KR100912804B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의격벽 형성 방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의격벽 형성 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 제1 기판; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되며, 표시영역(display area)용 공간을 구획함으로써 방전셀들을 형성하는 격벽; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 비표시영역 (non-display area)에 스트라이프(strip) 형상으로 배치되며, 적어도 일측의 단부는 공동(cavity)이 형성된 만곡(curved) 형상인 적어도 하나의 더미 격벽; 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 설치되며, 상기 방전셀 내에서 방전을 일으키는 방전 전극들; 및 상기 방전셀 내에 도포되는 형광체;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널을 개시한다.
더미 격벽, 진동, 소음, 샌드 블라스팅

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법{A plasma display panel and a method of forming barrier ribs of the plasma display panel}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 더미 격벽 및 그 형성 방법에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 패널은, 복수 개의 전극들이 형성된 전면 패널과 배면 패널이 봉착되고, 각 방전셀에 방전가스가 봉입된 후 방전 전압이 가해지고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의해 형광체가 여기되어 원하는 화상을 얻는 장치이다.
플라즈마 디스플레이 패널은 방전이 발생하는 방전셀을 형성하고, 인접하는 방전셀끼리의 방전 간섭을 방지하기 위하여 격벽을 구비한다. 격벽은 방전셀을 형성하기 위하여 플라즈마 디스플레이 패널의 표시 영역(display area)에 배치되는 내부 격벽과 표시 영역의 외측인 비표시 영역(non-display area)에 배치되는 더미 격벽으로 나뉜다.
일반적으로 격벽은 샌드 블라스팅(sand blasting)법으로 형성된다. 좀더 상 세히 설명하면, 배면 기판에 격벽용 페이스트를 도포한 후 건조하고, 페이스트층위에 감광성 DFR(dry film resistor)을 라미네이팅하고, DFR을 노광 및 현상함으로써 내부 격벽과 더미 격벽의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 패터닝 마스크를 형성한다. 그리고 샌드 블라스팅 공정으로 패터닝 마스크를 통하여 페이스트층을 절삭하고 잔류하는 패터닝 마스크를 박리한 후, 남은 페이스트층을 소성함으로써 격벽이 형성된다.
샌드 블라스팅 공정시, 플라즈마 디스플레이 패널의 외측인 비표시 영역에 형성된 더미 격벽, 특히 더미 격벽의 단부(end portion)는 언더컷되게 된다. 이는 더미 격벽의 단부가 다른 부분에 비하여 더 많은 샌드 입자에 노출될 뿐만 아니라, 유리기판의 윗쪽에 위치한 노즐에서 아래로 분사된 후 유리 기판을 맞고 윗쪽으로 튀어 오른 샌드 입자와 노즐에서 아랫쪽으로 분사된 샌드 입자의 충돌로 인하여 유리 기판면에 평행한 방향으로 진행하는 샌드 입자에 의해 더미 격벽의 단부가 절삭되기 때문이다.
샌드 블라스팅 공정 이후, 남은 페이스트층을 소성하게 되면 언더컷된 격벽의 부분은 유리 기판으로부터 멀어지는 방향으로 튀어 오른 형상으로 형성된다. 왜냐하면 페이스트층을 소성하면 페이스트 내의 바인더(binder)가 증발하여 유리기판 쪽으로 페이스트층이 수축하게 되는데, 언더컷된 부분은 수축하지 못함으로써 언더컷된 단부가 상대적으로 튀어 오른 것처럼 형성되기 때문이다.
이와 같이 더미 격벽의 단부가 튀어 오른 형상으로 형성되는 경우, 더미 격벽의 단부와 단부 이외의 부분에서의 높이 차이로 인하여 전면 패널과 배면 패널을 합착할 때 전면 패널부와 격벽이 불완전하게 밀착된다. 따라서 플라즈마 디스플레이 패널의 구동시 진동과 소음이 발생하는 문제점이 발생한다.
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 구동시 진동과 소음을 저감하기 위하여, 더미 격벽 단부의 튀어 오름 현상을 방지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은, 제1 기판; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되며, 표시영역(display area)용 공간을 구획함으로써 방전셀들을 형성하는 격벽; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 비표시영역(non-display area)에 스트라이프(strip) 형상으로 배치되며, 적어도 일측의 단부는 공동(cavity)이 형성된 만곡(curved) 형상인 적어도 하나의 더미 격벽; 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 설치되며, 상기 방전셀 내에서 방전을 일으키는 방전 전극들; 및 상기 방전셀 내에 도포되는 형광체;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널을 개시한다.
상기 만곡 형상은 실질적으로 타원 형 또는 원 형일 수 있으며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동은, 상기 타원 또는 원의 중심으로부터 다른 단부쪽으로 치우치도록 배치되거나 상기 타원 또는 원의 중심에 배치될 수 있다.
상기 적어도 하나의 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽들이며, 상기 더미 격벽의 단부들은 플라즈마 디스플레이 패널의 가로 또는 세로 방향으로 일렬로 배치되거나, 지그재그(zigzag) 방향으로 배치되거나, 대각방향으로 일렬로 배치될 수 있다.
상기 더미 격벽의 연장 방향과 직교하며, 상기 제1 기판면과 평행한 방향으로의 상기 만곡형 단부의 폭은 상기 더미 격벽의 단부 이외의 부분의 폭보다 클 수 있다. 상기 더미 격벽의 단부의 높이는 상기 더미 격벽의 단부 이외의 부분의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽이며, 상기 표시영역으로부터 가장 멀리 배치된 최외곽 더미 격벽의 폭은 다른 더미 격벽의 폭보다 클 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 본 발명은, 제1 기판 위에 격벽재를 도포하는 단계; 상기 격벽재 위에 표시영역과 비표시영역에 각각 배치되는 내부 격벽과 더미(dummy) 격벽에 대응하는 패턴을 가진 격벽용 패터닝 마스크(patterning mask)와 더미 격벽용 패터닝 마스크를 형성하는 단계; 상기 격벽용 패터닝 마스크와 더미 격벽용 패터닝 마스크가 형성되지 않은 부분에 대응하는 격벽재 부분을 제거하는 단계; 및 상기 격벽재 위에 남아 있는 패터닝 마스크를 제거하는 단계;를 포함하며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 스트라이프 형상으로 형성되며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 적어도 일측의 단부는 공동(cavity)이 형성된 만곡(curved) 형상인 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법을 개시한다.
상기 만곡 형상은 실질적으로 타원 형 또는 원 형일 수 있으며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동은, 상기 타원 또는 원의 중심으로부터 다른 단부쪽으로 치우치도록 배치되거나 상기 타원 또는 원의 중심에 배치될 수 있다.
상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부들은 플라즈마 디스플레이 패널의 가로 또는 세로 방향으로 일렬로 배치되거나, 지그재그 방향으로 배치되거나, 또는 대각방향으로 일렬로 배치될 수 있다.
더미 격벽용 패터닝 마스크의 연장 방향과 직교하며, 상기 제1 기판면과 평행한 방향으로의 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부의 폭은 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부 이외의 부분의 폭보다 클 수 있다. 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 표시영역으로부터 가장 멀리 배치된 최외곽 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭은 다른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭보다 클 수 있다.
실시예들에 따르면, 더미 격벽들이 스트라이프 형상으로 서로 나란하게 배치됨으로써 플라즈마 디스플레이 패널의 배기 효율을 향상시키고 그럼으로써 배기 불량으로 인한 플라즈마 디스플레이 패널의 수명 저하와 휘도 균일성 저하를 방지할 수 있다.
실시예들에 따르면, 더미 격벽의 단부가 튀어 오르는 현상을 방지할 수 있다. 따라서 전면 패널과 배면 패널의 밀착이 확실하게 이루어지고, 그럼으로써 진동과 소음의 발생을 줄일 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 플라즈마 디스플레이 격벽의 형성 방법에 대한 실시예와 상기 방법에 따라 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 실시예에 대하여 설명할 것이다.
도면에는 도시되지 않았으나, 플라즈마 디스플레이 패널은 서로 합착된 전면 패널과 배면 패널로 이루어진다. 전면 패널은 전면 기판, 제1 방전 전극, 전면 유전체층 및 보호층을 구비할 수 있다. 제1 방전 전극은 전면 기판 상에 형성되며, 전면 유전체층에 매립될 수 있다. 전면 유전체층을 보호하기 위하여 전면 유전체층에는 보호층이 도포된다. 배면 패널은 배면 기판, 제2 방전 전극, 배면 유전체층, 격벽 및 형광체층을 구비할 수 있다. 제2 방전전극은 일반적으로 유리 재질로 된 배면 기판에 형성되며, 배면 유전체층에 매립될 수 있다.
격벽은 제2 방전전극과 배면 유전체층이 형성된 배면 기판 상에 형성된다. 격벽은 제1 방전 전극과 제2 방전 전극 사이에 발생하는 방전을 위한 공간인 방전셀을 형성하며, 인접하는 방전셀끼리의 방전 간섭을 방지하는 기능을 수행한다.
격벽을 형성하는 방법으로서, 샌드 블라스팅 방법을 예로 들어 설명한다. 먼저, 유리로 된 배면 기판에 격벽재, 예를 들면 격벽용 페이스트를 도포한 후 건조한다. 페이스트층에 DFR(dry film resistor)과 같은 감광제를 라미네이팅 한다. 그러고 나서, 소정의 패턴으로 된 포토 마스크를 통하여 DFR에 UV(ultra violet)를 조사하면 UV에 노광된 DFR 부분은 경화된다. 따라서 DFR을 현상액에 노출시키면 노광된 DFR 부분만 남게 되고, 그럼으로써 격벽용 패터닝 마스크가 형성된다.
이와 달리, 패터닝 마스크를 형성하는 방법으로서, 포지티브 감광제(photo sensitive resist)를 사용할 경우에는 UV가 조사된 부분, 즉 UV에 노광된 감광제의 부분이 약화되는데, 이 부분을 현상액에 노출시키면 UV에 노광되지 않은 감광제의 부분만 남게 되게 되어 격벽용 패터닝 마스크가 형성된다.
패터닝 마스크를 통하여 격벽 페이스트를 절삭하는 샌드 블라스팅 공정을 설명하기 전에, 격벽용 패터닝 마스크에 대하여 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 내부 격벽 및 더미 격벽의 패터닝을 위한 패터닝 마스크(10, 20, 25)의 패턴의 배치를 보여주는 도면이다.
내부 격벽용 패터닝 마스크(10)는 플라즈마 디스플레이 패널의 표시 영역(D)에 위치되는 내부 격벽을 형성하기 위하여 내부 격벽에 대응하는 패턴을 가지며, 더미 격벽용 패터닝 마스크(20, 25)는 플라즈마 디스플레이 패널의 비표시 영역(N)에 위치되는 더미 격벽을 형성하기 위하여 더미 격벽에 대응하는 패턴을 가진다. 비표시 영역(N)은 플라즈마 디스플레이 패널의 표시 영역(D)을 둘러싸도록 표시 영역(D)의 외측에 위치된다.
도 1에 도시된 실시예에서는, 격자(matrix) 형태의 패터닝 마스크의 패턴 도시되어 있다. 그러나 본 발명의 보호범위는 이에 한정되지 아니하고, 내부 격벽이 스트라이프(stripe) 형태로 형성되게 하는 패터닝 마스크도 본 발명의 보호범위에 포함됨은 물론이다. 뿐만 아니라, 다양한 형태의 내부 격벽을 형성하게 하는 패터닝 마스크도 본 발명의 보호범위에 포함된다.
플라즈마 디스플레이 패널의 비표시 영역(N) 중 플라즈마 디스플레이 패널의 상부 비표시 영역과 하부 비표시 영역 좌측 비표시 영역과 우측 비표시 영역에는 각각 더미 격벽용 패터닝 마스크들(20, 25)이 형성되어 있다. 더미 격벽용 패터닝 마스크(20, 25)들의 개수 및 위치는 도면에 도시된 것이 한정되지 아니하며, 다양 한 변형이 가능하다.
도 2는 도 1의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이고, 도 3은 일 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크(21)의 패턴을 보여주는 도면이며, 도 4는 다른 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크(21)를 보여주는 도면이다. 도 2, 3 및 4를 참조하여 더미 격벽을 패터닝하는 패터닝 마스크(21)의 패턴을 상세하게 설명한다.
더미 격벽용 패터닝 마스크(20, 25)는 전체적으로 스트라이프 형상으로 형성된다. 따라서 샌드 블라스팅 공정을 거친 후 더미 격벽들은 서로 나란하게 형성된다. 스트라이프 형상의 더미 격벽들은 격자 형상의 더미 격벽들에 비하여 배기(exhaustion) 효율이 좋다. 그럼으로써 배기 불량으로 인한 수명 저하와 휘도 균일성(uniformity) 저하를 방지할 수 있다.
하나의 더미 격벽용 패터닝 마스크(21)를 살펴보면, 그 일측 단부 또는 양측 단부(21a)는 공동(cavity)(21b)이 형성된 만곡(curved) 형상을 띄고 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 패터닝 마스크의 단부(21a)는 플라즈마 디스플레이 패널의 세로 방향 또는 가로 방향으로 일렬로 배치될 수 있다.
여기서 만곡 형상은 도 3에 도시된 바와 같이 실질적으로 타원 형상일 수도 있고, 도 4에 도시된 바와 같이 실질적으로 원 형상일 수도 있다. 그러나 만곡 형상이 타원 형상과 원 형상으로만 의미하는 것이다. 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(21a)가 만곡 형상이라는 것은, 전면 기판에 평행한 면 상에서의 모든 방향에서 외부로 볼록하도록 단부가 형상 지어졌다는 것을 의미한다. 즉, 세로 방향 (스 트라이프 형상의 패터닝 마스크의 연장 방향과 직교하는 방향)으로의 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(21a)의 폭은 패터닝 마스크의 다른 부분(21)의 폭보다 크고, 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(21a)는 가로 방향으로 볼록하게 형성된다.
어느 경우이든 패터닝 마스크의 단부(21)에 형성된 공동(21b)의 위치는 타원의 중심 또는 원의 중심으로부터 패터닝 마스크(21)의 중앙측(패터닝 마스크의 다른 단부(21e)측 방향으로 치우치도록 배치된다. 즉, a의 길이가 b의 길이보다 크도록 패터닝 마스크(21)가 형성되어야 한다.
더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(21a)의 형상이 본 발명에서와 같은 형상을 취하지 않을 때 발생하는 문제점을 도 5a 내지 5c에 도시하였다. 도 5a는 격벽재(3)위에 형성된 DFR(5)이 노광 및 현상을 거쳐 패터닝된 상태를 보여준다. 격벽재(3)를 패터닝하기 위한 더미 격벽용 패터닝 마스크(5)의 단부가 만곡 형상이 아닌 직사각형 형상이다. 이러한 패터닝 마스크(5)를 통하여 격벽재(3)에 샌드 입자를 강하게 분사시키면 도 5b와 같이 더미 격벽의 단부(3a)가 언더컷(under cut)된다. 이것은 더미 격벽의 단부가 다른 부분에 비하여 넓은 공간에 노출됨으로써 다른 부분에 비하여 더 많은 샌드 입자에 의해 절삭될 뿐만 아니라, 유리 기판의 상방에 위치한 노즐에서 아랫쪽으로 분사된 후 유리 기판(1)을 맞고 위로 튀어 오른 샌드 입자와 노즐에서 아랫쪽으로 분사된 샌드 입자의 충돌로 인하여 유리 기판면에 평행한 방향으로 진행하는 샌드 입자에 의해 더미 격벽의 단부(3a)가 절삭되기 때문이다.
샌드 블라스팅 공정이 끝난 후 DFR로 된 패터닝 마스크(5)를 제거하면 도 5c 에 도시된 바와 같이 더미 격벽(3)이 형성된다. 그러고 나서 내부 격벽과 더미 격벽(3)을 소성하면, 도 5d에 도시된 바와 같이 더미 격벽의 언더컷된 단부는 유리 기판으로부터 멀어지는 방향으로 튀어 오른 형상으로 형성된다.(3b 참고) 왜냐하면 페이스트층(3)을 소성하면 페이스트층(3) 내의 바인더가 증발하여 유리기판(1) 쪽으로 수축하게 되는데, 언더컷된 부분은 수축하지 못함으로써 언더컷된 단부가 상대적으로 튀어 오른 것처럼 형성되기 때문이다.
도 6a는 도 5a 내지 5d에서 설명한 방식으로 격벽을 형성하였을 때의 내부 격벽의 단면을 보여주기 위하여 주사전자현미경(SEM)으로 촬영된 사진이고, 도 6b는 도 5a 내지 5d에서 설명한 방식으로 격벽을 형성하였을 때의 더미 격벽의 단부의 모양을 보여주기 위하여 SEM으로 촬영된 사진이다. 내부 격벽의 높이는 120㎛이었던 반면, 더미 격벽은 도 6b의 E부분에 보이는 바와 같이 더미 격벽의 단부가 튀어 오른 형상으로 형성됨으로써 더미 격벽의 단부의 높이가 130㎛으로 높아졌음을 알 수 있다.
반면, 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법에 따르면 도 7a에 도시된 바와 같이 DFR로 된 더미 격벽용 패터닝 마스크(21)의 단부는 만곡 형상을 취한다. 패터닝 마스크(21)가 상부에 배치된 격벽재(14)에 샌드 입자를 강하게 분사하면, 더미 격벽의 단부(21a)는 도 7b에 도시된 바와 같이 형성된다. 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(21a)가 바깥쪽으로 볼록한 만곡 형상이기 때문에 샌드 블라스팅 공정시 샌드 입자에 의해 더미 격벽(14)의 단부 중 볼록한 부분(14c, 14d)만 깎이되, 언더컷될 정도로 내부로 침입하면서 깎이지는 않는다.
또한, 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부(16a)에는 공동(cavity)(21b)이 형성되어 있다. 샌드 블라스팅 공정 초기에 기판이 이송되면 더미 격벽의 단부들이 샌드 입자들에 먼저 노출되기 때문에, 더미 격벽의 단부들이 더미 격벽의 다른 부분들에 비해서 강한 충격을 받는다. 일 실시예에서, 더미 격벽의 단부에 공동(21b)이 존재하기 때문에 더미 격벽의 단부의 일 부분에 가해진 충격은 단부의 다른 부분으로 전달되지 않고 충격력이 분산된다. 즉, 더미 격벽의 단부가 만곡 형상이더라도 공동이 존재하지 아니하면 샌드 입자들의 강한 충격으로 인해 더미 격벽의 단부가 찌그러질 수 있는데, 공동은 이러한 현상을 방지하는 역할을 한다.
공동(21b)이 형성되는 위치는 더미 격벽(14)의 단부가 샌드 입자에 의해 더 많이 깎여 나가는 것과 깎임 정도를 고려하여 결정될 수 있다. 다시 말하면, 더미 격벽(14)의 단부가 샌드 입자에 의해 깎여 나가므로 공동(21b)의 위치는 타원의 중심 또는 원의 중심으로부터 상기 깎여나가는 단부로부터 멀어지는 쪽(패터닝 마스크의 다른 단부쪽)으로 치우치도록 배치되는 것이 바람직하며(즉, 도 3 및 도 4에서, a의 길이가 b의 길이보다 크도록 패터닝 마스크가 형성되는 것이 바람직함), 치우침 양은 단부가 깎여 나간 후 공동(21b)이 단부의 중앙 또는 단부의 중앙으로부터 다른 단부쪽으로 약간 치우쳐 위치할 정도로 결정하는 것이 바람직하다. 따라서 샌드 블라스팅 공정 및 소성 이후에는 공동(14b)이 타원 또는 원 형상의 더미 격벽의 단부(14a)의 중앙 부분에 배치됨으로써 더미 격벽(14)의 내구성이 증가하고 불량성이 감소될 수 있다.
한편, 도 7b에 도시된 바와 같이, 샌드 블라스팅 공정 이후에도 더미 격벽의 단부(14c, 14d)가 언더컷되지 않음으로써 소성 공정을 거치면 도 7c에 도시된 바와 같이 더미 격벽(14)이 형성된다. 즉, 더미 격벽의 단부(14a)와 단부 이외의 부분은 동일한 비율로 수축함으로써 거의 동일한 높이를 유지할 수 있다.
도 8a는 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 내부 격벽을 형성하였을 때의 내부 격벽의 단부의 모양을 SEM으로 500배 확대하여 촬영된 사진이고, 도 8b는 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 격벽을 형성하였을 때의 더미 격벽들의 단부의 모양을 SEM으로 100배 확대하여 촬영된 사진이다. 도 8a에 나타난 내부 격벽의 단부의 높이는 118㎛ 이며, 도 8b에 나타난 더미 격벽의 단부의 높이는 117㎛이다. 더미 격벽의 단부의 높이가 내부 격벽의 단부의 높이와 거의 동일함을 알 수 있으며, 이것은 더미 격벽의 단부의 높이가 단부 이외의 부분의 높이와도 거의 동일함을 의미한다. 도 8b를 자세히 살펴보면, 더미 격벽의 각 단부의 단면에서, 중앙부(I 영역)는 주변부(O 영역)보다 더 밝게 촬영되었으며, 이것으로부터 더미 격벽의 단부가 외부로 돌출된 만곡 형상임을 알 수 있다.
SEM 사진으로부터 알 수 있는 바와 같이, 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 더미 격벽을 형성하면 더미 격벽의 단부가 튀어 오르는 현상을 방지할 수 있다. 따라서 전면 패널과 배면 패널의 밀착이 확실하게 이루어지고, 그럼으로써 진동과 소음의 발생이 저감될 수 있다.
도 9는 일 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크들의 단부(21a) 배치를 보여주는 도면이다. 이 실시예에서, 패터닝 마스크의 단부(21a)들이 지그재그 형상을 취하고 있다. 이렇게 폭이 상대적으로 넓은 단부(21a)들이 서로 엇갈려 배치 됨으로써 서로 간섭되지 않도록 더미 격벽들을 형성할 수 있다.
도 10은 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서 더미 격벽용 패터닝 마스크들의 단부(21a) 배치를 보여주는 도면이다. 이 실시예에서, 패터닝 마스크의 단부(21a)들이 대각 방향으로 일렬로 배치된다. 이렇게 폭이 상대적으로 넓은 단부(21a)들이 서로 간섭되지 않도록 배치됨으로써 공간의 제약을 받지 않고 용이하게 더미 격벽들을 형성할 수 있다.
한편, 최외곽에 위치한 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭(c)은 다른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭(d)보다 크다. 이것은 샌드 블라스팅 공정시, 최외곽 더미 격벽이 샌드 입자에 더 많이 노출되어 더 많이 절삭되기 때문이다. 따라서 최외곽 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭(c)을 다른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭(d)보다 크게 함으로써, 샌드 블라스팅 공정 이후 형성된 최외곽 더미 격벽의 폭이 다른 더미 격벽의 폭보다 더 작게 되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 디스플레이 산업에 이용될 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 내부 격벽 및 더미 격벽의 패터닝을 위한 패터닝 마스크의 패턴을 배치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 패턴을 보여주는 도면이다.
도 4는 다른 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 패턴을 보여주는 도면이다.
도 5a 내지 5d는 종래의 방법으로 격벽을 형성하였을 때 더미 격벽의 단부가 튀어 오른 형상으로 형성되는 것을 보여주는 도면이다.
도 6a는 종래의 방법으로 격벽을 형성하였을 때의 내부 격벽의 단면을 보여주기 위하여 SEM으로 촬영된 사진이다.
도 6b는 종래의 방법으로 격벽을 형성하였을 때의 더미 격벽의 단부의 모양을 보여주기 위하여 SEM으로 촬영된 사진이다.
도 7a 내지 7c는 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 격벽을 형성하였을 때 형성된 더미 격벽의 단부의 형상을 보여주는 도면이다.
도 8a는 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 격벽을 형성하였을 때의 내부 격벽의 단부의 모양을 SEM으로 500배 확대하여 촬영된 사진이다.
도 8b는 일 실시예에 따른 격벽 형성 방법으로 격벽을 형성하였을 때의 더미 격벽들의 단부의 모양을 SEM으로 100배 확대하여 촬영된 사진이다.
도 9는 일 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크들의 단부 배치를 보여주는 도면이다.
도 10은 다른 실시예에 따른 더미 격벽용 패터닝 마스크들의 단부 배치를 보여주는 도면이다.

Claims (17)

  1. 제1 기판;
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되며, 표시영역(display area)용 공간을 구획함으로써 방전셀들을 형성하는 격벽;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 비표시영역(non-display area)에 스트라이프(strip) 형상으로 배치되며, 적어도 일측의 단부는 공동(cavity)이 형성된 만곡(curved) 형상인 적어도 하나의 더미 격벽;
    상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 설치되며, 상기 방전셀 내에서 방전을 일으키는 방전 전극들; 및
    상기 방전셀 내에 도포되는 형광체;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 만곡 형상은 실질적으로 타원 형이며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동은, 상기 타원의 중심으로부터 다른 단부쪽으로 치우치도록 배치되거나 상기 타원의 중심에 배치되는 플라즈마 디스플레이 패널.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 만곡 형상은 실질적으로 원 형이며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동 은, 상기 원의 중심으로부터 다른 단부쪽으로 치우치도록 배치되거나 상기 원의 중심에 배치되는 플라즈마 디스플레이 패널.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽들이며, 상기 더미 격벽의 단부들은 플라즈마 디스플레이 패널의 가로 또는 세로 방향으로 일렬로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽들이며, 상기 더미 격벽의 단부들은 지그재그 방향으로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽들이며, 상기 더미 격벽의 단부들은 대각방향으로 일렬로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 더미 격벽의 연장 방향과 직교하며, 상기 제1 기판면과 평행한 방향으 로의 상기 만곡형 단부의 폭은 상기 더미 격벽의 단부 이외의 부분의 폭보다 큰 플라즈마 디스플레이 패널.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 더미 격벽의 단부의 높이는 상기 더미 격벽의 단부 이외의 부분의 높이와 실질적으로 동일한 플라즈마 디스플레이 패널.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 더미 격벽은 서로 나란하도록 형성된 복수의 더미 격벽이며, 상기 표시영역으로부터 가장 멀리 배치된 최외곽 더미 격벽의 폭은 다른 더미 격벽의 폭보다 큰 플라즈마 디스플레이 패널.
  10. 제1 기판 위에 격벽재를 도포하는 단계;
    상기 격벽재 위에 표시영역과 비표시영역에 각각 배치되는 내부 격벽과 더미(dummy) 격벽에 대응하는 패턴을 가진 격벽용 패터닝 마스크(patterning mask)와 더미 격벽용 패터닝 마스크를 형성하는 단계;
    상기 격벽용 패터닝 마스크와 더미 격벽용 패터닝 마스크가 형성되지 않은 부분에 대응하는 격벽재 부분을 제거하는 단계; 및
    상기 격벽재 위에 남아 있는 패터닝 마스크를 제거하는 단계;를 포함하며,
    상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 스트라이프 형상으로 형성되며, 상기 더 미 격벽용 패터닝 마스크의 적어도 일측의 단부는 공동(cavity)이 형성된 만곡(curved) 형상인 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 만곡 형상은 타원 형이며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동은 상기 타원의 중심으로부터 더미 격벽의 타측 단부쪽으로 치우치도록 배치되는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 만곡 형상은 실질적으로 원 형이며, 상기 일측의 단부에 형성된 공동은, 상기 원의 중심으로부터 더미 격벽의 타측 단부쪽으로 치우치도록 배치되는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부들은 플라즈마 디스플레이 패널의 가로 또는 세로 방향으로 일렬로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부들은 지그재그 방향으로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부들은 대각방향으로 일렬로 배치된 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  16. 제10항에 있어서,
    더미 격벽용 패터닝 마스크의 연장 방향과 직교하며, 상기 제1 기판면과 평행한 방향으로의 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부의 폭은 상기 더미 격벽용 패터닝 마스크의 단부 이외의 부분의 폭보다 큰 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 더미 격벽용 패터닝 마스크는 서로 나란하도록 형성된 복수의 패터닝 마스크들이며, 상기 표시영역으로부터 가장 멀리 배치된 최외곽 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭은 다른 더미 격벽용 패터닝 마스크의 폭보다 큰 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.
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