JPH0765727A - 面放電型プラズマディスプレイパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】マトリクス表示方式の面放電型のプラズマディ
スプレイパネル（ＰＤＰ）に関し、透明導電膜からなる
表示電極のライン方向の導電性を確保しつつ、表示電極
とアドレス電極との間の不要の放電を防止し、信頼性を
高めることを目的とする。 【構成】表示面側の基板上に、透明導電膜４１とその導
電性を補う金属層４２とからなる面放電用の表示電極
Ｘ，Ｙを有し、背面側の基板上に表示電極Ｘ，Ｙと交差
するアドレス電極Ａを有した３電極構造の面放電型プラ
ズマディスプレイパネル１であって、少なくとも一方の
表示電極Ｘの金属層４２が、アドレス電極Ａとの交差部
において透明導電膜４１と重ならないように形成されて
構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マトリクス表示方式の
面放電型のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に関
する。

【０００２】蛍光体によるカラー表示に適した面放電型
ＰＤＰは、視認性に優れ且つ大型化及び高速表示が可能
であることから、ＣＲＴに代わるフラット形の表示デバ
イスとして注目をあつめている。

【０００３】

【従来の技術】ここでは、本発明の実施例を示す図１を
参照して面放電型ＰＤＰの構造について説明する。

【０００４】一般に、マトリクス表示方式の面放電型Ｐ
ＤＰは、表示面Ｈ側のガラス基板１１、表示の各ライン
に対応する面放電用の一対の表示電極Ｘ，Ｙ、表示電極
Ｘ，Ｙを被覆する誘電体層１７、保護膜１８、背面側の
ガラス基板２１、表示電極Ｘ，Ｙと直交するアドレス電
極Ａ、アドレス電極Ａと平行なストライプ状の隔壁２
９、及び所定発光色の蛍光体２８などから構成されてい
る。

【０００５】内部の放電空間３０は、隔壁２９によって
表示電極Ｘ，Ｙの延長方向に単位発光領域ＥＵ毎に区画
され、且つその間隙寸法が１００〜１５０μｍ程度に規
定されている。

【０００６】蛍光体２８は、面放電によるイオン衝撃を
避けるために、表示電極Ｘ，Ｙと反対側のガラス基板２
１上の各隔壁２９の間に設けられ、面放電で生じる紫外
線によって励起されて発光する。蛍光体２８の表層面
（放電空間と接する面）で発光した光は、誘電体層１７
及びガラス基板１１を透過して外部へ射出する。

【０００７】表示電極Ｘ，Ｙは、表示光を発する蛍光体
２８に対して表示面Ｈ側に配置されることから、面放電
を広範囲とし且つ表示光の遮光を最小限とするため、幅
の広い帯状の透明導電膜４１とその一端側に重なる幅の
狭い帯状の金属膜（バス電極）４２とから構成されてい
る。金属膜４２は透明導電膜４１が比較的に高抵抗であ
ることから、表示電極Ｘ，Ｙのライン方向の導電性を補
うために設けられている。通常、透明導電膜４１及び金
属膜４２は、それぞれフォトリソグラフィ法によって形
成される。

【０００８】表示に際しては、まず、例えば表示面Ｈの
全面の書込みとして、全てのラインについて、一方の表
示電極Ｘに放電開始電圧を越える電圧を印加して各ライ
ン内の各単位発光領域ＥＵで一斉に面放電（誘電体層１
７の表面方向の放電）を生じさせる。面放電が生じる
と、印加電圧と逆の極性の壁電荷が各表示電極Ｘ，Ｙ上
の誘電体層１７に蓄積する。次に、他方の表示電極Ｙに
放電開始電圧より低い放電維持電圧を印加した状態で、
表示パターンに応じて選択したアドレス電極Ａに所定の
電圧を印加して表示電極Ｙとアドレス電極Ａとの間のア
ドレス放電を生じさせる。アドレス放電により適当な電
荷蓄積状態が形成される。

【０００９】その後、各ラインの表示電極Ｘ，Ｙに対し
て交互に放電維持電圧を印加する。これにより所定量の
壁電荷が蓄積している単位発光領域ＥＵにおいて放電維
持電圧の印加毎に強い発光が生じる。このとき、放電維
持電圧の印加の周期を適当に選ぶことによって輝度が調
整される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】書込み時において、ア
ドレス電極Ａは接地電位とされ、表示電極Ｘとアドレス
電極Ａとの間の相対的な電位差は、表示電極Ｘ，Ｙ間の
電位差と同一値となる。ただし、放電空間３０の間隙寸
法が大きいので、通常は上述のように表示電極Ｘ，Ｙ間
の面放電のみが生じ、表示電極Ｘとアドレス電極Ａとの
間の放電は生じない。

【００１１】ところで、表示電極Ｘ，Ｙにおいては、金
属膜４２のパターニングに際して透明導電膜４１と金属
膜４２との間にエッチング溶液がしみ込み、そのために
各膜４１，４２の膜厚方向の境目に微小な気泡が生じる
ことがある。

【００１２】従来では、書込みのための電圧を印加する
一方の表示電極Ｘにおいて、アドレス電極Ａとの交差部
に気泡が生じた場合に、アドレス電極Ａとの間で不要の
放電が生じ、アドレス電極Ａ及び駆動回路が破損するお
それがあるという問題があった。

【００１３】本発明は、上述の問題に鑑み、透明導電膜
からなる表示電極のライン方向の導電性を確保しつつ、
表示電極とアドレス電極との間の不要の放電を防止し、
信頼性を高めることを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係るＰＤＰは、
上述の課題を解決するため、図１及び図２に示すよう
に、表示面Ｈ側の基板１１上に、透明導電膜４１とその
導電性を補う金属膜４２とからなる面放電用の表示電極
Ｘ，Ｙを有し、背面側の基板２１上に前記表示電極Ｘ，
Ｙと交差するアドレス電極Ａを有した３電極構造の面放
電型プラズマディスプレイパネル１であって、少なくと
も一方の前記表示電極Ｘの前記金属膜４２が、前記アド
レス電極Ａとの交差部において前記透明導電膜４１と重
ならないように形成されてなる。

【００１５】

【作用】アドレス電極Ａとの交差部において、透明導電
膜４１上には金属膜４２がなく、放電を誘発する膜間の
気泡も存在しない。このため、耐電圧の上で表示電極Ｘ
の表面状態がほぼ一様となり、表示電極Ｘとアドレス電
極Ａとの間の放電が防止される。

【００１６】

【実施例】図１は本発明に係るＰＤＰ１の１画素ＥＧに
対応する部分の基本的な構造を示す分解斜視図、図２は
図１のＰＤＰ１の電極構造を示す平面図、図３は図２の
ＩＩＩ矢視方向の電極構造を示す断面図である。

【００１７】図１において、ＰＤＰ１は、蛍光体の配置
形態による分類の上で反射型と呼称される３電極構造の
面放電型ＰＤＰであり、表示面側のガラス基板１１、透
明導電膜４１とそれに重なる金属膜４２とからなる表示
電極Ｘ，Ｙ、ＡＣ駆動のための誘電体層１７、ＭｇＯか
らなる保護膜１８、背面側のガラス基板２１、放電空間
３０の間隙寸法を規定する複数のストライプ状の隔壁２
９、各隔壁２９の間に設けられたアドレス電極Ａ、及び
Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色の蛍光体２８から構成されている。

【００１８】放電空間３０は、隔壁２９によってライン
方向に単位発光領域ＥＵ毎に区画され、この放電空間３
０には、蛍光体２８に対する紫外線励起のための放電ガ
スとして、ネオンにキセノンを混合したペニングガスが
封入されている。

【００１９】表示画面を構成する各画素（ドット）ＥＧ
には、ライン方向に並ぶ同一面積の３つの単位発光領域
ＥＵが対応づけられている。各単位発光領域ＥＵにおい
て、表示電極Ｘ，Ｙによって面放電セル（表示のための
主放電セル）が画定され、表示電極Ｙとアドレス電極Ａ
とによって表示又は非表示を選択するためのアドレス放
電セルが画定される。これにより、図の縦方向に連続す
る蛍光体２８の内、各単位発光領域ＥＵに対応した部分
を選択的に発光させることができ、Ｒ，Ｇ，Ｂの組み合
わせによるフルカラー表示が可能である。

【００２０】表示電極Ｘ，Ｙは、上述したように放電空
間３０に対して表示面Ｈ側に配置されることから、透明
導電膜４１とその導電性を補う金属膜４２とから構成さ
れている。透明導電膜４１は、２０００Å程度の厚さの
ネサ膜（酸化錫膜）からなり、その幅は１２０μｍ程度
である。また、金属膜４２は、例えばクロム−銅−クロ
ムの３層構造の１μｍ程度の厚さの薄膜からなり、その
幅は８０μｍ程度である。

【００２１】さて、ＰＤＰ１においては、図２によく示
されるように、表示電極Ｙについては、金属膜４２が従
来と同様にライン方向に沿って連続して透明導電膜４１
と重なるように形成されている。つまり、金属膜４２の
平面形状は直線状とされている。

【００２２】これに対して、表示電極Ｘについては、金
属膜４２が透明導電膜４１の内のアドレス電極Ａと交差
する部分に重ならないように形成されている。つまり、
表示電極Ｘの金属膜４２は、各アドレス電極Ａ間では表
示電極Ｙと同様に透明導電膜４１の外側端部に重なり、
それ以外の部分では透明導電膜４１の上面を避けて外側
に迂回するように、その平面形状が選定されている。

【００２３】このような金属膜４２は、ガラス基板１１
上に設けたネサ膜のパターニングによって透明導電膜４
１を形成した後、蒸着やスパッタなどによって透明導電
膜４１を含めてガラス基板１１を一様に覆う薄膜を形成
し、フォトリソグラフィ法を用いて表示電極Ｘ，Ｙにつ
いて一括して薄膜をパターニングすることによって形成
することができる。

【００２４】このとき、透明導電膜４１と金属膜４２と
の間の境界面には気泡が生じることがあるが、ガラス基
板１１と金属膜４２との間の境界面には気泡は生じな
い。これはガラス基板（ソーダ石灰ガラス）１１と金属
膜４２（クロム層）との密着性が極めて良好であること
による。

【００２５】つまり、ＰＤＰ１においては、表示電極Ｘ
を構成する透明導電膜４１と金属膜４２とが、それぞれ
互いに離れた位置でアドレス電極Ａと交差し、その交差
部におけるそれぞれの膜質は、気泡のない一様な膜質と
なる。

【００２６】以上の構成のＰＤＰ１の使用に際しては、
従来と同様に一方の表示電極Ｘに書込み電圧を印加して
表示面Ｈの全面で面放電を生じさせ、表示電極Ｙとアド
レス電極Ａとの間で選択的にアドレス放電を生じさせて
表示パターンを決定し、その後の一定期間において表示
電極Ｘ，Ｙに交互に維持電圧を印加して１パターンの表
示状態を保持する。そして、このような動作を繰り返
し、動画像などの表示を行う。

【００２７】書込み時には、表示電極Ｘとアドレス電極
Ａとの間にも表示電極Ｘ，Ｙ間と同一の電位差が生じる
が、アドレス電極Ａとの交差部では透明導電膜４１の上
に金属膜４２が存在せず、膜質を不均一にする気泡も存
在しないので、放電空間３０の間隙寸法などの放電条件
を適当に選定しておけば、表示電極Ｘとアドレス電極Ａ
との間の不要の放電が生じない。

【００２８】上述の実施例によれば、表示電極Ｘの金属
膜４２は、部分的に透明導電膜４１から離れるが、ライ
ン方向に連続しているので、アドレス電極Ａとの交差部
毎に金属膜４２を分断する場合に比べて、表示電極Ｘの
ライン方向の抵抗値を下げて駆動効率を高めることがで
きる。

【００２９】上述の実施例によれば、金属膜４２のパタ
ーニングに際して端縁に針状の導電性突起（いわゆるバ
リ）が生じた場合にも、表示電極Ｘとアドレス電極Ａと
の間の不要の放電を抑えることができる。つまり、放電
空間３０を介した対向放電は電極の対向面積が大きいほ
ど生じ易い。したがって、金属膜４２は透明導電膜４１
に比べて幅が狭く、アドレス電極Ａとの対向面積が小さ
いので、透明導電膜４１と離れた金属膜４２にバリが生
じても、金属膜４２とアドレス電極Ａとの間で放電は誘
発されにくい。

【００３０】上述の実施例においては、書込み用の電圧
を印加する側の表示電極Ｘのみについて、金属膜４２を
部分的に透明導電膜４１を迂回する形状としたが、両方
の表示電極Ｘ，Ｙについて、アドレス電極Ａとの交差部
において透明導電膜４１と重ならないように金属膜４２
を形成してもよい。

【００３１】上述の実施例において、透明導電膜４１及
び金属膜４２の寸法及び平面形状は、ＰＤＰ１の大きさ
や解像度に応じて適宜選定することができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、透明導電膜からなる表
示電極のライン方向の導電性を確保しつつ、表示電極と
アドレス電極との間の不要の放電を防止することがで
き、信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＰＤＰの１画素に対応する部分の
基本的な構造を示す分解斜視図である。

【図２】図１のＰＤＰの電極構造を示す平面図である。

【図３】図２のＩＩＩ矢視方向の電極構造を示す断面図
である。

【符号の説明】

１ ＰＤＰ（面放電型プラズマディスプレイパネル） １１，２１ ガラス基板（基板） ４１ 透明導電膜 ４２ 金属膜 Ａ アドレス電極 Ｈ 表示面 Ｘ，Ｙ 表示電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表示面（Ｈ）側の基板（１１）上に、透明
   導電膜（４１）とその導電性を補う金属膜（４２）とか
   らなる面放電用の表示電極（Ｘ）（Ｙ）を有し、背面側
   の基板（２１）上に前記表示電極（Ｘ）（Ｙ）と交差す
   るアドレス電極（Ａ）を有した３電極構造の面放電型プ
   ラズマディスプレイパネル（１）であって、 少なくとも一方の前記表示電極（Ｘ）の前記金属膜（４
   ２）は、前記アドレス電極（Ａ）との交差部において前
   記透明導電膜（４１）と重ならないように形成されてな
   ることを特徴とする面放電型プラズマディスプレイパネ
   ル。