JP2003303542A - プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 - Google Patents

プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法

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JP2003303542A JP2002105680A JP2002105680A JP2003303542A JP 2003303542 A JP2003303542 A JP 2003303542A JP 2002105680 A JP2002105680 A JP 2002105680A JP 2002105680 A JP2002105680 A JP 2002105680A JP 2003303542 A JP2003303542 A JP 2003303542A
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Yoshimi Shirakawa
良美 白川
Akihiro Fujinaga
昭弘 藤永
Kazunori Ishizuka
和徳 石塚
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Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 サンドブラスト工程において隔壁材からマス
ク材の隔離を防止すると共に、帯状パターンの隔壁を表
示領域において均一な幅を形成し、さらに、隔壁端部の
盛り上がりを防止して良好な表示が可能なプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 補助マスク材４を前記マスク材３の隔壁
形状の先端及び／又は終端の延長上に各マスク材３に対
応して形成しているので、マスク材３および補助マスク
材４形成後のサンドブラスト工程で、前記マスク材３周
辺の隔壁材２と同時に前記補助マスク材４周辺の隔壁材
２が切削され、またその切削によって形成される補助隔
壁４０がガラス基板１０から跳ね返ってくる切削材を遮
えぎり、当該帯状隔壁３０の端部へ到達させないよう機
能するので、隔壁３０端部の切削量が減少し、湾曲凹溝
状に過剰に切削されることない結果、前記マスク材３を
基礎となる隔壁材２から離反させることなしに、所望の
隔壁３０を正確に形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの放電空間を区画する隔壁を形成するプラズ
マディスプレイパネルの隔壁形成方法に関し、特に隔壁
をサンドブラスト法により形成するプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のサンドブラスト法による隔壁形成
方法を図７に従って説明する。同図において従来のＰＤ
Ｐの隔壁形成方法は、ガラス基板１０１上に隔壁材１０
２となる低融点ガラスペーストを均一な厚みで塗布して
乾燥させ、この乾燥させたガラスペースト層からなる隔
壁材１０２上をサンドブラストに対しての耐性の大きな
マスク材１０３となる感光性レジストで被膜する（同図
（Ａ）参照）。
【０００３】この感光性レジストにホトマスクを用いて
隔壁パターンを紫外線露光し、この露光された部分が化
学的に安定化されて現像されると、帯状の隔壁に対応す
る同じパターンがマスク材１０３として形成される（同
図（Ｂ）参照）。このマスク材１０３を介して隔壁材１
０２の全体に切削材を吹き付けてサンドブラスト加工を
実行すると、この切削材によりマスク材１０３が形成さ
れていない隔壁材１０２の部分が切削され除去されるこ
ととなる（同図（Ｃ）参照）。
【０００４】前記マスク材１０３を剥離した後に、隔壁
材１０２を焼成することにより、ガラス基板１０１上に
隔壁１１２を形成できることとなる（同図（Ｄ）参
照）。なお、前記サンドブラスト工程において、切削材
を吹き付ける動作は圧縮空気と共に切削材をノズルから
噴射し、このノズルを形成しようとする帯状の隔壁パタ
ーンに平行（同図（Ｃ）中の矢印Ａ方向を参照）に移動
させるように実行される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の隔壁形成方法は
以上のように帯状パターンのマスク材が用いられていた
ことから、サンドブラスト加工時において当該マスク材
１０３の端末領域における隔壁材１０２の部分は他の部
分に比べてガラス基板１０１から跳ね返ってきた切削材
により多量に切削される結果、隔壁１１２の端部におけ
る端面が湾曲凹溝状（図７（Ｃ）、（Ｄ）中に破線で示
す）に過剰に切削されることとなるという欠点を有して
いた。特に、大量生産を目的とした高速サンドブラスト
工程では、使用される切削材の材質、質量、噴射圧、噴
射量等を大きな値に設定する必要があり、この大きな値
に設定された各要因に基づいてマスク材１０３の端末に
おける隔壁材１０２の部分で形成される隔壁１１２の端
部端面が大きく切削されることとなる。このように隔壁
１１２の端部端面となる隔壁材１０２の過剰な切削は、
対応部分のマスク材１０３を基礎となる隔壁材１０２か
ら離反させ、このマスク材１０３が適度な弾性を有して
形成されていることから、マスク材１０３が細かく砕破
されることなく隔壁材１０２から全体が剥離するという
課題を有していた。
【０００６】また、従来のプラズマディスプレイパネル
は、帯状隔壁が連続して先端から終端まで形成されてい
るため、焼成によって端部に盛り上がり部１１２ａが生
じる（図８参照）。この状態で、前面板と背面板とを張
り合わせると、前記隔壁の端部が盛り上がっているた
め、図９に示すように完全に前面板と背面板とが密着す
ることができず、プラズマディスプレイパネルを点灯さ
せると、選択した単位発光領域以外の単位発光領域が発
光し、盛り上がっている部分で異音が生じるという課題
を有する。ここで、盛り上がっている隔壁の端部を研磨
することにより解決する手段が考えられるが、工数が大
幅に増加するという問題が生じる。
【０００７】本発明は、前記課題を解消するためになさ
れたもので、サンドブラスト工程において隔壁材からマ
スク材の隔離を防止すると共に、帯状パターンの隔壁を
表示領域において均一な幅を形成し、さらに、隔壁端部
の盛り上がりを防止して良好な表示が可能なプラズマデ
ィスプレイパネルの隔壁形成方法を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマデ
ィスプレイパネルの隔壁形成方法は、所定厚みに隔壁材
を形成し、当該隔壁材上に帯状の隔壁形状に適合したパ
ターンにマスク材を形成し、前記隔壁材及びマスク材に
切削材を吹き付けるサンドブラストにより隔壁を形成す
るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法におい
て、前記マスク材の隔壁形状の先端及び／又は終端の延
長上で各隔壁に対応する補助隔壁を形成するための補助
マスク材を離隔して形成するものである。このように本
発明においては、前記補助マスク材を前記マスク材の隔
壁形状の先端及び／又は終端の延長上に各マスク材に対
応して形成しているので、マスク材および補助マスク材
形成後のサンドブラスト工程で、前記マスク材周辺の隔
壁材と同時に前記補助マスク材周辺の隔壁材が切削さ
れ、またその切削によって形成される補助隔壁がガラス
基板から跳ね返ってくる切削材を遮えぎり、当該帯状隔
壁の端部へ到達させないよう機能するので、隔壁端部の
切削量が減少し、湾曲凹溝状に過剰に切削されることな
い結果、前記マスク材を基礎となる隔壁材から離反させ
ることなしに、所望の隔壁を正確に形成することができ
る。
【０００９】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法は必要に応じて、前記補助マスク
材が各隔壁に対応する補助隔壁を複数形成するために各
マスク材に対応して複数形成されるものである。このよ
うに本発明においては、前記補助マスク材を前記各マス
ク材に対応して複数形成しているので、マスク材および
補助マスク材形成後サンドブラスト工程で、前記補助マ
スク材周辺の隔壁材を切削する際に、ガラス基板から跳
ね返ってくる切削材により一以上の補助隔壁が消失して
も、少なくとも一の補助隔壁が残存していれば、マスク
材周辺の隔壁材を切削する際に、前記補助隔壁に遮られ
てガラス基板から跳ね返ってくる切削材の量が減少し、
隔壁の端部における端面で湾曲凹溝状に過剰に切削され
ることがないため前記マスク材を基礎となる隔壁材から
離反させることなしに、所望の隔壁を正確に形成するこ
とができる。
【００１０】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法は必要に応じて、前記マスク材及
び／又は補助マスク材の先端及び／又は終端を円弧状に
形成するものである。このように本発明においては、前
記マスク材及び／又は補助マスク材の端部を円弧状に形
成しているので、マスク材および補助マスク材形成後サ
ンドブラスト工程で、隔壁及び／又は補助隔壁の端部が
円弧状に形成され、サンドブラスト工程終了後焼成中に
隔壁の端部で比較的偏りなく張力が生じて隔壁端部での
盛り上がりが減少し、基板を貼り合わせた場合に隔壁の
高さが均等なために完全に密着させることができ、選択
した単位発光領域以外の単位発光領域が誤って発光する
ことなく適正な表示をできると共に、異音を生じること
なく動作することができる。また、本発明に係るプラズ
マディスプレイパネルの隔壁形成方法は必要に応じて、
前記マスク材及び／又は補助マスク材の先端及び／又は
終端を先細状に形成するものである。
【００１１】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法は必要に応じて、前記補助マスク
材の幅を前記マスク材の幅より大きくするものである。
このように本発明においては、前記マスク材の幅に比べ
て前記補助マスク材の幅を大きくしているので、マスク
材および補助マスク材形成後サンドブラスト工程で、補
助隔壁の幅がマスク材の幅より大きく形成され、次に、
マスク材周辺の隔壁材を切削する際に、前記補助隔壁に
大きく遮られてガラス基板から跳ね返ってくる切削材の
量が著しく減少し、隔壁の端部における端面が湾曲凹溝
状に若干切削されるだけで前記マスク材を基礎となる隔
壁材から離反させることなしに、所望の隔壁を正確に形
成することができる。
【００１２】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法は必要に応じて、前記補助マスク
材の長さを２ｍｍ以下にするものである。このように本
発明においては、前記補助マスク材の長さを２ｍｍ以下
にして形成しているので、サンドブラスト工程終了後焼
成中に補助隔壁の端部で偏って張力が生じたとしても、
補助隔壁の長さが短いため高々小さな盛り上がりしか生
じることなく、基板を張り合わせた場合に補助隔壁が邪
魔になることなく完全に密着させることができ、選択し
た単位発光領域以外の単位発光領域が誤って発光するこ
となく適切な表示をできると共に、異音を生じることな
く動作することができる。また、本発明に係るプラズマ
ディスプレイパネルは必要に応じて、前記プラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法により形成された補助隔
壁を有するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】（本発明の第１の実施形態）以
下、本発明の第１の実施形態に係るプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法を図１ないし図３に基づいて説
明する。図１は本実施形態に係る隔壁形成用のマスク材
及び補助マスク材のパターン平面図、図２は図１の平面
パターンの要部拡大図、図３は本実施形態に係る切削さ
れた隔壁材の焼成後の斜視図及び側面図を示す。
【００１４】本実施形態に係るプラズマディスプレイパ
ネルの隔壁形成方法は、サンドブラスト工程に移行する
までの前提として、隔壁が形成される背面基板１０で
は、先ず基材となるガラス基板１１の表面に単位発光領
域を選択するアドレス電極１２が形成され、次いでこの
アドレス電極１２を被覆する誘電体層１３が形成され
る。そして、このガラス基板１１全面に所定厚みの隔壁
材２を塗付する。この隔壁材２としては、低融点ガラス
ペーストをガラス基板１１上に所定厚みで塗布、乾燥さ
せてガラス層を形成するか、あるいはガラス基板１１上
に未焼成のシート状ガラス層を貼付けて形成することが
できる。この後、隔壁材２を形成したガラス基板１１に
対して感光性レジストからなるフィルム状のドライフィ
ルムを接着材により貼着する。隔壁パターンの開口部を
有する露光用マスクを介してガラス基板１１に貼着され
たドライフィルムに紫外線を露光する。この露光により
開口部に対応するように隔壁パターンと同一のドライフ
ィルムが感光され、隔壁パターンと同一のマスク材３及
び補助マスク材４が形成される。
【００１５】このマスク材３は、隔壁材２の表示領域お
よびこの表示領域に隣接する非表示領域における隔壁材
２上に放電空間を区画する帯状の隔壁パターンに適合し
た形状である。補助マスク材４は、非表示領域における
隔壁材２上において前記マスク材３の延長上に、マスク
材３と不連続に矩形の形状を有し、複数形成されている
（図２（Ａ）参照）。
【００１６】マスク材３および補助マスク材４形成後、
サンドブラスト工程に移行する。サンドブラストは、噴
射ノズル（図示しない）から切削材を高速に噴射させる
ことで隔壁材２を切削するが、軟質なマスク材３及び補
助マスク材４を切削することができないため、上面にこ
れら軟質のマスク材３及び補助マスク材４が形成されて
いる隔壁材２を上面方向から切削することができない。
このサンドブラストによりマスク材３延出方向から、前
記マスク材３及び補助マスク材４が形成されたガラス基
板１１の隔壁材２を切削する。
【００１７】まず、補助マスク材４ａが形成された方向
から切削され、各マスク材３に対応して複数の補助隔壁
４０が形成される。ここで、複数の補助マスク材４ａ
１、４ａ２を隔壁材２上に形成しており、補助マスク材
４ａ１、４ａ２により全ての複数補助隔壁４０が形成さ
れることが好ましいが、補助マスク材４ａ１の周辺切削
時に、切削材がガラス基板１１に反射して補助マスク材
４ａ１に被覆された隔壁材２の端部における端面を湾曲
に切削し、補助マスク材４ａ１が隔壁材２より剥離して
隔壁材２の全てが切削されることにより補助隔壁４０が
形成されない場合もある。
【００１８】そこで、複数の補助マスク材４を隔壁材２
に形成することで最外側に位置する補助隔壁４０が切削
により形成されない場合であっても、マスク材３が形成
されている隔壁材２に最も近くに形成された補助マスク
材４ａ２により切削を免れることとなり、１つの補助隔
壁４０が少なくとも形成されるように複数補助マスク材
４ａ１、４ａ２を形成した。ここで、マスク材３が形成
されている隔壁材２に最も近くに形成されるはずの補助
隔壁４０が、切削により形成されなかった場合でも、少
なくとも一の補助隔壁４０が形成されていれば、マスク
材３が被覆する隔壁材２の周辺切削時に、切削材のガラ
ス基板１１からの反射を抑制する効果を生じる。
【００１９】補助マスク材４ａ１、４ａ２が形成された
隔壁材２の周辺を切削して補助隔壁４０が形成され、こ
の補助隔壁４０の形成と同時にマスク材３の端部である
マスク材３ａが形成された隔壁材２の周辺を切削する。
この時、ノズルより噴射される切削材がガラス基板１１
に反射されてマスク材３ａが形成されている隔壁材２の
端部における端面を湾曲に切削されるものの、補助隔壁
４０の存在により切削材の運動エネルギーを減衰させて
その切削量を極力抑制できる。
【００２０】マスク材３ａが形成された隔壁材２の周辺
を切削後、マスク材３の中央部であるマスク材３ｂが形
成された隔壁材２の周辺を切削して隔壁３０の中央部を
形成し、マスク材３の他方の端部であるマスク材３ｃが
形成された隔壁材２の周辺を切削して隔壁３０の他方の
端部を形成する。最後に、既に形成された補助隔壁４０
と反対方向の補助マスク材４ｂが形成された隔壁材２の
周辺を切削して補助隔壁４０を形成し、サンドブラスト
工程が終了する。この補助マスク材４ｂが形成された隔
壁材２の周辺を切削するときにも、既に形成された隔壁
３０の他方の端部における端面が湾曲に切削されるが、
形成途中の補助隔壁４０により切削材の運動エネルギー
を減衰させてその切削量を極力抑制できる。
【００２１】サンドブラスト工程完了後は、マスク材３
及び補助マスク材４を除去して、ガラス基板１１上に残
った隔壁に対応するガラスペーストを乾燥させ、焼成を
行う。焼成は、ガラスペーストのバインダーを燃焼し、
ガラスペーストの固形粒子同士を固着する。焼成後のガ
ラス基板１１を図３に示す。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）
の側面図である。サンドブラスト工程で補助隔壁４０に
より隔壁３０の端部端面が大きく湾曲していないため、
焼成後に隔壁３０の端部端面で僅かな盛り上がりしか生
じない。
【００２２】本実施形態に係るプラズマディスプレイパ
ネルによれば、前記マスク材３の端部における隔壁材２
の端面が過剰に切削されることなく、適正に切削される
ことにより、隔壁材２からマスク材３が剥離することな
く、側面のサイドエッチングも少なく、確実なサンドブ
ラスト工程が実行でき、正確な隔壁３０の形成が可能と
なる。このように正確な隔壁３０を形成することによ
り、焼成後の隔壁３０の端部が跳ね上がる状態を未然に
防止できると共に、パネル組立以降の各種障害の原因を
予め除去できる。
【００２３】なお、本実施形態に係るプラズマディスプ
レイパネルの隔壁形成方法おいて、図２（Ｂ）に示すよ
うに、補助マスク材４の幅をマスク材３の幅よりも大き
くすることもでき、サンドブラスト工程時に、補助マス
ク材４が形成された隔壁材２の周辺を切削することで形
成される補助隔壁４０がマスク材３より大きく、マスク
材３が形成された隔壁材２の周辺を切削する際に、ガラ
ス基板１１に反射する切削材の多くが大きく形成された
補助隔壁４０に遮られ、マスク材３が形成された隔壁材
２の端部の端面に触突する切削材の量が激減し、マスク
材３が剥離することなく、隔壁３０が正確に形成され
る。
【００２４】（本発明のその他の実施形態）図４（Ａ）
は、本発明のその他の実施形態に係るプラズマディスプ
レイパネルの隔壁形成方法におけるマスク材、補助マス
ク材のパターン平面図を示す。前記図４（Ａ）において
本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形
成方法は、前記第１の実施形態と同様に隔壁材上にマス
ク材３及び補助マスク材４を形成し、このマスク材３及
び補助マスク材４の形成に加えて、マスク材３及び補助
マスク材４の両端を円弧状にすることものである。この
ように隔壁材２上にマスク材３及び補助マスク材４の両
端を円弧状にして形成することで、サンドブラスト工程
後のガラス基板１１焼成時に、隔壁３０及び補助隔壁４
０の両端部分において、ガラスペーストのバインダーを
燃焼させることでガラスペーストが収縮することで生じ
る張力が偏りなく均等に拡がり、偏った張力により生じ
る盛り上がりを低減させることができる。焼成後のガラ
ス基板１１を図５に示す。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の
側面図である。ここで、マスク材３及び補助マスク材４
の両端を円弧状に形成したが、図４（Ｂ）に示すよう
に、先細状に形成することもでき、同様の効果が得られ
る。焼成後のガラス基板１１を図６に示す。図６（Ｂ）
は、図６（Ａ）の側面図である。
【００２５】また、本発明のその他の実施形態に係るプ
ラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法は、前記第１
の実施形態と同様に隔壁材上にマスク材３及び補助マス
ク材４を形成し、この補助マスク材４の形成に加えて、
補助マスク材４の長さを２ｍｍ以下にするものである。
このように隔壁材２上に補助マスク材４を長さ２ｍｍ以
下にして形成することで、サンドブラスト工程後のガラ
ス基板１１焼成時に、補助隔壁４を形成するガラスペー
ストのバインダーを燃焼させてガラスペーストが収縮す
ることにより張力が生じるが、補助隔壁４自体の大きさ
が小さく、それに対応して生じる張力も小さいため、高
々小さな盛り上がりを生じるにすぎず、背面基板１０を
張り合わせる際の端部の盛り上がりによる不具合をなく
すことができる。ここで、補助マスク材４の長さを２ｍ
ｍより大きくして形成すると、補助マスク材４の形状に
も依存するが、焼成後に隔壁３０の端部に大きな盛り上
がりが生じ、背面基板１０を張り合わせる際に密着させ
ることができない。補助マスク材４の長さの下限値は、
露光するための露光機の解像度に依存し、現状では露光
機が０．０５ｍｍ程度の精度で露光できるため、補助マ
スク材４の長さの下限値としては０．０５ｍｍ程度とな
るが、露光機の改良により露光の精度が高くなれば、補
助マスク材４の長さの下限値も小さくなる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明においては、前記補
助マスク材を前記マスク材の隔壁形状の先端及び／又は
終端の延長上に各マスク材に対応して形成しているの
で、マスク材および補助マスク材形成後のサンドブラス
ト工程で、前記マスク材周辺の隔壁材と同時に前記補助
マスク材周辺の隔壁材が切削され、またその切削によっ
て形成される補助隔壁がガラス基板から跳ね返ってくる
切削材を遮えぎり、当該帯状隔壁の端部へ到達させない
よう機能するので、隔壁端部の切削量が減少し、湾曲凹
溝状に過剰に切削されることない結果、前記マスク材を
基礎となる隔壁材から離反させることなしに、所望の隔
壁を正確に形成することができるという効果を奏する。
【００２７】また、本発明においては、マスク材および
補助マスク材形成後サンドブラスト工程で、前記補助マ
スク材周辺の隔壁材を切削する際に、ガラス基板から跳
ね返ってくる切削材により一以上の補助隔壁が消失して
も、少なくとも一の補助隔壁が残存していれば、マスク
材周辺の隔壁材を切削する際に、前記補助隔壁に遮られ
てガラス基板から跳ね返ってくる切削材の量が減少し、
隔壁の端部における端面で湾曲凹溝状に過剰に切削され
ることがないため前記マスク材を基礎となる隔壁材から
離反させることなしに、所望の隔壁を正確に形成するこ
とができるという効果を有する。
【００２８】また、本発明においては、前記マスク材及
び／又は補助マスク材の端部を円弧状に形成しているの
で、マスク材および補助マスク材形成後サンドブラスト
工程で、隔壁及び／又は補助隔壁の端部が円弧状に形成
され、サンドブラスト工程終了後焼成中に隔壁の端部で
比較的偏りなく表面張力が生じて隔壁端部での盛り上が
りが減少し、基板を貼り合わせた場合に隔壁の高さが均
等なために完全に密着させることができ、選択した単位
発光領域以外の単位発光領域が誤って発光することなく
適正な表示をできると共に、異音を生じることなく動作
することができるという効果を有する。
【００２９】また、本発明においては、前記マスク材の
幅に比べて前記補助マスク材の幅を大きくしているの
で、マスク材および補助マスク材形成後サンドブラスト
工程で、補助隔壁の幅がマスク材の幅より大きく形成さ
れ、次に、マスク材周辺の隔壁材を切削する際に、前記
補助隔壁に大きく遮られてガラス基板から跳ね返ってく
る切削材の量が著しく減少し、隔壁の端部における端面
が湾曲凹溝状に若干切削されるだけで前記マスク材を基
礎となる隔壁材から離反させることなしに、所望の隔壁
を正確に形成することができるという効果を有する。
【００３０】また、本発明においては、前記補助マスク
材の長さを２ｍｍ以下にして形成しているので、サンド
ブラスト工程終了後焼成中に補助隔壁の端部で偏って表
面張力が生じたとしても、補助隔壁の長さが短いため高
々小さな盛り上がりしか生じることなく、基板を張り合
わせた場合に補助隔壁が邪魔になることなく完全に密着
させることができ、選択した単位発光領域以外の単位発
光領域が誤って発光することなく適切な表示をできると
共に、異音を生じることなく動作することができるとい
う効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る隔壁形成用のマ
スク材及び補助マスク材のパターン平面図である。
【図２】図２は図１の平面パターンの要部拡大図であ
る。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る切削された隔壁
材の焼成後の斜視図及び側面図である。
【図４】本発明のその他の実施形態に係る隔壁形成用の
マスク材及び補助マスク材のパターン平面の要部拡大図
である。
【図５】本発明のその他の実施形態に係る切削された隔
壁材の焼成後の斜視図及び側面図である。
【図６】本発明のその他の実施形態に係る切削された隔
壁材の焼成後の斜視図及び側面図である。
【図７】従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法における動作プロセス説明図である。
【図８】従来の切削された隔壁材の焼成後の斜視図及び
側面図である。
【図９】従来のプラズマディスプレイパネルにおける基
板貼り合わせ後の断面図である。
【符号の説明】
２、１０２ 隔壁材 ３、３ａ、３ｂ、３ｃ、１０３ マスク材 ４、４ａ、４ａ１、４ａ２、４ｂ、４ｂ１、４ｂ２ 補
助マスク材 １０ 背面基板 １１ ガラス基板 １２、１０４ アドレス電極 １３、１０５ 誘電体層 ３０ 隔壁 ４０ 補助隔壁 １０１ ガラス基板 １０６ シート材 １０７ 誘電体層 １０８ ガラス基板 １１２ 隔壁 １１２ａ 盛り上がり部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤永 昭弘 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 石塚 和徳 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 GF19 JA17

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定厚みに隔壁材を形成し、当該隔壁材
    上に帯状の隔壁形状に適合したパターンにマスク材を形
    成し、前記隔壁材及びマスク材に切削材を吹き付けるサ
    ンドブラストにより隔壁を形成するプラズマディスプレ
    イパネルの隔壁形成方法において、 前記マスク材の隔壁形状の先端及び／又は終端の延長上
    で各隔壁に対応する補助隔壁を形成するための補助マス
    ク材を離隔して形成することを特徴とするプラズマディ
    スプレイパネルの隔壁形成方法。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のプラズマディスプレイ
    パネルの隔壁形成方法において、 前記補助マスク材が各隔壁に対応する補助隔壁を複数形
    成するために各マスク材に対応して複数形成されること
    を特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方
    法。
  3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のプラズマディ
    スプレイパネルの隔壁形成方法において、 前記マスク材及び／又は補助マスク材の先端及び／又は
    終端を円弧状に形成することを特徴とするプラズマディ
    スプレイパネルの隔壁形成方法。
  4. 【請求項４】 請求項１または２に記載のプラズマディ
    スプレイパネルの隔壁形成方法において、 前記マスク材及び／又は補助マスク材の先端及び／又は
    終端を先細状に形成することを特徴とするプラズマディ
    スプレイパネルの隔壁形成方法。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載のプ
    ラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、 前記補助マスク材の幅を前記マスク材の幅より大きくす
    ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁
    形成方法。
  6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載のプ
    ラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、 前記補助マスク材の長さを２ｍｍ以下にすることを特徴
    とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
  7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載のプ
    ラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法により形成さ
    れた補助隔壁を有することを特徴とするプラズマディス
    プレイパネル。
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