JP2005303262A - アクティブマトリクス基板、その製造装置、及び表示デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクティブマトリクス基板10は、プラスチック材料により構成された基板11と、基板11の片面側にマトリクス状に配置され、信号配線に接続された複数のTFT20とを備えている。そして、基板11の両面には、無機絶縁膜12が設けられている。さらに、基板11におけるTFT20が配置されていない面側には導電性膜13が設けられ、上記導電性膜13は接地されている。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の作用について説明する。
図1〜図4は、本発明に係るアクティブマトリクス基板、その製造装置、及び表示デバイスの実施形態を示している。図1は、アクティブマトリクス基板の拡大断面図であり、図2は、表示デバイスの模式的断面図であり、図3及び図4は、製造装置の要部を示す断面図である。
したがって、この実施形態1によると、水分を透過しない無機絶縁膜12を基板11の両面に設けるようにしたので、水分吸収による基板の伸縮や反りを抑制することができる。その結果、専用の搬送用治具を不要としながら、微細なパターニングが必要となるTFT20の製造においても、マスクパターン間の位置合わせ精度等を向上できるため、アクティブマトリクス基板10を高精度に製造することができる。
図5は、本発明に係るアクティブマトリクス基板10の実施形態2を示している。なお、以下の実施形態では、図1〜図4と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
したがって、この実施形態2によると、導電性膜13を、水分を透過させない構成としたので、基板11の両面に無機絶縁膜12を設ける必要がなく、一方の基板面にのみ無機絶縁膜12を設けて、基板11の水分吸収を好適に抑制することができる。言い換えれば、無機絶縁膜12を基板11の片面側だけに省略して設けることができる。
図6は、本発明に係るアクティブマトリクス基板10の実施形態3を示している。本実施形態のアクティブマトリクス基板10は、上記実施形態1に対し、保護膜22をさらに設けるようにしたものである。
図6では、導電性膜13が電気的に接地されていないが、このことによっても、帯電した静電気を導電性膜13の全体に分散させることができるため、TFT20における絶縁破壊の発生を防止することができる。
本発明に係るアクティブマトリクス基板10の製造装置2は、真空状態で使用する成膜装置だけでなく、エッチング装置や塗布装置等にも適用することができる。
2 製造装置
3 搬送装置
10 アクティブマトリクス基板
11 基板
12 無機絶縁膜(無機膜)
13 導電性膜
20 TFT(能動素子)
22 保護膜、無機膜
35 液晶層(表示媒体層)
50 基板ステージ
51 支持面
53 静電チャック部
55 接地機構
60 巻き付け軸
Claims (13)
- プラスチック材料により構成された基板と、
上記基板の片面側にマトリクス状に配置され、信号配線に接続された複数の能動素子とを備えるアクティブマトリクス基板であって、
上記基板における上記能動素子が配置されていない面側に設けられた導電性膜と、
上記基板の両面又は片面に設けられた無機膜とを備えている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1において、
上記導電性膜は、水分を透過させない機能を有している
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1において、
上記導電性膜は、電気的に接地されている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1において、
上記基板、無機膜及び導電性膜は、透明材料により構成されている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1において、
上記導電性膜は、導電性高分子材料により構成されている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項5において、
上記導電性膜の少なくとも一部は、保護膜により覆われている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項6において、
上記保護膜は、無機膜により構成されている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1のアクティブマトリクス基板を製造する製造装置であって、
上記基板を支持面で支持する基板ステージを備え、
上記支持面は、導電体により構成されると共に電気的に接地されている
ことを特徴とする製造装置。 - 請求項1のアクティブマトリクス基板を製造する製造装置であって、
上記基板を支持面で支持する基板ステージと、
上記基板が上記基板ステージの支持面で支持された状態で、上記基板の導電性膜を電気的に接地させる接地機構とを備えている
ことを特徴とする製造装置。 - 請求項9において、
上記基板ステージの支持面は、絶縁体により構成され、
上記基板ステージは、基板を保持するための静電チャック部を備えている
ことを特徴とする製造装置。 - 請求項10において、
上記接地機構は、基板ステージの周縁領域に配置されている
ことを特徴とする製造装置。 - 請求項8又は9において、
上記基板をロール状に巻き付けるための巻き付け軸を備え、
上記巻き付け軸は、電気的に接地されている
ことを特徴とする製造装置。 - 請求項1のアクティブマトリクス基板と、
上記アクティブマトリクス基板の能動素子により駆動される表示媒体層とを備える表示デバイスであって、
上記アクティブマトリクス基板の導電性膜は、電気的に接地されている
ことを特徴とする表示デバイス。
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