JPH0373607A - 弾性表面波変換器及び共振器 - Google Patents
弾性表面波変換器及び共振器Info
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- JPH0373607A JPH0373607A JP20816089A JP20816089A JPH0373607A JP H0373607 A JPH0373607 A JP H0373607A JP 20816089 A JP20816089 A JP 20816089A JP 20816089 A JP20816089 A JP 20816089A JP H0373607 A JPH0373607 A JP H0373607A
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電体基板上に設けられた弾性表面波変換器
及び弾性表面波共振器において、正負電極の間或いは正
電極の間或いは負電極の間に設けられたいずれの電極に
も接続されていない同じ或いはかなり近い位相の浮き電
極同士を接続する弾性表面波変換器及び共振器の構造及
び作製法に関する。
及び弾性表面波共振器において、正負電極の間或いは正
電極の間或いは負電極の間に設けられたいずれの電極に
も接続されていない同じ或いはかなり近い位相の浮き電
極同士を接続する弾性表面波変換器及び共振器の構造及
び作製法に関する。
すだれ状電極を用いた弾性表面波変換器及び共振器では
、これまでに性能向上のため、電極間に短絡型の浮き電
極或いは開放型の浮き電極を配置した構造の変換器或い
は共振器が提案されている。
、これまでに性能向上のため、電極間に短絡型の浮き電
極或いは開放型の浮き電極を配置した構造の変換器或い
は共振器が提案されている。
しかし、浮き電極各々独立の反射を利用しているため、
反射率が小さく性能向上に限界がある。
反射率が小さく性能向上に限界がある。
本発明は、すだれ状電極内に配置された開放型の浮き電
極の内、すだれ状電極の励振・受信・反射中心周波数に
対して、同じ或いはかなり近い位相の浮き電極同士を接
続する構造とすることにより、大きな反射係数とすだれ
状電極全体にわたって−様な大きさの反射係数をもつ浮
き電極が得られることに着目し、大幅な特性の向上が可
能となる弾性表面波変換器及び共振器の構造及び作製法
に関するものである。
極の内、すだれ状電極の励振・受信・反射中心周波数に
対して、同じ或いはかなり近い位相の浮き電極同士を接
続する構造とすることにより、大きな反射係数とすだれ
状電極全体にわたって−様な大きさの反射係数をもつ浮
き電極が得られることに着目し、大幅な特性の向上が可
能となる弾性表面波変換器及び共振器の構造及び作製法
に関するものである。
圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板と圧
電性薄膜の間或いは圧電性薄膜の上に、弾性表面波すだ
れ状電極の正負電極め間或いは正電極の間或いは負電極
の間にいずれの電極にも接続されていない開放型の浮き
電極を得た後、すだれ状電極の正負電極の関係を弾性表
面波の伝搬方向に右に見た時正電極から負電極への電極
間に設けた開放型の浮き電極同士、或いは負電極から正
電極への間に設けられた開放型の浮き電極同士、正電極
間に設けられた浮き電極同士、或いは負電極間に設けら
れた浮き電極同士を接続することにより、大きな反射係
数の浮き電極が得られるので、特性の良い弾性表面波変
換器及び共振器を得ることができる。
電性薄膜の間或いは圧電性薄膜の上に、弾性表面波すだ
れ状電極の正負電極め間或いは正電極の間或いは負電極
の間にいずれの電極にも接続されていない開放型の浮き
電極を得た後、すだれ状電極の正負電極の関係を弾性表
面波の伝搬方向に右に見た時正電極から負電極への電極
間に設けた開放型の浮き電極同士、或いは負電極から正
電極への間に設けられた開放型の浮き電極同士、正電極
間に設けられた浮き電極同士、或いは負電極間に設けら
れた浮き電極同士を接続することにより、大きな反射係
数の浮き電極が得られるので、特性の良い弾性表面波変
換器及び共振器を得ることができる。
また、特許請求の範囲第１項において、第１図のように
、圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板と
圧電性薄膜の間或いは圧電性薄膜Ｉの上に、すだれ状電
極の弾性表面波の中心周波数での波長をλとした時、交
差部の電極幅がλ／２以下の正電極２と、正電極との間
隔が中心間距離でλ／２の電極幅がλ／２以下の負電極
３と、負電極３との間隔がλ／２の正負いずれの電極に
も接続されていない電極幅がλ／２以下の浮き電極４を
作製する第３の工程と、レジストを塗布し、リソグラフ
ィ法などにより電極２．３．４を交差するようなレジス
トの無い窓５を作製する第４の工程と、電極２及び電極
３を陽極酸化用の電源に接続し、電極２及び３のレジス
トの無い窓の部分の表面からある深さ迄でを陽極酸化に
より誘電体膜を得る第５の工程と、導電性膜を新たに付
着させる第６の工程と、レジスト及びレジスト上の導電
性膜を除去する第７の工程とにより、浮き電極４同士が
導電性１１７を通してお互いに接続された構造とするこ
とにより、特性の良い弾性表面波変換器及び共振器を得
ることができる。
、圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板と
圧電性薄膜の間或いは圧電性薄膜Ｉの上に、すだれ状電
極の弾性表面波の中心周波数での波長をλとした時、交
差部の電極幅がλ／２以下の正電極２と、正電極との間
隔が中心間距離でλ／２の電極幅がλ／２以下の負電極
３と、負電極３との間隔がλ／２の正負いずれの電極に
も接続されていない電極幅がλ／２以下の浮き電極４を
作製する第３の工程と、レジストを塗布し、リソグラフ
ィ法などにより電極２．３．４を交差するようなレジス
トの無い窓５を作製する第４の工程と、電極２及び電極
３を陽極酸化用の電源に接続し、電極２及び３のレジス
トの無い窓の部分の表面からある深さ迄でを陽極酸化に
より誘電体膜を得る第５の工程と、導電性膜を新たに付
着させる第６の工程と、レジスト及びレジスト上の導電
性膜を除去する第７の工程とにより、浮き電極４同士が
導電性１１７を通してお互いに接続された構造とするこ
とにより、特性の良い弾性表面波変換器及び共振器を得
ることができる。
また、特許請求の範囲第１項或は第２項において、第２
図のように、第２項の正電極８の電極幅がλ／５以下、
矢印１１の方向にみて、負電極９との中心間距離がλ／
４で電極幅が２λ７５以下、負電極との中心間距離がλ
／４でいずれの電極にも接続されていない電極幅がλ／
５以下の浮き電極１ｏ、浮き電極との中心間距離がλ／
５からなる電極幅がλ／５以下の負電極９からなり、浮
き電極同士が導電性膜Ｉ４を通してをお互いに接続した
構造とすることにより、特性の良い弾性表面波変換器及
び共振器が得られる。
図のように、第２項の正電極８の電極幅がλ／５以下、
矢印１１の方向にみて、負電極９との中心間距離がλ／
４で電極幅が２λ７５以下、負電極との中心間距離がλ
／４でいずれの電極にも接続されていない電極幅がλ／
５以下の浮き電極１ｏ、浮き電極との中心間距離がλ／
５からなる電極幅がλ／５以下の負電極９からなり、浮
き電極同士が導電性膜Ｉ４を通してをお互いに接続した
構造とすることにより、特性の良い弾性表面波変換器及
び共振器が得られる。
特許請求の範囲第１項において、第３図、第４図のよう
に、圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板
と圧電性薄膜の間或いは圧電性薄膜ｌの上に、導電性膜
を付着させた後、レジストを塗布し、フォトマスク露光
或いは電子ビーム露光などによりレジストを露光・現像
した後、導電性膜をは１ｚレジストの幅或いはやや狭い
幅にエツチングにより除去して、レジストに被われてい
ない部分及びレジストの下のその端部から入り込んだ部
分の導電性膜１５．２２を陽極酸化、金属の酸化などに
より、誘電体化し誘電体膜１６．２５を得た後、導電性
膜を付着させた後、レジストを除去して得られる導電性
１１［１５と導電性［１７，１８との間及び導電性膜２
２と導電性２３．２４との間が幅の狭い誘電体膜１６及
び２５で分離された構造の微小ギャップをもつすだれ状
電極弾性表面波変換器を得た後、特許請求の範囲第１項
或いは第２項或いは第３項の方法及び構造の同位相の浮
き電極同士を導電性膜２１及び導電性膜２８で接続した
構造とすることにより、特性の良いの弾性表面波変換器
及び共振器が得られる。
に、圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板
と圧電性薄膜の間或いは圧電性薄膜ｌの上に、導電性膜
を付着させた後、レジストを塗布し、フォトマスク露光
或いは電子ビーム露光などによりレジストを露光・現像
した後、導電性膜をは１ｚレジストの幅或いはやや狭い
幅にエツチングにより除去して、レジストに被われてい
ない部分及びレジストの下のその端部から入り込んだ部
分の導電性膜１５．２２を陽極酸化、金属の酸化などに
より、誘電体化し誘電体膜１６．２５を得た後、導電性
膜を付着させた後、レジストを除去して得られる導電性
１１［１５と導電性［１７，１８との間及び導電性膜２
２と導電性２３．２４との間が幅の狭い誘電体膜１６及
び２５で分離された構造の微小ギャップをもつすだれ状
電極弾性表面波変換器を得た後、特許請求の範囲第１項
或いは第２項或いは第３項の方法及び構造の同位相の浮
き電極同士を導電性膜２１及び導電性膜２８で接続した
構造とすることにより、特性の良いの弾性表面波変換器
及び共振器が得られる。
また、特許請求の範囲第２項或いは第３項或いは第４項
において、各々の電極間距離が±５０５の範囲にある構
造とすることにより、周波数特性と位相特性を制御した
弾性表面波変換器及び共振器を得ることができる。
において、各々の電極間距離が±５０５の範囲にある構
造とすることにより、周波数特性と位相特性を制御した
弾性表面波変換器及び共振器を得ることができる。
また、特許請求の範囲第２項或いは第３項或いは第４項
或いは第５項において、すだれ状電極を作製した後、導
電性１１［２，３，８，９，１５，１７，２２，２３を
陽極酸化電源に接続して、表面表面からある深さ迄でを
陽極酸化により誘電体膜を得た後、レジストを塗布し、
リソグラフィ法などにより電極２．３．４．８．９．１
０，１５．１７．１８．２２．２３．２４を交差するよ
うなレジストの無い窓５．１２．１９．２６を作製した
後、導電性膜を新たに付着させた後、レジスト及びレジ
スト上の導電性膜を除去することにより、浮き電極同士
が導電性膜を通してお互いに接続された構造とすること
により、正負電極の表面を陽極酸化した構造の浮き電極
同士を接続した構造の弾性表面波変換器及び共振器が得
られる。
或いは第５項において、すだれ状電極を作製した後、導
電性１１［２，３，８，９，１５，１７，２２，２３を
陽極酸化電源に接続して、表面表面からある深さ迄でを
陽極酸化により誘電体膜を得た後、レジストを塗布し、
リソグラフィ法などにより電極２．３．４．８．９．１
０，１５．１７．１８．２２．２３．２４を交差するよ
うなレジストの無い窓５．１２．１９．２６を作製した
後、導電性膜を新たに付着させた後、レジスト及びレジ
スト上の導電性膜を除去することにより、浮き電極同士
が導電性膜を通してお互いに接続された構造とすること
により、正負電極の表面を陽極酸化した構造の浮き電極
同士を接続した構造の弾性表面波変換器及び共振器が得
られる。
特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項或いは
第４項或いは第５項或いは第６項において、すだれ状電
極の基本動作中心周波数の２倍、３倍、などの高調波で
動作する弾性表面波変換器及び弾性表面波共振器も本特
許に含まれるものとする。
第４項或いは第５項或いは第６項において、すだれ状電
極の基本動作中心周波数の２倍、３倍、などの高調波で
動作する弾性表面波変換器及び弾性表面波共振器も本特
許に含まれるものとする。
以上についての基礎実験の結果、導電体膜の膜厚が０．
２μｍで陽極酸化誘電体膜の膜厚が０．０５μｍの場合
、２５ボルト以上、０．１μｍでは８０ボルト以上の耐
圧が得られている。また、表面からある深さ迄を陽極酸
化した後の金属電極膜の抵抗の増加についての実験結果
、最初の導電性膜が０．２μｍの場合、陽極酸化後の誘
電体膜の厚さが０．０５μｍでは陽極酸化前の約１．２
倍、０．１μ糧で１．５倍とその抵抗の増加も小さく、
しかも陽極酸化膜の導電体膜の長さ方向の幅も非常に狭
いので、機能素子の特性の劣化はほとんど無いと言える
。また、陽極酸化されなかった導電体膜と折たに付着さ
せた導電体膜との接触抵抗は、はとんど零であった。
２μｍで陽極酸化誘電体膜の膜厚が０．０５μｍの場合
、２５ボルト以上、０．１μｍでは８０ボルト以上の耐
圧が得られている。また、表面からある深さ迄を陽極酸
化した後の金属電極膜の抵抗の増加についての実験結果
、最初の導電性膜が０．２μｍの場合、陽極酸化後の誘
電体膜の厚さが０．０５μｍでは陽極酸化前の約１．２
倍、０．１μ糧で１．５倍とその抵抗の増加も小さく、
しかも陽極酸化膜の導電体膜の長さ方向の幅も非常に狭
いので、機能素子の特性の劣化はほとんど無いと言える
。また、陽極酸化されなかった導電体膜と折たに付着さ
せた導電体膜との接触抵抗は、はとんど零であった。
上記の方法を用いて、半導体集積回路の三次元配線、集
積化した回路のコンデンサーの作製なども可能であり、
本特許に含まれるものとする。
積化した回路のコンデンサーの作製なども可能であり、
本特許に含まれるものとする。
第１図は、本発明の方法により作製する浮き電極を接続
する方法の平面図、断面図であり、（ａ）は浮き電極の
平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は陽極酸化により浮き
電極を接続する方法の平面図、及びＡ−Ａ’面の断面図
である。 １・・・基板、２・・・正電極、３・・・負電極、４・
・・浮き電極、５・・・レジストの境界であり、この内
部はレジストが除去された部分、６・・・陽極酸化によ
り得られた誘電体膜、７・・・５の窓の部分に付着した
導電体膜。 第２図は第１図と同様、浮き電極を接続する方法の平面
図、断面図であり、（ａ）は浮き電極の平面図、（ｂ）
は断面図、（ｃ）は陽極酸化により浮き電極を接続する
方法の平面図、及びｃ、−ｃ’面の断面図である。 ８・・・正電極、９・・・負電極、ＩＯ・・・浮き電極
、１１・・・電極の計測方向、１２・・・レジストの境
界であり、この内部はレジストが除去された部分、１３
・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、１４・・・１
２の窓の部分に付着した導電体膜。 第３図は、陽極酸化により得られる微小ギャップすだれ
状電極の浮き電極同士を接続する作製法であり、浮き電
極を接続する方法の平面図、断面図であり、（ａ）は浮
き電極の平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は陽極酸化に
より浮き電極を接続する方法の平面図、及びＢ−Ｂ’面
の断面図である。 １５・・・負電極、１７・・・正電極、１８・・・浮き
電極、１６・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、１
９・・・レジストの境界であり、この内部はレジストが
除去された部分、２０・・・陽極酸化により得られた誘
電体膜、２１・・・１９の窓の部分に付着した導電体膜
。 第４図は、第３図と同様、陽極酸化により得られる微小
ギャップすだれ状電極の浮き電極同士を接続する作製法
であり、浮き電極を接続する方法の平面図、断面図であ
り、（ａ）は浮き電極の平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ
）は陽極酸化により浮き電極を接続する方法の平面図、
及びＩ）−Ｄ’面の断面図である。 ２２・・・負電極、２３・・・正電極、２４・・・浮き
電極、２５・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、２
６・・・レジストの境界であり、この内部はレジストが
除去された部分、２７・・・陽極酸化により得られた誘
電体膜、２８・・・１９の窓の部分に付着した導電体膜
。
する方法の平面図、断面図であり、（ａ）は浮き電極の
平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は陽極酸化により浮き
電極を接続する方法の平面図、及びＡ−Ａ’面の断面図
である。 １・・・基板、２・・・正電極、３・・・負電極、４・
・・浮き電極、５・・・レジストの境界であり、この内
部はレジストが除去された部分、６・・・陽極酸化によ
り得られた誘電体膜、７・・・５の窓の部分に付着した
導電体膜。 第２図は第１図と同様、浮き電極を接続する方法の平面
図、断面図であり、（ａ）は浮き電極の平面図、（ｂ）
は断面図、（ｃ）は陽極酸化により浮き電極を接続する
方法の平面図、及びｃ、−ｃ’面の断面図である。 ８・・・正電極、９・・・負電極、ＩＯ・・・浮き電極
、１１・・・電極の計測方向、１２・・・レジストの境
界であり、この内部はレジストが除去された部分、１３
・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、１４・・・１
２の窓の部分に付着した導電体膜。 第３図は、陽極酸化により得られる微小ギャップすだれ
状電極の浮き電極同士を接続する作製法であり、浮き電
極を接続する方法の平面図、断面図であり、（ａ）は浮
き電極の平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は陽極酸化に
より浮き電極を接続する方法の平面図、及びＢ−Ｂ’面
の断面図である。 １５・・・負電極、１７・・・正電極、１８・・・浮き
電極、１６・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、１
９・・・レジストの境界であり、この内部はレジストが
除去された部分、２０・・・陽極酸化により得られた誘
電体膜、２１・・・１９の窓の部分に付着した導電体膜
。 第４図は、第３図と同様、陽極酸化により得られる微小
ギャップすだれ状電極の浮き電極同士を接続する作製法
であり、浮き電極を接続する方法の平面図、断面図であ
り、（ａ）は浮き電極の平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ
）は陽極酸化により浮き電極を接続する方法の平面図、
及びＩ）−Ｄ’面の断面図である。 ２２・・・負電極、２３・・・正電極、２４・・・浮き
電極、２５・・・陽極酸化により得られた誘電体膜、２
６・・・レジストの境界であり、この内部はレジストが
除去された部分、２７・・・陽極酸化により得られた誘
電体膜、２８・・・１９の窓の部分に付着した導電体膜
。
Claims (7)
- （１）圧電性基板上、或いは圧電性薄膜をもつ基板の基
板と圧電性薄膜の間或いは圧電性薄膜の上に、弾性表面
波すだれ状電極の正負電極の間或いは正電極の間或いは
負電極の間にいずれの電極にも接続されていない開放型
の浮き電極を作製する第１の工程と、すだれ状電極の正
負電極の関係を弾性表面波の伝搬方向に右に見た時正電
極から負電極への電極間に設けた開放型の浮き電極同士
、或いは負電極から正電極への間に設けられた開放型の
浮き電極同士、正電極間に設けられた浮き電極同士、或
いは負電極間に設けられた浮き電極同士を接続する第２
の工程から成る同じ位相或いはかなり近い位相の浮き電
極同士が接続された構造の弾性表面波変換器及び共振器
。 - （２）特許請求の範囲第１項において、圧電性基板上、
或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板と圧電性薄膜の間或
いは圧電性薄膜１の上に、すだれ状電極の弾性表面波の
中心周波数での波長をλとした時、交差部の電極幅がλ
／２以Ｔの正電極２と、正電極との間隔が中心間距離で
λ／２の電極幅がλ／２以下の負電極３と、負電極３と
の間隔がλ／２の正負いずれの電極にも接続されていな
い電極幅がλ／２以下の浮き電極４を作製する第３の工
程と、レジストを塗布し、リソグラフィ法などにより電
極２、３、４を交差するようなレジストの無い窓５を作
製する第４の工程と、電極２及び電極３を陽極酸化用の
電源に接続し、電極２及び３のレジストの無い窓の部分
の表面からある深さ迄でを陽極酸化により誘電体膜を得
る第５の工程と、導電性膜を新たに付着させる第６の工
程と、レジスト及びレジスト上の導電性膜を除去する第
７の工程とにより、浮き電極４同士が導電性膜７を通し
てお互いに接続された構造の弾性表面波変換器及び共振
器。 - （３）特許請求の範囲第１項或は第２項において、第２
項の正電極８の電極幅がλ／５以下、矢印１１の方向に
みて、電極幅が２λ／５以下の負電極９との中心間距離
がλ／４で電極幅が２λ／５以下、負電極との中心間距
離がλ／４でいずれの電極にも接続されていない電極幅
がλ／５以下の浮き電極１０、浮き電極との中心間距離
がλ／５からなる電極幅がλ／５以下の負電極９からな
り、浮き電極同士が導電性膜１４を通してをお互いに接
続した構造の弾性表面波変換器及び共振器。 - （４）特許請求の範囲第１項において、圧電性基板上、
或いは圧電性薄膜をもつ基板の基板と圧電性薄膜の間或
いは圧電性薄膜１の上に、導電性膜を付着させた後、レ
ジストを塗布し、フォトマスク露光或いは電子ビーム露
光などによりレジストを露光・現像した後、導電性膜を
ほぼレジストの幅或いはやや狭い幅にエッチングにより
除去して、レジストに被われていない部分及びレジスト
の下のその端部から入り込んだ部分の導電性膜１５、２
２を陽極酸化、金属の酸化などにより、誘電体化し誘電
体膜１６、２５を得た後、導電性膜を付着させた後、レ
ジストを除去して得られる導電性膜１５と導電性膜１７
、１８との間及び導電性膜２２と導電性２３、２４との
間が幅の挟い誘電体膜１６及び２５で分離された構造の
微小ギャップ構造の浮き電極をもつすだれ状電極を得た
後、特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項の
方法及び構造の同位相或いはかなり近い位相の浮き電極
同士を導電性膜２１及び導電性膜２８で接続した構造の
弾性表面波変換器及び共振器。 - （５）特許請求の範囲第２項或いは第３項或いは第４項
において、各々の電極間距離が±５０％の範囲にある構
造の弾性表面波変換器及び共振器。 - （６）特許請求の範囲第２項或いは第３項或いは第４項
或いは第５項において、すだれ状電極を作製した後、導
電性膜２、３、８、９、１５、１７、２２、２３を陽極
酸化電源に接続して、表面表面からある深さ迄でを陽極
酸化により誘電体膜を得た後、レジストを塗布し、リソ
グラフィ法などにより電極２、３、４、８、９、１０、
１５、１７、１８、２２、２３、２４を交差するような
レジストの無い窓５、１２、１９、２６を作製した後、
導電性膜を新たに付着させた後、レジスト及びレジスト
上の導電性膜を除去することにより、浮き電極同士が導
電性膜を通してお互いに接続された構造の弾性表面波変
換器及び波共振器。 - （７）特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項
或いは第４項或いは第５項或いは第６項において、すだ
れ状電極の基本動作中心周波数の２倍、３倍、などの高
調波で動作する弾性表面波変換器及び共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20816089A JPH0373607A (ja) | 1989-08-13 | 1989-08-13 | 弾性表面波変換器及び共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20816089A JPH0373607A (ja) | 1989-08-13 | 1989-08-13 | 弾性表面波変換器及び共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373607A true JPH0373607A (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=16551647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20816089A Pending JPH0373607A (ja) | 1989-08-13 | 1989-08-13 | 弾性表面波変換器及び共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0373607A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
-
1989
- 1989-08-13 JP JP20816089A patent/JPH0373607A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
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