TWI364063B - Adjusting apparatus and method for tip end of slit nozzle - Google Patents

Description

1364063 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種調整開縫式噴嘴前端的調整裝置及 調整方法。 【先前技術】 • 以往，雖然在半導體晶圓或玻璃基板等的板狀被處理 φ 物表面塗佈抗蝕劑液等，從噴嘴滴下塗佈液於載置在旋轉 頭上的被處理物的中心部，以藉由旋轉頭旋轉被處理物所 產生的離心力，使塗佈液朝向外側擴散，但在該方法中， 殘留在被處理物表面的塗佈液僅些微，由於大部分飛散而 • 去，故相當浪費。因此，考慮對噴嘴本身開口特定寬度的 _ 塗佈液體吐出口，並藉著移動噴嘴對被處理物表面以特定 寬度塗佈塗佈液體，以取代旋轉頭塗佈。 若使用具有上述特定寬度的塗佈液體吐出口之縫隙噴 φ 嘴，使塗佈液的浪費消失，且可進行有效率的塗佈，但成 爲寬度寬的部分，在噴嘴前端的周邊部塗佈液的回入量亦 多，這是乾燥時成爲異物產生的主因。因此，必須藉由塗 佈後的洗淨，除去噴嘴前端及其周邊部的塗佈液。 因此，作爲洗淨開口有特定寬度的塗佈液吐出口之開 縫式噴嘴的裝置，設有噴嘴接受台，該噴嘴接受台以略等 於開縫式噴嘴的寬度形成洗淨部，在該洗淨部開口形成與 洗淨部供給源連繫的縫隙以及與吸引裝置連繫的排氣孔， 以從縫隙供給的洗淨液，溶解附著在噴嘴前端及其周邊部 -4 - (2) 1364063 的塗佈液以及其之乾燥物等，並且從排氣孔排出已溶解塗 • 佈液的成分之洗淨液的洗淨裝置。（專利文獻1之第2頁 • 至第3頁、第3圖） 又，倂設開縫式噴嘴的洗淨部與洗淨液的滯留部，在 洗淨部載置開縫式噴嘴的狀態下，形成實質上的密閉空間

I ，又，使氣體供給管與洗淨液供給管面臨洗淨部的長邊方 • 向的一端側，另一端側面臨氣體排氣管，藉著從氣體排氣 Φ 管排出從氣體供給管所供給的氣體，在洗淨部內形成氣體 的流動，藉著該氣體的流動，使來自洗淨液供給管的洗淨 液普及開縫式噴嘴的表面，以洗淨開縫式噴嘴。（專利文 獻2之第2頁至第3頁、第1圖） - 再者，在載置開縫式噴嘴的狀態下，在形成實質的密 閉空間之洗淨部內，以與開縫式噴嘴相對向的方式，沿著 長邊方向多數形成洗淨液的吐出口，並且對於使各開縫式 噴嘴的洗淨液體的噴出方向與開縫式噴嘴相對的垂直方向 φ ，具有角度（6 5°至75°)的噴嘴洗淨裝置。（專利文獻3 的第3頁至第4頁，第2圖） [專利文獻1]日本專利第33 8 1 2 1 6號公報 [專利文獻2]日本特開平10-308338號公報 [專利文獻3]日本特開2000-288488號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 然而，上述日本專利第3 3 8 1 2 1 6號公報、日本特開平 (3) 1364063 1 0-3 08 3 3 8號公報、以及日本特開2000-288488 揭示的噴嘴洗淨裝置，全部是一邊對噴嘴的前端 液一邊清洗。在上述的場合中，具有噴嘴的前端 洗淨，同時有需要大量洗淨液的問題。 又，上述的噴嘴洗淨裝置之洗淨結束的噴嘴 以設置在其他場所的乾燥部乾燥，因此在裝置全 化有問題。 除了以洗淨液體洗淨的形式之外，亦考慮在 浸漬噴嘴前端的形式。但是，爲浸漬式時，在浸 縫式噴嘴的開口部浸入洗淨液，使塗佈液變薄， 張液滴時不均勻。 本發明係有鑑於上述問題而硏創者，目的在 種在開縫式噴嘴前端不會引起洗淨不均，且可節 之小型的開縫式噴嘴的調整裝置以及使用該調整 縫式噴嘴的調整方法。 [用以解決課題之手段] 爲了解決上述課題，本申請案之發明的開縫 調整裝置，係使由：使噴嘴乾燥之乾燥部、洗淨 嘴的浸漬式洗淨部、及調整開縫式噴嘴的吐出口 配部所構成，並且與上述浸漬式洗淨部鄰接，設 乾燥部與上述預先分配部，且設置於相同裝置。 如此，藉著與浸漬式洗淨部鄰接，具備乾燥 分配部，由於物理性乾燥洗淨後之開縫式噴嘴的 號公報所 供給洗淨 無法均勻 ，由於是 體的小型 洗淨液中 漬時從開 最初在擴 於提供一 約洗淨液 裝置的開 式噴嘴的 開縫式噴 之預先分 置有上述 部與預先 前端，縮 -6- (4) 1364063 短塗佈開始之前的時間，因此可迅速且有效率的調整開縫 式噴嘴的前端。 開縫式噴嘴的浸漬式洗淨，雖然洗淨液的使用量少， 洗淨效率佳，但在洗淨後噴嘴的前端很難乾燥時，至塗佈 開始之前花費太多時間，因此本發明設置與浸漬式洗淨部

I 鄰接的乾燥部。 • 本發明在開縫式噴嘴洗淨後，馬上乾燥之後，藉著進 Φ 行預先分配，排出噴嘴前端部的已稀釋之塗佈液，在塗佈 開始時，均勻形成塗佈液滴。雖然不限於浸漬式，在噴嘴 的前端洗淨時，無法防止洗淨液從開口部浸入，但藉著上 述構成，可獲得均勻的塗佈液滴。 - 又，上述浸漬式洗淨部不使用開縫式噴嘴一定時間以 上時，藉著兼作浸漬保持開縫式噴嘴前端的乾燥防止部， 不需要另外設置乾燥防止部，因此可省空間化。 而且，當供給至上述浸漬式洗淨部的洗淨液超過一定 Φ 量時，藉著流出至預先分配部，不會浪費洗淨液，而可再 利用。 又，乾燥部是吹附氮氣以使開縫式噴嘴前端乾燥，但 因應需要也可將其切換爲將洗淨液吹附至開縫式噴嘴前端 而予以洗淨的洗淨部。 · 而且，在上述預先分配部，不僅是從浸漬式洗淨部溢 流出來的洗淨液，藉由在預先分配部設置與循環路徑連繫 的排出口與返回口，通過循環用過濾器使預先分配部內的 洗淨液循環，可降低長時持有之洗淨液的使用量。再者， (5) 1364063 在預先分配部設置從供給槽供給新的洗淨液之供給口》 又，藉由在上述浸漬式洗淨部開口的排出口與在預先 分配部開口的排出口的升降動作來調整液面較爲理想。 又，在浸漬式洗淨部經常少量的供給新的洗淨液，不 斷地切換洗淨液，因此浸漬式洗淨部保持一定以上的乾淨 度。在預先分配部雖洗淨觸發輥子，但是除了觸發輥子之 外，由於倂用物理性手段（例如載置台），因此與洗淨液 φ 相對不需要如浸漬式洗淨部的乾淨度。雖然預先分配必須 在對被處理物塗布處理前執行，但噴嘴的前端洗淨可在處 理複數片之後或經過一定時間之後進行。 又，在使用上述的開縫式噴嘴前端的調整裝置之開縫 - 式噴嘴前端的調整方法中，上述開縫式噴嘴在對被處理物 供給塗佈液之前，在預先分配部整理開縫式噴嘴前端較爲 理想。 再者，上述開縫式噴嘴在處理複數片之後或經過一定 φ 時間之後，在浸漬式洗淨部洗淨開縫式噴嘴的前端，然後 在乾燥部使開縫式噴嘴的前端乾燥，最後在預先分配部整 理開縫式噴嘴的前端較爲理想。 [發明之效果] 如以上所說明，根據本發明，藉著與浸漬式洗淨部鄰 接，具有乾燥部與預先分配部，物理性乾燥洗淨後的開縫 式噴嘴前端，由於可縮短塗佈開始之前的時間，因此可迅 速且有效率的調整開縫式噴嘴的前端。 -8- (6) 1364063 又，在開縫式噴嘴洗淨後藉著進行預先分配，排出在 噴嘴前端部的已稀釋之塗佈液，可在塗佈開始時均勻形成 塗佈液滴。 而且，浸漬式洗淨部不使用開縫式噴嘴固定時間以上 時，藉著兼作浸漬保持開縫式噴嘴前端的乾燥防止部，由 於不需要另外設置乾燥防止部，因此可省空間化。 又，當供給至浸漬式洗淨部的洗淨液超過一定量時， φ 藉著流出至相鄰接的預先分配部，不會浪費洗淨液而可再 利用。 再者，乾燥部是吹附氮氣以使開縫式噴嘴前端乾燥， 但因應需要也可將其切換爲將洗淨液吹附至開縫式噴嘴前 - 端而予以洗淨的洗淨部。 【實施方式】 以下，依據添附圖面，說明本發明的實施形態。在此 φ ，第1圖係有關本發明的開縫式噴嘴前端的調整裝置的構 成圖，第2圖係第1圖的預先分配部之配管圖，第3(a) 及（b )圖係第2圖b-b的剖面圖，c-c的剖面圖，第4圖 係第1圖d-d的剖面圖的洗淨布的配管圖，第5 ( a )圖係 預先分配部的其他實施例，（b )係（a )的e-e剖面圖。 如第1圖所示，在開縫式噴嘴的前端之調整裝置1的 正中央配置有浸漬式洗淨部2，在該浸漬式洗淨部的底面 設置有供給洗淨液之供給口（A)及可調節洗淨液面的排 出口（B)(參照第3圖）。 -9- (7) (7)1364063 又，在調整裝置1中間且接近浸漬式洗淨部2處設置 有預先分配部3。在該預先分配部的底面，設置有用來供 給新的洗淨液之供給口（C)及排出其廢液的排出口（D) ，且設置有用來循環洗淨液的排出口（E)及使藉由循環 液用過濾器4淨化的洗淨液返回的返回口（F)(參照第 3圖），更設置有可調節洗淨液面（調整排出口的高度進 行液面調整）之排出口（G)。 此外，在浸漬式洗淨部2與預先分配部3之間設置有 溢流部5，從浸漬式洗淨部2溢流而出的洗淨液流下至預 先分配部3再利用。 又，在預先分配部3中設置有觸發輥子6，更設置有 物理性清洗觸發輥子6的載置台7。 再者，在調整裝置1中且接近浸漬式洗淨部2設置有 乾燥開縫式噴嘴的乾燥部8。在該乾燥部8於其兩側設置 有乾燥氣體供給管9，於其下方設置有排氣部10。 如第4圖所示，在浸漬式洗淨部2開口有以2〇CC/min 的流量經常供給新的洗淨液之供給口（A)，開口有使廢 液排出至廢液槽之排出口（B)。該排出口（B)雖具有昇 降快以調整液面的功能，但不僅液面調整，也使用在浸漬 式洗淨部2洗淨開縫式噴嘴之後，排出全部的洗淨液，及 排出浮游於液面的異物。 又，如第2圖所示，開口有在預先分配部3的底面從 未圖示的供給槽供給新的洗淨液之供給口（C)、及用來 排出預先洗分配部3內的全部洗淨液之排出口（D)。從 -10- (8) 1364063 浸漬式洗淨部2經由溢流部5溢流而出的洗淨液流下至預 先分配部3再利用。又，在預先分配部3的底部設置有洗 淨液的循環路徑，從該循環路徑之排出口（E)排出的洗 淨液藉著通過循環液用過濾器4，過濾異物，再從返回口 (F)供給》因而，藉著洗淨液通過循環液用過濾器4, 可延長洗淨液的使用期間。再者，在預先分配部3的底面 設置有將洗淨液體排出至廢液槽的液體面調整用排出口（ φ G )，該液體面調整用排出口（G)調節排出口的高度， 進行液面調整。 再者，如第1圖至第3圖所示，在預先分配部3中設 置有觸發輥子6及載置台7。該載置台7物理性洗淨附著 - 於觸發輥子6的塗佈液。又，液體面調整用排出口（G) . 將載置台7調整到沒入水中的程度。物理性洗淨觸發輥子 6不限於載置台7，亦可使用刷子，如氣刀般噴出強力的 液體或氣體亦可。 φ 如此，在浸漬式洗淨部2洗淨開縫式噴嘴之後，在乾 燥部8從乾燥氣體供給管9吹附氮氣，使開縫式噴嘴的前 端及側面乾燥，最後在預先分配部3進行預備吐出之後塗 佈在基板上。在浸漬式洗淨部2經常以20cc/min的流量 供給新的洗淨液，超過溢流部5的洗淨液流入至預先分配 部3再使用。 第5(a)圖所示者，爲第3(a)及（b)圖的其他實 施例，循環液的返回口（F)不在預先分配部3的底面， 載置在位於更接近觸發輥子6的位置。藉由從該位置供給 -11 - (9) (9)1364063 循環液，以液流的力量使附著在觸發輥子6的塗佈液落下 e 第5圖（b)所示者，爲 （a)的e-e剖面圖，循環 液的返回口（F)的長度大致上與觸發輥子6的長度相同 由於本申請案發明者擔心浸漬式洗淨裝置從噴嘴離開 的塗佈液產生再度附著之情況，而經常使洗淨液流動，因 此離開的塗佈液不會再度附著。 亦即，使用開縫式噴嘴，在被處理基板上供給塗佈液 時，開始塗佈的部分不會變厚，以預先分配部3的觸發輥 子6進行預備吐出，均一化開縫式噴嘴前端。該處理塗佈 在被處理基板時一定要進行》然而，在反覆塗佈液的供給 中，在開縫式噴嘴的側面附著塗佈液，當此剝落時成爲異 物。因此，在某一定期間或對複數片供給塗佈液之後，將 開縫式噴嘴的前端浸漬在浸漬式洗淨部2，不僅洗淨開縫 式噴嘴前端，也洗淨開縫式噴嘴的側面。此時，雖然擔心 來自於開縫式噴嘴的洗淨液會滲入內部，但由於供給塗佈 液至開縫式噴嘴前端附近爲止，且塗佈在基板時必須進行 預先分配，因此洗淨液不會造成影響。 在以往的開縫式噴嘴前端從吐出口噴射洗淨液而洗淨 的型式，從具有與開縫式噴嘴大致相同的長度之洗淨部開 口的複數個吐出口，難以以均勻的壓力均勻的供給洗淨液 ，導致產生洗淨不均。而且，由於洗淨液不斷地流動，因 此也需要大量洗淨液，若開縫式噴嘴變長，則洗淨部也變 -12- (10) 1364063 長，吐出口必須變多，因此加工困難。因而，在本申請案 發明的浸漬式洗淨裝置中，在可節約洗淨液體的同時，洗 淨裝置本身也成爲小型化，也可降低成本。 此外，在浸漬式洗淨部2中，不長時間洗淨開縫式噴 嘴時，可使用浸漬式洗淨部2作爲乾燥防止部。此時，藉 著浸漬開縫式噴嘴的前端，防止開縫式噴嘴的乾燥。又， • 在乾燥部8中，一般吹附氮氣，因應需要使開縫式噴嘴前 φ 端乾燥，以噴附洗淨液之方式切換使用也可。 〔產業上利用的可能性〕 本申請案發明的浸漬式洗淨裝置，由於提供縮短開始 塗佈之前的時間的小型裝置，因此在半導體製造工廠等中 .，在可節約洗淨液的同時，洗淨裝置本身也成爲小型化， 成本也降低》 φ 【圖式簡單說明】 第1圖係有關本申請案發明的開縫式噴嘴前端的調整 裝置的構成圖。 第2圖係第1圖的a-a剖面圖之預先分配部的配管圖 〇 第3 ( a )圖係第2圖b-b的剖面圖，第3 ( b )圖係 第2圖c-c的剖面圖。 第4圖係第1圖d-d之剖面圖的洗淨部的配管圖。 第5 ( a )圖係預先分配部的其他實施例，（b )係（a -13- (11) (11)1364063 )的e-e剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 :調整裝置 2:浸漬式洗淨部（兼乾燥防止部） 3 :預先分配部 4:循環液用過濾器 5 :溢流部 6 :觸發輥子 7 :載置台 8 :乾燥部 9 :乾燥氣體供給管（兼作洗淨液供給管） 1 〇 :排氣部 -14-

Claims (1)

1364063 第094109478號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國100年11月9 十、申請專利範圍 1. 一種開縫式噴嘴前端的調整裝置，係開口有 寬度的塗佈液吐出口，其特徵在於：該裝置係由：洗 縫式噴嘴的浸漬式洗淨部、乾燥洗淨後的噴嘴之乾燥 . 及調整開縫式噴嘴的吐出口之預先分配部所構成；鄰 Φ 前述浸漬式洗淨部設有前述預先分配部，將新的洗淨 給至前述浸漬式洗淨部；在前述浸漬式洗淨部與前述 分配部之間，設有可供被供給至前述浸漬式洗淨部的 液，朝預先分配部溢流的溢流部。 2. 如申請專利範圍第1項之開縫式噴嘴前端的 裝置，其中’上述浸漬式洗淨部在不使用開縫式噴嘴 時間以上時，兼作浸漬保持縫隙噴嘴前端之乾燥防止: 3. 如申請專利範圍第1或2項之開縫式噴嘴前 • 調整裝置，其中，可將上述乾燥部切換爲將洗淨液吹 開縫式噴嘴前端而予以洗淨的洗淨部。 4 ·如申請專利範圍第1或2項之開縫式噴嘴前 調整裝置，其中，上述預先分配部具有與循環路徑連 排出口與返回口。 5. 如申請專利範圍第1或2項之開縫式噴嘴前 調整裝置，其中，在上述浸漬式洗淨部開口的排出口 上述預先分配部開口的排出口藉由升降動作調整液面 6. 一種開縫式噴嘴前端的調整方法，係使用申 曰修正 特定 淨開 部、 接於 液供 預先 洗淨 調整 一定 部。 端的 附至 端的 接的 端的 與在 〇 請專 1364063 利範圍.第1至5項中任一項之開縫式噴嘴前端的調整裝置 的開縫式噴嘴前端的調整方法，其特徵在於：上述縫式噴 嘴在對被處理物供給塗佈液之前，在預先分配部調整開縫 式噴嘴前端。 7.如申請專利範圍第6項之開縫式噴嘴前端的調整 方法，其中，上述開縫式噴嘴在處理複數片之後或經過一 定時間後，在浸漬式洗淨部洗淨開縫式噴嘴的前端，然後 在乾燥部使開縫式噴嘴的前端乾燥，最後在預先分配部調 整開縫式噴嘴的前端。

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