性変換器についてで
あるが、第３、第４などの取り出し電極を用いた本発明
の三次元配線法によるすだれ状電極弾性表面波変換器も
本特許に含まれる。
絶縁性基板、圧電性基板、圧電性薄膜をもつ基板、半絶
縁性の基板、或いは半導体基板上に、目的とする種々の
パターンからなる金属電極膜を作製する第１の工程と、
第１の工程で作製された種々の構造の金属電極膜の内、
陽極酸化用の電源に接続される金属電極膜と接続されな
い金＠電極膜とに分けて接続を行う第２の工程と、陽極
酸化用の電源に接続されている金属電極膜のみを表面か
らある深さ迄、陽極酸化により誘電体化を行う第３の工
程と、新たに目的とする金属電極を付着させる第４の工
程からなる、第１の工程の金属電極膜と第４の工程の金
属電極膜との接続が、第３の工程の陽極酸化により、表
面からある深さ迄誘電体化した金ｒＩ４電極膜には陽極
酸化した誘電体膜で分離されているため直流の電気的に
は接続されていないが、陽極酸化されなかった第１の工
程の金属電極膜と第４の工程の金属電極膜とは直流の電
気的には、接続されるようにした三次元配線法を用いる
ことにより、高性能の機能素子が得られる。
縁性の基板、或いは半導体基板上に、目的とする種々の
パターンからなる金属電極膜を作製する第１の工程と、
第１の工程で作製された種々の構造の金属電極膜の内、
陽極酸化用の電源に接続される金属電極膜と接続されな
い金＠電極膜とに分けて接続を行う第２の工程と、陽極
酸化用の電源に接続されている金属電極膜のみを表面か
らある深さ迄、陽極酸化により誘電体化を行う第３の工
程と、新たに目的とする金属電極を付着させる第４の工
程からなる、第１の工程の金属電極膜と第４の工程の金
属電極膜との接続が、第３の工程の陽極酸化により、表
面からある深さ迄誘電体化した金ｒＩ４電極膜には陽極
酸化した誘電体膜で分離されているため直流の電気的に
は接続されていないが、陽極酸化されなかった第１の工
程の金属電極膜と第４の工程の金属電極膜とは直流の電
気的には、接続されるようにした三次元配線法を用いる
ことにより、高性能の機能素子が得られる。
絶縁性の基板、圧電性の基板、圧電性薄膜をもつ基板、
半絶縁性の基板、或いは半導体基板上に目的とする種々
のパターンからなる金属電極膜を作製する第１の工程と
、その上にレノスト膜を塗布し、リソグラフィー法など
を用いてレジストの一部を除去して、レジス｝・の無い
窓を作製ｊる第５の工程と、第１の工程の金１ｉｊ！電
極膜の内、陽極酸化電源に電気的に接続される金属電極
膜と接続されていな金属電極膜に分け接続を行う第６の
工程と、陽極酸化電源に接続されているレジストの窓の
部分の金属電極膜を、表面からある深さ迄、陽極酸化に
より誘電体化を行う第７の工程と、新たに金属電極を付
着させる第８の工程と、レジスト及びレジストとの金属
膜を除去する第９の工程とにより、第１の工程の金属電
極膜と第８の工程の窓の部分に付着した金属電極膜との
交差部における電気的接続が、第７の工程による表面か
誘電体化した第１の工程の金属電極膜とは誘電体膜で分
離されているため直流の電気的には接続されないが、陽
極酸化されなかった第１の工程の金属電極膜とは直流の
電気的に接続されようにした三次元配線法を用いること
により、作製の容易な高性能機能素子が得られる。
半絶縁性の基板、或いは半導体基板上に目的とする種々
のパターンからなる金属電極膜を作製する第１の工程と
、その上にレノスト膜を塗布し、リソグラフィー法など
を用いてレジストの一部を除去して、レジス｝・の無い
窓を作製ｊる第５の工程と、第１の工程の金１ｉｊ！電
極膜の内、陽極酸化電源に電気的に接続される金属電極
膜と接続されていな金属電極膜に分け接続を行う第６の
工程と、陽極酸化電源に接続されているレジストの窓の
部分の金属電極膜を、表面からある深さ迄、陽極酸化に
より誘電体化を行う第７の工程と、新たに金属電極を付
着させる第８の工程と、レジスト及びレジストとの金属
膜を除去する第９の工程とにより、第１の工程の金属電
極膜と第８の工程の窓の部分に付着した金属電極膜との
交差部における電気的接続が、第７の工程による表面か
誘電体化した第１の工程の金属電極膜とは誘電体膜で分
離されているため直流の電気的には接続されないが、陽
極酸化されなかった第１の工程の金属電極膜とは直流の
電気的に接続されようにした三次元配線法を用いること
により、作製の容易な高性能機能素子が得られる。
以上についての基礎実験の結果、陽極酸化誘電体膜の膜
厚が０．０５μｍの場合、２５ボルト以上、０．１μ餉
では８０ボルト以上の耐圧が得られている。また、表面
からある深さ迄を陽極酸化した後の金属電極膜の抵抗の
増加についての実験結果、最初の金属膜が０．２μ隋の
場合、陽極酸化後の誘電体膜の厚さが０．０５μｍでは
陽極酸化前の約１．２倍、０．１μｍで１．５倍とその
抵抗の増加も小さいので、機能素子の特性の劣化はほと
んど無いと言える。また、陽極酸化されなかった金属電
極膜と新たに付着させた金属電極膜との接触抵抗は、ほ
とんど零であった。
厚が０．０５μｍの場合、２５ボルト以上、０．１μ餉
では８０ボルト以上の耐圧が得られている。また、表面
からある深さ迄を陽極酸化した後の金属電極膜の抵抗の
増加についての実験結果、最初の金属膜が０．２μ隋の
場合、陽極酸化後の誘電体膜の厚さが０．０５μｍでは
陽極酸化前の約１．２倍、０．１μｍで１．５倍とその
抵抗の増加も小さいので、機能素子の特性の劣化はほと
んど無いと言える。また、陽極酸化されなかった金属電
極膜と新たに付着させた金属電極膜との接触抵抗は、ほ
とんど零であった。
上記の方法を用いて、半導体集積回路の三次元配線が可
能であり、本特許に含まれるものとする。
能であり、本特許に含まれるものとする。
第１図は、本発明の方法により作製する３移相器型の一
方向性変換器の平面図及びＡ−Ａ’面の断面図である。 第２（ｉ！Ｊは、３次元陽極酸化配線法を用いたグルー
プ型一方向性すだれ状電極の平面図、及びＤ−Ｄ゜の断
面図である。 第３図は、３次元陽極酸化配線法を用いた重み付けされ
たグループ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器の
平面図及びＧ−Ｇ’の断面図である。 第４図は、陽極酸化膜などを用いた電極間分離構造のグ
ループ型一方向性すだれ状電極に３次元陽極酸化配線法
を用いてアース電極を配線した構造の弾性表面波変換器
の平面図及びＦ−Ｆ’の断面図である。 第５図は、３次元陽極酸化法を用いた４移相器型の一方
向性変換器の断面図及び平面図である。 第６図は、３移相器型の一方向性変換器において、３移
相器に接続された電極の間に接地電極を挿入した構造の
一方向性変換器の平面図及びＢ−Ｂ゛面及びｃ−ｃ’面
の断面図である。 ｌ…陽極酸化用の電源、ｌｓ…弾性表面波の伝搬方向、
２…基板、３…金属電極膜、４…金属電極膜、５…取り
出し電極に接続されていμい金属電極膜、６…陽極酸化
により得られた誘電体膜、７…レジスト膜の境界線、８
…窓を作製した後に付着させる金属膜、９…陽極酸化溶
液中の負電極、 １０…金属電極膜、１１…金属電極膜、１２ａ…λ。／
４幅のアース電極、１２ｂ…３λ。／４幅のアース電極
、１４…アース電極１２ａ，１２ｂと電極８が電気的に
接続された部分、１０ａ…金属電極膜、１１ａ…金属電
極膜、１２ｃ…λ０／４幅のアース電極膜、１２ｄ…３
λ。／４幅のアース電極膜、１０ｂ…金属電極膜、１１
ｂ…金属電極膜、 １３ａ…ミヤンダーライン電極膜、６ａ…陽極酸化誘電
体膜、８ｖ・・取り出し電極、８ｂ…取り出し電極、ｌ
５…０゜位相の金属電極膜、ｌ６…９０゜位相の金属電
極膜、ｌ７…１８０゜位相の電極膜、ｌ８…２７０゜位
相の電極膜、１４ａ…ｌ８０゜位相の電極と８８電極が
電気的に接続されている部分、１４ｂ…２７０゜位相の
電極と電極８ｂが電気的に接続されている都分、ｌａ，
１ｂ…陽極酸化用の電源、７ａ…レジストの境界線、７
ｂ…レジストの境界線、８ａ…窓を作製した後に付着さ
せる金ｒｒＡ膜、８ｂ…窓を作製した後に付着させる金
属膜、 る金属膜、
方向性変換器の平面図及びＡ−Ａ’面の断面図である。 第２（ｉ！Ｊは、３次元陽極酸化配線法を用いたグルー
プ型一方向性すだれ状電極の平面図、及びＤ−Ｄ゜の断
面図である。 第３図は、３次元陽極酸化配線法を用いた重み付けされ
たグループ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器の
平面図及びＧ−Ｇ’の断面図である。 第４図は、陽極酸化膜などを用いた電極間分離構造のグ
ループ型一方向性すだれ状電極に３次元陽極酸化配線法
を用いてアース電極を配線した構造の弾性表面波変換器
の平面図及びＦ−Ｆ’の断面図である。 第５図は、３次元陽極酸化法を用いた４移相器型の一方
向性変換器の断面図及び平面図である。 第６図は、３移相器型の一方向性変換器において、３移
相器に接続された電極の間に接地電極を挿入した構造の
一方向性変換器の平面図及びＢ−Ｂ゛面及びｃ−ｃ’面
の断面図である。 ｌ…陽極酸化用の電源、ｌｓ…弾性表面波の伝搬方向、
２…基板、３…金属電極膜、４…金属電極膜、５…取り
出し電極に接続されていμい金属電極膜、６…陽極酸化
により得られた誘電体膜、７…レジスト膜の境界線、８
…窓を作製した後に付着させる金属膜、９…陽極酸化溶
液中の負電極、 １０…金属電極膜、１１…金属電極膜、１２ａ…λ。／
４幅のアース電極、１２ｂ…３λ。／４幅のアース電極
、１４…アース電極１２ａ，１２ｂと電極８が電気的に
接続された部分、１０ａ…金属電極膜、１１ａ…金属電
極膜、１２ｃ…λ０／４幅のアース電極膜、１２ｄ…３
λ。／４幅のアース電極膜、１０ｂ…金属電極膜、１１
ｂ…金属電極膜、 １３ａ…ミヤンダーライン電極膜、６ａ…陽極酸化誘電
体膜、８ｖ・・取り出し電極、８ｂ…取り出し電極、ｌ
５…０゜位相の金属電極膜、ｌ６…９０゜位相の金属電
極膜、ｌ７…１８０゜位相の電極膜、ｌ８…２７０゜位
相の電極膜、１４ａ…ｌ８０゜位相の電極と８８電極が
電気的に接続されている部分、１４ｂ…２７０゜位相の
電極と電極８ｂが電気的に接続されている都分、ｌａ，
１ｂ…陽極酸化用の電源、７ａ…レジストの境界線、７
ｂ…レジストの境界線、８ａ…窓を作製した後に付着さ
せる金ｒｒＡ膜、８ｂ…窓を作製した後に付着させる金
属膜、 る金属膜、
Claims (14)
- （１）弾性表面波すだれ状電極である、３位相器型の一
方向性変換器を作製する方法として、圧電体基板或いは
圧電体薄膜を用いた基板２の上に取り出し電極をもつ金
属電極膜３、４及び取り出し電極を持たない金属電極膜
５を付着させた後、更にレジスト膜を塗布した後、リソ
グラフィー法などを用いて金属電極膜５を横切るような
境界線７の内部のレジストを除去して窓を空けた後、陽
極酸化用の電源１に接続されている金属電極膜３、４の
レジストに被われていない部分の電極を表面からある深
さ迄、陽極酸化により誘電体化して誘電体膜６を得た後
、新たに金属電極膜を付着させた後、リフトオフ法など
を用いてレジスト上の金属膜及びレジストを除去して、
境界線７の内部に金属電極膜８が得られるようにするこ
とにより、金属電極膜８と金属電極膜５は直流の電気的
に接続されているが、金属電極膜８と金属電極膜３、４
とは誘電体膜６で分離されるようにした三次元配線法で
あって、金属電極膜３、４、５の交差部の電極幅は中心
動作周波数の波長をλ＿０とした時、λ＿０／６を中心
として、各電極の中心位置はそのままにしてその幅の値
を±５０％の範囲にあるようにした３位相器型の一方向
性変換器であって、金属電極膜８の金属電極膜３、４の
交差部に対する位置は金属電極膜５と電気的接続が可能
な位置ならば、いずれの位置でも良いようにした構造で
あって、金属電極膜８の交差部での幅が、０．０５λ＿
０以上から交差部の幅迄の間にあるようにした三次元配
線法。 - （２）弾性表面波すだれ状電極である、２位相器型のグ
ループ型一方向性すだれ状電極を作製する方法として、
圧電体基板或いは圧電体薄膜を用いた基板２の上に取り
出し電極をもつ０°位相の金属電極膜１０，９０°位相
の金属電極膜１１及び取り出し電極を持たないアース電
極１２ａ、１２ｂを付着させた後、更にレジスト膜を塗
布した後、リソグラフィー法などを用いて金属電極膜１
２ａ，１２ｂを横切るような境界線７の内部のレジスト
を除去して窓を空けた後、陽極酸化用の電源１に接続さ
れている電極１０、１１のレジストに被われていない部
分の電極を表面からある深さ迄、陽極酸化により誘電体
化して誘電体膜６を得た後、新たに金属電極膜を付着さ
せた後、リフトオフ法などを用いてレジスト上の金属膜
及びレジストを除去して境界線７の内部に金属電極膜８
が得られるようにすることにより、金属電極膜８と金属
電極膜１２ａ、１２ｂは電気的に接続されているが、金
属電極膜８と金属電極膜１０、１１とは誘電体膜６で分
離されるようにした三次元配線法であって、金属電極膜
１０、１１、１２ａ、１２ｂの交差部の電極幅がλ＿０
／４、λ＿０／４、λ＿０／４、３λ＿０／４（この３
λ＿０／４幅の電極は、λ＿０／４幅の電極、λ＿０／
４のギャップ、λ＿０／４の幅の電極に分離している場
合を含む）を中心として、各電極の中心位置はそのまま
にして、その幅の値を±５０％の範囲にあるようにした
グループ型一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器であ
って、この場合の１グループ内の励振電界の数が４であ
るが、６、８…などを用いたグループ型一方向性すだれ
状電極であって、アース電極膜１２ａ、１２ｂの取り出
し電極膜８の電極膜１０、１１の交差部に対する位置が
、アース電極膜１２ａ、１２ｂと電気的に接続が可能な
位置ならば、いずれの位置でも良いようにしたグループ
型一方向性すだれ状電極であって、金属電極膜８の交差
部における幅が、０．０５λ＿０以上から交差部の幅迄
の間にあるようにしたの三次元配線法。 - （３）特許請求の範囲項と同様の方法で作製される３位
相器型の一方向性変換器において、金属電極膜３、４、
５、の交差部の電極幅が、弾性表面波の伝搬方向に対し
て異なる重み付けされた構造の３位相器型の一方向性変
換器の三次元配線法。 - （４）特許請求の範囲第２項と同様の陽極酸化を用いて
作製されるグループ型一方向性すだれ状電極であって、
０°及び９０°位相の電極膜１０ａ、１１ａ及びアース
電極膜１２ｃ、１２ｄの交差部の幅が弾性表面波の伝搬
方向１ｓに対して、異なる重み付け構造のグループ型一
方向性すだれ状電極の三次元配線法。 - （５）特許請求の範囲第２項と同様の陽極酸化を用いて
作製されるミヤンダーライン構造のアース電極膜をもつ
グループ型一方向性すだれ状電極において、金属電極膜
１０ｂ、１１ｂとミヤンダーライン電極膜１３ａとが陽
極酸化誘電体膜６ａなどで分離され、金属電極膜８と金
属電極膜１０ｂ、１１ｂとは、陽極酸化誘電体膜で分離
され、ミヤンダーライン構造の電極９が電極８と直流の
電気的に接続された構造のグループ型一方向性すだれ状
電極一方向性変換器であって、この場合、各電極の交差
部の幅が、各電極の中心位置はそのままにして、これら
の値の±５０％の範囲にあるようにしたグループ型一方
向性すだれ状電極弾性表面波変換器の三次元配線法。 - （６）圧電性基板或いは圧電性薄膜を用いた基板上に、
取り出し電極をもつ金属電極膜１５、１６及び取り出し
電極を持たない金属電極膜１７、１８を付着させた後、
レジストを付着させ、リソグラフィー法などを用いて、
境界線７ａと７ｂの内部のレジストを除去して窓をあけ
た後、金属電極膜１５、１６の窓の部分の金属電極膜を
表面からある深さ迄陽極酸化により誘電体化した後、金
属電極膜を付着させ、リフトオフ法により、境界線７ａ
、７ｂの内部に金属電極膜８ａ、８ｂを得ることにより
、金属電極膜８ａと金属電極膜１７、金属電極膜８ｂと
金属電極膜１８とを直流の電気的に接続した４移相器型
の一方向性変換器であって、この場合、交差部の電極幅
は、各電極の中心位置はそのままにして、各電極幅をλ
＿０／８を中心として、その値の±５０％の範囲にある
ようにした４移相器型の一方向性変換器の三次元配線法
。 - （７）圧電性基板或いは圧電性薄膜基板２上に、取り出
し電極をもつ金属電極膜１９、２０及びこれらの金属電
極膜と誘電体膜などで分離された金属電極膜２１及びミ
ヤンダーライン構造の電極１３ｂからなる金属電極膜を
作製した後、境界線７ｃの内部のレジストの窓を空けた
後、金属電極膜１９、２０及び１３ｂを陽極酸化用の電
源１に接続して陽極酸化して誘電体化した後、金属電極
８ｃを付着きせて金属電極２１と８ｃを接続した後、境
界線７ｄの窓を空け、１９、２０、８ｃを陽極酸化電源
に接続して誘電体化した後、金属電極８ｄを付着させて
、金属膜８ｄと電極１３ｂが接続するようにした三次元
配線法。 - （８）特許請求の範囲第１項、または第２項、または第
３項、または第４項、または第５項、または第６項、ま
たは第７項において、圧電体薄膜基板の場合、圧電体薄
膜と基板の間、或いは圧電体薄膜の表面に上記の方法で
作製された電極からなる弾性表面波変換器及び電子機能
素子の三次元配線法。 - （９）特許請求の範囲第１項、または第２項、または第
３項、または第４項、または第５項、または第６項、ま
たは第７項、または第８項において、中心周波数での波
長λ＿０の値を各グループ或いは１波長毎に変化させた
構造の弾性表面波変換器の三次元配線法。 - （１０）特許請求の範囲第１項、または第２項、または
第３項、または第４項、または第５項、または第６項、
または第７項、または第８項、または第９項において、
陽極酸化後に付着する金属電極膜８、８ａ、８ｂ、８ｃ
、８ｄの交差電極に対する位置は、陽極酸化後に接続さ
れる電極５、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１３ａ
、１３ｂ、１７、１８との接続が可能な範囲の位置なら
ば、いずれの位置でも良いようにした弾性表面波一方向
性変換器の三次元配線法。 - （１１）特許請求の範囲第１項から第１０項迄において
は、最初の取り出し電極をもたない電極膜は、３位相器
型では、２４０°電極、グループ型一方向性すだれ状電
極では、アース電極及びミヤンダーライン電極、４位相
型では、１８０°、及び２７０°電極としたが、最初の
取り出しをもたない電極は、いずれの位相の電極でも良
い構造の一方向性変換器の三次元配線法。 - （１２）特許請求の範囲第１項から第１１項において、
２−位相器型、３−位相器型、４−位相器型についてで
あるが、更に５、６、などの多位相器を用いた構造、或
いは位相器として遅延線を用いた構造の弾性表面波一方
向性変換器の三次元配線法。 - （１３）絶縁性基板、圧電性基板、圧電性薄膜をもつ基
板、半絶縁性の基板、或いは半導体基板上に、目的とす
る種々のパターンからなる金属電極膜を作製する第１の
工程と、第１の工程で作製された種々の構造の金属電極
膜の内、陽極酸化用の電源に接続される金属電極膜と接
続されない金属電極膜とに分けて接続を行う第２の工程
と、陽極酸化用の電源に接続されている金属電極膜のみ
を表面からある深さ迄、陽極酸化により誘電体化を行う
第３の工程と、新たに目的とする金属電極を付着させる
第４の工程からなる、第１の工程の金属電極膜と第４の
工程の金属電極膜との接続が、第３の工程の陽極酸化に
より、表面からある深さ迄誘電体化した金属電極膜には
陽極酸化した誘電体膜で分離されているため直流の電気
的には接続されていないが、陽極酸化されなかった第１
の工程の金属電極膜と第４の工程の金属電極膜とは直流
の電気的には、接続されるようにした三次元配線法。 - （１４）絶縁性の基板、圧電性の基板、圧電性薄膜をも
つ基板、半絶縁性の基板、或いは半導体基板上に目的と
する種々のパターンからなる金属電極膜を作製する第１
の工程と、その上にレジスト膜を塗布し、リソグラフィ
ー法などを用いてレジストの一部を除去して、レジスト
の無い窓を作製する第５の工程と、第１の工程の金属電
極膜の内、陽極酸化電源に電気的に接続される金属電極
膜と接続されていな金属電極膜に分け接続を行う第６の
工程と、陽極酸化電源に接続されているレジストの窓の
部分の金属電極膜を、表面からある深さ迄、陽極酸化に
より誘電体化を行う第７の工程と、新たに金属電極を付
着させる第８の工程と、レジスト及びレジスト上の金属
膜を除去する第９の工程とにより、窓の部分に付着した
金属電極との接続が、第７の工程による表面が誘電体化
した第１の工程の金属電極膜とは誘電体膜で分離されて
いるため直流の電気的には接続されないが、陽極酸化さ
れなかった第１の工程の金属電極膜とは直流の電気的に
接続されようにした三次元配線法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1142679A JP2673122B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-06-05 | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1-77392 | 1989-03-28 | ||
| JP7739289 | 1989-03-28 | ||
| JP1142679A JP2673122B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-06-05 | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316309A true JPH0316309A (ja) | 1991-01-24 |
| JP2673122B2 JP2673122B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=26418485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1142679A Expired - Fee Related JP2673122B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-06-05 | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673122B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JPH04256411A (ja) * | 1991-02-07 | 1992-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気清浄機 |
| JPH0730362A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
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- 1989-06-05 JP JP1142679A patent/JP2673122B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2673122B2 (ja) | 1997-11-05 |
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