TW201137820A - Method for driving display device - Google Patents

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TW201137820A
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Kenichi Wakimoto
Yasuo Nakamura
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Semiconductor Energy Lab
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Description

201137820 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明關於驅動顯示裝置之方法。 【先前技術】 已知主動式矩陣顯示裝置’其中複數像素係以矩陣排 列’且每一像素包括顯示元件及電晶體做爲連接顯示元件 之切換元件。 此外’主動式矩陣顯示裝置已引起注意,其中使用金 屬氧化物用於通道形成區而形成之電晶體用做連接每一像 素電極之切換元件(詳專利文獻1及2 )。 有關可應用於主動式矩陣顯示裝置之顯示元件的範例 ’可提供使用電泳方法等的液晶元件及電子墨水。應用液 晶兀件之主動式矩陣液晶顯不裝置已用於廣泛的應用範圍 ’從利用液晶元件之高操作速度的移動影像顯示器,至具 寬範圍灰階之靜態影像顯示器。 [參考文獻] [專利文獻1]日本公開專利申請案No. 2007-123861 [專利文獻2]日本公開專利申請案No. 2007-096055 【發明內容】 習知主動式矩陣顯示裝置中所包括之電晶體具有高關 閉狀態電流,因而寫入像素之信號經由電晶體而洩漏,甚 -5- 201137820 至當電晶體關閉時亦流失。因此,若顯示元件不具有記憶 體特性,甚至對於主動式矩陣顯示裝置中相同影像而言, 信號均需頻繁地重寫,使得其難以降低電力消耗。 鑒於上述,目標爲提供消耗充分小電量之方便的顯示 裝置,及驅動該等顯示裝置之方法。 當電力開始供應時顯示裝置開始操作,及當電力停止 供應時停止操作》在本說明書中,電力供應予顯示裝置之 狀態(電源開啓)稱爲開啓狀態,反之電力供應停止之狀 態(電源關閉)稱爲關閉狀態。用於開啓顯示裝置之控制 信號稱爲起始信號,反之用於關閉顯示裝置之控制信號稱 爲停止信號。 本說明書中所揭露之顯示裝置可處於具以靜態影像顯 示模式顯示之靜態影像的關閉狀態,其中用於施加電壓於 顯示元件之像素電極及共同電極被置於浮動狀態,使得施 加於顯示元件之電壓保持,且未進一步供應電位而顯示靜 態影像。 當顯示裝置處於開啓狀態時’其中電源開啓使得供應 電力,依據連續訊框之影像信號適當地選擇移動影像顯示 模式或靜態影像顯示模式,藉此可降低電力消耗,且顯示 裝置藉由基於以靜態影像顯示模式顯示之所欲影像的停止 設備而被置於關閉狀態,藉此顯示裝置可具有較高安全程 度並可更方便。 在驅動顯示裝置之方法中’依據本說明書中所揭露之 實施例,執行下列步驟。從電源供應電源電位以將影像顯 -6 - 201137820 示於螢幕上。其次,從初始化及停止設備供應初始化及停 止信號。接著,基於初始化及停止信號寫入初始化影像信 號以將初始化影像顯示於螢幕上。之後,基於顯示於螢幕 上之初始化影像,停止從電源供應電源電位。 依據本說明書中所揭露之實施例,在驅動顯示裝置之 方法中,執行下列步驟。從電源供應電源電位以將影像顯 示於螢幕上。其次,基於保持及停止設備而供應保持及停 止信號。接著,基於顯示於螢幕上之影像,停止從電源供 應電源電位。 在上述結構中,藉由經由爲切換元件之電晶體施加電 壓於顯示元件,而顯示影像。當電力供應停止時,電性連 接顯示元件之電晶體關閉,在電力供應停止同時保持電壓 並處於浮動狀態之後,顯示元件持續顯示影像達特定時間 長度。 當顯示裝置處於開啓狀態同時電源開啓使得以供應電 力時,依據連續訊框之影像信號適當地選擇移動影像顯示 模式或靜態影像顯示模式,藉此可降低電力消耗,且顯示 裝置藉由基於以靜態影像顯示模式顯示之所欲影像的停止 設備而被置於關閉狀態,藉此顯示裝置可更方便並可具有 較高安全程度。 因此,可提供具有較高安全程度並可更方便之低電力 消耗顯示裝置,及甩以驅動該等顯示.裝置之方法。 【實施方式】 201137820 以下,將參照圖式詳細說明本發明之實施例。 ,本發明不侷限於下列說明,且熟悉本技藝之人士 理解本發明之模式及細節可以各種方式加以修改。 本發明不應解譯爲侷限於實施例之下列說明。 (實施例1 ) 在本實施例中,將參照圖1、圖2、圖3、圖4、 5B、及圖6說明顯示裝置之一模式及驅動顯示裝置 之一模式。 顯示裝置於其螢幕上顯示移動影像及靜態影像 。移動影像係指以人眼藉由快速切換以時分爲複數 獲得之複數不同影像而識別爲移動影像之影像。具 藉由每秒切換影像至少60次(60訊框),人眼察覺 閃爍之移動影像。相較於移動影像及局部移動影像 影像係指複數連續訊框例如第η訊框及第(n + 1 )訊 像所形成之影像,儘管以高速切換以時間分割爲複 所獲得之複數影像,但這些複數影像是相同的。 在依據本發明之一實施例之顯示裝置中,在顯 影像中及顯示靜態影像中分別採用移動影像顯示模 態影像顯示模式之不同顯示模式。 若爲移動影像顯示’其中連續訊框之影像信號 使用移動影像顯示模式且其中影像信號被寫入每一 間。另一方面’若爲靜態影像顯示,其中連續訊框 信號相同,使用靜態影像顯示模式其中未寫入其他 請注意 將易於 因此, 圖5A及 之方法 之組合 訊框所 體地, 具較少 ,靜態 框之影 數訊框 示移動 式及靜 不同, 訊框期 之影像 影像信 -8- 201137820 號,用於施加電壓於顯示元件之像素電極及共同電極成爲 浮動狀態,使得施加於顯示元件之電壓保持,且無進一步 電位供應而顯示靜態影像。 通常,顯示裝置之開啓狀態表示電壓施加於顯示元件 使得執行顯示之顯示狀態,反之,關閉狀態表示電壓未施 加於顯示元件使得未執行顯示之非顯示狀態。在顯示裝置 中,藉由停止信號而停止從電源供應電力,自動導致非顯 示狀態:因而,使用者無法於關閉狀態選擇所欲影像之顯 示。 依據本實施例之顯示裝置可於關閉狀態已靜態影像顯 示模式顯示靜態影像。這是因爲當使用靜態影像顯示模式 時,其中未進一步供應電位而可顯示靜態影像,甚至在停 止供應電力予顯示裝置之關閉狀態,仍可顯示影像。 當不需藉由供應另一影像信號而顯示另一影像時(當 顯示裝置將停止使用時),或當顯示於螢幕上之影像爲所 欲而暫時保持時,使用者可以螢幕上所顯示之所欲影像基 於依據本實施例之停止設備,而將顯示裝置置於關閉狀態 〇 將參照圖1中流程圖說明依據本實施例之顯示裝置。 如圖1中所描繪,影像A顯示於顯示螢幕上。當不需藉 由供應另一影像信號而顯示另一影像時,初始化及停止設 備便用於起始圖1中螢幕初始化模式(A ),其中顯示螢幕 被初始化。在移動影像顯示模式或靜態影像顯示模式中, 當選擇初始化及停止設備而輸入初始化及停止信號時,寫 -9- 201137820 入初始化影像s之影像信號(初始化影像S信號)’使得初 始化影像S顯示做爲靜態影像顯示模式之靜態影像。接著 ,當顯示初始化影像s時’藉由關閉電源而停止從電源供 應電力,導致關閉狀態。甚至在關閉狀態’保持施加於顯 示元件之電壓·,因而繼續顯示初始化影像s達特定時間長 度。預先設定初始化影像s’藉此當電源關閉達電力供應 關閉之後特定時間長度時’可顯示所欲影像。例如’初始 化影像可爲單色影像’諸如整個螢幕上白色影像或整個螢 幕上黑色影像,或可設定顯示使用者所屬組織等之標誌或 廣告商標。因此’可於無電源之關閉狀態顯示所欲影像’ 此外,可避免電源關閉前不久因於關閉狀態顯示於螢幕上 之殘影等造成之影像資料洩漏。結果,顯示裝置可以低電 力消耗(關閉狀態中無電力消耗)長時間顯示影像’並可 具有高安全程度。 另一方面,當螢幕上所顯示之影像A爲所欲而暫時保 持時,使用用於起始圖1中螢幕保持模式(B)之保持及停 止設備,其中影像A保持。當選擇保持及停止設備以輸入 保持及停止信號時,未寫入另一影像’且顯示於螢幕上之 影像A持續顯示,做爲靜態影像模式之靜態影像。接著’ 當顯示影像A時,藉由關閉電源而停止從電源供應電力’ 導致關閉狀態。甚至在關閉狀態,施加於顯示元件之電壓 保持;因而,影像A持續顯示達特定時間長度。當電源關 閉時可顯示影像,達電源關閉之後特定時間長度’使得可 識別來自影像之資訊。因而,顯示裝置可以低電力消耗( -10 - 201137820 關閉狀態中無電力消耗)長時間提供影像資訊,並可高度 方便。 請注意,不論係使用初始化及停止設備或係使用保持 及停止設備,若一訊框之影像信號於輸入初始化及停止信 號或保持及停止信號中被寫入,在訊框之影像信號的寫入 結束,及於關閉狀態中顯示之影像顯示之後,便開始靜態 影像顯示模式,其中用於施加電壓於顯示元件之像素電極 及共同電極成爲浮動狀態,使得施加於顯示元件之電壓保 持,並顯示靜態影像。 本實施例亦可用於透射式顯示裝置、反射式顯示裝置 、及半透射式顯示裝置。若透射式顯示裝置及半透射式顯 示裝置各使用諸如背光之光源,與顯示所欲影像之靜態影 像顯示模式同步,在電源關閉之後光源之驅動需達特定時 間長度。在該些狀況下,可藉由控制光源驅動之期間來設 定電源關閉之後影像顯示之期間。 在本實施例中將參照圖2、圖3、圖4、圖5 A及5 B、及 圖6說明顯示裝置之範例及驅動顯示裝置之方法範例,其 中移動影像模式及靜態影像模式切換。請注意,本說明書 中所揭露之顯示裝置及驅動顯示裝置之方法不侷限於圖2 、圖3、圖4'圖5A&5B、及圖6中所描繪。 將參照圖2中方塊圖說明顯示裝置1 00之組件。顯示裝 置1〇〇爲透射式顯示裝置或半透射式顯示裝置之範例,其 藉由利用像素中光之透射或干擾而顯示影像,顯示裝置 1〇〇包括影像處理電路110、顯示面板12〇及背光部13〇。若 201137820 爲反射式顯示裝置,使用環境光做爲光源;因而1背光部 1 30可省略。 控制信號、影像信號及電源電位係從連接顯示裝置 1 00之外部裝置供應予顯示裝置1 00。所供應者爲起始脈衝 SP及時脈信號CK做爲控制信號、影像信號Data做爲影像信 號、及高電源電位Vdd、低電源電位Vss及共同電位Vcom 做爲電源電位。藉由開啓顯示裝置之電源以開始電力之供 應而供應電源電位。 請注意,高電源電位Vdd係指高於參考電位之電位, 及低電源電位Vss係指低於或等於參考電位之電位。想要 的是每一高電源電位Vdd及低電源電位Vss爲電晶體可操作 之電位。高電P電位Vdd及低電源電位Vss有時統稱爲電源 電壓。 共同電位Vcom可爲任何電位,只要其做爲相對於供 應予像素電極之影像信號的電位參考。例如,共同電位 V c 〇 m可爲接地谓位。 影像信號D a t a可依據點反向驅動、源極線反向驅動、 閘極線反向驅動、訊框反向驅動等適當反向而輸入顯示裝 置1 〇0。若影像信號爲類比信號,影像信號可經由A/D轉換 器等轉換爲數位信號而供應予顯示裝置100,藉此可於之 後輕易地檢測影像信號之間差異,何者較佳。 將說明影像處理電路1 1 〇之組態,及影像處理電路11 0 處理信號之步驟。 影像處理電路11 〇包括記憶體電路1 π、比較器電路 -12- 201137820 112、顯示控制電路113及選擇電路115»影像處理電路110 從已輸入之影像信號Data產生顯示面板影像信號及背光信 號。顯示面板影像信號爲控制顯示面板1 2 0之影像信號’ 及背光信號爲控制背光部130之信號。 此外,控制共同電極128之信號輸出至切換兀件1^7° 記憶體電路I11包括用於儲存複數訊框之影像信號的 複數訊框記憶體。記憶體電路1 1 1中所包括之訊框記憶體 的數量未特別限制’且記億體電路1 1 1可爲可儲存複數訊 框之影像信號的元件。請注意,可使用諸如動態隨機存取 記憶體(DRAM )或靜態隨機存取記億體(SRAM )之記憶 體元件形成訊框記憶體。 訊框記憶體的數量未特別限制只要影像信號可儲存於 每一訊框期間即可。訊框記憶體之影像信號藉由比較器電 路112及顯示控制電路1 13而選擇性讀出。圖式中訊框記憶 體1 1 1 b描繪槪念上一訊框之記憶體區域。 比較器電路Π2爲一種電路’選擇性讀出記憶體電路 i i i中所儲存之連續訊框期間影像信號、比較每一像素中 連續訊框之影像信號、及檢測其差異。 依據訊框之影像信號之間是否存在差異’判斷顯示控 制電路113及選擇電路115中作業。當藉由比較器電路11 2 檢測到任一像素中訊框之間差異時(當存在差異時)’比 較器電路1 1 2判斷影像信號並非用於靜態影像’且檢測到 差異之連續訊框期間爲用於顯示移動影像之期間。 另一方面,當藉由比較比較器電路112中影像信號’ -13- 201137820 於所有像素中均未檢測到差異時(當不存在差異時),未 檢測到差異之連續訊框期間判斷爲用於顯示靜態影像之期 間。換言之,比較器電路1 1 2檢測連續訊框期間影像信號 之間差異存在與否,藉此判斷影像信號係用於顯示移動影 像或用於顯示靜態影像。 當差異超過預定位準時,藉由比較可檢測差異之存在 。可設定比較器電路112以便依據差異之絕對値檢測差異 〇 儘管在本實施例中,藉由以顯示裝置1〇〇中所提供之 比較器電路1 1 2檢測連續訊框期間影像信號之間差異而判 斷影像爲靜態影像或移動影像,可外部供應用於判斷係顯 示移動影像或靜態影像之信號。在此狀況下,用於判斷係 顯示移動影像或靜態影像之信號係直接供應予顯示控制電 路1 1 3,且顯示控制電路1 1 3控制將供應予顯示面板1 2 0之 影像信號。因而,顯示裝置1〇〇中不一定提供記憶體電路 111、比較器電路112、及選擇電路115。 選擇電路1 1 5包括例如電晶體形成之複數開關。當比 較器電路Π 2檢測到連續訊框之間差異時’即當影像爲移 動影像時,移動影像之影像信號係選自記憶體電路1 1 1中 訊框記憶體,並輸出至顯示控制電路1 1 3。 當比較器電路1 1 2未檢測到連續訊框之間差異時’即 當影像爲靜態影像,選擇電路1 1 5未輸出來自記億體電路 1 1 1中訊框記憶體之影像信號至顯示控制電路1 1 3。由於未 從訊框記憶體輸出影像信號至顯示控制電路113 ’可降低 -14 - 201137820 顯示裝置之電力消耗。 在依據本實施例之顯示裝置中’當比較器電路112判 斷影像爲靜態影像時,所執行之作業模式爲靜態影像顯示 模式,反之,當比較器電路112判斷影像爲移動影像時’ 所執行之作業模式爲移動影像顯示模式。 顯示控制電路1 1 3爲一種電路’供應藉由選擇電路1 5 所選擇之影像信號及控制信號(具體地,用於控制諸如起 始脈衝SP或時脈信號CK之控制信號之供應的供應及停止 之切換的信號)予顯示面板120’及供應背光控制信號( 具體地,用於背光控制電路1 3 1控制背光之開啓及關閉的 信號)予背光部1 3 0。 請注意,本實施例中所說明做爲範例之影像處理電路 ,可具有切換顯示模式之功能。基於所提供之切換顯示模 式之功能,顯示裝置之使用者藉由人工選擇顯示裝置之作 業模式或基於外部連接顯示裝置之裝置,而切換移動影像 顯示模式與靜態影像顯示模式之間顯示模式。 選擇電路115可依據從顯示模式切換電路輸入之信號 而輸出影像信號至顯示控制電路1 1 3。 例如,若於靜態影像顯示模式執行作業,當從顯示模 式切換電路輸入模式切換信號至選擇電路115時,選擇電 路U 5可執行一種模式,其中已輸入之影像信號相繼輸出 至顯示控制電路u 3,即移動影像顯示模式,即使比較器 電路1 1 2未檢測到連續訊框期間影像信號之間差異。同時 ,若於移動影像顯示模式執行作業,當從顯示模式切換電 -15- 201137820 路輸入模式切換信號至選擇電路115時,選擇電路115可執 行一種模式,其中僅所選擇之一訊框中影像信號輸出至顯 示控制電路1 1 3,即靜態影像顯示模式,即使比較器電路 1 1 2檢測到連續訊框期間影像信號之間差異。結果,依據 本實施例之顯示裝置顯示移動影像之一訊框,做爲靜態影 像。 顯示裝置可進一步包括光度計電路。經提供而具光度 計電路,顯示裝置可檢測顯示裝置之環境亮度。因而,連 接光度計電路之顯示控制電路113可依據從光度計電路輸 入之信號而控制用於驅動諸如背光之光源的方法。 例如,當藉由來自光度計電路之檢測而判斷顯示裝置 用於微弱光線中時,顯示控制電路113控制從背光132發射 之光的強度,使得增加顯示螢幕之有利可見性。相反地, 當判斷顯示裝置用於極亮外部光線中時(例如在曰光直射 下),顯示控制電路1 13控制從背光132發射之光的強度, 使得減少而降低背光1 32之電力消耗。 背光部1 3 0包括背光控制電路1 3 1及背光1 3 2。背光1 3 2 之組件可經選擇而依據顯示裝置1 00之使用而加以組合, 例如可使用冷陰極管、發光二極體(LED )等。藉由組合 濾色器,可執行彩色顯示。例如,背光1 3 2可經提供而具 白色發光元件(例如LED )。請注意,若RGB等發光二極 體於背光1 32中排列,及使用連續加色混合法(場序制法 )其中藉由時分而執行彩色顯示,不一定提供濾色器。用 於控制背光之電源電位及背光信號係從顯示控制電路11 3 -16- 201137820 供應予背光控制電路1 3 1。 顯示面板120包括像素部122及切換元件127。在本實 施例中,顯示面板12〇包括第一基板及第二基板。第—基 板經提供而具驅動電路部121、像素部122及切換元件127 。第二基板經提供而具共同連接部(亦稱爲共同接點)及 共同電極1 2 8 (亦稱爲相對電極)。請注意,共同連接部 與第一基板及第二基板彼此電性連接,並可提供於第—基 板之上。 複數閘極線124 (掃描線)及複數源極線125 (信號線 )係提供用於像素部1 22,且像素部1 22包括各由閘極線 124及源極線125環繞並以矩陣排列之複數像素。若說明顯 示面板1 20做爲本實施例中範例,閘極線1 24係從閘極線驅 動電路121 A延伸’及源極線125係從源極線驅動電路121B 延伸。 像素1 23包括電晶體、電容器、顯示元件、及連接電 晶體之像素電極。像素電極發送可見光。 像素1 23中所包括之電晶體具有低關閉狀態電流。當 電晶體關閉時,連接具有低關閉狀態電流之電晶體的顯示 元件及電容器中所儲存之電荷不太可能經由電晶體而洩漏 ,使得電晶體關閉之前寫入之資料可長時間維持。 有關顯示元件之範例,可提供液晶元件。例如,藉由 將液晶層夾於像素電極與共同電極之間而形成之液晶元件 面對像素電極。 有關液晶元件之範例爲一元件,其藉由液晶之光學調 -17- 201137820 變動作而控制光之透射或干擾。該元件可包括一對電極及 液晶層。請注意,液晶之光學調變動作係藉由施加於液晶 之電場(即垂直電場)而予控制。 下列爲可應用於液晶元件之液晶範例:向列液晶、膽 固醇液晶、近晶液晶、圓盤液晶、熱致液晶、溶致液晶、 低分子液晶、聚合物分散液晶(PDLC )、鐵電液晶、反 鐵電液晶、主鏈液晶、側鏈高分子液晶、及香蕉形液晶。 此外,驅動液晶之方法包括扭轉向列(TN )模式、超 級扭轉向列(STN )模式、光學補償雙折射(OCB )模式 、電控雙折射(ECB )模式、鐵電液晶(FLC )模式、反 電液晶(AFLC)模式、聚合物分散液晶(PDLC)模式、 聚合物網絡液晶(PNLC )模式、及主客模式。 驅動電路部1 2 1包括閘極線驅動電路1 2 1 A及源極線驅 動電路1 2 1 B。閘極線驅動電路1 2 1 A及源極線驅動電路 121B爲用於驅動包括複數像素之像素部122的驅動電路, 包括移位暫存器電路(亦稱爲移位暫存器)。 請注意,閘極線驅動電路1 2 1 A及源極線驅動電路1 2 1 B ,及像素部122或切換元件127可形成於相同基板或不同基 板之上。 藉由顯示控制電路Π 3控制之高電源電位Vdd、低電源 電位Vss、起始脈衝SP、時脈信號CK及影像信號Data被供 應予驅動電路部1 2 1。 端子部126爲用於供應預定信號(諸如高電源電位Vdd 、低電源電位Vss、起始脈衝SP、時脈信號CK、影像信號 -18- 201137820
Data、或共同電位Vcom)等之輸入端子,其係從影像處理 電路110中所包括之顯示控制電路113輸出至驅動電路部 121 ° 切換元件1 27依據從顯示控制電路1 1 3輸出之控制信號 ,供應共同電位Vcom予共同電極128。對切換元件127而 言,可使用電晶體。電晶體之閘極電極連接顯示控制電路 113,共同電位Vcom經由端子部126而供應予電晶體之源 極電極及汲極電極之一,及源極電極及汲極電極之另一連 接共同電極128。請注意,切換元件127及驅動電路部121 或像素部122可形成於相同基板或不同基板之上。 共同連接部使共同電極128及連接切換元件127之源極 電極或汲極電極的端子彼此電性連接。 有關共同連接部之具體範例,可使用以薄金屬膜包覆 絕緣球之導電粒子,使得以電性連接。請注意,第一基板 及第二基板可經提供而具複數共同連接部。 提供共同電極1 28以便面對像素部1 22中複數像素電極 ,且液晶層插於其間。此外,共同電極128及像素部122中 所包括之像素電極可具有各類開口型樣。 其次,將參照圖3中所描繪之等效電路圖說明像素部 122中所包括之像素123之組態。 像素123包括電晶體214、顯示元件215及電容器210。 在本實施例中,液晶元件用做顯示元件2 1 5。液晶元件係 以下列方式形成,即液晶層係提供於第一基板上之像素電 極與第二基板之上的共同電極128之間。 -19- 201137820 電晶體2 1 4之閘極電極連接像素部中所提供之複數閘 極線124之一,電晶體214之源極電極及汲極電極之一連接 複數源極線125之一,及電晶體214之源極電極及汲極電極 之另一連接電容器21〇之電極之一及顯示元件215之電極之 —— 〇 有關電晶體2 1 4,使用具有較低關閉狀態電流之電晶 體。當電晶體2 1 4關閉時,連接具有較低關閉狀態電流之 電晶體214的顯示元件215及電容器210中所儲存之電荷極 不可能經由關閉之電晶體214洩漏,使得於電晶體214關閉 之前寫入之資料可長時間維持。 基於此等結構,電容器210可保持施加於顯示元件215 之電壓。請注意,不一定提供電容器210。電容器210之電 極可連接分別提供之電容器線。 使用切換元件之一模式之電晶體的切換元件127之源 極電極及汲極電極之一連接電容器210之另一電極及顯示 元件215之另一電極,其未連接電晶體214,且切換元件 127之源極電極及汲極電極之另一經由共同連接部而連接 端子126B。切換元件127之閘極電極連接端子126A。 其次,將參照圖3中等效電路圖及圖4中時序圖說明供 應予像素之信號狀態。 圖4描繪時脈信號GCK及起始脈衝GSP,其藉由顯示控 制電路1 1 3而供應予閘極線驅動電路1 2 1 A。圖4亦描繪時脈 信號SCK及起始脈衝SSK,其藉由顯示控制電路1 13而供應 予源極線驅動電路1 2 1 B。爲說明每一時脈信號之輸出時機 -20- 201137820 ,時脈信號之波形係以簡單的方波描繪。 此外,圖4描繪源極線125之電位、像素電極之電位、 端子126A之電位、端子126B之電位、及共同電極之電位。 在圖4中,期間1401相應於顯示移動影像之影像信號 寫入期間。在期間1 40 1中,執行作業使得影像信號及共同 電位分別供應予像素部1 22及共同電極中像素。 此外,期間1 402相應於顯示靜態影像之期間。在期間 i 402中,至像素部122中像素之影像信號的供應及至共同 電極之共同電位的供應停止。請注意,圖4中期間1 402供 應每一信號使得驅動電路部之作業停止;然而,較佳的是 避免依據期間1 402之長度及刷新率而藉由定期寫入影像信 號之靜態影像的惡化。 首先,將說明期間1401中時序圖。在期間1401中’全 時供應時脈信號GCK ;依據垂直同步頻率而供應起始脈衝 GSP ;全時供應時脈信號SCK ;及依據一閘極選擇期間而 供應起始脈衝SSP。 此外,影像信號Data經由源極線1 25而供應予每一列 之像素,及源極線125之電位依據閘極線124之電位而供應 予像素電極。 此外,顯示控制電路1 13供應切換電晶體127開啓之電 位予切換元件127之端子126A,及經由端子126B而供應共 同電位予共同電極。 另一方面,期間1 402爲顯示靜態影像之期間。將說明 期間1 402中時序圖。在期間1 402中,時脈信號GCK、起始 -21 - 201137820 脈衝GSP、時脈信號SCK及起始脈衝SSP之供應停止;及已 供應予源極線125之影像信號Data之供應亦停止。在期間 1402,時脈信號GCK及起始脈衝GSP之供應停止,電晶體 2 1 4關閉及像素電極處於浮動狀態。 此外,顯示控制電路1 1 3供應切換電晶體1 27關閉之電 位予切換電晶體127之端子12 6A,使得共同電極成爲浮動 狀態。 在期間1 402中,顯示元件21 5之兩電極,即像素電極 及共同電極成爲浮動狀態:因而,可顯示靜態影像而未進 一步供應電位。 此外,至閘極線驅動電路1 2 1 A及源極線驅動電路1 2 1 B 之時脈信號及起始脈衝的供應停止,藉此可達成低電力消 耗。 尤其,藉由使用具有較低關閉狀態電流之電晶體用做 電晶體214及切換元件127之每一者,可抑制施加於顯示元 件2 1 5之二電極的電壓隨時間降低。 其次,將參照圖5 A及5 B說明移動影像切換爲靜態影像 之期間(圖4中期間1 403 )及靜態影像切換爲移動影像之 期間(圖4中期間1404) ’顯不控制電路之作業。圖5A及 5B顯示高電源電位Vdd、時脈信號(此處爲GCK)、起始 脈衝信號(此處爲GSP)及端子126A之電位,其均爲從顯 示控制電路輸出之信號。 圖5A顯示移動影像切換爲靜態影像之期間1403中顯示 控制電路之作業。顯示控制電路停止起始脈衝G S P之供應 -22- 201137820 (圖5A中El,第一步驟)。其次,在脈衝輸出達到移位暫 存器之末級之後,複數時脈信號GCK之供應停止(圖5A中 E2 ’第二步驟)。接著’電源電壓之高電源電位Vdd改變 爲低電源電位Vss (圖5A中E3,第三步驟)。之後,端子 126A之電位改變爲切換電晶體127關閉之電位(圖5A中E4 ,第四步驟)。 經由上述步驟,可停止供應信號予驅動電路部1 2丨而 無驅動電路部1 2 1之故障。當移動影像切換爲靜態影像時 之故障產生雜訊,且雜訊保持做爲靜態影像;因而,顯示 裝置經提供而具不太可能故障之顯示控制電路,可顯示幾 乎不惡化之靜態影像。 其次,圖5B顯示靜態影像切換爲移動影像之期間14〇4 中顯示控制電路之作業。基於顯示控制電路,端子1 26 A之 電位改變爲切換電晶體1 2 7開啓之電位(圖5 B中S 1,第一 步驟)。接著,電源電壓從低電源電位Vss改變爲高電源 電位Vdd (圖5B中S2,第二步驟)。之後,供應高電位做 爲時脈信號GCK,接著供應複數時脈信號GCK (圖5B中S3 ,第三步驟)。其次,供應起始脈衝信號GSP (圖5B中S4 ,第四步驟)。 經由上述步驟,重新起始至驅動電路部121之信號供 應而無驅動電路部1 2 1之故障。佈線之電位相繼改變回顯 示移動影像時之狀況,藉此可驅動驅動電路部而無故障。 圖6示意地顯示顯示移動影像之期間6 0 1及顯示靜態影 像之期間6〇2中’訊框期間中影像信號的寫入頻率。在圖6 -23- 201137820 中,「W」表示影像信號寫入期間,及「Η」表示影像信 號保持期間。此外,期間603爲圖6中一訊框期間;然而’ 期間603可爲不同期間。 因而,在依據本實施例之顯示裝置的結構中,期間 602中所示之靜態影像的影像信號於期間604中寫入,及期 間604中寫入之影像信號係於期間602中另一期間保持。 在本實施例中說明做爲範例之顯示裝置中,可降低顯 示靜態影像期間影像信號的寫入頻率。結果’可降低顯示 靜態影像時之電力消耗。 若藉由重寫相同影像複數次而顯示靜態影像,人眼可 識別影像切換,其導致眼睛疲勞。由於在依據本實施例之 顯示裝置中影像信號之寫入頻率降低,眼睛疲勞可較不嚴 重。 尤其在依據本Κ施例之顯示裝置中,像素中提供各具 有較低關閉狀態電流之電晶體,並用於共同電極之切換元 件,使得電壓可保持於儲存電容器中達較長期間(時間) 。因而,可顯著降低影像信號之寫入頻率,導致顯示靜態 影像時電力消耗大幅降低,且眼睛疲勞相當低。 如上述,當顯示裝置處於開啓狀態時,其中電源開啓 使得以供應電力,適當依據連續訊框之影像信號選擇移動 影像顯示模式或靜態.影像顯示模式’藉此可降低電力消耗 ,且藉由具靜態影像顯示模式中所示之所欲影像的停止設 備,顯示裝置置於關閉狀態’藉此可改進安全程度及方便 程度》 -24- 201137820 因此,顯示裝置可更方便及低電力消耗,並可提供驅 動該等顯示裝置之方法。 (實施例2 ) 在本實施例中,將說明可應用於本說明書中所揭露之 顯示裝置之電晶體的另一範例。可應用於本說明書中所揭 露之顯示裝置之電晶體的結構無特別限制,例如可使用諸 如交錯結構或平面結構之頂閘結構或底閘結構。電晶體可 具有形成一通道形成區之單閘極結構、形成二通道形成區 之雙閘極結構、或形成三通道形成區之三閘極結構。另一 方面,電晶體可具有包括提供於通道區之上及之下之二閘 極電極層的雙重閘極結構,並具閘極絕緣層提供其間。圖 7A至7D描繪電晶體之截面結構的範例。圖7A至7D中所描 繪之電晶體各包括氧化物半導體做爲半導體。使用氧化物 半導體之優點爲可以相對簡單及低溫程序獲得高移動率及 低關閉狀態電流;然而,不用說可使用另一半導體。 圖7A中所描繪之電晶體410爲底閘薄膜電晶體之一, 亦稱爲反向交錯薄膜電晶體。 電晶體410於具有絕緣表面之基板400之上包括閘極電 極層401、閘極絕緣層4〇2、氧化物半導體層403、源極電 極層405a及汲極電極層405b。覆蓋電晶體410之絕緣層40 7 堆疊於氧化物半導體層403之上。保護絕緣層409係形成於 絕緣層4 0 7之上。 圖7B中所描繪之電晶體420爲稱爲通道保護電晶體( -25- 201137820 通道停止電晶體)亦稱爲反向交錯薄膜電晶體之底閘電晶 體之一。 電晶體420於具有絕緣表面之基板400之上包括閘極電 極層401'閘極絕緣層402、氧化物半導體層4 03、做爲通 道保護層覆蓋氧化物半導體層40 3之通道形成區的絕緣層 427、源極電極層405a、及汲極電極層405b。保護絕緣層 4〇9經形成以覆蓋電晶體420。 圖7C中所描繪之電晶體430爲底閘薄膜電晶體,於具 有絕緣表面之基板的基板400之上包括閘極電極層401、閘 極絕緣層402、源極電極層405a、汲極電極層405b及氧化 物半導體層403。此外,絕緣層407經提供以覆蓋電晶體 430,並接觸氧化物半導體層403。保護絕緣層409係形成 於絕緣層407之上。 在電晶體43 0中,閘極絕緣層402係提供於基板400及 閘極電極層401之上,並與其接觸;且源極電極層405 a及 汲極電極層405b係提供於閘極絕緣層402之上,並與其接 觸。此外,氧化物半導體層403係提供於閘極絕緣層402、 源極電極層405a及汲極電極層405b之上。 圖7D中所描繪之薄膜電晶體440爲頂閘薄膜電晶體之 —。電晶體440於具有絕緣表面之基板400之上包括絕緣層 43 7、氧化物半導體層403、源極電極層405 a、汲極電極層 4 0 5 b、閘極絕緣層4 0 2及閘極電極層4 0 1。佈線層4 3 6 a及佈 線層43 6b經提供而分別接觸及電性連接源極電極層40 5 a及 汲極電極層405b ^ -26- 201137820 在本實施例中,如上述,氧化物半導體層403用做半 導體層。有關用於氧化物半導體層40 3之氧化物半導體, 可使用諸如In-Sn-Ga-Zn-O基氧化物半導體之四金屬元素 氧化物;諸如In-Ga-Ζη-Ο基氧化物半導體、In-Sn-Zn-Ο基 氧化物半導體、In-Al-Zn-O基氧化物半導體、Sn-Ga-Zn-0 基氧化物半導體、Al-Ga-Zn-0基氧化物半導體或Sn-Al-Zn-〇基氧化物半導體之三金屬元素氧化物;或諸如Ιη-Ζπ-0基 氧化物半導體、Sn-Zn-Ο基氧化物半導體、Al-Ζη-Ο基氧化 物半導體、Zn-Mg-Ο基氧化物半導體、Sn-Mg-Ο基氧化物 半導體或In-Mg-Ο基氧化物半導體之二金屬元素氧化物; In-Ο基氧化物半導體;Sn-O基氧化物半導體;或Ζη-0基氧 化物半導體。此外,Si02可包含於上述氧化物半導體中。 此處,例如In-Ga-Zn-O基氧化物半導體爲包含至少In、Ga 及Zn之氧化物,對其組成比例並無特別限制。此外,In-Ga-Ζη-Ο基氧化物半導體可包含In、Ga及Zn以外元素。 對氧化物半導體層403而言,可使用以化學式ΙπΜ03 ( ZnO ) m ( m>0 )表示之薄膜。此處,Μ代表選自Ga、Α1、 Μη及Co之一或多項金屬元素。例如,Μ可爲Ga、Ga及A1 、Ga 及 Μη、Ga 及 Co 等。 在電晶體410、420、430及440中,各包括氧化物半導 體層403,可降低關閉狀態中電流値(關閉狀態電流値) 。因此,諸如影像信號之電氣信號可保持較長時間,使得 寫入間隔可設定較長。因此,可降低刷新作業之頻率,此 導致抑制電力消耗之效果。 -27- 201137820 再者,可顯示靜態影像同時電源關閉之期間可較長, 導致改進不便。 此外,在電晶體410、420、430及440中,各包括氧化 物半導體層403,可獲得相對高場效移動率,藉此可高速 作業。因此,藉由使用顯示裝置之像素部中任一電晶體, 可抑制分色及可提供高品質影像。由於電路部及像素部中 電晶體可分別形成於一基板之上,可降低顯示裝置之組件 數量。 儘管對用於具有絕緣表面之基板400之基板無特別限 制,可使用鋇硼矽酸鹽玻璃、鋁硼矽酸鹽玻璃等玻璃基板 〇 在底閘電晶體410、420及430中,做爲基膜之絕緣膜 可提供於基板與閘極電極層之間。基膜具有避免雜質元素 從基板擴散之功能,並可使用選自氮化矽膜、氧化矽膜、 氮氧化矽膜及氧氮化矽膜的一或多項膜而形成具有單層或 層級結構。 閘極電極層401可使用諸如鉬、鈦、鉻、钽、鎢、錦 、銅、銨或銃之金屬材料,或包含該些材料之任一項做爲 其主要成分之合金材料,而形成具有單層或層級結構。 閘極絕緣層4〇2可使用氧化矽層、氮化矽層、氧氮化 砂層、氮氧化砂層、氧化銘.層、氮化銘層、氧氮化銘層、 氮氧化鋁層及氧化給層之任一項,藉由電漿CVD法、濺鍍 法等而形成具有單層或層級結構。例如,藉由電漿CVD法 ,形成具50 nm至200 nm (含)厚度之氮化矽層(SiNy ( -28- 201137820 y>〇))做爲第一閘極絕緣層,及於第一閘極絕緣層之上 形成具5 nm至300 nm (含)厚度之氧化矽層(SiOx(x>〇 ))做爲第二閘極絕緣層,使得以形成具200 urn總厚度之 閘極絕緣層。 用於源極電極層405a及汲極電極層405b之導電膜可使 用選自Al、Cr、Cu、Ta、Ti、Mo及W之元素、包含該些元 素之任一項之合金膜、包含該些元素之任一項之組合之合 金膜等,予以形成。另一方面,可使用一種結構其中Ti、 Mo、W等高熔點金屬層係提供於Al、Cu等金屬層之上及/ 或之下。此外,藉由使用添加元素(Si、Nd、Sc等)之A1 材料,此可避免A1膜中產生凸起或晶鬚,可增加耐熱性。 可將類似於源極電極層405 a及汲極電極層405b之材料 用於導電膜,諸如分別連接源極電極層40 5 a及汲極電極層 4〇5b之佈線層4 3 6a及佈線層43 6b。 另一方面,可使用導電金屬氧化物形成將成爲源極電 極層405a及汲極電極層405b (包括於與源極及汲極電極層 相同層中形成之佈線層)之導電膜。有關導電金屬氧化物 ,可使用氧化銦(Ιη203 )、氧化錫(Sn02 )、氧化鋅( ZnO) '氧化姻-氧化錫合金(In2〇3-Sn〇2,縮寫爲ITO) 、氧化銦-氧化鋅合金(Ιη203-Ζη0 )、或包含氧化矽之任 ~項該些金屬氧化物材料。 有關絕緣層407、427及437之每一項,典型地可使用 無機絕緣膜,諸如氧化矽膜、氧氮化矽膜、氧化鋁膜、或 氧氮化鋁膜。 -29 ~ 201137820 有關保護絕緣層409,可使用無機絕緣膜,諸如氮化 矽膜、氮化鋁膜、氮氧化矽膜、或氮氧化鋁膜。 此外,平坦化絕緣膜可形成於保護絕緣層409之上, 以便降低因電晶體之表面不平坦。有關平坦化絕緣膜,可 使用諸如聚醯亞胺、丙烯酸或苯並環丁烯之有機材料。除 了該等有機材料之外,亦可使用低介電常數材料(低k材 料)等。請注意,平坦化絕緣膜可藉由堆疊使用該些材料 之任一項形成之複數絕緣膜而予形成。 因而,本實施例中藉由使用包括具有小關閉狀態電流 値之氧化物半導體層的電晶體,顯示裝置消耗較小電量, 可以關閉狀態顯示所欲影像,因而可高度方便》 (實施例3 ) 在本實施例中,將參照圖8A至8 E詳細說明包括氧化物 半導體層之電晶體的範例,及用於製造包括氧化物半導體 層之電晶體之方法的範例。與上述實施例相同部分,及具 有類似於上述實施例中功能之部分及類似於上述實施例中 步驟,可如同上述實施例中處理,並省略重複說明。此外 ,相同部分之詳細說明未重複。 圖8A至8E描繪電晶體之截面結構範例。圖8A至8£中 所描繪之電晶體5 1 0爲底閘反向家錯薄膜電晶體,其類似 於圖7A中所描繪之電晶體410。 本實施例中用於半導體層之氧化物半導體爲i型(本 質)或實質上i型(本質)氧化物半導體。i型(本質)或 -30- 201137820 實質上i型(本質)氧化物半導體係以下列方式獲得,即 從氧化物半導體移除η型雜質之氫,且氧化物半導體被高 度純化以便包含盡可能少之非氧化物半導體主要成分之雜 質。換言之,高度純化i型(本質)半導體或接近之半導 體並非藉由添加雜質而係藉由盡可能降低諸如氫或水之雜 質,而予獲得。因而,電晶體510中所包括之氧化物半導 體層爲高度純化並成爲電氣i型(本質)之氧化物半導體 層。 此外,純化氧化物半導體包括極少載子(接近零)’ 且其載子濃度爲低於1 X 1 0 1 4/cm3,較佳地爲低於1 X 1 〇 12 /cm3,更佳地爲低於lxl〇"/cm3。 由於氧化物半導體包括極少載子’電晶體中關閉狀態 電流可降低。關閉狀態電流量愈小愈好。 具體地,在包括氧化物半導體層之電晶體中’室溫下 每微米通道寬度之關閉狀態電流密度可爲小於或等於1 0 aA/μιη ( 1χ1(Γ17 Α/μιη ),進一步爲小於或等於 1 aA/μιη ( 1Χ10-18 Α/μηι),更進一步爲小於或等於 1〇 ζΑ/μηι ( lxl(r2Q Α/ μπι )。 當關閉狀態之電流値(關閉狀態電流値)極小之電晶 體用做實施例1之像素部中電晶體時’可以少的影像資料 寫入次數來執行靜態影像區中刷新作業。 此外,在包括氧化物半導體層之電晶體5 1 0中’幾乎 觀察不到開啓狀態電流之溫度相依性,且關閉狀態電流保 持極低。 -31 - 201137820 以下將參照圖8A至8E說明基板505之上製造電晶體510 之步驟。 首先,於具有絕緣表面之基板5 05之上形成導電膜, 接著經由第一光刻程序而形成閘極電極層5 1 1。請注意, 可藉由噴墨法形成抗蝕罩。藉由噴墨法形成抗蝕罩不需光 罩;因而,可降低製造成本。 有關具有絕緣表面之基板5 05,可使用類似於實施例2 中所說明之基板400的基板》在本實施例中,玻璃基板用 做基板505。 基板505與閘極電極層5 1 1之間可提供做爲基膜之絕緣 膜。基膜具有避免雜質元素從基板5 05擴散之功能,並可 使用選自氮化矽膜、氧化矽膜、氮氧化矽膜及氧氮化矽膜 之一或多項膜而形成具有單層或層級結構。 閘極電極曆5 1 1可使用諸如鉬、鈦、鉬、鎢、鋁、銅 、鈸或航之金屬材料,或包含該些材料之任一項做爲其主 要成分之合金材料,而形成具有單層或層級結構。 接著,閘極絕緣層5 07係形成於閘極電極層511之上。 閘極絕緣層507可使用氧化砂層、氮化砂層、氧氮化砂層 、氮氧化矽層、氧化鋁層、氮化鋁層、氧氮化鋁層、氮氧 化鋁層、及氧化給層之任一項,藉由電漿CVD法、濺鍍法 等而形成具有單層或層級結構。 有關本實施例中氧化物半導體層,使用藉由移除雜質 而成爲i型或實質上i型之氧化物半導體。該等高度純化氧 化物半導體極易受到介面位準或介面電荷影響;因此,氧 -32- 201137820 化物半導體層與閘極絕緣層之間介面是重要的。爲此原因 ,接觸高度純化氧化物半導體之閘極絕緣層需具有高品質 〇 例如,較佳地使用使用微波(具例如2 · 4 5 G Η Z之頻率 )之高密度電漿CVD法,因爲可形成密集且具有高耐受電 壓及高品質之絕緣膜。當高度純化氧化物半導體及高品質 閘極絕緣層彼此緊密接觸時,可降低介面位準,且介面特 性可爲有利的。 不用說可使用另一膜形成法,諸如濺鍍法或電漿CVD 法,只要可形成高品質絕緣層做爲閘極絕緣層即可。再者 ,可形成絕緣層其品質及與氧化物半導體之介面特性經由 於絕緣層形成之後執行之熱處理而予改進。無論如何,形 成絕緣層其具有有利的品質做爲閘極絕緣層,並可降低與 氧化物半導體之介面狀態密度以形成有利的介面。 此外,爲使閘極絕緣層507及氧化物半導體膜5 3 0盡可 能少包含氫、烴基及濕氣,較佳的是其上形成閘極電極層 511之基板505,或其上形成直至包括閘極絕緣層507之層 的基板5 05,於濺鑛設備之預熱室中執行預熱,做爲氧化 物半導體膜53 0之形成的預處理,使得吸附至基板505之諸 如氫及濕氣之雜質排除及排空。有關預熱室中所提供之排 空設備,低溫泵較佳。請注意,此預熱處理可省略。此預 熱步驟於絕緣層5 1 6形成之前,可類似地於其上形成直至 包括源極電極層515a及汲極電極層515b之層的基板505上 執行。 -33- 201137820 其次,於閘極絕緣層507之上形成具有2 nm至200 nm (含)厚度之氧化物半導體膜5 3 0,較佳地爲5 nm至30 nm (含)(詳圖8A)。 請注意,在藉由濺鍍法形成氧化物半導體膜530之前 ,較佳地藉由導入氬氣並產生電漿之反向濺鍍移除附著於 閘極絕緣層507表面之粉狀物質(亦稱爲粒子或灰塵)。 反向濺鍍係指一種方法,其中未施加電壓於靶材側,RF電 源用於在氬氣中施加電壓於基板側,而於基板附近產生電 漿以修改表面。請注意,除了氬氣之外,可使用氮氣、氦 氣、氧氣等。 有關用於氧化物半導體膜530之氧化物半導體,可使 用實施例2中所說明之氧化物半導體,諸如四金屬元素氧 化物、三金屬元素氧化物、二金屬元素氧化物、In-Ο基氧 化物半導體、Sn-O基氧化物半導體、或Ζη-0基氧化物半導 體。此外,Si02可包含於上述氧化物半導體中。在本實施 例中’以In-Ga-Zn-Ο基金屬氧化物靶材藉由濺鍍法而形成 氧化物半導體膜53 0。此階段之截面圖相應於圖8A。另一 方面’氧化物半導體膜53 0可藉由濺鍍法於稀有氣體(典 型爲氬)、氧氣、或稀有氣體及氧之混合氣體中予以形成 〇 有關藉由濺鍍法用於形成氧化物半導體膜530之靶材 ’例如可使用具下列組成比例之靶材:ln203 : Ga203 : Ζ η Ο之組成比例爲1 : 1 : 1 [摩爾比](即I n : g a : Z η = 1 : 1 :0.5[原子比])。另一方面,可使用具下列組成比例之靶 -34- 201137820 材:In : Ga : Zn之組成比例爲1 : 1 : 1 [原子比]或1 : 1 : 2[ 原子比]。金屬氧化物靶材之塡充率爲90%至100% (含) ,較佳地爲95%至99.9% (含)。使用具高塡充率之金屬氧 化物靶材,形成密集氧化物半導體膜。 較佳的是諸如氫、水、烴基及氫化物之雜質移除之高 純度氣體用做用於形成氧化物半導體膜53 0之濺鍍氣體》 基板被置於保持減壓之沉積室中,基板溫度設定爲 l〇〇°C至600°C (含),較佳地爲200°C至400°C (含)。執 行沉積同時加熱基板,藉此可降低所形成之氧化物半導體 層中所包含之雜質濃度。此外,可降低因濺鍍之損害。接 著,氫及濕氣移除之濺鏟氣體導入剩餘濕氣移除之沉積室 ,及使用靶材於基板5 05之上形成氧化物半導體膜53 0。爲 移除沉積室中剩餘濕氣,較佳地使用截留型真空泵,諸如 低溫泵、離子泵或鈦昇華泵。此外,排空設備可爲經提供 而具冷阱之渦輪泵。在以低溫泵排空之沉積室中,移除氫 原子、諸如水(H20 )之包含氫原子之化合物(更佳地連 同包含碳原子之化合物)等,藉此可降低沉積室中所形成 之氧化物半導體膜中雜質濃度。 沉積狀況之範例如下:基板與靶材之間距離爲1 〇〇 mm ,壓力爲〇·6 Pa,直流(DC)電力爲0.5 kW,及氣體爲氧 氣(氧之流率爲1 〇〇 % )。請注意,脈衝直流電源較佳, 因爲可降低沉積中所產生之粉狀物質(亦稱爲粒子或灰塵 ),且膜厚度可均勻。 其次,氧化物半導體膜5 3 0經由第二光刻程序而被處 -35- 201137820 理爲島形氧化物半導體層。用於形成島形氧化物半導體層 之抗蝕罩可藉由噴墨法予以形成。藉由噴墨法形成抗蝕罩 不需光罩;因而,可降低製造成本。 若於閘極絕緣層5 07中形成接觸孔,可以與氧化物半 導體膜53 0之處理同時執行形成接觸孔之步驟。 對於氧化物半導體膜530之蝕刻而言,可使用濕式蝕 刻及乾式蝕刻之一或二者。有關用於氧化物半導體膜530 之濕式蝕刻之蝕刻劑,可使用例如磷酸、乙酸及硝酸之混 合溶液,或氫氧化鞍-過氧化氫混合物(3 1重量%過氧化氫 溶液:28重量%氨水:水=5 : 2 : 2 )。此外,亦可使用 ITO07N ( ΚΑΝΤΟ CHEMICAL CO.,INC.製造)。 其次,於氧化物半導體曆上執行第一熱處理。經由第 —熱處理氧化物半導體層可脫水或脫氫。第一熱處理之溫 度爲400°C至75 0 °C (含)或高於或等於400°C,及低於基 板之應變點。此處,基板被置入一種熱處理設備之電熔爐 ,並以450 °C於氮氣中在氧化物半導體層上執行熱處理達 一小時,接著氧化物半導體層未曝露於空氣,使得以避免 水及氫進入氧化物半導體層;因而,獲得氧化物半導體層 53 1 (詳圖 8B )。 請注意,熱處理設備不侷限於電熔爐,而是可包括一 種裝置,用於藉由來自諸如電阻加熱元件等之加熱元件的 熱傳導或熱輻射而加熱將處理之目標。例如,可使用快速 熱退火(RTA )設備,諸如氣體快速熱退火(GRTA )設 備或LRTA (燈快速熱退火)設備。LRTA設備爲一種設備 -36- 201137820 ,用於藉由自諸如鹵素燈、金屬鹵化物燈、氙弧燈、 燈、高壓鈉燈或高壓水銀燈之燈所發射光的輻射(電 )而加熱將處理之目標。GRTA設備爲用於使用高溫 而熱處理之設備。有關該高溫氣體,係使用未於熱處 與將處理之目標反應之惰性氣體,諸如氮,或氬之稀 體。 例如,有關第一熱處理,可執行GRTA,其中基 移入加熱至65(TC至7 00 °C高溫之惰性氣體,加熱達若 鐘,並移出加熱至高溫之惰性氣體。 請注意,在第一熱處理中,較佳的是氮或諸如氦 或氬之稀有氣體中未包含水、氫等。較佳的是被導入 理設備之氮或諸如氦、氖或氬之稀有氣體之純度可設 6N ( 99.9999%)或更高,較佳地爲 7N ( 99.99999%) 局(即’雜質濃度被設疋爲1 ppm或更低,較佳地. ppm或更低)。 此外,在氧化物半導體層於第一熱處理中加熱之 高純度氧氣、高純度N20氣體、或極乾燥空氣(具有 或更低之露點,較佳地爲-6 0 °C或更低)可導入相同 。較佳的是氧氣或N20氣體中未包含水、氫等。導入 理設備之氧氣或N20氣體的純度較佳地爲6N或更高, 地爲7N或更高(即氧氣或N20氣體中雜質之濃度較佳 1 ppm或更低’更佳地爲0.1 ppm或更低)。藉由氧 N20氣體之作用而供應氧,其係氧化物半導體中所包 主要成分並於藉由脫水或脫氫移除雜質之步驟同時 碳弧 磁波 氣體 理中 有氣 板被 干分 ' % 熱處 定爲 或更 爲0 _ 1 後, -40°C 熔爐 熱處 更佳 地爲 氣或 含之 低, -37- 201137820 使得氧化物半導體層可爲高度純化及電氣i型(本質)氧 化物半導體。 氧化物半導體層之第一熱處理可於未被處理爲島形氧 化物半導體層之氧化物半導體膜53 0上執行。在此狀況下 ,基板於第一熱處理之後被取出加熱設備,接著執行光刻 程序。 請注意,除了上述時機之外,第一熱處理可於任一下 列時機執行,只要係氧化物半導體層沉積之後即可:於源 極電極層及汲極電極層形成於氧化物半導體層上之後:及 絕緣層形成於源極電極層及汲極電極層上之後。 此外,可於第一熱處理於半導體膜53 0之上執行之前 或之後,執行於閘極絕緣層5 07中形成接觸孔之步驟。 此外,有關氧化物半導體層,具有大厚度之結晶區( 單晶區),即其c軸垂直於膜表面對齊之結晶區之氧化物 半導體層,可藉由執行沉積兩次及執行熱處理兩次而予形 成,無關乎使用之基底成分材料’諸如氧化物、氮化物或 金屬。例如,形成具3 nm至1 5 nm (含)厚度之第一氧化 物半導體膜,於氮、氧、稀有氣體或乾燥空氣中以45 0 °C 至8 50°C (含)之溫度執行第—熱處理,較佳地爲5 50°C至 7 5 0 °C (含),使得於包括表面之區域中形成具有結晶區 (包括片狀晶體)之第—氧化物半導體膜。接著,形成具. 有較第一氧化物半導體膜更大厚度之第二氧化物半導體膜 ,並以450 °C至850 °C (含)之溫度執行第二熱處理’較佳 地爲6 0 0 °C至7 〇 〇 °C (含),使得使用第一氧化物半導體膜 -38- 201137820 做爲晶體生長之晶種,而晶體向上升長,因而整個第二氧 化物半導體膜結晶。以此方式,可形成具有大厚度之結晶 區的氧化物半導體層。 其次,做爲源極及汲極電極層之導電膜(包括與源極 及汲極電極層相同層中所形成之佈線)形成於閘極絕緣層 507及氧化物半導體層531之上。對做爲源極及汲極電極層 之導電膜而言,可使用用於實施例2中所說明之源極電極 層405a及汲極電極層405b的材料。 經由第三光刻程序,於導電膜之上形成抗蝕罩,並執 行選擇性蝕刻,使得以形成源極電極層5 1 5a及汲極電極層 515b。之後,移除抗蝕罩(詳圖8C)。 於第三光刻程序中形成抗蝕罩之曝光,可使用紫外光 、KrF雷射光或ArF雷射光予以執行。之後將完成之電晶體 的通道長度L,係藉由氧化物半導體層531上彼此相鄰的源 極電極層之下緣與汲極電極層之下緣之間之距離而予決定 。若執行短於25 nm之通道長度L的曝光,第三光刻步驟中 抗蝕罩形成時之曝光,可使用具有若干奈米至數十奈米之 極短波長的遠紫外光來執行。使用遠紫外光之曝光,導致 高解析度及大深度聚焦。因而,之後將完成之電晶體之通 道長度L,可爲10 nm至1000 nm (含),並可增加電路之 作業速度。 爲減少用於光刻程序中光罩之數量及減少光刻程序之 數量,可使用多色調遮罩來執行蝕刻步驟,多色調遮罩爲 曝光遮罩,光透射此以便具有複數強度。由於使用多色調 -39- 201137820 遮罩形成之抗蝕罩具有複數厚度,並可藉由執行蝕刻而改 變形狀;因此,抗蝕罩可用於複數蝕刻步驟而處理爲不同 型樣。因此,可以一多色調遮罩而形成相應於至少二或更 多種不同型樣之抗蝕罩。因而,可減少曝光遮罩之數量, 亦可減少相應光刻程序之數量,藉此可體現製造程序之簡 化。 請注意,想望蝕刻狀況最佳化,使得當蝕刻導電膜時 氧化物半導體層53 1不被蝕刻及劃分。然而,難以獲得僅 導電膜蝕刻而氧化物半導體層53 1 —點都未蝕刻之蝕刻狀 況。有時,當導電膜蝕刻時,僅部分氧化物半導體層531 被蝕刻爲具有槽部(凹部)之氧化物半導體層。 在本實施例中,由於Ti膜用做導電膜及In-Ga-Zn-O基 氧化物半導體用做氧化物半導體層531,氫氧化銨-過氧化 氫混合物(31重量%過氧化氫溶液:28重量%氨水:水=5 :2 : 2 )用做蝕刻劑。 其次,經由使用諸如N20、比或Ar之氣體的電漿處理 ,可移除氧化物半導體層之暴露部分表面所吸附之水等。 若執行電漿處理,形成絕緣層5 1 6而未暴露於空氣,做爲 保護絕緣膜並接觸氧化物半導體層之一部分。 絕緣層5 1 6可適當地藉由一種方法,諸如濺鍍法,而 形成爲至少1 nm厚度,藉此諸如水或氫之雜質不進入絕緣 層5 1 6。當絕緣層5 1 6中包含氫時,可發生氫進入氧化物半 導體層,或藉由氫而提取氧化物半導體層中氧,藉此造成 氧化物半導體層之反向通道,而具有較低電阻(成爲η型 -40- 201137820 ),使得以形成寄生通道。因此’重要的是使用其中不使 用氫之沉積方法’以便形成包含盡可能少之氫的絕緣層 516 〇 在本實施例中,藉由濺鍍法形成200 nm厚度之氧化矽 膜,做爲絕緣層516。沉積中基板溫度可爲高於或等於室 溫及低於或等於3〇〇°C,本實施例中爲100°C。可於稀有氣 體(典型爲氬)、氧氣、或包含稀有氣體及氧之混合氣體 中,藉由濺鍍法而形成氧化矽膜。有關靶材,可使用氧化 矽靶材或矽靶材。例如,可使用矽靶材藉由濺鏟法於包含 氧之氣體中形成氧化矽膜。有關經形成而接觸氧化物半導 體層之絕緣層516,使用不包含諸如濕氣、氫離子及OPT之 雜質及阻止其從外部進入之無機絕緣膜。典型地,使用氧 化矽膜、氧氮化矽膜、氧化鋁膜、氧氮化鋁膜等。 若形成氧化物半導體膜5 3 0,爲移除絕緣層5 1 6之沉積 室中剩餘濕氣,較佳地使用截留型真空泵(諸如低溫泵) 。當使用低溫泵排空沉積室中所形成之絕緣層5 1 6時,可 降低絕緣層5 1 6之雜質濃度。此外,有關用於移除絕緣層 5 1 6之沉積室中剩餘濕氣的排空設備,可使用經提供而具 冷阱之渦輪泵。 較佳的是諸如氫、水、烴基及氫化物之雜質移除之高 純度氣體,用做用於形成絕緣層516之濺鍍氣體。 其次,第二熱處理係於惰性氣體或氧氣中(較佳地爲 200 °C至400 °C (含)之溫度,例如25 0°C至3 5 0°C (含)) 執行。例如,第二熱處理係於氮氣中以2 5 0 °C執行達一小 -41 - 201137820 時。在第二熱處理中,加熱氧化物半導體層之一部分(通 道形成區)並接觸絕緣層516。 經由上述步驟,於氧化物半導體膜上執行第一熱處理 ,使得諸如氫、濕氣、烴基、及氫化物(亦稱爲氫化合物 )之雜質從氧化物半導體層刻意移除。此外,可供應氧, 其爲氧化物半導體之主要成分之一,並於移除雜質之步驟 中同步降低。因此,可使氧化物半導體層成爲高度純化及 電氣i型(本質)氧化物半導體。 經由上述程序,形成電晶體5 1 0 (圖8 D )。 當具有大fi缺陷之氧化矽層用做氧化物絕緣層5 1 6時 ,於氧化矽層形成之後執行之熱處理,具有氧化物半導體 層中所包含之諸如氫、濕氣、烴基或氫化物之雜質擴散進 入氧化物絕緣層之效果,使得氧化物半導體層中所包含之 雜質可進一步降低。 保護絕緣層5 06可形成於絕緣層516之上。例如,藉由 RF濺鍍法形成氮化矽膜。由於以RF濺鍍法可達成高生產 力,較佳地使用RF濺鍍法做爲保護絕緣層之形成方法。有 關保護絕緣層,使用不包含諸如濕氣之雜質及避免雜質從 外部進入之無機絕緣膜,諸如氮化矽膜或氮化鋁膜。在本 實施例中,使用氮化矽膜形成保護絕緣層做爲保護絕緣層 5 0 6 (詳圖 8 E )。 在本實施例中,有關保護絕緣層506,使用矽半導體 之靶材,藉由加熱其上形成包括直至絕緣層5 1 6之層的基 板505至100 °C至400 °C溫度,導入包含氫及濕氣移除之高 -42- 201137820 純度氮的濺鍍氣體,而形成氮化矽膜。在此狀況下,類似 於絕緣層516,較佳地形成保護絕緣層506同時移除沉積室 中剩餘濕氣。 在保護絕緣層形成之後,可進一步於空氣中以1 〇〇 £c 至200°C (含)溫度執行熱處理達1小時至30小時(含)。 此熱處理可以固定加熱溫度執行。另一方面,下列加熱溫 度改變可重複實施複數次:加熱溫度從室溫增加至1 〇〇 °C 至2 00 °C (含)之溫度,接著降至室溫。 以此方式,使用包括依據本實施例形成之高度純化氧 化物半導體層的電晶體,可進一步降低關閉狀態之電流値 (關閉狀態電流値)。因此,諸如影像信號之電氣信號可 保持較長時間,及寫入間隔可設定較長。因此,可降低刷 新作業之頻率,此導致抑制電力消耗之卓越效果。 再者,可顯示靜態影像同時電源關閉之期間可較長, 導致改進不便。 此外,在包括高度純化氧化物半導體層之電晶體中, 可獲得高場效移動率,藉此可高速作業。因此,藉由使用 顯示裝置之像素部中電晶體,可抑制分色,及可提供高品 質影像。由於電路部及像素部中電晶體可個別形成於一基 板之上,可降低顯示裝置之組件數量。 本實施例可適當與其他實施例中所說明之任一結構組 合而予實施。 (實施例4 ) -43- 201137820 本說明書中所揭露之顯示裝置可應用於各種電子設備 (包括遊戲機)。電子設備之範例爲電視裝置(亦稱爲電 視或電視機)、電腦等螢幕、諸如數位相機或數位攝影機 之相機、數位相框、行動電話(亦稱爲行動電話手機或行 動電話裝置)、可攜式遊戲機、可攜式資訊終端機、視訊 再生裝置、諸如彈珠台之大型遊戲機等。將說明各包括上 述實施例之任一者中所說明之顯示裝置的電子設備之範例 圖9A描繪電子書(亦稱爲電子書閱讀器),可包括外 殻9630、顯示部9631、操作鍵9632、太陽能電池9633、及 充電及放電控制電路9634。圖9A中電子書可具有於顯示部 上顯示各類資料(例如靜態影像、移動影像及正文影像) 之功能;於顯示部上顯示日曆、日期、時間等之功能;於 顯示部上操作或編輯所顯示資料之功能;使用各類軟體( 程式)控制處理之功能等。圖9A描繪充電及放電控制電路 963 4做爲範例,包括電池963 5、及DC-DC轉換器(以下縮 寫爲轉換器)963 6。藉由將依據實施例1至3之任一項的顯 示裝置應用於顯示部963 1,電子書可具有較高程度之便利 性及較高程度之安全,及消耗較小電量。 若使用圖9A中所描繪之結構,及使用半透射式或反射 式液晶顯示裝置做爲顯示部963 1,當環境光相對亮時預期 使用半透射式或反射式液晶顯示裝置,並藉由太陽能電池 963 3及電池963 5之電荷而有效率地執行發電,此係有利的 。可適當地於外殼963 0之未佔據空間(正面及背面)提供 -44- 201137820 太陽能電池9633,及有效率地執行電池963 5之電荷,此係 有利的。請注意,有利的是例如使用鋰離子電池做爲電池 963 5,因爲可達成尺寸降低。 將參照圖9B中方塊圖說明圖9A中所描繪之充電及放電 控制電路963 4的結構及作業。圖9B描繪太陽能電池963 3、 電池9635、轉換器9636、轉換器9637、開關SW1至SW3、 及顯示部9631。電池9635、轉換器9636、轉換器9637、及 開關SW1至SW3相應於充電及放電控制電路9634。 首先,將說明藉由使用外部光之太陽能電池963 3產生 電力之作業範例。藉由轉換器96 3 6提高或降低太陽能電池 所產生之電力的電壓,以便成爲充電電池9635之電壓。接 著,當來自太陽能電池963 3之電力用於顯示部9631之作業 時,開關SW1被開啓且藉由轉換器963 7而提高或降低電力 的電壓,以便成爲顯示部963 1所需電壓。此外,當未執行 顯示部9631上顯示時,開關SW1被關閉及開關SW2被開啓 ,使得電池9635可充電。 其次,將說明並非藉由使用外部光之太陽能電池963 3 產生電力之作業。藉由轉換器9637開啓開關SW3而提高或 降低累積於電池9635中電力之電壓。接著,來自電池963 5 之電力用於顯示部963 1之作業。 請注意,儘管說明太陽能電池9 6 3 3做爲充電設備之範 例,電池963 5可以另一設備充電。此外,可使用太陽能電 池9633與另一充電設備之組合。 圖10A爲筆記型個人電腦,包括外殼3001、外殼3002 -45- 201137820 、顯示部3003、鍵盤3004等。藉由將依據實施例1至3之任 一項的顯示裝置應用於顯示部3003,筆記型個人電腦可具 有較高程度之便利性及較高程度之安全,及消耗較小電量 〇 圖10B爲個人數位助理(PDA ),其經提供而具外殼 3021、顯示部3023、外部介面3025、操作按鈕3024等。此 外,存在觸控筆3 022做爲作業配件。藉由將依據實施例1 至3之任一項的顯示裝置應用於顯示部3 023,個人數位助 理(PDA )可具有較高程度之便利性及較高程度之安全, 及消耗較小電量。 圖10C描繪電子書閱讀器2700。例如,電子書閱讀器 2700包括二外殼,外殼2701及外殼2703。外殻2701及2703 藉由鉸鏈271 1而附著,使得電子書閱讀器2700可沿鉸鏈 271 1而開啓及關閉。基此結構,電子書閱讀器2700可如紙 本書般掌控。 顯示部270 5倂入外殻2701,顯示部2707倂入外殻2703 。顯示部2705及顯示部27 07可顯示一影像或不同影像。若 顯示部2705及顯示部2707顯示不同影像,例如右側顯示部 (圖10C中顯示部2705 )可顯示正文,及左側顯示部(圖 10C中顯示部2707 )可顯示圖表。藉由將依據實施例1至3 之任一項的顯示裝置應用於顯示部2 7 05,電子書閱讀器 27 00可具有較高程度之便利性及較高程度之安全,及消耗 較小電量。 圖10C描繪範例其中外殼270 1經提供而具作業部等。 -46- 201137820 例如,外殼2701包括電源2721、操作鍵2723、揚聲器27 2 5 等。以操作鍵2723可翻頁。請注意,鍵盤、指向裝置等亦 可提供於其上提供顯示部之外殼的表面。此外,外部連接 端子(耳機端子、USB端子等)、記錄媒體嵌入部等可提 供於外殼的背面或側面。此外,電子書閱讀器2700可具有 電子字典之功能。 此外,電子書閱讀器2700可無線發送及接收資料經由 無線通訊,可從電子書伺服器購買及下載所欲書籍資料等 〇 圖10D爲行動電話包括二外殻,外殼2800及外殼2801 。外殻2801包括顯示面板2802、揚聲器2803、麥克風28 04 、指向裝置28 06、相機鏡頭2 8 07、外部連接端子2808等。 此外,外殼2800包括充電行動電話之太陽能電池2810、外 部記憶體槽281 1等。此外,天線倂入外殼280 1。藉由將依 據實施例1至3之任一項的顯示裝置應用於顯示面板2802, 行動電話可具有較高程度之便利性及較高程度之安全,及 消耗較小電量。 此外,如圖10D中虛線所描繪,顯示面板2 8 02經提供 而具觸控面板,且複數操作鍵28 05係以影像顯示。請注意 ’行動電話安裝升壓電路用於將太陽能電池28 10之輸出電 壓升壓爲每一電路所需電壓。 在顯示面板2802中’依據使用模式可適當改變顯示方 向。此外,由於相機鏡頭2 8 0 7係提供於與顯示面板2 8 0 2之 相同表面,行動電話可用做視訊電話。揚聲器2803及麥克 -47- 201137820 風28〇4不僅用於語音呼叫,亦用於視訊電話、記錄、播放 聲音等。再者,外殻2800及2801如圖10D中所描繪之開發 ,可滑動而使得其一置於另一之上;因此,可降低行動電 話尺寸,使行動電話適於攜帶。 外部連接端子2 8 08可連接任一電纜,諸如AC轉接器及 USB電纜,藉此行動電話可充電或可與個人電腦等執行資 料通訊。再者,藉由將記錄媒體插入外部記憶體槽2811, 行動電話可掌握大量資料之儲存及轉移。 此外,除了上述功能,可提供紅外線通訊功能、電視 接收功能等》 圖10E爲數位攝影機,包括主體3051、顯示部A 3057 、目鏡部3053、操作開關3054、顯示部B 3055、電池3056 等。藉由將依據實施例1至3之任一項的顯示裝置應用於顯 示部A 3 05 7及顯示部B 3 05 5,數位攝影機可具有較高程度 之便利性及較高程度之安全,及消耗較小電量。 圖1 〇 F描繪電視機9 6 0 0。電視機9 6 0 0具有倂入外殼 960 1之顯示部9603。影像可顯示於顯示部960 3上。請注意 ,此處外殼9601係藉由支架9605支撐。藉由將依據實施例 1至3之任一項的顯示裝置應用於顯示部9603,電視機9600 可具有較高程度之便利性及較高程度之安全,及消耗較小 電量。 電視機9600可藉由外殼9601之操作開關或個別遙控器 操作。再者,遙控器可具有顯示部,顯示從遙控器輸出之 資訊。 -48- 201137820 請注意,電視機9600經提供而具接收器、數據機等。 使用接收器可接收一般電視廣播。此外,當顯示裝置經由 數據機而有線或無線連接通訊網路時,亦可執行單向(從 發送端至接收端)或雙向(發送端與接收端之間或接收端 之間)資料通訊。 本實施例可適當與其他實施例中所說明之任一結構組 合而予實施。 本申請案係依據2010年1月2〇日向日本專利局提出申 請之序號2010-01 〇321日本專利申請案,其整個內容係以 提及方式倂入本文。 【圖式簡單說明】 圖1描繪驅動顯示裝置之方法之一模式。 圖2描繪顯示裝置之一模式。 圖3描繪顯示裝置之一模式。 圖4爲時序圖,描繪驅動顯示裝置之方法之一模式。 圖5A及5B爲時序圖,各描繪驅動顯示裝置之方法之一 模式。 圖6描繪驅動顯示裝置之方法之一模式。 圖7A至7D各描繪可應用於顯示裝置之電晶體之—楔 式。 圖8 A至8 E描繪製造可應用於顯示裝置之電晶體之方法 之一模式。 圖9A及9B描繪電子設備。 -49- 201137820 圖10A至10F各描繪電子設備。 【主要元件符號說明】 100 :顯示裝置 I 1 0 :影像處理電路 II 1 :記憶體電路 1 1 2 :比較器電路 1 1 3 :顯示控制電路 1 1 5 :選擇電路 120、2802:顯示面板 1 2 1 :驅動電路部 122 :像素部 1 2 3 :像素 1 2 4 :鬧極線 1 2 5 :源極線 126 :端子部 1 2 7 :切換電晶體 1 28 :共同電極 1 3 0 :背光部 1 3 1 :背光控制電路 1 3 2 :背光 1 3 3 :發光元件 2 0 3 :像素電路部 2 1 0 :電容器 -50- 201137820 214、 410、 420、 430' 440' 510:電晶體 2 1 5 :顯示元件 400、 505 :基板 4 0 1、5 1 1 :閘極電極層 4 0 2、5 0 7 :閘極絕緣層 403、531 :氧化物半導體層 4 0 7 :絕緣層 4 0 9、5 0 6 :保護絕緣層 427 、 437 、 516 :絕緣層 53 0 :氧化物半導體膜 601 、 602 、 603 、 604 、 1401 、 1402 、 1403 、 1404 :期 間 1 1 1 b :訊框記憶體 1 2 1 A _·閘極線驅動電路 1 2 1 B :源極線驅動電路 126A、 126B:端子 2700 :電子書閱讀器 2701 、 2703 、 2800' 2801 、 3001 、 3002、 3021 、 9601 、9 6 3 0 :外殼 2705 ' 2707、 3003、 3023、 9603、 9631 :顯示部 2711:鉸鏈 2 7 2 1 :電源 2723 ' 2805' 9632 :操作鍵 2725、 2803 :揚聲器 201137820 2804 :麥克風 2806:指向裝置 2 8 0 7 :相機鏡頭 2808 :外部連接端子 2810、9633:太陽能電池 2 8 1 1 :外部記憶體槽 3004 :鍵盤 3 022 :觸控筆 3 0 2 4 :操作按鈕 3 0 2 5 :外部介面 3051 :主體 3 0 5 3 :目鏡部 3 0 5 4 :操作開關 3 05 5 :顯示部B 3056、 9635 :電池
3 0 5 7 :顯示部A 405a、515a:源極電極層 405b ' 515b:汲極電極層 4 3 6 a、4 3 6 b :佈線層 9 6 0 0 :電視機 9605 :支架 9 6 3 4 :充電及放電控制電路 9636、9637:轉換器 -52

Claims (1)

  1. 201137820 七、申請專利範圍: 1. 一種驅動顯示裝置之方法’包含: 藉由供應來自電源之電源電位而將影像顯示於螢幕上 i 將初始化影像信號寫入該顯示裝置; 將初始化影像顯示於該蜜幕上·•及 基於顯示於該螢幕上之該初始化影像而停止供應該電 源電位。 2. 如申請專利範圍第1項之驅動顯示裝置之方法,其 中藉由包含氧化物半導體之電晶體來控制供應該電源電位 〇 3 .如申請專利範圍第1項之驅動顯示裝置之方法,其 中藉由控制光源驅動之期間來設定該電源電位之供應停止 之後顯示該初始化影像之期間。 4.一種驅動顯示裝置之方法,包含: 藉由供應來自電源之電源電位而將影像顯示於螢幕上 » 供應保持及停止信號予該顯示裝置;及 基於顯示於該螢幕上之該影像而停止供應該電源電位 〇 5 .如申請專利範圍第4項之驅動顯示裝置之方法,其 中藉由包含氧化物半導體之電晶體來控制供應該電源電位 〇 6 .如申請專利範圍第4項之驅動顯示裝置之方法,其 -53- 201137820 中藉由控制光源驅動之期間來設定該電源電位之供應停止 之後顯示該影像之期間。 7 .如申請專利範圍第4項之驅動顯示裝置之方法,其 中於寫入一訊框之影像信號結束之後,該電源電位之供應 停止。 8. —種驅動顯示裝置之方法,包含: 藉由供應來自電源之電源電位及施加電壓於顯示元件 而將影像顯示於螢幕上; 將初始化影像信號寫入該顯示裝置; 將初始化影像顯示於該螢幕上;及 停止該電源電位之供應,同時藉由施加該電壓於該顯 示元件而將該初始化影像顯示於該螢幕上。 9. 如申請專利範圍第8項之驅動顯示裝置之方法,其 中藉由包含氧化物半導體之電晶體來控制供應該電源電位 〇 1 〇 ·如申請專利範圍第8項之驅動顯示裝置之方法,其 中藉由控制光源驅動之期間來設定該電源電位之供應停止 之後顯示該初始化影像之期間。 11.一種驅動顯示裝置之方法,包含: 藉由供應來自電源之電源電位及施加電壓於顯示元件 p將影像顯示於螢幕上: 供應保持及停止信號予該顯示裝置;及 停止該電源電位之供應,同時藉由施加該電壓於該顯 示元件而將該影像顯示於該螢幕上。 -54- 201137820 12. 如申請專利範圍第11項之驅動顯示裝置之方法’ 其中藉由包含氧化物半導體之電晶體來控制供應該電源電 位。 13. 如申請專利範圍第11項之驅動顯示裝置之方法’ 其中藉由控制光源驅動之期間來設定該電源電位之供應停 止之後顯示該影像之期間。 14. 如申請專利範圍第Η項之驅動顯示裝置之方法’ 其中於寫入一訊框之影像信號結束之後,該電源電位之供 應停止。 15. —種驅動顯示裝置之方法’包含: 藉由供應來自電源之電源電位通過電晶體及施加電壓 於顯示元件而將影像顯示於螢幕上; 將初始化影像信號寫入該顯示裝置; 將初始化影像顯示於該螢幕上;及 關閉該電晶體以使該顯示元件成爲浮動狀態,同時藉 由保持施加於該顯示元件之該電壓而將該初始化影像顯示 於該螢幕上。 1 6.如申請專利範圍第1 5項之驅動顯示裝置之方法, 其中該電晶體包含氧化物半導體。 1 7.如申請專利範圍第1 5項之驅動顯示裝置之方法, 其中藉由控制光源驅動之期間來設定該電晶體關閉之後顯 示該初始化影像之期間。 18.—種驅動顯示裝置之方法,包含: 藉由供應來自電源之電源電位通過電晶體及施加電壓 -55- 201137820 於顯示元件而將影像顯示於螢幕上; 供應保持及停止信號予該顯示裝 關閉該電晶體以使該顯示元件成 由保持施加於該顯示元件之該電壓而 幕上。 19.如申請專利範圍第18項之驅 其中該電晶體包含氧化物半導體。 2 0.如申請專利範圍第1S項之驅 其中藉由控制光源驅動之期間來設定 示該影像之期間。 2 1 .如申請專利範圍第1 8項之驅 其中於寫入一訊框之影像信號結#之 應停止。 置;及 爲浮動狀態,同時藉 將該影像顯示於該螢 動顯示裝置之方法, 動顯示裝置之方法, 該電晶體關閉之後顯 動顯示裝置之方法, 後,該電源電位之供
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