JPH08102260A - ガス放電パネルおよびその形成方法 - Google Patents
ガス放電パネルおよびその形成方法Info
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- JPH08102260A JPH08102260A JP6235070A JP23507094A JPH08102260A JP H08102260 A JPH08102260 A JP H08102260A JP 6235070 A JP6235070 A JP 6235070A JP 23507094 A JP23507094 A JP 23507094A JP H08102260 A JPH08102260 A JP H08102260A
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- dielectric layer
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- address electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アドレス電圧の小さいガス放電パネルを提供
すること。 【構成】 この発明のガス放電パネル１１を前面基板１
５側から見たとき、アドレス電極１３と表示電極２３
（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差する領域外のアドレ
ス電極１５上に誘電体層１７は存在しないか、わずかに
存在する程度である。
すること。 【構成】 この発明のガス放電パネル１１を前面基板１
５側から見たとき、アドレス電極１３と表示電極２３
（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差する領域外のアドレ
ス電極１５上に誘電体層１７は存在しないか、わずかに
存在する程度である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガス放電パネルに関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガス放電パネルは、背面基板と前
面基板とから構成されている。
面基板とから構成されている。
【０００３】背面基板上には、アドレス電極が設けられ
ている。また、アドレス電極を覆うように、第１誘電体
層が設けられている。第１誘電体層上には、アドレス電
極と直交して、対向するように表示電極（Ｘ電極とＹ電
極）が、一定の距離（ギャップ）を隔てて、対として設
けられている。また、表示電極を覆うように、第２誘電
体層が設けられ、さらに、第２誘電体を保護するため
に、第２誘電体層上に保護膜であるＭｇＯ膜が設けられ
ている。
ている。また、アドレス電極を覆うように、第１誘電体
層が設けられている。第１誘電体層上には、アドレス電
極と直交して、対向するように表示電極（Ｘ電極とＹ電
極）が、一定の距離（ギャップ）を隔てて、対として設
けられている。また、表示電極を覆うように、第２誘電
体層が設けられ、さらに、第２誘電体を保護するため
に、第２誘電体層上に保護膜であるＭｇＯ膜が設けられ
ている。
【０００４】一方、前面基板上には、アドレス電極と平
行に、前面基板と背面基板との間隔を保つため、隔壁が
設けられている。また、前面基板上には、蛍光体が塗布
されている。
行に、前面基板と背面基板との間隔を保つため、隔壁が
設けられている。また、前面基板上には、蛍光体が塗布
されている。
【０００５】そして、背面基板と前面基板とが、鉛ガラ
スにより封止され、放電ガス（例えば、ＮｅとＸｅとの
混合ガス）が数百トール封入されている。
スにより封止され、放電ガス（例えば、ＮｅとＸｅとの
混合ガス）が数百トール封入されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
構成のガス放電パネルでは、アドレス電極の全面が誘電
体層で覆われているため、アドレス電極と表示電極（例
えば、Ｘ電極）に極性の異なる電圧パルスを印加し、ア
ドレス電極とＸ電極の間での放電、つまりアドレス放電
を発生させるとき、非常に高い電圧が必要であった。
構成のガス放電パネルでは、アドレス電極の全面が誘電
体層で覆われているため、アドレス電極と表示電極（例
えば、Ｘ電極）に極性の異なる電圧パルスを印加し、ア
ドレス電極とＸ電極の間での放電、つまりアドレス放電
を発生させるとき、非常に高い電圧が必要であった。
【０００７】従って、アドレス放電を発生させるときに
必要な電圧、つまりアドレス電圧が小さいガス放電パネ
ルの出現が望まれていた。
必要な電圧、つまりアドレス電圧が小さいガス放電パネ
ルの出現が望まれていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このように、アドレス電
圧が小さいガス放電パネルとするため、この発明では、
ガス放電パネルの構成を次のようにする。先ず、このガ
ス放電パネルは、パネルを構成する２つの基板の一方の
基板上に、帯状のアドレス電極と、誘電体層を介在させ
てアドレス電極と交差する表示電極と、これらを覆う保
護膜とを具えている。そして、アドレス電極と表示電極
との交差領域外の、アドレス電極上の誘電体層部分の厚
みは、交差領域内の誘電体層部分の厚みよりも薄いか、
または、アドレス電極と表示電極との交差領域外の、ア
ドレス電極上に、保護膜が誘電体層を介在せずに、直
接、設けられている。
圧が小さいガス放電パネルとするため、この発明では、
ガス放電パネルの構成を次のようにする。先ず、このガ
ス放電パネルは、パネルを構成する２つの基板の一方の
基板上に、帯状のアドレス電極と、誘電体層を介在させ
てアドレス電極と交差する表示電極と、これらを覆う保
護膜とを具えている。そして、アドレス電極と表示電極
との交差領域外の、アドレス電極上の誘電体層部分の厚
みは、交差領域内の誘電体層部分の厚みよりも薄いか、
または、アドレス電極と表示電極との交差領域外の、ア
ドレス電極上に、保護膜が誘電体層を介在せずに、直
接、設けられている。
【０００９】また、この発明のガス放電パネルの形成方
法によれば、帯状のアドレス電極が形成されている基板
上に、誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に、アド
レス電極と交差する方向に延在する帯状の表示電極を形
成する工程と、表示電極をマスクとして、マスク外の誘
電体層の露出部分を除去する工程と、その後に、基板
の、アドレス電極、誘電体層、および表示電極を含む上
側全面に保護膜を形成する工程とを含むことを特徴とす
る。
法によれば、帯状のアドレス電極が形成されている基板
上に、誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に、アド
レス電極と交差する方向に延在する帯状の表示電極を形
成する工程と、表示電極をマスクとして、マスク外の誘
電体層の露出部分を除去する工程と、その後に、基板
の、アドレス電極、誘電体層、および表示電極を含む上
側全面に保護膜を形成する工程とを含むことを特徴とす
る。
【００１０】
【作用】上述したこの発明のガス放電パネルによれば、
パネルを前面基板側から見たとき、アドレス電極と表示
電極（Ｘ電極とＹ電極）の交差する領域外のアドレス電
極上の誘電体層部分の厚みは、交差する領域内のアドレ
ス電極上の誘電体層部分の厚さより薄いか、または交差
する領域外のアドレス電極上に誘電体層は存在しない。
このようにすると、アドレス電極を被覆する誘電体層は
薄くなり抵抗が小さくなる。その結果、アドレス電極と
表示電極（例えば、Ｘ電極）でアドレス放電を起こすと
き、誘電体層での電圧ロスが小さくなり、アドレス電圧
を小さくすることができる。
パネルを前面基板側から見たとき、アドレス電極と表示
電極（Ｘ電極とＹ電極）の交差する領域外のアドレス電
極上の誘電体層部分の厚みは、交差する領域内のアドレ
ス電極上の誘電体層部分の厚さより薄いか、または交差
する領域外のアドレス電極上に誘電体層は存在しない。
このようにすると、アドレス電極を被覆する誘電体層は
薄くなり抵抗が小さくなる。その結果、アドレス電極と
表示電極（例えば、Ｘ電極）でアドレス放電を起こすと
き、誘電体層での電圧ロスが小さくなり、アドレス電圧
を小さくすることができる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
説明する。これら図面において、各構成成分は、この発
明が理解できる程度に各構成成分の形状、大きさ、およ
び配置関係を概略的に示してあるにすぎない。
説明する。これら図面において、各構成成分は、この発
明が理解できる程度に各構成成分の形状、大きさ、およ
び配置関係を概略的に示してあるにすぎない。
【００１２】図１は、この発明の実施例であるガス放電
パネルの構造を概略的に示す要部斜視図である。また、
図４（Ａ）〜（Ｅ）は、ガス放電パネルを構成する背面
基板に所要の構成要素を設ける工程を概略的に示す斜視
図である。なお、以下の説明において、背面基板の処理
工程について説明し、その後、この発明のガス放電パネ
ルについて説明する。
パネルの構造を概略的に示す要部斜視図である。また、
図４（Ａ）〜（Ｅ）は、ガス放電パネルを構成する背面
基板に所要の構成要素を設ける工程を概略的に示す斜視
図である。なお、以下の説明において、背面基板の処理
工程について説明し、その後、この発明のガス放電パネ
ルについて説明する。
【００１３】先ず、帯状（またはストライプ状）のアド
レス電極１３が形成済みの背面基板１５を用意する（図
４（Ａ））。また、図４中、アドレス電極の領域を明確
にするため、アドレス電極には斜線を施して示してあ
る。アドレス電極１３の材料として、例えば、ＩＴＯを
用いる。次に、背面基板１５の上側に、誘電体層１７を
形成する（図４（Ｂ））。誘電体層１７は、例えば、ス
クリーン印刷法により、２０〜３０μｍの厚さに形成す
る。
レス電極１３が形成済みの背面基板１５を用意する（図
４（Ａ））。また、図４中、アドレス電極の領域を明確
にするため、アドレス電極には斜線を施して示してあ
る。アドレス電極１３の材料として、例えば、ＩＴＯを
用いる。次に、背面基板１５の上側に、誘電体層１７を
形成する（図４（Ｂ））。誘電体層１７は、例えば、ス
クリーン印刷法により、２０〜３０μｍの厚さに形成す
る。
【００１４】次に、この誘電体層１７の上面に、帯状
（またはストライプ状）のＸ電極１９とＹ電極２１を形
成する（図４（Ｃ））。Ｘ電極１９とＹ電極２１は、互
いに平行に、アドレス電極１３と直交する方向に形成さ
れている。また、Ｘ電極１９とＹ電極２１は、例えば、
スクリーン印刷法により形成され、Ａｕ，Ａｇ−Ｐｄな
どからなっている。なお、以下、Ｘ電極１９とＹ電極２
１とを合わせて、表示電極２３と称する場合がある。
（またはストライプ状）のＸ電極１９とＹ電極２１を形
成する（図４（Ｃ））。Ｘ電極１９とＹ電極２１は、互
いに平行に、アドレス電極１３と直交する方向に形成さ
れている。また、Ｘ電極１９とＹ電極２１は、例えば、
スクリーン印刷法により形成され、Ａｕ，Ａｇ−Ｐｄな
どからなっている。なお、以下、Ｘ電極１９とＹ電極２
１とを合わせて、表示電極２３と称する場合がある。
【００１５】次に、表示電極２３をマスクとして用い
て、両電極外に露出している誘電体層１７の領域に対し
て、例えばサンドブラスト法により誘電体層１７のパタ
ーニングを行って互いに離間して平行に延在する帯状
（またはストライプ状）の誘電体層パターン１７ａを形
成する（図４（Ｄ））。このとき、除去すべき誘電体層
１７の領域のブラストをアドレス電極１３が露出するま
で行う。しかし、このとき、除去すべき領域の誘電体層
１７は完全に除去することが好ましいが、必ずしも完全
に除去できない場合もあるので、アドレス電極１３上
に、誘電体層１７がわずかに残存していても良い。この
ように、表示電極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）をマ
スクとして用いていると、パネル１１の製造プロセスを
簡略化することができる。なお、図１および図４中、１
７ａは、パターニング済み誘電体層とも称する。
て、両電極外に露出している誘電体層１７の領域に対し
て、例えばサンドブラスト法により誘電体層１７のパタ
ーニングを行って互いに離間して平行に延在する帯状
（またはストライプ状）の誘電体層パターン１７ａを形
成する（図４（Ｄ））。このとき、除去すべき誘電体層
１７の領域のブラストをアドレス電極１３が露出するま
で行う。しかし、このとき、除去すべき領域の誘電体層
１７は完全に除去することが好ましいが、必ずしも完全
に除去できない場合もあるので、アドレス電極１３上
に、誘電体層１７がわずかに残存していても良い。この
ように、表示電極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）をマ
スクとして用いていると、パネル１１の製造プロセスを
簡略化することができる。なお、図１および図４中、１
７ａは、パターニング済み誘電体層とも称する。
【００１６】その後、背面基板１５、アドレス電極１
３、誘電体層パターン１７ａおよび表示電極２３の上側
前面に、例えば、スクリーン印刷法により、保護膜２５
を形成する（図４（Ｅ））。
３、誘電体層パターン１７ａおよび表示電極２３の上側
前面に、例えば、スクリーン印刷法により、保護膜２５
を形成する（図４（Ｅ））。
【００１７】この実施例に用いたガス放電パネル１１
は、上述した方法により形成された背面基板１３と、前
面基板２７とを、隔壁２９により一定の間隔に離間させ
て、重ね合わせて形成されている。前面基板２７には、
蛍光体３１が形成されている（図１）。
は、上述した方法により形成された背面基板１３と、前
面基板２７とを、隔壁２９により一定の間隔に離間させ
て、重ね合わせて形成されている。前面基板２７には、
蛍光体３１が形成されている（図１）。
【００１８】このようにして形成された、この発明のガ
ス放電パネル１１の構造を図１、図２、図３の（Ａ）お
よび（Ｂ）を参照して説明する。図２は、主として、ア
ドレス電極１３と、ＸおよびＹ電極（表示電極）１９、
２１（２３）との配置関係を概略的に示した平面図であ
り、図３（Ａ）および（Ｂ）は、主として、アドレス電
極１３、誘電体層パターン１７ａおよび表示電極２３
（１９、２１）との位置関係と、誘電体層部分の膜厚関
係とを説明するための概略的断面図である。
ス放電パネル１１の構造を図１、図２、図３の（Ａ）お
よび（Ｂ）を参照して説明する。図２は、主として、ア
ドレス電極１３と、ＸおよびＹ電極（表示電極）１９、
２１（２３）との配置関係を概略的に示した平面図であ
り、図３（Ａ）および（Ｂ）は、主として、アドレス電
極１３、誘電体層パターン１７ａおよび表示電極２３
（１９、２１）との位置関係と、誘電体層部分の膜厚関
係とを説明するための概略的断面図である。
【００１９】この発明のガス放電パネル１１の構造によ
れば、アドレス電極１３とＸおよびＹ電極（表示電極）
１９、２１（２３）との交差する領域（交差領域）４０
に設けられている誘電体層部分の膜厚が、アドレス電極
１３上の領域であって、この電極１３と表示電極２３と
交差しない領域（非交差領域）４２における誘電体層部
分の膜厚よりも厚い構造となっている。従って、非交差
領域４２に誘電体層１７が残存している場合には、残存
している誘電体層部分を４４で示す。この非交差領域４
２での残存誘電体層部分４４の膜厚は、交差領域４０に
おける誘電体層部分、すなわち、この実施例では誘電体
層パターン１７ａの部分の膜厚よりも薄くなっている。
この非交差領域４２において誘電体層１７が除去されて
いる場合には、非交差領域４２における残存誘電体層部
分４４の膜厚は実質的に零であるので、交差領域４０に
誘電体層部分１７ａが設けられていれば良い。なお、図
３中、交差領域４０は、網模様で示されている。
れば、アドレス電極１３とＸおよびＹ電極（表示電極）
１９、２１（２３）との交差する領域（交差領域）４０
に設けられている誘電体層部分の膜厚が、アドレス電極
１３上の領域であって、この電極１３と表示電極２３と
交差しない領域（非交差領域）４２における誘電体層部
分の膜厚よりも厚い構造となっている。従って、非交差
領域４２に誘電体層１７が残存している場合には、残存
している誘電体層部分を４４で示す。この非交差領域４
２での残存誘電体層部分４４の膜厚は、交差領域４０に
おける誘電体層部分、すなわち、この実施例では誘電体
層パターン１７ａの部分の膜厚よりも薄くなっている。
この非交差領域４２において誘電体層１７が除去されて
いる場合には、非交差領域４２における残存誘電体層部
分４４の膜厚は実質的に零であるので、交差領域４０に
誘電体層部分１７ａが設けられていれば良い。なお、図
３中、交差領域４０は、網模様で示されている。
【００２０】なお、上述した誘電体層１７の膜厚関係
は、アドレス電極１３上の誘電体層部分について説明し
たが、アドレス電極１３上以外の領域では、誘電体層１
７は設計に応じて設けたり、あるいは設けなかったりす
ることが出来る。図１に示す実施例では、表示電極２３
の下側に表示電極２３の平面形状と実質的に同一の平面
形状の誘電体層パターン１７ａとして誘電体層１７が設
けられており、表示電極２３の下側以外の領域では誘電
体層１７を除去した構造を示してある。
は、アドレス電極１３上の誘電体層部分について説明し
たが、アドレス電極１３上以外の領域では、誘電体層１
７は設計に応じて設けたり、あるいは設けなかったりす
ることが出来る。図１に示す実施例では、表示電極２３
の下側に表示電極２３の平面形状と実質的に同一の平面
形状の誘電体層パターン１７ａとして誘電体層１７が設
けられており、表示電極２３の下側以外の領域では誘電
体層１７を除去した構造を示してある。
【００２１】このパネル３１を駆動して、任意のセルを
点灯させる場合、先ず、該当するアドレス電極１３と、
例えば、Ｘ電極１９に極性の異なる電圧パルスを印加す
る。このため、アドレス電極１３とＸ電極１９の間に放
電が発生する。この放電により、Ｘ電極１９上に電荷が
蓄積される。この発明の実施例のパネル１１では、パネ
ル１１を前面基板１５側から見たとき、アドレス電極１
３と表示電極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差す
る領域外のアドレス電極１５上に誘電体層１７は存在し
ないか、わずかに存在する程度である。このため、アド
レス電極１３と表示電極２３（例えば、Ｘ電極１９）で
アドレス放電を起こすとき、誘電体層１７での電圧ロス
が小さくなり、アドレス電圧を小さくすることができ
る。
点灯させる場合、先ず、該当するアドレス電極１３と、
例えば、Ｘ電極１９に極性の異なる電圧パルスを印加す
る。このため、アドレス電極１３とＸ電極１９の間に放
電が発生する。この放電により、Ｘ電極１９上に電荷が
蓄積される。この発明の実施例のパネル１１では、パネ
ル１１を前面基板１５側から見たとき、アドレス電極１
３と表示電極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差す
る領域外のアドレス電極１５上に誘電体層１７は存在し
ないか、わずかに存在する程度である。このため、アド
レス電極１３と表示電極２３（例えば、Ｘ電極１９）で
アドレス放電を起こすとき、誘電体層１７での電圧ロス
が小さくなり、アドレス電圧を小さくすることができ
る。
【００２２】次に、Ｙ電極２１に電圧パルスが印加され
る。このとき、Ｘ電極１９とＹ電極２１の間に放電が発
生し、蛍光体が発光する。その後、発光を維持させたい
期間、Ｘ電極１９とＹ電極２１に、交互に電圧パルスを
印加する。
る。このとき、Ｘ電極１９とＹ電極２１の間に放電が発
生し、蛍光体が発光する。その後、発光を維持させたい
期間、Ｘ電極１９とＹ電極２１に、交互に電圧パルスを
印加する。
【００２３】この発明は、上述した実施例に限定される
ものではないことは明らかである。
ものではないことは明らかである。
【００２４】例えば、この実施例では、パネル１１を前
面基板１５側から見たとき、アドレス電極１３と表示電
極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差する領域外の
アドレス電極１５上に誘電体層１７は存在しないか、わ
ずかに存在する程度である。しかし、アドレス電極１３
と表示電極２３との交差領域外の、アドレス電極１３上
の誘電体層部分の厚みが、交差領域内の誘電体層部分の
厚みよりも薄ければ、アドレス電圧を小さくすることが
できる。
面基板１５側から見たとき、アドレス電極１３と表示電
極２３（Ｘ電極１９とＹ電極２１）の交差する領域外の
アドレス電極１５上に誘電体層１７は存在しないか、わ
ずかに存在する程度である。しかし、アドレス電極１３
と表示電極２３との交差領域外の、アドレス電極１３上
の誘電体層部分の厚みが、交差領域内の誘電体層部分の
厚みよりも薄ければ、アドレス電圧を小さくすることが
できる。
【００２５】また、例えば、この実施例では、サンドブ
ラスト法により、誘電体層１７のパターニングを行った
が、感光性の誘電体を用いれば、フォトリソグラフィに
より誘電体層１７のパターニングを行うことも可能であ
る。
ラスト法により、誘電体層１７のパターニングを行った
が、感光性の誘電体を用いれば、フォトリソグラフィに
より誘電体層１７のパターニングを行うことも可能であ
る。
【００２６】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明のガス放電パネルによれば、パネルを前面基板側か
ら見たとき、アドレス電極と表示電極（Ｘ電極とＹ電
極）の交差する領域外のアドレス電極上の誘電体層部分
の厚みは、交差する領域内のアドレス電極上の誘電体層
部分の厚さより薄いか、または交差する領域外のアドレ
ス電極上に誘電体層は存在しない。このため、アドレス
電極を被覆する誘電体層は薄くなり抵抗が小さくなる。
その結果、アドレス電極と表示電極（例えば、Ｘ電極）
でアドレス放電を起こすとき、誘電体層での電圧ロスが
小さくなり、アドレス電圧を小さくすることができる。
発明のガス放電パネルによれば、パネルを前面基板側か
ら見たとき、アドレス電極と表示電極（Ｘ電極とＹ電
極）の交差する領域外のアドレス電極上の誘電体層部分
の厚みは、交差する領域内のアドレス電極上の誘電体層
部分の厚さより薄いか、または交差する領域外のアドレ
ス電極上に誘電体層は存在しない。このため、アドレス
電極を被覆する誘電体層は薄くなり抵抗が小さくなる。
その結果、アドレス電極と表示電極（例えば、Ｘ電極）
でアドレス放電を起こすとき、誘電体層での電圧ロスが
小さくなり、アドレス電圧を小さくすることができる。
【００２７】また、この発明のガス放電パネルの形成方
法によれば、誘電体層のパターニングを表示電極（Ｘ電
極とＹ電極）を用いて行っているため、パネルの製造工
程を簡略化することができる。
法によれば、誘電体層のパターニングを表示電極（Ｘ電
極とＹ電極）を用いて行っているため、パネルの製造工
程を簡略化することができる。
【図１】実施例を示すガス放電パネルの構造を概略的に
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】実施例を説明するための平面図である。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）は実施例を説明するための
断面図である。
断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｅ）は、ガス放電パネルを構成する
背面基板に所要の構成成分を設ける工程を概略的に示す
工程図である。
背面基板に所要の構成成分を設ける工程を概略的に示す
工程図である。
１１：ガス放電パネル １３：アドレス電極 １５：背面基板 １７：誘電体層 １７ａ：パターン済み誘電体層（誘電体層パターン） １９：Ｘ電極 ２１：Ｙ電極 ２３：表示電極 ２５：保護膜 ２７：前面基板 ２９：隔壁 ３１：蛍光体 ４０：交差領域 ４２：非交差領域 ４４：残存誘電体層部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小岩 一郎 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 見田 充郎 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 交流型ガス放電パネルを構成する２つの
基板の一方の基板上に、帯状のアドレス電極と、誘電体
層を介在させて該アドレス電極と交差する表示電極と、
これらを覆う保護膜とを具えたガス放電パネルにおい
て、 前記アドレス電極と前記表示電極との交差領域外の、前
記アドレス電極上の前記誘電体層部分の厚みは、前記交
差領域内の前記誘電体層部分の厚みよりも薄いことを特
徴とするガス放電パネル。 - 【請求項２】 交流型ガス放電パネルを構成する２つの
基板の一方の基板上に、帯状のアドレス電極と、誘電体
層を介在させて該アドレス電極と交差する表示電極と、
これらを覆う保護膜とを具えたガス放電パネルにおい
て、 前記アドレス電極と前記表示電極との交差領域外の、前
記アドレス電極上に、前記保護膜が前記誘電体層を介在
せずに、直接、設けられていることを特徴とするガス放
電パネル。 - 【請求項３】 ガス放電パネルを形成する方法におい
て、 帯状のアドレス電極が形成されている基板上に、誘電体
層を形成する工程と、 前記誘電体層上に、前記アドレス電極と交差する方向に
延在する帯状の表示電極を形成する工程と、 前記表示電極をマスクとして、該マスク外の前記誘電体
層の露出部分を除去する工程と、 その後に、前記基板の、前記アドレス電極、前記誘電体
層、および前記表示電極を含む上側全面に保護膜を形成
する工程とを含むことを特徴とするガス放電パネルの形
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235070A JPH08102260A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ガス放電パネルおよびその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235070A JPH08102260A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ガス放電パネルおよびその形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08102260A true JPH08102260A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=16980627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6235070A Pending JPH08102260A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ガス放電パネルおよびその形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08102260A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1313124A2 (en) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| JPWO2008126147A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-07-15 | 株式会社日立製作所 | プラズマディスプレイパネル |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP6235070A patent/JPH08102260A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1313124A2 (en) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| EP1313124A3 (en) * | 2001-11-15 | 2006-03-29 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| US7256550B2 (en) | 2001-11-15 | 2007-08-14 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| US7687998B2 (en) | 2001-11-15 | 2010-03-30 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| JPWO2008126147A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-07-15 | 株式会社日立製作所 | プラズマディスプレイパネル |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040302 |