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經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（ί ) 〔發明之技術領域〕 本發明係两於一棰用於具有薄板狀玻瑀基板或塑穋基 板等液晶顯示元件之裂造的基板搬蓮用夾具（Jig)，以及 使用該夾具之液晶顯示元件之製造方法。 〔發明之背景〕 從Μ往，為了解除二重像或謀求輕重量化，而硏究過 液晶顯示元件用玻瑰基板之薄板化。然而* Μ玻瑰基板而 言，因脆弱或易破裂之原因而在製造工程中以玻璃基板單 驩運送時，大量生產之水平則以0.7 mm左右之薄板化爲界 限，難Μ製造使用0.5 mm、或0.3 am厚之大型玻逋（300 X 300 mmM上）之液晶顯示元件。 另一方面，也有進行使用塑膠基板之液晶顯示元件的 開發，Μ替代玻瓖基板。就其製造方法而言，例如在持開 平3-5718號公報（日本國之公開專利公報）中已揭露有一 種把塑膠基板單髓作成薄片狀來搬運之方法；及作成卷狀 Μ連績輸送之方法。 然而，用塑穋基板時*由於剛性小，即所謂沒有靭性 、或熱變形溫度低、表面硬度低而易弄傷、在加熱工程時 易產生翹曲或膨脹收縮般之變形等問題，而不論由基板單 醴搬運或Μ卷狀連續送出，其液晶顯示元件之製造均較之 使用玻璃基板者，更為困難。 於是，例如特開昭60-41018號公報（日本國公開専利 公報）乃提案有一種將塑膠基板固定於畫框狀框，Μ此狀 態進行工程搬蓮製造液晶願示元件之方法；另於特開昭58 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -----------扣衣------'玎------^ (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 4 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（> ) -147713號公報（日本國公開專利公報）提茱有一棰把塑 膠基板之周緣部壓著於支持體來製造，然後將該壓箸部切 斷之方法。 又，在前述特開平3-5718號公報，更揭露有一棰在離 楔薄膜上層合一用做塑膠基板之高分子樹脂，Μ層合之形 態裂造之方法。上述之離棋薄膜，係在支持體（即薄膜） 上塗布用做離模劑之矽醑糸樹脂來形成者。 又，上述之矽嗣糸樹脂，例如矽酮可用做一般用離模 劑而用於各種用途，其可分類於油型、漿膠型、溶液型、 烙上型、乳穋型、水溶性型、噴漏型等。另*例如在封密 之剝離紙中，為了對密封黏箸面提高剝離性，而在剝離紙 表面使用上述矽嗣，作為離模層；且在樹脂成形等時*爲 了將成形龌簡便地自金颶棋離模而用做離模劑。這棰用做 離棋劑之矽酮，其本身並不具黏著力，或者即使有也作成 極小之黏著力來使用。 然而，Κ将前述塑膠基板固定於畫框狀框之方式來製 造之方法》卻使塑皤基板在金框之内部彎曲，以致不易確 保表面之平坦性。在此情形下，液晶顯示元件製造工程中 之各棰印刷装置或露光裝置時，将爲了金框内部之平坦性 輔助而必需要例如特殊架台形狀之設計，因此，存在著裝 置成本變高，且無法at得跟玻璃基板之互換性等課題。 另一方面，κ在離棋薄膜上層合一用做塑膠基板之高 分子樹脂之形態，裂造液晶顧示元件之方法，則有μ下之 課題。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -----------裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) Φ離模薄膜等之支持體之使用僅限於一次，Μ致成本 昂貴。 ② 離模薄膜等之支持鱧之剛性低因而工程搬運性不良 〇 ③ 可使用之裂造工程、装置及條件相當有限。 尤其，在具有可撓性之塑膠基板，因其材質或厚度而 易產生沿著吸著台之孔或溝槽之變形。因此，除了會產生 印刷不良或配向處理不良以外，且會被捲入膠販印刷機之 排版，或者«印刷後暫予乾燥時*例如在熱板上基板被加 熱而彎曲，變成所謂跳躍起來而無法進行穩定之乾燦。 ④ 由於離棋薄膜舆高分子樹脂之密貼性低，在密阽方 面無法播得穩定之搬蓮性；又，尤其是進行加熱處理時， 在離模薄膜與高分子樹脂之界面會産生氣泡，或部分地產 生剝離，無法進行Μ後之工程處理。 〔發明之概要〕 本發明係鑑於上述以往之缺點而完成者，其目的係在 於提供一種基板搬蓮用夾具及使用該夾具之液晶顯示元件 之裂造方法，俥可減低液晶顯示元件之製造成本，且可播 得工程搬運性良好及進行檯定之製造同時，更可提高液晶 顯示元件之性能。 爲了達成上述目的，本發明之基板搬運用夾具（Μ下 ，簡述為夾具），係爲一棰在表面支持液晶顯示元件之基 板藉以工程搬浬之夾具者；在其支持饈上設有一邸使重覆 使用也可大致維持有一定的黏著力之黏著材層，該黏箸力 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） ——'-------i------ΐτ------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 係用來保持貼附於表面之基板。 上述夾具，係在由一具有搬蓮液晶顯示元件之製造工 程時之處理上必備之剛性的材料（例如具有規定厚度之玻 瓖板或塑膠板等）所構成之支持匾上，設有一即使重覆使 用也大致維持一定黏著力之黏著材層。 因此，在上述夾具上貼附薄板狀之玻璃基板或塑膠基 板等後，在液晶顯示元件之製造工程之搬蓮下，縱使用單 體時不具強度或剛性之基板材料，也可共同使用習知玻» 用液晶顯示元件製造線，來製造液晶顯示元件。而且，上 述夾具由於可重覆使用，故比起用完即索之夾具，可大幅 降低液晶顯示元件之製迪成本。 又，如上述之黏著材層，必需具備：以阽附著基板之 狀態工程搬浬時可對基板確保充份之黏著力，同時工程终 了後可迅速剝離基板之條件。如此，作為可暫時性地鲇著 ，嗣後可剝離之黏著材層之構成材料用者，可舉出：矽嗣 凝膠、矽酮橡膠、氟矽酮橡膠、丁基橡膠、氨基甲酸乙醋 橡膠、天然橡謬、丁二烯橡膠、乙烯丙烯橡腰、氣丁乙嫌 橡膠、精橡膠睛異戊間二烯橡膠、丙烯酸条橡膠、氰橡保 、氣磺化聚乙烯、氣化聚乙烯、氯甲代氧丙環橡膠。在這 些構成材料中，如考慮黏著性、耐熱性、耐油藥品性、表 面平坦性、耐光性、耐臭氧性等，則以丁基橡膠、矽酮橡 膠較爲適宜。 鲇著力之設定，係《由實驗手法，自薄板玻逋基板或 塑»基板等之材質、厚度、表面形狀、搬蓮之工程條件及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 I 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7__ 五、發明説明（） 夾具剝離作桊性等，綜合地決定之。而黏著力之調整（增 〜減）則可藉黏箸材層之表面形狀之變更（平滑〜凹凸） ，黏箸材層之形成面積之變更，或藉由跟基板之黏箸面積 之增減（全面黏著〜部分黏箸>、黏著材層之聚合度、交 聯度、混合比、添加材、硬化劑等之調整而逹成的黏著劑 硬度之變更（軟〜硬）等，來進行。 黏箸力之設定範圍爲：以每20 寬之剝離黏箸力表 示時，宜在大約50g〜800g之範圍内。當剝離鈷著力未滿 30g時，自夾具之黏蠆材層剝離薄板玻璃基板或塑嘐基板 時之作業性雖變為良好，但依把薄板玻璃基板或塑膠基板 阽附於夾具來搬蓮的工程條件（加熱條件、洗淨條件）， 而可能會產生氣泡或洗淨液浸入黏著面，或者基板自夾具 剝離，結果，無法«得穩定之工程搬蓮性。反之，如剝離 黏著力過大時，雖可播得將基板阽住於夾具之穩定狀態之 搬邏性，但工程處理後之夾具剝離性並不佳，有時候，在 剝離時之應力下，難保在薄板玻璃基板或塑膠基板等不產 生破裂、變形等之不合適情形。因此，剝離黏著力最好為 800gW下者。 於上述構成中，最好在上述支持體與黏著材層間設有 一中間層。此時，即使對支持體與黏著材層選定具大幅的 熱膨脹係數之差異的材料，也可藉著將中間層之熱膨脹係 數灌定於黏著材層與支持體之熱膨脹係數間，而在中間層 播和由随箸溫度變化而產生的熱膨脹係數差所引起之應力 。又，在中間層預先形成黏箸材層，其後，在支持體黏著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ——---------批衣------II------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 A7 B7 394793 五、發明説明（ 一附有黏著材層之中間層來製造夾具，藉此可形成更薄之 黏著材層。又，由於如此將中間層與黏箸材層作成一體化 ，因此，提高了将薄黏著材層形成於支持髓上時之作業性 ，藉此，也可減低液晶顯示元件之裂造成本。 又，於上述夾具中，與形成於上述基板之電極圖案之 補肋檷誌對應之地方，最好設有一用來提高可視光之穿透 率之光穿透部。此時，可MK基板貼附於夾具之狀態，在 液晶顯示元件製造之各工程中實施利用補肋檁誌的位置對 準。結果，可實施使用自動晝像認識手法之高精度之位置 對準，因而可裂造優異的顯示品位之液晶顯示元件。 如依本發明液晶顯示元件之製造方法，其步驟為：將 基板貼附於具有上述構成之夾具；接著，透過液晶顯示元 件之裂造工程，搬浬上述夾具，藉此，對著阽附於夾具之 基板，依次執行液晶顙示元件形成處理·，俟規定之工程终 了後，自基板搬蓮用夾具剝離基板；其後，再使用上述基 板搬蓮用夾具，貼附新基板，製造液晶顯示元件。 於上述製迪方法中，最好在上逑夾具貼附有基板之狀 態下，進行絕緒膜或配向膜等之印刷工程。這些印刷工程 有必要更均一之印刷性。於是，基板Μ被阽附於具有某程 度刚性之夾具上之狀態由夾具所支持著，藉此可抑制特別 在塑膠基板之場合易發生的、沿著印刷台之吸著孔或溝之 變形，從而可確保良好之印刷性。又，將夾具中之黏著材 層之黏著力設定至某程度Μ上，藉此在印刷時可防止塑膠 基板被捲入印刷滾輪。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（210X 297公釐） ---------裝 n 訂 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 9 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（） 又於上述製造方法中，同樣在上述夾具貼附有基板之 狀態下，進行絕緒膜或配向膜形成時之烘乾工程，較為理 想。在絕緣膜或配向膜形成工程中，雖在上述印刷後緊接 箸進行暫時之乾燥，接著進行正式之烘乾，但在具有某程 度_性之夾具貼附有基板之狀態下，例如可防止由熱板上 之熱所引起的塑膠基板之眺S，且邸使在例如100°c前後 之ffi度進行烘乾之場合，也可防止基板之變形，從而可確 保良好之熱處理性。 又，在上述製造方法之液晶顯示元件之製造工程中， 對阽附於夾具之基板的熱處理，宜在加E中進行》例如， 當更Μ离溫進行上述絕緣膜或配向膜之正式烘乾時，在產 生升至烘乾狙度之溫度上升，以至於其後之降至室溫之溫 度降低之過程中，將產生由薄板玻璃基板或塑膠基板等與 夾具（黏著材層、支持黼）間之熱膨脹收縮係數之差異， 或部分性的溫度不均所引起之應力。由此，雖在基板與夾 具之間產生氣泡，或視情形而有自基板之夾具剌離之虞* 但在一面加熱一面加壓下可抑制氣泡之產生，可防止自夾 具剝離基板。結果，例如可更加升高處理溫度，«得優異 的絕鎵特性之絕緣膜、及優異的配向特性之配向膜等，薙 此可提离液晶顯示元件之性能及倍賴性。 本發明之更其他目的、特撤及優點，可藉Μ下之記述 更加明瞭。又，在參照附圓之以下說明下，更可明瞭本發 明之有益效果。 〔圔式之簡要說明〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） --'--------种衣------1Τ------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10 — 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 第1_係顯示本發明一實施例的基板搬蓮用夾具之斷 面棋式圓； 第2圖係顯示將基板阽附於上述基板搬運用夾具之狀 態的斷面楔式圃； 第3圖係於使用上述基板搬蓮用夾具來進行液晶顯示 元件之製造工程中，顯示上下基板之阽合、密封材硬化工 程之斷面模式圖； 第4圖係顯示本發明另一實施例之一基板搬蓮用夾具 例之斷面棋式圔； 第5圖係顯示本發明又另一實施例之基板搬蓮用夾具 的斷面模式圜； 第6圖係顯示用做比較例的基板搬蓮用夾具之斷面模 式騙； 第7圜係顯示本發明又另一實施例之液晶顯示元件的 、在配向膜形成工程中正式烘乾時之加熱及壓力條件之時 闢變化圔表；及 第8圖係顯示另一比較例之液晶顯示元件的、在配向 膜形成工程中正式烘乾時之加熱及壓力條件之時間變化圈 表。 〔實施例1〕 根據第1國乃至第3圏，說明本發明之一實施例如下 〇 如第1圈所示，本實施例之基板搬蓮用夾具（以下簡 稱夾具）1，係於平板狀支持體2之表面構成有一黏箸材 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） ----------裝------訂------旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 五、發明説明（ 層3 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印裝 支持體2，係由厚度2 mm之環氧条樹脂板所構成；又 ，黏著材層3，一如後述，具有一待性使得邸使重覆使用 也可將用來保持基板（阽附於黏箸材3之表面）之黏箸力 維持於大致一定；具有這棰可重覆使用之自己黏著性之黏 著材層3，係由表面平滑的片狀矽嗣橡膠（0.2 mm厚、硬 度40° )所構成。 爲了将上述黏著材層3永久黏著於支持體2之表面， 將成自矽醑条樹脂之黏著材4塗佈於支持鱧2之表面，並 透遇該黏箸材4將鈷著材層3黏著於支持體2，而製成了 上述夾具1。 對著如此製成之夾具1，確認支持醱2與黏著材層3 之間未有氣泡之混入之後，按照Μ下之方式測定了剝離黏 箸力。首先* 一如後述，將用做液晶顯示元件用基板之丙 烯酸条樹脂板（0.4 mm厚）切斷成寬度20 mu之帶狀試驗 材，接著用滾輪將此試驗材滾IE於黏著材層3上，使試驗 材成為阽附於黏箸材層3上之狀態，其後，自其一端钿剝 下試驗材，K此時之剝離力當做剝離黏著力測定之。測定 時，分為常溫時，Μ及在阽附狀態下進行10〇υ - 3H加熱 處後之二態樣，分別重覆測定之（Μ下，使用上述試驗材 來進行之測定，稱做剝離試驗）。 上述剝離試驗之结果，本實施例中之夾具1，在常溫 時钃示約300g*在加熱處理後顯示300g〜400g，兩者均顯 示可輕易自黏著材層3剝離試驗材之同時，顯示並無因重 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 、-° 旅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（） 覆而造成的剝離鈷蓿力之降低或增加，具有良好的剝離黏 著特性。 其次，躭液晶顯示元件之製造線中之上述夾具1之使 用狀態加Μ說明之。 首先*如第2圖所示，在夾具1中之黏著材層3之表 面載置由300 X 324X 0.4 nm厚之丙烯酸条樹脂所構成之基 板5 ;然後用滾輪滾®表面，使該基板5成為阽附於黏箸 材層3上之狀態。 其次，洗淨貼附有基板5之夾具1;其後設置於未予 圔示之磁霣管飛濺裝置内；Μ 8〇υ之溫度在基板5上形成 70 η· ( 700Α>之ΙΤΟ透明導«膜；此後進行用來圈案形 成透明導霣膜成一規定霣極圔案之徹细加工（記錄塗佈、 «光、顯像、蝕刻、記錄洗淨除去）。 接著，使用膠板印刷機印刷Μ求得均一的塗佈性之配 向膜；其後，立刻M 100C、3分之設定》使用熱板來進 行暫時之乾燥；進而，依次進行配向膜之正式烘乾（1〇〇 t：〜3小時）、摩擦處理、洗淨。 進而，在經過上述各工程而製作之一對基板5，5中 之一方，印刷密封材，並在另一方散布晶陳控制用玻璃珠 後，如第3圖所示，進行了上下基板5，5之阽合及密封 材硬化。又，在該画中，6為形成於各基板5，5表面之 透明導«膜《極；7爲配向膜；8爲密封材。又，整插上 逑各工程之最高處理瀛度條件為，配向膜形成工程之烘乾 溫度之loot:。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本f ) .裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 294793 at Β7 五、發明説明（） Μ基板5阽附於夾具1之狀態，搬運於各工程中，然 後觀察所製作的附有夾具1，1之貼合基板5，5之結果 ，基板5與夾具1中之黏著材餍3之界面並無藥液或水之 浸入，且也未證實有顯著的氣泡之產生。 其後，剝離了阽合基板5，5兩侧之夾具1，1。此 時之剝離黏著力爲300g〜400g (換算為每20 mm宽之值） ，而具有良好之剝離性。而剝離自夾具1，1之基板5， 5 *則予Μ分斷成規定形狀，然後依次進行液晶之注入、 儀光板之貼合，製作了液晶顯示元件。 剝離夾具1，1後之基板5，5，係藉箸互相貼合而 提高了其整醱之W性，因此可在上述工程Μ自夾具1取下 之狀態搬«基板，來裂作液晶顬示元件。 另一方面，自基板5剝下之夾具1，嗣後，經過黏箸 材靥3之洗淨工程後，再度送回至新的基板5之貼附工程 ，以便供作對於所貼附的基板5之上述各製造工程之搬蓮 用。如此重覆再使用的夾具1，卽使將上逑循環重覆三次 以上，也未曾發現性能有顯箸的降低。 〔實施例2 ] 其次，就本發明之另一實施例說明如下。又，在說明 之方便上，圔中，與前述實施例之匾中所示之構件具相同 機能之構件，乃附註同一符號，其說明則不再赘述。後述 之其他實施例也以同一方式處理之。 本資施例之夾具1中，支持饑2係由厚度1.6 之硪 酸納玻璃所構成；而，黏着材層3，刖由表面平滑的丁基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---------裝------訂------成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14 _ A 7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 橡膠（0.5 厚、硬度40° )所構成。又，用做黏箸材4 者，可使用單面丙烯酸糸、單面矽嗣条之兩面膠帶。即， 使用此黏著材4，將黏箸材層3阽著於支持體2之表面。 此時，也與前述實施例一樣，在黏著材層3與支持體 2之間並無氣泡之混入，且，進行與前述相同之剝離試驗 之結果，於常溫時顯示大約400g，並於100"C - 3H之加熱 後顯示400g〜600g，均顯示了具有良好的剝離黏著特性。 藉滾鵪將用做基板5的300 X 324 X 0.1 rna厚PES (聚 醚》)薄膜阽附於上述夾具1，然後，按照實施例1經過 各種工程，Μ於夾具1阽附著其板5之狀態，搬運至摩擦 處理工程爲止。待經過摩擦工程後，觀察之結果，在基板 5與黏箸材層3之界面並無藥液或水之浸入，且也未曾看 到顯著的氣泡之產生。 自基板5剝離夾具1時之剝離黏著力爲300g〜500g ( 換算爲每20 am寬度之值），顙示了良好之剝離性。而與 前述一樣，Μ後之工程則以自夾具1取下成單體之狀態， 搬運剝離後之塑膠基板5，來製作液晶顦示元件；另一方 面，夾具1則經遇黏著材層3之洗淨工程之後，再供於重 覆使用，此時，儘管重覆了三循環Μ上，但仍未看到顯著 的性能之降低。 〔實施例3〕 有《本實施例之夾具1，與實施例2—樣乃使用厚度 1.6 之碘酸納玻瓖作爲支持«2，而在此支持體2上則 構成有一由矽_橡膠聚合物所構成之黏着材層3。 本紙張尺度適用中國园家標準（CNS ) Λ4規格（2丨Ο X 297公釐） I--------私衣------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 當製造此夾具1時，首先，在支持醱2上塗佈用做黏 著材4的環氧糸樹脂之後，在其上面塗佈了 0.2 mm厚之矽 嗣橡膠單饈。其後，為了可自矽酮橡膠單體缠慢地脫泡而 级缓地加熱，最後，Μ 1001 、4小時之條件進行由矽酮 橡膠所構成之黏著材層3之聚合，及黏著材4之硬化*而 裂作了夾具1。由此所取得之夾具1，一如前述，在黏著 材層3與支持髅2之間並無氣泡之混入，且，經前述之剝 離試驗之結果，在常溫時顯示大約35〇g，並在1〇〇它- 3H 之加熱後顯示300g〜500g，均顯示了良好之剝離黏著特性 Ο 藉滾輪將用做基板5的300X 324 X 0.4 β·厚之丙烯酸 条樹脂板阽附於上述夾具1，此後，與實施例2—樣，經 遇各種工程，以於夾具1貼附笔基板5之狀態，搬運至摩 擦處理工程。 又，配向膜之印刷後，M 120t： - 2小時之烘乾條件， 進行了在此間之配向_形成工程之處理。因此，該製造工 程之最高處理溫度為上述之120它。 待上述配向膜形成工程终了後，觀察阽附於夾具1之 基板5，结果，在基板5舆黏著材圈3之界面並無橥液或 水之混入，且也未看到顯著的氣泡之產生。 其後，Μ阽附著夾具1之狀態，搬蓮基板5至摩擦處 理工程為止，經證實未有異常之後，始剝離了夾具1。又 ，自基板5剝離此夾具1時之剝離鈷著力為300g〜500g ( 捵算為每20 bb寬之值），潁示了良好之剝離性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---------扣衣------.玎------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 16 A7 B7 五、 經濟部中央樣隼局員工消費合作杜印製 發明説明（） 而與前述一樣，在以後之工程，則Μ單醱搬運基板5 ,來裂作液晶顯示元件。另一方面，夾具1則經鈷著材層 3之洗淨工程後*再供於重覆使用，此時，儘管將夾具1 之使用重覆了三循環以上，但仍未看到顯著的性能之降低 Ρ 〔實施例4〕 有關本實施例之夾具1，與實施例3—樣乃使用厚度 1.6 mm之磺酸納玻瑰作為支持體2，而在此支持膿2上則 構成有一由矽嗣橡膠聚合物所構成之黏著材層3。此時》 於支持醱2上，依次塗佈0.2 nm厚之用做黏著材4之環氧 条樹脂及用做黏著材層3之矽嗣橡膠單體，其後，為了可 自矽嗣橡膠單鼸缓慢地脫泡而級级地加熱來製作之這一段 過程，雖說舆前述實施例3相同，但該加熱之最終條件卻 是：實施例3為10010 _4小時；反觀，本實施例係設定 為1701C - 2小時，在此條件下製作了夾具1。 在本實施例，在夾具1中之支持體2與黏著材層3間 也未見有氣泡之混入，且，經前述之剝離試驗之結果，在 常溫時顯示大約300g，並在100¾ - 3Η之加熱後顯示300g 〜500g，均顧示了良好之剝離黏著特性。 用滾輪將用做基板5的300 X 324 X 0.4 mm厚之丙烯酸 条樹脂板阽附於上迷夾具1，Μ同於實施例1之條件經遇 各種工程，完成配向膜工程（l〇〇t，2小時）之後，觀 察所得的附有夾具1之基板5。其结果*在基板5舆黏著 材層3之界面並無蕖液或水之浸入，且也未看到顯著的氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 咸 (請先閱讀背面之注意事項再填离本頁) 17 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 204793 at B7 五、發明説明（） 泡之產生。其後，一如實施例3，Μ阽附著夾具1之狀態 ，搬遲基板5至摩檫處理工程為止，經證實未有異常之後 ，始剝離了夾具1。又，自基板5剝離夾具1時之剝離黏 著力為300g〜500g (換算爲每20·«»寬之值），顯示了良 好之剝離性。 〔比較例1〕 使用實施例4之夾具1，且只改變在配向膜形成工程 中之烘乾條件，按照賁施例4進行了液晶顯示元件之製造 。即，將此時之配向膜形成工程中之烘乾條件設定於120 t：、2小時，當此工程终了後觀察所得的附有夾具1之基 板5，結果，在基板5與夾具1之黏箸材層3之界面，雖 未見有藥液或之浸入，但由於在數處看到了直徑2 c·左右 之氣泡，因此在此陏段中止了工程搬蓮。 〔實施例5〕 有蘭本實施例之夾具1，一如第4圖所示，係在由厚 度1.6 mm之磺酸納玻璃所構成之支持醱2、與由表面平滑 的矽酮橡穋（0.2 »、硬度40° )所構成之黏著材層3 間，更構成有一中間層11。 此中間層11係由PET薄膜（50 u·厚）所構成；在支持 «2上面，塗佈由環氧条樹脂所構成之第一黏箸材4a，以 此第一黏著材4a將該中間層11阽著於支持體2之表面同時 ，於中間層11之表面更塗佈由矽嗣糸樹脂所構成之第二黏 著材4b，然後，於此中間層11上阽著黏著材層3，而裂作 了上述夾具1。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 18 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 於如此裂成之夾具1 *在黏著材層3與支持體2之間 並無氣泡之混入，且，經前述剝離試驗之結果，在常溫時 顯示大約300g，並在lOOt： - 3H之加熱後顯示300g〜500g ，均顯示了良好剝離黏著特性。 藉滾輪將成自300X 324 X 0.4 mm厚之環氧条樹脂的基 板5貼附於上述夾具1。此後，按照實施例1經過各種工 程進行之際，配向膜之印刷後，將配向膜形成工程之條件 設定於130C - 2小時之烘乾。又，此時之整値液晶顯示 元件製造工程之最高處理溫度，為上述之130X：。待上述 配向膜形成工程终了後，觀察所得的附有夾具1之基板5 ，結果，在基板5與黏著材層3之界面並無藥液或水之浸 入，也未看到顳著的氣泡之產生。 其後，按照實施例2，以貼附箸夾具1之狀態，搬運 基板5至摩擦處理工程為止，經證實未有異常之後，始剝 離夾具1。 自基板5剝離夾具1時之剝離黏著力為300g〜500g ( 拱算爲每20 m·寬之值），顯示了良好之剝離性。以後之 工程，則Μ自夾具1取下成單體之狀態搬蓮剝離後之塑朦 基板5，來製作液晶顯示元件；另一方面，夾具1則經過 黏著材層3之洗淨工程之後，再供於重覆使用，此時，儘 管重覆了三循環Μ上，但仍未看到顯著的性能之降低。 〔實施例6〕 有關本實施例之夾具1，其與實施例5之異黠係在於 本資施例中之第二黏箸材4b係由環氧条樹脂所構成，以及 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------抑衣------ir------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 19 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 黏箸材層3係使矽酮單賸聚合而裂作者。 即，此夾具1之製作為：首先，於成自PET薄膜（50 iin)之中間層11塗佈由環氧条樹脂所構成之第二黏著材4b ，進而在其塗佈面再塗佈0.2 厚之矽酮橡膠單體。其後 ，為了可自矽酮橡穋單體缓慢地脫泡而緩緩地加熱，最後 以ιοου 、4小時之條件進行用做黏著材層之矽酮橡膠之 聚合及第二黏著材4b之硬化。 另一方面，於成自厚度1.6 m·之磺酸納玻璃之支持® 2上，塗布由環氧糸樹脂所成之第一黏著材4a，進而於塗 佈面黏著一附有完成上述聚合的黏著材層3之中間層11， 藉此裂作了夾具1。 所得之夾具1 *其黏著材層3與支持體2之間並無氣 泡之混入，且經前述剝離試驗之结果，在常溫時顯示大約 30(^，並於1001〇-3[1之加熱後顯示30(^〜50(^，均顯示 了良好的剝離黏箸特性。 藉滾輪將300X 324 X 0.4 m·厚的由環氧糸樹脂所成之 基板5阽附於上述夾具1，按照實施例5進行了液晶顯示 元件之製作。然後，觀察此期間之配向膜形成工程（配向 膜印刷後，烘乾13〇υ _ 2小時）後之基板5，結果與前 述一樣，基板5與黏著材層之界面並無藥液或水之浸入， 也未看到顯著的氣泡之產生。又，經摩擦處理工程後進行 了夾具1之剝離，此時之剝離黏著力為350g〜500g (換算 爲每20 »寬之值），顯示了良好之剝離性。又，剝離後 儘管再使用夾具1 *但並未看到性能之降低。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X 297公釐） ----------抽衣------1T-------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 20 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 〔實施例7〕 有關本實例之夾具1，係與前述實施例1一樣在成自 厚度2㈣之環氧糸樹脂板之支持醴2上，利用矽嗣糸樹脂 製之黏著材4，黏著由片狀矽酮橡膠（0.2 mm厚、硬度40° )所成之黏箸材層3而成者。其與實施例1之異點係在於 ，本實施例乃將黏著材層3作成波長365 um之UV光之穿透 率為50%，而異於實施例1。這是，在調製原料以作爲矽 嗣橡膠時，例如，《著除掉将之做成白色時所添加之ZnO 等顔料，而製得。 在上述之夾具1中，黏著材層3與支持體2間也未見 有氣泡之混入，且，經前述剝離試驗之結果，在常溫時顯 示大約300g，並在10〇n - 3H之加熱後顯示300g〜400g， 均顯現了良好之剝離黏著特性。 藉滾輪，將300 X 324 X 0.4m厚之由丙烯酸条樹脂所成 之基板5阽附於上述夾具1。此後*按照實施例1經過各 棰工程，進行了密封材印刷、晶隙控制用玻璃珠散布、上 下基板之阽合、密封材硬化。此時，使用UV硬化型密封材 (共立化學產業公司裂）作為前述密封材8，在阽合上下 基板5，5時，自夾具1，1之兩钿照射UV光（高壓水鍍 燈、356 n·、2J)。到此之工程搬運，則Μ於夾具1貼附 着基板5之狀態進行。 其後，觀察附有夾具1之阽合基板5，5 *經證實沒 有異常之後，始剝離了夾具1。此時之剝離黏著力爲300g 〜500g (換算於每20nm宽之值），顯示了良好之剝離性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ----------裝------訂 森 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 21 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（） 。以後，使用基板5，5按照前述之方法製作液晶顯示元 件，一方面，經遇洗淨工程之後重覆使用已剝下之夾具1 ，雄管重覆了三循環，但仍未見到性能之降低。 〔實施例8〕 有鼷本發明之夾具1，係舆實施例1一樣在成自厚度 2 »之環氧糸樹脂板之支持體2上，利用矽酮糸樹脂製之 黏著材4，黏著由片狀矽麵橡膠（0.2 bb厚、硬度40° ) 所成之黏着材層3而製得，然後在與設在基板5表面的電 極_案之補助檷誌對應之位置，一如第5圔所示，開穿了 直徑3 aa之補助用孔（光透過部）12。 上述夾具1，其黏著材層3與支持體2之間並無氣泡 之混入，且經前述剝離試驗之結果，在常溫時顯示大約 300g，並在100t： - 3H之加熱後顯示300〜400g，均顯現了 良好之剝離黏著特性。 利用滾輪，将用做基板5之300 X 324 X 0. 1 厚之PES (聚»m)薄膜阽附於上述夾具1。此後，按照實施例1 經S各種工程，進行了上下基板5，5之貼合及密封材硬 化。迄此之工程，其搬蓮係以於夾具1貼附着塑膠基板5 之狀態行之。 於上述製造工程中，前述透明導電膜撤細加工終了以 後之工程，由於在夾具1之相當於補助橒誌部之地點開穿 有補肋用孔12,故沒有由來自夾具1中之黏箸材層3表面 之反射光所造成之干攫，可輕易進行檷誌之耋像認識。例 如*在上下基板貼合工程時，自夾具1櫚之補肋用孔12進 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------批衣------1T------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 Β7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 行補肋檷誌之盡像認雄，結果播得了良好之認識率。 上述工程終了後，觀察在夾具1是否因開穿補助用孔 而產生異常，结證實沒有異常之後剝離了夾具1。又，自 塑膠基板5剝離夾具1時之剝離黏著力爲200g〜400g (換 算於每20 mm宽之值），Μ下，與實施例1 一樣，具有良 好的夾具剝離性、夾具重覆性。 〔實施例9〕 使用實施例1之夾具1，利用滾輪將用做液晶顯示元 件用基板的、300 X 324 X 0.5 ββ厚之硝酸納玻瑰板阽附於 該夾具1，按照前述之方法，經過液晶顯示元件之各種工 程，製作了液晶顯示元件。 此時，在上下基板5，5之貼合後進行觀察，结果， 玻璃製之基板5與夾具1之黏著材層3之界面並無藥液或 水之浸入，且，也未看到顯箸的氣泡之產生。 又，將貼合的薄板玻璃基板5，5兩_之夾具1剝離 時之剝離黏著力為300g〜450g (捵算於每20 β·寬之值） ，顯示了良好之剝離性。由剝離自夾具1的貼合薄板玻璃 所構成之基板5，5，也因貼合而整體地增加剛性，其後 之分斷、液晶注入、《光板阽附工程，也Μ自夾具1取下 之單鼸狀態搬遲基板，藉Μ製作了液晶顯示元件。另一方 面，被剝離之夾具1，難與前述一樣再自基板5之阽附工 程重覆使用，但並未看到性能之降低。 [實施例10〕 使用實施例1之夾具1，利用滾輪將300X 324X 0.4 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ——.--:-----------ir------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 23 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（） «厚的由丙烯酸条樹脂条樹脂基板所成之基板5貼附於該 夾具1，當按照實施例1經過各種工程而行之際，在配向 膜印刷後，以 140t：、2.0X 10 e Pa (2 kgf/c·”、1.5 小時之設定條件，一面使用空氣加壓一面予Μ烘乾。 上述配向膜形成工程終了後，觀察了所得的附有夾具 1之基板5，结果並無特別異常。接箸，自摩擦處理Μ後 ，經上下基板貼合工程，至密封材硬化工程為止之遇程， 則Μ於夾具1貼附著基板5之狀態搬運。其後，觀察阽合 之基板5，5，結果，證實沒有異常之後，始剝離了夾具 1。此時之剝離黏箸力為350g〜600g (換算爲每20 m·寬 之值），顯示了良好之剝繡性。以下，與實施例1一樣， 顯示了良好的夾具剝離性、夾具重覆性。 〔比較例2〕 除了將配向膜形成工程之條件設定為140t：、大氣壓 、1. 5小時Μ外，其餘則按照實施例1之條件進行各棰工 程；當配向膜形成工程終了後，觀察了附有夾具1之塑膠 基板5。上述之结果，基板5與黏著材層3之界面雖未見 藥液或水之浸入，但確認了多數之直徑2 c·左右之氣泡， 因此，在此階段中止了工程搬邇。 〔比較例3〕 如第6匾所示，於成自厚度1.6 «η之碘酸納玻《之支 持黼22上，黏自日東霣工公司製兩面謬帶（No. 5915) Μ 用做黏箸材層23,而裂作了比較用夾具21。此比較用夾具 21，雜在其支持體22舆黏着材層23間沒有氣泡之混入而顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） ---------坤衣------、玎------.4. (請先閲讀背&之注意事項再填寫本頁) 24 294793 Δ7 Α7 Β7 五、發明説明（) 示了良好的外觀，但在常粗時對於丙烯酸条塑膠板，顯示 了不易剝離的黏著力（每20 «寬大約900g)。又，觀察 了塑膠基板剝離部之黏著材層23之表面狀態*結果看到黏 著力之大幅變化，因此認定在用做夾具之再利用性方面也 不及格。又，100¾、3H之加熱後更上升了剝離黏箸力， 變成無法剝離。 〔比較例4〕 将比較例3所用之黏箸材層23,由日東霣工公司製兩 面膠帶（No. 5915)換成住友3-M公司製兩面膠帶（#4594 HL) ，M裂作了比較用夾具21。此夾具21，雖在支持體22 與黏著材層23之間未見有氣泡之混入，並在常溫時對於丙 烯酸条塑膠基·板顯示稍弱之黏著力（每20 寬大約30g) 而獲得良好之剝離作秦性，但100Ό，3H之加熱處理時， 在基板與黏著材層23之界面產生了氣泡。 將以上之實施例1〜10,比較例1〜4之結果歸纳起 來，示於表1。 - ---^-----批衣------ΐτ------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 25 五、發明説明（） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ※)洚迕2ϋ ^芨妒逆薪»茹蓮冊歆雌^· ※一 lru练|^諶涅〜〇：珥筇 X :鹊雌&沖Δ: ltjr·雌^說滞m续鯓® Hiss葙5BX “搿憨#^ai陬阱濰话I » 比較例4 比較例3 比較例2 實施例10 實施例9 實施例8 實施例7 實施例6 實施例5 比較例1 實施例4 實施例3 實施例2 實施例1 碳酸納玻璃 (與實施例1同） (與實施例1同） (與實施例1同） (與實施例1同〉+打開補肋用孔 (與實施例丨同〉+ UV光穿透率50%) (與實施例4同〉 碳酸納玻璃 環氧系樹脂 支持體 兩面穋帶（丙烯酸条鲇箸材） 兩面膠帶（丙烯酸糸黏箸材） PET薄膜 PET薄膜 m m m m 中間層 Jo 矽_橡膠i〔)nc聚合 δ夕酮橡膠硬度40° 矽_橡膠170Ό聚合 矽嗣橡膠100C聚合 丁基橡膠 矽_橡保硬度40° 鈷箸材層 m ίΦ 菘 30/界面產生氣泡 900/不能剝離 300/300 〜400 300/300〜400 350/300 〜500 300/300 〜400 330/300 〜500 350/300 〜500 400/柳〜600 1 300/300 〜400 3Φ ss m m \ &穿S 一寐2 ν·= 3F D> X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 窳 丙烯酸糸樹脂 磺酸納玻璃 PES薄膜 丙烯酸糸樹脂 ¾ 環氧糸樹脂 丙烯酸糸樹脂 PES薄膜 丙烯酸糸樹脂 m | 在液晶顳示元件製造工程之評估 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 工程 —3 〇 来 J Ο (140¾. 〇 -«·—V 〇 ✓ ο (ιοου、 〇 〇（130C、 来（120它、 0 (loot：、 〇（1201C、 〇 y O (100¾. (烘乾溫度 配向膜形成工程 大氣壓） 加壓有> 大氣壓） ''W* '•W 大氣壓） 大氣壓） 、壓力〉 1 〇 〇 〇 〇 1 1 1 i 1 i 〇 工程 貼合 嫌一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX297公趁） 26 A7 B7 五、發明説明（ 其次，就前述配向膜形成工程中之夾具使用狀態之評 估，將配向膜形成工程更細分成印刷工程、暫乾燥工程、 正式烘乾工程，來說明之。 例如，前述實施例1，如表2所示，係於成自環氧糸 樹脂板之支持體2上設置矽酮橡瞜製之黏著材層3而構成 夾具1。然後於此夾具1阽附由丙烯酸糸樹脂所成之基板 5，將之搬運於液晶顯示元件之製造線間；此時之透明導 電膜形成工程（ITO工程）Μ後，則如前逑，首先，使用 膠販印刷機來進行配向膜印刷，其後，立邸M lOOt： _ 3 分鐘之設定，使用熱板來進行暫乾燥，接箸，進行lOOt： - 3小時之正式烘乾，藉此将配向膜形成於基板上。 此時之配向膜之印刷時，並未產生塑膠基板5之被捲 入印刷滾輪、由印刷台之吸箸孔或溝槽所造成的印刷不均 等情事，而確保了良好之印刷性。又，在暫乾燥及正式供 乾時，也未見有：随著加熱而產生的基盤5之眺躍或變形 、自夾具1剝離塑膠基板5、或在塑膠基板5與黏箸材層 3之界面產生氣泡等慵事；因而可確保良好之暫乾燥、正 式烘乾狀態。 I-------1¾衣------、訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再填艿本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 27 五、發明説明（ A7 B7 表2 I 配向膜形成工程 摩擦 夾具構造 基板 T 1 0 印 暫 正式烘乾 阽合 工 乾 工程 支持體 黏箸材層 程 刷 燥 (烘乾溫度，壓力） 實施例1 環氧条樹脂 矽嗣橡膠 丙烯酸条樹脂 〇 〇 〇 〇（100C，大氣壓> 〇 實施例2 碘酸納玻瓖 丁基橡膠 PES薄膜 〇 〇 〇 Ο (100Ό，大氣壓> - 實施例9 (舆實施例1 同〉 硪酸納玻璃 〇 0 〇 O (1001C，大氣壓〉 〇 比較例2 (舆實施例1 同） 〇 〇 〇 X (140t：，大氣壓> 一 實施例11 (與實施例1同） 〇 〇 〇 0<150t：，第7 圔〉 〇 比較例5 (與實施例1同） 〇 〇 〇 X (150C，第 8 圖） — 比較例6 (舆實施例1同） PES薄禊 〇 X X 一 — in Γ0工程爲止使用夾具 聚）記號說明〜〇：良好 X:產生不適合一：不評估 ---------装------1T------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本育) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS}A4規格（210X297公釐） 28 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 294793 at B7 五、發明説明（） 另一方面，前述實施例2，係於成自磺酸納玻璃之支 持豔2上設置丁基橡膠裂之黏著材層3而構成夾具1，然 後於此夾具1阽附由300X 324X 0.1 mm厚之PES (聚K®) 所成之基板5，將之搬浬於液晶顯示元件之製造線間者。 又，實施例9，係将碩酸納玻璃板製之基板5阽附於與實 施例1同樣之夾具1，然後將之搬運於液晶顯示元件之製 造線間者。 於這些實施例2，9之埸合，也與實施例1 一樣在配 向膜印刷、配向膜印刷、暫乾燥、正式烘乾工程時，並未 產生印刷不均、基板之被捲入印刷滾輪、加熱時之基板跳 躍或變形、塑膠板之自夾具1剝離、或塑膠基板與夾具黏 箸材之界面產生氣泡等情事，因而可確保良好之狀態。 又，表2所示之比較例2，係除了將配向膜之正式烘 乾工程之條件設成140C - 1. 5小時以外，其餘則按照實施 例1之條件，搬蓮各棰工程。 此時，在配向膜之印刷時，並未產生塑膠基板之捲入 印刷滾輪、由印刷台之吸著孔或溝槽所造成的印刷不均等 情事而確保了良好印刷性；且，在暫乾燦時也未見有隨著 加熱而產生的基板之跳躍、變形等情事，而確保了良好之 暫乾燥性。然而，當正式烘乾工程終了後觀察附有夾具之 塑膠基板時，雖在塑膠基板與夾具黏箸材之界面未見有藥 液或水之浸入，但如前述，卻看到了多數的直徑2 CB左右 之氣泡。 由此可知，正式烘乾之溫度高時，如前述實施例10所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 29 ---------^------1T------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明（） 示，一面加壓一面烘乾之方法較有效。再者，就加熱成更 高溫時之適當加壓條件，舉以下之實施例11及比較例5來 說明之。 〔實施例11〕 使用實施例1之夾具1，與實施例1一樣，利用滾輪 ，将用做液晶顯示元件用基板5的300 X 324 X 0.4 ηπι厚之 丙烯酸条樹脂基板阽附於該夾具1，並僅只改變配向膜形 成工程之正式烘乾條件，餘則按照實施例1進行了液晶顯 示元件之製造。 第7圖係顯示此時之配向膜形成工程之正式烘乾條件 。如該圖所示，首先，在室溫狀態下使壓力升至5.〇x 10»

Pa (5 kgf/cma)，然後，閭姶加熱。接著，進行150勺 - 1.5小時之正式烘乾，待完成此加熱處理後，在保持上 述之加壓狀態中使溫度降至室溫，其後，則將壓力狀態復 回至大氣壓。 以這種壓力及溫度條件，藉程序控制來進行正式烘乾 ，結果，未產生正式烘乾時之加熱或冷卻時之基板之眺躍 或變形、來自夾具之塑膠基板之剝離、或在塑膠基板與夾 具黏著材之界面之氣泡產生等情事，而確保了良好狀態。 其後，與前述一樣，蓮送於摩擦處理工程、上下基板 貼合工程、至密封材硬化工程，Μ進行液晶顯示元件之製 造，然後觀察在其時刻之附有夾具之阽合塑膠基板，確認 爲沒有特別異常之後，剝離了夾具。 又*自塑膠基板剝離夾具時之剝離黏著力為350g〜600g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 -30 - 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 Β7 五、發明説明（） (換算爲每20·»寬之值），顯示了良好之剝離性。又， K後之夾具剝離性、夾具重覆性，也與實施例1一樣均爲 良好。 〔比較例5〕 與實施例11相較，僅改變配向胰之正式烘乾條件*其 餘則依照同一條件進行了液晶顯示元件之製造，將此時之 示於第8圏。一如該圃，自壓力之上升後開始加熱，至Μ 5.0Χ108 Pa之加麽狀態進行150t： - 1.5小時之正式烘乾 爲止之過程，係與實施例11相同，其後，則採取將®力狀 態回歸大氣壓及降溫至室溫之事同時進行之條件。 當這棰配向膜形成工程終了後* «察附有夾具之塑應 基板，結果，塑膠基板與夾具黏著材之界面雖未見有橥液 或水之浸入，但卻看到多數的直徑2 cm左右之氣泡，因此 在此階段停止了搬運。 其次，在配向祺形成工程之前自夾具取下基板，以基 板單體進行配向膜之形成，其結果作為比較例6來說明之 〇 〔比較例6〕 利用滾輪，將用做塑膠基板的300X 324 X 0.1 厚之 PES (聚醚理）薄膜基板貼附於實施例1之夾具。 其次，一如實施例1，将阽附有塑謬基板之夾具洗淨 後，設置於磁控管飛濺装置内，用80¾之溫度將70 nm ( 700A)之ΙΤ0透明導霣膜形成於塑膠基板上；其後，Μ基 板貼附於夾具之狀態搬運，至透明導霣膜微細加工（記錄 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29"?公釐） ----------批衣------1Τ------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 31 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（） 塗佈、露光、蝕刻、記錄洗淨工程爲止。 觀察在此階段之附有夾具之塑膠基板，其结果顯示塑 腰基板與夾具之黏著材界面並無藥液或水之浸入，且證實 了也沒有顯著氣泡之產生。然後，在此階段自夾具剝離基 板。 其後，將剝離自夾具之塑膠基板單體，用人手設置於 配向膜印刷用膠販印刷機之台上，使之吸著保持之後，進 行印刷。此時，部分地發生了塑膠基板被捲入印刷滾輪， 以及印刷機台之吸著溝形狀之印不均情事。進而*在刚印 刷後之暫乾燥時，基板在熱板上跳躍，產生了部分的乾燦 不均，因此，於此階段停止了搬連。 如以上所說明，上述各實施例，係使用一種於具有一 定刚性之支持體2上形成黏著材層3而構成的可重覆使用 之夾具1，來進行液晶顯示元件之製造者。此時，在夾具 1上阽附由薄板玻璃或塑皤板等所成之基板5，以於夾具 貼附箸基板5之狀態蓮送於各工程中，其後，自夾具1剝 離基板5，然後，基板5被剝離的夾具1，被送回至新的 基板5之阽附工程，Μ供重覆使用。 藉此，可将Μ往使用不易製造的薄板玻璃基板或塑穋 基板之液晶顙示元件，穩定地予以製造。而且，上述夾具 1係将即使重覆使用也可保持剝離黏著力於一定之黏著材 層3，形成於支持«2者；由於可重覆使用夾具1，故較 之以往之用完即索之夾具，可大幅滅低液晶顯示元件之裂 造成本。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210Χ 297公釐） ---------批衣------ΪΤ------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 32 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（） 又*可共同使用原有之玻«用掖晶顯示元件之製造裝 置，藉此，可大幅抑制鼸於新穎設備之開發或改造之設備 投資。 又，當將黏著材層3形成於支持饅上時，一如實施例 4及比較例1所示，以100¾ Μ下之S度進行為理想。亦 即，形成黏著材層3時之溫度愈低，與Μ常溫為中心之溫 度變化相較，由黏著材層3舆支持體2間之熱膨脹係數差 所引起之殘留*力或應力變成愈低。為此，當在夾具1之 黏著材層3 Μ常醞貼附薄板玻璃基板或塑膠基板時，也對 於其後之溫度變化，因起因於基板5與黏箸材層3及支持 讎2之熱膨脹係數差之應力，而可抑制基板5自鈷著材層 3剝離。 藉此，将薄板玻璃基板或塑謬基板貼附於夾具來蓮送 之工程中，例如配向膜之烘乾溫度等，可將可用之最高通 度更予提离。此结果，可獲得具有優異配向特性之配向膜 ，可使液晶顯示元件之性能、及信«性提高。 另一方面，如實施例5及實施例6所示，躭支持體2 與黏著材層3間設置中間層11而成之夾具1來說，邸使在 支持體2舆黏著材層3中具有大幅的熱膨脹係數差之場合 也藉著將中間層11之熱膨脹係數設定於支持體2與黏著材 暦之熱膨脹係數間，而可由中間層11來援和因伴隨溫度變 化之熱膨脹係數差而引起之應力。 再者，一如實施例6所說明，於中間層11預先形成黏 著材層3，其後，在支持體2黏箸附有黏著材層3之中間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 33 I訂I 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（） 層11時，可將黏著材層3形成得更薄。藉此，可更抑制加 熱工程中之黏著材層3之膨脹應力，可使基板5與夾具1 之緊阽力提高。 又，一如上述，預先於中間層11形成鲇著材層3並將 之一膿化，藉此，較之使一由另外途徑製作的薄黏箸材層 直接黏著於支持體上的夾具之製造方法，更可提高對支持 «2之黏著作業性，且可減低夾具之製造成本。 另一方面，一如實施例7所示，如將夾具1製作成波 長365 η·之UV光至少可穿透30%M上、最好可穿透50%以 上時，可透過夾具1把UV光照射於薄板玻璃或塑膠基板5 ，其结果，可在液晶顯示元件製造工程内，例如於上下基 板之阽合工程中使用UV反應型之密封材料。UV反醮型密封 材*在密封硬化時，並不薄要高溫度條件；其结果，可用 接近常瀛之溫度進行密封材硬化。因之，較之習知之熱硬 化型密封材，可在密封材硬化後，溫度降至常租時，將薄 板玻《或塑膠基板5之收縮應力之作用於密封材之應力大 轘降低，藉此可提高掖晶顯示元件之性能及信細性。 又，如波長365 nm之UV光穿透率為未滿30%時，由於 為使密封材硬化而取得所痛光量之時間變長，以致會使生 產性惡化。又，將產生以下問題：因黏著材層3之劣化而 降低夾具之壽命；因溫度之上升而產生變形應力；因UV照 射裝置之大型化而增加成本等。 再者，一如實施例8所示，藉著在形成於基板5的® 極圓案之補肋檷誌部分設置補助用孔12,而可抑制夾自夾 ----------裝------訂 旅 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 34 Ο A - Α7 Β7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、發明説明（ 具1面之反射干攫光*因而能Μ夾具上阽附著基板5之狀 態，利用補助檷誌來進行使用耋像認識手法之高精度的自 動位置對準。如此，藉著對對應於電極圏案之補肋檷誌之 部分，預先部分地增高對於可視光之穿透率，而待別在塑 腰基板之場合可抑制其被捲入印刷滾輪，或防止沿箸印刷 台之吸著孔或溝槽之變形，可確保良好之印刷性。又，剛 印刷配向膜後之暫乾燥時，例如也可防止由熱板上之熱所 引起之塑膠基板之眺躍，而可確保良好之暫乾燥性。 又*如實施例10及比較例2、或實施例11所示，躭需 要更离處理溫度的絕緣膜或配向膜烘乾工程來說，由於由 基板5跟夾具1之黏箸材層3或支持醱2間之熱膨脹係數 差、或部分性之溫度不均所造成之醮力，而在基板5與夾 具間產生氣泡*因而基板5易自夾具1剝離；然而此時可 藉著同時加熱及加Κ，來抑制氣泡之產生，防止基板5之 自夾具剝繡。 尤其是，如實施例11及比較例5所示，在基板舆夾具 之《度上升至烘乾ffi度環境、進而降低至常S之通程中* Μ—定之程序使烘乾爐之加熱〜冷卻程序跟加壓〜減®程 序同步*藉此可防止基板與夾具間產生氣泡，或更確實地 防止欲自夾具剝離基板之力。 其結果，例如，可将配向膜形成時之處理溫度更予升 髙，藉此可增進液晶分子之配向性能或配向均一性、配向 倍賴性，進而提离液晶顯示元件之性能及信阚性。又，上 述實施例贿省輅有鬭絕緣膜之形成過程，但與配向膜之形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 裝 訂 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 35 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 294793 at Β7 五、發明説明（） 成通程一樣，可藉嘐販印刷、暫乾燥、正式烘乾處理來形 成絕緣膜。絕缘膜雖形成於透明電棰與配向膜之間，但可 藉箸以离處理溫度進行正式烘乾，而增加絕緣性能*提高 液晶顳示元件之性能及信賴性。 又，上述各實施例並非限定本發明者，在本發明之技 術思想内可做各棰變更。在上述各寘施例，雖舉出薄板玻 瓌與丙烯酸条樹脂板、pes (聚醚a)薄膜、環氧条樹脂 板，作為使用夾具1來進行工程搬蓮之基板，但也可使用 聚《、聚芳酯、聚硪酸酯、聚酯、馬來醢亞胺樹脂等，作 為其他塑膠基板。又，可使用由黏著型、常滬硬化型、熱 硬化型、與水分之反應等各棰材料所成者，作為支持體2 、黏箸材層3、中間層11間之黏著材。 如Μ上所說明，本發明之基板搬蓮用夾具，係將液晶 顯示元件基板支持於表面來進行工程搬«之夾具者；其構 成為：即使重覆使用也可大致維持黏箸力（用來保持貼附 於表面之基板）於一定之黏著材層，係設在支持體上。 藉此，將基板貼附於夾具，接著，在液晶顯示元件之 整匍製造工程搬浬上述夾具，俾可對阽附於夾具之基板依 次進行液晶顯示元件形成處理，待規定之工程終了後，自 夾具剝離基板，其後，重覆使用上述夾具》其在上阽附新 基板來進行液晶顯示元件之裂造。 結果*在上述夾具上貼附薄板玻瓖基板或塑膠基板等 ，然後將之蓮送於液晶顯示元件之製造工程中，藉此，卽 使使用單體時不具強度或_性之薄板狀玻璃或塑謬等之基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------^------tr------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 36 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（） 板材料，也可共同使用習知玻璃用液晶顯示元件製造線， 來製造液晶顯示元件。而且，由於上述夾具可重覆使用， 故較之用完即索之夾具，可大幅減低液晶顯示元件之製造 成本。 當在上述支持體與鲇著材層間設有中間層時，可藉箸 將中間層之熱膨脹係數設定於黏箸材層與支持體之熱膨脹 係數之間，而在中間層緩和由伴隨溫度變化之熱膨脹係數 差所引起之應力。又，在中間層預先形成黏著材層，其後 ，將附有黏著材層之中間層黏箸於支持體以製造夾具，藉 此可將鈷箸材層形成得更薄。其结果，可抑制加熱工程中 之黏著材層之膨脹應力，提高基板與夾具之緊阽力。又* 在中間層上預先形成黏箸材層時*可提高對支持體之黏著 作業性，抑制夾具之製造成本。 在與形成於上述基板之電極圖案的補助橒誌相對應之 地方，為了提高可視光之穿透率而設有光穿透部時，可在 夾具貼附有基板之狀態下，實施利用液晶顯示元件製造工 程中之各補助檷誌的位置對準。結果，可實施使用自動畫 像認識手法之高精度的位置對準，因而可製造優異的顯示 品位之液晶顯示元件。 本發明之液晶顯示元件之製造方法，係將絕緣膜或配 向膜等之印刷工程，以上述夾具上阽附箸基板之狀態進行 者。 藉此，可抑制特別為塑謬基板時容易產生的沿箸印刷 台之吸箸孔或溝榷之變形，而確保良好之印刷性，同時可 家標準 (CNS > A4規格（210X297公釐） ----------^.------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填苟本頁) -37 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 防止印刷時塑膠基板被捲入印刷滾輪之情事。 於上述製造方法中，更將絕緣膜或配向膜形成時之烘 乾工程，Μ上述夾具上阽附箸基板之狀態進行者，可防止 在絕续膜或配向膜工程之暫乾燥、或Μ較低之溫度進行正 式烘乾時例如因熱板上之熱而造成之塑膠基板之跳躍或基 板之變形等，因而可確保良好之熱處理性。 於上述之製造方法中*如在液晶顯示元件之裂造工程 中，一面加壓一面進行對貼附於基板搬運用夾具的基板之 熱處理時，例如以更高之溫度進行上逑形成絕緣膜或配向 膜之正式烘乾時，可確實地抑制：在因升溫過程之薄板玻 璃基板或塑膠基板與夾具間之熱膨脹係數差、或部分性的 溫度不均而引起之應力下，使基板與夾板間可能產生氣泡 之事。結果，例如可升高處理溫度，且可播得具有優異之 絕緣特性的絕緣膜及優異之配向特性的配向膜等，藉此可 提离液晶顯示元件之性能及信練性。 發明之詳細說明之項中所為的具體實施態樣，或實施 例*必竟僅是為了明瞭本發明之技術内容而舉出者，因此 本發明不鼸被狹義解釋爲僅限定於具體例，在本發明之精 神及Μ下記載之申請專利範國之範圍内，可做各種變更來 實施者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公嫠） ---------装------II------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -38 - 五、發明説明（ Α7 Β7 元件檷號對照 1....基板搬運用夾具（夾具） 2.. ..平板狀支持體 3.. ..黏著材層 4.. ..黏著材 4a. ...第一黏著材 4b. ...第二黏著材 5.. ..基板 6 .., ..透明導霣膜霣極 7... ..配向膜 8 .. .密封材 11... .中間層 12... .補助用孔 21. . · .比較用夾具 22... .支持體 23... .黏著材層 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 38-1

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 六、申請專利範圍 第84 1Q 1100虢申請案申請專利範園修正本 修正日期：85年11月 —種支挎液晶顯示元件之基板以便進行工程搬理之基 板搬運用夾具•係包含： 一支持》;及 一黏著材曆*係設在上述支持«上，其用來保挎 貼附於表面之上述基板之黏著力•即使簠覆使用也被 維持於大致一定。 2. 依據申謫專利範_第1項所述之基板搬蓮用夾具，其 中上述黏著材層係由表面平滑矽鬭搛膠所成者。 3. 依據申請專利範画第2項所述之基板搬運用夾具，其 中上述支持«係由2 厚之環氧系樹脂板所構成•上 述黏著材曆之厚度則為0.2 I·。 4. 依據申讅専利範園第1項所述之基板搬蓮用夾具•其 更包含有一將上述黏著材層黏著於上述支持β表面之 黏著曆。 5. 依據申請專利範第4項所述之基板播遵用夾具，其 中上述黏著靨•係由矽嗣橡謬所構成。 6. —種支持液晶顧示元件之基板Μ用來進行工程搬蓮之 基板搬蓮用夾具之製造方法•係包含以下步*: 準備支持β;及 於自常溫至lQQC Μ下之溫度範醒•形成一設在 上述支持«上，且用來保持貼附於表面之上述基板的 黏著力•即使經簠覆使用也維持大致一定之黏著材曆 本紙法尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210XW7公釐） 39 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 I 7. 依據申講專利範園第1項所述之基板搬蓮用夾具•其 中上述黏著材靥*係由表面平面之丁基橡謬所成。 8. 依據申請専利範園第7項所述之基板搬蓮用夾具•其 中上述支持黼係由厚1.6 ·β之碳酸納玻璃所構成；上 述黏著材曆之厚度為0.5 1·。 9. 依據申讅専利範園第1項所述之基板搬蓮用夾具•其 I 更包含一將上述黏著材靥黏著於表面之黏著麕；此黏 著曆係單面丙烯酸系、單面矽钃系之兩面膠帚者。 10. 依據申講專利範圃第1項所述之基板搬運用夾具，其 中上述黏著材曆，係由表面平滑的矽嗣橡膠聚合物所 構成。 11. 一種支持液晶顯示元件之基板，Κ便進行工程搬«之 基板搬蓮用夾具之製造方法*係包含Μ下步驟： 準備支持《; 將瓖氧系樹脂塗佈於支持艚上以形成黏著靥； 將矽嗣橡膠之軍臞塗佈於該黏著曆上；及 為了對矽釅軍«進行鑀慢之脫泡而嫒級地加热· 最後K1001C 、4小時之條件進行由矽酮橡膠所成的 黏著材靥之聚合、以及黏著曆之硬化。 12. —種支持液晶顧示元件之基板· Μ便進行工程搬理之 基板搬蓮用夾具之製造方法•係包含Μ下步驟： 準備支持β; 將環氧系樹脂塗佈於支持«上Μ形成黏著暦； 將矽酮橡膠之單《塗佈於該黏著靥上；及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2W公t ) 40 I I I I n I 裝— I I I I 訂—— I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 六、申請專利範圍 為了對矽嗣軍臞進行級慢之脫泡而«級地加热， 最後Κ170Ό 、2小時之條件進行由矽嗣檬朦所成的 黏著材靥之聚合、及黏著曆之《化。 13. 依據申講専利範園第1項所述之基板搬埋用夾具，其 更包含有一設在上述支持«與黏著材層間之中間層。 14. 依據申請專利範圍第13項所述之基板搬浬用夾具•其 I 更包含： 將上述中間曆貼著於上述支持«表面之第一黏著 曆；及 將上述中間曆貼著於上述黏著材靥表面之第二黏 蕃曆。 15. 依據申誧專利範匾第14項所述之基板搬理用夾具*其 中上述中間曆係由PET薄膜所構成·•上述第一黏著層 係由瓖氧系樹脂所成；上述第二黏著曆係由矽鼷条樹 脂所成。 16. 依據申請専利範_第14項所述之基板搬邇用夾具•其 中，上述中間雇係由PET薄膜所構成；上述第一黏著 靥係由瓖氧糸樹脂所成；上述第二黏著暦係由環氧系 樹脂所成；上述黏著材曆係使矽瞩單β聚合而成者。 17. —種支持液晶顯示元件之基板Μ便進行基板搬運用夾 具之製埴方法*係包含Μ下步驟： (a) 準傷支持β ; (b) 準備中間曆； (c) 將用來貼著於黏著材暦表面之第二黏著材’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公缝） 41 I裝 I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 7、申請專利範圍 t 塗佈於上述中間曆上； (d) 於上第二黏著材之塗佈面，形成一用來保持 貼附於表面之上述基板的黏著力即使重覆使用也大致 維持一定之黏著材曆； (e) 予Μ加熱•俾對上述黏蓍材曆級慢地進行脫 泡*並進行該黏著材曆之聚合、以及第二黏著材之硬 I 化； (f) 將用來貼著上述中間層於上述支持«表面之 第一黏著材*塗佈於上述支持艚上，·及 (g) 將上述聚合完成之黏著材曆，黏著於上述第 一黏著材之塗佈面。 18. 依據申諝專利範園第17項所述之製造方法•其中： 上述步驟（b)之中間曆係由PET薄膜所構成； 上述步驟（c)之第二黏著材係由環氧糸樹脂所成； 上述步驟（d)之黏著材曆係由矽酮橡膠單㈣所構 成； 上述步驟（e)中•加热係嫌嫒地進行•最後K 100 C、4小時之條件進行聚合及硬化； 上述步驟（f)之第一黏著材係由環氧条樹脂所成。 19. 依據申請專利範園第1項所述之基板搬蓮用夾具•其 中上述黏著材層·其波長365 ηι之UV光之穿透率至少 為30%以上。 20. 依據申請専利範園第1項所述之基板搬理用夾具•其 中上述黏著材層·其波長365 nm之UV光之穿透率至少 本纸張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2丨OX2F公簦） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4793 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 I 為5Q%M上。 21.依據申講專利範第1項所述之基板搬運用夾具，其 更包含有一光穿透部•此光穿透部係設在與形成於上 述基板的霣極案之補助禰誌相對應之地方，Μ便提 高可視光之穿透率。 22·依據申講專利範園第13項所述之基板搬理用夾具，其 1 更包含有一光穿透部，此光穿透部係設在與形成於上 述基板的霣極案之補助攔誌相對應之地方·Μ便提 高可視光之穿透率。 23. —種液晶顯示元件之製造方法，係包含： 將基板貼附於一包含有支持《及黏著材曆之基板 搬理用夾具·其中前述黏著材曆係設在上述支持«上 而即使重覆使用也维持一定的一用來保挎上述基板（ 貼附於支持Μ表面）的黏著力， 接著，於液晶顯示元件之整個製造工程*搬運上 述基板搬理用夾具，鞴此對貼附於基板搬理用夾具之 基板·依次進行液晶顬示元件之形成處理•及 待規定步》终了後•自基板搬蓮用夾具剝離基板 *其後貼附新基板•等之步驟； 其後，簠覆使用上述基板搬運用夾具· Μ便再進 行液晶顯示元件之製造。 24. —種液晶顧示元件之製造方法•係包含： 將基板貼附於一包含有支持β、黏著材靥、及設 在上述支持《輿黏著材間之基板搬理用夾具·其中前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公赛） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 43 ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 六、申請專利範圍 I 述黏著材靥係設在上述支持臞上而即使簠覆使用也维 持大致一定的一用來保持上述基板（貼附於支持鱷表 面）的黏著力· 接著•於液晶顯示元件之整個製造工程•搬埋上 述基板搬運用夾具》蘋此對貼附於基板搬蓮用夾具之 基板，依次進行液晶顯示元件之形成處理，及 » 待規定步驟终了後·自基板搬運用夾具剝離基板 *其後貼附新基板，等之步»; 其後，重覆使用上述基板搬理用夾具，Μ便再進 行液晶顯示元件之製造。 25. —種液晶顯示元件之製造方法•係包含： 將基板貼附於一包含有支持《、黏著材及光穿透 部之基板搬«用夾具，其中•前述黏著材靥係設在上 述支持鱷上而即使重覆使用也維持大約一定的一用來 保持上述基板（貼附於支持«表面）之黏著力*而光 穿适部係設在與形成上述基板的霣極讕案之補助禰誌 相對應之地方•以便提高可視光之穿适率* 接著，於液晶願示元件之整個製造工程，搬理上 述基板搬運用夾具，_此對貼附於基板播蓮用夾具之 基板，依次進行顯示元件之形成處理*及 待規定步驟终了後，自基板》運用夾具剝離基板 ，其後•貼附新基板，等之步骤； 其後，重覆使用上述基板搬理用夾具•以便再進 行液晶顧示元件之製造。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29了公釐） 44 I 裝 I I訂— I I I線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α8 Β8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 六、申請專利範圍 I 26. 依據申謫專利範園第2 3項所述之製造方法•其更包含 印刷絕缘膜或配向膜等之步驟·該步爨係Μ基板貼附 於上述基板搬蓮用夾具之狀態行之。 27. 依據申請専利範園第2 6項所述之製造方法，其更包含 一在形成絕緣膜或配向膜時實行的烘乾步驟；該烘乾 步驟•係Μ上述基板貼附於上述基板搬運用夾具之狀 1 態行之。 28. 依據申謫専利範園第2 4項所述之製造方法•其更包含 絕緣膜或配向膜等之印刷步骤；該步驟係以基板貼附 於上述基板搬蓮用夾具之狀態行之。 29. 依據申請專利範園第28項所述之製造方法*其更包含 一在形成絕緣腰或配向膜時實行的烘乾步驟；該烘乾 步驟*係以上述基板貼附於上述基板嫌理用夾具之狀 戆行之。 30. 依據申請專利範圃第25項所述之製造方法•其更包含 一用來印刷絕緣膜或配向膜等之步驟；該步朦係Κ基 板貼附於上述基板搬理用夾具之狀戆行之。 31. 依據申請専利範園第30項所述之製造方法•其更包含 一在形成缍緣膜或配向膜時實行之烘乾步驟；該烘乾 步»係Κ上述基板貼附於上述基板搬理用夾具之狀態 行之。 32. 依據申謫専利範圃第2 3項所述之製造方法•其更包含 一步驟•係在液晶顯示元件之製造步驟中，一面加壓 一面進行對貼附於基板搬蓮用夾具的基板之热處理。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐> 45 經濟部中央標準局員工消费合作社印製

   294793 as B8 C8 D8 六、申請專利範圍 33. 依據申請專利範圍第24項所述之製造方法，其更包含 一步驟•係在液晶顯示元件之製造步驟中，一面加壓 一面進行對貼附於基板搬蓮用夾具的基板之熱處理。 34. 依據申請專利範匾第2 5項所述之製造方法，其更包含 一步驟，係在液晶顯示元件之製造步驟中，一面加壓 一面進行對貼附於基板搬理用夾具的基板之热處理。 35. 依據申講專利範園第3 2項所述之製造方法，其中上述 加壓，係使用140C、2.0X10· Pa、1.5小時及空氣 來進行。 36. 依據申請專利範園第33項所述之製造方法，其中上述 加壓，係使用140¾、2.〇xiOa Pa、1.5小時及空氣 來進行。 37. 依據申請専利範園第34項所述之製造方法，其中上述 加壓，係使用140C、2.〇xiOe Pa、1.5小時及空氣 來進行。 38. 依據申請専利範圃第32項所述之製造方法，其中上述 加壓，係使用150C、5.〇xlOe Pa、1.5小時及空氣 來進行。 39. 依據申請專利範國第33項所述之製造方法，其中上述 加J1，係使用150tJ、5.0X 10e Pa、1.5小時及空氣 來進行。 40. 依據申請專利範匾第34項所述之製造方法•其中上述 加壓，係使用150t：、5.〇xlOB Pa、1.5小時及空氣 來進行 本紙張尺度適用中國國家標孪（CNS ) Α·4規格（2丨OXN?公釐〉 46 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)