JP2001236890A - ガス放電表示パネル及びその製造方法 - Google Patents
ガス放電表示パネル及びその製造方法Info
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- JP2001236890A JP2001236890A JP2000048493A JP2000048493A JP2001236890A JP 2001236890 A JP2001236890 A JP 2001236890A JP 2000048493 A JP2000048493 A JP 2000048493A JP 2000048493 A JP2000048493 A JP 2000048493A JP 2001236890 A JP2001236890 A JP 2001236890A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 隔壁により放電空間が区画されたガス放電表
示パネルにおいて、その製造中に隔壁が反り上がらない
ものを提供する。 【解決手段】 隔壁の端部近傍に切り欠きを設けた、又
は隔壁の端部近傍を蛇行させた構造にした。またサンド
ブラスト加工の加工時間等を調整することによりその切
り欠きを形成するようにした。
示パネルにおいて、その製造中に隔壁が反り上がらない
ものを提供する。 【解決手段】 隔壁の端部近傍に切り欠きを設けた、又
は隔壁の端部近傍を蛇行させた構造にした。またサンド
ブラスト加工の加工時間等を調整することによりその切
り欠きを形成するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電表示パネ
ル及びその製造方法に関わるものであり、特に隔壁の構
造及びその形成方法に関わるものである。
ル及びその製造方法に関わるものであり、特に隔壁の構
造及びその形成方法に関わるものである。
【０００２】
【従来の技術】図１９は従来から提案されているガス放
電表示パネルの構造の一部分を示す斜視図である。背面
基板１の上にアドレス電極２、誘電体層３、隔壁１８が
形成され、隔壁１８の側面と誘電体層３の上に、隔壁の
両端部から２０〜３０ｍｍの領域を除いて蛍光体１９が
それぞれ形成される。また、前面基板１６の下に、アド
レス電極２や隔壁１８が延在する方向と直角方向に延在
して透明電極１７ａと金属電極１７ｂが設けられてお
り、図示されない誘電体層と保護層が形成される。そし
て、前面基板１６と背面基板１が基板周縁部で貼り合わ
されることにより、前面基板の誘電体層と背面基板の隔
壁が接触して放電空間を形成する。このような構造はガ
ス放電表示パネルの代表的な構造である。
電表示パネルの構造の一部分を示す斜視図である。背面
基板１の上にアドレス電極２、誘電体層３、隔壁１８が
形成され、隔壁１８の側面と誘電体層３の上に、隔壁の
両端部から２０〜３０ｍｍの領域を除いて蛍光体１９が
それぞれ形成される。また、前面基板１６の下に、アド
レス電極２や隔壁１８が延在する方向と直角方向に延在
して透明電極１７ａと金属電極１７ｂが設けられてお
り、図示されない誘電体層と保護層が形成される。そし
て、前面基板１６と背面基板１が基板周縁部で貼り合わ
されることにより、前面基板の誘電体層と背面基板の隔
壁が接触して放電空間を形成する。このような構造はガ
ス放電表示パネルの代表的な構造である。
【０００３】かかる構造を表示パネルとして機能させる
ために、前面基板１６、隔壁１８および背面基板１で区
画される放電空間に希ガスを封入し、透明電極１７ａに
選択的に電圧を引加してプラズマ放電を起こす。これに
よって生じた紫外線が、蛍光体１９に可視光を発光させ
て表示が行われる。
ために、前面基板１６、隔壁１８および背面基板１で区
画される放電空間に希ガスを封入し、透明電極１７ａに
選択的に電圧を引加してプラズマ放電を起こす。これに
よって生じた紫外線が、蛍光体１９に可視光を発光させ
て表示が行われる。
【０００４】隔壁１８を形成するにあたり、隔壁材料と
して粒径０．１ｍｍ以下の粒状の低融点ガラスと高融点
フィラーとバインダーを調合したものを隔壁形状に形成
する。次に、５００〜６００℃で焼成を行うが、まず昇
温途中の３５０℃前後でバインダーを燃焼により消失さ
せ、次に５００〜６００℃で粒状の低融点ガラスを溶融
させて焼結させることにより、隔壁を得ることができ
る。
して粒径０．１ｍｍ以下の粒状の低融点ガラスと高融点
フィラーとバインダーを調合したものを隔壁形状に形成
する。次に、５００〜６００℃で焼成を行うが、まず昇
温途中の３５０℃前後でバインダーを燃焼により消失さ
せ、次に５００〜６００℃で粒状の低融点ガラスを溶融
させて焼結させることにより、隔壁を得ることができ
る。
【０００５】この際、バインダーの消失と粒状の低融点
ガラスの溶融により、焼成前と比べて隔壁の体積収縮が
発生する。体積収縮の度合いはバインダーの添加量と粒
状ガラスの組成および粒径とフィラーの形状や添加量で
決まり、焼成後の隔壁の体積は焼成前の隔壁の体積の概
ね６５〜９０％となる。このため、体積収縮の度合いが
特に大きい場合は焼成後の隔壁形状の変形が問題とな
る。
ガラスの溶融により、焼成前と比べて隔壁の体積収縮が
発生する。体積収縮の度合いはバインダーの添加量と粒
状ガラスの組成および粒径とフィラーの形状や添加量で
決まり、焼成後の隔壁の体積は焼成前の隔壁の体積の概
ね６５〜９０％となる。このため、体積収縮の度合いが
特に大きい場合は焼成後の隔壁形状の変形が問題とな
る。
【０００６】図２０は延伸方向から見た隔壁の断面形状
の摸式図であり、図２０（ａ）は乾燥膜状態である焼成
前の未焼成の隔壁１８ａの断面形状、図２０（ｂ）は焼
成後の隔壁１８の断面形状である。延伸方向から見た隔
壁の断面は対称的な形状であり、隔壁１８ａは底部中央
に向かって一様に収縮していくために、焼成時に特に大
きなひずみや応力は発生しない。
の摸式図であり、図２０（ａ）は乾燥膜状態である焼成
前の未焼成の隔壁１８ａの断面形状、図２０（ｂ）は焼
成後の隔壁１８の断面形状である。延伸方向から見た隔
壁の断面は対称的な形状であり、隔壁１８ａは底部中央
に向かって一様に収縮していくために、焼成時に特に大
きなひずみや応力は発生しない。
【０００７】一方、図２１は隔壁の延伸方向での隔壁端
部とその近傍の側面形状の摸式図であり、図２１（ａ）
は未焼成の隔壁１８ａの端部とその近傍の側面形状、図
２１（ｂ）は焼成後の隔壁１８の端部とその近傍の側面
形状、図２１（ｃ）は焼成後の隔壁端１８０の反り上が
りが特に大きい場合の隔壁１８の端部とその近傍の側面
形状である。図２１（ａ）において焼成工程での収縮の
ために、矢印で示したような隔壁端１８０ａとは反対方
向への収縮力が未焼成の隔壁端１８０ａに加わる。それ
に対して、未焼成の隔壁端１８０ａを下方に位置する誘
電体層３の方向に引っ張る力は弱く、結果として、端部
とは反対方向への収縮力のために隔壁端１８０が反り上
がってしまう場合がある。更に、この隔壁端とは反対方
向への収縮力が大きいと、図２１（ｃ）で示したように
隔壁端１８０が基板から浮き上がってしまう場合もあ
る。
部とその近傍の側面形状の摸式図であり、図２１（ａ）
は未焼成の隔壁１８ａの端部とその近傍の側面形状、図
２１（ｂ）は焼成後の隔壁１８の端部とその近傍の側面
形状、図２１（ｃ）は焼成後の隔壁端１８０の反り上が
りが特に大きい場合の隔壁１８の端部とその近傍の側面
形状である。図２１（ａ）において焼成工程での収縮の
ために、矢印で示したような隔壁端１８０ａとは反対方
向への収縮力が未焼成の隔壁端１８０ａに加わる。それ
に対して、未焼成の隔壁端１８０ａを下方に位置する誘
電体層３の方向に引っ張る力は弱く、結果として、端部
とは反対方向への収縮力のために隔壁端１８０が反り上
がってしまう場合がある。更に、この隔壁端とは反対方
向への収縮力が大きいと、図２１（ｃ）で示したように
隔壁端１８０が基板から浮き上がってしまう場合もあ
る。
【０００８】前面基板と背面基板を基板周縁部で貼り合
わせる際に、この突起となった隔壁端１８０の反り上が
りにより次のような問題が発生する。まず、前面基板と
背面基板の隔壁１８との間に隙間が生じて、本来は隔壁
１８で仕切られるべき隣接放電空間同士が隔壁１８上部
でつながってしまうので、隣接放電空間で発生した放電
により誤点灯してしまう場合がある。隔壁端１８０の反
り上がりが大きいほど、誤点灯の発生確率が高くなり、
誤点灯の発生領域も拡がる。
わせる際に、この突起となった隔壁端１８０の反り上が
りにより次のような問題が発生する。まず、前面基板と
背面基板の隔壁１８との間に隙間が生じて、本来は隔壁
１８で仕切られるべき隣接放電空間同士が隔壁１８上部
でつながってしまうので、隣接放電空間で発生した放電
により誤点灯してしまう場合がある。隔壁端１８０の反
り上がりが大きいほど、誤点灯の発生確率が高くなり、
誤点灯の発生領域も拡がる。
【０００９】また、別の問題として、突起となった隔壁
１８の端部の反り上がりが前面基板からの圧力を受けて
欠けてしまう場合もある。この欠けた隔壁１８の破片が
放電空間へ移動すると異常発光などの原因となる。
１８の端部の反り上がりが前面基板からの圧力を受けて
欠けてしまう場合もある。この欠けた隔壁１８の破片が
放電空間へ移動すると異常発光などの原因となる。
【００１０】この隔壁端の反り上がりを改善するため
に、例えば特開平１１−１２０９０７号公報では次のよ
うな対策を施している。隔壁を端部で先端に向かって幅
が狭くなるように形成することで、焼成時の収縮が不均
一になることがなく、平坦な頂面の隔壁の形成が可能と
なる。このような端部形状を有する隔壁はサンドブラス
ト耐性を有するポジマスクパターンを形成し、サンドブ
ラスト加工を施すことで得られる。
に、例えば特開平１１−１２０９０７号公報では次のよ
うな対策を施している。隔壁を端部で先端に向かって幅
が狭くなるように形成することで、焼成時の収縮が不均
一になることがなく、平坦な頂面の隔壁の形成が可能と
なる。このような端部形状を有する隔壁はサンドブラス
ト耐性を有するポジマスクパターンを形成し、サンドブ
ラスト加工を施すことで得られる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、隔壁の端部の
幅が先端に向かって狭くなるような形状を安定に形成す
ることは困難である。例えば、サンドブラスト加工で隔
壁を形成する工程において、未焼成の隔壁材とポジマス
クパターンの密着性が重要となるが、先端に向かって細
くなるようなパターン形状ではサンドブラスト加工にお
いて使用する高圧エアによりポジマスクパターンの端部
が剥がれやすくなる。このため、所望の隔壁形状を得る
ことができない場合がある。更にストライプ状に形成さ
れたポジマスクパターンの先端部が剥がれ、この剥がれ
が進行して、放電空間を区画する隔壁を形成するための
ポジマスクパターンまで剥がれることで、隔壁の形成が
困難になる可能性がある。
幅が先端に向かって狭くなるような形状を安定に形成す
ることは困難である。例えば、サンドブラスト加工で隔
壁を形成する工程において、未焼成の隔壁材とポジマス
クパターンの密着性が重要となるが、先端に向かって細
くなるようなパターン形状ではサンドブラスト加工にお
いて使用する高圧エアによりポジマスクパターンの端部
が剥がれやすくなる。このため、所望の隔壁形状を得る
ことができない場合がある。更にストライプ状に形成さ
れたポジマスクパターンの先端部が剥がれ、この剥がれ
が進行して、放電空間を区画する隔壁を形成するための
ポジマスクパターンまで剥がれることで、隔壁の形成が
困難になる可能性がある。
【００１２】また、隔壁の端部が細くなると、隔壁の強
度が低下して端部の欠けが発生しやすくなり、欠けた隔
壁の破片が放電空間へ移動すると異常発光などの原因と
なる。
度が低下して端部の欠けが発生しやすくなり、欠けた隔
壁の破片が放電空間へ移動すると異常発光などの原因と
なる。
【００１３】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、その目的は隔壁端の反り上がりをなくし、誤
点灯や異常発光などが発生しないガス放電表示パネル及
びその製造方法を提供することである。
たもので、その目的は隔壁端の反り上がりをなくし、誤
点灯や異常発光などが発生しないガス放電表示パネル及
びその製造方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るガス放電表示パネルは、隔壁の端部近傍に、隔壁の頂
面から背面基板方向に向けて、隔壁の頂面の幅方向全域
にわたる切り欠きを設けたものである。
るガス放電表示パネルは、隔壁の端部近傍に、隔壁の頂
面から背面基板方向に向けて、隔壁の頂面の幅方向全域
にわたる切り欠きを設けたものである。
【００１５】この発明の請求項２に係るガス放電表示パ
ネルは、切り欠きの深さを前記隔壁の高さの０．１倍以
上０．６倍以下にしたものである。
ネルは、切り欠きの深さを前記隔壁の高さの０．１倍以
上０．６倍以下にしたものである。
【００１６】この発明の請求項３に係るガス放電表示パ
ネルは、切り欠きから隔壁端までの隔壁の頂面の長さを
隔壁の頂面の幅の１〜１０倍にしたものである。
ネルは、切り欠きから隔壁端までの隔壁の頂面の長さを
隔壁の頂面の幅の１〜１０倍にしたものである。
【００１７】この発明の請求項４に係るガス放電表示パ
ネルは、切り欠きから隔壁端までの隔壁の高さをパネル
中央部分の隔壁の高さより低くしたものである。
ネルは、切り欠きから隔壁端までの隔壁の高さをパネル
中央部分の隔壁の高さより低くしたものである。
【００１８】この発明の請求項５に係るガス放電表示パ
ネルは、切り欠きを隔壁の少なくとも片側端部近傍に複
数個設けたものである。
ネルは、切り欠きを隔壁の少なくとも片側端部近傍に複
数個設けたものである。
【００１９】この発明の請求項６に係るガス放電表示パ
ネルは、隔壁の端部に、隔壁の幅より広い隔壁先端部を
設けたものである。
ネルは、隔壁の端部に、隔壁の幅より広い隔壁先端部を
設けたものである。
【００２０】この発明の請求項７に係るガス放電表示パ
ネルは、隔壁先端部頂面の形状を矩形にしたものであ
る。
ネルは、隔壁先端部頂面の形状を矩形にしたものであ
る。
【００２１】この発明の請求項８に係るガス放電表示パ
ネルは、隔壁先端部頂面の形状を円形にしたものであ
る。
ネルは、隔壁先端部頂面の形状を円形にしたものであ
る。
【００２２】この発明の請求項９に係るガス放電表示パ
ネルは、隔壁先端部頂面の中央部に窪みを設けたもので
ある。
ネルは、隔壁先端部頂面の中央部に窪みを設けたもので
ある。
【００２３】この発明の請求項１０に係るガス放電表示
パネルは、隔壁の端部に、この隔壁と隣接する隔壁の端
部と接続され、高さが隔壁と同じ端部隔壁を設け、この
端部隔壁の放電空間に接する部分に端部隔壁の頂面から
隔壁の延在する方向全域にわたる切り欠きを設けたもの
である。
パネルは、隔壁の端部に、この隔壁と隣接する隔壁の端
部と接続され、高さが隔壁と同じ端部隔壁を設け、この
端部隔壁の放電空間に接する部分に端部隔壁の頂面から
隔壁の延在する方向全域にわたる切り欠きを設けたもの
である。
【００２４】この発明の請求項１１に係るガス放電表示
パネルは、請求項１０において隔壁の端部近傍に、隔壁
の頂面から背面基板方向に向けて、隔壁の幅方向全域に
わたる切り欠きを設けたものである。
パネルは、請求項１０において隔壁の端部近傍に、隔壁
の頂面から背面基板方向に向けて、隔壁の幅方向全域に
わたる切り欠きを設けたものである。
【００２５】この発明の請求項１２に係るガス放電表示
パネルは、隔壁の端部近傍を蛇行させたものである。
パネルは、隔壁の端部近傍を蛇行させたものである。
【００２６】この発明の請求項１３に係るガス放電表示
パネルは、隔壁の端部近傍を頂面の幅方向両側から交互
に切り欠いたものである。
パネルは、隔壁の端部近傍を頂面の幅方向両側から交互
に切り欠いたものである。
【００２７】この発明の請求項１４に係るガス放電表示
パネルの製造方法は、低融点ガラスとバインダーが含ま
れる隔壁材料上に隔壁の形状に相当するポジマスクパタ
ーンを形成するポジマスクパターン形成工程と、形成さ
れたポジマスクパターンを介して研磨材によりサンドブ
ラスト加工を施して隔壁材料の不要部分を切削する切削
工程と、焼成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融
を行い燒結する燒結工程と、により隔壁を形成するガス
放電表示パネルの製造方法において、切削工程における
研磨材の平均粒径およびサンドブラスト加工の加工時間
を調整することにより隔壁に切り欠き又は窪みを形成す
るものである。
パネルの製造方法は、低融点ガラスとバインダーが含ま
れる隔壁材料上に隔壁の形状に相当するポジマスクパタ
ーンを形成するポジマスクパターン形成工程と、形成さ
れたポジマスクパターンを介して研磨材によりサンドブ
ラスト加工を施して隔壁材料の不要部分を切削する切削
工程と、焼成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融
を行い燒結する燒結工程と、により隔壁を形成するガス
放電表示パネルの製造方法において、切削工程における
研磨材の平均粒径およびサンドブラスト加工の加工時間
を調整することにより隔壁に切り欠き又は窪みを形成す
るものである。
【００２８】この発明の請求項１５に係るガス放電表示
パネルの製造方法は、低融点ガラスと感光性バインダー
が含まれる隔壁材料上に、隔壁の形状に相当するネガマ
スクパターンを介して紫外線を照射する露光工程と、現
像により隔壁材料の不要部分を除去する現像工程と、焼
成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行い燒結
する燒結工程と、により隔壁を形成するガス放電表示パ
ネルの製造方法において、露光工程における紫外線の照
射量を調整することにより隔壁に切り欠き又は窪みを形
成するものである。
パネルの製造方法は、低融点ガラスと感光性バインダー
が含まれる隔壁材料上に、隔壁の形状に相当するネガマ
スクパターンを介して紫外線を照射する露光工程と、現
像により隔壁材料の不要部分を除去する現像工程と、焼
成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行い燒結
する燒結工程と、により隔壁を形成するガス放電表示パ
ネルの製造方法において、露光工程における紫外線の照
射量を調整することにより隔壁に切り欠き又は窪みを形
成するものである。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わるガス放電表
示パネル及びその製造方法の実施の形態を、図面に基づ
き具体的に説明する。
示パネル及びその製造方法の実施の形態を、図面に基づ
き具体的に説明する。
【００３０】実施の形態１．図１および図２は本発明に
係わる実施の形態１によるガス放電表示パネルの構造を
示す図であり、図１は隔壁の端部付近の拡大斜視図、図
２はパネル全体を前面基板側から見た概略を示す平面図
である。図２では、二点鎖線で示すパネル中央部は省略
してある。背面基板１上にアドレス電極２、誘電体層
３、隔壁４が形成される。また、前面基板１６の下に、
アドレス電極２や隔壁４が延在する方向と直角方向に延
在して透明電極１７ａと金属電極１７ｂからなる放電電
極１７が設けられ、図示されない誘電体層と保護層が形
成される。さらに、隔壁の端部近傍に、隔壁の頂面６か
ら隔壁４の幅方向全域にわたって切り欠いた切り欠き５
を設けることにより隔壁先端部４１が形成される。前面
基板１６は図１では切り取って示しているが、実際には
隔壁端４０よりも外まで広がっており、その部分で背面
基板１と張り合わされている。また、ここでは図示して
いないが隔壁４の側面および隔壁間の誘電体層３上に
は、隔壁の両端部から２０〜３０ｍｍの領域を除いてガ
ス放電による紫外線を受けて発光する蛍光体が形成され
る。隔壁端４０より切り欠き５までの距離は最大数ｍｍ
とするため、隔壁の切り欠きがある部分は蛍光体が形成
されない領域になる。
係わる実施の形態１によるガス放電表示パネルの構造を
示す図であり、図１は隔壁の端部付近の拡大斜視図、図
２はパネル全体を前面基板側から見た概略を示す平面図
である。図２では、二点鎖線で示すパネル中央部は省略
してある。背面基板１上にアドレス電極２、誘電体層
３、隔壁４が形成される。また、前面基板１６の下に、
アドレス電極２や隔壁４が延在する方向と直角方向に延
在して透明電極１７ａと金属電極１７ｂからなる放電電
極１７が設けられ、図示されない誘電体層と保護層が形
成される。さらに、隔壁の端部近傍に、隔壁の頂面６か
ら隔壁４の幅方向全域にわたって切り欠いた切り欠き５
を設けることにより隔壁先端部４１が形成される。前面
基板１６は図１では切り取って示しているが、実際には
隔壁端４０よりも外まで広がっており、その部分で背面
基板１と張り合わされている。また、ここでは図示して
いないが隔壁４の側面および隔壁間の誘電体層３上に
は、隔壁の両端部から２０〜３０ｍｍの領域を除いてガ
ス放電による紫外線を受けて発光する蛍光体が形成され
る。隔壁端４０より切り欠き５までの距離は最大数ｍｍ
とするため、隔壁の切り欠きがある部分は蛍光体が形成
されない領域になる。
【００３１】図３は実施の形態１の作用を説明する図で
あり、図３（ａ）は乾燥膜状態である焼成前の隔壁４ａ
の端部とその近傍の側面形状であり、未焼成の隔壁４ａ
の端部近傍に頂面６ａから切り欠き５ａが設けられる。
その結果、切り欠きより隔壁端４０ａ側に未焼成の隔壁
先端部４１ａが形成されている。図３（ｂ）は焼成後の
隔壁４の端部とその近傍の側面形状であり、隔壁端４０
近傍に切り欠き５が設けられ、隔壁端４０でも、隔壁４
と切り欠き５との境界すなわち切り欠き周辺でも反り上
がりなく隔壁が形成されている。
あり、図３（ａ）は乾燥膜状態である焼成前の隔壁４ａ
の端部とその近傍の側面形状であり、未焼成の隔壁４ａ
の端部近傍に頂面６ａから切り欠き５ａが設けられる。
その結果、切り欠きより隔壁端４０ａ側に未焼成の隔壁
先端部４１ａが形成されている。図３（ｂ）は焼成後の
隔壁４の端部とその近傍の側面形状であり、隔壁端４０
近傍に切り欠き５が設けられ、隔壁端４０でも、隔壁４
と切り欠き５との境界すなわち切り欠き周辺でも反り上
がりなく隔壁が形成されている。
【００３２】図３（ａ）中の矢印は焼成工程の際に隔壁
材料にかかる収縮力を摸式的に示したものである。従来
の技術の図２１（ａ）で示した、切り欠きを設けない未
焼成の隔壁１８ａでは焼成時に隔壁端１８０ａを隔壁端
１８０ａとは反対方向に引っ張る収縮力が大きくなり、
焼成後の隔壁端１８０の頂面が大きく反り上がっていた
のに比較し、図３（ａ）では未焼成の隔壁４ａの端部近
傍に切り欠き５ａを設けているために、従来の隔壁端部
に隔壁先端部が隔壁の下部で接続された構造になってお
り、従来の切り欠きの無い隔壁端１８０ａに相当する部
分、すなわち未焼成の隔壁４ａの切り欠き５ａとの境界
部４０１ａにおいて、下方に位置する誘電体層３の方向
への収縮力が大きくなり、かつ隔壁端４０ａとは反対方
向に引っ張る収縮力が小さくなるので、境界部４０１ａ
での反り上がりは低減され、未焼成の切り欠き５ａの形
状を制御することで、焼成後の境界部４０１、すなわ
ち、従来の切り欠きの無い隔壁端に相当する部分での反
り上がりをなくすることができる。
材料にかかる収縮力を摸式的に示したものである。従来
の技術の図２１（ａ）で示した、切り欠きを設けない未
焼成の隔壁１８ａでは焼成時に隔壁端１８０ａを隔壁端
１８０ａとは反対方向に引っ張る収縮力が大きくなり、
焼成後の隔壁端１８０の頂面が大きく反り上がっていた
のに比較し、図３（ａ）では未焼成の隔壁４ａの端部近
傍に切り欠き５ａを設けているために、従来の隔壁端部
に隔壁先端部が隔壁の下部で接続された構造になってお
り、従来の切り欠きの無い隔壁端１８０ａに相当する部
分、すなわち未焼成の隔壁４ａの切り欠き５ａとの境界
部４０１ａにおいて、下方に位置する誘電体層３の方向
への収縮力が大きくなり、かつ隔壁端４０ａとは反対方
向に引っ張る収縮力が小さくなるので、境界部４０１ａ
での反り上がりは低減され、未焼成の切り欠き５ａの形
状を制御することで、焼成後の境界部４０１、すなわ
ち、従来の切り欠きの無い隔壁端に相当する部分での反
り上がりをなくすることができる。
【００３３】図４は未焼成の切り欠き５ａの深さ“Ｄ”
と未焼成の隔壁４ａの高さ“Ｈｄ”との比を横軸に、焼
成後の隔壁４の切り欠き５との境界部４０１での反り上
がり“Ｃ”と焼成後の隔壁４の高さ“Ｈｆ”との比を縦
軸にとり、両者の関係をグラフ化したものである。“Ｃ
／Ｈｆ”が０であるということは、焼成後の境界部４０
１での反り上がりが発生していないということである。
この図から、“Ｄ／Ｈｄ”を０．６以下、より好ましく
は０．５以下にすることで、焼成後の境界部４０１付近
の反り上がりを防ぐことができる。
と未焼成の隔壁４ａの高さ“Ｈｄ”との比を横軸に、焼
成後の隔壁４の切り欠き５との境界部４０１での反り上
がり“Ｃ”と焼成後の隔壁４の高さ“Ｈｆ”との比を縦
軸にとり、両者の関係をグラフ化したものである。“Ｃ
／Ｈｆ”が０であるということは、焼成後の境界部４０
１での反り上がりが発生していないということである。
この図から、“Ｄ／Ｈｄ”を０．６以下、より好ましく
は０．５以下にすることで、焼成後の境界部４０１付近
の反り上がりを防ぐことができる。
【００３４】また、Ｄが小さくなることは、切り欠きの
深さが浅くなることを示し、Ｄが小さくなれば、隔壁端
４０が従来の切り欠きの無い隔壁端１８０に相当するよ
うになり、境界部４０１での反り上がりよりも、隔壁端
４０での反り上がりが問題となる。“Ｄ／Ｈｄ”の値が
０．１以下になれば隔壁端４０での反り上がりが問題と
なってくるため、“Ｄ／Ｈｄ”の値は０．１以上にする
必要がある。
深さが浅くなることを示し、Ｄが小さくなれば、隔壁端
４０が従来の切り欠きの無い隔壁端１８０に相当するよ
うになり、境界部４０１での反り上がりよりも、隔壁端
４０での反り上がりが問題となる。“Ｄ／Ｈｄ”の値が
０．１以下になれば隔壁端４０での反り上がりが問題と
なってくるため、“Ｄ／Ｈｄ”の値は０．１以上にする
必要がある。
【００３５】さらに、切り欠き５から隔壁端４０まで、
すなわち隔壁先端部４１の高さを、隔壁４の通常（すな
わち、パネル中央部）の高さよりも低くすることで、隔
壁端４０が少し反り上がっても、この反り上がり部分と
前面基板が接触する恐れがなくなり、前面基板が浮き上
がって、放電する部分の隔壁と前面基板の間に隙間が出
来たり、反り上がり部分が欠けたりする恐れがなくな
る。
すなわち隔壁先端部４１の高さを、隔壁４の通常（すな
わち、パネル中央部）の高さよりも低くすることで、隔
壁端４０が少し反り上がっても、この反り上がり部分と
前面基板が接触する恐れがなくなり、前面基板が浮き上
がって、放電する部分の隔壁と前面基板の間に隙間が出
来たり、反り上がり部分が欠けたりする恐れがなくな
る。
【００３６】一方、未焼成の切り欠き５ａから隔壁端４
０ａまでの隔壁先端部４１ａについては、その頂面６１
ａの長さを隔壁の頂面の幅と同程度の大きさにすること
で、その隔壁にかかる焼成工程での収縮力が背面基板１
と平行な面内では均等になるため、焼成後の隔壁も均等
に収縮し部分的な反り上がりが発生しない。ただし、未
焼成の切り欠き５ａから隔壁端４０ａまでの隔壁先端部
４１ａの頂面６１ａの長さを隔壁の頂面の幅と同程度の
大きさに形成することが困難な場合は、焼成後の隔壁端
での反り上がりの状況を見ながら頂面の長さを隔壁の頂
面の幅の１〜１０倍としてもよい。
０ａまでの隔壁先端部４１ａについては、その頂面６１
ａの長さを隔壁の頂面の幅と同程度の大きさにすること
で、その隔壁にかかる焼成工程での収縮力が背面基板１
と平行な面内では均等になるため、焼成後の隔壁も均等
に収縮し部分的な反り上がりが発生しない。ただし、未
焼成の切り欠き５ａから隔壁端４０ａまでの隔壁先端部
４１ａの頂面６１ａの長さを隔壁の頂面の幅と同程度の
大きさに形成することが困難な場合は、焼成後の隔壁端
での反り上がりの状況を見ながら頂面の長さを隔壁の頂
面の幅の１〜１０倍としてもよい。
【００３７】実施の形態２．次に、切り欠き５を設けた
隔壁４の形成方法を説明する。ここではサンドブラスト
法による加工例を示す。図５は切り欠き５を設けた隔壁
４を形成するための工程図で、図５（ａ）は側面図、図
５（ｂ）は平面図であり上から順番に工程を示す。最初
に誘電体層３の上全面に隔壁材料１０を形成する。隔壁
材料１０としては粒径０．１ｍｍ以下の粒状の低融点の
無機ガラスと高融点のフィラーに顔料やセルロース系の
バインダーを添加した材料を使用し、誘電体層３上に一
様な膜厚で塗布する。次に、耐サンドブラスト性を有す
るポジマスク材として、例えばドライフィルムレジスト
を隔壁材料１０上に形成し、露光・現像によりポジマス
クパターン１１を得る（ポジマスクパターン形成工
程）。ポジマスクパターン１１は未焼成の隔壁の頂面と
同一のパターン形状であり、切り欠きの位置にマスクパ
ターンは存在ぜず、隔壁部に対応した１１ａおよび隔壁
先端部に対応した１１ｂに分離されている。次に、サン
ドブラスト加工により、研磨材１２をポジマスクパター
ン１１で覆われていない隔壁材料１０にあてて切削を行
い（切削工程）、切削完了後ポジマスクパターン１１を
除去し、未焼成の切り欠き５ａを設けた未焼成の隔壁４
ａを得る。この後、まず３５０℃前後でバインダーを燃
焼により消失させ、次に５００〜６００℃で粒状の低融
点ガラスを溶融させて焼結させる（焼成工程）ことによ
り、切り欠き５を設けた隔壁４を形成することができ
る。
隔壁４の形成方法を説明する。ここではサンドブラスト
法による加工例を示す。図５は切り欠き５を設けた隔壁
４を形成するための工程図で、図５（ａ）は側面図、図
５（ｂ）は平面図であり上から順番に工程を示す。最初
に誘電体層３の上全面に隔壁材料１０を形成する。隔壁
材料１０としては粒径０．１ｍｍ以下の粒状の低融点の
無機ガラスと高融点のフィラーに顔料やセルロース系の
バインダーを添加した材料を使用し、誘電体層３上に一
様な膜厚で塗布する。次に、耐サンドブラスト性を有す
るポジマスク材として、例えばドライフィルムレジスト
を隔壁材料１０上に形成し、露光・現像によりポジマス
クパターン１１を得る（ポジマスクパターン形成工
程）。ポジマスクパターン１１は未焼成の隔壁の頂面と
同一のパターン形状であり、切り欠きの位置にマスクパ
ターンは存在ぜず、隔壁部に対応した１１ａおよび隔壁
先端部に対応した１１ｂに分離されている。次に、サン
ドブラスト加工により、研磨材１２をポジマスクパター
ン１１で覆われていない隔壁材料１０にあてて切削を行
い（切削工程）、切削完了後ポジマスクパターン１１を
除去し、未焼成の切り欠き５ａを設けた未焼成の隔壁４
ａを得る。この後、まず３５０℃前後でバインダーを燃
焼により消失させ、次に５００〜６００℃で粒状の低融
点ガラスを溶融させて焼結させる（焼成工程）ことによ
り、切り欠き５を設けた隔壁４を形成することができ
る。
【００３８】上記のように隔壁４をサンドブラスト法で
形成するにあたり、未焼成の切り欠き５ａの位置で隔壁
材料１０が完全に除去されることがなく、未焼成の切り
欠き５ａの下に隔壁材料１０が残存するためにはポジマ
スクパターン１１の設計に工夫が必要である。図６は未
焼成の切り欠き５ａの幅（隔壁の幅ではなく、隔壁の長
さ方向の切り欠きの幅）“Ｗ”とサンドブラスト加工で
使用する研磨材の平均粒径との比を横軸に、未焼成の切
り欠き５ａの深さ“Ｄ”と未焼成の隔壁４ａの高さ“Ｈ
ｄ”との比を縦軸にとり、両者の関係をグラフ化したも
のである。“Ｄ／Ｈｄ”が１であるということは、未焼
成の切り欠き５ａの位置の隔壁材料１０がサンドブラス
ト加工により除去され、下地である誘電体層３が露出し
ているということである。言い換えれば、“Ｄ／Ｈｄ”
が１未満の値であるということは、未焼成の切り欠き５
ａの下に隔壁材料１０が残存するということである。こ
の図から、“Ｗ”とサンドブラスト加工で使用する研磨
材の平均粒径との比を選択することで、未焼成の切り欠
き５ａの深さを所望の値にすることが容易にできる。
形成するにあたり、未焼成の切り欠き５ａの位置で隔壁
材料１０が完全に除去されることがなく、未焼成の切り
欠き５ａの下に隔壁材料１０が残存するためにはポジマ
スクパターン１１の設計に工夫が必要である。図６は未
焼成の切り欠き５ａの幅（隔壁の幅ではなく、隔壁の長
さ方向の切り欠きの幅）“Ｗ”とサンドブラスト加工で
使用する研磨材の平均粒径との比を横軸に、未焼成の切
り欠き５ａの深さ“Ｄ”と未焼成の隔壁４ａの高さ“Ｈ
ｄ”との比を縦軸にとり、両者の関係をグラフ化したも
のである。“Ｄ／Ｈｄ”が１であるということは、未焼
成の切り欠き５ａの位置の隔壁材料１０がサンドブラス
ト加工により除去され、下地である誘電体層３が露出し
ているということである。言い換えれば、“Ｄ／Ｈｄ”
が１未満の値であるということは、未焼成の切り欠き５
ａの下に隔壁材料１０が残存するということである。こ
の図から、“Ｗ”とサンドブラスト加工で使用する研磨
材の平均粒径との比を選択することで、未焼成の切り欠
き５ａの深さを所望の値にすることが容易にできる。
【００３９】また、図６において加工時間Ｔ２はサンド
ブラスト加工を行う際の標準的な加工時間であるが、加
工時間をＴ２の３／４程度の時間に短縮した加工時間Ｔ
１でサンドブラスト加工を行うと、未焼成の切り欠き５
ａの位置の隔壁材料１０は更に加工されにくくなる。こ
のことから、加工時間を調整することでも未焼成の切り
欠き５ａの深さを所望の値にすることができる。
ブラスト加工を行う際の標準的な加工時間であるが、加
工時間をＴ２の３／４程度の時間に短縮した加工時間Ｔ
１でサンドブラスト加工を行うと、未焼成の切り欠き５
ａの位置の隔壁材料１０は更に加工されにくくなる。こ
のことから、加工時間を調整することでも未焼成の切り
欠き５ａの深さを所望の値にすることができる。
【００４０】実施の形態３．また、切り欠き５を設けた
隔壁４の別の形成方法として感光性の隔壁材料を用いた
形成方法を説明する。感光性隔壁材料としては、低融点
の無機ガラスと高融点のフィラーに感光性バインダーを
添加した材料を使用し、誘電体層３上に一様な膜厚で塗
布する。次に、露光工程として、未焼成の隔壁の頂面の
形状に合わせた露光用ネガガラスマスクを介して、未焼
成の隔壁の頂面に相当する場所に紫外線を照射し、感光
性隔壁材料中の感光性バインダーを架橋させる。次の現
像工程で感光性隔壁材料の不要部分を除去し、未焼成の
切り欠き５ａを設けた未焼成の隔壁４ａを得る。この
後、燒結工程として、まず３５０℃前後でバインダーを
燃焼により消失させ、次に５００〜６００℃で粒状の低
融点ガラスを溶融させて焼結させることにより、切り欠
き５を設けた隔壁４を形成することができる。この製造
方法の場合、切り欠きの深さは、未焼成の切り欠き５ａ
の隔壁の長さ方向の幅ならびに露光工程での紫外線照射
量を調整することで、制御できる。
隔壁４の別の形成方法として感光性の隔壁材料を用いた
形成方法を説明する。感光性隔壁材料としては、低融点
の無機ガラスと高融点のフィラーに感光性バインダーを
添加した材料を使用し、誘電体層３上に一様な膜厚で塗
布する。次に、露光工程として、未焼成の隔壁の頂面の
形状に合わせた露光用ネガガラスマスクを介して、未焼
成の隔壁の頂面に相当する場所に紫外線を照射し、感光
性隔壁材料中の感光性バインダーを架橋させる。次の現
像工程で感光性隔壁材料の不要部分を除去し、未焼成の
切り欠き５ａを設けた未焼成の隔壁４ａを得る。この
後、燒結工程として、まず３５０℃前後でバインダーを
燃焼により消失させ、次に５００〜６００℃で粒状の低
融点ガラスを溶融させて焼結させることにより、切り欠
き５を設けた隔壁４を形成することができる。この製造
方法の場合、切り欠きの深さは、未焼成の切り欠き５ａ
の隔壁の長さ方向の幅ならびに露光工程での紫外線照射
量を調整することで、制御できる。
【００４１】実施の形態４．図７は本発明の実施の形態
４によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近を
示す斜視図である。ここでは、切り欠き５１、５２とし
て、切り欠きを隔壁４の端部近傍に２個連続して配置し
たものであり、切り欠きはさらに多数あってもよい。こ
の構造により隔壁端部や切り欠き５１と切り欠き５２の
間の隔壁先端部４２および隔壁４の切り欠き５１、５２
との境界部分での反り上がりを防ぐことができる。
４によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近を
示す斜視図である。ここでは、切り欠き５１、５２とし
て、切り欠きを隔壁４の端部近傍に２個連続して配置し
たものであり、切り欠きはさらに多数あってもよい。こ
の構造により隔壁端部や切り欠き５１と切り欠き５２の
間の隔壁先端部４２および隔壁４の切り欠き５１、５２
との境界部分での反り上がりを防ぐことができる。
【００４２】図５のサンドブラスト加工による製造工程
の説明で述べたように、未焼成の隔壁先端部４１ａの頂
面の長さを頂面の幅と同程度の大きさとすることで、焼
成後の隔壁先端部４１も均等に収縮し部分的な反り上が
りは発生しない。しかし、頂面の幅が小さい場合、長さ
も幅に合わせると孤立した小さなポジマスクパターン
（図５の１１ｂに相当するもの）を形成することにな
り、例えばサンドブラスト加工で未焼成の隔壁を形成す
る場合では、サンドブラスト加工で使用する高圧エアに
よりポジマスクパターン１１ｂが剥離し、その結果とし
て未焼成の隔壁先端部４１ａが形成できない場合があ
る。そこで、切り欠きを２個以上連続して配置すること
で、最終端に位置する以外の未焼成の隔壁先端部は頂面
の長さを頂面の幅より大きくしても、切り欠き間に隔壁
先端部が存在するために焼成による隔壁端の反り上がり
は発生しない。また、最終端に位置する未焼成の隔壁先
端部については頂面の長さを幅と同程度の大きさにし
て、仮にサンドブラスト加工で使用する高圧エアにより
最終端に位置するポジマスクパターン（図５の１１ｂに
相当するもの）が剥離しても、その手前に位置する切り
欠きが存在するために、焼成後の隔壁４の端部の反り上
がりを防止するという目的は達せられる。この際、未焼
成時に最終端の手前に位置する、すなわち切り欠きと切
り欠きの間の隔壁先端部４２の長さは未焼成の隔壁４ａ
の長さに比べるとわずかであるため、焼成後に最終端の
手前に位置する隔壁先端部４２の端部の反り上がりは無
視できるほどの量であり、改善の効果は十分に得られ
る。
の説明で述べたように、未焼成の隔壁先端部４１ａの頂
面の長さを頂面の幅と同程度の大きさとすることで、焼
成後の隔壁先端部４１も均等に収縮し部分的な反り上が
りは発生しない。しかし、頂面の幅が小さい場合、長さ
も幅に合わせると孤立した小さなポジマスクパターン
（図５の１１ｂに相当するもの）を形成することにな
り、例えばサンドブラスト加工で未焼成の隔壁を形成す
る場合では、サンドブラスト加工で使用する高圧エアに
よりポジマスクパターン１１ｂが剥離し、その結果とし
て未焼成の隔壁先端部４１ａが形成できない場合があ
る。そこで、切り欠きを２個以上連続して配置すること
で、最終端に位置する以外の未焼成の隔壁先端部は頂面
の長さを頂面の幅より大きくしても、切り欠き間に隔壁
先端部が存在するために焼成による隔壁端の反り上がり
は発生しない。また、最終端に位置する未焼成の隔壁先
端部については頂面の長さを幅と同程度の大きさにし
て、仮にサンドブラスト加工で使用する高圧エアにより
最終端に位置するポジマスクパターン（図５の１１ｂに
相当するもの）が剥離しても、その手前に位置する切り
欠きが存在するために、焼成後の隔壁４の端部の反り上
がりを防止するという目的は達せられる。この際、未焼
成時に最終端の手前に位置する、すなわち切り欠きと切
り欠きの間の隔壁先端部４２の長さは未焼成の隔壁４ａ
の長さに比べるとわずかであるため、焼成後に最終端の
手前に位置する隔壁先端部４２の端部の反り上がりは無
視できるほどの量であり、改善の効果は十分に得られ
る。
【００４３】実施の形態５．図８は本発明の実施の形態
５によるガス放電表示パネルの背面基板の端部付近を示
す斜視図である。図のように、隔壁先端部４１の端部付
近の幅を隔壁４の部分の幅よりも広げる。隔壁先端部４
１については、実施の形態１の説明で述べたように、未
焼成の隔壁先端部４１ａの頂面の形状においてその長さ
と幅を同程度とする事で、焼成後の隔壁先端部４１も均
等に収縮し部分的な反り上がりが発生しない。しかし、
頂面の幅が小さい場合、長さも幅に合わせると隔壁先端
部４１ａに対応する部分は孤立した小さなレジストパタ
ーンを形成する事になり、例えばサンドブラスト加工で
未焼成の切り欠きを形成する場合では、サンドブラスト
加工で使用する高圧エアによりレジストパターンが剥離
し、その結果として未焼成の隔壁先端部が形成できない
場合がある。そこで、レジストパターンを大きくするこ
とで剥離しないようにすることが考えられる。レジスト
パターンを隔壁４の延伸方向および直交した方向に同時
に拡大した形状にする事で、サンドブラスト加工におけ
る高圧エアでも剥離しないレジストパターンを得ること
ができる。
５によるガス放電表示パネルの背面基板の端部付近を示
す斜視図である。図のように、隔壁先端部４１の端部付
近の幅を隔壁４の部分の幅よりも広げる。隔壁先端部４
１については、実施の形態１の説明で述べたように、未
焼成の隔壁先端部４１ａの頂面の形状においてその長さ
と幅を同程度とする事で、焼成後の隔壁先端部４１も均
等に収縮し部分的な反り上がりが発生しない。しかし、
頂面の幅が小さい場合、長さも幅に合わせると隔壁先端
部４１ａに対応する部分は孤立した小さなレジストパタ
ーンを形成する事になり、例えばサンドブラスト加工で
未焼成の切り欠きを形成する場合では、サンドブラスト
加工で使用する高圧エアによりレジストパターンが剥離
し、その結果として未焼成の隔壁先端部が形成できない
場合がある。そこで、レジストパターンを大きくするこ
とで剥離しないようにすることが考えられる。レジスト
パターンを隔壁４の延伸方向および直交した方向に同時
に拡大した形状にする事で、サンドブラスト加工におけ
る高圧エアでも剥離しないレジストパターンを得ること
ができる。
【００４４】また、図９のように、隔壁先端部４１の全
体の幅を隔壁４の部分の幅よりも広くしてもよい。
体の幅を隔壁４の部分の幅よりも広くしてもよい。
【００４５】実施の形態６．図１０は本発明の実施の形
態６によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。本実施の形態では、幅が広がった
隔壁先端部４２頂面の中央部に窪み４３を設けている。
このように、隔壁先端部の幅を広げて、その頂面中央部
に窪みを設けることで、隔壁端部の頂面近傍の焼成時の
収縮力が分散され、より反り上がり難くなる。
態６によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。本実施の形態では、幅が広がった
隔壁先端部４２頂面の中央部に窪み４３を設けている。
このように、隔壁先端部の幅を広げて、その頂面中央部
に窪みを設けることで、隔壁端部の頂面近傍の焼成時の
収縮力が分散され、より反り上がり難くなる。
【００４６】実施の形態７．図１１は本発明の実施の形
態７によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。本実施の形態では、隔壁先端部４
４の頂面の形状が円形であり、その直径は隔壁４の幅よ
り大きい。すなわち隔壁先端部４４の最大幅を隔壁４の
幅より広くしている。このように、隔壁先端部４４の頂
面形状を円形にすることで、隔壁先端部の焼成時の収縮
力を一様にでき、より反り上がり難くすることができ
る。この円形の隔壁先端部４４の頂面中央部に図１０と
同じように、窪みを設ければ、さらに反り上がり難くな
ることは言うまでもない。
態７によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。本実施の形態では、隔壁先端部４
４の頂面の形状が円形であり、その直径は隔壁４の幅よ
り大きい。すなわち隔壁先端部４４の最大幅を隔壁４の
幅より広くしている。このように、隔壁先端部４４の頂
面形状を円形にすることで、隔壁先端部の焼成時の収縮
力を一様にでき、より反り上がり難くすることができ
る。この円形の隔壁先端部４４の頂面中央部に図１０と
同じように、窪みを設ければ、さらに反り上がり難くな
ることは言うまでもない。
【００４７】実施の形態８．図１２は本発明の実施の形
態８によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。図のように、隣接する隔壁４の隔
壁先端部４５同士を、高さが隔壁先端部と同じ端部隔壁
７により接続し、端部隔壁７の放電空間に接する部分に
端部隔壁の頂面から隔壁４の延在する方向全域にわたる
切り欠き８を設けている。
態８によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。図のように、隣接する隔壁４の隔
壁先端部４５同士を、高さが隔壁先端部と同じ端部隔壁
７により接続し、端部隔壁７の放電空間に接する部分に
端部隔壁の頂面から隔壁４の延在する方向全域にわたる
切り欠き８を設けている。
【００４８】実施の形態５で説明した、図８における隔
壁先端部の形成方法において、さらに隔壁先端部の幅を
広げるようにすると、結果として、図１２に示すよう
に、隣接する隔壁先端部４５同士が接続され、端部隔壁
７が形成されることになる。この場合の端部隔壁７に対
応するレジストパターンは隔壁４に直交した方向には連
続してつながった、すなわち孤立しないようにすること
が望ましいが、このようにすると、ガス放電表示パネル
として出来上がった場合に、隣接する隔壁間が塞がって
排気が難しくなるため、この部分に切り欠き８が形成さ
れる必要がある。したがって、端部隔壁７に対応するレ
ジストパターンは隔壁毎に孤立したものになるが、図５
で示すものに比較すると大きくなるので、剥離しないレ
ジストパターンとなる。
壁先端部の形成方法において、さらに隔壁先端部の幅を
広げるようにすると、結果として、図１２に示すよう
に、隣接する隔壁先端部４５同士が接続され、端部隔壁
７が形成されることになる。この場合の端部隔壁７に対
応するレジストパターンは隔壁４に直交した方向には連
続してつながった、すなわち孤立しないようにすること
が望ましいが、このようにすると、ガス放電表示パネル
として出来上がった場合に、隣接する隔壁間が塞がって
排気が難しくなるため、この部分に切り欠き８が形成さ
れる必要がある。したがって、端部隔壁７に対応するレ
ジストパターンは隔壁毎に孤立したものになるが、図５
で示すものに比較すると大きくなるので、剥離しないレ
ジストパターンとなる。
【００４９】図１３は図１２の構造の作用を説明する図
であり、図１３（ａ）は焼成前の隔壁４ａの側面図、図
１３（ｂ）は焼成後の隔壁４の側面図、図１３（ｃ）は
焼成前の端部隔壁７ａを横から見た図、すなわち隔壁４
ａの端部方向から見た図、図１３（ｄ）は焼成後の図１
３（ｃ）に対応する図である。焼成前の図１３（ａ）お
よび（ｃ）に示す矢印は焼成時にかかる収縮力を示して
おり、いずれの隔壁頂面の端部となっている角部におい
ても反り上がりを起こす方向には収縮力が強くなく、こ
の構造により、隔壁４の端部での反り上がりを防ぐ事が
でき、隔壁先端部４５の反り上がりも、実施の形態５同
様防ぐ事ができる。
であり、図１３（ａ）は焼成前の隔壁４ａの側面図、図
１３（ｂ）は焼成後の隔壁４の側面図、図１３（ｃ）は
焼成前の端部隔壁７ａを横から見た図、すなわち隔壁４
ａの端部方向から見た図、図１３（ｄ）は焼成後の図１
３（ｃ）に対応する図である。焼成前の図１３（ａ）お
よび（ｃ）に示す矢印は焼成時にかかる収縮力を示して
おり、いずれの隔壁頂面の端部となっている角部におい
ても反り上がりを起こす方向には収縮力が強くなく、こ
の構造により、隔壁４の端部での反り上がりを防ぐ事が
でき、隔壁先端部４５の反り上がりも、実施の形態５同
様防ぐ事ができる。
【００５０】図１２では、隔壁先端部４５の先端部が端
部隔壁７で隣接する隔壁先端部４５の先端部と接続され
たものを示したが、図１４のように、隔壁先端部の全て
の部分を隣接する隔壁方向に拡大したもの、すなわち隔
壁４の切り欠き５に端部隔壁７１が接続された構成にな
ってもよい。
部隔壁７で隣接する隔壁先端部４５の先端部と接続され
たものを示したが、図１４のように、隔壁先端部の全て
の部分を隣接する隔壁方向に拡大したもの、すなわち隔
壁４の切り欠き５に端部隔壁７１が接続された構成にな
ってもよい。
【００５１】実施の形態９．図１５は本発明の実施の形
態９によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。隔壁４に切り欠きを設けず、実施
の形態８で説明したと同様の端部隔壁７２を設けたもの
である。この構造により、端部隔壁７２が存在する事で
通常幅である隔壁４の端部での反り上がりを防ぐ事がで
き、端部隔壁７２もその頂面の幅と長さを同程度にでき
るので反り上がりにくい構造となっている。以上の事か
ら、焼成による隔壁端部の反り上がりを防ぐ事ができ
る。
態９によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部付近
を示す斜視図である。隔壁４に切り欠きを設けず、実施
の形態８で説明したと同様の端部隔壁７２を設けたもの
である。この構造により、端部隔壁７２が存在する事で
通常幅である隔壁４の端部での反り上がりを防ぐ事がで
き、端部隔壁７２もその頂面の幅と長さを同程度にでき
るので反り上がりにくい構造となっている。以上の事か
ら、焼成による隔壁端部の反り上がりを防ぐ事ができ
る。
【００５２】実施の形態１０．図１６は本発明の実施の
形態１０によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部
付近を示す斜視図である。隔壁４の端部の一定長さの領
域を隔壁４の中心線１３より左右どちらか一方にずれる
ように隔壁４を蛇行させた直線部１４１を有する蛇行端
部１４を形成する。図１７に示す焼成前の蛇行部の拡大
図に矢印で示す収縮力からわかるように、隔壁の蛇行に
よる屈曲点では、焼成による大きな収縮力は隔壁が延伸
する２方向に加わるので焼成による反り上がりは発生し
にくく、また、最終端では、端部を有する蛇行端部の直
線部１４１ａの長さを短くできるため、端部とは反対方
向への収縮力は蛇行しない場合に比べて極端に小さくな
り、焼成による反り上がりを小さくする事ができる。以
上の事から、隔壁４の端部を蛇行させる事で焼成による
反り上がりを著しく低減する事ができる。
形態１０によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部
付近を示す斜視図である。隔壁４の端部の一定長さの領
域を隔壁４の中心線１３より左右どちらか一方にずれる
ように隔壁４を蛇行させた直線部１４１を有する蛇行端
部１４を形成する。図１７に示す焼成前の蛇行部の拡大
図に矢印で示す収縮力からわかるように、隔壁の蛇行に
よる屈曲点では、焼成による大きな収縮力は隔壁が延伸
する２方向に加わるので焼成による反り上がりは発生し
にくく、また、最終端では、端部を有する蛇行端部の直
線部１４１ａの長さを短くできるため、端部とは反対方
向への収縮力は蛇行しない場合に比べて極端に小さくな
り、焼成による反り上がりを小さくする事ができる。以
上の事から、隔壁４の端部を蛇行させる事で焼成による
反り上がりを著しく低減する事ができる。
【００５３】実施の形態１１．図１８は本発明の実施の
形態１１によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部
付近を示す斜視図である。本実施の形態においても、実
施の形態１０で示したのと同様、隔壁４の端部近傍の一
定長さの領域において、頂面の幅方向両側から交互に切
り欠いて、頂面を隔壁４の中心線１３より左右交互にず
れるように蛇行させ、頂面蛇行端部１５を形成してい
る。
形態１１によるガス放電表示パネルの背面基板側の端部
付近を示す斜視図である。本実施の形態においても、実
施の形態１０で示したのと同様、隔壁４の端部近傍の一
定長さの領域において、頂面の幅方向両側から交互に切
り欠いて、頂面を隔壁４の中心線１３より左右交互にず
れるように蛇行させ、頂面蛇行端部１５を形成してい
る。
【００５４】図１８では、隔壁４の幅の範囲内で、蛇行
端部１５が形成されるように、隔壁４の端部近傍で、隔
壁の側面に交互に複数箇所隔壁の頂面から切り込みを入
れた構造になっている。図１６のものでは蛇行部におい
てアドレス電極上に隔壁の一部がかかる恐れがあった
が、図１８の構造により、蛇行端部１５がアドレス電極
２の上に形成される事がない。また、排気工程を考える
と、図１６のものに比較して隔壁間の流路抵抗が小さ
く、排気パスを十分に確保しながら、焼成による隔壁端
部の反り上がりをかなり低減できる。
端部１５が形成されるように、隔壁４の端部近傍で、隔
壁の側面に交互に複数箇所隔壁の頂面から切り込みを入
れた構造になっている。図１６のものでは蛇行部におい
てアドレス電極上に隔壁の一部がかかる恐れがあった
が、図１８の構造により、蛇行端部１５がアドレス電極
２の上に形成される事がない。また、排気工程を考える
と、図１６のものに比較して隔壁間の流路抵抗が小さ
く、排気パスを十分に確保しながら、焼成による隔壁端
部の反り上がりをかなり低減できる。
【００５５】
【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する一面
に複数の帯状の隔壁が形成された背面基板と、この背面
基板と周縁部で張り合わされた前面基板とを備え、この
前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ接するよう設けられる
ことにより、前記背面基板と前記前面基板と前記隔壁と
で区画された放電空間が形成されたガス放電表示パネル
において、前記隔壁の端部近傍に、前記隔壁の頂面から
前記背面基板方向に向けて、前記頂面の幅方向全域にわ
たる切り欠きを設けたので、焼成による隔壁端での反り
上がりの原因である隔壁端とは反対方向への収縮力を弱
めて、隔壁端での反り上がりを防ぐ事ができる。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する一面
に複数の帯状の隔壁が形成された背面基板と、この背面
基板と周縁部で張り合わされた前面基板とを備え、この
前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ接するよう設けられる
ことにより、前記背面基板と前記前面基板と前記隔壁と
で区画された放電空間が形成されたガス放電表示パネル
において、前記隔壁の端部近傍に、前記隔壁の頂面から
前記背面基板方向に向けて、前記頂面の幅方向全域にわ
たる切り欠きを設けたので、焼成による隔壁端での反り
上がりの原因である隔壁端とは反対方向への収縮力を弱
めて、隔壁端での反り上がりを防ぐ事ができる。
【００５６】さらに、切り欠きの深さを隔壁の高さの
０．１倍以上、０．６倍以下にしたので確実に隔壁端で
の反り上がりを防ぐことができる。
０．１倍以上、０．６倍以下にしたので確実に隔壁端で
の反り上がりを防ぐことができる。
【００５７】さらにまた、切り欠きから隔壁端までの隔
壁の頂面の長さを隔壁の頂面の幅の１〜１０倍にしたの
で、製造工程において、マスクパターンの剥離の恐れを
少なくでき、確実に切り欠きを形成できる。
壁の頂面の長さを隔壁の頂面の幅の１〜１０倍にしたの
で、製造工程において、マスクパターンの剥離の恐れを
少なくでき、確実に切り欠きを形成できる。
【００５８】また、切り欠きから隔壁端までの隔壁の高
さをパネル中央部分の隔壁の高さより低くしたので、隔
壁端が少し反り上がっても、この反り上がった部分と前
面基板の接触を防ぐことができる。
さをパネル中央部分の隔壁の高さより低くしたので、隔
壁端が少し反り上がっても、この反り上がった部分と前
面基板の接触を防ぐことができる。
【００５９】また、切り欠きを隔壁の少なくとも片側端
部近傍に複数個設けたので、隔壁の端部近傍に確実に切
り欠きを形成できる。
部近傍に複数個設けたので、隔壁の端部近傍に確実に切
り欠きを形成できる。
【００６０】また、隔壁の端部に、隔壁の幅より広い、
矩形形状や円形形状の隔壁先端部を設けたので、より確
実に切り欠きを形成できる。
矩形形状や円形形状の隔壁先端部を設けたので、より確
実に切り欠きを形成できる。
【００６１】さらに、この隔壁先端部頂面の中央部に窪
みを設けたので、隔壁端での反り上がりをさらに確実に
防ぐことができる。
みを設けたので、隔壁端での反り上がりをさらに確実に
防ぐことができる。
【００６２】また、一面に複数の帯状の隔壁が形成され
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が隔壁の頂面とほぼ接
するよう設けられることにより、前記背面基板と前記前
面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成された
ガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部に、この
隔壁と隣接する隔壁の端部と接続され、高さが前記隔壁
と同じ端部隔壁を設け、この端部隔壁の前記放電空間に
接する部分に前記端部隔壁の頂面から前記隔壁の延在す
る方向全域にわたる切り欠きを設けたので、製造工程に
おいて、マスクパターンの剥離の恐れを少なくでき、確
実に切り欠きを形成できるとともに、隔壁端および切り
欠き周辺での反り上がりを防止できる。
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が隔壁の頂面とほぼ接
するよう設けられることにより、前記背面基板と前記前
面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成された
ガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部に、この
隔壁と隣接する隔壁の端部と接続され、高さが前記隔壁
と同じ端部隔壁を設け、この端部隔壁の前記放電空間に
接する部分に前記端部隔壁の頂面から前記隔壁の延在す
る方向全域にわたる切り欠きを設けたので、製造工程に
おいて、マスクパターンの剥離の恐れを少なくでき、確
実に切り欠きを形成できるとともに、隔壁端および切り
欠き周辺での反り上がりを防止できる。
【００６３】さらに、隔壁の端部近傍に、隔壁の頂面か
ら背面基板方向に向けて、頂面の幅方向全域にわたる切
り欠きを設けたので、より確実に隔壁端での反り上がり
を防止できる。
ら背面基板方向に向けて、頂面の幅方向全域にわたる切
り欠きを設けたので、より確実に隔壁端での反り上がり
を防止できる。
【００６４】また、一面に複数の帯状の隔壁が形成され
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほ
ぼ接するよう設けられることにより、前記背面基板と前
記前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成さ
れたガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍
を蛇行させたので、焼成による隔壁端での反り上がりの
原因である隔壁端とは反対方向への収縮力を弱めて、隔
壁端での反り上がりを防止できる。
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほ
ぼ接するよう設けられることにより、前記背面基板と前
記前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成さ
れたガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍
を蛇行させたので、焼成による隔壁端での反り上がりの
原因である隔壁端とは反対方向への収縮力を弱めて、隔
壁端での反り上がりを防止できる。
【００６５】また、一面に複数の帯状の隔壁が形成され
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほ
ぼ接するよう設けられることにより、前記背面基板と前
記前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成さ
れたガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍
を前記頂面の幅方向両側から交互に切り欠いたので、焼
成による隔壁端での反り上がりの原因である隔壁端とは
反対方向への収縮力を弱めて、隔壁端での反り上がりを
防止できるとともに、隣接する隔壁間の排気通路を狭め
る事がないので、安定した排気を行う事ができる。
た背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた
前面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほ
ぼ接するよう設けられることにより、前記背面基板と前
記前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成さ
れたガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍
を前記頂面の幅方向両側から交互に切り欠いたので、焼
成による隔壁端での反り上がりの原因である隔壁端とは
反対方向への収縮力を弱めて、隔壁端での反り上がりを
防止できるとともに、隣接する隔壁間の排気通路を狭め
る事がないので、安定した排気を行う事ができる。
【００６６】また、低融点ガラスとバインダーが含まれ
る隔壁材料上に隔壁の形状に相当するポジマスクパター
ンを形成するポジマスクパターン形成工程と、形成され
たポジマスクパターンを介して研磨材によりサンドブラ
スト加工を施して隔壁材料の不要部分を切削する切削工
程と、焼成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を
行い燒結する燒結工程と、により前記隔壁を形成するガ
ス放電表示パネルの製造方法において、前記切削工程に
おける前記研磨材の平均粒径および前記サンドブラスト
加工の加工時間を調整することにより前記隔壁に切り欠
き又は窪みを形成するようにしたので、単純な製造工程
で、隔壁に切り欠きや窪みのあるガス放電表示パネルを
製造する事ができる。
る隔壁材料上に隔壁の形状に相当するポジマスクパター
ンを形成するポジマスクパターン形成工程と、形成され
たポジマスクパターンを介して研磨材によりサンドブラ
スト加工を施して隔壁材料の不要部分を切削する切削工
程と、焼成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を
行い燒結する燒結工程と、により前記隔壁を形成するガ
ス放電表示パネルの製造方法において、前記切削工程に
おける前記研磨材の平均粒径および前記サンドブラスト
加工の加工時間を調整することにより前記隔壁に切り欠
き又は窪みを形成するようにしたので、単純な製造工程
で、隔壁に切り欠きや窪みのあるガス放電表示パネルを
製造する事ができる。
【００６７】また、低融点ガラスと感光性バインダーが
含まれる隔壁材料上に、隔壁の形状に相当するネガマス
クパターンを介して紫外線を照射する露光工程と、現像
により隔壁材料の不要部分を除去する現像工程と、焼成
でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行い燒結す
る燒結工程と、により前記隔壁を形成するガス放電表示
パネルの製造方法において、前記露光工程における前記
紫外線の照射量を調整することにより前記隔壁に切り欠
き又は窪みを形成するようにしたため、工程を増やす事
なく効率的に、隔壁に切り欠きや窪みのあるガス放電表
示パネルを製造する事ができる。
含まれる隔壁材料上に、隔壁の形状に相当するネガマス
クパターンを介して紫外線を照射する露光工程と、現像
により隔壁材料の不要部分を除去する現像工程と、焼成
でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行い燒結す
る燒結工程と、により前記隔壁を形成するガス放電表示
パネルの製造方法において、前記露光工程における前記
紫外線の照射量を調整することにより前記隔壁に切り欠
き又は窪みを形成するようにしたため、工程を増やす事
なく効率的に、隔壁に切り欠きや窪みのあるガス放電表
示パネルを製造する事ができる。
【図１】 本発明の実施の形態１を示すガス放電表示パ
ネルの構造を示す隔壁の端部付近の拡大斜視図である。
ネルの構造を示す隔壁の端部付近の拡大斜視図である。
【図２】 本発明の実施の形態１を示すガス放電表示パ
ネルの平面図である。
ネルの平面図である。
【図３】 本発明の実施の形態１の作用を説明する図で
ある。
ある。
【図４】 本発明の実施の形態１の効果を説明する図で
ある。
ある。
【図５】 本発明の実施の形態２を示すガス放電表示パ
ネルの製造方法の工程図である。
ネルの製造方法の工程図である。
【図６】 本発明の実施の形態２の製造方法を説明する
図である。
図である。
【図７】 本発明の実施の形態４を示すガス放電表示パ
ネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
ネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図８】 本発明の実施の形態５を示すガス放電表示パ
ネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
ネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図９】 本発明の実施の形態５を示す別のガス放電表
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１０】 本発明の実施の形態６を示すガス放電表示
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１１】 本発明の実施の形態７を示すガス放電表示
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１２】 本発明の実施の形態８を示すガス放電表示
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１３】 本発明の実施の形態８の作用を説明する図
である。
である。
【図１４】 本発明の実施の形態８を示す別のガス放電
表示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図であ
る。
表示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図であ
る。
【図１５】 本発明の実施の形態９を示すガス放電表示
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１６】 本発明の実施の形態１０を示すガス放電表
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１７】 本発明の実施の形態１０の作用を説明する
図である。
図である。
【図１８】 本発明の実施の形態１１を示すガス放電表
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
示パネルの背面基板側の端部付近の拡大斜視図である。
【図１９】 従来のガス放電表示パネルの構造を示す拡
大斜視図である。
大斜視図である。
【図２０】 従来のガス放電表示パネルの隔壁の焼成時
の模式断面図である。
の模式断面図である。
【図２１】 従来のガス放電表示パネルの隔壁の焼成時
の模式側面図である。
の模式側面図である。
１ 背面基板 ４ 隔壁 ５、５１、５２、８ 切り欠き ６ 隔壁の頂面 ７、７１、７２ 端部隔壁 １０ 隔壁材料 １１ ポジマスクパターン １２ 研磨材 １４ 蛇行端部 １６ 前面基板 ４０ 隔壁端 ４１、４２、４４ 隔壁先端部 ４３ 窪み
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 徹 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF12 GF19 JA15 JA17 MA23
Claims (15)
- 【請求項１】 一面に複数の帯状の隔壁が形成された背
面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた前面
基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ接
するよう設けられることにより、前記背面基板と前記前
面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成された
ガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍に、
前記隔壁の頂面から前記背面基板方向に向けて、前記頂
面の幅方向全域にわたる切り欠きを設けたことを特徴と
するガス放電表示パネル。 - 【請求項２】 前記切り欠きの深さを前記隔壁の高さの
０．１倍以上０．６倍以下にしたことを特徴とする請求
項１記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項３】 前記切り欠きから隔壁端までの前記隔壁
の頂面の長さを前記隔壁の頂面の幅の１〜１０倍にした
ことを特徴とする請求項１記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項４】 前記切り欠きから隔壁端までの前記隔壁
の高さがパネル中央部分の前記隔壁の高さより低いこと
を特徴とする請求項１記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項５】 前記切り欠きを前記隔壁の少なくとも片
側端部近傍に複数個設けたことを特徴とする請求項１記
載のガス放電表示パネル。 - 【請求項６】 前記隔壁の端部に、前記隔壁の幅より広
い隔壁先端部を設けたことを特徴とする請求項１記載の
ガス放電表示パネル。 - 【請求項７】 前記隔壁先端部頂面の形状が矩形である
ことを特徴とする請求項６記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項８】 前記隔壁先端部頂面の形状が円形である
ことを特徴とする請求項６記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項９】 前記隔壁先端部頂面の中央部に窪みを設
けたことを特徴とする請求項６記載のガス放電表示パネ
ル。 - 【請求項１０】 一面に複数の帯状の隔壁が形成された
背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた前
面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ
接するよう設けられることにより、前記背面基板と前記
前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成され
たガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部に、こ
の隔壁と隣接する隔壁の端部と接続され、高さが前記隔
壁と同じ端部隔壁を設け、この端部隔壁の前記放電空間
に接する部分に前記端部隔壁の頂面から前記隔壁の延在
する方向全域にわたる切り欠きを設けたことを特徴とす
るガス放電表示パネル。 - 【請求項１１】 前記隔壁の端部近傍に、前記隔壁の頂
面から前記背面基板方向に向けて、前記隔壁の幅方向全
域にわたる切り欠きを設けたことを特徴とする請求項１
０記載のガス放電表示パネル。 - 【請求項１２】 一面に複数の帯状の隔壁が形成された
背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた前
面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ
接するよう設けられることにより、前記背面基板と前記
前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成され
たガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍を
蛇行させたことを特徴とするガス放電表示パネル。 - 【請求項１３】 一面に複数の帯状の隔壁が形成された
背面基板と、この背面基板と周縁部で張り合わされた前
面基板とを備え、この前面基板が前記隔壁の頂面とほぼ
接するよう設けられることにより、前記背面基板と前記
前面基板と前記隔壁とで区画された放電空間が形成され
たガス放電表示パネルにおいて、前記隔壁の端部近傍を
前記頂面の幅方向両側から交互に切り欠いたことを特徴
とするガス放電表示パネル。 - 【請求項１４】 低融点ガラスとバインダーが含まれる
隔壁材料上に隔壁の形状に相当するポジマスクパターン
を形成するポジマスクパターン形成工程と、形成された
ポジマスクパターンを介して研磨材によりサンドブラス
ト加工を施して隔壁材料の不要部分を切削する切削工程
と、焼成でバインダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行
い燒結する燒結工程と、により前記隔壁を形成するガス
放電表示パネルの製造方法において、前記切削工程にお
ける前記研磨材の平均粒径および前記サンドブラスト加
工の加工時間を調整することにより前記隔壁に切り欠き
又は窪みを形成することを特徴とするガス放電表示パネ
ルの製造方法。 - 【請求項１５】 低融点ガラスと感光性バインダーが含
まれる隔壁材料上に隔壁の形状に相当するネガマスクパ
ターンを介して紫外線を照射する露光工程と、現像によ
り隔壁材料の不要部分を除去する現像工程と、焼成でバ
インダーの焼失と低融点ガラスの溶融を行い燒結する燒
結工程と、により前記隔壁を形成するガス放電表示パネ
ルの製造方法において、前記露光工程における前記紫外
線の照射量を調整することにより前記隔壁に切り欠き又
は窪みを形成することを特徴とするガス放電表示パネル
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048493A JP2001236890A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | ガス放電表示パネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048493A JP2001236890A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | ガス放電表示パネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001236890A true JP2001236890A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18570573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000048493A Pending JP2001236890A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | ガス放電表示パネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001236890A (ja) |
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- 2000-02-25 JP JP2000048493A patent/JP2001236890A/ja active Pending
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