JPH0275217A - 表面弾性波多重モードフィルタ - Google Patents
表面弾性波多重モードフィルタInfo
- Publication number
- JPH0275217A JPH0275217A JP22578688A JP22578688A JPH0275217A JP H0275217 A JPH0275217 A JP H0275217A JP 22578688 A JP22578688 A JP 22578688A JP 22578688 A JP22578688 A JP 22578688A JP H0275217 A JPH0275217 A JP H0275217A
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- JP
- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- resonator
- coupling
- interdigital
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 18
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 18
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
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- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数の共振器を弾性的に結合させた表面弾性
波多重モードフィルタなど、複数の共振器を並べて構成
する表面弾性波フィルタに関するものである。
波多重モードフィルタなど、複数の共振器を並べて構成
する表面弾性波フィルタに関するものである。
二個の表面弾性波（ＳＡＷ）共振器を近接して配置し、
それらを弾性的に結合させると、二つの振動モードを生
じる。すなわち、対称モードと反対称モードの二つの振
動モードであり、対称モードの共振周波数と反対称モー
ドの反共振周波数を一致させて、二重モードＳＡＷフィ
ルタを構成する。
それらを弾性的に結合させると、二つの振動モードを生
じる。すなわち、対称モードと反対称モードの二つの振
動モードであり、対称モードの共振周波数と反対称モー
ドの反共振周波数を一致させて、二重モードＳＡＷフィ
ルタを構成する。
また、単一の共振器内で二つの振動モードを生じるタイ
プのものもあり、その共振器を複数配置する多重モード
フィルタもある。
プのものもあり、その共振器を複数配置する多重モード
フィルタもある。
共振器を三個以上配置して、多重モードフィルタを構成
することもできる。このような多重モード共振器型表面
弾性波フィルタは、電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ
−７７−３３等に示されている。また、インターデジタ
ル電極を各共振器に二個配置した２ボートタイプなども
ある。
することもできる。このような多重モード共振器型表面
弾性波フィルタは、電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ
−７７−３３等に示されている。また、インターデジタ
ル電極を各共振器に二個配置した２ボートタイプなども
ある。
また、所望の特性を得るために、複数のＩＤＴを並べて
直列あるいは並列に接続する種々のフィルタがある。
直列あるいは並列に接続する種々のフィルタがある。
上記のような表面弾性波多重モートフィルタやその他の
フィルタにおいて、第４図に破ＶＡ４５で示したように
１ＪＴＩ過帯域の上側（タイプによっては下側）にスプ
リアスを生じる。これば、共振器間に必要以上の横方向
の弾性的な結合か生じ、モードの再結合が生じるためで
ある。
フィルタにおいて、第４図に破ＶＡ４５で示したように
１ＪＴＩ過帯域の上側（タイプによっては下側）にスプ
リアスを生じる。これば、共振器間に必要以上の横方向
の弾性的な結合か生じ、モードの再結合が生じるためで
ある。
一般に共振器の間隔ムＪ、」１記の再結合を防止するた
め、表面弾性波の波長の１０倍程度必要であるとされて
いる。しかし、共振器間の間隔を大きくするとチノプザ
イズも大きくなるといった問題を生じる。
め、表面弾性波の波長の１０倍程度必要であるとされて
いる。しかし、共振器間の間隔を大きくするとチノプザ
イズも大きくなるといった問題を生じる。
本発明は、ごのような問題を解決して、弾性的な結合を
調整することにより、通過帯域特性の良好な表面弾性波
多重モードフィルタを得ようとするものである。
調整することにより、通過帯域特性の良好な表面弾性波
多重モードフィルタを得ようとするものである。
また、最小のスペースで効率よく結合を調整するもので
ある。
ある。
本発明は、トランスデユーサ（ＴＤＴ）の端部側で生じ
る横方向の結合を小さくするために、ＩＤＴ間にこれら
を連結する導体パターンを配置して上記の課題を解決す
るものである。
る横方向の結合を小さくするために、ＩＤＴ間にこれら
を連結する導体パターンを配置して上記の課題を解決す
るものである。
すなわち、圧電性基板表面にインターデジタル電極とそ
れにより励振される表面弾性波の伝播路」二に設けた該
インターデジタル電極を挾む反射器とから成る共振器を
表面弾性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表
面弾性波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べ
て配置された二つの共振器のインターデジタル電極の間
に、該インターデジタル電極のバスバーの端部を接続す
る導体バクーンを具えたことに特徴を有するものである
。
れにより励振される表面弾性波の伝播路」二に設けた該
インターデジタル電極を挾む反射器とから成る共振器を
表面弾性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表
面弾性波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べ
て配置された二つの共振器のインターデジタル電極の間
に、該インターデジタル電極のバスバーの端部を接続す
る導体バクーンを具えたことに特徴を有するものである
。
端部において幅が広いものや、間隔の狭い平行な複数の
導体パターンを用いるとよい。
導体パターンを用いるとよい。
」１記のように配置された導体パターンにより、ＩＤＴ
間の結合は、中央部で大きくなり、端部に進むにしたが
って小さくなる。導体膜の単位面積あたりの量が、端部
に進むにしたがって増加するためである。
間の結合は、中央部で大きくなり、端部に進むにしたが
って小さくなる。導体膜の単位面積あたりの量が、端部
に進むにしたがって増加するためである。
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例を示す平面図である。
水晶等の圧電性を有する基板１０の表面に、櫛歯状の電
極が対向して交叉したインターデジタル電極（ＩＤＴ）
１．１ａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向く
両側）に配置された反則器１２ａによって一個の共振器
が構成されている。反射器１２ａは表面弾性波の伝播方
向に垂直な方向に伸びるスＩ・リップ電極で構成されて
おり、この例では全体が端部で接続されたショート型と
なっている。
極が対向して交叉したインターデジタル電極（ＩＤＴ）
１．１ａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向く
両側）に配置された反則器１２ａによって一個の共振器
が構成されている。反射器１２ａは表面弾性波の伝播方
向に垂直な方向に伸びるスＩ・リップ電極で構成されて
おり、この例では全体が端部で接続されたショート型と
なっている。
ＩＤＴで励振された表面弾性波は反射器で多重反射され
、定在波を発生し、エネルギー閉し込めが生じる。
、定在波を発生し、エネルギー閉し込めが生じる。
同様にＩＤＴ１１ｂと反射器１２ｂとで構成された共振
器が近接して基板１０上に配置される。表面弾性波の伝
播方向に垂直な方向に所定の間隔を置いて配置される。
器が近接して基板１０上に配置される。表面弾性波の伝
播方向に垂直な方向に所定の間隔を置いて配置される。
二つの共振器のＩ ＤＴｌｌａ 、１１ｂ間導体パター
ン１３が形成される。この例においては、ＩＤＴの端部
すなわち反射器１２側同士を接続するように、ＩＤＴＩ
Ｉや反射器１２の電極指の幅よりも広くなるように一本
ずつ形成されている。
ン１３が形成される。この例においては、ＩＤＴの端部
すなわち反射器１２側同士を接続するように、ＩＤＴＩ
Ｉや反射器１２の電極指の幅よりも広くなるように一本
ずつ形成されている。
この導体パターン１３は、共振器のＩＤＴＩＩのバスバ
ーを低抵抗で接続するとともに、二つの共振器間の音響
的な結合を小さくする作用をする。すなわち、導体パタ
ーン１３が多く存在する部分において、表面弾性波の伝
播方向に対して横方向の結合が小さくなりＩＤＴの端部
においては最小となる。これによって、端部で生じる横
方向の不要なモードの結合を防止することができる。
ーを低抵抗で接続するとともに、二つの共振器間の音響
的な結合を小さくする作用をする。すなわち、導体パタ
ーン１３が多く存在する部分において、表面弾性波の伝
播方向に対して横方向の結合が小さくなりＩＤＴの端部
においては最小となる。これによって、端部で生じる横
方向の不要なモードの結合を防止することができる。
上記のような構造の本発明による表面弾性波多重モード
フィルタの通過帯域特性を第４図の実線４６で示す。従
来に比較してスプリアスが大幅に抑圧されている。
フィルタの通過帯域特性を第４図の実線４６で示す。従
来に比較してスプリアスが大幅に抑圧されている。
結合の大きさを誘電体膜で調整する手段としては、他の
形状も考えられる。
形状も考えられる。
第２図は、ＩＤＴ２１間に形成する導体パターン２３を
幅の異なるストリップラインとしたものを示しており、
中央部においては幅を小さくするかあるいは形成せず、
端部に進むにしたがって幅を広げて形成したものである
。この場合にも、中央部で導体の分布が粗となり、端部
で密となるので、中央部では結合が大きく、端部におい
ては結合が小さくなる。
幅の異なるストリップラインとしたものを示しており、
中央部においては幅を小さくするかあるいは形成せず、
端部に進むにしたがって幅を広げて形成したものである
。この場合にも、中央部で導体の分布が粗となり、端部
で密となるので、中央部では結合が大きく、端部におい
ては結合が小さくなる。
第３図は、導体パターン３３の幅は同しとし、間隔を調
整した例を示している。中央部では間隔を大きくして結
合を大きくし、端部においては間隔を狭めて導体の分布
を密にし、結合を小さくしたものである。
整した例を示している。中央部では間隔を大きくして結
合を大きくし、端部においては間隔を狭めて導体の分布
を密にし、結合を小さくしたものである。
導体パターンの形状は、上記のような例に限られるもの
ではなく、中央部に少なく、端部に多く存在するような
形状であれば、どのような形状でもよい。また、厚みを
変えて実質的に端部の導体の量を多く形成することもで
きる。
ではなく、中央部に少なく、端部に多く存在するような
形状であれば、どのような形状でもよい。また、厚みを
変えて実質的に端部の導体の量を多く形成することもで
きる。
本発明によれば、横方向の端部における結合を小さくす
ることができるので、不要なモード結合を防くことがで
きる。したがって、スプリアスの発生を抑圧することが
できる。
ることができるので、不要なモード結合を防くことがで
きる。したがって、スプリアスの発生を抑圧することが
できる。
また、それにより、共振器を近接して配置できるので、
素子の小型化も可能となる。
素子の小型化も可能となる。
更に、共振器間の接続パターンを兼ねるので、電極間の
抵抗を下げることができる。
抵抗を下げることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図と第３図
は本発明の他の実施例を示す部分平面図であり、第４図
は従来例と本発明による場合の特性を比較した説明図で
ある。 ＬＬ２Ｌ３１・・・・・・・・ＩＤＴ
は本発明の他の実施例を示す部分平面図であり、第４図
は従来例と本発明による場合の特性を比較した説明図で
ある。 ＬＬ２Ｌ３１・・・・・・・・ＩＤＴ
Claims (3)
- （１）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器のインターデジタル電極の間に、該
インターデジタル電極のバスバーの端部を接続する導体
パターンを具えたことを特徴とする表面弾性波多重モー
ドフィルタ。 - （２）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器のインターデジタル電極の間に、該
インターデジタル電極のバスバーを接続する複数の平行
な導体パターンを具え、該導体パターンは該インターデ
ジタル電極の端部に進むにしたがって幅が広く形成され
たことを特徴とする表面弾性波多重モードフィルタ。 - （３）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器のインターデジタル電極の間に、該
インターデジタル電極のバスバーを接続する複数の平行
な導体パターンを具え、該導体パターンは該インターデ
ジタル電極の端部に進むにしたがって間隔が狭く形成さ
れたことを特徴とする表面弾性波多重モードフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225786A JP2542348B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波多重モ―ドフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225786A JP2542348B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波多重モ―ドフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275217A true JPH0275217A (ja) | 1990-03-14 |
| JP2542348B2 JP2542348B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=16834757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63225786A Expired - Lifetime JP2542348B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波多重モ―ドフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2542348B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6911881B2 (en) | 2002-06-13 | 2005-06-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave device |
| WO2023097531A1 (zh) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 华为技术有限公司 | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921113A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-03 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子フイルタの製造方法 |
| JPS61142812A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波フイルタ |
| JPS6261413A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 多段接続ｓａｗ多重モ−ド・フイルタのシ−ルドパタ−ン |
| JPS6265511A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 多段縦続接続多重モ−ドｓａｗフイルタの電極構造 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63225786A patent/JP2542348B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921113A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-03 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子フイルタの製造方法 |
| JPS61142812A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波フイルタ |
| JPS6261413A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 多段接続ｓａｗ多重モ−ド・フイルタのシ−ルドパタ−ン |
| JPS6265511A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 多段縦続接続多重モ−ドｓａｗフイルタの電極構造 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6911881B2 (en) | 2002-06-13 | 2005-06-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave device |
| KR100503955B1 (ko) * | 2002-06-13 | 2005-07-26 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 표면파 장치 |
| WO2023097531A1 (zh) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 华为技术有限公司 | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2542348B2 (ja) | 1996-10-09 |
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